JPH11157936A - 窒化アルミニウム−窒化ホウ素複合セラミックス及びその製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム−窒化ホウ素複合セラミックス及びその製造方法Info
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- JPH11157936A JPH11157936A JP9340668A JP34066897A JPH11157936A JP H11157936 A JPH11157936 A JP H11157936A JP 9340668 A JP9340668 A JP 9340668A JP 34066897 A JP34066897 A JP 34066897A JP H11157936 A JPH11157936 A JP H11157936A
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- H05K1/02—Details
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Abstract
(57)【要約】
【解決手段】 酸素含有量が１重量％以下で比表面積が
３ｍ2 ／ｇ以下の窒化アルミニウム粉末と、酸素含有量
が１重量％以下で比表面積が３ｍ2 ／ｇ以下の窒化ホウ
素粉末との混合物の焼結体からなる窒化アルミニウム−
窒化ホウ素複合セラミックス。 【効果】 本発明の窒化アルミニウム−窒化ホウ素複合
セラミックスは、優れた熱伝導率と電気特性とを兼ね備
え、加工性にも優れているもので、高周波用プリント配
線基板等の材料として好適である。また、本発明の製造
方法によれば、上記の優れた特性を有する窒化アルミニ
ウム−窒化ホウ素複合セラミックスを簡単な工程で工業
的に有利に製造することができる。
３ｍ2 ／ｇ以下の窒化アルミニウム粉末と、酸素含有量
が１重量％以下で比表面積が３ｍ2 ／ｇ以下の窒化ホウ
素粉末との混合物の焼結体からなる窒化アルミニウム−
窒化ホウ素複合セラミックス。 【効果】 本発明の窒化アルミニウム−窒化ホウ素複合
セラミックスは、優れた熱伝導率と電気特性とを兼ね備
え、加工性にも優れているもので、高周波用プリント配
線基板等の材料として好適である。また、本発明の製造
方法によれば、上記の優れた特性を有する窒化アルミニ
ウム−窒化ホウ素複合セラミックスを簡単な工程で工業
的に有利に製造することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高熱伝導率、低誘
導率、易加工性を併せ持ち、高周波用プリント配線基板
等の材料として好適な窒化アルミニウム−窒化ホウ素複
合セラミックス及びその製造方法に関する。
導率、易加工性を併せ持ち、高周波用プリント配線基板
等の材料として好適な窒化アルミニウム−窒化ホウ素複
合セラミックス及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】近年、
高周波用プリント配線基板等の材料には、セラミックス
基板が多く用いられているが、従来のセラミックス基板
では、機械加工性が悪く、薄板や微小孔の加工は非常に
困難であり、より機械加工性、熱放散性、電気特性のよ
いセラミックス基板の開発が試みられている。
高周波用プリント配線基板等の材料には、セラミックス
基板が多く用いられているが、従来のセラミックス基板
では、機械加工性が悪く、薄板や微小孔の加工は非常に
困難であり、より機械加工性、熱放散性、電気特性のよ
いセラミックス基板の開発が試みられている。
【０００３】一方、従来、窒化アルミニウムと窒化ホウ
