JPH11143542A - 圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置 - Google Patents
圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置Info
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- JPH11143542A JPH11143542A JP9301675A JP30167597A JPH11143542A JP H11143542 A JPH11143542 A JP H11143542A JP 9301675 A JP9301675 A JP 9301675A JP 30167597 A JP30167597 A JP 30167597A JP H11143542 A JPH11143542 A JP H11143542A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 衝撃体の摺動面に与えられる摩擦力の影響を
最小限にし、運動エネルギーを効率的に利用することが
できる圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型
精密位置決め装置を提供する。 【解決手段】 圧電素子２２の一方側に取り付けられる
慣性体２１と、前記圧電素子２２のもう一方側に取り付
けられる衝撃体２３と、前記慣性体２１と前記衝撃体２
３が取り付けられた移動方向に予圧を与える衝撃体移動
方向予圧手段と、前記慣性体２１及び前記衝撃体２３を
ガイドするローラガイド又は低摩擦係数の摺動面２５及
び２６と、前記圧電素子２２に外部より電圧パターンを
与える手段とを具備している。
最小限にし、運動エネルギーを効率的に利用することが
できる圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型
精密位置決め装置を提供する。 【解決手段】 圧電素子２２の一方側に取り付けられる
慣性体２１と、前記圧電素子２２のもう一方側に取り付
けられる衝撃体２３と、前記慣性体２１と前記衝撃体２
３が取り付けられた移動方向に予圧を与える衝撃体移動
方向予圧手段と、前記慣性体２１及び前記衝撃体２３を
ガイドするローラガイド又は低摩擦係数の摺動面２５及
び２６と、前記圧電素子２２に外部より電圧パターンを
与える手段とを具備している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電素子の急速変
形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置に関す
るものである。
形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の技術としては、以下に示
すものがあった。図１７は従来の圧電素子の急速変形に
伴う衝撃力発生機構の駆動原理の説明図である。まず、
図１７（ａ）に示すように、圧電素子２の両側にそれぞ
れ慣性体１及び衝撃体３を取り付けた位置決め機構は、
摺動面４との静止摩擦力で保持された状態にある。この
最初の状態では、その位置決め機構は、ベース６に位置
している位置決めすべき対象物５と距離ｄ０離れてい
る。
すものがあった。図１７は従来の圧電素子の急速変形に
伴う衝撃力発生機構の駆動原理の説明図である。まず、
図１７（ａ）に示すように、圧電素子２の両側にそれぞ
れ慣性体１及び衝撃体３を取り付けた位置決め機構は、
摺動面４との静止摩擦力で保持された状態にある。この
最初の状態では、その位置決め機構は、ベース６に位置
している位置決めすべき対象物５と距離ｄ０離れてい
る。
【０００３】次に、図１７（ｂ）に示すように、そのイ
ンパクト駆動機構とも呼ばれる位置決め機構を、圧電素
子２に電圧を加えることによって、位置決めすべき対象
物５と接触の状態まで移動させる〔その移動原理は、以
下、図１７（ｃ）から図１７（ｅ）までの説明で位置決
めすべき対象物５を除いた場合と同じ〕。その接触して
いる状態では、位置決め機構の衝撃体３は位置決めすべ
き対象物５と一体化される。
ンパクト駆動機構とも呼ばれる位置決め機構を、圧電素
子２に電圧を加えることによって、位置決めすべき対象
物５と接触の状態まで移動させる〔その移動原理は、以
下、図１７（ｃ）から図１７（ｅ）までの説明で位置決
めすべき対象物５を除いた場合と同じ〕。その接触して
いる状態では、位置決め機構の衝撃体３は位置決めすべ
き対象物５と一体化される。
【０００４】次に、図１７（ｃ）に示すように、更に、
圧電素子２を急速に膨張させると、その一体化された衝
撃体３及び位置決めすべき対象物５は、摺動面４との静
止摩擦力に打ち勝って、慣性体１とは逆の方向に移動
し、最後に摺動面４との動摩擦力により停止し、移動距
離がｄ１となる。次に、膨張した圧電素子２を緩やかに
一定加速度で収縮させると、一体化された衝撃体３及び
位置決めすべき対象物５は、静止摩擦力で保持されたま
ま、慣性体１のみを引き戻すことができる。
圧電素子２を急速に膨張させると、その一体化された衝
撃体３及び位置決めすべき対象物５は、摺動面４との静
止摩擦力に打ち勝って、慣性体１とは逆の方向に移動
し、最後に摺動面４との動摩擦力により停止し、移動距
離がｄ１となる。次に、膨張した圧電素子２を緩やかに
一定加速度で収縮させると、一体化された衝撃体３及び
位置決めすべき対象物５は、静止摩擦力で保持されたま
ま、慣性体１のみを引き戻すことができる。
【０００５】次に、図１７（ｄ）に示すように、圧電素
子２が収縮したところで引き戻しの動作を突然停止させ
ると、慣性体１が圧電素子２を介して、一体化された衝
撃体３及び位置決めすべき対象物５に衝突するような形
となり、一体化された位置決めすべき対象物５は再び、
微小移動を起こす。次に、図１７（ｅ）に示すように、
一体化された衝撃体３及び位置決めすべき対象物５は、
距離ｄ２を移動した後、停止し、再び、摺動面４との静
止摩擦力で保持された状態になり、１サイクルが終了す
る。
子２が収縮したところで引き戻しの動作を突然停止させ
ると、慣性体１が圧電素子２を介して、一体化された衝
撃体３及び位置決めすべき対象物５に衝突するような形
となり、一体化された位置決めすべき対象物５は再び、
微小移動を起こす。次に、図１７（ｅ）に示すように、
一体化された衝撃体３及び位置決めすべき対象物５は、
距離ｄ２を移動した後、停止し、再び、摺動面４との静
止摩擦力で保持された状態になり、１サイクルが終了す
る。
【０００６】以上の原理から分かるように、この位置決
