JPH11158350A - エポキシ樹脂組成物、これを用いたぺースト状組成物およびこれを用いて製造される半導体装置 - Google Patents
エポキシ樹脂組成物、これを用いたぺースト状組成物およびこれを用いて製造される半導体装置Info
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- JPH11158350A JPH11158350A JP28417897A JP28417897A JPH11158350A JP H11158350 A JPH11158350 A JP H11158350A JP 28417897 A JP28417897 A JP 28417897A JP 28417897 A JP28417897 A JP 28417897A JP H11158350 A JPH11158350 A JP H11158350A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 低粘度で常温での粘度安定性に優れ、１５０
℃程度の低温で硬化することが出来るエポキシ樹脂組成
物、低粘度で常温での粘度安定性に優れ、１５０℃程度
の低温で硬化することができるペースト状組成物及びダ
イシェア強度の優れた半導体装置を提供する。 【解決手段】 ａ）エポキシ樹脂１００重量部、ｂ）５
ないし７員環構造を有するラクトン化合物５〜４０重量
部、ｃ）硬化触媒１〜１０重量部を含有してなるエポキ
シ樹脂組成物、この樹脂組成物に、さらにフィラーを含
有させてなるぺースト状組成物及びこのぺースト状組成
物を用いて製造される半導体装置。
℃程度の低温で硬化することが出来るエポキシ樹脂組成
物、低粘度で常温での粘度安定性に優れ、１５０℃程度
の低温で硬化することができるペースト状組成物及びダ
イシェア強度の優れた半導体装置を提供する。 【解決手段】 ａ）エポキシ樹脂１００重量部、ｂ）５
ないし７員環構造を有するラクトン化合物５〜４０重量
部、ｃ）硬化触媒１〜１０重量部を含有してなるエポキ
シ樹脂組成物、この樹脂組成物に、さらにフィラーを含
有させてなるぺースト状組成物及びこのぺースト状組成
物を用いて製造される半導体装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、低粘度で作業性に
優れ、高い貯蔵安定性と低温での硬化性を合わせ持った
エポキシ樹脂組成物ならびにこれを用いたぺースト状組
成物およびこのぺースト状組成物を用いて製造される半
導体装置に関する。
優れ、高い貯蔵安定性と低温での硬化性を合わせ持った
エポキシ樹脂組成物ならびにこれを用いたぺースト状組
成物およびこのぺースト状組成物を用いて製造される半
導体装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、エポキシ樹脂の硬化剤としては、
常温で固体あるいは、高粘度の液状であるフェノールノ
ボラック樹脂、芳香族アミン、ポリアミンポリアミド、
ジシアンジアミド等が用いられてきた。これらの硬化剤
を配合したエポキシ樹脂組成物は、粘度が高く作業性を
損なうため、溶剤、反応性希釈剤による粘度調整が行わ
れていた。しかし、これらの添加は、硬化時の揮発分の
増加、硬化物の架橋密度の低下による硬化性の低下、硬
化物物性の低下などの問題を伴っていた。
常温で固体あるいは、高粘度の液状であるフェノールノ
ボラック樹脂、芳香族アミン、ポリアミンポリアミド、
ジシアンジアミド等が用いられてきた。これらの硬化剤
を配合したエポキシ樹脂組成物は、粘度が高く作業性を
損なうため、溶剤、反応性希釈剤による粘度調整が行わ
れていた。しかし、これらの添加は、硬化時の揮発分の
増加、硬化物の架橋密度の低下による硬化性の低下、硬
化物物性の低下などの問題を伴っていた。
【０００３】一方、上記エポキシ樹脂組成物に配合され
る硬化促進剤として４級ホスホニウム塩類、イミダゾー