素の複合セラミックスは、窒化ホウ素の機械加工性、耐
熱衝撃性、電気絶縁性と窒化アルミニウムの機械的強
度、高熱伝導性との両方の特性を併せ持つセラミックス
として様々な材料に用いられており、配線基板等の材料
としても有効なものとして注目されている。
素の複合セラミックスは、窒化ホウ素の機械加工性、耐
熱衝撃性、電気絶縁性と窒化アルミニウムの機械的強
度、高熱伝導性との両方の特性を併せ持つセラミックス
として様々な材料に用いられており、配線基板等の材料
としても有効なものとして注目されている。
【０００４】更に、近年、上記したような配線基板等の
材料として、より高特性のセラミックス材料が要求され
始めていることから、複合セラミックスの熱伝導率を高
めるため、原料に焼結助剤を添加して焼結製造すること
が行われており、通常、焼結助剤としては、Ｙ2Ｏ3等の
酸化物が用いられている。
材料として、より高特性のセラミックス材料が要求され
始めていることから、複合セラミックスの熱伝導率を高
めるため、原料に焼結助剤を添加して焼結製造すること
が行われており、通常、焼結助剤としては、Ｙ2Ｏ3等の
酸化物が用いられている。
【０００５】しかしながら、複合セラミックスは、これ
ら酸化物が焼結体中に残存すると、誘電率が増加して電
気特性悪化の原因となり、また、反対に誘電率を低くす
るために助剤量を減らすと、焼結不良や熱伝導率低下の
原因となる。このため、熱伝導性と電気特性との両方の
特性を併せ持つ複合セラミックスを製造することは、非
常に困難であるのが現状であった。
ら酸化物が焼結体中に残存すると、誘電率が増加して電
気特性悪化の原因となり、また、反対に誘電率を低くす
るために助剤量を減らすと、焼結不良や熱伝導率低下の
原因となる。このため、熱伝導性と電気特性との両方の
特性を併せ持つ複合セラミックスを製造することは、非
常に困難であるのが現状であった。
【０００６】本発明は、上記事情に鑑みなされたもの
で、優れた熱伝導率と電気特性とを兼ね備え、しかも加
工性にも優れた窒化アルミニウム−窒化ホウ素複合セラ
ミックス及びその製造方法を提供することを目的とす
る。
で、優れた熱伝導率と電気特性とを兼ね備え、しかも加
工性にも優れた窒化アルミニウム−窒化ホウ素複合セラ
ミックス及びその製造方法を提供することを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段及び発明の実施の形態】本
発明者は上記目的を達成するため鋭意検討を重ねた結
果、酸素含有量が１重量％以下、比表面積が３ｍ2 ／ｇ
以下で、好ましくは平均粒子径が２μｍ以下の窒化アル
ミニウム粉末と、酸素含有量が１重量％以下、好ましく
は０．３重量％以下で比表面積が３ｍ2 ／ｇ以下の窒化
ホウ素粉末と、焼結助剤とを好ましくは窒化アルミニウ
ムの含有量が７０〜９０重量％となるように混合し、成
形した後、窒素雰囲気下で定圧又は加圧下で焼成するこ
とにより得られる窒化アルミニウム−窒化ホウ素複合セ
ラミックスが、焼結助剤を通常より少ない量で添加して
も熱伝導率が７０Ｗ／ｍ・Ｋ以上という高い熱伝導率が
得られる上、優れた電気特性を兼ね備え、しかも加工性
にも優れていることを見出し、本発明をなすに至った。
発明者は上記目的を達成するため鋭意検討を重ねた結
果、酸素含有量が１重量％以下、比表面積が３ｍ2 ／ｇ
以下で、好ましくは平均粒子径が２μｍ以下の窒化アル
ミニウム粉末と、酸素含有量が１重量％以下、好ましく
は０．３重量％以下で比表面積が３ｍ2 ／ｇ以下の窒化
ホウ素粉末と、焼結助剤とを好ましくは窒化アルミニウ
ムの含有量が７０〜９０重量％となるように混合し、成
形した後、窒素雰囲気下で定圧又は加圧下で焼成するこ
