JPH1114566A - Ｘ線回折測定及び蛍光ｘ線測定のためのｘ線装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 Ｘ線回折測定及び蛍光Ｘ線測定の両方を行う
Ｘ線装置において、蛍光Ｘ線測定用のＸ線検出器の配設
の仕方に改善を加えて、両方の測定の測定精度を向上す
る。 【解決手段】 Ｘ線を放射するＸ線源１と、試料８で回
折するＸ線を検出するＸ線カウンタ６と、試料８から発
生する蛍光Ｘ線を検出するＳＳＤ２３と、試料軸線ωを
中心として試料８をＸ線源１に対してθ回転させるθ回
転駆動系９と、試料軸線ωを中心としてＸ線カウンタ６
をＸ線源１に対して２θ回転させる２θ回転駆動系１１
とを有するＸ線装置である。Ｘ線源１と試料８との間の
θ回転及びＸ線源１とＸ線カウンタ６との間の２θ回転
に連動して、ＳＳＤ２３を試料８に近づけ又は遠ざける
ように移動させる。こうしてＳＳＤ２３をＸ線光学系に
対して進退移動させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線を用いて試料
に関する各種特性を測定するＸ線装置、特にＸ線回折測
定及び蛍光Ｘ線測定の両方の測定を行うことができるＸ
線装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】Ｘ線を用いて試料を分析する装置として
Ｘ線回折装置及び蛍光Ｘ線装置が知られている。Ｘ線回
折装置は、試料にＸ線を照射したときに、その試料で回
折するＸ線を検出する。このＸ線回折装置によれば、試
料に含まれる結晶を構成する原子の配列構造等を判定で
きる。しかしながらこのＸ線回折装置では、試料に含ま
れる原子の種類それ自体を判別することはできない。

【０００３】他方、蛍光Ｘ線装置では、試料にＸ線を照
射したときに、その試料から発生する蛍光Ｘ線を検出す
る。この蛍光Ｘ線は、試料に含まれる原子のそれぞれに
対応した特有の波長を有するものであり、従って、蛍光
Ｘ線の波長ごとの強度分布を測定することにより、試料
に含まれる原子の種類及び量を知ることができる。

【０００４】以上のことから、Ｘ線回折測定及び蛍光Ｘ
線測定の両方を行うことができるＸ線装置を用いれば、
試料に含まれる原子の種類及びそれらの原子に関する結
晶構造の両方を知ることができるので、非常に便利であ
る。従来、そのようなＸ線装置として、Ｘ線回折測定を
行うためのＸ線検出器と、蛍光Ｘ線測定を行うためのＸ
線検出器との両方を個別に備えたＸ線装置が知られてい
る。多くの場合は、Ｘ線回折測定のためのＸ線検出器と
しては、ＳＣ（ Scintillation Counter）や、ＰＣ（Pr
oportional Counter）等が用いられる。また、蛍光Ｘ線
測定のためのＸ線検出器としては、ＳＳＤ（ Soid-Stat
e Detector：半導体検出器）が用いられる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】Ｘ線回折測定及び蛍光
Ｘ線測定の両方を行うことができる従来のＸ線装置で
は、蛍光Ｘ線測定のためのＸ線検出器がＸ線回折測定の
ためのＸ線光学系の邪魔にならないようにするために、
その蛍光Ｘ線測定のためのＸ線検出器を試料から遠く離
して設置していた。しかしながら、Ｘ線検出器をそのよ
うに試料から遠く離して設置する場合には、試料から発
生する蛍光Ｘ線が空気に吸収されてしまうために、蛍光
Ｘ線の検出が困難になるという問題があった。特に、Ｍ
ｇ、Ａｌ等といった軽元素に対応する蛍光Ｘ線に関して
はその傾向が強くて検出が難しかった。

