JPH11158129A - ビスーo−アミノ(チオ)フェノールおよびその製造方法 - Google Patents
ビスーo−アミノ(チオ)フェノールおよびその製造方法Info
- Publication number
- JPH11158129A JPH11158129A JP10270392A JP27039298A JPH11158129A JP H11158129 A JPH11158129 A JP H11158129A JP 10270392 A JP10270392 A JP 10270392A JP 27039298 A JP27039298 A JP 27039298A JP H11158129 A JPH11158129 A JP H11158129A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bis
- compound
- thio
- amino
- nitro
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Abandoned
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 18
- 239000002253 acid Substances 0.000 title description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 22
- -1 o-aminophenol carboxylic acid Chemical class 0.000 claims abstract description 12
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 150000002828 nitro derivatives Chemical class 0.000 claims abstract description 8
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 6
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims abstract description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 claims description 8
- 239000002585 base Substances 0.000 claims description 6
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 5
- 150000001447 alkali salts Chemical class 0.000 claims description 4
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 3
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-M Bicarbonate Chemical compound OC([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 2
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 2
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 claims description 2
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 claims description 2
- 125000001511 cyclopentyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C1([H])[H] 0.000 claims description 2
- 150000007530 organic bases Chemical class 0.000 claims description 2
- 125000005459 perfluorocyclohexyl group Chemical group 0.000 claims description 2
- 125000003367 polycyclic group Chemical group 0.000 claims description 2
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 claims 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 abstract description 13
- CDAWCLOXVUBKRW-UHFFFAOYSA-N ortho-hydroxyaniline Natural products NC1=CC=CC=C1O CDAWCLOXVUBKRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 7
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 abstract description 3
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 150000008044 alkali metal hydroxides Chemical class 0.000 abstract description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 125000000956 methoxy group Chemical group [H]C([H])([H])O* 0.000 abstract 1
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 27
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 22
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 19
- 229920002577 polybenzoxazole Polymers 0.000 description 13
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 13
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 11
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L potassium carbonate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C([O-])=O BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 9
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Substances [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000000921 elemental analysis Methods 0.000 description 8
- 238000001819 mass spectrum Methods 0.000 description 8
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L Sodium Sulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=O PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 5
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910000027 potassium carbonate Inorganic materials 0.000 description 5
- 235000011181 potassium carbonates Nutrition 0.000 description 5
- INUOFQAJCYUOJR-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,4,5-pentafluoro-6-nitrobenzene Chemical compound [O-][N+](=O)C1=C(F)C(F)=C(F)C(F)=C1F INUOFQAJCYUOJR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 description 4
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 4
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 4
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 4
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical compound CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 3
- CZPWVGJYEJSRLH-UHFFFAOYSA-N Pyrimidine Chemical compound C1=CN=CN=C1 CZPWVGJYEJSRLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000004356 hydroxy functional group Chemical group O* 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 239000012074 organic phase Substances 0.000 description 3
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 description 3
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 229910000028 potassium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 3
- 235000015497 potassium bicarbonate Nutrition 0.000 description 3
- 239000011736 potassium bicarbonate Substances 0.000 description 3
- TYJJADVDDVDEDZ-UHFFFAOYSA-M potassium hydrogencarbonate Chemical compound [K+].OC([O-])=O TYJJADVDDVDEDZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 229940086066 potassium hydrogencarbonate Drugs 0.000 description 3