とにより得られる窒化アルミニウム−窒化ホウ素複合セ
ラミックスが、焼結助剤を通常より少ない量で添加して
も熱伝導率が７０Ｗ／ｍ・Ｋ以上という高い熱伝導率が
得られる上、優れた電気特性を兼ね備え、しかも加工性
にも優れていることを見出し、本発明をなすに至った。
【０００８】この場合、従来のセラミックス基板は機械
加工性が悪く、薄板や微小孔の加工は非常に困難であっ
たが、本発明の窒化アルミニウム−窒化ホウ素複合体
は、機械加工性に優れており、上記微細加工が可能であ
る。
加工性が悪く、薄板や微小孔の加工は非常に困難であっ
たが、本発明の窒化アルミニウム−窒化ホウ素複合体
は、機械加工性に優れており、上記微細加工が可能であ
る。
【０００９】また、複合セラミックスにおいて、焼結助
剤はその電気特性に大きく影響するもので、この焼結助
剤の添加量は、原料に含まれる酸素含有量に依存し、酸
素含有量が多くなるほど焼結助剤の添加量を多くする必
要があるが、本発明の複合セラミックスでは、原料の窒
化アルミニウムの酸素含有量が非常に低いことから、焼
結助剤の添加量を非常に少なくすることができ、このた
め電気特性低下を防止し得、かつ高熱伝導率を得ること
ができる。
剤はその電気特性に大きく影響するもので、この焼結助
剤の添加量は、原料に含まれる酸素含有量に依存し、酸
素含有量が多くなるほど焼結助剤の添加量を多くする必
要があるが、本発明の複合セラミックスでは、原料の窒
化アルミニウムの酸素含有量が非常に低いことから、焼
結助剤の添加量を非常に少なくすることができ、このた
め電気特性低下を防止し得、かつ高熱伝導率を得ること
ができる。
【００１０】更に、本発明の複合セラミックスは、窒化
アルミニウムと窒化ホウ素の配合比に応じて熱伝導率、
加工性等の物性が変化するが、窒化アルミニウムの含有
量を７０〜９５重量％とすると、とりわけ熱伝導率、電
気特性、機械加工性の良い複合セラミックスを製造する
ことができるものである。
アルミニウムと窒化ホウ素の配合比に応じて熱伝導率、
加工性等の物性が変化するが、窒化アルミニウムの含有
量を７０〜９５重量％とすると、とりわけ熱伝導率、電
気特性、機械加工性の良い複合セラミックスを製造する
ことができるものである。
【００１１】従って、本発明は、酸素含有量が１重量％
以下で比表面積が３ｍ2 ／ｇ以下の窒化アルミニウム粉
末と、酸素含有量が１重量％以下で比表面積が３ｍ2 ／
ｇ以下の窒化ホウ素粉末との混合物の焼結体からなる窒
化アルミニウム−窒化ホウ素複合セラミックス、及び、
酸素含有量が１重量％以下で比表面積が３ｍ2 ／ｇ以下
の窒化アルミニウム粉末と、酸素含有量が１重量％以下
で比表面積が３ｍ2 ／ｇ以下の窒化ホウ素粉末と、焼結
助剤とを混合し、成形した後、窒素雰囲気下で定圧又は
加圧下で焼成することを特徴とする窒化アルミニウム−
窒化ホウ素複合セラミックスの製造方法を提供する。
以下で比表面積が３ｍ2 ／ｇ以下の窒化アルミニウム粉
末と、酸素含有量が１重量％以下で比表面積が３ｍ2 ／
ｇ以下の窒化ホウ素粉末との混合物の焼結体からなる窒
化アルミニウム−窒化ホウ素複合セラミックス、及び、
酸素含有量が１重量％以下で比表面積が３ｍ2 ／ｇ以下
の窒化アルミニウム粉末と、酸素含有量が１重量％以下
で比表面積が３ｍ2 ／ｇ以下の窒化ホウ素粉末と、焼結
助剤とを混合し、成形した後、窒素雰囲気下で定圧又は
加圧下で焼成することを特徴とする窒化アルミニウム−
窒化ホウ素複合セラミックスの製造方法を提供する。
【００１２】以下、本発明につき更に詳細に説明する
と、本発明の窒化アルミニウム−窒化ホウ素複合セラミ
ックスは、酸素含有量が１重量％以下で比表面積が３ｍ