【０００６】本発明は、上記の問題点に鑑みてなされた
ものであって、Ｘ線回折測定及び蛍光Ｘ線測定の両方を
行うことができるＸ線装置において、蛍光Ｘ線測定のた
めのＸ線検出器の配設の仕方に改善を加えることによ
り、Ｘ線回折測定及び蛍光Ｘ線測定の両方の測定精度を
向上することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係るＸ線装置は、Ｘ線を放射するＸ線源
と、試料で回折するＸ線を検出する回折Ｘ線検出器と、
試料から発生する蛍光Ｘ線を検出する蛍光Ｘ線検出器
と、試料軸線を中心として試料をＸ線源に対して相対的
にθ回転させるθ回転駆動系と、試料軸線を中心として
回折Ｘ線検出器をＸ線源に対して相対的に２θ回転させ
る２θ回転駆動系とを有するＸ線装置において、Ｘ線源
と試料との間のθ回転及びＸ線源と回折Ｘ線検出器との
間の２θ回転の少なくとも１つの回転に連動して、蛍光
Ｘ線検出器を試料に近づけ又は遠ざけるように移動させ
ることを特徴とする。

【０００８】このＸ線装置によれば、Ｘ線源から放射し
たＸ線を試料に入射したときにその試料から発生する蛍
光Ｘ線を蛍光Ｘ線検出器によって検出することにより蛍
光Ｘ線測定を行うことができる。また、Ｘ線源と試料と
の間でθ回転を行い、同時に、Ｘ線源と回折Ｘ線検出器
との間で２θ回転を行うことにより、Ｘ線回折測定を行
うことができる。

【０００９】そして、Ｘ線源に対する試料のθ回転及び
／又はＸ線源に対す回折Ｘ線検出器の２θ回転に連動さ
せて蛍光Ｘ線検出器を試料に対して移動できるようにし
たので、Ｘ線源、試料及び回折Ｘ線検出器の各要素を含
むＸ線光学系がＸ線回折測定を行うために相対的に角度
移動するときでも、蛍光Ｘ線検出器を常にそのＸ線光学
系の邪魔にならない位置に置くことができる。しかも、
蛍光Ｘ線測定を行うときには蛍光Ｘ線検出器をできるだ
け試料に接近する位置に置くことができる。試料から発
生する蛍光Ｘ線は空気によって吸収され易いので、試料
と蛍光Ｘ線検出器との間の間隔が大きく離れると蛍光Ｘ
線の検出が困難になるのであるが、上記のように蛍光Ｘ
線測定の際に蛍光Ｘ線検出器を試料に接近させて配置で
きるということは、蛍光Ｘ線測定の測定精度を向上させ
ることに関して極めて有利である。

【００１０】上記構成において、回折Ｘ線検出器として
は、例えば、ＳＣやＰＣを用いることができる。また、
蛍光Ｘ線検出器としてはＰＣやＳＳＤ、望ましくはＳＳ
Ｄを用いることができる。ＳＳＤは、固体である半導体
のイオン化作用を利用してＸ線強度をエネルギごと、す
なわち波長ごとに検出するものである。シリコン、ゲル
マニウム等といった半導体にＸ線が入射すると、その半
導体の中にイオン対（すなわち、電子と正孔）が作られ
る。このイオン対の数は、入射Ｘ線のエネルギに比例す
る。これらのイオン対は、電圧が与えられた両極に分離
してパルス電流となる。イオン対は両電極に移動する
際、途中の電子をさらにイオン化することはないので、
パルス電流はかなり弱いが、パルス電流のパルス高さは
入射Ｘ線のエネルギと正確に対応し、よって、エネルギ
分解能が非常に高い。

【００１１】上記構成のＸ線装置に関しては、以下のよ
うな実施態様が考えられる。 （１）まず第１に、Ｘ線源に対する回折Ｘ線検出器の２
θ角度が大きくなるときに、それに連動させて蛍光Ｘ線
検出器を試料から遠ざかる方向へ移動するように構成で
きる。従来装置のように蛍光Ｘ線検出器を試料に対して
一定位置に固定配置しておくと、Ｘ線回折測定を行って
いるときに回折角度２θが小さいときには蛍光Ｘ線検出
器が測定の邪魔にならないかもしれないが、回折角度２
θが大きくなると、Ｘ線源から試料へＸ線が入射するこ
とに関して及び試料で回折したＸ線が回折Ｘ線検出器に
到達することに関して、蛍光Ｘ線検出器が邪魔になるこ
とが考えられる。これに対して、回折角度２θが大きく
なるにつれて蛍光Ｘ線検出器を試料から離れるようにし
ておけば、回折角度２θが大きくなる場合にも試料のま
わりに広い空間を確保できるので、試料に対して十分な
入射Ｘ線を供給でき、さらに、試料からの回折Ｘ線を減
衰させることなく回折Ｘ線検出器へ導くことができる。