- 229910052938 sodium sulfate Inorganic materials 0.000 description 3
- 235000011152 sodium sulphate Nutrition 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- NSGXIBWMJZWTPY-UHFFFAOYSA-N 1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane Chemical compound FC(F)(F)CC(F)(F)F NSGXIBWMJZWTPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LERDAFCBKALCKT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,4,5-pentafluoro-6-(2,3,4-trifluorophenyl)benzene Chemical group FC1=C(F)C(F)=CC=C1C1=C(F)C(F)=C(F)C(F)=C1F LERDAFCBKALCKT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZSDAMBJDFDRLSS-UHFFFAOYSA-N 2,3,5,6-tetrafluorobenzene-1,4-diol Chemical compound OC1=C(F)C(F)=C(O)C(F)=C1F ZSDAMBJDFDRLSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N Hydroquinone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1 QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 2
- APAJFZPFBHMFQR-UHFFFAOYSA-N anthraflavic acid Chemical compound OC1=CC=C2C(=O)C3=CC(O)=CC=C3C(=O)C2=C1 APAJFZPFBHMFQR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001491 aromatic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N ether Substances CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003208 petroleum Substances 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007363 ring formation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 2
- 125000000446 sulfanediyl group Chemical group *S* 0.000 description 2
- NWZSZGALRFJKBT-KNIFDHDWSA-N (2s)-2,6-diaminohexanoic acid;(2s)-2-hydroxybutanedioic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](O)CC(O)=O.NCCCC[C@H](N)C(O)=O NWZSZGALRFJKBT-KNIFDHDWSA-N 0.000 description 1
- RRQYJINTUHWNHW-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxy-2-(2-ethoxyethoxy)ethane Chemical compound CCOCCOCCOCC RRQYJINTUHWNHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DNCYBUMDUBHIJZ-UHFFFAOYSA-N 1h-pyrimidin-6-one Chemical compound O=C1C=CN=CN1 DNCYBUMDUBHIJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVDQRAHTSTZSLH-UHFFFAOYSA-N 2,3,4,5-tetrafluoro-6-(2,3,4,5-tetrafluoro-6-hydroxyphenyl)phenol Chemical compound OC1=C(F)C(F)=C(F)C(F)=C1C1=C(O)C(F)=C(F)C(F)=C1F QVDQRAHTSTZSLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VNOSOQVWMQJNGY-UHFFFAOYSA-N 2,4,5-trifluoro-3-[4-[1,1,1,3,3,3-hexafluoro-2-[4-(2,3,6-trifluoro-5-hydroxy-4-nitrophenoxy)phenyl]propan-2-yl]phenoxy]-6-nitrophenol Chemical compound FC1=C([N+]([O-])=O)C(O)=C(F)C(OC=2C=CC(=CC=2)C(C=2C=CC(OC=3C(=C(F)C(=C(O)C=3F)[N+]([O-])=O)F)=CC=2)(C(F)(F)F)C(F)(F)F)=C1F VNOSOQVWMQJNGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GPHQISBIPFZHKU-UHFFFAOYSA-N 2,4,5-trifluoro-6-nitro-3-[2,3,5,6-tetrafluoro-4-[2,3,5,6-tetrafluoro-4-(2,3,6-trifluoro-5-hydroxy-4-nitrophenoxy)phenyl]phenoxy]phenol Chemical group FC1=C([N+]([O-])=O)C(O)=C(F)C(OC=2C(=C(F)C(=C(F)C=2F)C=2C(=C(F)C(OC=3C(=C(F)C(=C(O)C=3F)[N+]([O-])=O)F)=C(F)C=2F)F)F)=C1F GPHQISBIPFZHKU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RJNRKZBHLCOHNM-UHFFFAOYSA-N 2-(3-hydroxypyridin-2-yl)pyridin-3-ol Chemical group OC1=CC=CN=C1C1=NC=CC=C1O RJNRKZBHLCOHNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 4,4'-sulfonyldiphenol Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(O)C=C1 VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DUFGYCAXVIUXIP-UHFFFAOYSA-N 4,6-dihydroxypyrimidine Chemical compound OC1=CC(O)=NC=N1 DUFGYCAXVIUXIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N Dihydrogen sulfide Chemical compound S RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GHASVSINZRGABV-UHFFFAOYSA-N Fluorouracil Chemical compound FC1=CNC(=O)NC1=O GHASVSINZRGABV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SUAKHGWARZSWIH-UHFFFAOYSA-N N,N‐diethylformamide Chemical compound CCN(CC)C=O SUAKHGWARZSWIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001854 alkali hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 229920005601 base polymer Polymers 0.000 description 1
- UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N benzocyclobutene Chemical compound C1=CC=C2CCC2=C1 UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZFVMWEVVKGLCIJ-UHFFFAOYSA-N bisphenol AF Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1C(C(F)(F)F)(C(F)(F)F)C1=CC=C(O)C=C1 ZFVMWEVVKGLCIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000711 cancerogenic effect Effects 0.000 description 1
- 231100000315 carcinogenic Toxicity 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 150000001805 chlorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001991 dicarboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 229940019778 diethylene glycol diethyl ether Drugs 0.000 description 1
- XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol monoethyl ether Chemical compound CCOCCOCCO XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940075557 diethylene glycol monoethyl ether Drugs 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- 229940116333 ethyl lactate Drugs 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- IKDUDTNKRLTJSI-UHFFFAOYSA-N hydrazine monohydrate Substances O.NN IKDUDTNKRLTJSI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000037 hydrogen sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005984 hydrogenation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003301 hydrolyzing effect Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003880 polar aprotic solvent Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 159000000001 potassium salts Chemical class 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- GHMLBKRAJCXXBS-UHFFFAOYSA-N resorcinol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1 GHMLBKRAJCXXBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960001755 resorcinol Drugs 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000007086 side reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- XTQHKBHJIVJGKJ-UHFFFAOYSA-N sulfur monoxide Chemical compound S=O XTQHKBHJIVJGKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
- C07C217/00—Compounds containing amino and etherified hydroxy groups bound to the same carbon skeleton
- C07C217/78—Compounds containing amino and etherified hydroxy groups bound to the same carbon skeleton having amino groups and etherified hydroxy groups bound to carbon atoms of six-membered aromatic rings of the same carbon skeleton
- C07C217/80—Compounds containing amino and etherified hydroxy groups bound to the same carbon skeleton having amino groups and etherified hydroxy groups bound to carbon atoms of six-membered aromatic rings of the same carbon skeleton having amino groups and etherified hydroxy groups bound to carbon atoms of non-condensed six-membered aromatic rings
- C07C217/82—Compounds containing amino and etherified hydroxy groups bound to the same carbon skeleton having amino groups and etherified hydroxy groups bound to carbon atoms of six-membered aromatic rings of the same carbon skeleton having amino groups and etherified hydroxy groups bound to carbon atoms of non-condensed six-membered aromatic rings of the same non-condensed six-membered aromatic ring
- C07C217/90—Compounds containing amino and etherified hydroxy groups bound to the same carbon skeleton having amino groups and etherified hydroxy groups bound to carbon atoms of six-membered aromatic rings of the same carbon skeleton having amino groups and etherified hydroxy groups bound to carbon atoms of non-condensed six-membered aromatic rings of the same non-condensed six-membered aromatic ring the oxygen atom of at least one of the etherified hydroxy groups being further bound to a carbon atom of a six-membered aromatic ring, e.g. amino-diphenylethers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
- C07D239/00—Heterocyclic compounds containing 1,3-diazine or hydrogenated 1,3-diazine rings
- C07D239/02—Heterocyclic compounds containing 1,3-diazine or hydrogenated 1,3-diazine rings not condensed with other rings
- C07D239/24—Heterocyclic compounds containing 1,3-diazine or hydrogenated 1,3-diazine rings not condensed with other rings having three or more double bonds between ring members or between ring members and non-ring members
- C07D239/28—Heterocyclic compounds containing 1,3-diazine or hydrogenated 1,3-diazine rings not condensed with other rings having three or more double bonds between ring members or between ring members and non-ring members with hetero atoms or with carbon atoms having three bonds to hetero atoms with at the most one bond to halogen, directly attached to ring carbon atoms
- C07D239/46—Two or more oxygen, sulphur or nitrogen atoms
- C07D239/52—Two oxygen atoms
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/022—Quinonediazides
- G03F7/023—Macromolecular quinonediazides; Macromolecular additives, e.g. binders
- G03F7/0233—Macromolecular quinonediazides; Macromolecular additives, e.g. binders characterised by the polymeric binders or the macromolecular additives other than the macromolecular quinonediazides
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
- Nitrogen Condensed Heterocyclic Rings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 マイクロエレクトロニクスのますます増大す
る要求を満足するポリマーの製造に適するビス−o−ア
ミノフェノールおよびビス−o−アミノチオフェノール
を提供する。 【解決手段】 下記の構造式 【化1】 のビス−o−アミノフェノールおよびビス−o−アミノ
チオフェノールを製造する:式中;A1 〜A6 は、相互
に無関係であり、H,F,CH3 ,CF3 ,OCH3 ,
OCF3 ,CH2 CH3 ,CF2 CF3 ,OCH2 CH
3 またはOCF2 CF3 を表し,ここで、基A1 〜A6
の少なくとも1つは、FまたはF含有基でなければなら
ず;TはOまたはSを表し,mは、0または1を表し;
Zは芳香族基または複素環基である。
る要求を満足するポリマーの製造に適するビス−o−ア
ミノフェノールおよびビス−o−アミノチオフェノール
を提供する。 【解決手段】 下記の構造式 【化1】 のビス−o−アミノフェノールおよびビス−o−アミノ
チオフェノールを製造する:式中;A1 〜A6 は、相互
に無関係であり、H,F,CH3 ,CF3 ,OCH3 ,
OCF3 ,CH2 CH3 ,CF2 CF3 ,OCH2 CH
3 またはOCF2 CF3 を表し,ここで、基A1 〜A6
の少なくとも1つは、FまたはF含有基でなければなら
ず;TはOまたはSを表し,mは、0または1を表し;
Zは芳香族基または複素環基である。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、まとめて簡単にビ
ス−o−アミノ(チオ)フェノールとも呼ばれる新現の
ビス−o−アミノフェノールおよびビス−o−アミノチ
オフェノールおよびその製造法に関する。
ス−o−アミノ(チオ)フェノールとも呼ばれる新現の
ビス−o−アミノフェノールおよびビス−o−アミノチ
オフェノールおよびその製造法に関する。
【0002】
【従来の技術】ビス−o−アミノフェノールは、特に、
高温安定のポリマー(例えば、ポリベンゾオキサゾール
(PBO)またはその前駆体)の製造およびヒドロキシ
ポリイミドの製造に必要である(これに関しては、例え
ば、ヨーロッパ特許EP0264678B1およびEP