ル類、３級アミン等が用いられてきたが、これらのうち
貯蔵安定性と、低温での硬化性を両立させうるものは極
少ない。貯蔵安定性に優れる硬化剤、硬化促進剤、触媒
等は一般に常温で固体であり硬化温度において溶解し硬
化性を発現するものであり常温での作業性を損なうもの
である。
る硬化促進剤として４級ホスホニウム塩類、イミダゾー
ル類、３級アミン等が用いられてきたが、これらのうち
貯蔵安定性と、低温での硬化性を両立させうるものは極
少ない。貯蔵安定性に優れる硬化剤、硬化促進剤、触媒
等は一般に常温で固体であり硬化温度において溶解し硬
化性を発現するものであり常温での作業性を損なうもの
である。
【０００４】半導体装置の製造に用いられるダイボンデ
ィング用のぺースト状組成物は、製造工程上一液で常温
での長時間の粘度安定性と低温での硬化性が要求され
る。また、近年、銅フレームが使用されることが多くな
ってきたが、この場合ぺースト状組成物には、１５０℃
程度での硬化性が要求されている。また、半導体装置の
製造工程の高速化に伴い、ぺースト状組成物としては高
せん断速度下で低粘度のものの要求が高まっている。高
せん断速度下でのぺースト粘度は、用いられる樹脂組成
物の粘度が顕著に反映され従来より低粘度で硬化性の優
れた樹脂組成物が必要とされている。
ィング用のぺースト状組成物は、製造工程上一液で常温
での長時間の粘度安定性と低温での硬化性が要求され
る。また、近年、銅フレームが使用されることが多くな
ってきたが、この場合ぺースト状組成物には、１５０℃
程度での硬化性が要求されている。また、半導体装置の
製造工程の高速化に伴い、ぺースト状組成物としては高
せん断速度下で低粘度のものの要求が高まっている。高
せん断速度下でのぺースト粘度は、用いられる樹脂組成
物の粘度が顕著に反映され従来より低粘度で硬化性の優
れた樹脂組成物が必要とされている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】請求項１における発明
は、低粘度で常温での粘度安定性に優れ、１５０℃程度
の低温で硬化することが出来るエポキシ樹脂組成物を提
供するものである。請求項２における発明は、低粘度で
常温での粘度安定性に優れ、１５０℃程度の低温で硬化
することができるペースト状組成物を提供するものであ
る。請求項３における発明は、ダイシェア強度の優れた
半導体装置を提供するものである。
は、低粘度で常温での粘度安定性に優れ、１５０℃程度
の低温で硬化することが出来るエポキシ樹脂組成物を提
供するものである。請求項２における発明は、低粘度で
常温での粘度安定性に優れ、１５０℃程度の低温で硬化
することができるペースト状組成物を提供するものであ
る。請求項３における発明は、ダイシェア強度の優れた
半導体装置を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、ａ）エポキシ
樹脂１００重量部、ｂ）５ないし７員環構造を有するラ
クトン化合物５〜４０重量部、ｃ）硬化触媒１〜１０重
量部を含有してなるエポキシ樹脂組成物に関する。ま
た、本発明は、前記樹脂組成物に、さらにフィラーを含
有させてなるぺースト状組成物に関する。また、本発明
は、前記ぺースト状組成物を用いて製造される半導体装
置に関する。
樹脂１００重量部、ｂ）５ないし７員環構造を有するラ
クトン化合物５〜４０重量部、ｃ）硬化触媒１〜１０重
量部を含有してなるエポキシ樹脂組成物に関する。ま
た、本発明は、前記樹脂組成物に、さらにフィラーを含
有させてなるぺースト状組成物に関する。また、本発明
は、前記ぺースト状組成物を用いて製造される半導体装
置に関する。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明において用いられるエポキ
シ樹脂としては、１分子中に２個以上のエポキシ基を有
する化合物であれば特に制限はないが、例えばフェノー
ルノボラック型エポキシ樹脂〔ＹＤＰＮ−６３８Ｐ（東
