JP2014038905A - 封止装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】封止装置は、搬送トレーを挟持して狭持面を画定するとともに各開口凹部を狭持面に略垂直な方向に加圧して加熱する加圧加熱機構、及び狭持面内で加圧加熱機構と搬送トレーとの相対位置を決定する位置決め機構を備える。位置決め機構は狭持面内での搬送トレーの移動を規制する複数の規制部を備える。各規制部は、狭持面内での枢動により規制位置と準備位置の間を移動し、規制位置にあるときは搬送トレーの角部に当接し、準備位置にあるときは当接を解放するように構成された可動規制部材、可動規制部材の枢同中心を構成する回転軸、回転軸の一端を保持する軸受、及び回転軸の他端に結合され、回転軸にトルクを与える駆動源を備える。軸受は加圧加熱機構に固定され、回転軸の軸心は可動に構成される。
【選択図】図4
Description
例えば、上記実施例では位置決め機構20(軸受203)が上部加熱ブロック21に一体形成される構成を示したが、位置決め機構20(軸受203)が下部加熱ブロック22に形成される構成とすることもできる。この場合でも、搬送トレー5と上部加熱ブロック21の中央部付近を基点として熱膨張変形するように構成される必要がある。
2.加圧加熱機構
3.搬送機構
4a、4b.予備加熱機構
5.搬送トレー
10.真空槽
10a.貫通孔
20.位置決め機構
21.上部加熱ブロック
21b.ヒータ用貫通孔
21c.段差
22.下部加熱ブロック
23.昇降機構
24.プローブ
25.駆動源
26.弾性体
31.支持機構
51.開口凹部
200.規制部
201.可動規制部材
202.回転軸
202a、202b、202c.軸部材
203.軸受
204.回転駆動源
205、205a、205b.軸継手
206.ストッパー
207.当接部
208、210.ネジ
209、211.板
Claims (6)
- 搬送トレー上の複数の開口凹部に収容される電子部品を封止する封止装置であって、
前記搬送トレーを挟持して狭持面を画定するとともに、前記開口凹部の各々を該狭持面に略垂直な方向に加圧して加熱する加圧加熱機構、及び
前記狭持面内で前記加圧加熱機構と前記搬送トレーとの相対位置を決定する位置決め機構
を備え、
前記位置決め機構が、前記狭持面内での前記搬送トレーの移動を規制する複数の規制部を備え、該規制部の各々が、
前記狭持面内での枢動により規制位置と準備位置の間を移動し、該規制位置にあるときは前記搬送トレーの角部に当接し、該準備位置にあるときは該当接を解放するように構成された可動規制部材、
前記可動規制部材の枢動中心を構成する回転軸、
前記回転軸の一端を保持する軸受、及び
前記回転軸の他端に結合され、該回転軸にトルクを与える駆動源
を備え、前記軸受が前記加圧加熱機構に固定され、前記回転軸の軸心が可動に構成された封止装置。 - 請求項1に記載の封止装置において、前記回転軸が、前記一端を含む第1の軸部材及び前記他端を含む第2の軸部材からなり、該第1の軸部材と該第2の軸部材が軸継手によって結合され、該軸継手が該第2の軸部材の軸心に対する該第1の軸部材の軸心を可動としつつ該第2の軸部材のトルクを該第1の軸部材のトルクに伝達可能に構成された封止装置。
- 請求項1に記載の封止装置であって、前記可動規制部材の各々が前記搬送トレーの各角部に対応する位置に配置され、前記可動規制部材が前記規制位置にあるときに前記角部に当接される凹部形状の当接部を有する封止装置。
- 請求項1に記載の封止装置において、前記加圧加熱機構が前記搬送トレーを狭持する上部ブロック及び下部ブロックを有し、該上部ブロックが前記開口凹部の各々を加圧するためのプローブを有し、前記軸受が該上部ブロックに接続された封止装置。
- 請求項2又は3に記載の封止装置であって、さらに、真空槽を備え、
前記加圧加熱機構、前記軸受、前記第1の軸部材及び前記軸継手が前記真空槽内部に配置され、前記駆動源が該真空槽の外部に配置され、前記第2の軸部材が該真空槽の貫通孔に挿通され、該第2の軸部材と該貫通孔の間が真空シールされた封止装置。 - 請求項1に記載の封止装置であって、さらに、前記搬送トレーを前記加圧加熱機構における搬送トレー狭持位置に搬入する搬送機構を備え、前記可動規制部材の枢動中心が前記搬送トレーの搬送経路の外部にあり、前記可動規制部材が前記準備位置にあるときは該可動規制部材が該搬送トレーの搬送経路の外部に位置するように配置され、
搬送トレーの搬入時に、前記搬送トレーの搬入経路側の前記可動規制部材が前記準備位置に配置され、残りの前記可動規制部材の少なくとも1つが前記規制位置に配置されるように構成された封止装置。
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JP2021153165A (ja) * | 2020-03-23 | 2021-09-30 | アサヒ・エンジニアリング株式会社 | 電子部品のシンタリング装置および方法 |
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2012
- 2012-08-13 JP JP2012179382A patent/JP6028909B2/ja active Active
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