め機構では、一体化された衝撃体３及び位置決めすべき
対象物５が距離ｄ１を移動した後、衝撃体３の位置を保
持するために、衝撃体３の摺動面４との静止摩擦力は、
圧電素子２がゆっくり引き戻す過程に伴う慣性力より大
きくなければならない。そのために衝撃体３の寸法を大
きくする方法や、衝撃体３の摺動面４の垂直方向に予圧
を与える方法などが用いられてきた。
め機構では、一体化された衝撃体３及び位置決めすべき
対象物５が距離ｄ１を移動した後、衝撃体３の位置を保
持するために、衝撃体３の摺動面４との静止摩擦力は、
圧電素子２がゆっくり引き戻す過程に伴う慣性力より大
きくなければならない。そのために衝撃体３の寸法を大
きくする方法や、衝撃体３の摺動面４の垂直方向に予圧
を与える方法などが用いられてきた。
【０００７】図１８はかかる従来の位置決め機構を示す
断面図で、図１９は図１８の右側面図である。図１８に
示すように、圧電素子２の左側にねじ８で慣性体１を取
り付け、圧電素子２の右側にアタッチメント７で衝撃体
を取り付ける。慣性体１はケースに固定されている座９
で案内され，また、その座９はリニアガイドを具備し、
更に、ばね１０の調整により摺動面４に適切な摩擦力を
与える。
断面図で、図１９は図１８の右側面図である。図１８に
示すように、圧電素子２の左側にねじ８で慣性体１を取
り付け、圧電素子２の右側にアタッチメント７で衝撃体
を取り付ける。慣性体１はケースに固定されている座９
で案内され，また、その座９はリニアガイドを具備し、
更に、ばね１０の調整により摺動面４に適切な摩擦力を
与える。
【０００８】また、図１９に示すように、その位置決め
機構の衝撃体３の直進性を維持するために、衝撃体３の
両側に精密ローラ１２が組み込まれている。
機構の衝撃体３の直進性を維持するために、衝撃体３の
両側に精密ローラ１２が組み込まれている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
は、衝撃体３の位置を保持するために、衝撃体３の摺動
面４には、ばね１０及び摩擦プレート１１などの組み合
わせによるクランプ機構が使用されてきた。しかしなが
ら、位置決めすべき対象物に衝撃力を与える時、まず、
位置決め機構のクランプ機構による摩擦力を克服した
後、位置決めすべき対象物５（図１７参照）の摺動面４
の摩擦力を克服しなければならない。
は、衝撃体３の位置を保持するために、衝撃体３の摺動
面４には、ばね１０及び摩擦プレート１１などの組み合
わせによるクランプ機構が使用されてきた。しかしなが
ら、位置決めすべき対象物に衝撃力を与える時、まず、
位置決め機構のクランプ機構による摩擦力を克服した
後、位置決めすべき対象物５（図１７参照）の摺動面４
の摩擦力を克服しなければならない。
【００１０】このような過程では、運動エネルギーは効
率的に使えず、ある部分が熱エネルギーとして摩擦プレ
ート１１に消費されてしまう。また、その熱エネルギー
の消費による温度の上昇は、摺動面４における摩擦プレ
ート１１の磨耗に大きな影響をもたらし、長時間使用す
ると、位置決め機構の精度が悪くなり、クランプ機構の
調整も必要となる。
率的に使えず、ある部分が熱エネルギーとして摩擦プレ
ート１１に消費されてしまう。また、その熱エネルギー
の消費による温度の上昇は、摺動面４における摩擦プレ
ート１１の磨耗に大きな影響をもたらし、長時間使用す
ると、位置決め機構の精度が悪くなり、クランプ機構の
調整も必要となる。
【００１１】また、摩擦力によるクランプのため、それ
ぞれ各位置決め機構の移動特性のばらつきが大きいの
で、多自由度の位置決め制御を行う場合には、多数の位
置決め機構を同時に使うことが必要となり、精密な位置
決め精度を得るのが困難であった。また、一体化とみな
される衝撃体３及び位置決めすべき対象物５は、それぞ
れの摺動面４及び６との摩擦力が異なるため、衝撃力を
受けた時、衝撃体３のはね戻し、または位置決めすべき
対象物５の飛び出しという現象があるので、精密に位置
決め制御を行うには接触の状態を検知するためのセンサ
ーが必要であった。更に、この位置決め機構には、移動
方向の直進性を維持するために、リニアガイド及び精密
ローラ等が組み込まれており、位置決め機構を小型化す
るのが困難であった。
ぞれ各位置決め機構の移動特性のばらつきが大きいの
で、多自由度の位置決め制御を行う場合には、多数の位
置決め機構を同時に使うことが必要となり、精密な位置
決め精度を得るのが困難であった。また、一体化とみな
される衝撃体３及び位置決めすべき対象物５は、それぞ
れの摺動面４及び６との摩擦力が異なるため、衝撃力を
受けた時、衝撃体３のはね戻し、または位置決めすべき
対象物５の飛び出しという現象があるので、精密に位置
決め制御を行うには接触の状態を検知するためのセンサ
ーが必要であった。更に、この位置決め機構には、移動
方向の直進性を維持するために、リニアガイド及び精密
ローラ等が組み込まれており、位置決め機構を小型化す
るのが困難であった。
【００１２】そこで、本発明は、上記問題点を除去し、
衝撃体の摺動面に与えられる摩擦力の影響を最小限に
し、運動エネルギーを効率的に利用することができる圧
電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置
決め装置を提供することを目的とする。
衝撃体の摺動面に与えられる摩擦力の影響を最小限に
し、運動エネルギーを効率的に利用することができる圧
電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置
決め装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔１〕圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型
精密位置決め装置において、圧電素子の一方側に取り付
けられる慣性体と、前記圧電素子のもう一方側に取り付
けられる衝撃体と、前記慣性体と前記衝撃体の移動方向
に予圧を与える衝撃体移動方向予圧手段と、前記慣性体
及び前記衝撃体をガイドする案内手段と、前記圧電素子
に外部より電圧パターンを与える手段とを具備するよう
にしたものである。
成するために、 〔１〕圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型
精密位置決め装置において、圧電素子の一方側に取り付
けられる慣性体と、前記圧電素子のもう一方側に取り付
けられる衝撃体と、前記慣性体と前記衝撃体の移動方向
に予圧を与える衝撃体移動方向予圧手段と、前記慣性体
及び前記衝撃体をガイドする案内手段と、前記圧電素子
に外部より電圧パターンを与える手段とを具備するよう
