JP3902567B2 - 基板支持装置及びこれを利用した基板処理装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板を支持するための基板支持装置及びこれを利用して基板に対する各種処理（搬送、搬入、搬出、ボンディング等の実装処理等）を行う基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】
特開２０００−２１９３２号公報
【特許文献２】
特開２０００−４９２１０号公報
従来においては、ＳＡＷ（表面弾性波）フィルターやＴＣＸＯ（温度補償型水晶発振器）のパッケージ等のように、１つ１つの基板が小さい場合には、扱い易さ等の観点から、かかる小さな基板を一体的に複数集合させて所謂集合基板を形成し、これを用いて実装装置への搬入（供給）、搬出（排出）、保持（クランプ）などを行うようにしている。例えば、ＴＣＸＯの単体基板（Ｗ５ｍｍ×Ｄ３．２ｍｍ×Ｔ０．６５ｍｍ，Ｗ；幅、Ｄ；奥行き、Ｔ厚さ）を、１４列×１８列＝２５２個の集合板としたもの等がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、例えば、セラミック製の集合基板においては、個々の基板（単体基板、個片基板）としては良品であっても、集合された結果、集合基板全体として比較的反りが大きくなる等するため、フリップチップの実装に悪影響を与える惧れがある。
【０００４】
即ち、フリップチップの実装では、前記反りの影響で各基板の高さ位置にバラツキが生じる惧れがあり、以って接合に悪影響を及ぼす惧れがある。また、超音波振動を用いて接合する場合、前記反りの影響で基板裏面（実装処理などが行なわれる基板の被処理面の反対側の面）が十分に支持面に接触して支持されなくなる惧れがあり、かかる場合には、振動の逃げが生じる等して安定した品質を維持できなくなる惧れがある。
【０００５】
また、個々の基板（単体基板）の製作が困難で歩留まりが悪い場合に集合基板とするような場合には、集合基板が不良な単体基板を含んでいる惧れが比較的高いが、このような場合においては、不良な部分も良好な部分と伴に集合基板として各工程を流すことになるため、不良な部分に対しても良好な部分と同様に各種処理操作を行うこととなり、以て無駄な作業が発生し作業効率が低下するといった惧れがある。
【０００６】
このようなことから、本願出願人は、特願２００１−０１９８６０号において、個片基板、基板パッケージ等を複数集合させて収容可能な基板用キャリアを提案すると共に、当該基板用キャリアに収容された各々の個片基板、基板パッケージ等の外側面を横方向（実装方向と略直交する方向）から押圧して基板用キャリアボディに対して位置決め保持するという技術を提案した。
【０００７】
かかる技術によれば、キャリアに収容した基板の外周側面を押圧して保持するため、上記各種の惧れを効果的に回避することができる。しかしながら、かかる技術においても、場合によっては、基板搬送時の振動や基板収容時におけるクランプ動作に伴って基板がキャリア収容部から浮き上がってしまう惧れがあり、このような状態で基板にフリップチップ等を実装すると、上述したように悪影響が生じる惧れがある。
【０００８】
本発明は、かかる実情に鑑みなされたもので、簡単な構成でありながら、容易なハンドリングと良好な位置決めを達成でき、以って生産効率の向上と品質の安定化を促進することができる基板支持装置を提供することを目的とする。また、これらを用いて基板に対する各種処理を行う基板処理装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
このため、請求項１に記載の発明に係る基板支持装置は、
基板の被処理面の裏面を支持する基板支持部と、
基板の横方向への移動を規制する移動規制部と、
回動支点廻りに回動可能に構成され、前記基板支持部が支持する基板と当接可能な端部を有する押圧部材と、
前記押圧部材に作用して、前記押圧部材の端部に前記回動支点廻りの弾性付勢力を付与する弾性部材と、
を含んで構成され、
前記押圧部材の端部を基板に当接させ、該端部に付与される弾性付勢力により、前記基板支持部が支持する基板の裏面を前記基板支持部の支持面に押圧すると共に、基板を前記移動規制部に押圧する一方、
前記移動規制部が、当該基板と当接し、別の弾性部材により前記押圧部材の端部と該基板との接触部方向に該基板を押圧するように作用すると共に、該基板の裏面を前記基板支持部の支持面に押圧するように作用する。
【００１０】
かかる構成によれば、基板の被処理面に実装処理などを行なう際に、基板を基板支持部側に押圧する下向きの力と、基板を移動規制部に対して横方向に押圧する力と、を基板に対して作用させることができるので、実装時の振動等により生じる惧れのある基板の浮き上がりや位置ズレ等を確実に防止することができ、実装処理などの処理精度を向上させることができる。従って、簡単な構成としながら、容易なハンドリングと良好な位置決めを達成でき、以って生産効率の向上と品質の安定化を促進できる基板支持装置を提供することができる。
請求項２に記載の発明に係る基板支持装置は、前記移動規制部に作用する別の弾性部材と前記押圧部材に作用する弾性部材とは、基板を挟んで反対側に設けられていることを特徴とする。
【００１１】
請求項３に記載の発明に係る基板支持装置は、前記押圧部材の回動平面に平行な面上において、前記押圧部材の回動支点の中心と、前記押圧部材の端部と基板との当接点と、を結ぶ直線に直交する方向に作用する基板に対する前記押圧部材の押圧力が、基板を前記基板支持部の支持面に押圧する方向の成分と、基板を前記移動規制部材側に押圧する方向の成分と、を持つように構成する。
【００１２】
このように配設すると、実装時の振動等により生じる惧れのある基板の浮き上がりや位置ズレ等を、比較的簡単な構成で確実に防止することが可能となる。
【００１３】
本願発明の一態様に係る基板支持装置は、基板の被処理面に直交する方向から投影したときに、前記押圧部材の回動支点の中心と前記当接点とを結ぶ直線と、該当接点を含み前記基板支持部に支持された基板の被処理面に平行な平面によって切断される基板断面と、が前記当接点を除いて重畳しない位置関係にある場合に、前記押圧部材の回動平面に平行な面において、前記押圧部材の回動支点の中心が、前記当接点を含み前記基板支持部に支持された基板の被処理面に平行な平面に対して、該基板の裏面側に位置するように構成することができる。
すなわち、請求項４に記載の発明に係る基板支持装置のように、押圧部材の端部と基板との当接点が、基板の中心に関して水平方向において押圧部材の回動支点側に位置する場合には、押圧部材の回動支点の中心は前記当接点より下方に位置するように構成することができる。
【００１４】
本願発明の一態様に係る基板支持装置は、基板の被処理面に直交する方向から投影したときに、前記押圧部材の回動支点の中心と前記当接点とを結ぶ直線と、該当接点を含み前記基板支持部に支持された基板の被処理面に平行な平面によって切断される基板断面と、が重畳する位置関係にある場合に、前記押圧部材の回動平面に平行な面において、前記押圧部材の回動支点の中心が、前記当接点を含み前記基板支持部に支持された基板の被処理面に平行な平面に対して、該基板の裏面の反対側に位置するように構成することができる。
すなわち、請求項５に記載の発明に係る基板支持装置のように、押圧部材の端部と基板との当接点が、基板の中心に関して水平方向において押圧部材の回動支点とは反対側に位置する場合には、押圧部材の回動支点の中心は前記当接点より上方に位置するように構成することができる。
【００１７】
請求項６に記載の発明に係る基板支持装置は、１又は複数の基板を収容可能な基板用キャリアを保持可能に構成され、該基板用キャリアが当該基板支持装置に保持されたときに、前記基板用キャリアが収容していた基板が前記基板支持部に支持されるように構成されたことを特徴とする。
【００１８】
かかる構成とすれば、基板用キャリアに基板を収容させることでハンドリング特性を向上させることができる一方で、例えば、実装時などにおいては、基板を高精度に加工された基板支持部に支持させることが可能となるので、ハンドリング特性の向上と処理精度の維持向上とを高いレベルで両立させることなどが可能となる。
【００１９】
請求項７に記載の発明に係る基板処理装置は、
基板の被処理面の裏面を支持する基板支持部と、
基板の横方向への移動を規制する移動規制部と、
回動支点廻りに回動可能に構成され、前記基板支持部が支持する基板と当接可能な端部を有する押圧部材と、
前記押圧部材に作用して、前記押圧部材の端部に前記回動支点廻りの弾性付勢力を付与する弾性部材と、
を含んで構成され、
前記押圧部材の端部を基板に当接させ、該端部に付与される弾性付勢力により、前記基板支持部が支持する基板の裏面を前記基板支持部の支持面に押圧すると共に、基板を前記移動規制部に押圧する一方、
前記移動規制部が、当該基板と当接し、別の弾性部材により前記押圧部材の端部と該基板との接触部方向に該基板を押圧するように作用すると共に、該基板の裏面を前記基板支持部の支持面に押圧するように作用する基板支持装置を備え、
該基板支持装置に支持された基板に対して所定の処理を行なうように構成した。
【００２０】
かかる構成によれば、基板の被処理面に実装処理などを行なう際に、基板を基板支持部側に押圧する下向きの力と、基板を移動規制部に対して横方向に押圧する力と、を基板に対して作用させることができるので、実装時の振動等により生じる惧れのある基板の浮き上がりや位置ズレ等を確実に防止することができ、実装処理などの処理精度を向上させることができる。従って、簡単な構成としながら、容易なハンドリングと良好な位置決めを達成でき、以って生産効率の向上と品質の安定化を促進できる基板処理装置を提供することができる。
【００２１】
請求項８に記載の発明に係る基板処理装置は、前記移動規制部に作用する別の弾性部材と前記押圧部材に作用する弾性部材とは、基板を挟んで反対側に設けられていることを特徴とする。
【００２２】
請求項９に記載の発明に係る基板処理装置は、前記押圧部材の回動平面に平行な面上において、前記押圧部材の回動支点の中心と、前記押圧部材の端部と基板との当接点と、を結ぶ直線に直交する方向に作用する基板に対する前記押圧部材の押圧力が、基板を前記基板支持部の支持面に押圧する方向の成分と、基板を前記移動規制部材側に押圧する方向の成分と、を持つように構成する。
【００２３】
このように配設すると、実装時の振動等により生じる惧れのある基板の浮き上がりや位置ズレ等を、比較的簡単な構成で確実に防止することが可能となる。
【００２４】
本願発明の一態様に係る基板処理装置は、基板の被処理面に直交する方向から投影したときに、前記押圧部材の回動支点の中心と前記当接点とを結ぶ直線と、該当接点を含み前記基板支持部に支持された基板の被処理面に平行な平面によって切断される基板断面と、が前記当接点を除いて重畳しない位置関係にある場合に、前記押圧部材の回動平面に平行な面において、前記押圧部材の回動支点の中心が、前記当接点を含み前記基板支持部に支持された基板の被処理面に平行な平面に対して、該基板の裏面側に位置するように構成することができる。
すなわち、請求項１０に記載の発明に係る基板処理装置のように、押圧部材の端部と基板との当接点が、基板の中心に関して水平方向において押圧部材の回動支点側に位置する場合には、押圧部材の回動支点の中心は前記当接点より下方に位置するように構成することができる。
【００２５】
本願発明の一態様に係る基板処理装置は、基板の被処理面に直交する方向から投影したときに、前記押圧部材の回動支点の中心と前記当接点とを結ぶ直線と、該当接点を含み前記基板支持部に支持された基板の被処理面に平行な平面によって切断される基板断面と、が重畳する位置関係にある場合に、前記押圧部材の回動平面に平行な面において、前記押圧部材の回動支点の中心が、前記当接点を含み前記基板支持部に支持された基板の被処理面に平行な平面に対して、該基板の裏面の反対側に位置するように構成することができる。
すなわち、請求項１１に記載の発明に係る基板処理装置のように、押圧部材の端部と基板との当接点が、基板の中心に関して水平方向において押圧部材の回動支点とは反対側に位置する場合には、押圧部材の回動支点の中心は前記当接点より上方に位置するように構成することができる。
【００２８】
請求項１２に記載の発明に係る基板処理装置は、前記基板支持装置が、１又は複数の基板を収容可能な基板用キャリアを保持可能に構成され、該基板用キャリアが当該基板支持装置に保持されたときに、前記基板用キャリアが収容していた基板が前記基板支持部に支持されるように構成されたことを特徴とする。
【００２９】
かかる構成とすれば、基板用キャリアに基板を収容させることでハンドリング特性を向上させることができる一方で、例えば、実装時などにおいては、基板を高精度に加工された基板支持部に支持させることが可能となるので、ハンドリング特性の向上と処理精度の維持向上とを高いレベルで両立させることなどが可能となる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る実施の形態を、添付の図面に基づいて説明する。
図１（Ａ）〜図１（Ｃ）は、本発明に係る第１の実施の形態において使用する基板用キャリアの構成例を示す。
【００３１】
図１（Ａ）〜図１（Ｃ）に示したように、本実施形態に係る基板用キャリア１は、比較的小さな基板２、例えばＴＣＸＯの単体基板（Ｗ５ｍｍ×Ｄ３．２ｍｍ×Ｔ０．６５ｍｍ）を収容可能な収容部４を有する所定サイズの板状部材３で構成される。なお、図１では、複数の収容部４を備えたキャリアを例示しているが、基板用キャリア１は収容部４を単数備えるものであっても良い。また、板状部材３は、一例に過ぎず、図示した形状に限定されるものではなく、板状形状に限定されるものでもない。
【００３２】
前記収容部４は、図１（Ａ）〜図１（Ｃ）に示すように、収容する基板２の実装処理などの各種の処理が行なわれる面（被処理面：図８等の上面２Ａ）の裏面を支持するが、
板状部材３の表面３Ａに略直交する方向に板状部材３を貫通して形成される開口であって、収容する基板２の奥行き方向（Ｄ方向）における寸法（Ｄ寸法）より所定量大きなＤ１寸法と、収容する基板２の幅方向（Ｗ方向）における寸法（Ｗ寸法）より所定量大きなＷ１寸法を有する開口部５と、