0300326B1参照)。PBO前駆体は、塩化ジカ
ルボン酸をビス−o−アミノフェノールと反応させて製
造できる。しかしながら、産業上の用途の多様性にもと
づき、多数のジカルボン酸またはその塩化物が使用され
ているのに対し、ビス−o−アミノフェノールは比較的
僅かである。更に、使用されるアミノフェノールの種類
は、これによって製造されたポリマーの性質に強い影響
を与える。即ち、ポリマーの熱的、電気的、機械的特性
のみならず、溶解度、加水分解安定性および他の多数の
性質も、製造に使用したアミノフェノールによって強く
影響される。
高温安定のポリマー(例えば、ポリベンゾオキサゾール
(PBO)またはその前駆体)の製造およびヒドロキシ
ポリイミドの製造に必要である(これに関しては、例え
ば、ヨーロッパ特許EP0264678B1およびEP
0300326B1参照)。PBO前駆体は、塩化ジカ
ルボン酸をビス−o−アミノフェノールと反応させて製
造できる。しかしながら、産業上の用途の多様性にもと
づき、多数のジカルボン酸またはその塩化物が使用され
ているのに対し、ビス−o−アミノフェノールは比較的
僅かである。更に、使用されるアミノフェノールの種類
は、これによって製造されたポリマーの性質に強い影響
を与える。即ち、ポリマーの熱的、電気的、機械的特性
のみならず、溶解度、加水分解安定性および他の多数の
性質も、製造に使用したアミノフェノールによって強く
影響される。
【0003】PBO前駆体は、感光性組成物の形で、直
接的に、即ち、補助レジストなしで、妥当なコストで構
造化できる。直接的に光構造化可能な他の誘電体(例え
ば、ポリイミド(PI)およびベンゾシクロブテン(B
CB))に比して、PBO前駆体は、ポジ構造化可能性
およそびアルカリ水溶液現像の利点を有する(ヨーロッ
パ特許EP0023662B1およびEP026467
8B1参照)。このため、使用されるPBO前駆体は、
露光波長において十分に透明でなければならず、好まし
くは金属イオンを含まない現像剤に十分に溶解しなけれ
ばならない。ポリベンゾオキサゾールも、ポリイミドと
同様に環化された最終生成物に比して、溶解性の良い前
駆体として基板上に施し、次いで環化できるという大き
な利点を有する。その際、溶解度および溶剤および他の
処理薬剤に対する感度は、著しく減少する。
接的に、即ち、補助レジストなしで、妥当なコストで構
造化できる。直接的に光構造化可能な他の誘電体(例え
ば、ポリイミド(PI)およびベンゾシクロブテン(B
CB))に比して、PBO前駆体は、ポジ構造化可能性
およそびアルカリ水溶液現像の利点を有する(ヨーロッ
パ特許EP0023662B1およびEP026467
8B1参照)。このため、使用されるPBO前駆体は、
露光波長において十分に透明でなければならず、好まし
くは金属イオンを含まない現像剤に十分に溶解しなけれ
ばならない。ポリベンゾオキサゾールも、ポリイミドと
同様に環化された最終生成物に比して、溶解性の良い前
駆体として基板上に施し、次いで環化できるという大き
な利点を有する。その際、溶解度および溶剤および他の
処理薬剤に対する感度は、著しく減少する。
【0004】マイクロエレクトロニクスにおいて、特
に、2つの金属平面(例えばマルチチップ・モジュー
ル、メモリチップ、論理チップ)の間の誘電体としてま
たはチップとそのケースとの間のバッファ層(“バッフ
ァコート”)としてポリベンゾオキサゾールを使用する
場合、良好な電気的、機械的、熱的性質以外に、吸湿性
が低くなければならない。即ち、ポリマー層の水分は、
一方ではポリマーの電気的性質を低下し、他方では高温
において気泡生成および剥離を招く。ポリベンゾオキサ
ゾールの良好なプレーナ形成能は同じく有利である。即
ち、デバイス部材を製造する場合、プレーナ形成性の良
い誘電体を使用することによって、経費のかかる研磨プ
ロセス(科学的機械研磨=CMP)を回避できる。
に、2つの金属平面(例えばマルチチップ・モジュー
ル、メモリチップ、論理チップ)の間の誘電体としてま
たはチップとそのケースとの間のバッファ層(“バッフ
ァコート”)としてポリベンゾオキサゾールを使用する
場合、良好な電気的、機械的、熱的性質以外に、吸湿性
が低くなければならない。即ち、ポリマー層の水分は、
一方ではポリマーの電気的性質を低下し、他方では高温
において気泡生成および剥離を招く。ポリベンゾオキサ
ゾールの良好なプレーナ形成能は同じく有利である。即
ち、デバイス部材を製造する場合、プレーナ形成性の良
い誘電体を使用することによって、経費のかかる研磨プ
ロセス(科学的機械研磨=CMP)を回避できる。
【0005】溶解性の良いPBO前駆体の製造に適する
アミノフェノールは、例えば、米国特許第452553
9号およびヨーロッパ特許EP0317942A2から
公知である。しかしながら、この場合、基板上の環化さ
れたポリマーの吸湿性またはプレーナ形成能(ヨーロッ
パ特許EP0264678B1およびEP031794
2A2参照)に関する指示はない。アミノフェノールの
製造の場合、フェノール系出発化合物を窒化する。この
際、窒化が完全に、即ち100%まで行われず、異性体
を全く含まないよう行われず、即ちヒドロキシ基に対し
てo−位置においてのみ窒化が行われる場合、ニトロ基
の還元後、PBO前駆体においてもはや完全な環化を可
能にさせず、ポリベンゾキサゾールの性質を著しく損な
うアミノフェノールが部分的に生ずる。これは、公知の
製造法の大きな欠点である。
アミノフェノールは、例えば、米国特許第452553
9号およびヨーロッパ特許EP0317942A2から
公知である。しかしながら、この場合、基板上の環化さ
れたポリマーの吸湿性またはプレーナ形成能(ヨーロッ
パ特許EP0264678B1およびEP031794
2A2参照)に関する指示はない。アミノフェノールの
製造の場合、フェノール系出発化合物を窒化する。この
際、窒化が完全に、即ち100%まで行われず、異性体
を全く含まないよう行われず、即ちヒドロキシ基に対し
てo−位置においてのみ窒化が行われる場合、ニトロ基
の還元後、PBO前駆体においてもはや完全な環化を可
能にさせず、ポリベンゾキサゾールの性質を著しく損な
うアミノフェノールが部分的に生ずる。これは、公知の
製造法の大きな欠点である。
【0006】芳香族アミノフェノールは、ソビエット連
邦特許第1205518から公知である。更に、アミノ
フェノールの製造時、発癌性のヒドラジン水和物を使用
するが、これは、重大な欠点である。更に、この場合
も、基板上の環化されたポリマーの吸湿性またはプレー
ナ形成能に関する指示はない。
邦特許第1205518から公知である。更に、アミノ
フェノールの製造時、発癌性のヒドラジン水和物を使用
するが、これは、重大な欠点である。更に、この場合
も、基板上の環化されたポリマーの吸湿性またはプレー
ナ形成能に関する指示はない。
【0007】ビスアミノフェノールの製造法は、刊行物
“Polymer Preprints”34(1),
1993,p425〜426にも記載されている。この
方法には、高温、即ち明らかに100℃よりも高い温度
が必要であるという欠点がある(ジメチルアセトアミド
およびトルエンの溶液を還流加熱する)。しかしながら
高い反応温度は、収率を低下し(最大73%)且つ所望
の製品の精製を困難とする副反応を助成する。更に、製
造されたビスアミノフェノールは、酸化に対して安定で
はない。この場合も、基板上の環化されたポリマーの吸
湿性またはプレーナ形成能に関する指示はない。
“Polymer Preprints”34(1),
1993,p425〜426にも記載されている。この
方法には、高温、即ち明らかに100℃よりも高い温度
が必要であるという欠点がある(ジメチルアセトアミド
およびトルエンの溶液を還流加熱する)。しかしながら
高い反応温度は、収率を低下し(最大73%)且つ所望
の製品の精製を困難とする副反応を助成する。更に、製
造されたビスアミノフェノールは、酸化に対して安定で
はない。この場合も、基板上の環化されたポリマーの吸
湿性またはプレーナ形成能に関する指示はない。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、マイ
クロエレクトロニクスのますます増大する要求を満足す
るポリマーの製造に適するビス−o−アミノフェノール
およびビス−o−アミノチオフェノールを提供すること
にある。ビス−o−アミノ(チオ)フェノールによっ
て、特に、環化後に基板上に吸湿性が低く、温度安定性
が高く、プレーナ形成度の高いポリベンゾオキサゾール
またはポリベンゾチアゾールを生ずる溶解性良好なポリ
マー前駆体の製造を可能としなければならない。更に、
ビス−o−アミノ(チオ)フェノールは、貯蔵に耐え、
貯蔵時に空気に触れても変化してはならない。
クロエレクトロニクスのますます増大する要求を満足す
るポリマーの製造に適するビス−o−アミノフェノール
およびビス−o−アミノチオフェノールを提供すること
にある。ビス−o−アミノ(チオ)フェノールによっ
て、特に、環化後に基板上に吸湿性が低く、温度安定性
が高く、プレーナ形成度の高いポリベンゾオキサゾール
またはポリベンゾチアゾールを生ずる溶解性良好なポリ
マー前駆体の製造を可能としなければならない。更に、
ビス−o−アミノ(チオ)フェノールは、貯蔵に耐え、
貯蔵時に空気に触れても変化してはならない。
【0009】
【課題を解決するための手段】この課題は、本発明にも
とづき、下記の構造式
とづき、下記の構造式
【化6】 のビス−o−アミノフェノールおよびビス−o−アミノ
チオフェノールによって解決される。この場合、下記が
成立する:A1 〜A6 は、相互に無関係であり、H,
F,CH3 ,CF3 ,OCH3 ,OCF3 ,CH2 CH
3 ,CF2 CF3 ,OCH2 CH3 またはOCF2 CF
3 を表し,ここで基A1 〜A6 の少なくとも1つは、F
またはF含有基でなければならず;TはOまたはSを表
し,mは0または1を表し;Zは下記の基の1つであ
る:
チオフェノールによって解決される。この場合、下記が
成立する:A1 〜A6 は、相互に無関係であり、H,
F,CH3 ,CF3 ,OCH3 ,OCF3 ,CH2 CH
3 ,CF2 CF3 ,OCH2 CH3 またはOCF2 CF
3 を表し,ここで基A1 〜A6 の少なくとも1つは、F
またはF含有基でなければならず;TはOまたはSを表
し,mは0または1を表し;Zは下記の基の1つであ
る:
【化7】 Q=C−AまたはNであり、ここでA=H,F,(CH
2 )p CH3 、(CF2)p CF3 ,O(CH2 )p C
H3 、O(CF2 )p CF3 、CO(CH2 )pC
H3 、CO(CF2 )p CF3 (ここでp=0〜8)
(直鎖または分岐),OC(CH3 )3 ,OC(C
F3 )3 ,C6 H5 、C6 F5 ,OC6 H5 、OC6F
5 ,シクロペンチル、ペルフルオルシクロペンチル、シ
クロヘキシルまたはペルフルオルシクロヘキシルであ
り、ここで分離された芳香族環には、環当り最大3つの
N原子が存在でき、2つのN原子は隣接してよく、多環
系には、環当り最大2つのN原子が存在でき、M=単一
結合、(CH2 )n ,(CF2 )n ,CH(CH3 ),
CH(CF3 ),CF(CH3 ),CF(CF3 ),C
(CH3 ) 2 ,C(CF3 )2 ,CH(C6 H5 )、C
H(C6 F5 ),CF(C6 H5 )、CF(C
6 F5 ),C(CH3 )(C6 H5 )、C(CH3 )