にしたものである。
【００１４】〔２〕上記〔１〕記載の圧電素子の急速変
形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置におい
て、前記慣性体をガイドする案内手段の垂直方向に予圧
を与えないようにしたものである。 〔３〕圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型
精密位置決め装置において、ケースと、このケース内に
設けられる圧電素子の一方側に取り付けられる慣性体
と、前記ケース内に設けられる前記圧電素子のもう一方
側に取り付けられる棒状の衝撃体と、前記慣性体の後方
に設けられるロッドと、前記ケースの両側の前記慣性体
と前記衝撃体の移動方向に穿設される孔と、前記ケース
の前記両側の孔に設けられる前記棒状の衝撃体と前記ロ
ッドとをガイドする案内手段と、前記圧電素子に外部よ
り電圧パターンを与える手段とを具備するようにしたも
のである。
形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置におい
て、前記慣性体をガイドする案内手段の垂直方向に予圧
を与えないようにしたものである。 〔３〕圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型
精密位置決め装置において、ケースと、このケース内に
設けられる圧電素子の一方側に取り付けられる慣性体
と、前記ケース内に設けられる前記圧電素子のもう一方
側に取り付けられる棒状の衝撃体と、前記慣性体の後方
に設けられるロッドと、前記ケースの両側の前記慣性体
と前記衝撃体の移動方向に穿設される孔と、前記ケース
の前記両側の孔に設けられる前記棒状の衝撃体と前記ロ
ッドとをガイドする案内手段と、前記圧電素子に外部よ
り電圧パターンを与える手段とを具備するようにしたも
のである。
【００１５】〔４〕圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を
利用した小型精密位置決め装置において、ケースと、こ
のケース内に設けられる圧電素子の一方側に取り付けら
れる慣性体と、前記ケース内に設けられる前記圧電素子
のもう一方側に取り付けられる棒状の衝撃体と、前記慣
性体の後方に設けられるロッドと、前記ケースの両側の
前記慣性体と前記衝撃体の移動方向に穿設される孔と、
前記ケースの前記両側の孔に設けられる前記棒状の衝撃
体と前記ロッドとをガイドする案内手段と、前記圧電素
子に外部より電圧パターンを与える手段とを具備してな
る圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密
位置決め装置を、水平に配置し、前記棒状の衝撃体の先
端部を位置決めすべき対象物に作用させるようにしたも
のである。
利用した小型精密位置決め装置において、ケースと、こ
のケース内に設けられる圧電素子の一方側に取り付けら
れる慣性体と、前記ケース内に設けられる前記圧電素子
のもう一方側に取り付けられる棒状の衝撃体と、前記慣
性体の後方に設けられるロッドと、前記ケースの両側の
前記慣性体と前記衝撃体の移動方向に穿設される孔と、
前記ケースの前記両側の孔に設けられる前記棒状の衝撃
体と前記ロッドとをガイドする案内手段と、前記圧電素
子に外部より電圧パターンを与える手段とを具備してな
る圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密
位置決め装置を、水平に配置し、前記棒状の衝撃体の先
端部を位置決めすべき対象物に作用させるようにしたも
のである。
【００１６】〔５〕圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を
利用した小型精密位置決め装置において、ケースと、こ
のケース内に設けられる圧電素子の一方側に取り付けら
れる慣性体と、前記ケース内に設けられる前記圧電素子
のもう一方側に取り付けられる棒状の衝撃体と、前記慣
性体の後方に設けられるロッドと、前記ケースの両側の
前記慣性体と前記衝撃体の移動方向に穿設される孔と、
前記ケースの前記両側の孔に設けられる前記棒状の衝撃
体と前記ロッドとをガイドする案内手段と、前記圧電素
子に外部より電圧パターンを与える手段とを具備してな
る圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密
位置決め装置を、垂直に配置し、前記棒状の衝撃体の先
端部を位置決めすべき対象物に作用させるようにしたも
のである。
利用した小型精密位置決め装置において、ケースと、こ
のケース内に設けられる圧電素子の一方側に取り付けら
れる慣性体と、前記ケース内に設けられる前記圧電素子
のもう一方側に取り付けられる棒状の衝撃体と、前記慣
性体の後方に設けられるロッドと、前記ケースの両側の
前記慣性体と前記衝撃体の移動方向に穿設される孔と、
前記ケースの前記両側の孔に設けられる前記棒状の衝撃
体と前記ロッドとをガイドする案内手段と、前記圧電素
子に外部より電圧パターンを与える手段とを具備してな
る圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密
位置決め装置を、垂直に配置し、前記棒状の衝撃体の先
端部を位置決めすべき対象物に作用させるようにしたも
のである。
【００１７】〔６〕圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を
利用した小型精密位置決め装置において、ケースと、こ
のケース内に設けられる圧電素子の一方側に取り付けら
れる慣性体と、前記ケース内に設けられる前記圧電素子
のもう一方側に取り付けられる棒状の衝撃体と、前記慣
性体の後方に設けられるロッドと、前記ケースの両側の
前記慣性体と前記衝撃体の移動方向に穿設される孔と、
前記ケースの前記両側の孔に設けられる前記棒状の衝撃
体と前記ロッドとをガイドする案内手段と、前記圧電素
子に外部より電圧パターンを与える手段とを具備してな
る圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密
位置決め装置を、傾斜させて配置し、前記棒状の衝撃体
の先端部を位置決めすべき対象物に作用させるようにし
たものである。
利用した小型精密位置決め装置において、ケースと、こ
のケース内に設けられる圧電素子の一方側に取り付けら
れる慣性体と、前記ケース内に設けられる前記圧電素子
のもう一方側に取り付けられる棒状の衝撃体と、前記慣
性体の後方に設けられるロッドと、前記ケースの両側の
前記慣性体と前記衝撃体の移動方向に穿設される孔と、