開口部５に挿入される基板２の下面を支持可能な大きさに開口される開口部６と、
を含んで構成される。
【００３３】
なお、前記開口部５のＤ１寸法やＷ１寸法は、例えば、基板用キャリア１への基板２の搬入・搬出・固定等の各特性等が考慮されて決定される。
【００３４】
前記開口部６は、収容される基板２を基板用キャリア１との相対位置関係を所定に維持できるようなＷ２，Ｄ２寸法及び厚さ方向Ｔ２寸法（板状部材３の表面３Ａからの深さ）をもって形成される（図１（Ａ）、図１（Ｃ）等参照）。即ち、基板２を収容した基板用キャリア１のハンドル時（装置への搬入・搬出・実装時など）において、基板２が脱落等することのない良好なハンドル特性を達成できるサイズで、開口部６は形成される。
【００３５】
次に、本実施の形態に係るキャリアホルダ１０について、図２〜図５に基づいて説明する。
本実施の形態に係るキャリアホルダ１０は、移動可能として基板用キャリア１のハンドル時などに用いることもできるが、例えば、図２、図３に示すように、ボンディングステージ等の実装時などにおいて、基板用キャリア１延いては基板２の位置決め等を達成するために実装装置等に固定して利用されることもできる。
【００３６】
図２、図３に示したように、キャリアホルダ１０は、実装装置６０に固定され、該キャリアホルダ１０には基板用キャリア１を収容保持するベース部１１が設けられ、当該ベース部１１には基板用キャリア１を案内しつつ基板用キャリア１の下面（収容される基板２の被処理面の裏面側の面）を支持する支持部１２が設けられる。
【００３７】
前記支持部１２は、図３、図４に示すように、基板用キャリア１の搬送方向と略直交する方向から基板用キャリア１を挟んで両側に設けられており、各々の支持部１２は、基板用キャリア１の側面１Ｃ（若しくは１Ｄ）をガイドするガイド面１２Ａと、基板用キャリア１の下面１Ｂを支持する支持面１２Ｂと、を含んで構成される。なお、基板用キャリア１は、搬送アーム開閉シリンダ９２及び搬送アームガイドシャフト９３を介して駆動される搬送アーム９０、及び当該搬送アーム９０に取り付けられた搬送ピン９１により、前記支持部１２のガイド面１２Ａにガイドされつつ図３に示されるような実装装置６０内の所定位置に搬送され、前記支持部１２の支持面１２Ｂにより支持されるようになっている。また、実装処理後には、前記搬送アーム９０及び搬送ピン９１を介して、前記所定位置から搬出されるようになっている。
【００３８】
ところで、前記キャリアホルダ１０には、基板用キャリア１の搬送方向（図３参照）と略直交する方向から基板用キャリア１が収容している基板２を挟み込むようにして両側に、本発明に係る押圧部材であるクランプレバー１３が設けられている。該クランプレバー１３は、キャリアホルダ１０上に、回動支点１４を介して回動可能に取り付けられている。また、クランプレバー１３の基板２を押圧する側の押圧部１３Ａの回動支点１４を挟んで反対側には、本発明に係る弾性部材として機能するスプリング１５が取り付けられており、これによりクランプレバー１３には回動支点１４を中心とする弾性付勢力が付与され、当該弾性付勢力により、図４においては、クランプレバー１３が前記支持部１２のストッパ部１２Ｃに押圧付勢されている。なお、前記スプリング１５は、棒バネ、板バネ、流体バネなどの各種の弾性部材を利用することができる。
【００３９】
図２は、基板用キャリア１が実装装置６０に搬送されて所定位置に収容された状態を示すが、この後、当該実装装置６０は、図５に示すように、基板用キャリア１が収容する基板２の実装処理のための位置決め固定を行なう。
【００４０】
即ち、実装装置６０の所定位置に基板用キャリア１が搬送されると、実装装置６０の上下シリンダ２０により駆動される上下動シャフト２１を介して図２において上方に持ち上げられていたキャリアホルダ用フレーム３０を、上下シリンダ２０の駆動力を解放することによって、所定の基準レベルに固定されているメインフレーム４０に対して相対移動させ、キャリアホルダ用フレーム３０のストッパ部３１とメインフレーム４０のストッパ部４１とが当接するまで、図５に示したように下方に下降させる。なお、キャリアホルダ用フレーム３０とメインフレーム４０との相対移動が円滑に行なえるように、両者の間には、図５に示すようなリニアガイド５０を設けることが好ましい。
【００４１】
上記のようにして、キャリアホルダ用フレーム３０が、メインフレーム４０に対して相対移動されてストッパ部３１とストッパ部４１とが当接するまで下降されると、図６に示す状態から、メインフレーム４０の上方に固定されている基板テーブル４２の基板支持部４３と、下降されるキャリアホルダ用フレーム３０に固定されているキャリアホルダ１０内の基板用キャリア１の収容部４に収容されている基板２の下面２Ｂと、が当接するようになる。そして、更にキャリアホルダ用フレーム３０の下降が進むと、図７（Ａ）、図８に示すように、基板支持部４３に当接して支持されている基板２の表面２Ａが、スプリング１５による弾性付勢力に抗してクランプレバー１３の押圧部１３Ａを押し上げ、キャリアホルダ用フレーム３０のストッパ部３１とメインフレーム４０のストッパ部４１とが当接したときには、基板支持部４３が基板２を所定位置（加工基準位置）に所定押圧力で支持するようになる。このとき、図７（Ａ）、図８に示すように、前記基板テーブル４２は、基板用キャリア１の下面１Ｂを、キャリアホルダ１０の支持部１２の支持面１２Ｂから離間させた状態で支持している。
【００４２】
なお、符号４４は位置決め用ノックピンであり、符号１Ｎは基板用キャリア１の所望の位置に開口される位置決め用ノック穴である。また、符号４５は、基板支持部４３上において基板２の下面２Ｂを真空吸着するための真空通路である。符号４６は、基板テーブル４２をメインフレーム４０に固定するための通しボルト等の締結手段である。
【００４３】
このように、本実施形態では、基板用キャリア１の収容部４により収容支持されていた基板２を、実装時においては、高精度な基準高さ（加工基準位置）を有する基板支持部４３が支持するようにしたので、高さ方向における基板２の位置決めを高精度に行なわせることができると共に、クランプレバー１３の押圧部１３Ａにより基板２を上面２Ａ側から基板支持部４３へ向けて押圧するようにしたので、実装時等において基板２が基板支持部４３から浮き上ってしまうことを確実に防止できるので、実装処理の高精度化を促進することができる。
【００４４】
なお、本実施形態においては、基板支持部４３により支持された基板２をクランプレバー１３が押圧するときに、基板２の上面２Ａ側から基板支持部４３に向かう下向きの力が基板２に確実に作用すると共に、基板２の中心に向かう力の成分が基板２の各側面２Ｃ、２Ｄ側から確実に作用するように（図７（Ｂ）参照）、クランプレバー１３の回動支点（回動中心）は、図７（Ａ）に示されるように、基板支持部４３により支持された基板２がクランプレバー１３によりクランプされるときのクランプ位置（基板２とクランプレバー１３との当接位置）より下側に位置するように配設してある。これにより、実装時の振動等により生じる惧れのある基板２の浮き上がりや位置ズレ等を一層確実に防止することが可能となる。
【００４５】
また、図８に示すように、基板支持部４３により支持された基板２をクランプレバー１３がクランプするときに、基板２の中心に向かう力の成分が、基板２の各側面２Ｃ、２Ｄ側から作用するように、クランプレバー１３の押圧部１３Ａの押圧面１３Ｂをハの字状に形成することができる。かかる構成とすれば、実装時の振動等により生じる惧れのある位置ズレ等をより一層確実に防止することが可能となる。
【００４６】
なお、本実施形態における一対のクランプレバー１３のうちの一方は、本発明に係る移動規制部として機能することにもなる。
【００４７】
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。
第２の実施の形態は、第１の実施の形態で説明したものに対して、装置の小型化を促進した一例である。第１の実施の形態では、クランプレバー１３を、図３平面と略平行に配設するものであるため、図３に示す幅方向Ａにおいて比較的大きなスペースを必要とする。このため、基板２を、図３平面と略平行な平面において搬送方向と略平行に複数列収容した基板用キャリア１を用いるような場合には装置が大型化すると言う問題がある。
【００４８】
そこで、第２の実施の形態では、以下のように構成する。
第２の実施形態では、図９、図１０に示すような基板用キャリア１０１が用いられる。
本実施形態に係る基板用キャリア１０１は、第１の実施の形態において説明したと同様の比較的小さな基板２を収容可能な収容部１０４を有する所定サイズの板状部材１０３で構成される。なお、図９では、単一の収容部１０４を備えたキャリアを例示しているが、図１０に示すように、基板用キャリア１０１は収容部１０４を複数備えることができるものである。また、収容部１０４は、図１０の平面においてＤ方向にも、複数列設けることもできるものである。
【００４９】
前記収容部１０４は、図９（Ａ）に示すように、収容する基板２の実装処理などの各種の処理が行なわれる面（被処理面）の裏面を支持する構成であるが、
板状部材１０３の表面１０３Ａに略直交する方向に板状部材１０３を貫通して形成される開口であって、収容する基板２の奥行き方向（Ｄ方向）における寸法（Ｄ寸法）より所定量大きなＤ３寸法を有する一方、収容する基板２の幅方向（Ｗ方向）における寸法（Ｗ寸法）より所定量小さなＷ３寸法を有する開口部１０５と、
該開口部１０５のＷ方向において該開口部１０５の開口に臨んで配設される一対の相対面する窪みであって、基板２のＷ方向端部２Ａ，２Ｂを各々収容し、基板２の収容部１０４への挿入方向と対向する方向から基板２を支持する窪み部１０６Ａ，１０６Ｂと、
を含んで構成される。
【００５０】
なお、前記開口部１０５のＤ３寸法やＷ３寸法は、例えば、基板用キャリア１０１（窪み部１０６Ａ，１０６Ｂ）への基板２の搬入・搬出・固定等に要するスペース（例えば、搬入・搬出アーム等の挿入スペースの確保）や、後述するクランプレバー１２１やストッパ部１１４等を収容可能なスペース等が考慮されて決定される。
【００５１】
前記窪み部１０６Ａ，１０６Ｂは、該窪み部１０６Ａ，１０６Ｂに収容され支持される基板２を板状部材１０３との相対位置関係を所定に維持できるようなＷ４，Ｄ４寸法及び厚さ方向Ｔ４寸法（板状部材１０３の表面１０３Ａからの深さ）をもって形成される（図９参照）。即ち、基板２を収容した基板用キャリア１０１のハンドル時（装置への搬入・搬出・実装時など）において、基板２が脱落等することのない良好なハンドル特性を達成できるサイズで、窪み部１０６Ａ，１０６Ｂは形成される。
【００５２】
次に、第２の実施の形態に係るキャリアホルダ１１０について、図１１〜図１５に基づいて説明する。
【００５３】
本実施の形態に係るキャリアホルダ１１０は、移動可能として基板用キャリア１０１のハンドル時などに用いることもできるが、例えば、ボンディングステージ等の実装時などにおいて、基板用キャリア１０１延いては基板２の位置決め等を達成するために実装装置等に固定して利用されることもできる。
【００５４】
図１１、図１４（Ａ）に示すように、キャリアホルダ１１０には、当該図１１において２点鎖線で示される基板用キャリア１０１を載置して支持するキャリア支持部１１２を有するベース部１１１を含むと共に、前記キャリア支持部１１２の支持面１１２Ａから該キャリア支持部１１２に支持される基板用キャリア１０１側に所定量突出して設けられる基板支持部１１３が備えられる。なお、図１１の符号１１１Ａ、１１１Ｂは、基板用キャリア１０１のキャリアホルダ１１０に対する位置決めを行なう位置決め部材である。
【００５５】
ここで、図１３、図１４（Ａ）に示すように、本実施の形態においては、基板２を収容した基板用キャリア１０１を、キャリアホルダ１１０のキャリア支持部１１２に支持させる際、基板用キャリア１０１の下面１０１Ｂがキャリア支持部１１２のキャリア支持面１１２Ａに着座する前に、基板用キャリア１０１に収容保持されている基板２は基板支持部１１３の基板支持面１１３Ａに当接することとなるため、基板用キャリア１０１がキャリア支持部１１２に完全に支持されたときには、基板２はＴ方向において基板用キャリア１０１から離れ、加工基準面として精確に形成されている基板支持面１１３Ａに載置され支持されることになる。
【００５６】
即ち、当該基板用キャリア１０１及びキャリアホルダ１１０を用いれば、基板用キャリア１０１の精度（反りや厚さのバラツキ）等の影響を受けることなく水平度を高精度に維持することができ、以て基板２の高さ方向（Ｔ方向）における高精度な位置決めが可能となる。
【００５７】
なお、図１３、図１４（Ａ）に示したように、基板用キャリア１０１がキャリアホルダ１１０に完全に収容され基板２が基板支持部１１３によって支持されたときでも、基板２の下面が、基板用キャリア１の上面１Ａから突き出ることがないような位置関係に各寸法が設定されることが好ましい。これにより、例えば実装終了後などにおいて、基板用キャリア１０１をキャリアホルダ１１０から脱退させる際に、基板２が収容部１０４の内側壁によって良好にガイドされ、基板２の基板用キャリア１０１の収容部１０４への再収容が円滑に行われることになる。
【００５８】
ところで、図１１、図１３、図１４（Ａ）に示したように、基板２が安定して基板支持面１１３Ａに支持され得るように、基板２の下面を基板支持面１１３Ａ側に吸着するための真空吸着手段を含むことができ、例えば、吸着／解放切り替え可能な切替弁（図示せず）等を介して真空ポンプ（図示せず）等に連通される真空吸着通路１１３Ｂを基板支持面１１３Ａに開口させることができる。
【００５９】
更に、本実施の形態に係るキャリアホルダ１１０には、基板支持面１１３Ａに載置された基板２を、位置決めするための基板ロック装置１２０が設けられている。
【００６０】