(C6 F5 )、C(CF3 )(C6 H5 )、C(C
F3 )(C6 F5 )、C(C6 H5 )2 、C(C
6 F5 )2 、CO,SO2 ,
2 )p CH3 、(CF2)p CF3 ,O(CH2 )p C
H3 、O(CF2 )p CF3 、CO(CH2 )pC
H3 、CO(CF2 )p CF3 (ここでp=0〜8)
(直鎖または分岐),OC(CH3 )3 ,OC(C
F3 )3 ,C6 H5 、C6 F5 ,OC6 H5 、OC6F
5 ,シクロペンチル、ペルフルオルシクロペンチル、シ
クロヘキシルまたはペルフルオルシクロヘキシルであ
り、ここで分離された芳香族環には、環当り最大3つの
N原子が存在でき、2つのN原子は隣接してよく、多環
系には、環当り最大2つのN原子が存在でき、M=単一
結合、(CH2 )n ,(CF2 )n ,CH(CH3 ),
CH(CF3 ),CF(CH3 ),CF(CF3 ),C
(CH3 ) 2 ,C(CF3 )2 ,CH(C6 H5 )、C
H(C6 F5 ),CF(C6 H5 )、CF(C
6 F5 ),C(CH3 )(C6 H5 )、C(CH3 )
(C6 F5 )、C(CF3 )(C6 H5 )、C(C
F3 )(C6 F5 )、C(C6 H5 )2 、C(C
6 F5 )2 、CO,SO2 ,
【化8】 である。
【0010】上記の新規の化合物は、例えば、下記の構
造式を有する:
造式を有する:
【化9】 この種の化合物の場合、エーテルブリッジが、明らか
に、このようにして製造されたポリマー前駆体の良好な
溶解性および良好なプレーナ形成性に寄与する。更に、
構造式の記号“A1 〜A3 ”および“A4 〜A6 ”は、
アミノフェニル基が基A1 、A2 およびA3 または
A4 ,A5 およびA6 を有することを意味する。
に、このようにして製造されたポリマー前駆体の良好な
溶解性および良好なプレーナ形成性に寄与する。更に、
構造式の記号“A1 〜A3 ”および“A4 〜A6 ”は、
アミノフェニル基が基A1 、A2 およびA3 または
A4 ,A5 およびA6 を有することを意味する。
【0011】ビス−o−アミノ(チオ)フェノールは、 (a)溶媒中で、−10〜80℃の温度において、下記
の構造式
の構造式
【化10】 のニトロ化合物および下記の構造式
【化11】 のニトロ化合物を、水酸化アルカリまたは硫化水素アル
カリと反応させるか、または−塩基の存在の下でージヒ
ドロキシ化合物または下記の構造式 HT−Z−TH のジメルカプト化合物と反応させるか、またはジヒドロ
キシ化合物のアルカリ塩またはジメルカプト化合物のア
ルカリ塩と反応させ(式中、Xはハロゲン原子を表し、
A1 〜A6 ,TおよびZは上記の意味を有する); (b)この際に生成したビス−o−ニトロ(チオ)フェ
ノールをビス−o−アミノ(チオ)フェノールに還元す
ることによって製造される。
カリと反応させるか、または−塩基の存在の下でージヒ
ドロキシ化合物または下記の構造式 HT−Z−TH のジメルカプト化合物と反応させるか、またはジヒドロ
キシ化合物のアルカリ塩またはジメルカプト化合物のア
ルカリ塩と反応させ(式中、Xはハロゲン原子を表し、
A1 〜A6 ,TおよびZは上記の意味を有する); (b)この際に生成したビス−o−ニトロ(チオ)フェ
ノールをビス−o−アミノ(チオ)フェノールに還元す
ることによって製造される。
【0012】置換基A1 およびA4 ,A2 およびA5 ,
A3 およびA6 が、それぞれ対応し、当該のフェニル基
のアミノ基に対して同一の位置をとるビス−o−アミノ
(ビス)フェノールを製造するのが好ましい。即ち、上
記化合物を製造する場合、唯一つのニトロ化合物を使用
するだけでよい。
A3 およびA6 が、それぞれ対応し、当該のフェニル基
のアミノ基に対して同一の位置をとるビス−o−アミノ
(ビス)フェノールを製造するのが好ましい。即ち、上
記化合物を製造する場合、唯一つのニトロ化合物を使用
するだけでよい。
【0013】化合物HT−Z−THは、芳香族化合物ま
たは置換された芳香族化合物(T=OまたはS)であ
る。ニトロ化合物との反応には、基本的に、ヒドロキシ
基またはメルカプト基が十分な求核性を有するすべての
化合物が適する。この種の化合物の例を以下に示す:レ
ソルシン、テトラフルオロレソルシン、ヒドロキノン、
テトラフルオロヒドロキノン、4,6−ヒドロキシピリ
ミジン、2,4−ジヒドロキシ−5−フルオロピリミジ
ン、オクタフルオロビフェノール、3,3’−ジヒドロ
キシ−2,2’−ビピリジル、2,2−ビス(4−ヒド
ロキシフェニル)ペルフルオロプロパン(6F−ビスフ
ェノールA),ビス(4−ヒドロキシフェニル)スルホ
ン、2,6−ジヒドロキシアントラキノン。
たは置換された芳香族化合物(T=OまたはS)であ
る。ニトロ化合物との反応には、基本的に、ヒドロキシ
基またはメルカプト基が十分な求核性を有するすべての
化合物が適する。この種の化合物の例を以下に示す:レ
ソルシン、テトラフルオロレソルシン、ヒドロキノン、
テトラフルオロヒドロキノン、4,6−ヒドロキシピリ
ミジン、2,4−ジヒドロキシ−5−フルオロピリミジ
ン、オクタフルオロビフェノール、3,3’−ジヒドロ
キシ−2,2’−ビピリジル、2,2−ビス(4−ヒド
ロキシフェニル)ペルフルオロプロパン(6F−ビスフ
ェノールA),ビス(4−ヒドロキシフェニル)スルホ
ン、2,6−ジヒドロキシアントラキノン。
【0014】エーテルブリッジまたはチオエーテルブリ
ッジが生成されるジヒドロキシ化合物またはジメルカプ
ト化合物とニトロ化合物との反応は、塩基の存在下で行
われる。この塩基は、アルカリ金属またはアルカリ土金
属の炭酸塩または炭酸水素塩(例えば炭酸ナトリウム、
炭酸カリウム)であるのが好ましい。(チオ)エーテル
の生成およびヒドロキシ基またはメルカプト基による
(ニトロ基に対してo−位置)ハロゲン原子の置換に
は、それぞれ、少なくとも化学量論的量の塩基が必要で
ある。有利には、第3N原子を含む有機塩基(例えばト
リエチルアミンおよびピリジン)を使用することもでき
る。この場合、水の添加が必要である。ジヒドロキシ化
合物またはジメルカプト化合物の代わりに、対応するア
ルカリ塩(例えばカリウム塩)を使用することもでき
る。
ッジが生成されるジヒドロキシ化合物またはジメルカプ
ト化合物とニトロ化合物との反応は、塩基の存在下で行
われる。この塩基は、アルカリ金属またはアルカリ土金
属の炭酸塩または炭酸水素塩(例えば炭酸ナトリウム、
炭酸カリウム)であるのが好ましい。(チオ)エーテル
の生成およびヒドロキシ基またはメルカプト基による
(ニトロ基に対してo−位置)ハロゲン原子の置換に
は、それぞれ、少なくとも化学量論的量の塩基が必要で
ある。有利には、第3N原子を含む有機塩基(例えばト
リエチルアミンおよびピリジン)を使用することもでき
る。この場合、水の添加が必要である。ジヒドロキシ化
合物またはジメルカプト化合物の代わりに、対応するア
ルカリ塩(例えばカリウム塩)を使用することもでき
る。
【0015】反応温度としては、−10〜80℃の範囲
が特に好適であることが判明している。温度≦80℃
が、反応のより大きい選択性にもとづき、好ましい。即
ちこの場合収率はほぼ量的範囲にあり、先行技術に比し
て明らかな利点をなす。
が特に好適であることが判明している。温度≦80℃
が、反応のより大きい選択性にもとづき、好ましい。即
ちこの場合収率はほぼ量的範囲にあり、先行技術に比し
て明らかな利点をなす。
【0016】まず、数時間(例えば約16h)にわたっ
て温度≦25℃が保持されるようにするのが有利であ
る。この際、ニトロ化合物とジヒドロキシ化合物または
ジメルカプト化合物との反応が行われる。次いで、高
温、即ち温度≧40℃において反応を進める。この場
合、ヒドロキシ基またはメルカプト基によるハロゲン原
子の置換が行われる。この過程において、ヒドロキシ基
またはメルカプト基がニトロ基に対してo−位置にある
生成物が、選択的に生ずる。
て温度≦25℃が保持されるようにするのが有利であ
る。この際、ニトロ化合物とジヒドロキシ化合物または
ジメルカプト化合物との反応が行われる。次いで、高
温、即ち温度≧40℃において反応を進める。この場
合、ヒドロキシ基またはメルカプト基によるハロゲン原
子の置換が行われる。この過程において、ヒドロキシ基
またはメルカプト基がニトロ基に対してo−位置にある
生成物が、選択的に生ずる。
【0017】適切な溶媒は、特に、ジメチルホルムアミ
ド、ジエチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジ
メチルスルホキシド、N−メチルピロリドン、γ−ブチ
ロラクトン、アセトニトリル、テトラヒドロフランおよ
びピリジンである。しかしながら、基本的に、出発化合
物を溶解できるすべての有極性の非プロトン溶媒を使用
できる。
ド、ジエチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジ
メチルスルホキシド、N−メチルピロリドン、γ−ブチ
ロラクトン、アセトニトリル、テトラヒドロフランおよ
びピリジンである。しかしながら、基本的に、出発化合
物を溶解できるすべての有極性の非プロトン溶媒を使用
できる。
【0018】ジニトロ化合物の還元によって、所望のビ
ス−o−アミノ(チオ)フェノールが得られる。還元
は、例えば、Pd/Cによる水素添加によって実施でき
る。しかしながら、基本的に、アミノ基へのニトロ基の
還元に適するすべての方法を使用できる。還元は、25
〜50℃の温度において行うのが好ましい。適切な溶媒
は、エステルまたはエーテル(例えば酢酸エチルエステ
ルおよびテトラヒドロフラン)である。
ス−o−アミノ(チオ)フェノールが得られる。還元
は、例えば、Pd/Cによる水素添加によって実施でき
る。しかしながら、基本的に、アミノ基へのニトロ基の
還元に適するすべての方法を使用できる。還元は、25
〜50℃の温度において行うのが好ましい。適切な溶媒
は、エステルまたはエーテル(例えば酢酸エチルエステ
ルおよびテトラヒドロフラン)である。
【0019】本発明による方法の場合、先行技術におい
て現れるような問題は全く生じない。更に、本方法にも
とづき製造されたビス−o−アミノ(チオ)フェノール
は、貯蔵に耐え、空気中に問題なく貯蔵できる。
て現れるような問題は全く生じない。更に、本方法にも
とづき製造されたビス−o−アミノ(チオ)フェノール
は、貯蔵に耐え、空気中に問題なく貯蔵できる。
【0020】本発明によるビス−o−アミノ(チオ)フ
ェノールから製造したポリマー前駆体は、多数の有機溶
媒(例えばアセトン、乳酸エチル、N−メチルピロリド
ン、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチ
レングリコールジエチルエーテル、シクロヘキサノン、
γ−ブチロラクトン)および金属イオンを含まない水性
アルカリ性現像液に良好に溶解する。従って、上記前駆
体は、ポジ構造化可能でアルカリ水溶液で現像可能な誘
電体のベースポリマーとして好適である。上記前駆体
は、遠心技術によって基板(例えばシリコンウエハ)に
問題なく施すことができ、均一の被膜を形成し、基板上
で良好に環化させることができる。このビス−o−アミ
ノ(チオ)フェノールから製造した前駆体の特別な利点
は、高いプレーナ形成能および低い吸湿性である。
ェノールから製造したポリマー前駆体は、多数の有機溶
媒(例えばアセトン、乳酸エチル、N−メチルピロリド