前記ケースの前記両側の孔に設けられる前記棒状の衝撃
体と前記ロッドとをガイドする案内手段と、前記圧電素
子に外部より電圧パターンを与える手段とを具備してな
る圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密
位置決め装置を、傾斜させて配置し、前記棒状の衝撃体
の先端部を位置決めすべき対象物に作用させるようにし
たものである。
【００１８】〔７〕圧電素子の一方側に取り付けられる
慣性体と、前記圧電素子のもう一方側に取り付けられる
衝撃体と、前記慣性体と前記衝撃体の移動方向に予圧を
与える衝撃体移動方向予圧手段と、前記慣性体及び前記
衝撃体をガイドする案内手段と、前記圧電素子に外部よ
り電圧パターンを与える手段とを具備してなる圧電素子
の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装
置を、位置決めすべき対象物の両側に配置し、前記位置
決めすべき対象物を正逆方向に駆動可能にするようにし
たものである。
慣性体と、前記圧電素子のもう一方側に取り付けられる
衝撃体と、前記慣性体と前記衝撃体の移動方向に予圧を
与える衝撃体移動方向予圧手段と、前記慣性体及び前記
衝撃体をガイドする案内手段と、前記圧電素子に外部よ
り電圧パターンを与える手段とを具備してなる圧電素子
の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装
置を、位置決めすべき対象物の両側に配置し、前記位置
決めすべき対象物を正逆方向に駆動可能にするようにし
たものである。
【００１９】〔８〕圧電素子の一方側に取り付けられる
慣性体と、前記圧電素子のもう一方側に取り付けられる
衝撃体と、前記慣性体と前記衝撃体の移動方向に予圧を
与える衝撃体移動方向予圧手段と、前記慣性体及び前記
衝撃体をガイドする案内手段と、前記圧電素子に外部よ
り電圧パターンを与える手段とを具備してなる圧電素子
の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装
置を、位置決めすべき対象物のいくつかの側面に少なく
とも３個配置し、前記位置決めすべき対象物をＸ軸、Ｙ
軸及び回転方向に駆動可能にするようにしたものであ
る。
慣性体と、前記圧電素子のもう一方側に取り付けられる
衝撃体と、前記慣性体と前記衝撃体の移動方向に予圧を
与える衝撃体移動方向予圧手段と、前記慣性体及び前記
衝撃体をガイドする案内手段と、前記圧電素子に外部よ
り電圧パターンを与える手段とを具備してなる圧電素子
の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装
置を、位置決めすべき対象物のいくつかの側面に少なく
とも３個配置し、前記位置決めすべき対象物をＸ軸、Ｙ
軸及び回転方向に駆動可能にするようにしたものであ
る。
【００２０】
〔９〕圧電素子の一方側に取り付けられる
慣性体と、前記圧電素子のもう一方側に取り付けられる
衝撃体と、前記慣性体と前記衝撃体の移動方向に予圧を
与える衝撃体移動方向予圧手段と、前記慣性体及び前記
衝撃体をガイドする案内手段と、前記圧電素子に外部よ
り電圧パターンを与える手段とを具備してなる圧電素子
の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装
置を、回転自在にセットされた位置決めすべき対象物の
側面に配置し、前記位置決めすべき対象物を回転方向に
駆動可能にしてなる。
慣性体と、前記圧電素子のもう一方側に取り付けられる
衝撃体と、前記慣性体と前記衝撃体の移動方向に予圧を
与える衝撃体移動方向予圧手段と、前記慣性体及び前記
衝撃体をガイドする案内手段と、前記圧電素子に外部よ
り電圧パターンを与える手段とを具備してなる圧電素子
の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装
置を、回転自在にセットされた位置決めすべき対象物の
側面に配置し、前記位置決めすべき対象物を回転方向に
駆動可能にしてなる。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の
第１実施例を示す圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利
用した小型精密位置決め機構の構成図、図２はその位置
決め過程の説明図、図３は圧電素子に加える電圧パター
ンの説明図である。
て図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の
第１実施例を示す圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利
用した小型精密位置決め機構の構成図、図２はその位置
決め過程の説明図、図３は圧電素子に加える電圧パター
ンの説明図である。
【００２２】図１に示すように、圧電素子２２の両側に
それぞれ慣性体２１及び衝撃体２３を取り付け、慣性体
２１はローラガイド又は低摩擦係数の摺動面２５で、衝
撃体２３はローラガイド又は低摩擦係数の摺動面２６で
支持されている。衝撃体２３の移動方向に予圧を与える
機構（衝撃体移動方向予圧手段）は、ケース２７に取り
付けられたばね２４により構成されている。また、ベー
ス２９に位置している位置決めすべき対象物２８は、上
記予圧が与えられても動かないように固定されている。
それぞれ慣性体２１及び衝撃体２３を取り付け、慣性体
２１はローラガイド又は低摩擦係数の摺動面２５で、衝
撃体２３はローラガイド又は低摩擦係数の摺動面２６で
支持されている。衝撃体２３の移動方向に予圧を与える
機構（衝撃体移動方向予圧手段）は、ケース２７に取り
付けられたばね２４により構成されている。また、ベー
ス２９に位置している位置決めすべき対象物２８は、上
記予圧が与えられても動かないように固定されている。
【００２３】次に、位置決めの動作について、図２及び
図３を用いて説明する。 （１）まず、図２（ａ）に示すように、圧電素子２２は
縮んだ状態で、衝撃体２３は位置決めすべき対象物２８
と距離ｄ０離れている。 （２）次いで、図２（ｂ）に示すように、慣性体２１、
圧電素子２２、衝撃体２３、ローラガイド又は低摩擦係
数の摺動面２５，２６及びばね２４などを含むケース２
７を、位置決めすべき対象物２８の方向に移動させ、更
に、衝撃体２３を介して位置決めすべき対象物２８の移
動を起こさないようにばね２４を圧縮させる。このよう
に、ある程度の力を位置決めすべき対象物２８に与える
ことを初期予圧と呼ぶことにする。
図３を用いて説明する。 （１）まず、図２（ａ）に示すように、圧電素子２２は