【００１２】（２）次に、試料軸線を中心としてＸ線源
を一定方向へ所定の角速度で回転させることによってθ
回転を実現し、上記試料軸線を中心として回折Ｘ線検出
器をＸ線源と反対方向へ同じ角速度で回転させることに
よって２θ回転を実現するようにＸ線光学系を構成した
上で、上記θ回転及び上記２θ回転の両方の回転角度が
共に大きくなるときに、それらの回転角度に連動させて
蛍光Ｘ線検出器を試料から遠ざかる方向へ移動させるこ
とができる。

【００１３】（３）また、上記（２）の構成を採用する
ときには、Ｘ線源に対する試料のθ回転及び／又はＸ線
源に対する回折Ｘ線検出器の２θ回転に連動させて蛍光
Ｘ線検出器を移動させるための手段として平行リンク機
構を採用でき、その場合には、この平行リンク機構の上
にＸ線源、試料、回折Ｘ線検出器及び蛍光Ｘ線検出器の
各要素を搭載する。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１は、本発明に係るＸ線装置の
一実施形態を示している。このＸ線装置は、Ｘ線焦点Ｆ
を含むＸ線源１と、θ回転台２及び２θ回転台３を含む
ゴニオメータ４と、そして回折Ｘ線検出器としてのＸ線
カウンタ６とを有する。測定対象である試料８は、θ回
転台２に装着される。Ｘ線源１は、図示の所定位置に固
定設置される。θ回転台２は、軸線ωを中心として回転
する。２θ回転台３は、θ回転台２のまわりに配設され
ていて軸線ωを中心として回転する。軸線ωは、試料８
の表面を通るように設定される。２θ回転台３には外側
へ張り出す検出器アーム７が設けられ、この検出器アー
ム７の上にＸ線カウンタ６が固定される。Ｘ線カウンタ
６は、例えばＰＣ（Proportional Counter）によって構
成できる。

【００１５】θ回転台２にはθ回転駆動系９が連結さ
れ、一方、２θ回転台３には２θ回転駆動系１１が連結
される。これらの回転駆動系は、例えば、パルスモータ
の回転をウオームとウオームホイールを介して各回転台
２及び３に伝達する構成を採用できる。この構成の場合
には、パルスモータに適宜の駆動パルスを供給すること
により、θ回転台２及び２θ回転台３を希望の角度だけ
回転できる。θ回転駆動系９及び２θ回転駆動系１１の
動作はＣＰＵ（中央処理装置）１２によって制御され
る。

【００１６】Ｘ線源１と試料８との間には、Ｘ線焦点Ｆ
から発散するＸ線の発散を規制する発散規制スリット１
３が配設される。また、Ｘ線カウンタ６の手前位置には
受光スリット１４が配設される。Ｘ線カウンタ６は、Ｘ
線を取り込んだときにそのＸ線強度に対応した信号を出
力し、その出力信号はＸ線強度演算回路１６へ入力され
る。このＸ線強度演算回路１６は、Ｘ線カウンタ６の出
力信号に基づいてＸ線強度を演算する。検出器アーム７
を所定の角速度で回転、いわゆる２θ回転させながらＸ
線カウンタ６によるＸ線検出を行い、その出力信号に基
づいてＸ線強度演算回路１６によってＸ線強度を演算す
れば、図４に示すように、回折角度（２θ）に関するＸ
線強度分布を得ることができる。このようなＸ線強度分
布は、ＣＰＵ１２によって駆動制御される表示装置、例
えばプリンタ１７によって用紙上にプリントでき、ある
いは、ＣＲＴモニタ１８によって映像として表示でき
る。