都化成(株)商品名）、Ｎ−７３０Ｓ（大日本インキ化学
工業(株)商品名）、Quatrex−２０１０（ダウ・ケミカ
ル社商品名）〕、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂
〔ＹＤＣＮ−７０２（東都化成工業(株)商品名）、ＥＯ
ＣＮ−１００（日本化薬(株)商品名）〕、ビスフェノー
ルＡ型エポキシ樹脂〔ＡＥＲ−Ｘ８５０１（旭化成工業
(株)商品名）、エピコート８２８、エピコート８３４、
ＹＬ−９８０（これらはいずれも油化シェルエポキシ
(株)商品名）〕、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂〔Ｙ
ＤＦ−１７０（東都化成(株)商品名）〕、ビスフェノー
ルＡＤ型エポキシ樹脂〔Ｒ−１７１０（三井石油化学工
業(株)商品名）〕、多官能エポキシ樹脂〔ＥＰＰＮ−５
０１（日本化薬(株)商品名）、ＴＡＣＴＩＸ−７４２
（ダウ・ケミカル社商品名）、ＶＧ−３０１０（三井石
油化学工業(株)商品名）、１０３２Ｓ（油化シェルエポ
キシ(株)商品名）〕、ナフタレン骨格を有するエポキシ
樹脂〔ＨＰ−４０３２（大日本インキ化学工業(株)商品
名）〕、脂環式エポキシ樹脂〔ＥＨＰＥ−３１５０（ダ
イセル化学工業(株)商品名）〕、アミン型エポキシ樹脂
〔ＥＬＭ−１００（住友化学工業(株)商品名）、ＹＨ−
４３４Ｌ（東都化成(株)商品名）〕、レゾルシン型エポ
キシ樹脂〔デナコールＥＸ−２０１（ナガセ化成工業
(株)商品名〕、ネオペンチルグリコール型エポキシ樹脂
〔デナコールＥＸ−２１２（ナガセ化成工業(株)商品
名〕、エチレン・プロピレングリコール型エポキシ樹脂
〔デナコールＥＸ−８１０、８１１、８５０、８５１、
８２１、８３０、８３２、８４１、８６１（ナガセ化成
工業(株)商品名〕、下記一般式（II）で表されるエポキ
シ樹脂〔Ｅ−ＸＬ−２４、Ｅ−ＸＬ−３Ｌ（三井東圧化
学(株)商品名〕、ポリスルフィド系エポキシ樹脂〔フレ
ップ東レチオコール(株)製）〕などが挙げられる。
シ樹脂としては、１分子中に２個以上のエポキシ基を有
する化合物であれば特に制限はないが、例えばフェノー
ルノボラック型エポキシ樹脂〔ＹＤＰＮ−６３８Ｐ（東
都化成(株)商品名）、Ｎ−７３０Ｓ（大日本インキ化学
工業(株)商品名）、Quatrex−２０１０（ダウ・ケミカ
ル社商品名）〕、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂
〔ＹＤＣＮ−７０２（東都化成工業(株)商品名）、ＥＯ
ＣＮ−１００（日本化薬(株)商品名）〕、ビスフェノー
ルＡ型エポキシ樹脂〔ＡＥＲ−Ｘ８５０１（旭化成工業
(株)商品名）、エピコート８２８、エピコート８３４、
ＹＬ−９８０（これらはいずれも油化シェルエポキシ
(株)商品名）〕、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂〔Ｙ
ＤＦ−１７０（東都化成(株)商品名）〕、ビスフェノー
ルＡＤ型エポキシ樹脂〔Ｒ−１７１０（三井石油化学工
業(株)商品名）〕、多官能エポキシ樹脂〔ＥＰＰＮ−５
０１（日本化薬(株)商品名）、ＴＡＣＴＩＸ−７４２
（ダウ・ケミカル社商品名）、ＶＧ−３０１０（三井石
油化学工業(株)商品名）、１０３２Ｓ（油化シェルエポ
キシ(株)商品名）〕、ナフタレン骨格を有するエポキシ
樹脂〔ＨＰ−４０３２（大日本インキ化学工業(株)商品
名）〕、脂環式エポキシ樹脂〔ＥＨＰＥ−３１５０（ダ
イセル化学工業(株)商品名）〕、アミン型エポキシ樹脂
〔ＥＬＭ−１００（住友化学工業(株)商品名）、ＹＨ−
４３４Ｌ（東都化成(株)商品名）〕、レゾルシン型エポ
キシ樹脂〔デナコールＥＸ−２０１（ナガセ化成工業
(株)商品名〕、ネオペンチルグリコール型エポキシ樹脂
〔デナコールＥＸ−２１２（ナガセ化成工業(株)商品
名〕、エチレン・プロピレングリコール型エポキシ樹脂
〔デナコールＥＸ−８１０、８１１、８５０、８５１、