ン、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチ
レングリコールジエチルエーテル、シクロヘキサノン、
γ−ブチロラクトン)および金属イオンを含まない水性
アルカリ性現像液に良好に溶解する。従って、上記前駆
体は、ポジ構造化可能でアルカリ水溶液で現像可能な誘
電体のベースポリマーとして好適である。上記前駆体
は、遠心技術によって基板(例えばシリコンウエハ)に
問題なく施すことができ、均一の被膜を形成し、基板上
で良好に環化させることができる。このビス−o−アミ
ノ(チオ)フェノールから製造した前駆体の特別な利点
は、高いプレーナ形成能および低い吸湿性である。
【0021】
【発明の実施の形態】以下実施例を参照して本発明を詳
細に説明する。
細に説明する。
【0022】実施例1 2,2−ビス[4−(4−ニトロ−3−ヒドロキシ−
2,5,6−トリフルオロフェノキシ)フェニル]ヘキ
サフルオロプロパンの製造
2,5,6−トリフルオロフェノキシ)フェニル]ヘキ
サフルオロプロパンの製造
【化12】 窒素導管および撹拌器を備えた1リットルの三つ口フラ
スコにおいて、6F−ビスフェノールA33.6g
(0.1モル)およびペンタフルオロニトロベンゾール
42.6g(0.2モル)をジメチルスルホキシド40
0mlに溶解した。この溶液に、炭酸カリウム60g
(0.43モル)を少量づつ加え、次いで室温において
24h撹拌した。次いで、調節自在の油浴において、8
0℃に6h加熱し、炭酸水素カリウム10g(0.1モ
ル)の添加後、更に18h加熱した。次いで反応溶液を
室温に冷却し、残渣をブフナー濾斗で濾別した。2リッ
トルの水を添加した後、溶液に酸反応が起きるまで濃塩
酸を滴下した。この際、黄色の反応生成物が沈殿した。
この反応生成物をブフナー濾斗で濾別し、3回水洗し
た。反応生成物をエタノール中で再結晶させ、次いで、
真空ボックス内で40℃/10mbarの窒素ガス中で
48h乾燥した(収率:91%)。 特性値: −質量スペクトル:分子ピーク:718 −元素分析: 理論値(%):C:45.1 H:1.4 N:
3.9 測定値(%):C:45.1 H:1.3 N:
3.9 −融点:70℃
スコにおいて、6F−ビスフェノールA33.6g
(0.1モル)およびペンタフルオロニトロベンゾール
42.6g(0.2モル)をジメチルスルホキシド40
0mlに溶解した。この溶液に、炭酸カリウム60g
(0.43モル)を少量づつ加え、次いで室温において
24h撹拌した。次いで、調節自在の油浴において、8
0℃に6h加熱し、炭酸水素カリウム10g(0.1モ
ル)の添加後、更に18h加熱した。次いで反応溶液を
室温に冷却し、残渣をブフナー濾斗で濾別した。2リッ
トルの水を添加した後、溶液に酸反応が起きるまで濃塩
酸を滴下した。この際、黄色の反応生成物が沈殿した。
この反応生成物をブフナー濾斗で濾別し、3回水洗し
た。反応生成物をエタノール中で再結晶させ、次いで、
真空ボックス内で40℃/10mbarの窒素ガス中で
48h乾燥した(収率:91%)。 特性値: −質量スペクトル:分子ピーク:718 −元素分析: 理論値(%):C:45.1 H:1.4 N:
3.9 測定値(%):C:45.1 H:1.3 N:
3.9 −融点:70℃
【0023】実施例2 2,2−ビス[4−(4−アミノ−3−ヒドロキシ−
2,5,6−トリフルオロフェノキシ)フェニル]ヘキ
サフルオロプロパンの製造
2,5,6−トリフルオロフェノキシ)フェニル]ヘキ
サフルオロプロパンの製造
【化13】 実施例1に従って製造した2,2−ビス[4−(4−ニ
トロ−3−ヒドロキシ−2,5,6−トリフルオロフェ
ノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン21.5g
(0.03モル)をテトヒドロフラン・酢酸エチルエス
テル・混合物(容積比1:1)200mlに溶解し、溶
液にPd/C(パラジウム/炭素)2gを加えた。次い
で、オートクレーブ中で室温において、強く撹拌しなが
ら、圧力1barの水素を使用して水素添加した。2日
後反応が終了した。溶液を回転蒸発器において1/2に
濃縮し、室温に一晩放置した。この際、反応生成物の結
晶が沈殿した。次いで、反応生成物を分離し、真空ボッ
クス内で40℃/10mbarの窒素ガス中で48h乾
燥した(収率:93%)。 特性値: −質量スペクトル:分子ピーク:658 −元素分析: 理論値(%):C:49.3 H:2.1 N:
4.3 測定値(%):C:49.1 H:2.2 N:
4.3
トロ−3−ヒドロキシ−2,5,6−トリフルオロフェ
ノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン21.5g
(0.03モル)をテトヒドロフラン・酢酸エチルエス
テル・混合物(容積比1:1)200mlに溶解し、溶
液にPd/C(パラジウム/炭素)2gを加えた。次い
で、オートクレーブ中で室温において、強く撹拌しなが
ら、圧力1barの水素を使用して水素添加した。2日
後反応が終了した。溶液を回転蒸発器において1/2に
濃縮し、室温に一晩放置した。この際、反応生成物の結
晶が沈殿した。次いで、反応生成物を分離し、真空ボッ
クス内で40℃/10mbarの窒素ガス中で48h乾
燥した(収率:93%)。 特性値: −質量スペクトル:分子ピーク:658 −元素分析: 理論値(%):C:49.3 H:2.1 N:
4.3 測定値(%):C:49.1 H:2.2 N:
4.3
【0024】実施例3 1,4−ビス(4−ニトロ−3−ヒドロキシ−2,5,
6−トリフルオロフェノキシ)テトラフルオロベンゾー
ルの製造
6−トリフルオロフェノキシ)テトラフルオロベンゾー
ルの製造
【化14】 窒素導入管および撹拌器を備えた2リットルの三つ口フ
ラスコにおいて、テトラフルオロヒドロキノン18.6
g(0.2モル)およびペンタフルオロニトロベンゾー
ル42.6g(0.2モル)をジメチルスルホキシド4
00mlに溶解した。溶液に、炭酸カリウム60g
(0.43モル)を少量づつ加え、次いで室温において
24h撹拌した。次いで調節自在の油浴において、60
℃に4h加熱し、炭酸水素カリウム30g(0.3モ
ル)の添加後、更に6h加熱した。次いで反応溶液を室
温に冷却し、残渣をブフナー濾斗で濾別した。水500
mlおよび酢酸エチルエステル300mlを添加した
後、溶液に酸反応が起きるまで濃塩酸を滴下した。次い
で有機相を3回水洗し、硫酸ナトリウム上で乾燥し、回
転蒸発器で1/2に濃縮した。2日後、沈殿した黄色の
結晶を濾過し、塩化メチレンで洗浄し、真空ボックス内
で40℃/10mbarの窒素ガス中で48h乾燥した
(収率:93%)。 特性値: −質量スペクトル:分子ピーク:564 −元素分析: 理論値(%):C:38.3 H:0.4 N:
5.0 測定値(%):C:38.4 H:0.3 N:
4.9 −融点:234℃(分解)
ラスコにおいて、テトラフルオロヒドロキノン18.6
g(0.2モル)およびペンタフルオロニトロベンゾー
ル42.6g(0.2モル)をジメチルスルホキシド4
00mlに溶解した。溶液に、炭酸カリウム60g
(0.43モル)を少量づつ加え、次いで室温において
24h撹拌した。次いで調節自在の油浴において、60
℃に4h加熱し、炭酸水素カリウム30g(0.3モ
ル)の添加後、更に6h加熱した。次いで反応溶液を室
温に冷却し、残渣をブフナー濾斗で濾別した。水500
mlおよび酢酸エチルエステル300mlを添加した
後、溶液に酸反応が起きるまで濃塩酸を滴下した。次い
で有機相を3回水洗し、硫酸ナトリウム上で乾燥し、回
転蒸発器で1/2に濃縮した。2日後、沈殿した黄色の
結晶を濾過し、塩化メチレンで洗浄し、真空ボックス内
で40℃/10mbarの窒素ガス中で48h乾燥した
(収率:93%)。 特性値: −質量スペクトル:分子ピーク:564 −元素分析: 理論値(%):C:38.3 H:0.4 N:
5.0 測定値(%):C:38.4 H:0.3 N:
4.9 −融点:234℃(分解)
【0025】実施例4 1,4−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシ−2,5,
6−トリフルオロフェノキシ)テトラフルオロベンゾー
ルの製造
6−トリフルオロフェノキシ)テトラフルオロベンゾー
ルの製造
【化15】 実施例3に従って製造した1,4−ビス(4−ニトロ−
3−ヒドロキシ−2,5,6−トリフルオロフェノキ
シ)テトラフルオロベンゾール50g(0.09モル)
をテトヒドロフランと酢酸エチルエステルの混合物(容
積比1:1)500mlに溶解し、溶液にPd/C(パ
ラジウム/炭素)5gを加えた。次いで、オートクレー
ブ中で室温において強く撹拌しながら、圧力1barの
水素を使用して水素添加した。2日後反応が終了した。
黄色の溶液を回転蒸発器において1/2に濃縮し、室温
に一晩放置した。この際、反応生成物の結晶が沈殿し
た。次いで、反応生成物を分離し、真空ボックス内で4
0℃/10mbarの窒素ガス中で48h乾燥した(収
率:92%)。 特性値: −質量スペクトル:分子ピーク:504 −元素分析: 理論値(%):C:42.9 H:1.2 N:
5.6 測定値(%):C:41.7 H:1.3 N:
5.7
3−ヒドロキシ−2,5,6−トリフルオロフェノキ
シ)テトラフルオロベンゾール50g(0.09モル)
をテトヒドロフランと酢酸エチルエステルの混合物(容
積比1:1)500mlに溶解し、溶液にPd/C(パ
ラジウム/炭素)5gを加えた。次いで、オートクレー
ブ中で室温において強く撹拌しながら、圧力1barの
水素を使用して水素添加した。2日後反応が終了した。
黄色の溶液を回転蒸発器において1/2に濃縮し、室温
に一晩放置した。この際、反応生成物の結晶が沈殿し
た。次いで、反応生成物を分離し、真空ボックス内で4
0℃/10mbarの窒素ガス中で48h乾燥した(収
率:92%)。 特性値: −質量スペクトル:分子ピーク:504 −元素分析: 理論値(%):C:42.9 H:1.2 N:
5.6 測定値(%):C:41.7 H:1.3 N:
5.7
【0026】実施例5 4,6−ビス(4−ニトロ−3−ヒドロキシ−2,5,
6−トリフルオロフェノキシ)ピリミジンの製造
6−トリフルオロフェノキシ)ピリミジンの製造
【化16】 窒素導管および撹拌器を備えた2リットルの三つ口フラ
スコにおいて、4,6−ジヒドロキシピリミジン11.
2g(0.1モル)およびペンタフルオロニトロベンゾ
ール42.6g(0.2モル)をジメチルスルホキシド
400mlに溶解した。この溶液に、炭酸カリウム60
g(0.43モル)を少量づつ加え、次いで室温におい
て24h撹拌した。次いで調節自在の油浴において、6
0℃に4h加熱し、炭酸水素カリウム30g(0.3モ
ル)の添加後、更に6h加熱した。次いで、反応溶液を
室温に冷却し、残渣をブフナー濾斗で濾別した。水50
0mlおよび酢酸エチルエステル300mlを添加した
後、溶液に酸反応が起きるまで濃塩酸を滴下した。次い
で、有機相を3回水洗し、硫酸ナトリウム上で乾燥し、
回転蒸発器で1/2に濃縮した。2日後、沈殿した黄褐
色の結晶を濾過し、石油ベンジンで洗浄し、真空ボック
ス内で40℃/10mbarの窒素ガス中で48h乾燥
した(収率:94%)。 特性値: −質量スペクトル:分子ピーク:494 −元素分析: 理論値(%):C:38.9 H:0.8 N:1
1.3 測定値(%):C:39.1 H:0.7 N:1
1.1
スコにおいて、4,6−ジヒドロキシピリミジン11.