2 ／ｇ以下の窒化アルミニウム粉末と、同様に酸素含有
量が１重量％以下で比表面積が３ｍ2 ／ｇ以下の窒化ホ
ウ素粉末とを主成分としてなるものである。
と、本発明の窒化アルミニウム−窒化ホウ素複合セラミ
ックスは、酸素含有量が１重量％以下で比表面積が３ｍ
2 ／ｇ以下の窒化アルミニウム粉末と、同様に酸素含有
量が１重量％以下で比表面積が３ｍ2 ／ｇ以下の窒化ホ
ウ素粉末とを主成分としてなるものである。
【００１３】ここで、窒化アルミニウム粉末は、酸素含
有量が１重量％以下、好ましくは０．５重量％以下であ
り、酸素含有量が１重量％を超えると、焼結助剤の添加
量を増やさなければならず、そのため複合セラミックス
の電気特性が低下する。
有量が１重量％以下、好ましくは０．５重量％以下であ
り、酸素含有量が１重量％を超えると、焼結助剤の添加
量を増やさなければならず、そのため複合セラミックス
の電気特性が低下する。
【００１４】上記窒化アルミニウム粉末の比表面積は３
ｍ2 ／ｇ以下、好ましくは２ｍ2 ／ｇ以下であり、比表面
積が３ｍ2 ／ｇを超えると熱伝導率が低下する。
ｍ2 ／ｇ以下、好ましくは２ｍ2 ／ｇ以下であり、比表面
積が３ｍ2 ／ｇを超えると熱伝導率が低下する。
【００１５】また、窒化アルミニウムの平均粒子径は２
μｍ以下であることが好ましく、２μｍを超えると成形
体の密度が低下し、熱伝導率が低下するおそれがある。
μｍ以下であることが好ましく、２μｍを超えると成形
体の密度が低下し、熱伝導率が低下するおそれがある。
【００１６】一方、窒化ホウ素粉末としても、上記と同
様の理由から酸素含有量が１重量％以下のものを使用す
る。この場合、酸素含有量が０．３重量％以下であるこ
とが好ましい。
様の理由から酸素含有量が１重量％以下のものを使用す
る。この場合、酸素含有量が０．３重量％以下であるこ
とが好ましい。
【００１７】また、窒化ホウ素粉末としては、比表面積
が３ｍ2 ／ｇ以下、特に２ｍ2 ／ｇ以下のものが使用さ
れ、比表面積が３ｍ2 ／ｇを超えると熱伝導率が低下す
る。
が３ｍ2 ／ｇ以下、特に２ｍ2 ／ｇ以下のものが使用さ
れ、比表面積が３ｍ2 ／ｇを超えると熱伝導率が低下す
る。
【００１８】本発明の窒化アルミニウム−窒化ホウ素複
合セラミックスは、酸素含有量が１重量％以下、比表面
積が３ｍ2 ／ｇ以下である窒化アルミニウム粉末と、同
様の窒化ホウ素粉末とを混合し、得られた混合物に焼結
助剤を添加し、成形、焼成することにより製造すること
ができる。
合セラミックスは、酸素含有量が１重量％以下、比表面
積が３ｍ2 ／ｇ以下である窒化アルミニウム粉末と、同
様の窒化ホウ素粉末とを混合し、得られた混合物に焼結
助剤を添加し、成形、焼成することにより製造すること
ができる。
【００１９】この場合、原料の窒化アルミニウム粉末と
窒化ホウ素粉末の使用量は、窒化アルミニウム粉末の含
有量が全原料の７０〜９５重量％、特に８５〜９０重量
％となるような割合で混合することが好ましく、この範
囲で混合することで、熱伝導率、電気特性、機械加工性
の良い複合セラミックスを製造することができる。窒化
アルミニウムの含有量が７０重量％未満では、熱伝導率
が低下してしまう場合があり、９５重量％より多いと機
械加工性が低下する場合がある。
窒化ホウ素粉末の使用量は、窒化アルミニウム粉末の含
有量が全原料の７０〜９５重量％、特に８５〜９０重量
％となるような割合で混合することが好ましく、この範
囲で混合することで、熱伝導率、電気特性、機械加工性
の良い複合セラミックスを製造することができる。窒化
アルミニウムの含有量が７０重量％未満では、熱伝導率
が低下してしまう場合があり、９５重量％より多いと機
械加工性が低下する場合がある。