縮んだ状態で、衝撃体２３は位置決めすべき対象物２８
と距離ｄ０離れている。 （２）次いで、図２（ｂ）に示すように、慣性体２１、
圧電素子２２、衝撃体２３、ローラガイド又は低摩擦係
数の摺動面２５，２６及びばね２４などを含むケース２
７を、位置決めすべき対象物２８の方向に移動させ、更
に、衝撃体２３を介して位置決めすべき対象物２８の移
動を起こさないようにばね２４を圧縮させる。このよう
に、ある程度の力を位置決めすべき対象物２８に与える
ことを初期予圧と呼ぶことにする。
【００２４】（３）続いて、図２（ｃ）に示すように、
圧電素子２２に急速に電圧を印加し（図３に示す曲線ａ
を参照）、それによる圧電素子２２の急速な伸長に伴う
衝撃力は、その一部がばね２４に吸収され、あとに残さ
れた力が位置決めすべき対象物２８に作用し、位置決め
すべき対象物２８は距離ｄ１微動する。 （４）次いで、図２（ｄ）に示すように、位置決めすべ
き対象物２８が停止した後、すぐに又はある時間の経過
後〔図３（ｂ），（ｄ），（ｅ）に示す曲線ｃを参
照〕、ゆっくりと圧電素子２２に電圧を印加することに
より（図３に示す曲線ｂを参照）、圧電素子２２はある
速度で縮んでゆき、この時、圧電素子２２と一体化され
ている衝撃体２３が上記初期予圧の働きにより、位置決
めすべき対象物２８と接触の状態となる。
圧電素子２２に急速に電圧を印加し（図３に示す曲線ａ
を参照）、それによる圧電素子２２の急速な伸長に伴う
衝撃力は、その一部がばね２４に吸収され、あとに残さ
れた力が位置決めすべき対象物２８に作用し、位置決め
すべき対象物２８は距離ｄ１微動する。 （４）次いで、図２（ｄ）に示すように、位置決めすべ
き対象物２８が停止した後、すぐに又はある時間の経過
後〔図３（ｂ），（ｄ），（ｅ）に示す曲線ｃを参
照〕、ゆっくりと圧電素子２２に電圧を印加することに
より（図３に示す曲線ｂを参照）、圧電素子２２はある
速度で縮んでゆき、この時、圧電素子２２と一体化され
ている衝撃体２３が上記初期予圧の働きにより、位置決
めすべき対象物２８と接触の状態となる。
【００２５】（５）最後に、図２（ｅ）に示すように、
圧電素子２２が元の長さに達した途端、急に圧電素子２
２の縮みを停止させると、比較的大きい慣性体２１の慣
性力が、衝撃体２３の慣性力に逆らって、位置決めすべ
き対象物２８に作用し、位置決めすべき対象物２８は、
再び、微動し、その時の移動量はｄ２となり、これで１
サイクルが終了する。
圧電素子２２が元の長さに達した途端、急に圧電素子２
２の縮みを停止させると、比較的大きい慣性体２１の慣
性力が、衝撃体２３の慣性力に逆らって、位置決めすべ
き対象物２８に作用し、位置決めすべき対象物２８は、
再び、微動し、その時の移動量はｄ２となり、これで１
サイクルが終了する。
【００２６】図４は本発明の第１実施例を示す圧電素子
の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機
構の上面図、図５は図４のＡ−Ａ線断面図である。これ
らの図に示すように、この実施例では、小型精密位置決
め機構を水平面上に配置し、圧電素子３２の両端に、後
部にロッド３１Ａを有する慣性体３１及び棒状の衝撃体
３３を取り付ける。慣性体３１及び衝撃体３３は、それ
ぞれローラガイド又は低摩擦係数の摺動面３５及び３６
で支持されている。なお、３３Ａは衝撃体３３の先端部
である。
の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機
構の上面図、図５は図４のＡ−Ａ線断面図である。これ
らの図に示すように、この実施例では、小型精密位置決
め機構を水平面上に配置し、圧電素子３２の両端に、後
部にロッド３１Ａを有する慣性体３１及び棒状の衝撃体
３３を取り付ける。慣性体３１及び衝撃体３３は、それ
ぞれローラガイド又は低摩擦係数の摺動面３５及び３６
で支持されている。なお、３３Ａは衝撃体３３の先端部
である。
【００２７】また、衝撃体３３の移動方向に初期予圧を
与えるための力は、慣性体３１とケース３７（又はベー
ス）の間に取り付けられたばね３４の圧縮によって与え
られる。圧電素子３２を出力させるための直流電源は電
線３８を介して制御システムと配線する。また、慣性体
３１、圧電素子３２、衝撃体３３、ばね３４、ケース３
７の孔３７Ａ，３７Ｂに配置される、ローラガイド又は
低摩擦係数の摺動面３５及び３６などを格納するための
ケース３７は、べース３９に固定される。このベース３
９は手動又はアクチュエータ（モータや空気圧など）で
駆動するステージやロボットハンドなどにより構成され
る。
与えるための力は、慣性体３１とケース３７（又はベー
ス）の間に取り付けられたばね３４の圧縮によって与え
られる。圧電素子３２を出力させるための直流電源は電
線３８を介して制御システムと配線する。また、慣性体
３１、圧電素子３２、衝撃体３３、ばね３４、ケース３
７の孔３７Ａ，３７Ｂに配置される、ローラガイド又は
低摩擦係数の摺動面３５及び３６などを格納するための
ケース３７は、べース３９に固定される。このベース３
９は手動又はアクチュエータ（モータや空気圧など）で
駆動するステージやロボットハンドなどにより構成され
る。
【００２８】図６は本発明の第２実施例を示す圧電素子
の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機
構の上面図、図７は図６のＢ−Ｂ線断面図である。これ
らの図に示すように、この実施例では、衝撃体４３の移
動方向に初期予圧を与えるための力は、衝撃体４３に固
定されている座４８とケース４７の間に取付けられてい
るばね４４の圧縮によって与えられる。なお、図７にお
いて、４７Ａ，４７Ｂはケース４７に設けられた孔であ
り、ここに、ローラガイド又は低摩擦係数の摺動面４
５，４６が設けられる。
の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機
構の上面図、図７は図６のＢ−Ｂ線断面図である。これ
らの図に示すように、この実施例では、衝撃体４３の移
動方向に初期予圧を与えるための力は、衝撃体４３に固
定されている座４８とケース４７の間に取付けられてい
るばね４４の圧縮によって与えられる。なお、図７にお
いて、４７Ａ，４７Ｂはケース４７に設けられた孔であ
り、ここに、ローラガイド又は低摩擦係数の摺動面４
５，４６が設けられる。
【００２９】また、４１は慣性体、４１Ａはその慣性体
４１の後部のロッド、４２は圧電素子、４３Ａはその衝
撃体４３の先端部、４９は電線、５０はベースである。
図８は本発明の第３実施例を示す圧電素子の急速変形に
伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の構成図で
ある。この図に示すように、初期予圧が与えられても移
動しないようにベース５６にセットされている位置決め
すべき対象物５４には、その側面５４Ａに第１の小型精
密位置決め機構（Ｎｏ．１）が作用し、位置決めすべき
対象物５４のもう一方の側面５４Ｂに第２の小型精密位
置決め機構（Ｎｏ．２）が作用する。第１の小型精密位
置決め機構（Ｎｏ．１）を駆動する時には、位置決めす
べき対象物５４が実線の方向に微動し、第２の小型精密
位置決め機構（Ｎｏ．２）を駆動する時には、位置決め
すべき対象物５４が点線の方向に微動する。つまり、双
方向の位置決めを可能にする構成となっている。なお、
図８において、５１Ａは慣性体（図示なし）の後部に設
けられるロッド、５２は棒状の衝撃体、５３はケース、
５５はベースである。
４１の後部のロッド、４２は圧電素子、４３Ａはその衝
撃体４３の先端部、４９は電線、５０はベースである。
図８は本発明の第３実施例を示す圧電素子の急速変形に
伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の構成図で
ある。この図に示すように、初期予圧が与えられても移
動しないようにベース５６にセットされている位置決め
すべき対象物５４には、その側面５４Ａに第１の小型精
密位置決め機構（Ｎｏ．１）が作用し、位置決めすべき
対象物５４のもう一方の側面５４Ｂに第２の小型精密位
置決め機構（Ｎｏ．２）が作用する。第１の小型精密位
置決め機構（Ｎｏ．１）を駆動する時には、位置決めす
べき対象物５４が実線の方向に微動し、第２の小型精密
位置決め機構（Ｎｏ．２）を駆動する時には、位置決め
すべき対象物５４が点線の方向に微動する。つまり、双
方向の位置決めを可能にする構成となっている。なお、
図８において、５１Ａは慣性体（図示なし）の後部に設
けられるロッド、５２は棒状の衝撃体、５３はケース、
５５はベースである。
【００３０】図９は本発明の第４実施例を示す圧電素子
の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機
構の平面図である。この図に示すように、この実施例で
は、位置決めすべき対象物６４は初期予圧が与えられて
も移動しないようにベース（図示なし）にセットされ、
その位置決めすべき対象物６４の第１側面６４Ａに第１
及び第２の小型精密位置決め機構（Ｎｏ．１及びＮｏ．
２）が当接され、その位置決めすべき対象物６４の第２
側面６４Ｂに第３の小型精密位置決め機構（Ｎｏ．３）
が当接されている。
の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機
構の平面図である。この図に示すように、この実施例で
は、位置決めすべき対象物６４は初期予圧が与えられて
も移動しないようにベース（図示なし）にセットされ、
その位置決めすべき対象物６４の第１側面６４Ａに第１
及び第２の小型精密位置決め機構（Ｎｏ．１及びＮｏ．
２）が当接され、その位置決めすべき対象物６４の第２
側面６４Ｂに第３の小型精密位置決め機構（Ｎｏ．３）
が当接されている。
【００３１】また、位置決めすべき対象物６４の第３側
面６４Ｃに第４及び第５の小型精密位置決め機構（Ｎ
ｏ．４及びＮｏ．５）が当接され、更に、位置決めすべ
き対象物６４の第４側面６４Ｄに第６の小型精密位置決
め機構（Ｎｏ．６）が当接されている。そこで、第１及
び第２の小型精密位置決め機構（Ｎｏ．１及びＮｏ．
２）の駆動により、位置決めすべき対象物６４を右方向
に位置決めし、第４及び第５の小型精密位置決め機構
（Ｎｏ．４及びＮｏ．５）の駆動により、位置決めすべ
き対象物６４を左方向に位置決めし、第３の小型精密位
置決め機構（Ｎｏ．３）のみの駆動により、位置決めす
べき対象物６４を上方向に位置決めし、第６の小型精密
位置決め機構（Ｎｏ．６）のみの駆動により、位置決め
すべき対象物６４を下方向に位置決めし、第１及び第４
の小型精密位置決め機構（Ｎｏ．１及びＮｏ．４）の駆
動により、位置決めすべき対象物６４を時計方向に位置
決めし、第２及び第５の小型精密位置決め機構（Ｎｏ．
２及びＮｏ．５）の駆動により、位置決めすべき対象物
６４を反時計方向に位置決めすることができる。
面６４Ｃに第４及び第５の小型精密位置決め機構（Ｎ
ｏ．４及びＮｏ．５）が当接され、更に、位置決めすべ
き対象物６４の第４側面６４Ｄに第６の小型精密位置決
め機構（Ｎｏ．６）が当接されている。そこで、第１及
び第２の小型精密位置決め機構（Ｎｏ．１及びＮｏ．
２）の駆動により、位置決めすべき対象物６４を右方向
に位置決めし、第４及び第５の小型精密位置決め機構
（Ｎｏ．４及びＮｏ．５）の駆動により、位置決めすべ
き対象物６４を左方向に位置決めし、第３の小型精密位
置決め機構（Ｎｏ．３）のみの駆動により、位置決めす
べき対象物６４を上方向に位置決めし、第６の小型精密
位置決め機構（Ｎｏ．６）のみの駆動により、位置決め
すべき対象物６４を下方向に位置決めし、第１及び第４
の小型精密位置決め機構（Ｎｏ．１及びＮｏ．４）の駆
動により、位置決めすべき対象物６４を時計方向に位置
決めし、第２及び第５の小型精密位置決め機構（Ｎｏ．
２及びＮｏ．５）の駆動により、位置決めすべき対象物
６４を反時計方向に位置決めすることができる。
【００３２】すなわち、位置決めすべき対象物６４は、
前後左右に位置決めすることができるだけでなく、回転
も行わせることができる。なお、６１Ａは慣性体（図示
なし）の後部に設けられるロッド、６２は棒状の衝撃
体、６３はケースである。図１０は本発明の第５実施例
を示す圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型
精密位置決め機構の平面図である。なお、この実施例に
おいて、前記した第４実施例と同じ部分については、同
じ符号を付してそれらの説明は省略する。
前後左右に位置決めすることができるだけでなく、回転
も行わせることができる。なお、６１Ａは慣性体（図示
なし）の後部に設けられるロッド、６２は棒状の衝撃
体、６３はケースである。図１０は本発明の第５実施例
を示す圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型
精密位置決め機構の平面図である。なお、この実施例に
おいて、前記した第４実施例と同じ部分については、同
じ符号を付してそれらの説明は省略する。
【００３３】この図に示すように、この実施例では、位
置決めすべき対象物６５は初期予圧が与えられても移動
しないようにベース（図示なし）にセットされ、その位