2g(0.1モル)およびペンタフルオロニトロベンゾ
ール42.6g(0.2モル)をジメチルスルホキシド
400mlに溶解した。この溶液に、炭酸カリウム60
g(0.43モル)を少量づつ加え、次いで室温におい
て24h撹拌した。次いで調節自在の油浴において、6
0℃に4h加熱し、炭酸水素カリウム30g(0.3モ
ル)の添加後、更に6h加熱した。次いで、反応溶液を
室温に冷却し、残渣をブフナー濾斗で濾別した。水50
0mlおよび酢酸エチルエステル300mlを添加した
後、溶液に酸反応が起きるまで濃塩酸を滴下した。次い
で、有機相を3回水洗し、硫酸ナトリウム上で乾燥し、
回転蒸発器で1/2に濃縮した。2日後、沈殿した黄褐
色の結晶を濾過し、石油ベンジンで洗浄し、真空ボック
ス内で40℃/10mbarの窒素ガス中で48h乾燥
した(収率:94%)。 特性値: −質量スペクトル:分子ピーク:494 −元素分析: 理論値(%):C:38.9 H:0.8 N:1
1.3 測定値(%):C:39.1 H:0.7 N:1
1.1
【0027】実施例6 4,6−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシ−2,5,
6−トリフルオロフェノキシ)ピリミジンの製造
6−トリフルオロフェノキシ)ピリミジンの製造
【化17】 実施例5に従って製造した4,6−ビス(4−ニトロ−
3−ヒドロキシ−2,5,6−トリフルオロフェノキ
シ)ピリミジン50.8g(0.12モル)をテトラヒ
ドロフランと酢酸エチルエステルの混合物(容積比1:
1)500mlに溶解し、溶液に、Pd/C(パラジウ
ム/炭素)5gを加えた。次いで、オートクレーブ中で
室温において強く撹拌しながら、圧力1barの水素を
使用して水素添加した。2日後、反応が終了した。黄色
の溶液を回転蒸発器において1/2に濃縮し、室温に一
晩放置した。この際、反応生成物の結晶が沈殿した。次
いで、反応生成物を分離し、真空ボックス内で40℃/
10mbarの窒素ガス中で48h乾燥した(収率:9
3%)。 特性値: −質量スペクトル:分子ピーク:434 −元素分析: 理論値(%):C:44.3 H:1.9 N:1
2.9 測定値(%):C:44.3 H:1.8 N:1
2.8
3−ヒドロキシ−2,5,6−トリフルオロフェノキ
シ)ピリミジン50.8g(0.12モル)をテトラヒ
ドロフランと酢酸エチルエステルの混合物(容積比1:
1)500mlに溶解し、溶液に、Pd/C(パラジウ
ム/炭素)5gを加えた。次いで、オートクレーブ中で
室温において強く撹拌しながら、圧力1barの水素を
使用して水素添加した。2日後、反応が終了した。黄色
の溶液を回転蒸発器において1/2に濃縮し、室温に一
晩放置した。この際、反応生成物の結晶が沈殿した。次
いで、反応生成物を分離し、真空ボックス内で40℃/
10mbarの窒素ガス中で48h乾燥した(収率:9
3%)。 特性値: −質量スペクトル:分子ピーク:434 −元素分析: 理論値(%):C:44.3 H:1.9 N:1
2.9 測定値(%):C:44.3 H:1.8 N:1
2.8
【0028】実施例7 4,4’−ビス(4−ニトロ−3−ヒドロキシ−2,
5,6−トリフルオロフェノキシ)オクタフルオロビフ
ェニルの製造
5,6−トリフルオロフェノキシ)オクタフルオロビフ
ェニルの製造
【化18】 窒素導入管および撹拌器を備えた2リットルの三つ口フ
ラスコにおいて、4,4’−オクタフルオロビフェニル
33g(0,1モル)およびペンタフルオロニトロベン
ゾール42,6g(0,2モル)をジメチルスルホキシ
ド400mlに溶解した。この溶液に、炭酸カリウム6
0g(0.43モル)を少量づつ加え、次いで室温にお
いて24h撹拌した。次いで、調節自在の油浴におい
て、50℃に48h加熱し、次いで反応溶液を室温に冷
却し、残渣を折畳濾紙で濾別した。水500mlおよび
酢酸エチルエステル300mlを添加した後、溶液に酸
反応が起きるまで濃塩酸を滴下した。次いで、有機相を
3回水洗し、硫酸ナトリウム上で乾燥し、回転蒸発器で
1/2に濃縮した。2日後、沈殿した黄色の結晶を濾過
し、塩化メチレンと石油ベンジンの混合物(容積比1:
1)で洗浄し、真空ボックス内で40℃/10mbar
の窒素ガス中で48h乾燥した(収率:90%)。 特性値: −質量スペクトル:分子ピーク:712 −元素分析: 理論値(%):C:40.5 H:0.3 N:
3.9 測定値(%):C:40.7 H:0.4 N:
3.8 −融点:>300℃
ラスコにおいて、4,4’−オクタフルオロビフェニル
33g(0,1モル)およびペンタフルオロニトロベン
ゾール42,6g(0,2モル)をジメチルスルホキシ
ド400mlに溶解した。この溶液に、炭酸カリウム6
0g(0.43モル)を少量づつ加え、次いで室温にお
いて24h撹拌した。次いで、調節自在の油浴におい
て、50℃に48h加熱し、次いで反応溶液を室温に冷
却し、残渣を折畳濾紙で濾別した。水500mlおよび
酢酸エチルエステル300mlを添加した後、溶液に酸
反応が起きるまで濃塩酸を滴下した。次いで、有機相を
3回水洗し、硫酸ナトリウム上で乾燥し、回転蒸発器で
1/2に濃縮した。2日後、沈殿した黄色の結晶を濾過
し、塩化メチレンと石油ベンジンの混合物(容積比1:
1)で洗浄し、真空ボックス内で40℃/10mbar
の窒素ガス中で48h乾燥した(収率:90%)。 特性値: −質量スペクトル:分子ピーク:712 −元素分析: 理論値(%):C:40.5 H:0.3 N:
3.9 測定値(%):C:40.7 H:0.4 N:
3.8 −融点:>300℃
【0029】実施例8 4,4’−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシ−2,
5,6−トリフルオロフェノキシ)オクタフルオロビフ
ェニルの製造
5,6−トリフルオロフェノキシ)オクタフルオロビフ
ェニルの製造
【化19】 実施例7に従って製造した4,4’−ビス(4−ニトロ
−3−ヒドロキシ−2,5,6−トリフルオロフェノキ
シ)オクタフルオロビフェニル49.8g(0.07モ
ル)をテトラヒドロフランと酢酸エチルエステルの混合
物(容積比1:1)500mlに溶解し、溶液に、Pd
/C(パラジウム/炭素)5gを加えた。次いで、オー
トクレーブ中で室温において、強く撹拌しながら、圧力
1barの水素を使用して水素添加した。2日後、反応
が終了した。黄色の溶液を回転蒸発器において1/2に
濃縮し、室温に一晩放置した。この際反応生成物の結晶
が沈殿した。次いで、反応生成物を分離し、真空ボック
ス内で40℃/10mbarの窒素ガス中で48h乾燥
した(収率:90%)。 特性値: −質量スペクトル:分子ピーク:652 −元素分析: 理論値(%):C:44.2 H:0.9 N:
4.3 測定値(%):C:44.0 H:0.8 N:
4.4
−3−ヒドロキシ−2,5,6−トリフルオロフェノキ
シ)オクタフルオロビフェニル49.8g(0.07モ
ル)をテトラヒドロフランと酢酸エチルエステルの混合
物(容積比1:1)500mlに溶解し、溶液に、Pd
/C(パラジウム/炭素)5gを加えた。次いで、オー
トクレーブ中で室温において、強く撹拌しながら、圧力
1barの水素を使用して水素添加した。2日後、反応
が終了した。黄色の溶液を回転蒸発器において1/2に
濃縮し、室温に一晩放置した。この際反応生成物の結晶
が沈殿した。次いで、反応生成物を分離し、真空ボック
ス内で40℃/10mbarの窒素ガス中で48h乾燥
した(収率:90%)。 特性値: −質量スペクトル:分子ピーク:652 −元素分析: 理論値(%):C:44.2 H:0.9 N:
4.3 測定値(%):C:44.0 H:0.8 N:
4.4
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI C07D 247/00 C07D 247/00 255/02 255/02 257/12 257/12 487/04 487/04
Claims (5)
- 【請求項1】 下記構造式[式中、A1 〜A6 は、相互
に無関係であり、H,F,CH3 ,CF3 ,OCH3 ,
OCF3 ,CH2 CH3 ,CF2 CF3 ,OCH2 CH
3 またはOCF2 CF3 を表し,基A1 〜A6 の少なく
とも1つは、FまたはF含有基でなければならず;T
は、OまたはSを表し,mは、0または1を表し;Z
は、下記の基(式中、Q=C−AまたはNであり、ここ
で、A=H,F,(CH2 )p CH3 、(CF2 )p C
F3 ,O(CH2 )p CH3 、O(CF2 )pCF3 、
CO (CH2 )p CH3 、CO(CF2 )p CF
3 (ここで、p=0〜8)(直鎖または分岐),OC
(CH3 )3 ,OC(CF3 )3 ,C6 H5 、C
6 F5 ,OC6 H5 、OC6 F5 ,シクロペンチル、ペ
ルフルオロシクロペンチル、シクロヘキシルまたはペル
フルオロシクロヘキシルであり、ここで、分離された芳
香族環には、環当り最大3つのN原子が存在でき、2つ
のN原子は隣接してよく、多環系には、環当り最大2つ
のN原子が存在でき、M=単一結合、(CH2 )n ,
(CF2 )n ,CH(CH3 ),CH(CF3 ),CF
(CH3 ),CF(CF3 ),C(CH3 )2 ,C(C
F3 )2 ,CH(C6 H5 )、CH(C6 F5 ),CF
(C6 H5 )、CF(C6 F5 ),C(CH3 )(C6
H5 )、C(CH3 )(C6 F5 )、C(CF3 )(C
6 H5 )、C(CF3 )(C6 F5 )、C(C6 H5 )
2 、C(C6 F5 )2 、CO,SO 2 , 【化1】 である) 【化2】 の1つである] 【化3】 のビス−o−アミノフェノールおよびビス−o−アミノ
チオフェノール。 - 【請求項2】 請求項1のビス−o−アミノフェノール
およびビス−o−アミノチオフェノールの製造法におい
て、 (a)溶媒中で、−10〜80℃の温度において、下記
構造式 【化4】 のニトロ化合物および下記構造式 【化5】 のニトロ化合物を、水酸化アルカリまたは硫化水素アル
カリと反応させるか、または−塩基の存在の下でージヒ
ドロキシ化合物または下記構造式 HT−Z−TH のジメルカプト化合物と反応させるか、またはジヒドロ
キシ化合物のアルカリ塩またはジメルカプト化合物のア
ルカリ塩と反応させ(式中、Xはハロゲン原子を表し、
A1 〜A6 ,TおよびZは上記の意味を有する); (b)この際に生成したビス−o−ニトロ(チオ)フェ
ノールをビス−o−アミノ(チオ)フェノールに還元す
ることを特徴とする方法。 - 【請求項3】 アルカリ金属またはアルカリ土金属の炭
酸塩または炭酸水素塩を塩基として使用することを特徴
とする請求項2記載の方法。 - 【請求項4】 第3N原子を含む有機塩基を水とともに
使用することを特徴とする請求項2記載の方法。 - 【請求項5】 還元を水素で行い、Pd/Cで触媒作用
させることを特徴とする請求項2ないし4の1つに記載
の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19742195.4 | 1997-09-24 | ||
DE19742195 | 1997-09-24 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11158129A true JPH11158129A (ja) | 1999-06-15 |
Family
ID=7843503