【００２０】また、焼結助剤について特に限定はなく、
Ｙ2Ｏ3、Ｂ2Ｏ3、ＣａＯ等を使用することができる。
Ｙ2Ｏ3、Ｂ2Ｏ3、ＣａＯ等を使用することができる。
【００２１】本発明では、原料に含まれる酸素含有量が
非常に低いので、焼結助剤の添加量を少なくすることが
でき、焼結助剤の添加量は、窒化アルミニウム粉末と窒
化ホウ素粉末の混合物１００重量部に対して３重量部以
下、場合によっては１重量部以下とすることができ、３
重量部より多く添加すると、電気特性が低下してしまう
場合がある。
非常に低いので、焼結助剤の添加量を少なくすることが
でき、焼結助剤の添加量は、窒化アルミニウム粉末と窒
化ホウ素粉末の混合物１００重量部に対して３重量部以
下、場合によっては１重量部以下とすることができ、３
重量部より多く添加すると、電気特性が低下してしまう
場合がある。
【００２２】上記製造方法において、原料の混合方法等
については特に限定はなく、ボールミル等で混合すれば
よいが、分散性を向上するためには、湿式混合が最も効
果的である。なお、この湿式混合の場合、原料に窒化ア
ルミニウムを用いるので、エタノール等のアルコールを
溶媒として用いて湿式混合するのがより好適である。ま
た、湿式混合した場合には、原料を乾燥させる工程が必
要となるが、乾燥方法についても特に限定はない。
については特に限定はなく、ボールミル等で混合すれば
よいが、分散性を向上するためには、湿式混合が最も効
果的である。なお、この湿式混合の場合、原料に窒化ア
ルミニウムを用いるので、エタノール等のアルコールを
溶媒として用いて湿式混合するのがより好適である。ま
た、湿式混合した場合には、原料を乾燥させる工程が必
要となるが、乾燥方法についても特に限定はない。
【００２３】得られた混合粉末は、金型プレス等の方法
で成形し、１７００〜２０００℃で窒素雰囲気下で定圧
又は加圧下で焼成することが望ましい。焼成温度が１７
００℃未満では、焼結不良となる場合があり、また、２
０００℃を超えると原料の分解又は窒化アルミニウムの
粒成長が起こり物性の低下を招いてしまう場合がある。
で成形し、１７００〜２０００℃で窒素雰囲気下で定圧
又は加圧下で焼成することが望ましい。焼成温度が１７
００℃未満では、焼結不良となる場合があり、また、２
０００℃を超えると原料の分解又は窒化アルミニウムの
粒成長が起こり物性の低下を招いてしまう場合がある。
【００２４】このような方法により製造される窒化アル
ミニウム−窒化ホウ素複合セラミックスは、原料にそれ
ぞれ酸素含有量が１重量％以下、比表面積が３ｍ2 ／ｇ
以下の窒化アルミニウム粉末及び窒化ホウ素粉末を用い
ることで、熱伝導率が７０Ｗ／ｍ・Ｋ以上、特に８０Ｗ
／ｍ・Ｋ以上となり得るもので、優れた熱伝導率を有す
る。
ミニウム−窒化ホウ素複合セラミックスは、原料にそれ
ぞれ酸素含有量が１重量％以下、比表面積が３ｍ2 ／ｇ
以下の窒化アルミニウム粉末及び窒化ホウ素粉末を用い
ることで、熱伝導率が７０Ｗ／ｍ・Ｋ以上、特に８０Ｗ
／ｍ・Ｋ以上となり得るもので、優れた熱伝導率を有す
る。
【００２５】
【発明の効果】本発明の窒化アルミニウム−窒化ホウ素
複合セラミックスは、優れた熱伝導率と電気特性とを兼
ね備え、加工性にも優れているもので、高周波用プリン
ト配線基板等の材料として好適である。また、本発明の
製造方法によれば、上記の優れた特性を有する窒化アル
ミニウム−窒化ホウ素複合セラミックスを簡単な工程で
工業的に有利に製造することができる。
複合セラミックスは、優れた熱伝導率と電気特性とを兼
ね備え、加工性にも優れているもので、高周波用プリン
ト配線基板等の材料として好適である。また、本発明の
製造方法によれば、上記の優れた特性を有する窒化アル