【００１７】図１において、Ｘ線源１、ゴニオメータ
４、そしてＸ線カウンタ６は、４個のリンク１９ａ，１
９ｂ，１９ｃ及び１９ｄを回転節によって環状に連結し
た平行リンク機構１９によって互いに連結されている。
具体的には、平行リンク機構１９の１つの回転節２１が
θ回転台２及び２θ回転台３の回転軸線ωに一致し、リ
ンク１９ａの延長部分にＸ線源１が固定され、そして、
リンク１９ｂの延長部分にＸ線カウンタ６が固定され
る。

【００１８】さらに、平行リンク機構１９の回転節のう
ち試料回転軸線ωと対向する位置にある回転節２２に
は、蛍光Ｘ線検出器としてのＳＳＤ（ Soid-State Dete
ctor）２３が取り付けられている。また、補助リンク２
４ａ及び２４ｂは、リンク１９ｃ及び１９ｄと協働して
小さな平行リンク機構を構成する。

【００１９】Ｘ線源１と試料８とを結ぶリンク１９ａ
は、θ回転台２と一体になって回転する。また、Ｘ線カ
ウンタ６と試料８とを結ぶリンク１９ｂは、２θ回転台
３と一体になって回転する。リンク１９ａ及び１９ｂの
少なくともいずれか一方が試料軸線ωを中心として回転
すると、ＳＳＤ２３は矢印Ａ−Ａ’で示すように、試料
８に近づき又は遠ざかるように平行移動する。このと
き、補助リンク２４ａ及び２４ｂによって構成される小
さな平行リンク機構の働きにより、ＳＳＤ２３のＸ線取
込口２３ａは常に試料８を向くように保持される。

【００２０】ＳＳＤ２３は、Ｘ線が半導体に入射したと
きに形成されるイオン対、すなわち電子と正孔との対、
に基づいてＸ線を検出するものであり、多くの場合は、
イオン対を熱雑音と区別するために半導体及びそれに付
随する増幅器等を液体窒素を用いて冷却する。ＳＳＤ２
３の出力端子にはＭＣＡ（Multi-Channel Pulse Height
Analyzer ：多重波高分析器）２６が接続され、そのＭ
ＣＡ２６の出力端子がＣＰＵ１２の入力ポートに接続さ
れる。

【００２１】ＳＳＤ２３は、Ｘ線取込口２３ａに特定エ
ネルギ（すなわち、特定波長）のＸ線が入ったときに、
図２に示すように、そのエネルギに対応した高さ（パル
スハイト）のパルス信号を出力する。そして、この出力
パルスを入力したＭＣＡ２６は、そのパルスハイトに対
応するチャンネル内に信号を記憶する。ＳＳＤ２３のＸ
線取込口２３ａにエネルギの異なる複数のＸ線が取り込
まれると、ＭＣＡ２６内の対応チャンネル内の信号値が
徐々に大きくなる。図３に示すＸ線強度分布及び必要に
応じて図２に示すＸ線強度分布は、プリンタ１７又はＣ
ＲＴモニタ１８によって可視像として表示される。

【００２２】以上の構成を有する本実施形態のＸ線装置
は、Ｘ線回折測定及び蛍光Ｘ線測定の２種類の測定を希
望に応じて選択して実行できる。以下、各測定別に説明
する。 （蛍光Ｘ線測定）図１において、θ回転台２の所定位置
に試料８を装着する。そして、２θ回転台３を図の正時
計方向へ回転させることによって検出器側リンク１９ｂ
を正時計方向へ回転させ、これにより、Ｘ線源側リンク
１９ａに対する検出器側リンク１９ｂの成す角度２θを
小さくする。すると、平行リンク機構１９の作用により
ＳＳＤ２３が矢印Ａのように試料８へ向かって平行移動
する。これにより、ＳＳＤ２３のＸ線取込口２３ａをで
きるだけ試料８に接近する位置に置く。このとき、補助
リンク２４ａ及び２４ｂを含む小さな平行リンク機構の
働きにより、ＳＳＤ２３は、そのＸ線取込口２３ａを常
に試料８へ向けた状態で平行移動する。