該基板ロック装置１２０は、図１３、図１４（Ａ）等に示すように、基板２に当接して押圧する本発明に係る押圧部材であるクランプレバー１２１と、該クランプレバー１２１を回動自在に支持すると共にベース部１１１に固定される回動支点１２２と、前記回動支点１２２を回動中心として前記クランプレバー１２１を図１３において時計回転方向に回動付勢するためのスプリング１２３（本発明に係る弾性部材に相当する）と、該スプリング１２３を支持するためにベース部１１１に設けられるバネ受け部１２４と、を含んで構成される。なお、前記スプリング１２３は、棒バネ、板バネ、流体バネなどの各種の弾性部材を利用することができる。
【００６１】
更に、前記クランプレバー１２１に作用してスプリング１２３の弾性付勢力に抗して図１３において反時計回転方向に当該クランプレバー１２１を回動させて基板２との接触を絶たせることが可能なクランプピン１２５と、該クランプピン１２５に連結されるクランプシャフト１２６と、該クランプシャフト１２６延いては前記クランプピン１２５を図１３において右方向に弾性付勢可能に前記クランプシャフト１２６とベース部１１１との間に介装されるスプリング１２７と、前記クランプシャフト１２６に作用して前記スプリング１２７の弾性力に抗して前記クランプシャフト１２６を図１３において左方向に移動させることが可能なレバー１２８と、を含んで構成される。なお、クランプシャフト１２６、スプリング１２７、回動支点１２２、クランプピン１２５等は、図１１、図１２等に示すように、隣接する一対のクランプレバー１２１の間に設けられ、各クランプレバー１２６を操作することで、一対のクランプレバー１２１を同時に操作することができるようになっている。
【００６２】
前記レバー１２８は、ブラッケット１３１を介して支持される回動支点１２９廻りに回動可能に構成され、図１３において反時計回転方向に回動されることで、ストッパピン１３０を介して前記クランプシャフト１２６延いてはクランプピン１２５を前記スプリング１２７の弾性力に抗して図１３において左方に移動させ、これによってクランプピン１２５がスプリング１２３の弾性力に抗して図１３において反時計回転方向にクランプレバー１２１を回動させて基板２との接触を絶ちクランプレバー１２１による基板２のクランプを解除することになる。
【００６３】
逆に、前記レバー１２８の図１３における反時計回転方向への回動力Ｆを解放すると、スプリング１２３、スプリング１２７の復元力により、前記ストッパピン１３０、クランプピン１２５及びクランプシャフト１２６が図１３において右方向に移動され、その結果前記クランプレバー１２１が回動支点１２２を中心に図１３において時計回転方向に回動されてクランプレバー１２１による基板２のクランプが行なわれることになる。なお、図１３では、このクランプレバー１２１による基板２のクランプが行なわれている状態が示されている。
ここで、本実施形態では、図１４（Ｂ）に示すように、クランプレバー１２１のクランプ面１２１Ａと基板２との当接部を通る図１４（Ｂ）において垂直な線と、前記クランプ面１２１Ａと、が所定角度θをもって交差するように構成されている。
【００６４】
これにより、クランプレバー１２１により基板２をクランプする際には、図１４（Ｂ）において上方から基板支持部１１３側に向かう下向きの力が基板２に作用すると共に、ストッパ部１１４側に向かう力の成分が基板２に作用するようになる。このため、実装時の振動等により生じる惧れのある基板２の浮き上がりや位置ズレ等を確実に防止することが可能となる。なお、前記ストッパ部１１４が、本発明に係る移動規制部に相当する。
【００６５】
ところで、図１５に示すように、ストッパー部１１４もθ２の傾斜角をもつように構成すれば、浮き上がりを一層確実に防止することができる。
【００６６】
このように、第２の実施の形態によれば、クランプレバー１２１により基板２をクランプする際に、基板支持部１１３側に基板２を押圧する力と、ストッパ部１１４側に基板２を押圧する力と、を基板２に作用させることができるようにしたので、実装時の振動等により生じる惧れのある基板２の浮き上がりや位置ズレ等を確実に防止することが可能となり、実装処理などの処理精度を向上させることができる。
【００６７】
また、第２の実施の形態では、クランプレバー１２１を基板用キャリア１０１の上面と略直交する方向に配設するようにしたので、第１の実施の形態のように、クランプレバー１３を基板用キャリア１の上面と略平行な方向に配設するものに比べ、大幅に図１０に示すＤ方向における必要スペースを小さくすることができる。このため、図１０のＤ方向に基板２を複数列収容した基板用キャリア１０１を用いるような場合でも省スペース化を促進することができることになる。
【００６８】
続けて、本発明の第３の実施の形態について説明する。
第１の実施の形態では、キャリア搬送方向に一列に複数並べられた基板２を挟んで両側に相対向して一対のクランプレバー２１３を配設し、該基板２の両側に配設されたクランプレバー１３を用いて、基板２を位置決め支持する構成例について説明したが、かかる第１の実施の形態のものでは、キャリア搬送方向と並行に二列に基板２を複数並べようとした場合、多くのスペースが必要となり、装置の大型化等を招く惧れがある。
【００６９】
第３の実施の形態は、装置の大型化を極力抑制しつつ、キャリア搬送方向と並行に二列に基板２を複数並べることができるようにした構成例に関する。
【００７０】
なお、第１の実施の形態において説明したと同様の要素については、同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００７１】
第３の実施の形態に係る基板用キャリア２０１は、図１６、図１７に示すように、基板２を収容可能な収容部２０４がキャリア搬送方向と並行に二列に複数並べて配設される所定サイズの板状部材２０３を含んで構成される。なお、板状部材２０３は、一例に過ぎず、図示した形状に限定されるものではなく、板状形状に限定されるものでもない。
【００７２】
前記収容部２０４は、収容する基板２の実装処理などの各種の処理が行なわれる面（被処理面）の裏面を支持するが、板状部材２０３の表面２０３Ａに略直交する方向に板状部材２０３を貫通して形成される開口であって、収容する基板２の奥行き方向（Ｄ方向）における寸法（Ｄ寸法）より所定量大きなＤ１寸法と、収容する基板２の幅方向（Ｗ方向）における寸法（Ｗ寸法）より所定量大きなＷ１寸法を有する開口部２０５と、開口部２０５に挿入される基板２の下面を支持可能な大きさに開口される開口部２０６と、を含んで構成される。
【００７３】
なお、第１の実施の形態と同様に、前記開口部２０５、２０６の各部寸法は、良好なハンドル特性を達成できるサイズで形成される。
【００７４】
前記基板用キャリア２０１を支持するキャリアホルダ２１０は、第１の実施の形態と同様に、移動可能として基板用キャリア２０１のハンドル時などに用いることもできるが、例えば、図１７〜図１９に示すように、ボンディングステージ等の実装時などにおいて、基板用キャリア２０１延いては基板２の位置決め等を達成するために実装装置等に固定して利用されることができる。
【００７５】
キャリアホルダ２１０は、例えば、図１７に示すように、実装装置２６０に固定され、該キャリアホルダ２１０には、図１８、図１９等に示すように、基板用キャリア２０１を収容保持するベース部２１１が設けられ、当該ベース部２１１には基板用キャリア２０１を案内しつつ基板用キャリア２０１の下面（収容される基板２の被処理面の裏面側の面）を支持する支持部２１２が設けられる。
【００７６】
前記支持部２１２は、第１の実施の形態において説明した支持部１２と同様の構造と機能を有するものであり、ここでは説明を省略する。
【００７７】
なお、前記キャリアホルダ２１０には、図１７に示したように、キャリア搬送方向と並行に二列に並んで複数の基板２を配した基板用キャリア２０１が支持されるが、この二列の基板列のうちの一方の基板列に略直交する方向で、かつ、図１７平面に直交する方向から投影したときに他方の基板列と重畳しない方向から、前記一方の基板列の各基板２に対して各一対のクランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙが作用するようにクランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙが配設されており、該一対のクランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙによって、二列に並ぶそれぞれの基板２を位置決め支持する構成となっている。なお、クランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙは、本発明に係る押圧部材に相当する。
【００７８】
より詳細には、クランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙは、図１８、図１９に示すように、キャリアホルダ２１０上に、回動支点２１４Ｘ、２１４Ｙを介して回動可能にそれぞれ取り付けられている。
【００７９】
なお、図１８平面に直交する方向から見て、一の基板２に作用する一対のクランプレバー２１３Ｘと２１３Ｙとは重複しているが、両者の動きが相互に干渉し合わないように、例えば、クランプレバー２１３Ｘ側には、クランプレバー２１３Ｙの少なくとも一部（２１３ＹＡ等）を移動自在に収容するスリット２１３Ｚ(図２０（Ａ）参照)が設けられている。但し、一の基板２に作用する一対のクランプレバー２１３Ｘと２１３Ｙの動きが相互に干渉し合わない構成であれば、かかる構成に限定されるものではない。
【００８０】
また、クランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙの基板２を押圧する側の押圧部２１３ＸＡ、２１３ＹＡの回動支点２１４Ｘ、２１４Ｙを挟んで反対側には、本発明に係る弾性部材として機能するスプリング２１５Ｘ、２１５Ｙがそれぞれ取り付けられており、これによりクランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙには回動支点２１４Ｘ、２１４Ｙを中心とする弾性付勢力が付与され、当該弾性付勢力により、図１８に示すように、クランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙが前記支持部２１２のストッパ部２１２Ｃにそれぞれ押圧付勢されている。なお、前記スプリング２１５Ｘ、２１５Ｙは、棒バネ、板バネ、流体バネなどの各種の弾性部材を利用することができる。
【００８１】
第３の実施の形態に係るキャリアホルダ２１０は、第１の実施の形態で説明したキャリアホルダ１０と同様に機能するものであり、図１８に示す状態から、例えば、第１の実施の形態において説明したと同様の方法で、基板テーブル２４２の基板支持部２４３と、キャリアホルダ２１０と、が相互に接近する方向に相対移動されると、基板支持部２４３と、基板用キャリア２０１の収容部２０４に収容されている基板２の下面２Ｂと、が当接され、更に進むと、図１９に示すように、基板支持部２４３に当接して支持される基板２の上面２Ａが、スプリング２１５Ｘ、２１５Ｙによる弾性付勢力に抗してクランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙの押圧部２１３ＸＡ、２１３ＹＡを押し上げ、基板支持部２４３が基板２を所定位置（加工基準位置）に所定押圧力で支持するようになる。
【００８２】
このとき、図１９に示すように、前記基板テーブル２４２は、基板用キャリア２０１の下面２０１Ｂを、キャリアホルダ２１０の支持部２１２の支持面２１２Ｂから離間させた状態で支持している。なお、符号２４４は位置決め用ノックピンであり、符号２０１Ｎは基板用キャリア２０１の所望の位置に開口される位置決め用ノック穴である。また、符号２４５は、基板支持部２４３上において基板２の下面２Ｂを真空吸着するための真空通路である。
【００８３】
このように、第３の実施の形態においても、基板用キャリア２０１の収容部２０４により収容支持されていた基板２を、実装時においては、高精度な基準高さ（加工基準位置）を有する基板支持部２４３が支持するようにしたので、高さ方向における基板２の位置決めを高精度に行なわせることができると共に、クランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙの押圧部２１３ＸＡ、２１３ＹＡにより基板２を上面２Ａ側から基板支持部２４３へ向けて押圧するようにしたので、実装時等において基板２が基板支持部２４３から浮き上ってしまうことを確実に防止できるので、実装処理の高精度化を促進することができる。
【００８４】
なお、第３の実施の形態においては、基板支持部２４３により支持された基板２をクランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙが押圧するときに、基板２の被処理面である上面２Ａ側から基板支持部２４３に向かう下向き成分の力が基板２に確実に作用すると共に、基板２の中心に向かう力の成分が基板２の各側面２Ｃ、２Ｄ側から確実に作用するように（図２１参照）、クランプレバー２１３Ｘの回動支点２１４Ｘの回動中心は、図１９、図２２等に示されるように、基板支持部２４３により支持された基板２がクランプレバー２１３Ｘによりクランプされるときのクランプ位置（基板２とクランプレバー２１３Ｘの押圧部２１３ＸＡとの当接点）より上側に位置するように配設されると共に、クランプレバー２１３Ｙの回動支点２１４Ｙの回動中心は、図１９、図２２等に示されるように、基板支持部２４３により支持された基板２がクランプレバー２１３Ｙによりクランプされるときのクランプ位置（基板２とクランプレバー２１３Ｙの押圧部２１３ＹＡとの当接点）より下側に位置するように配設されるようになっている。
【００８５】
このように配設すると、図２２に示すように、クランプレバー２１３Ｘの回動支点２１４Ｘの回動中心と、クランプレバー２１３Ｘの押圧部２１３ＸＡと基板２の当接点と、を結ぶ直線に対して直角な方向（接線方向）に押圧力が作用し、クランプレバー２１３Ｙの回動支点２１４Ｙの回動中心と、クランプレバー２１３Ｙの押圧部２１３ＹＡと基板２の当接点と、を結ぶ直線に対して直角な方向（接線方向）に押圧力が作用したときに、当該両押圧力が基板２の中心に向かう方向に作用するので、図２１において説明したように、基板２の上面２Ａ側から図２１において下向きの力を基板２に確実に作用させることができると共に、基板２の中心に向かう力の成分を基板２の各側面２Ｃ、２Ｄ側から確実に作用させることができることになる。