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10270392A Abandoned JPH11158129A (ja) | 1997-09-24 | 1998-09-24 | ビスーo−アミノ(チオ)フェノールおよびその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6150558A (ja) |
EP (1) | EP0906903B1 (ja) |
JP (1) | JPH11158129A (ja) |
DE (1) | DE59802416D1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006176495A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-07-06 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 芳香族ジカルボン酸及びその酸塩化物誘導体 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10011608A1 (de) * | 2000-03-10 | 2001-10-18 | Infineon Technologies Ag | Bis-o-aminophenole und o-Aminophenolcarbonsäuren |
DE10228763A1 (de) * | 2002-06-27 | 2004-01-29 | Infineon Technologies Ag | Monomere für Isoliermaterialien in Aluminium- und Kupfertechnologien |
WO2008050886A1 (fr) * | 2006-10-24 | 2008-05-02 | Sumitomo Bakelite Company Limited | Dérivé de bis(aminophénol), procédé de production de celui-ci, résine de polyamide, compositions de résine photosensible positive, film protecteur, diélectrique intercouches, dispositif semi-conducteur et élément d'affichage |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2931297A1 (de) * | 1979-08-01 | 1981-02-19 | Siemens Ag | Waermebestaendige positivresists und verfahren zur herstellung waermebestaendiger reliefstrukturen |
US4525539A (en) * | 1982-12-02 | 1985-06-25 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Vulcanizable nitrile-containing perfluoroelastomer |
SU1205518A1 (ru) * | 1983-10-24 | 1986-09-30 | Отделение Нефтехимии Института Физико-Органической Химии И Углехимии Ан Усср | Бис(3-амино-4-оксифенокси)перфторарилены в качестве мономеров дл получени полибензоксазолов с повышенной термической и гидролитической устойчивостью |
EP0264678B1 (de) * | 1986-10-02 | 1991-09-18 | Hoechst Celanese Corporation | Polyamide mit Hexafluorisopropyliden-gruppen, diese enthaltende positiv arbeitende lichtempfindliche Gemische und damit hergestellte Aufzeichnungsmaterialien |
US4927736A (en) * | 1987-07-21 | 1990-05-22 | Hoechst Celanese Corporation | Hydroxy polyimides and high temperature positive photoresists therefrom |
US4845183A (en) * | 1987-11-24 | 1989-07-04 | Hoechst Celanese Corporation | Heat resistant polyamide and polybenzoxazole from bis-((amino-hydroxyphenyl)hexafluoroisopropyl)diphenyl ethers |
JPH08119931A (ja) * | 1994-10-21 | 1996-05-14 | Nippon Mektron Ltd | ビスアミノチオフェノール化合物 |
-
1998
- 1998-09-12 DE DE59802416T patent/DE59802416D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-09-12 EP EP98117341A patent/EP0906903B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-09-24 US US09/161,144 patent/US6150558A/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-09-24 JP JP10270392A patent/JPH11158129A/ja not_active Abandoned
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006176495A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-07-06 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 芳香族ジカルボン酸及びその酸塩化物誘導体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0906903A3 (de) | 1999-04-14 |
US6150558A (en) | 2000-11-21 |
EP0906903B1 (de) | 2001-12-12 |
EP0906903A2 (de) | 1999-04-07 |
DE59802416D1 (de) | 2002-01-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3681554B2 (ja) | o−アミノ(チオ)フェノールカルボン酸およびその製造方法 | |
JPH11158129A (ja) | ビスーo−アミノ(チオ)フェノールおよびその製造方法 | |
JP4395184B2 (ja) | 新規なビス(ヒドロキシベンズアルデヒド)化合物及びそれらから誘導される新規な多核体ポリフェノール化合物及びその製造方法 | |
JP4204880B2 (ja) | ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)アダマンタン誘導体及びその製造方法 | |
EP4151614A1 (en) | Fluorinated amide compound, compound containing fluorinated nitrogen-containing heterocyclic ring, and fluorinated compound | |
US6531632B2 (en) | Bis-o-aminophenols and o-aminophenolcarboxylic acids and process for preparing the same | |
JPH11171995A (ja) | ポリベンゾオキサゾール前駆体およびポリベンゾチアゾール前駆体 | |
JPH09278695A (ja) | 新規なトリスフェノール化合物 | |
TWI745452B (zh) | 萘并雙氧族元素二唑(naphthobischalcogenadiazole)衍生物及其製造方法 | |
JP3303546B2 (ja) | ビスラクトン系化合物及びその製造方法 | |
JPH11189573A (ja) | ビスーo−アミノ(チオ)フェノールおよびその製造方法 | |
JP3791952B2 (ja) | 新規なトリスフェノール化合物及びその製造方法 | |
US5082932A (en) | Process for preparing substituted 1,2-naphthoquinone-(2)-diazide-4-sulfonic acid esters and their use in a radiation-sensitive mixture | |
JP2003073345A (ja) | 新規な含フッ素ビスアミノフェノール類及びその製造方法 | |
JPH11199551A (ja) | o−アミノ(チオ)フェノールカルボン酸およびその製造方法 | |
JP3984806B2 (ja) | 新規芳香族ジアミン化合物およびその製造方法 | |
JP3713766B2 (ja) | 5核体ノボラック化合物の製造方法 | |
JPH06184060A (ja) | 芳香族ジニトロ化合物類の製造方法 | |
JPH10218815A (ja) | 新規なトリスフェノール化合物 | |
US5869740A (en) | Herbicide intermediates | |
JPH01110566A (ja) | ビスアジド化合物及びそれを含有する感光性重合体組成物 | |
JP2005320325A (ja) | ジニトロビフェニル誘導体及び該誘導体、ジニトロベンジジン、ジアミノベンジジンの製造方法 | |
JP2003081925A (ja) | 新規なビス−o−アミノフェノールおよびその製造法 | |
JPH11171841A (ja) | o−ニトロ(チオ)フェノール誘導体およびその製造方法 | |
JP2001163870A (ja) | 9,9−ジ置換−キサンテン−2,3,6,7−テトラカルボン酸及びその二無水物の製造法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050805 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080403 |
|
A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20080530 |
|
A072 | Dismissal of procedure [no reply to invitation to correct request for examination] |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A072 Effective date: 20081023 |