８２１、８３０、８３２、８４１、８６１（ナガセ化成
工業(株)商品名〕、下記一般式（II）で表されるエポキ
シ樹脂〔Ｅ−ＸＬ−２４、Ｅ−ＸＬ−３Ｌ（三井東圧化
学(株)商品名〕、ポリスルフィド系エポキシ樹脂〔フレ
ップ東レチオコール(株)製）〕などが挙げられる。
【０００８】
【化１】 （ただし、式中、ｎは０〜５の整数である）
【０００９】本発明において用いられるラクトン化合物
は、５ない７員環を有するラクトン類である。具体的に
は、γ−ブチロラクトン、δ−バレロラクトン、ε−カ
プロラクトン、ジヒドロクマロン、δ−デカノラクト
ン、γ−フェニル−γ−ブチロラクトン、γ−エチル−
γ−カプロラクトン等を用いることが出来る。ラクトン
化合物の配合量は、エポキシ樹脂１００重量部に対して
５〜４０重量部が好ましく、１０〜２５重量部がさらに
好ましい。ラクトン化合物の配合量が少なすぎても多す
ぎても、樹脂組成物の硬化性が劣る傾向がある。
は、５ない７員環を有するラクトン類である。具体的に
は、γ−ブチロラクトン、δ−バレロラクトン、ε−カ
プロラクトン、ジヒドロクマロン、δ−デカノラクト
ン、γ−フェニル−γ−ブチロラクトン、γ−エチル−
γ−カプロラクトン等を用いることが出来る。ラクトン
化合物の配合量は、エポキシ樹脂１００重量部に対して
５〜４０重量部が好ましく、１０〜２５重量部がさらに
好ましい。ラクトン化合物の配合量が少なすぎても多す
ぎても、樹脂組成物の硬化性が劣る傾向がある。
【００１０】本発明に用いられる硬化触媒としては、Ｄ
ＢＵ（１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］ウンデカ
−７−エン）、１，４−ジアザビシクロ［２．２．２］
オクタン、１，５−ジアザビシクロ［４．３．０］ノン
−５−エン、トリエチレンジアミン等の強塩基触媒を用
いることができる。硬化触媒の配合量は、エポキシ樹脂
１００重量部に対して１〜１０重量部が好ましく、２〜
５重量部がさらに好ましい。硬化触媒の配合量が少なす
ぎると樹脂組成物の硬化性が劣り、多すぎると樹脂組成
物の貯蔵安定性が損なわれる。
ＢＵ（１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］ウンデカ
−７−エン）、１，４−ジアザビシクロ［２．２．２］
オクタン、１，５−ジアザビシクロ［４．３．０］ノン
−５−エン、トリエチレンジアミン等の強塩基触媒を用
いることができる。硬化触媒の配合量は、エポキシ樹脂
１００重量部に対して１〜１０重量部が好ましく、２〜
５重量部がさらに好ましい。硬化触媒の配合量が少なす
ぎると樹脂組成物の硬化性が劣り、多すぎると樹脂組成
物の貯蔵安定性が損なわれる。
【００１１】本発明の樹脂組成物には、ビニルトリアジ
ン、ベンゾクアナミン、ジシアンジアミド、ベンゾオキ
サジン環を有する樹脂等の硬化剤を組成物の安定性を損
なわない範囲で用いることができる。その使用量はエポ
キシ樹脂１００重量部に対して１０重量部以下が好まし
い。
ン、ベンゾクアナミン、ジシアンジアミド、ベンゾオキ
サジン環を有する樹脂等の硬化剤を組成物の安定性を損
なわない範囲で用いることができる。その使用量はエポ
キシ樹脂１００重量部に対して１０重量部以下が好まし
い。
【００１２】本発明のぺースト状組成物は、前記エポキ
シ樹脂組成物に、さらに、球状、針状、不定形、フレー
ク状等の金、銀、銅、アルミ、ニツケル、チタンなどの
金属粉末、窒化棚素、窒化珪素、窒化炭素、窒化アル
ミ、酸化珪素、酸化アルミ、炭酸カルシウム、タルク、
マイカ、チタン酸カリウムなどの無機化合物の粉末、無
定型炭素、ガラス状炭素、黒鉛、ダイヤモンドなどの微
粉末、これらの粉末に表面処理を施した微粉末等のフィ
ラーを配合してなるものである。フィラーはペースト状
組成物に対して１〜９０重量％になるように配合される
ことが好ましく、５〜８０重量％になるように配合され
ることがさらに好ましい。本発明のぺースト状組成物に