【００８６】
そして、これにより、実装時の振動等により生じる惧れのある基板２の浮き上がりや位置ズレ等を一層確実に防止することが可能となる。
【００８７】
なお、図２０（Ｂ）に示すように、押圧部２１３ＸＡ、２１３ＹＡの押圧面２１３ＸＢ、２１３ＹＢをハの字状に面取りして形成することもできる。このように構成すると、面取りの角度などを調整することで接触点位置を調整でき、以って基板支持部２４３により支持された基板２をクランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙがクランプするときに基板２の中心に向かう力の成分の、合力に対する割合等を最適なものとすることなどが可能となるため、基板２の中心に向かう力の成分実装時の振動等により生じる惧れのある位置ズレ等をより一層確実に防止することなどが可能となる。
【００８８】
ところで、第３の実施の形態における一対のクランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙのうちの一方は、本発明に係る移動規制部として機能することにもなる。
【００８９】
以上のように、第３の実施の形態によれば、一の基板２に作用する一対のクランプレバー２１３Ｘと２１３Ｙとを、キャリア搬送方向と並行な二列の基板列のうちの一方の基板列に略直交する方向で、かつ、図１７平面に直交する方向から投影したときに他方の基板列と重畳しない方向から、当該一方の基板列の各基板２に対して作用させるように構成したので、キャリア搬送方向と並行に二列に基板２を複数並べた場合でも、省スペース化を促進しつつ、良好に基板を位置決め支持することが可能となる。
【００９０】
また、第３の実施の形態においても、基板用キャリア１の収容部４により収容支持されていた基板２を、実装時においては、高精度な基準高さ（加工基準位置）を有する基板支持部２４３が支持するようにしたので、高さ方向における基板２の位置決めを高精度に行なわせることができると共に、クランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙの押圧部２１３ＸＡ、２１３ＹＡにより基板２を上面２Ａ側から基板支持部２４３へ向けて押圧するようにしたので、実装時等において基板２が基板支持部２４３から浮き上ってしまうことを確実に防止できるので、実装処理の高精度化を促進することができる。
【００９１】
更に、第３の実施の形態においては、クランプレバー２１３Ｘの回動支点２１４Ｘの回動中心と、クランプレバー２１３Ｘの押圧部２１３ＸＡと基板２の接触点と、を結ぶ直線に対して直角な方向（接線方向）に押圧力が作用し、クランプレバー２１３Ｙの回動支点２１４Ｙの回動中心と、クランプレバー２１３Ｙの押圧部２１３ＹＡと基板２の接触点と、を結ぶ直線に対して直角な方向（接線方向）に押圧力が作用したときに、当該両押圧力が基板の両側から基板２の中心に向かう方向に作用するように構成したので、基板２の上面２Ａ側から図２１において下向きの力を基板２に確実に作用させることができると共に、基板２の中心に向かう力の成分を基板２の各側面から確実に作用させることができることになる。
【００９２】
これにより、実装時の振動等により生じる惧れのある基板２の浮き上がりや位置ズレ等を一層確実に防止することが可能となる。
【００９３】
ところで、第１、第２、第３の実施の形態において、基板２を基板支持部４３、１１３或いは２４３を介して直接加熱できるように、キャリアホルダ１０、１１０或いは２１０は、基板支持部４３、１１３或いは２４３を効果的に加熱することができる電熱ヒータ等の加熱手段を含んで構成することができる。また、例えば、良好な温度特性を実現するために、温度センサ（熱電対）等を基板支持部４３、１１３或いは２４３等に設け、該検出温度結果に応じて加熱手段の加熱量をフィードバック制御等することもできるものである。なお、同様の考えから、ストッパ部１１４を介して基板２を加熱する側面加熱手段を含むことも可能である。
【００９４】
このように、基板用キャリア１、１０１或いは２０１を加熱して基板２を間接的に加熱するのではなく、基板２を基板支持部４３、１１３或いは２４３を介して直接加熱するようにすれば、基板用キャリア１、１０１或いは２０１を加熱して基板２を間接的に加熱する場合に比べ、基板用キャリア１、１０１或いは２０１の温度による変形や反り等を極力抑制することができるため、基板２の製造品質を高精度化することが可能となる。また、基板との接触面積が小さい基板用キャリア１、１０１或いは２０１を介して加熱するのではなく、比較的接触面の大きな基板支持部４３、１１３或いは２４３を介して基板２を加熱するので、加熱効率が向上し、以て安定したボンディング品質の提供と少ない電力消費とを達成することが可能となる。
【００９５】
ところで、本発明のように、クランプレバーと弾性部材との組み合わせで基板を押圧する場合には、以下のような利点がある。
【００９６】
（１）弾性部材としてコイルバネを用いることができるため、比較的大きくストロークさせた状態で押圧力を作用させることができるので（クランプレバーを介して基板に作用される押圧力は、〔バネ定数〕×〔ストローク〕×〔ストローク比〕で表される）、同じ押圧力を作用させる場合には、例えばストロークの短い板バネなどを用いる場合に比べて、バネ定数の小さなものを用いることが容易となる。
【００９７】
このため、比較的簡単な構成でありながら、ストローク変化Δｓに対する荷重変化Δｆを小さくできるので、各種寸法ばらつきや基板の品種変更等による基板の被処理面の高さ変化に対する許容度を高くできるため、条件出しが容易となる。
【００９８】
また、押圧力の設定パラメータが複数あるので、クランプレバー及びスプリングの選択自由度が高いことも特徴となる。
【００９９】
加えて、初期状態で予圧を掛けることができるので、最適な押圧力にセットするのが可能でその調整も容易である。なお、例えば、クランプレバーとスプリングとの間やスプリングとベース部との間に調整用シムを介在させたり、或いはクランプレバーとスプリングの当接位置（或いはスプリングとベース部の当接位置）を調整可能な調整用ボルト等を、クランプレバーとスプリングの間（或いはスプリングとベース部）間に介在させたりすることもできる。
【０１００】
（２）製品を押える部品（クランプレバー）の特性を任意に選択することができる。
例えば、クランプレバーの基板との当接部の摩耗を防止するなどのために、硬質材料（焼き入れ品、超硬等）を用いることができ、或いは当接部に焼き入れや表面処理（ＴｉＮ、ＤＬＣ等）などの改質処理を行なうことができる。
【０１０１】
また、基板のキズ防止等のために、低摩擦材料（テフロン（登録商標）等）や表面処理（テフロン（登録商標）コート等）を任意に施すことができる。
【０１０２】
ところで、上記各実施の形態では、基板２の被処理面が略水平となるように配設して説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、基板２の非処理面を略垂直に或いは重力方向に対して斜めに配設した場合にも適用できるものである。
【０１０３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、実装処理の際などに、基板を基板支持部側に押圧する下向きの力と、基板を横方向に押圧する力と、を基板に対して作用させることができるようにしたので、実装時の振動等により生じる惧れのある基板の浮き上がりや位置ズレ等を確実に防止することができ、実装処理などの処理精度を向上させることができる。従って、簡単な構成としながら、容易なハンドリングと良好な位置決めを達成でき、以って生産効率の向上と品質の安定化を促進できる個片基板の支持装置及び支持方法を提供することができる。
【０１０４】
また、押圧部材を基板用キャリアの上面と略直交する方向に配設するようにすれば、省スペース化を促進することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）は、本発明の第１の実施の形態に係る基板用キャリアの平面図である。（Ｂ）は、（Ａ）の側面図であり、（Ｃ）は収容部４の拡大断面図である。
【図２】同上実施の形態に係る実装装置をキャリア搬送方向と略直交する方向から見た図である（非クランプ時）。
【図３】同上実施の形態に係るキャリアホルダ及び実装装置の一部を示す平面図である。
【図４】同上実施の形態に係る搬送アーム及びキャリアホルダをキャリア搬送方向と略直交する方向から見た図である（非クランプ時）。
【図５】同上実施の形態に係る実装装置をキャリア搬送方向と略直交する方向から見た図である（クランプ時）。
【図６】同上実施の形態に係るキャリアホルダをキャリア搬送方向と略直交する方向から見た図である（非クランプ時）。
【図７】（Ａ）は、同上実施の形態に係るキャリアホルダをキャリア搬送方向と略直交する方向から見た図である（クランプ時）。（Ｂ）は、基板に作用する力の成分を説明する図である。
【図８】同上実施の形態に係るキャリアホルダをキャリア搬送方向と略直交する方向から見た拡大図である（クランプ時）。
【図９】（Ａ）は、本発明の第２の実施の形態に係る基板用キャリアの平面図である。（Ｂ）は、（Ａ）の側面図である。
【図１０】同上実施の形態に係る基板用キャリアの平面図である。
【図１１】同上実施の形態に係るキャリアホルダの一部を示す平面図である。
【図１２】同上実施の形態に係るキャリアホルダの側面図である。
【図１３】同上実施の形態に係るキャリアホルダをキャリア搬送方向と略直交する方向から見た図である（クランプ時）。
【図１４】（Ａ）は、同上実施の形態に係るキャリアホルダをキャリア搬送方向と略直交する方向から見た拡大断面図である。（Ｂ）は、基板に作用する力の成分を説明する図である。
【図１５】同上実施の形態に係るキャリアホルダの他の一例をキャリア搬送方向と略直交する方向から見た拡大断面図である。
【図１６】（Ａ）は、本発明の第３の実施の形態に係る基板用キャリアの平面図である。（Ｂ）は、（Ａ）の側面図である
【図１７】同上実施の形態に係るキャリアホルダ及び実装装置の一部を示す平面図である。
【図１８】同上実施の形態に係るキャリアホルダをキャリア搬送方向と略直交する方向から見た図である（非クランプ時）。
【図１９】同上実施の形態に係るキャリアホルダをキャリア搬送方向と略直交する方向から見た図である（クランプ時）。
【図２０】（Ａ）は、同上実施の形態に係る一対のクランプレバーの一部を上方から見た図である。（Ｂ）は、同上の一対のクランプレバーを採用した場合における実装ノズルの基板被処理面へのアクセス状態を示す図。
【図２１】同上実施の形態に係る一対のクランプレバーの押圧力により基板に作用される力の成分を説明する図である。
【図２２】同上実施の形態に係る一対のクランプレバーの押圧力の作用方向を説明する図である。
【符号の説明】
１ 基板用キャリア
２ 基板
４ 収容部
１０ キャリアホルダ
１３ クランプレバー（押圧部材及び移動規制部として機能する）
１４ 回動支点
１５ スプリング（弾性部材）
４３ 基板支持部
６０ 実装装置
１０１ 基板用キャリア
１１０ キャリアホルダ
１１３ 基板支持部
１１４ 移動規制部
１２２ 回動支点
１２３ スプリング（弾性部材）
２０１ 基板用キャリア
２０４ 収容部
２１０ キャリアホルダ
２１３Ｘ、Ｙ クランプレバー（押圧部材及び移動規制部として機能する）
２１４Ｘ、Ｙ 回動支点
２１５Ｘ、Ｙ スプリング（弾性部材）
２４３ 基板支持部
２６０ 実装装置
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板を支持するための基板支持装置及びこれを利用して基板に対する各種処理（搬送、搬入、搬出、ボンディング等の実装処理等）を行う基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】
特開２０００−２１９３２号公報
【特許文献２】
特開２０００−４９２１０号公報
従来においては、ＳＡＷ（表面弾性波）フィルターやＴＣＸＯ（温度補償型水晶発振器）のパッケージ等のように、１つ１つの基板が小さい場合には、扱い易さ等の観点から、かかる小さな基板を一体的に複数集合させて所謂集合基板を形成し、これを用いて実装装置への搬入（供給）、搬出（排出）、保持（クランプ）などを行うようにしている。例えば、ＴＣＸＯの単体基板（Ｗ５ｍｍ×Ｄ３．２ｍｍ×Ｔ０．６５ｍｍ，Ｗ；幅、Ｄ；奥行き、Ｔ厚さ）を、１４列×１８列＝２５２個の集合板としたもの等がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、例えば、セラミック製の集合基板においては、個々の基板（単体基板、個片基板）としては良品であっても、集合された結果、集合基板全体として比較的反りが大きくなる等するため、フリップチップの実装に悪影響を与える惧れがある。
【０００４】
即ち、フリップチップの実装では、前記反りの影響で各基板の高さ位置にバラツキが生じる惧れがあり、以って接合に悪影響を及ぼす惧れがある。また、超音波振動を用いて接合する場合、前記反りの影響で基板裏面（実装処理などが行なわれる基板の被処理面の反対側の面）が十分に支持面に接触して支持されなくなる惧れがあり、かかる場合には、振動の逃げが生じる等して安定した品質を維持できなくなる惧れがある。
【０００５】
また、個々の基板（単体基板）の製作が困難で歩留まりが悪い場合に集合基板とするような場合には、集合基板が不良な単体基板を含んでいる惧れが比較的高いが、このような場合においては、不良な部分も良好な部分と伴に集合基板として各工程を流すことになるため、不良な部分に対しても良好な部分と同様に各種処理操作を行うこととなり、以て無駄な作業が発生し作業効率が低下するといった惧れがある。
【０００６】