ミニウム−窒化ホウ素複合セラミックスを簡単な工程で
工業的に有利に製造することができる。
【００２６】
【実施例】以下、実施例及び比較例を示して本発明を具
体的に説明するが、本発明は下記実施例に制限されるも
のではない。なお、各例中の部は重量部、％は重量％で
ある。
体的に説明するが、本発明は下記実施例に制限されるも
のではない。なお、各例中の部は重量部、％は重量％で
ある。
【００２７】〔実施例１〕酸素含有量０．３５％、比表
面積２．０ｍ2 ／ｇの窒化アルミニウム８８部と、酸素
含有量０．２７％、比表面積２．２ｍ2 ／ｇの窒化ホウ
素１２部、焼結助剤としてＹ2Ｏ3を１部をボールミルに
てエタノール中で湿式混合し、得られたスラリーをスプ
レードライヤーにて乾燥した。得られた混合粉末を金型
プレスにて１００×１００×２０ｍｍの大きさに成形し
たものを窒素雰囲気中で１９００℃の温度で焼成し、複
合セラミックスを製造した。
面積２．０ｍ2 ／ｇの窒化アルミニウム８８部と、酸素
含有量０．２７％、比表面積２．２ｍ2 ／ｇの窒化ホウ
素１２部、焼結助剤としてＹ2Ｏ3を１部をボールミルに
てエタノール中で湿式混合し、得られたスラリーをスプ
レードライヤーにて乾燥した。得られた混合粉末を金型
プレスにて１００×１００×２０ｍｍの大きさに成形し
たものを窒素雰囲気中で１９００℃の温度で焼成し、複
合セラミックスを製造した。
【００２８】〔実施例２〕酸素含有量０．９％、比表面
積２．７ｍ2 ／ｇの窒化アルミニウム８８部と、酸素含
有量０．２７％、比表面積２．２ｍ2 ／ｇの窒化ホウ素
１２部、焼結助剤としてＹ2Ｏ3を１部用いる以外は実施
例１と同様にして複合セラミックスを製造した。
積２．７ｍ2 ／ｇの窒化アルミニウム８８部と、酸素含
有量０．２７％、比表面積２．２ｍ2 ／ｇの窒化ホウ素
１２部、焼結助剤としてＹ2Ｏ3を１部用いる以外は実施
例１と同様にして複合セラミックスを製造した。
【００２９】〔実施例３〕酸素含有量０．３５％、比表
面積２．０ｍ2 ／ｇの窒化アルミニウム７０．０部と、
酸素含有量０．２７％、比表面積２．２ｍ2 ／ｇの窒化
ホウ素３０．０部、焼結助剤としてＹ2Ｏ3を１部用いる
以外は実施例１と同様にして複合セラミックスを製造し
た。
面積２．０ｍ2 ／ｇの窒化アルミニウム７０．０部と、
酸素含有量０．２７％、比表面積２．２ｍ2 ／ｇの窒化
ホウ素３０．０部、焼結助剤としてＹ2Ｏ3を１部用いる
以外は実施例１と同様にして複合セラミックスを製造し
た。
【００３０】〔比較例１〕酸素含有量０．３５％、比表
面積２．０ｍ2 ／ｇの窒化アルミニウム９８．０部と、
酸素含有量０．２７％、比表面積２．２ｍ2 ／ｇの窒化
ホウ素２．０部、焼結助剤としてＹ2Ｏ3を１部用いる以
外は実施例１と同様にして複合セラミックスを製造し
た。
面積２．０ｍ2 ／ｇの窒化アルミニウム９８．０部と、
酸素含有量０．２７％、比表面積２．２ｍ2 ／ｇの窒化
ホウ素２．０部、焼結助剤としてＹ2Ｏ3を１部用いる以
外は実施例１と同様にして複合セラミックスを製造し
た。
【００３１】〔比較例２〕酸素含有量１．２５％、比表
面積４．５ｍ2 ／ｇ、平均粒子径１．３μｍの窒化アル
ミニウム８８部と、酸素含有量０．２７％、比表面積
２．２ｍ2 ／ｇの窒化ホウ素１２部、焼結助剤としてＹ2
Ｏ3を１部用いる以外は実施例１と同様にして複合セラ
ミックスを製造した。
面積４．５ｍ2 ／ｇ、平均粒子径１．３μｍの窒化アル
ミニウム８８部と、酸素含有量０．２７％、比表面積
２．２ｍ2 ／ｇの窒化ホウ素１２部、焼結助剤としてＹ2
Ｏ3を１部用いる以外は実施例１と同様にして複合セラ
ミックスを製造した。
【００３２】〔比較例３〕酸素含有量０．４５％、比表