【００２３】ＳＳＤ２３が試料８に接近した位置にセッ
トされると、Ｘ線源１のＸ線焦点ＦからＸ線の放射を開
始する。放射されたＸ線は、発散規制スリット１３によ
ってその発散を制限されて試料８の表面に入射する。す
ると、試料８からは、その内部に含まれる原子の種類に
対応した波長のＸ線、すなわち蛍光Ｘ線が発生し、それ
がＳＳＤ２３によって検出される。ＳＳＤ２３の出力端
子には、検出したＸ線の波長に対応するパルスハイトの
パルス信号が出力され、その出力パルスがＭＣＡ２６の
対応するチャンネルに格納される。

【００２４】以上のように、ＭＣＡ２６の各チャンネル
には試料８に含まれる原子に対応したチャンネルに信号
が蓄積されてゆき、結果的に、図３に示すような各チャ
ンネルごと、すなわち、各パルスハイトごとのＸ線強度
分布が得られる。このＸ線強度分布を観察することによ
り、試料８に含まれる原子の種類及びその量を知ること
ができる。図３では、Ａｌ（アルミニウム）、Ｓｉ（ケ
イ素）、Ｆｅ（鉄）、そして銀（Ａｇ）に対応するチャ
ンネルに信号が蓄積された状態を示している。

【００２５】図１において試料８から発生する蛍光Ｘ線
は強度が弱くて空気に吸収され易く、それを検出するこ
とが困難であった。特に、Ａｌ、Ｓｉ等といった軽元素
についてはその傾向が強い。しかしながら本実施形態の
Ｘ線装置では、ＳＳＤ２３のＸ線取込口２３ａを試料８
にできるだけ接近させるようにしたので、蛍光Ｘ線の空
気による吸収の影響をできる限り抑えることができ、よ
って、信頼性の高い蛍光Ｘ線測定結果を得ることができ
る。

【００２６】（Ｘ線回折測定）次に、Ｘ線回折測定を行
う場合には、図１において、θ回転台２に試料８を装着
したままで、あるいは、新しい試料８に交換した後に、
Ｘ線源１を固定した状態で、Ｘ線焦点Ｆから出て試料８
へ入射するＸ線の入射角度θを初期のホーム位置にセッ
トする。また、Ｘ線源１に対するＸ線カウンタ６の角
度、すなわち回折角度２θを初期のホーム位置にセット
する。

【００２７】次いで、θ回転駆動系９を作動してθ回転
台２従って試料８を試料軸線ωを中心として所定の角速
度で間欠的又は連続的に回転、いわゆるθ回転させる。
そして同時に、２θ回転駆動系１１を作動して２θ回転
台３従ってＸ線カウンタ６をθ回転の２倍の角速度で同
じ方向へ回転、いわゆる２θ回転させる。

【００２８】試料８がθ回転し、それに合わせてＸ線カ
ウンタ６が２θ回転する間、Ｘ線焦点Ｆから放射されて
発散規制スリット１３によって発散が制限されたＸ線が
試料８に入射する。そして、入射したＸ線と試料８の結
晶格子面との間でブラッグの回折条件が満足されるタイ
ミングが到来すると、その試料８でＸ線が回折し、その
回折Ｘ線がＸ線カウンタ６によってカウントされ、さら
にＸ線強度演算回路１６によってＸ線強度が算出され
る。このＸ線強度値はＣＰＵ１２によって回折角度２θ
と関連づけられ、その結果、図４に示すような回折Ｘ線
図形が得られる。この回折Ｘ線図形を観察することによ
り、試料８に含まれる結晶を構成する原子の配列構造等
を判定できる。

【００２９】以上のＸ線回折測定を行っている間、Ｘ線
カウンタ６の角度位置２θは小さい側（すなわち、低角
度側）から大きい側（すなわち、高角度側）へと移行す
る。このように角度２θが徐々に大きくなるときＳＳＤ
２３は、矢印Ａ’に示すように、平行リンク機構１９の
働きによって試料８から徐々に離れる方向へ移動する。