このようなことから、本願出願人は、特願２００１−０１９８６０号において、個片基板、基板パッケージ等を複数集合させて収容可能な基板用キャリアを提案すると共に、当該基板用キャリアに収容された各々の個片基板、基板パッケージ等の外側面を横方向（実装方向と略直交する方向）から押圧して基板用キャリアボディに対して位置決め保持するという技術を提案した。
【０００７】
かかる技術によれば、キャリアに収容した基板の外周側面を押圧して保持するため、上記各種の惧れを効果的に回避することができる。しかしながら、かかる技術においても、場合によっては、基板搬送時の振動や基板収容時におけるクランプ動作に伴って基板がキャリア収容部から浮き上がってしまう惧れがあり、このような状態で基板にフリップチップ等を実装すると、上述したように悪影響が生じる惧れがある。
【０００８】
本発明は、かかる実情に鑑みなされたもので、簡単な構成でありながら、容易なハンドリングと良好な位置決めを達成でき、以って生産効率の向上と品質の安定化を促進することができる基板支持装置を提供することを目的とする。また、これらを用いて基板に対する各種処理を行う基板処理装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
このため、請求項１に記載の発明に係る基板支持装置は、
基板の被処理面の裏面を支持する基板支持部と、
基板の横方向への移動を規制する移動規制部と、
回動支点廻りに回動可能に構成され、前記基板支持部が支持する基板と当接可能な端部を有する押圧部材と、
前記押圧部材に作用して、前記押圧部材の端部に前記回動支点廻りの弾性付勢力を付与する弾性部材と、
を含んで構成され、
前記押圧部材の端部を基板に当接させ、該端部に付与される弾性付勢力により、前記基板支持部が支持する基板の裏面を前記基板支持部の支持面に押圧すると共に、基板を前記移動規制部に押圧する一方、
前記移動規制部が、当該基板と当接し、別の弾性部材により前記押圧部材の端部と該基板との接触部方向に該基板を押圧するように作用すると共に、該基板の裏面を前記基板支持部の支持面に押圧するように作用する。
【００１０】
かかる構成によれば、基板の被処理面に実装処理などを行なう際に、基板を基板支持部側に押圧する下向きの力と、基板を移動規制部に対して横方向に押圧する力と、を基板に対して作用させることができるので、実装時の振動等により生じる惧れのある基板の浮き上がりや位置ズレ等を確実に防止することができ、実装処理などの処理精度を向上させることができる。従って、簡単な構成としながら、容易なハンドリングと良好な位置決めを達成でき、以って生産効率の向上と品質の安定化を促進できる基板支持装置を提供することができる。
請求項２に記載の発明に係る基板支持装置は、前記移動規制部に作用する別の弾性部材と前記押圧部材に作用する弾性部材とは、基板を挟んで反対側に設けられていることを特徴とする。
【００１１】
請求項３に記載の発明に係る基板支持装置は、前記押圧部材の回動平面に平行な面上において、前記押圧部材の回動支点の中心と、前記押圧部材の端部と基板との当接点と、を結ぶ直線に直交する方向に作用する基板に対する前記押圧部材の押圧力が、基板を前記基板支持部の支持面に押圧する方向の成分と、基板を前記移動規制部材側に押圧する方向の成分と、を持つように構成する。
【００１２】
このように配設すると、実装時の振動等により生じる惧れのある基板の浮き上がりや位置ズレ等を、比較的簡単な構成で確実に防止することが可能となる。
【００１３】
本願発明の一態様に係る基板支持装置は、基板の被処理面に直交する方向から投影したときに、前記押圧部材の回動支点の中心と前記当接点とを結ぶ直線と、該当接点を含み前記基板支持部に支持された基板の被処理面に平行な平面によって切断される基板断面と、が前記当接点を除いて重畳しない位置関係にある場合に、前記押圧部材の回動平面に平行な面において、前記押圧部材の回動支点の中心が、前記当接点を含み前記基板支持部に支持された基板の被処理面に平行な平面に対して、該基板の裏面側に位置するように構成することができる。
すなわち、請求項４に記載の発明に係る基板支持装置のように、押圧部材の端部と基板との当接点が、基板の中心に関して水平方向において押圧部材の回動支点側に位置する場合には、押圧部材の回動支点の中心は前記当接点より下方に位置するように構成することができる。
【００１４】
本願発明の一態様に係る基板支持装置は、基板の被処理面に直交する方向から投影したときに、前記押圧部材の回動支点の中心と前記当接点とを結ぶ直線と、該当接点を含み前記基板支持部に支持された基板の被処理面に平行な平面によって切断される基板断面と、が重畳する位置関係にある場合に、前記押圧部材の回動平面に平行な面において、前記押圧部材の回動支点の中心が、前記当接点を含み前記基板支持部に支持された基板の被処理面に平行な平面に対して、該基板の裏面の反対側に位置するように構成することができる。
すなわち、請求項５に記載の発明に係る基板支持装置のように、押圧部材の端部と基板との当接点が、基板の中心に関して水平方向において押圧部材の回動支点とは反対側に位置する場合には、押圧部材の回動支点の中心は前記当接点より上方に位置するように構成することができる。
【００１７】
請求項６に記載の発明に係る基板支持装置は、１又は複数の基板を収容可能な基板用キャリアを保持可能に構成され、該基板用キャリアが当該基板支持装置に保持されたときに、前記基板用キャリアが収容していた基板が前記基板支持部に支持されるように構成されたことを特徴とする。
【００１８】
かかる構成とすれば、基板用キャリアに基板を収容させることでハンドリング特性を向上させることができる一方で、例えば、実装時などにおいては、基板を高精度に加工された基板支持部に支持させることが可能となるので、ハンドリング特性の向上と処理精度の維持向上とを高いレベルで両立させることなどが可能となる。
【００１９】
請求項７に記載の発明に係る基板処理装置は、
基板の被処理面の裏面を支持する基板支持部と、
基板の横方向への移動を規制する移動規制部と、
回動支点廻りに回動可能に構成され、前記基板支持部が支持する基板と当接可能な端部を有する押圧部材と、
前記押圧部材に作用して、前記押圧部材の端部に前記回動支点廻りの弾性付勢力を付与する弾性部材と、
を含んで構成され、
前記押圧部材の端部を基板に当接させ、該端部に付与される弾性付勢力により、前記基板支持部が支持する基板の裏面を前記基板支持部の支持面に押圧すると共に、基板を前記移動規制部に押圧する一方、
前記移動規制部が、当該基板と当接し、別の弾性部材により前記押圧部材の端部と該基板との接触部方向に該基板を押圧するように作用すると共に、該基板の裏面を前記基板支持部の支持面に押圧するように作用する基板支持装置を備え、
該基板支持装置に支持された基板に対して所定の処理を行なうように構成した。
【００２０】
かかる構成によれば、基板の被処理面に実装処理などを行なう際に、基板を基板支持部側に押圧する下向きの力と、基板を移動規制部に対して横方向に押圧する力と、を基板に対して作用させることができるので、実装時の振動等により生じる惧れのある基板の浮き上がりや位置ズレ等を確実に防止することができ、実装処理などの処理精度を向上させることができる。従って、簡単な構成としながら、容易なハンドリングと良好な位置決めを達成でき、以って生産効率の向上と品質の安定化を促進できる基板処理装置を提供することができる。
【００２１】
請求項８に記載の発明に係る基板処理装置は、前記移動規制部に作用する別の弾性部材と前記押圧部材に作用する弾性部材とは、基板を挟んで反対側に設けられていることを特徴とする。
【００２２】
請求項９に記載の発明に係る基板処理装置は、前記押圧部材の回動平面に平行な面上において、前記押圧部材の回動支点の中心と、前記押圧部材の端部と基板との当接点と、を結ぶ直線に直交する方向に作用する基板に対する前記押圧部材の押圧力が、基板を前記基板支持部の支持面に押圧する方向の成分と、基板を前記移動規制部材側に押圧する方向の成分と、を持つように構成する。
【００２３】
このように配設すると、実装時の振動等により生じる惧れのある基板の浮き上がりや位置ズレ等を、比較的簡単な構成で確実に防止することが可能となる。
【００２４】
本願発明の一態様に係る基板処理装置は、基板の被処理面に直交する方向から投影したときに、前記押圧部材の回動支点の中心と前記当接点とを結ぶ直線と、該当接点を含み前記基板支持部に支持された基板の被処理面に平行な平面によって切断される基板断面と、が前記当接点を除いて重畳しない位置関係にある場合に、前記押圧部材の回動平面に平行な面において、前記押圧部材の回動支点の中心が、前記当接点を含み前記基板支持部に支持された基板の被処理面に平行な平面に対して、該基板の裏面側に位置するように構成することができる。
すなわち、請求項１０に記載の発明に係る基板処理装置のように、押圧部材の端部と基板との当接点が、基板の中心に関して水平方向において押圧部材の回動支点側に位置する場合には、押圧部材の回動支点の中心は前記当接点より下方に位置するように構成することができる。
【００２５】
本願発明の一態様に係る基板処理装置は、基板の被処理面に直交する方向から投影したときに、前記押圧部材の回動支点の中心と前記当接点とを結ぶ直線と、該当接点を含み前記基板支持部に支持された基板の被処理面に平行な平面によって切断される基板断面と、が重畳する位置関係にある場合に、前記押圧部材の回動平面に平行な面において、前記押圧部材の回動支点の中心が、前記当接点を含み前記基板支持部に支持された基板の被処理面に平行な平面に対して、該基板の裏面の反対側に位置するように構成することができる。
すなわち、請求項１１に記載の発明に係る基板処理装置のように、押圧部材の端部と基板との当接点が、基板の中心に関して水平方向において押圧部材の回動支点とは反対側に位置する場合には、押圧部材の回動支点の中心は前記当接点より上方に位置するように構成することができる。
【００２８】
請求項１２に記載の発明に係る基板処理装置は、前記基板支持装置が、１又は複数の基板を収容可能な基板用キャリアを保持可能に構成され、該基板用キャリアが当該基板支持装置に保持されたときに、前記基板用キャリアが収容していた基板が前記基板支持部に支持されるように構成されたことを特徴とする。
【００２９】
かかる構成とすれば、基板用キャリアに基板を収容させることでハンドリング特性を向上させることができる一方で、例えば、実装時などにおいては、基板を高精度に加工された基板支持部に支持させることが可能となるので、ハンドリング特性の向上と処理精度の維持向上とを高いレベルで両立させることなどが可能となる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る実施の形態を、添付の図面に基づいて説明する。
図１（Ａ）〜図１（Ｃ）は、本発明に係る第１の実施の形態において使用する基板用キャリアの構成例を示す。
【００３１】
図１（Ａ）〜図１（Ｃ）に示したように、本実施形態に係る基板用キャリア１は、比較的小さな基板２、例えばＴＣＸＯの単体基板（Ｗ５ｍｍ×Ｄ３．２ｍｍ×Ｔ０．６５ｍｍ）を収容可能な収容部４を有する所定サイズの板状部材３で構成される。なお、図１では、複数の収容部４を備えたキャリアを例示しているが、基板用キャリア１は収容部４を単数備えるものであっても良い。また、板状部材３は、一例に過ぎず、図示した形状に限定されるものではなく、板状形状に限定されるものでもない。
【００３２】
前記収容部４は、図１（Ａ）〜図１（Ｃ）に示すように、収容する基板２の実装処理などの各種の処理が行なわれる面（被処理面：図８等の上面２Ａ）の裏面を支持するが、
板状部材３の表面３Ａに略直交する方向に板状部材３を貫通して形成される開口であって、収容する基板２の奥行き方向（Ｄ方向）における寸法（Ｄ寸法）より所定量大きなＤ１寸法と、収容する基板２の幅方向（Ｗ方向）における寸法（Ｗ寸法）より所定量大きなＷ１寸法を有する開口部５と、
開口部５に挿入される基板２の下面を支持可能な大きさに開口される開口部６と、
を含んで構成される。
【００３３】
なお、前記開口部５のＤ１寸法やＷ１寸法は、例えば、基板用キャリア１への基板２の搬入・搬出・固定等の各特性等が考慮されて決定される。
【００３４】
前記開口部６は、収容される基板２を基板用キャリア１との相対位置関係を所定に維持できるようなＷ２，Ｄ２寸法及び厚さ方向Ｔ２寸法（板状部材３の表面３Ａからの深さ）をもって形成される（図１（Ａ）、図１（Ｃ）等参照）。即ち、基板２を収容した基板用キャリア１のハンドル時（装置への搬入・搬出・実装時など）において、基板２が脱落等することのない良好なハンドル特性を達成できるサイズで、開口部６は形成される。
【００３５】
次に、本実施の形態に係るキャリアホルダ１０について、図２〜図５に基づいて説明する。
本実施の形態に係るキャリアホルダ１０は、移動可能として基板用キャリア１のハンドル時などに用いることもできるが、例えば、図２、図３に示すように、ボンディングステージ等の実装時などにおいて、基板用キャリア１延いては基板２の位置決め等を達成するために実装装置等に固定して利用されることもできる。
【００３６】
図２、図３に示したように、キャリアホルダ１０は、実装装置６０に固定され、該キャリアホルダ１０には基板用キャリア１を収容保持するベース部１１が設けられ、当該ベース部１１には基板用キャリア１を案内しつつ基板用キャリア１の下面（収容される基板２の被処理面の裏面側の面）を支持する支持部１２が設けられる。
【００３７】
前記支持部１２は、図３、図４に示すように、基板用キャリア１の搬送方向と略直交する方向から基板用キャリア１を挟んで両側に設けられており、各々の支持部１２は、基板用キャリア１の側面１Ｃ（若しくは１Ｄ）をガイドするガイド面１２Ａと、基板用キャリア１の下面１Ｂを支持する支持面１２Ｂと、を含んで構成される。なお、基板用キャリア１は、搬送アーム開閉シリンダ９２及び搬送アームガイドシャフト９３を介して駆動される搬送アーム９０、及び当該搬送アーム９０に取り付けられた搬送ピン９１により、前記支持部１２のガイド面１２Ａにガイドされつつ図３に示されるような実装装置６０内の所定位置に搬送され、前記支持部１２の支持面１２Ｂにより支持されるようになっている。また、実装処理後には、前記搬送アーム９０及び搬送ピン９１を介して、前記所定位置から搬出されるようになっている。