は、ぺーストの作業性、接着性を改良するためにパーフ
ルオロオクタン酸等の界面活性剤、シリコン系、チタン
系などのカップリング剤等が添加されていても良い。ぺ
ースト状組成物は、前記したエポキシ樹脂組成物にらい
かい機、３本ロール等を用いて上記の無機粉末を添加、
混練する方法により製造することができる。
シ樹脂組成物に、さらに、球状、針状、不定形、フレー
ク状等の金、銀、銅、アルミ、ニツケル、チタンなどの
金属粉末、窒化棚素、窒化珪素、窒化炭素、窒化アル
ミ、酸化珪素、酸化アルミ、炭酸カルシウム、タルク、
マイカ、チタン酸カリウムなどの無機化合物の粉末、無
定型炭素、ガラス状炭素、黒鉛、ダイヤモンドなどの微
粉末、これらの粉末に表面処理を施した微粉末等のフィ
ラーを配合してなるものである。フィラーはペースト状
組成物に対して１〜９０重量％になるように配合される
ことが好ましく、５〜８０重量％になるように配合され
ることがさらに好ましい。本発明のぺースト状組成物に
は、ぺーストの作業性、接着性を改良するためにパーフ
ルオロオクタン酸等の界面活性剤、シリコン系、チタン
系などのカップリング剤等が添加されていても良い。ぺ
ースト状組成物は、前記したエポキシ樹脂組成物にらい
かい機、３本ロール等を用いて上記の無機粉末を添加、
混練する方法により製造することができる。
【００１３】本発明においては、上記のペースト状組成
物を用いて半導体素子と基板とを接着した後、封止して
半導体装置とすることができる。本発明の樹脂ペースト
組成物を用いて半導体素子をリードフレーム等の基板に
接着させるには、まず基板上に樹脂ペースト組成物をデ
ィスペンス法、スクリーン印刷法、スタンピング法など
により塗布した後、半導体素子を圧着し、その後オーブ
ンまたはヒートブロックなどの加熱装置を用いて加熱硬
化することにより行うことができる。さらに、ワイヤボ
ンド工程を経た後、通常の方法により封止することによ
り完成された半導体装置とすることができる。
物を用いて半導体素子と基板とを接着した後、封止して
半導体装置とすることができる。本発明の樹脂ペースト
組成物を用いて半導体素子をリードフレーム等の基板に
接着させるには、まず基板上に樹脂ペースト組成物をデ
ィスペンス法、スクリーン印刷法、スタンピング法など
により塗布した後、半導体素子を圧着し、その後オーブ
ンまたはヒートブロックなどの加熱装置を用いて加熱硬
化することにより行うことができる。さらに、ワイヤボ
ンド工程を経た後、通常の方法により封止することによ
り完成された半導体装置とすることができる。
【００１４】
【実施例】以下、実施例により本発明を詳細に説明す
る。以下、部は重量部を意味する。尚、表中で用いられ
る原料名および物性値の測定条件を下記に示す。 ・ゲルタイム測定条件；１５０℃に加熱した熱板上に組
成物０．２ｇを投入し約１分間に１回の割合で棒を用い
てかき混ぜ、棒を持ち上げた際に樹脂が引き上げられる
か、かき混ぜが困難になるまで粘度が上昇した時間を測
定した。 ・ダイシェア強度測定条件；銀メッキ付き銅フレームに
２mm×２mm角のシリコンチツプを接着し、１５０℃１時
間硬化後、自動接着力測定装置ＢＴ−１００（dage社
製）を用いて室温で測定した（単位：kgf/chip）。半導
体の製造においては、一般的に６kgf/chip以上の接着力
が要求される。 ・粘度安定性測定条件；ＥＨＤ型粘度計、３゜コーン、
０．５rpm、２５℃で測定した粘度の２５℃で７２時間
保管した前後の粘度を測定し、保管開始前の粘度に対す
る７２時間保管後の粘度の比を測定した。 ＨＰ−８５０Ｎ；フェノールノボラック樹脂（日立化成
工業(株)製） ２Ｅ４ＭＺ；２−エチル−４メチルーイミダゾール（四
国化成(株)製） ＴＰＰＫ；テトラフェニルフォスフィンテトラフェニル
ボレート（四国化成(株)製） ＰＧＥＣ；フェニルグリシジルエーテル（反応性希釈
剤） ＢＬＳ；ブチルセロソルブ（溶剤）
る。以下、部は重量部を意味する。尚、表中で用いられ