置決めすべき対象物６５の第１側面６５Ａには、第１及
び第２の小型精密位置決め機構（Ｎｏ．１及びＮｏ．
２）が当接され、その位置決めすべき対象物６５の第２
側面６５Ｂに第３の小型精密位置決め機構（Ｎｏ．３）
が当接される。また、その位置決めすべき対象物６５の
第３側面６５Ｃには、第４の小型精密位置決め機構（Ｎ
ｏ．４）が当接される。さらに、その位置決めすべき対
象物６５の第４側面６５Ｄには、第５の小型精密位置決
め機構（Ｎｏ．５）が当接される。
置決めすべき対象物６５は初期予圧が与えられても移動
しないようにベース（図示なし）にセットされ、その位
置決めすべき対象物６５の第１側面６５Ａには、第１及
び第２の小型精密位置決め機構（Ｎｏ．１及びＮｏ．
２）が当接され、その位置決めすべき対象物６５の第２
側面６５Ｂに第３の小型精密位置決め機構（Ｎｏ．３）
が当接される。また、その位置決めすべき対象物６５の
第３側面６５Ｃには、第４の小型精密位置決め機構（Ｎ
ｏ．４）が当接される。さらに、その位置決めすべき対
象物６５の第４側面６５Ｄには、第５の小型精密位置決
め機構（Ｎｏ．５）が当接される。
【００３４】そこで、第１から第５までの５個の小型精
密位置決め機構のうち、駆動の組合せにより、位置決め
すべき対象物６５は前後左右に位置決めすることができ
るだけでなく、回転も行わせることができる。図１１は
本発明の第６実施例を示す圧電素子の急速変形に伴う衝
撃力を利用した小型精密位置決め機構の平面図である。
密位置決め機構のうち、駆動の組合せにより、位置決め
すべき対象物６５は前後左右に位置決めすることができ
るだけでなく、回転も行わせることができる。図１１は
本発明の第６実施例を示す圧電素子の急速変形に伴う衝
撃力を利用した小型精密位置決め機構の平面図である。
【００３５】この図に示すように、この実施例では、位
置決めすべき対象物６９は４隅が面取りされた角部の側
面６９Ａ〜６９Ｄを有しており、初期予圧が与えられて
も移動しないようにベース（図示なし）にセットされ、
その位置決めすべき対象物６９の側面６９Ａ〜６９Ｄに
は、順次、第１の小型精密位置決め機構（Ｎｏ．１）、
第２の小型精密位置決め機構（Ｎｏ．２）、第３の小型
精密位置決め機構（Ｎｏ．３）、第４の小型精密位置決
め機構（Ｎｏ．４）が当接されている。
置決めすべき対象物６９は４隅が面取りされた角部の側
面６９Ａ〜６９Ｄを有しており、初期予圧が与えられて
も移動しないようにベース（図示なし）にセットされ、
その位置決めすべき対象物６９の側面６９Ａ〜６９Ｄに
は、順次、第１の小型精密位置決め機構（Ｎｏ．１）、
第２の小型精密位置決め機構（Ｎｏ．２）、第３の小型
精密位置決め機構（Ｎｏ．３）、第４の小型精密位置決
め機構（Ｎｏ．４）が当接されている。
【００３６】そこで、第１から第４までの４個の小型精
密位置決め機構のうち、駆動の組合せにより、位置決め
すべき対象物６９は前後左右に位置決めすることができ
るだけでなく、回転も行うことができる。なお、６６Ａ
は慣性体（図示なし）の後部に設けられるロッド、６７
は棒状の衝撃体、６８はケースである。図１２は本発明
の第７実施例を示す圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を
利用した小型精密位置決め機構の平面図である。
密位置決め機構のうち、駆動の組合せにより、位置決め
すべき対象物６９は前後左右に位置決めすることができ
るだけでなく、回転も行うことができる。なお、６６Ａ
は慣性体（図示なし）の後部に設けられるロッド、６７
は棒状の衝撃体、６８はケースである。図１２は本発明
の第７実施例を示す圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を
利用した小型精密位置決め機構の平面図である。
【００３７】この図に示すように、この実施例では、回
転中心軸７５を有する位置決めすべき対象物７６は、初
期予圧が与えられても回転しないようにベース（図示な
し）にセットされている。その位置決めすべき対象物７
６の左側面７６Ａの上側に第１の小型精密位置決め機構
（Ｎｏ．１）、その左側面７６Ａの下側に第２の小型精
密位置決め機構（Ｎｏ．２）、その位置決めすべき対象
物７６の右側面７６Ｃの上側に第３の小型精密位置決め
機構（Ｎｏ．３）、その右側面７６Ｃの下側に第４の小
型精密位置決め機構（Ｎｏ．４）が当接されている。
転中心軸７５を有する位置決めすべき対象物７６は、初
期予圧が与えられても回転しないようにベース（図示な
し）にセットされている。その位置決めすべき対象物７
６の左側面７６Ａの上側に第１の小型精密位置決め機構
（Ｎｏ．１）、その左側面７６Ａの下側に第２の小型精
密位置決め機構（Ｎｏ．２）、その位置決めすべき対象
物７６の右側面７６Ｃの上側に第３の小型精密位置決め
機構（Ｎｏ．３）、その右側面７６Ｃの下側に第４の小
型精密位置決め機構（Ｎｏ．４）が当接されている。
【００３８】そこで、位置決めすべき対象物７６を時計
回りに回転させる場合には、小型精密位置決め機構（Ｎ
ｏ．１）と、小型精密位置決め機構（Ｎｏ．４）との駆
動により行い、位置決めすべき対象物７６を反時計回り
に回転させる場合には、小型精密位置決め機構（Ｎｏ．
２）と、小型精密位置決め機構（Ｎｏ．３）との駆動に
より行う。なお、７６Ｂは位置決めすべき対象物７６の
下方面、７６Ｄは位置決めすべき対象物７６の上方面で
ある。なお、この図において、７１Ａは慣性体の後部に
設けられるロッド、７２は棒状の衝撃体、７３はケース
である。
回りに回転させる場合には、小型精密位置決め機構（Ｎ
ｏ．１）と、小型精密位置決め機構（Ｎｏ．４）との駆
動により行い、位置決めすべき対象物７６を反時計回り
に回転させる場合には、小型精密位置決め機構（Ｎｏ．
２）と、小型精密位置決め機構（Ｎｏ．３）との駆動に
より行う。なお、７６Ｂは位置決めすべき対象物７６の
下方面、７６Ｄは位置決めすべき対象物７６の上方面で
ある。なお、この図において、７１Ａは慣性体の後部に
設けられるロッド、７２は棒状の衝撃体、７３はケース
である。
【００３９】このように構成することにより、回転中心
軸７５を中心として微小回転駆動を行わせることができ
る。図１３は本発明の第８実施例を示す圧電素子の急速
変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の断
面図である。この図に示すように、小型精密位置決め機
構を垂直の方向に配置し、圧電素子８２の上部に慣性体
８１が取り付けられ、圧電素子８２の下部に棒状の衝撃
体８３が取り付けられている。また、ケース８６（例え
ば、工具ホルダ）の上部と下部には、孔８６Ａ，８６Ｂ