面積１．０ｍ2 ／ｇ、平均粒子径６．５μｍの窒化アル
ミニウム７０．０部と、酸素含有量０．２７％、比表面
積２．２ｍ2 ／ｇの窒化ホウ素１２部、焼結助剤として
Ｙ2Ｏ3を１部用いる以外は実施例１と同様にして複合セ
ラミックスを製造した。
面積１．０ｍ2 ／ｇ、平均粒子径６．５μｍの窒化アル
ミニウム７０．０部と、酸素含有量０．２７％、比表面
積２．２ｍ2 ／ｇの窒化ホウ素１２部、焼結助剤として
Ｙ2Ｏ3を１部用いる以外は実施例１と同様にして複合セ
ラミックスを製造した。
【００３３】〔比較例４〕酸素含有量０．３５％、比表
面積２．０ｍ2 ／ｇ、平均粒子径１．６μｍの窒化アル
ミニウム８８部と、酸素含有量１．８０％、比表面積８
０ｍ2 ／ｇの窒化ホウ素１２部、焼結助剤としてＹ2Ｏ3
を１部用いる以外は実施例１と同様にして複合セラミッ
クスを製造した。
面積２．０ｍ2 ／ｇ、平均粒子径１．６μｍの窒化アル
ミニウム８８部と、酸素含有量１．８０％、比表面積８
０ｍ2 ／ｇの窒化ホウ素１２部、焼結助剤としてＹ2Ｏ3
を１部用いる以外は実施例１と同様にして複合セラミッ
クスを製造した。
【００３４】〔比較例５〕酸素含有量０．３５％、比表
面積２．０ｍ2 ／ｇ、平均粒子径１．６μｍの窒化アル
ミニウム６０部と、酸素含有量０．２７％、比表面積
２．２ｍ2 ／ｇの窒化ホウ素４０部、焼結助剤としてＹ2
Ｏ3を１部用いる以外は実施例１と同様にして複合セラ
ミックスを製造した。
面積２．０ｍ2 ／ｇ、平均粒子径１．６μｍの窒化アル
ミニウム６０部と、酸素含有量０．２７％、比表面積
２．２ｍ2 ／ｇの窒化ホウ素４０部、焼結助剤としてＹ2
Ｏ3を１部用いる以外は実施例１と同様にして複合セラ
ミックスを製造した。
【００３５】上記実施例及び比較例で得られた複合セラ
ミックスの物性値を表１に示す。
ミックスの物性値を表１に示す。
【００３６】表１の結果より、本発明の窒化アルミニウ
ム−窒化ホウ素複合セラミックスは、高熱伝導率で電気
特性に優れ、加工性にも優れていることがわかった。
ム−窒化ホウ素複合セラミックスは、高熱伝導率で電気
特性に優れ、加工性にも優れていることがわかった。
【００３７】
【表１】
Claims (6)
- 【請求項１】 酸素含有量が１重量％以下で比表面積が
３ｍ2 ／ｇ以下の窒化アルミニウム粉末と、酸素含有量
が１重量％以下で比表面積が３ｍ2 ／ｇ以下の窒化ホウ
素粉末との混合物の焼結体からなる窒化アルミニウム−
窒化ホウ素複合セラミックス。 - 【請求項２】 前記窒化アルミニウム粉末の平均粒子径
が２μｍ以下であり、前記窒化ホウ素粉末の酸素含有量
が０．３重量％以下である請求項１記載のセラミック
ス。 - 【請求項３】 熱伝導率が７０Ｗ／ｍ・Ｋ以上である請
求項１又は２記載の窒化アルミニウム−窒化ホウ素複合
セラミックス。 - 【請求項４】 窒化アルミニウムの含有量が７０〜９５
重量％である請求項１、２又は３記載のセラミックス。 - 【請求項５】 酸素含有量が１重量％以下で比表面積が
３ｍ2 ／ｇ以下の窒化アルミニウム粉末と、酸素含有量
が１重量％以下で比表面積が３ｍ2 ／ｇ以下の窒化ホウ
素粉末と、焼結助剤とを混合し、成形した後、窒素雰囲
気下で定圧又は加圧下で焼成することを特徴とする窒化
アルミニウム−窒化ホウ素複合セラミックスの製造方
法。 - 【請求項６】 前記窒化アルミニウム粉末の平均粒子径
が２μｍ以下であり、前記窒化ホウ素粉末の酸素含有量
が０．３重量％以下である請求項５記載のセラミックス