る原料名および物性値の測定条件を下記に示す。 ・ゲルタイム測定条件；１５０℃に加熱した熱板上に組
成物０．２ｇを投入し約１分間に１回の割合で棒を用い
てかき混ぜ、棒を持ち上げた際に樹脂が引き上げられる
か、かき混ぜが困難になるまで粘度が上昇した時間を測
定した。 ・ダイシェア強度測定条件；銀メッキ付き銅フレームに
２mm×２mm角のシリコンチツプを接着し、１５０℃１時
間硬化後、自動接着力測定装置ＢＴ−１００（dage社
製）を用いて室温で測定した（単位：kgf/chip）。半導
体の製造においては、一般的に６kgf/chip以上の接着力
が要求される。 ・粘度安定性測定条件；ＥＨＤ型粘度計、３゜コーン、
０．５rpm、２５℃で測定した粘度の２５℃で７２時間
保管した前後の粘度を測定し、保管開始前の粘度に対す
る７２時間保管後の粘度の比を測定した。 ＨＰ−８５０Ｎ；フェノールノボラック樹脂（日立化成
工業(株)製） ２Ｅ４ＭＺ；２−エチル−４メチルーイミダゾール（四
国化成(株)製） ＴＰＰＫ；テトラフェニルフォスフィンテトラフェニル
ボレート（四国化成(株)製） ＰＧＥＣ；フェニルグリシジルエーテル（反応性希釈
剤） ＢＬＳ；ブチルセロソルブ（溶剤）
【００１５】実施例１〜４ 表１に示す配合でエポキシ樹脂組成物を作製し、ゲルタ
イムを測定した。この結果を表１に示す。
イムを測定した。この結果を表１に示す。
【００１６】
【表１】
【００１７】実施例５〜９及び比較例１〜３ 表２に示す配合でエポキシ樹脂組成物を作製し、ゲルタ
イムを測定した。この結果を表２に示す。
イムを測定した。この結果を表２に示す。
【００１８】
【表２】
【００１９】実施例１０及び比較例４〜５ 表３に示す配合でペースト状組成物を作製し、ゲルタイ
ムを測定した。また、ペースト状組成物を用いて４２ア
ロイ製リードフレームに２mm角のシリコンチップを接着
し、１８０℃で５分間加熱して硬化させた後、ダイシェ
ア強度を測定した。これらの結果を表４に示す。また、
同様に組み立てたものにワイヤーボンディングを行い、
さらに、エポキシ樹脂系封止剤を用い、トランスファー
モールドにより封止して半導体装置製造した。比較例５
では、トランスファーモールドのとき、チップが移動
し、適正な半導体装置を得ることができなかった。
ムを測定した。また、ペースト状組成物を用いて４２ア
ロイ製リードフレームに２mm角のシリコンチップを接着
し、１８０℃で５分間加熱して硬化させた後、ダイシェ
ア強度を測定した。これらの結果を表４に示す。また、
同様に組み立てたものにワイヤーボンディングを行い、
さらに、エポキシ樹脂系封止剤を用い、トランスファー
モールドにより封止して半導体装置製造した。比較例５
では、トランスファーモールドのとき、チップが移動
し、適正な半導体装置を得ることができなかった。
【００２０】
【表３】
【００２１】
【表４】
【００２２】
【発明の効果】請求項１におけるエポキシ樹脂細成物
は、硬化性に優れる。請求項２におけるペースト状組成
物は、低粘度で常温での粘度安定性に優れ、１５０℃程
度の低温で硬化することができる。請求項３によれば、
ダイシェア強度の優れた半導体装置を効率よく製造する
ことができる。
は、硬化性に優れる。請求項２におけるペースト状組成
物は、低粘度で常温での粘度安定性に優れ、１５０℃程
度の低温で硬化することができる。請求項３によれば、
ダイシェア強度の優れた半導体装置を効率よく製造する
ことができる。
Claims (3)
- 【請求項１】 ａ）エポキシ樹脂１００重量部、ｂ）５
ないし７員環構造を有するラクトン化合物５〜４０重量
部、ｃ）硬化触媒１〜１０重量部を含有してなるエポキ
シ樹脂組成物。 - 【請求項２】 請求項１の樹脂組成物に、さらにフィラ
ーを含有させてなるぺースト状組成物。 - 【請求項３】 請求項２のぺースト状組成物を用いて製