【００３０】仮に、従来装置のように、ＳＳＤ２３が一
定の位置に固定される構造であるとすると、その固定位
置が試料８に接近した位置であれば、蛍光Ｘ線測定にお
いては蛍光Ｘ線の検出を精度高く行うことができる。し
かしながら、測定モードを変更してＸ線回折測定を行う
ときには、試料８の近傍に設置されたそのＳＳＤ２３が
邪魔になって、Ｘ線源１のＸ線焦点ＦからのＸ線が十分
に試料８に到達しなかったり、さらに、試料８で回折し
た回折Ｘ線の全てがＸ線カウンタ６に到達することを阻
害される。

【００３１】これに対し、Ｘ線カウンタ６の２θ回転移
動に連動させてＳＳＤ２３を試料８から遠ざかるように
移動させれば、回折角度２θが大きくなって試料８のま
わりの空間的な余裕が狭くなるときでも、ＳＳＤ２３が
入射Ｘ線及び回折Ｘ線の進行を阻害することがなくな
り、その結果、信頼性の高いＸ線回折測定データを得る
ことができる。

【００３２】（その他の実施形態）以上、好ましい実施
形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形
態に限定されるものではなく、請求の範囲に記載した発
明の範囲内で種々に改変できる。例えば、以上の説明で
は、図１においてＸ線回折測定を行う際に、Ｘ線源１を
固定状態にしておいて試料８をθ回転させ、同時にＸ線
カウンタ６をその２倍の角速度で同じ方向へ２θ回転さ
せたが、この動作に代えて、試料８を固定状態にしてお
いてＸ線源１を図の正時計方向へθ回転させ、同時に、
Ｘ線カウンタ６をそれと反対の反時計方向へ同じ角速度
で２θ回転させることもできる。

【００３３】また、図１の実施形態では、ＳＳＤ２３の
Ｘ線取込口２３ａを常に試料８を向くようにするため
に、補助リンク２４ａ及び２４ｂを含む小さな平行リン
ク機構を用いたが、これ以外の任意のガイド手段を用い
ることができる。また、ＳＳＤ２３をＡ−Ａ’方向へ進
退移動させるための手段として平行リンク機構を用いた
が、これに代えて、それ以外の任意の構造の移動機構を
用いることができる。

【００３４】また、蛍光Ｘ線検出器はＳＳＤに限られ
ず、ＰＣを用いることもできる。但し、ＰＣはＳＳＤに
比べてエネルギ分解能がかなり低いので、蛍光Ｘ線測定
のうちの定性分析、すなわち未知試料の中にどのような
原子が存在するかを判別するための測定には不向きであ
り、予め含まれていることがわかっている原子がどのく
らいの量だけ含まれているかを知るための測定、すなわ
り定量測定を行う場合にＰＣを使用できる。

【００３５】

【発明の効果】請求項１記載のＸ線装置によれば、Ｘ線
源に対する試料のθ回転及び／又はＸ線源に対す回折Ｘ
線検出器の２θ回転に連動させて蛍光Ｘ線検出器を試料
に対して移動できるようにしたので、Ｘ線源、試料及び
回折Ｘ線検出器の各要素を含むＸ線光学系がＸ線回折測
定を行うために相対的に角度移動するときでも、蛍光Ｘ
線検出器を常にそのＸ線光学系の邪魔にならない位置に
置くことができる。しかも、蛍光Ｘ線測定を行うときに
は蛍光Ｘ線検出器をできるだけ試料に接近する位置に置
くことができ、従って、空気吸収の影響を排除して信頼
性の高い蛍光Ｘ線測定を行うことができる。