【００３８】
ところで、前記キャリアホルダ１０には、基板用キャリア１の搬送方向（図３参照）と略直交する方向から基板用キャリア１が収容している基板２を挟み込むようにして両側に、本発明に係る押圧部材であるクランプレバー１３が設けられている。該クランプレバー１３は、キャリアホルダ１０上に、回動支点１４を介して回動可能に取り付けられている。また、クランプレバー１３の基板２を押圧する側の押圧部１３Ａの回動支点１４を挟んで反対側には、本発明に係る弾性部材として機能するスプリング１５が取り付けられており、これによりクランプレバー１３には回動支点１４を中心とする弾性付勢力が付与され、当該弾性付勢力により、図４においては、クランプレバー１３が前記支持部１２のストッパ部１２Ｃに押圧付勢されている。なお、前記スプリング１５は、棒バネ、板バネ、流体バネなどの各種の弾性部材を利用することができる。
【００３９】
図２は、基板用キャリア１が実装装置６０に搬送されて所定位置に収容された状態を示すが、この後、当該実装装置６０は、図５に示すように、基板用キャリア１が収容する基板２の実装処理のための位置決め固定を行なう。
【００４０】
即ち、実装装置６０の所定位置に基板用キャリア１が搬送されると、実装装置６０の上下シリンダ２０により駆動される上下動シャフト２１を介して図２において上方に持ち上げられていたキャリアホルダ用フレーム３０を、上下シリンダ２０の駆動力を解放することによって、所定の基準レベルに固定されているメインフレーム４０に対して相対移動させ、キャリアホルダ用フレーム３０のストッパ部３１とメインフレーム４０のストッパ部４１とが当接するまで、図５に示したように下方に下降させる。なお、キャリアホルダ用フレーム３０とメインフレーム４０との相対移動が円滑に行なえるように、両者の間には、図５に示すようなリニアガイド５０を設けることが好ましい。
【００４１】
上記のようにして、キャリアホルダ用フレーム３０が、メインフレーム４０に対して相対移動されてストッパ部３１とストッパ部４１とが当接するまで下降されると、図６に示す状態から、メインフレーム４０の上方に固定されている基板テーブル４２の基板支持部４３と、下降されるキャリアホルダ用フレーム３０に固定されているキャリアホルダ１０内の基板用キャリア１の収容部４に収容されている基板２の下面２Ｂと、が当接するようになる。そして、更にキャリアホルダ用フレーム３０の下降が進むと、図７（Ａ）、図８に示すように、基板支持部４３に当接して支持されている基板２の表面２Ａが、スプリング１５による弾性付勢力に抗してクランプレバー１３の押圧部１３Ａを押し上げ、キャリアホルダ用フレーム３０のストッパ部３１とメインフレーム４０のストッパ部４１とが当接したときには、基板支持部４３が基板２を所定位置（加工基準位置）に所定押圧力で支持するようになる。このとき、図７（Ａ）、図８に示すように、前記基板テーブル４２は、基板用キャリア１の下面１Ｂを、キャリアホルダ１０の支持部１２の支持面１２Ｂから離間させた状態で支持している。
【００４２】
なお、符号４４は位置決め用ノックピンであり、符号１Ｎは基板用キャリア１の所望の位置に開口される位置決め用ノック穴である。また、符号４５は、基板支持部４３上において基板２の下面２Ｂを真空吸着するための真空通路である。符号４６は、基板テーブル４２をメインフレーム４０に固定するための通しボルト等の締結手段である。
【００４３】
このように、本実施形態では、基板用キャリア１の収容部４により収容支持されていた基板２を、実装時においては、高精度な基準高さ（加工基準位置）を有する基板支持部４３が支持するようにしたので、高さ方向における基板２の位置決めを高精度に行なわせることができると共に、クランプレバー１３の押圧部１３Ａにより基板２を上面２Ａ側から基板支持部４３へ向けて押圧するようにしたので、実装時等において基板２が基板支持部４３から浮き上ってしまうことを確実に防止できるので、実装処理の高精度化を促進することができる。
【００４４】
なお、本実施形態においては、基板支持部４３により支持された基板２をクランプレバー１３が押圧するときに、基板２の上面２Ａ側から基板支持部４３に向かう下向きの力が基板２に確実に作用すると共に、基板２の中心に向かう力の成分が基板２の各側面２Ｃ、２Ｄ側から確実に作用するように（図７（Ｂ）参照）、クランプレバー１３の回動支点（回動中心）は、図７（Ａ）に示されるように、基板支持部４３により支持された基板２がクランプレバー１３によりクランプされるときのクランプ位置（基板２とクランプレバー１３との当接位置）より下側に位置するように配設してある。これにより、実装時の振動等により生じる惧れのある基板２の浮き上がりや位置ズレ等を一層確実に防止することが可能となる。
【００４５】
また、図８に示すように、基板支持部４３により支持された基板２をクランプレバー１３がクランプするときに、基板２の中心に向かう力の成分が、基板２の各側面２Ｃ、２Ｄ側から作用するように、クランプレバー１３の押圧部１３Ａの押圧面１３Ｂをハの字状に形成することができる。かかる構成とすれば、実装時の振動等により生じる惧れのある位置ズレ等をより一層確実に防止することが可能となる。
【００４６】
なお、本実施形態における一対のクランプレバー１３のうちの一方は、本発明に係る移動規制部として機能することにもなる。
【００４７】
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。
第２の実施の形態は、第１の実施の形態で説明したものに対して、装置の小型化を促進した一例である。第１の実施の形態では、クランプレバー１３を、図３平面と略平行に配設するものであるため、図３に示す幅方向Ａにおいて比較的大きなスペースを必要とする。このため、基板２を、図３平面と略平行な平面において搬送方向と略平行に複数列収容した基板用キャリア１を用いるような場合には装置が大型化すると言う問題がある。
【００４８】
そこで、第２の実施の形態では、以下のように構成する。
第２の実施形態では、図９、図１０に示すような基板用キャリア１０１が用いられる。
本実施形態に係る基板用キャリア１０１は、第１の実施の形態において説明したと同様の比較的小さな基板２を収容可能な収容部１０４を有する所定サイズの板状部材１０３で構成される。なお、図９では、単一の収容部１０４を備えたキャリアを例示しているが、図１０に示すように、基板用キャリア１０１は収容部１０４を複数備えることができるものである。また、収容部１０４は、図１０の平面においてＤ方向にも、複数列設けることもできるものである。
【００４９】
前記収容部１０４は、図９（Ａ）に示すように、収容する基板２の実装処理などの各種の処理が行なわれる面（被処理面）の裏面を支持する構成であるが、
板状部材１０３の表面１０３Ａに略直交する方向に板状部材１０３を貫通して形成される開口であって、収容する基板２の奥行き方向（Ｄ方向）における寸法（Ｄ寸法）より所定量大きなＤ３寸法を有する一方、収容する基板２の幅方向（Ｗ方向）における寸法（Ｗ寸法）より所定量小さなＷ３寸法を有する開口部１０５と、
該開口部１０５のＷ方向において該開口部１０５の開口に臨んで配設される一対の相対面する窪みであって、基板２のＷ方向端部２Ａ，２Ｂを各々収容し、基板２の収容部１０４への挿入方向と対向する方向から基板２を支持する窪み部１０６Ａ，１０６Ｂと、
を含んで構成される。
【００５０】
なお、前記開口部１０５のＤ３寸法やＷ３寸法は、例えば、基板用キャリア１０１（窪み部１０６Ａ，１０６Ｂ）への基板２の搬入・搬出・固定等に要するスペース（例えば、搬入・搬出アーム等の挿入スペースの確保）や、後述するクランプレバー１２１やストッパ部１１４等を収容可能なスペース等が考慮されて決定される。
【００５１】
前記窪み部１０６Ａ，１０６Ｂは、該窪み部１０６Ａ，１０６Ｂに収容され支持される基板２を板状部材１０３との相対位置関係を所定に維持できるようなＷ４，Ｄ４寸法及び厚さ方向Ｔ４寸法（板状部材１０３の表面１０３Ａからの深さ）をもって形成される（図９参照）。即ち、基板２を収容した基板用キャリア１０１のハンドル時（装置への搬入・搬出・実装時など）において、基板２が脱落等することのない良好なハンドル特性を達成できるサイズで、窪み部１０６Ａ，１０６Ｂは形成される。
【００５２】
次に、第２の実施の形態に係るキャリアホルダ１１０について、図１１〜図１５に基づいて説明する。
【００５３】
本実施の形態に係るキャリアホルダ１１０は、移動可能として基板用キャリア１０１のハンドル時などに用いることもできるが、例えば、ボンディングステージ等の実装時などにおいて、基板用キャリア１０１延いては基板２の位置決め等を達成するために実装装置等に固定して利用されることもできる。
【００５４】
図１１、図１４（Ａ）に示すように、キャリアホルダ１１０には、当該図１１において２点鎖線で示される基板用キャリア１０１を載置して支持するキャリア支持部１１２を有するベース部１１１を含むと共に、前記キャリア支持部１１２の支持面１１２Ａから該キャリア支持部１１２に支持される基板用キャリア１０１側に所定量突出して設けられる基板支持部１１３が備えられる。なお、図１１の符号１１１Ａ、１１１Ｂは、基板用キャリア１０１のキャリアホルダ１１０に対する位置決めを行なう位置決め部材である。
【００５５】
ここで、図１３、図１４（Ａ）に示すように、本実施の形態においては、基板２を収容した基板用キャリア１０１を、キャリアホルダ１１０のキャリア支持部１１２に支持させる際、基板用キャリア１０１の下面１０１Ｂがキャリア支持部１１２のキャリア支持面１１２Ａに着座する前に、基板用キャリア１０１に収容保持されている基板２は基板支持部１１３の基板支持面１１３Ａに当接することとなるため、基板用キャリア１０１がキャリア支持部１１２に完全に支持されたときには、基板２はＴ方向において基板用キャリア１０１から離れ、加工基準面として精確に形成されている基板支持面１１３Ａに載置され支持されることになる。
【００５６】
即ち、当該基板用キャリア１０１及びキャリアホルダ１１０を用いれば、基板用キャリア１０１の精度（反りや厚さのバラツキ）等の影響を受けることなく水平度を高精度に維持することができ、以て基板２の高さ方向（Ｔ方向）における高精度な位置決めが可能となる。
【００５７】
なお、図１３、図１４（Ａ）に示したように、基板用キャリア１０１がキャリアホルダ１１０に完全に収容され基板２が基板支持部１１３によって支持されたときでも、基板２の下面が、基板用キャリア１の上面１Ａから突き出ることがないような位置関係に各寸法が設定されることが好ましい。これにより、例えば実装終了後などにおいて、基板用キャリア１０１をキャリアホルダ１１０から脱退させる際に、基板２が収容部１０４の内側壁によって良好にガイドされ、基板２の基板用キャリア１０１の収容部１０４への再収容が円滑に行われることになる。
【００５８】
ところで、図１１、図１３、図１４（Ａ）に示したように、基板２が安定して基板支持面１１３Ａに支持され得るように、基板２の下面を基板支持面１１３Ａ側に吸着するための真空吸着手段を含むことができ、例えば、吸着／解放切り替え可能な切替弁（図示せず）等を介して真空ポンプ（図示せず）等に連通される真空吸着通路１１３Ｂを基板支持面１１３Ａに開口させることができる。
【００５９】
更に、本実施の形態に係るキャリアホルダ１１０には、基板支持面１１３Ａに載置された基板２を、位置決めするための基板ロック装置１２０が設けられている。
【００６０】
該基板ロック装置１２０は、図１３、図１４（Ａ）等に示すように、基板２に当接して押圧する本発明に係る押圧部材であるクランプレバー１２１と、該クランプレバー１２１を回動自在に支持すると共にベース部１１１に固定される回動支点１２２と、前記回動支点１２２を回動中心として前記クランプレバー１２１を図１３において時計回転方向に回動付勢するためのスプリング１２３（本発明に係る弾性部材に相当する）と、該スプリング１２３を支持するためにベース部１１１に設けられるバネ受け部１２４と、を含んで構成される。なお、前記スプリング１２３は、棒バネ、板バネ、流体バネなどの各種の弾性部材を利用することができる。
【００６１】
更に、前記クランプレバー１２１に作用してスプリング１２３の弾性付勢力に抗して図１３において反時計回転方向に当該クランプレバー１２１を回動させて基板２との接触を絶たせることが可能なクランプピン１２５と、該クランプピン１２５に連結されるクランプシャフト１２６と、該クランプシャフト１２６延いては前記クランプピン１２５を図１３において右方向に弾性付勢可能に前記クランプシャフト１２６とベース部１１１との間に介装されるスプリング１２７と、前記クランプシャフト１２６に作用して前記スプリング１２７の弾性力に抗して前記クランプシャフト１２６を図１３において左方向に移動させることが可能なレバー１２８と、を含んで構成される。なお、クランプシャフト１２６、スプリング１２７、回動支点１２２、クランプピン１２５等は、図１１、図１２等に示すように、隣接する一対のクランプレバー１２１の間に設けられ、各クランプレバー１２６を操作することで、一対のクランプレバー１２１を同時に操作することができるようになっている。
【００６２】
前記レバー１２８は、ブラッケット１３１を介して支持される回動支点１２９廻りに回動可能に構成され、図１３において反時計回転方向に回動されることで、ストッパピン１３０を介して前記クランプシャフト１２６延いてはクランプピン１２５を前記スプリング１２７の弾性力に抗して図１３において左方に移動させ、これによってクランプピン１２５がスプリング１２３の弾性力に抗して図１３において反時計回転方向にクランプレバー１２１を回動させて基板２との接触を絶ちクランプレバー１２１による基板２のクランプを解除することになる。
【００６３】
逆に、前記レバー１２８の図１３における反時計回転方向への回動力Ｆを解放すると、スプリング１２３、スプリング１２７の復元力により、前記ストッパピン１３０、クランプピン１２５及びクランプシャフト１２６が図１３において右方向に移動され、その結果前記クランプレバー１２１が回動支点１２２を中心に図１３において時計回転方向に回動されてクランプレバー１２１による基板２のクランプが行なわれることになる。なお、図１３では、このクランプレバー１２１による基板２のクランプが行なわれている状態が示されている。