造される半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28417897A JPH11158350A (ja) | 1997-09-24 | 1997-10-17 | エポキシ樹脂組成物、これを用いたぺースト状組成物およびこれを用いて製造される半導体装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9-258429 | 1997-09-24 | ||
| JP25842997 | 1997-09-24 | ||
| JP28417897A JPH11158350A (ja) | 1997-09-24 | 1997-10-17 | エポキシ樹脂組成物、これを用いたぺースト状組成物およびこれを用いて製造される半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11158350A true JPH11158350A (ja) | 1999-06-15 |
Family
ID=26543679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28417897A Pending JPH11158350A (ja) | 1997-09-24 | 1997-10-17 | エポキシ樹脂組成物、これを用いたぺースト状組成物およびこれを用いて製造される半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11158350A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100594340B1 (ko) * | 2000-11-30 | 2006-06-30 | 소니 케미카루 가부시키가이샤 | 접속 재료 |
| WO2006087111A1 (en) * | 2005-02-18 | 2006-08-24 | Henkel Kommanditgesellschaft Auf Aktien | Low shrinkage amine-curing epoxy resin compositions comprising a lactone |
| KR20180027336A (ko) * | 2016-09-05 | 2018-03-14 | 스미토모 베이클리트 컴퍼니 리미티드 | 에폭시 수지 조성물 및 반도체 장치 |
| WO2020066746A1 (ja) | 2018-09-25 | 2020-04-02 | 日鉄ケミカル＆マテリアル株式会社 | 繊維強化複合材料用樹脂組成物及びそれを用いた繊維強化複合材料 |
-
1997
- 1997-10-17 JP JP28417897A patent/JPH11158350A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100594340B1 (ko) * | 2000-11-30 | 2006-06-30 | 소니 케미카루 가부시키가이샤 | 접속 재료 |
| WO2006087111A1 (en) * | 2005-02-18 | 2006-08-24 | Henkel Kommanditgesellschaft Auf Aktien | Low shrinkage amine-curing epoxy resin compositions comprising a lactone |
| KR20180027336A (ko) * | 2016-09-05 | 2018-03-14 | 스미토모 베이클리트 컴퍼니 리미티드 | 에폭시 수지 조성물 및 반도체 장치 |
| WO2020066746A1 (ja) | 2018-09-25 | 2020-04-02 | 日鉄ケミカル＆マテリアル株式会社 | 繊維強化複合材料用樹脂組成物及びそれを用いた繊維強化複合材料 |
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