【００３６】請求項２記載のＸ線装置によれば、Ｘ線光
学系によってＸ線回折測定を行う際に、蛍光Ｘ線検出器
がそのＸ線光学系の邪魔になることを確実に防止でき
る。

【００３７】請求項３記載のＸ線装置は、試料を固定配
置した状態でＸ線源及びＸ線カウンタの両方を試料を中
心として互いに反対方向へ回転移動させることによって
Ｘ線回折測定を行う形式のゴニオメータを対象としてい
る。この種のゴニオメータを用いる場合には、Ｘ線源及
びＸ線カウンタの両方が試料のまわりで回転移動するの
で、蛍光Ｘ線を検出するための蛍光Ｘ線検出器を固定配
置することにすると、特にその蛍光Ｘ線検出器がＸ線回
折測定の邪魔になり易い。このとき、蛍光Ｘ線検出器を
Ｘ線回折測定のためのＸ線光学系と連動して移動するよ
うに構成しておけば、そのＸ線光学系をどのような角度
位置に回転移動させる場合でも、蛍光Ｘ線検出器がＸ線
回折測定を邪魔することを確実に防止できる。

【００３８】請求項４記載のＸ線装置によれば、Ｘ線回
折測定のためのＸ線光学系の回転移動と蛍光Ｘ線検出器
の進退移動とを非常に簡単に、且つ、正確な動作を行う
ことができるように連動させることができる。

【００３９】請求項５記載のＸ線装置によれば、ＰＣ等
といったその他のＸ線検出器を用いる場合に比べて、高
精度の測定結果を得ることができる。

【００４０】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るＸ線装置の一実施形態を示す平面
図である。

【図２】図１の装置によって実行される蛍光Ｘ線測定に
よって得られる測定データの一例を示すグラフである。

【図３】図１の装置によって実行される蛍光Ｘ線測定に
よって得られる測定データの他の一例を示すグラフであ
る。

【図４】図１の装置によって実行されるＸ線回折測定に
よって得られる測定データの一例を示すグラフである。

【符号の説明】

１ Ｘ線源 ２ θ回転台 ３ ２θ回転台 ４ ゴニオメータ ６ Ｘ線カウンタ（回折Ｘ線検出器） ７ 検出器アーム ８ 試料 １３ 発散規制スリット １４ 受光スリット １９ 平行リンク機構 １９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄ リンク ２１，２２ 回転節 ２３ ＳＳＤ（蛍光Ｘ線検出器） ２３ａ Ｘ線取込口 ２４ａ，２４ｂ 補助リンク Ｆ Ｘ線焦点 ω 試料軸線

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｘ線を放射するＸ線源と、試料で回折す
   るＸ線を検出する回折Ｘ線検出器と、試料から発生する
   蛍光Ｘ線を検出する蛍光Ｘ線検出器と、試料軸線を中心
   として試料をＸ線源に対して相対的にθ回転させるθ回
   転駆動系と、試料軸線を中心として回折Ｘ線検出器をＸ
   線源に対して相対的に２θ回転させる２θ回転駆動系と
   を有するＸ線装置において、 Ｘ線源と試料との間のθ回転及びＸ線源と回折Ｘ線検出
   器との間の２θ回転の少なくとも１つの回転に連動し
   て、蛍光Ｘ線検出器を試料に近づけ又は遠ざけるように
   移動させることを特徴とするＸ線装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載のＸ線装置において、Ｘ線
   源に対する回折Ｘ線検出器の２θ角度が大きくなるとき
   に蛍光Ｘ線検出器を試料から遠ざかる方向へ移動するこ
   とを特徴とするＸ線装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２記載のＸ線装置に
   おいて、 試料軸線を中心としてＸ線源を一定方向へ所定の角速度
   で回転させることによってθ回転を実現し、 上記試料軸線を中心として回折Ｘ線検出器をＸ線源と反
   対方向へ同じ角速度で回転させることによって２θ回転
   を実現し、 上記θ回転及び上記２θ回転に連動させて、それらの回
   転角度が大きくなるときに蛍光Ｘ線検出器を試料から遠
   ざかる方向へ移動することを特徴とするＸ線装置。
4. 【請求項４】 請求項３記載のＸ線装置において、Ｘ線
   源、試料、回折Ｘ線検出器及び蛍光Ｘ線検出器の各要素
   を平行リンク機構に搭載したことを特徴とするＸ線装
   置。
5. 【請求項５】 請求項１から請求項４のうちの少なくと
   もいずれか１つに記載のＸ線装置において、蛍光Ｘ線検
   出器はＳＳＤ（半導体検出器）であることを特徴とする
   Ｘ線装置。