ここで、本実施形態では、図１４（Ｂ）に示すように、クランプレバー１２１のクランプ面１２１Ａと基板２との当接部を通る図１４（Ｂ）において垂直な線と、前記クランプ面１２１Ａと、が所定角度θをもって交差するように構成されている。
【００６４】
これにより、クランプレバー１２１により基板２をクランプする際には、図１４（Ｂ）において上方から基板支持部１１３側に向かう下向きの力が基板２に作用すると共に、ストッパ部１１４側に向かう力の成分が基板２に作用するようになる。このため、実装時の振動等により生じる惧れのある基板２の浮き上がりや位置ズレ等を確実に防止することが可能となる。なお、前記ストッパ部１１４が、本発明に係る移動規制部に相当する。
【００６５】
ところで、図１５に示すように、ストッパー部１１４もθ２の傾斜角をもつように構成すれば、浮き上がりを一層確実に防止することができる。
【００６６】
このように、第２の実施の形態によれば、クランプレバー１２１により基板２をクランプする際に、基板支持部１１３側に基板２を押圧する力と、ストッパ部１１４側に基板２を押圧する力と、を基板２に作用させることができるようにしたので、実装時の振動等により生じる惧れのある基板２の浮き上がりや位置ズレ等を確実に防止することが可能となり、実装処理などの処理精度を向上させることができる。
【００６７】
また、第２の実施の形態では、クランプレバー１２１を基板用キャリア１０１の上面と略直交する方向に配設するようにしたので、第１の実施の形態のように、クランプレバー１３を基板用キャリア１の上面と略平行な方向に配設するものに比べ、大幅に図１０に示すＤ方向における必要スペースを小さくすることができる。このため、図１０のＤ方向に基板２を複数列収容した基板用キャリア１０１を用いるような場合でも省スペース化を促進することができることになる。
【００６８】
続けて、本発明の第３の実施の形態について説明する。
第１の実施の形態では、キャリア搬送方向に一列に複数並べられた基板２を挟んで両側に相対向して一対のクランプレバー２１３を配設し、該基板２の両側に配設されたクランプレバー１３を用いて、基板２を位置決め支持する構成例について説明したが、かかる第１の実施の形態のものでは、キャリア搬送方向と並行に二列に基板２を複数並べようとした場合、多くのスペースが必要となり、装置の大型化等を招く惧れがある。
【００６９】
第３の実施の形態は、装置の大型化を極力抑制しつつ、キャリア搬送方向と並行に二列に基板２を複数並べることができるようにした構成例に関する。
【００７０】
なお、第１の実施の形態において説明したと同様の要素については、同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００７１】
第３の実施の形態に係る基板用キャリア２０１は、図１６、図１７に示すように、基板２を収容可能な収容部２０４がキャリア搬送方向と並行に二列に複数並べて配設される所定サイズの板状部材２０３を含んで構成される。なお、板状部材２０３は、一例に過ぎず、図示した形状に限定されるものではなく、板状形状に限定されるものでもない。
【００７２】
前記収容部２０４は、収容する基板２の実装処理などの各種の処理が行なわれる面（被処理面）の裏面を支持するが、板状部材２０３の表面２０３Ａに略直交する方向に板状部材２０３を貫通して形成される開口であって、収容する基板２の奥行き方向（Ｄ方向）における寸法（Ｄ寸法）より所定量大きなＤ１寸法と、収容する基板２の幅方向（Ｗ方向）における寸法（Ｗ寸法）より所定量大きなＷ１寸法を有する開口部２０５と、開口部２０５に挿入される基板２の下面を支持可能な大きさに開口される開口部２０６と、を含んで構成される。
【００７３】
なお、第１の実施の形態と同様に、前記開口部２０５、２０６の各部寸法は、良好なハンドル特性を達成できるサイズで形成される。
【００７４】
前記基板用キャリア２０１を支持するキャリアホルダ２１０は、第１の実施の形態と同様に、移動可能として基板用キャリア２０１のハンドル時などに用いることもできるが、例えば、図１７〜図１９に示すように、ボンディングステージ等の実装時などにおいて、基板用キャリア２０１延いては基板２の位置決め等を達成するために実装装置等に固定して利用されることができる。
【００７５】
キャリアホルダ２１０は、例えば、図１７に示すように、実装装置２６０に固定され、該キャリアホルダ２１０には、図１８、図１９等に示すように、基板用キャリア２０１を収容保持するベース部２１１が設けられ、当該ベース部２１１には基板用キャリア２０１を案内しつつ基板用キャリア２０１の下面（収容される基板２の被処理面の裏面側の面）を支持する支持部２１２が設けられる。
【００７６】
前記支持部２１２は、第１の実施の形態において説明した支持部１２と同様の構造と機能を有するものであり、ここでは説明を省略する。
【００７７】
なお、前記キャリアホルダ２１０には、図１７に示したように、キャリア搬送方向と並行に二列に並んで複数の基板２を配した基板用キャリア２０１が支持されるが、この二列の基板列のうちの一方の基板列に略直交する方向で、かつ、図１７平面に直交する方向から投影したときに他方の基板列と重畳しない方向から、前記一方の基板列の各基板２に対して各一対のクランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙが作用するようにクランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙが配設されており、該一対のクランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙによって、二列に並ぶそれぞれの基板２を位置決め支持する構成となっている。なお、クランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙは、本発明に係る押圧部材に相当する。
【００７８】
より詳細には、クランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙは、図１８、図１９に示すように、キャリアホルダ２１０上に、回動支点２１４Ｘ、２１４Ｙを介して回動可能にそれぞれ取り付けられている。
【００７９】
なお、図１８平面に直交する方向から見て、一の基板２に作用する一対のクランプレバー２１３Ｘと２１３Ｙとは重複しているが、両者の動きが相互に干渉し合わないように、例えば、クランプレバー２１３Ｘ側には、クランプレバー２１３Ｙの少なくとも一部（２１３ＹＡ等）を移動自在に収容するスリット２１３Ｚ(図２０（Ａ）参照)が設けられている。但し、一の基板２に作用する一対のクランプレバー２１３Ｘと２１３Ｙの動きが相互に干渉し合わない構成であれば、かかる構成に限定されるものではない。
【００８０】
また、クランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙの基板２を押圧する側の押圧部２１３ＸＡ、２１３ＹＡの回動支点２１４Ｘ、２１４Ｙを挟んで反対側には、本発明に係る弾性部材として機能するスプリング２１５Ｘ、２１５Ｙがそれぞれ取り付けられており、これによりクランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙには回動支点２１４Ｘ、２１４Ｙを中心とする弾性付勢力が付与され、当該弾性付勢力により、図１８に示すように、クランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙが前記支持部２１２のストッパ部２１２Ｃにそれぞれ押圧付勢されている。なお、前記スプリング２１５Ｘ、２１５Ｙは、棒バネ、板バネ、流体バネなどの各種の弾性部材を利用することができる。
【００８１】
第３の実施の形態に係るキャリアホルダ２１０は、第１の実施の形態で説明したキャリアホルダ１０と同様に機能するものであり、図１８に示す状態から、例えば、第１の実施の形態において説明したと同様の方法で、基板テーブル２４２の基板支持部２４３と、キャリアホルダ２１０と、が相互に接近する方向に相対移動されると、基板支持部２４３と、基板用キャリア２０１の収容部２０４に収容されている基板２の下面２Ｂと、が当接され、更に進むと、図１９に示すように、基板支持部２４３に当接して支持される基板２の上面２Ａが、スプリング２１５Ｘ、２１５Ｙによる弾性付勢力に抗してクランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙの押圧部２１３ＸＡ、２１３ＹＡを押し上げ、基板支持部２４３が基板２を所定位置（加工基準位置）に所定押圧力で支持するようになる。
【００８２】
このとき、図１９に示すように、前記基板テーブル２４２は、基板用キャリア２０１の下面２０１Ｂを、キャリアホルダ２１０の支持部２１２の支持面２１２Ｂから離間させた状態で支持している。なお、符号２４４は位置決め用ノックピンであり、符号２０１Ｎは基板用キャリア２０１の所望の位置に開口される位置決め用ノック穴である。また、符号２４５は、基板支持部２４３上において基板２の下面２Ｂを真空吸着するための真空通路である。
【００８３】
このように、第３の実施の形態においても、基板用キャリア２０１の収容部２０４により収容支持されていた基板２を、実装時においては、高精度な基準高さ（加工基準位置）を有する基板支持部２４３が支持するようにしたので、高さ方向における基板２の位置決めを高精度に行なわせることができると共に、クランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙの押圧部２１３ＸＡ、２１３ＹＡにより基板２を上面２Ａ側から基板支持部２４３へ向けて押圧するようにしたので、実装時等において基板２が基板支持部２４３から浮き上ってしまうことを確実に防止できるので、実装処理の高精度化を促進することができる。
【００８４】
なお、第３の実施の形態においては、基板支持部２４３により支持された基板２をクランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙが押圧するときに、基板２の被処理面である上面２Ａ側から基板支持部２４３に向かう下向き成分の力が基板２に確実に作用すると共に、基板２の中心に向かう力の成分が基板２の各側面２Ｃ、２Ｄ側から確実に作用するように（図２１参照）、クランプレバー２１３Ｘの回動支点２１４Ｘの回動中心は、図１９、図２２等に示されるように、基板支持部２４３により支持された基板２がクランプレバー２１３Ｘによりクランプされるときのクランプ位置（基板２とクランプレバー２１３Ｘの押圧部２１３ＸＡとの当接点）より上側に位置するように配設されると共に、クランプレバー２１３Ｙの回動支点２１４Ｙの回動中心は、図１９、図２２等に示されるように、基板支持部２４３により支持された基板２がクランプレバー２１３Ｙによりクランプされるときのクランプ位置（基板２とクランプレバー２１３Ｙの押圧部２１３ＹＡとの当接点）より下側に位置するように配設されるようになっている。
【００８５】
このように配設すると、図２２に示すように、クランプレバー２１３Ｘの回動支点２１４Ｘの回動中心と、クランプレバー２１３Ｘの押圧部２１３ＸＡと基板２の当接点と、を結ぶ直線に対して直角な方向（接線方向）に押圧力が作用し、クランプレバー２１３Ｙの回動支点２１４Ｙの回動中心と、クランプレバー２１３Ｙの押圧部２１３ＹＡと基板２の当接点と、を結ぶ直線に対して直角な方向（接線方向）に押圧力が作用したときに、当該両押圧力が基板２の中心に向かう方向に作用するので、図２１において説明したように、基板２の上面２Ａ側から図２１において下向きの力を基板２に確実に作用させることができると共に、基板２の中心に向かう力の成分を基板２の各側面２Ｃ、２Ｄ側から確実に作用させることができることになる。
【００８６】
そして、これにより、実装時の振動等により生じる惧れのある基板２の浮き上がりや位置ズレ等を一層確実に防止することが可能となる。
【００８７】
なお、図２０（Ｂ）に示すように、押圧部２１３ＸＡ、２１３ＹＡの押圧面２１３ＸＢ、２１３ＹＢをハの字状に面取りして形成することもできる。このように構成すると、面取りの角度などを調整することで接触点位置を調整でき、以って基板支持部２４３により支持された基板２をクランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙがクランプするときに基板２の中心に向かう力の成分の、合力に対する割合等を最適なものとすることなどが可能となるため、基板２の中心に向かう力の成分実装時の振動等により生じる惧れのある位置ズレ等をより一層確実に防止することなどが可能となる。
【００８８】
ところで、第３の実施の形態における一対のクランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙのうちの一方は、本発明に係る移動規制部として機能することにもなる。
【００８９】
以上のように、第３の実施の形態によれば、一の基板２に作用する一対のクランプレバー２１３Ｘと２１３Ｙとを、キャリア搬送方向と並行な二列の基板列のうちの一方の基板列に略直交する方向で、かつ、図１７平面に直交する方向から投影したときに他方の基板列と重畳しない方向から、当該一方の基板列の各基板２に対して作用させるように構成したので、キャリア搬送方向と並行に二列に基板２を複数並べた場合でも、省スペース化を促進しつつ、良好に基板を位置決め支持することが可能となる。
【００９０】
また、第３の実施の形態においても、基板用キャリア１の収容部４により収容支持されていた基板２を、実装時においては、高精度な基準高さ（加工基準位置）を有する基板支持部２４３が支持するようにしたので、高さ方向における基板２の位置決めを高精度に行なわせることができると共に、クランプレバー２１３Ｘ、２１３Ｙの押圧部２１３ＸＡ、２１３ＹＡにより基板２を上面２Ａ側から基板支持部２４３へ向けて押圧するようにしたので、実装時等において基板２が基板支持部２４３から浮き上ってしまうことを確実に防止できるので、実装処理の高精度化を促進することができる。