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9340668A JPH11157936A (ja) | 1997-11-26 | 1997-11-26 | 窒化アルミニウム−窒化ホウ素複合セラミックス及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9340668A JPH11157936A (ja) | 1997-11-26 | 1997-11-26 | 窒化アルミニウム−窒化ホウ素複合セラミックス及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11157936A true JPH11157936A (ja) | 1999-06-15 |
Family
ID=18339186
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9340668A Pending JPH11157936A (ja) | 1997-11-26 | 1997-11-26 | 窒化アルミニウム−窒化ホウ素複合セラミックス及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11157936A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010039304A (ja) * | 2008-08-06 | 2010-02-18 | Ricoh Co Ltd | 像担持体保護剤、保護層形成装置、画像形成方法、プロセスカートリッジ及び画像形成装置 |
| CN114605158A (zh) * | 2022-03-07 | 2022-06-10 | 华南理工大学 | 一种钛合金熔炼用氮化物复合耐火材料及其制备方法 |
| CN116283305A (zh) * | 2022-12-12 | 2023-06-23 | 厦门理工学院 | 一种氮化铝氮化硼复合陶瓷及其制备方法 |
| CN116283305B (zh) * | 2022-12-12 | 2024-05-28 | 厦门理工学院 | 一种氮化铝氮化硼复合陶瓷及其制备方法 |
-
1997
- 1997-11-26 JP JP9340668A patent/JPH11157936A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010039304A (ja) * | 2008-08-06 | 2010-02-18 | Ricoh Co Ltd | 像担持体保護剤、保護層形成装置、画像形成方法、プロセスカートリッジ及び画像形成装置 |
| US8385807B2 (en) | 2008-08-06 | 2013-02-26 | Ricoh Company, Ltd. | Image-bearing member protecting agent, protective layer forming device, image forming method, process cartridge and image forming apparatus |
| CN114605158A (zh) * | 2022-03-07 | 2022-06-10 | 华南理工大学 | 一种钛合金熔炼用氮化物复合耐火材料及其制备方法 |
| CN116283305A (zh) * | 2022-12-12 | 2023-06-23 | 厦门理工学院 | 一种氮化铝氮化硼复合陶瓷及其制备方法 |
| CN116283305B (zh) * | 2022-12-12 | 2024-05-28 | 厦门理工学院 | 一种氮化铝氮化硼复合陶瓷及其制备方法 |
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