【００９１】
更に、第３の実施の形態においては、クランプレバー２１３Ｘの回動支点２１４Ｘの回動中心と、クランプレバー２１３Ｘの押圧部２１３ＸＡと基板２の接触点と、を結ぶ直線に対して直角な方向（接線方向）に押圧力が作用し、クランプレバー２１３Ｙの回動支点２１４Ｙの回動中心と、クランプレバー２１３Ｙの押圧部２１３ＹＡと基板２の接触点と、を結ぶ直線に対して直角な方向（接線方向）に押圧力が作用したときに、当該両押圧力が基板の両側から基板２の中心に向かう方向に作用するように構成したので、基板２の上面２Ａ側から図２１において下向きの力を基板２に確実に作用させることができると共に、基板２の中心に向かう力の成分を基板２の各側面から確実に作用させることができることになる。
【００９２】
これにより、実装時の振動等により生じる惧れのある基板２の浮き上がりや位置ズレ等を一層確実に防止することが可能となる。
【００９３】
ところで、第１、第２、第３の実施の形態において、基板２を基板支持部４３、１１３或いは２４３を介して直接加熱できるように、キャリアホルダ１０、１１０或いは２１０は、基板支持部４３、１１３或いは２４３を効果的に加熱することができる電熱ヒータ等の加熱手段を含んで構成することができる。また、例えば、良好な温度特性を実現するために、温度センサ（熱電対）等を基板支持部４３、１１３或いは２４３等に設け、該検出温度結果に応じて加熱手段の加熱量をフィードバック制御等することもできるものである。なお、同様の考えから、ストッパ部１１４を介して基板２を加熱する側面加熱手段を含むことも可能である。
【００９４】
このように、基板用キャリア１、１０１或いは２０１を加熱して基板２を間接的に加熱するのではなく、基板２を基板支持部４３、１１３或いは２４３を介して直接加熱するようにすれば、基板用キャリア１、１０１或いは２０１を加熱して基板２を間接的に加熱する場合に比べ、基板用キャリア１、１０１或いは２０１の温度による変形や反り等を極力抑制することができるため、基板２の製造品質を高精度化することが可能となる。また、基板との接触面積が小さい基板用キャリア１、１０１或いは２０１を介して加熱するのではなく、比較的接触面の大きな基板支持部４３、１１３或いは２４３を介して基板２を加熱するので、加熱効率が向上し、以て安定したボンディング品質の提供と少ない電力消費とを達成することが可能となる。
【００９５】
ところで、本発明のように、クランプレバーと弾性部材との組み合わせで基板を押圧する場合には、以下のような利点がある。
【００９６】
（１）弾性部材としてコイルバネを用いることができるため、比較的大きくストロークさせた状態で押圧力を作用させることができるので（クランプレバーを介して基板に作用される押圧力は、〔バネ定数〕×〔ストローク〕×〔ストローク比〕で表される）、同じ押圧力を作用させる場合には、例えばストロークの短い板バネなどを用いる場合に比べて、バネ定数の小さなものを用いることが容易となる。
【００９７】
このため、比較的簡単な構成でありながら、ストローク変化Δｓに対する荷重変化Δｆを小さくできるので、各種寸法ばらつきや基板の品種変更等による基板の被処理面の高さ変化に対する許容度を高くできるため、条件出しが容易となる。
【００９８】
また、押圧力の設定パラメータが複数あるので、クランプレバー及びスプリングの選択自由度が高いことも特徴となる。
【００９９】
加えて、初期状態で予圧を掛けることができるので、最適な押圧力にセットするのが可能でその調整も容易である。なお、例えば、クランプレバーとスプリングとの間やスプリングとベース部との間に調整用シムを介在させたり、或いはクランプレバーとスプリングの当接位置（或いはスプリングとベース部の当接位置）を調整可能な調整用ボルト等を、クランプレバーとスプリングの間（或いはスプリングとベース部）間に介在させたりすることもできる。
【０１００】
（２）製品を押える部品（クランプレバー）の特性を任意に選択することができる。
例えば、クランプレバーの基板との当接部の摩耗を防止するなどのために、硬質材料（焼き入れ品、超硬等）を用いることができ、或いは当接部に焼き入れや表面処理（ＴｉＮ、ＤＬＣ等）などの改質処理を行なうことができる。
【０１０１】
また、基板のキズ防止等のために、低摩擦材料（テフロン（登録商標）等）や表面処理（テフロン（登録商標）コート等）を任意に施すことができる。
【０１０２】
ところで、上記各実施の形態では、基板２の被処理面が略水平となるように配設して説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、基板２の非処理面を略垂直に或いは重力方向に対して斜めに配設した場合にも適用できるものである。
【０１０３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、実装処理の際などに、基板を基板支持部側に押圧する下向きの力と、基板を横方向に押圧する力と、を基板に対して作用させることができるようにしたので、実装時の振動等により生じる惧れのある基板の浮き上がりや位置ズレ等を確実に防止することができ、実装処理などの処理精度を向上させることができる。従って、簡単な構成としながら、容易なハンドリングと良好な位置決めを達成でき、以って生産効率の向上と品質の安定化を促進できる個片基板の支持装置及び支持方法を提供することができる。
【０１０４】
また、押圧部材を基板用キャリアの上面と略直交する方向に配設するようにすれば、省スペース化を促進することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）は、本発明の第１の実施の形態に係る基板用キャリアの平面図である。（Ｂ）は、（Ａ）の側面図であり、（Ｃ）は収容部４の拡大断面図である。
【図２】同上実施の形態に係る実装装置をキャリア搬送方向と略直交する方向から見た図である（非クランプ時）。
【図３】同上実施の形態に係るキャリアホルダ及び実装装置の一部を示す平面図である。
【図４】同上実施の形態に係る搬送アーム及びキャリアホルダをキャリア搬送方向と略直交する方向から見た図である（非クランプ時）。
【図５】同上実施の形態に係る実装装置をキャリア搬送方向と略直交する方向から見た図である（クランプ時）。
【図６】同上実施の形態に係るキャリアホルダをキャリア搬送方向と略直交する方向から見た図である（非クランプ時）。
【図７】（Ａ）は、同上実施の形態に係るキャリアホルダをキャリア搬送方向と略直交する方向から見た図である（クランプ時）。（Ｂ）は、基板に作用する力の成分を説明する図である。
【図８】同上実施の形態に係るキャリアホルダをキャリア搬送方向と略直交する方向から見た拡大図である（クランプ時）。
【図９】（Ａ）は、本発明の第２の実施の形態に係る基板用キャリアの平面図である。（Ｂ）は、（Ａ）の側面図である。
【図１０】同上実施の形態に係る基板用キャリアの平面図である。
【図１１】同上実施の形態に係るキャリアホルダの一部を示す平面図である。
【図１２】同上実施の形態に係るキャリアホルダの側面図である。
【図１３】同上実施の形態に係るキャリアホルダをキャリア搬送方向と略直交する方向から見た図である（クランプ時）。
【図１４】（Ａ）は、同上実施の形態に係るキャリアホルダをキャリア搬送方向と略直交する方向から見た拡大断面図である。（Ｂ）は、基板に作用する力の成分を説明する図である。
【図１５】同上実施の形態に係るキャリアホルダの他の一例をキャリア搬送方向と略直交する方向から見た拡大断面図である。
【図１６】（Ａ）は、本発明の第３の実施の形態に係る基板用キャリアの平面図である。（Ｂ）は、（Ａ）の側面図である
【図１７】同上実施の形態に係るキャリアホルダ及び実装装置の一部を示す平面図である。
【図１８】同上実施の形態に係るキャリアホルダをキャリア搬送方向と略直交する方向から見た図である（非クランプ時）。
【図１９】同上実施の形態に係るキャリアホルダをキャリア搬送方向と略直交する方向から見た図である（クランプ時）。
【図２０】（Ａ）は、同上実施の形態に係る一対のクランプレバーの一部を上方から見た図である。（Ｂ）は、同上の一対のクランプレバーを採用した場合における実装ノズルの基板被処理面へのアクセス状態を示す図。
【図２１】同上実施の形態に係る一対のクランプレバーの押圧力により基板に作用される力の成分を説明する図である。
【図２２】同上実施の形態に係る一対のクランプレバーの押圧力の作用方向を説明する図である。
【符号の説明】
１ 基板用キャリア
２ 基板
４ 収容部
１０ キャリアホルダ
１３ クランプレバー（押圧部材及び移動規制部として機能する）
１４ 回動支点
１５ スプリング（弾性部材）
４３ 基板支持部
６０ 実装装置
１０１ 基板用キャリア
１１０ キャリアホルダ
１１３ 基板支持部
１１４ 移動規制部
１２２ 回動支点
１２３ スプリング（弾性部材）
２０１ 基板用キャリア
２０４ 収容部
２１０ キャリアホルダ
２１３Ｘ、Ｙ クランプレバー（押圧部材及び移動規制部として機能する）
２１４Ｘ、Ｙ 回動支点
２１５Ｘ、Ｙ スプリング（弾性部材）
２４３ 基板支持部
２６０ 実装装置
Claims (12)
- 基板の被処理面の裏面を支持する基板支持部と、
基板の横方向への移動を規制する移動規制部と、
回動支点廻りに回動可能に構成され、前記基板支持部が支持する基板と当接可能な端部を有する押圧部材と、
前記押圧部材に作用して、前記押圧部材の端部に前記回動支点廻りの弾性付勢力を付与する弾性部材と、
を含んで構成され、
前記押圧部材の端部を基板に当接させ、該端部に付与される弾性付勢力により、前記基板支持部が支持する基板の裏面を前記基板支持部の支持面に押圧すると共に、基板を前記移動規制部に押圧する一方、
前記移動規制部が、当該基板と当接し、別の弾性部材により前記押圧部材の端部と該基板との接触部方向に該基板を押圧するように作用すると共に、該基板の裏面を前記基板支持部の支持面に押圧するように作用することを特徴とする基板支持装置。 - 前記移動規制部に作用する別の弾性部材と前記押圧部材に作用する弾性部材とは、基板を挟んで反対側に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板支持装置。
- 前記押圧部材の回動平面に平行な面上において、前記押圧部材の回動支点の中心と、前記押圧部材の端部と基板との当接点と、を結ぶ直線に直交する方向に作用する基板に対する前記押圧部材の押圧力が、基板を前記基板支持部の支持面に押圧する方向の成分と、基板を前記移動規制部側に押圧する方向の成分と、を持つことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の基板支持装置。
- 前記押圧部材の端部と基板との当接点が、基板の中心に関して水平方向において前記押圧部材の回動支点側に位置する場合には、前記押圧部材の回動支点の中心は前記当接点より下方に位置することを特徴とする請求項３に記載の基板支持装置。
- 前記押圧部材の端部と基板との当接点が、基板の中心に関して水平方向において前記押圧部材の回動支点とは反対側に位置する場合には、前記押圧部材の回動支点の中心は前記当接点より上方に位置することを特徴とする請求項３に記載の基板支持装置。
- １又は複数の基板を収容可能な基板用キャリアを保持可能に構成され、該基板用キャリアが当該基板支持装置に保持されたときに、前記基板用キャリアが収容していた基板が前記基板支持部に支持されるように構成されたことを特徴とする請求項１から請求項５の何れか１に記載の基板支持装置。
- 基板の被処理面の裏面を支持する基板支持部と、
基板の横方向への移動を規制する移動規制部と、
回動支点廻りに回動可能に構成され、前記基板支持部が支持する基板と当接可能な端部を有する押圧部材と、
前記押圧部材に作用して、前記押圧部材の端部に前記回動支点廻りの弾性付勢力を付与する弾性部材と、
を含んで構成され、
前記押圧部材の端部を基板に当接させ、該端部に付与される弾性付勢力により、前記基板支持部が支持する基板の裏面を前記基板支持部の支持面に押圧すると共に、基板を前記移動規制部に押圧する一方、
前記移動規制部が、当該基板と当接し、別の弾性部材により前記押圧部材の端部と該基板との接触部方向に該基板を押圧するように作用すると共に、該基板の裏面を前記基板支持部の支持面に押圧するように作用する基板支持装置を備え、
該基板支持装置に支持された基板に対して所定の処理を行なう基板処理装置。 - 前記移動規制部に作用する別の弾性部材と前記押圧部材に作用する弾性部材とは、基板を挟んで反対側に設けられていることを特徴とする請求項７に記載の基板処理装置。
- 前記押圧部材の回動平面に平行な面上において、前記押圧部材の回動支点の中心と、前記押圧部材の端部と基板との当接点と、を結ぶ直線に直交する方向に作用する基板に対する前記押圧部材の押圧力が、基板を前記基板支持部の支持面に押圧する方向の成分と、基板を前記移動規制部側に押圧する方向の成分と、を持つことを特徴とする請求項７又は請求項８に記載の基板処理装置。
- 前記押圧部材の端部と基板との当接点が、基板の中心に関して水平方向において前記押圧部材の回動支点側に位置する場合には、前記押圧部材の回動支点の中心は前記当接点より下方に位置することを特徴とする請求項９に記載の基板処理装置。
- 前記押圧部材の端部と基板との当接点が、基板の中心に関して水平方向において前記押圧部材の回動支点とは反対側に位置する場合には、前記押圧部材の回動支点の中心は前記当接点より上方に位置することを特徴とする請求項９に記載の基板処理装置。
- 前記基板支持装置が、１又は複数の基板を収容可能な基板用キャリアを保持可能に構成され、該基板用キャリアが当該基板支持装置に保持されたときに、前記基板用キャリアが収容していた基板が前記基板支持部に支持されるように構成されたことを特徴とする請求項７から請求項１１の何れか１に記載の基板処理装置。
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