が形成されており、これらの孔８６Ａ，８６Ｂにはそれ
ぞれローラガイド又は低摩擦係数の摺動面８４及び８５
が設けられ、慣性体８１と衝撃体８３が案内されてい
る。なお、８３Ａは棒状の衝撃体８３の先端部、８７は
電線である。
軸７５を中心として微小回転駆動を行わせることができ
る。図１３は本発明の第８実施例を示す圧電素子の急速
変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の断
面図である。この図に示すように、小型精密位置決め機
構を垂直の方向に配置し、圧電素子８２の上部に慣性体
８１が取り付けられ、圧電素子８２の下部に棒状の衝撃
体８３が取り付けられている。また、ケース８６（例え
ば、工具ホルダ）の上部と下部には、孔８６Ａ，８６Ｂ
が形成されており、これらの孔８６Ａ，８６Ｂにはそれ
ぞれローラガイド又は低摩擦係数の摺動面８４及び８５
が設けられ、慣性体８１と衝撃体８３が案内されてい
る。なお、８３Ａは棒状の衝撃体８３の先端部、８７は
電線である。
【００４０】この場合は、衝撃体８３の移動方向に初期
予圧を与えるための力は、小型精密位置決め機構の慣性
体８１、圧電素子８２及び衝撃体８３の重量の和によっ
て、与えられる。そのため、予圧を与える機構として、
バネを設けなくても、慣性体８１、圧電素子８２及び衝
撃体８３の重量の和により、位置決めを行うことが可能
である。
予圧を与えるための力は、小型精密位置決め機構の慣性
体８１、圧電素子８２及び衝撃体８３の重量の和によっ
て、与えられる。そのため、予圧を与える機構として、
バネを設けなくても、慣性体８１、圧電素子８２及び衝
撃体８３の重量の和により、位置決めを行うことが可能
である。
【００４１】図１４は本発明の第９実施例を示す圧電素
子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め
機構をワークピースの駆動に用いた斜視図である。な
お、第８実施例と同じ部分については、同じ符号を付し
てそれらの説明は省略する。この図に示すように、この
場合は、小型精密位置決め機構を垂直の方向に超精密加
工機の工具ホルダ８７に固定し、小型精密位置決め機構
を用いて超精密加工機の回転式真空チャック８９に吸着
されているワークピース８８の中心を回転式真空チャッ
ク８９の中心に合わせるように位置決めを行う。
子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め
機構をワークピースの駆動に用いた斜視図である。な
お、第８実施例と同じ部分については、同じ符号を付し
てそれらの説明は省略する。この図に示すように、この
場合は、小型精密位置決め機構を垂直の方向に超精密加
工機の工具ホルダ８７に固定し、小型精密位置決め機構
を用いて超精密加工機の回転式真空チャック８９に吸着
されているワークピース８８の中心を回転式真空チャッ
ク８９の中心に合わせるように位置決めを行う。
【００４２】このような中心合わせの過程では、まず、
回転式真空チャック８９を１回転させ、ワークピース８
８の中心のずれと、そのずれの位置を検出して記録す
る。次に、その検出された最大となるずれのワークピー
ス８８の位置を、小型精密位置決め機構の衝撃体８３に
移動させ、次に、小型精密位置決め機構の駆動による衝
撃力は、ワークピース８８の最大となるずれをなくすよ
うに働く。これで、１サイクルが終了し、要求される精
度まで繰り返すこともできる。
回転式真空チャック８９を１回転させ、ワークピース８
８の中心のずれと、そのずれの位置を検出して記録す
る。次に、その検出された最大となるずれのワークピー
ス８８の位置を、小型精密位置決め機構の衝撃体８３に
移動させ、次に、小型精密位置決め機構の駆動による衝
撃力は、ワークピース８８の最大となるずれをなくすよ
うに働く。これで、１サイクルが終了し、要求される精
度まで繰り返すこともできる。
【００４３】また、真空チャック８９を回転させなが
ら、小型精密位置決め機構の慣性体８１や衝撃体８３の
変位を測定することにより、ワークピース８８の中心と
回転式真空チャック８９の中心との相互間の誤差を連続
的に測定することも可能である。なお、９０は工具ホル
ダ８７の支持部である。図１５は本発明の第１０実施例
を示す圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型
精密位置決め機構の上面図である。
ら、小型精密位置決め機構の慣性体８１や衝撃体８３の
変位を測定することにより、ワークピース８８の中心と
回転式真空チャック８９の中心との相互間の誤差を連続
的に測定することも可能である。なお、９０は工具ホル
ダ８７の支持部である。図１５は本発明の第１０実施例
を示す圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型
精密位置決め機構の上面図である。
【００４４】この図に示すように、この実施例は、小型
精密位置決め機構を水平面上に配置し、バイモルフ型圧
電素子９２の両端に慣性体９１及び衝撃体９３が取り付
けられ、衝撃体９３のケース９８の両側に設けられた孔
９８Ａ，９８Ｂのローラガイド又は低摩擦係数の摺動面
９５及び９６で支持されている。また、衝撃体９３の移
動方向に初期予圧を与えるための力は、衝撃体９３の座
９３Ａとケース９８の間に取り付けられたばね９４の圧
縮によって与えられる。
精密位置決め機構を水平面上に配置し、バイモルフ型圧
電素子９２の両端に慣性体９１及び衝撃体９３が取り付
けられ、衝撃体９３のケース９８の両側に設けられた孔
９８Ａ，９８Ｂのローラガイド又は低摩擦係数の摺動面
９５及び９６で支持されている。また、衝撃体９３の移
動方向に初期予圧を与えるための力は、衝撃体９３の座
９３Ａとケース９８の間に取り付けられたばね９４の圧
縮によって与えられる。
【００４５】バイモルフ型圧電素子９２を出力させるた
めの直流電源は、電線９７を介して制御システムと配線
する。バイモルフ型圧電素子９２にゆっくりと電圧をか
けることにより、バイモルフ型圧電素子９２と慣性体９
１とは点線のように曲がり、次に、元の位置に戻すよう
にバイモルフ型圧電素子９２に急速に電圧を加えると、
その変形による衝撃力は、バイモルフ型圧電素子９２と
衝撃体９３との連結している位置を介して、衝撃体９３
に伝えられる。
めの直流電源は、電線９７を介して制御システムと配線
する。バイモルフ型圧電素子９２にゆっくりと電圧をか
けることにより、バイモルフ型圧電素子９２と慣性体９
１とは点線のように曲がり、次に、元の位置に戻すよう
にバイモルフ型圧電素子９２に急速に電圧を加えると、
その変形による衝撃力は、バイモルフ型圧電素子９２と
衝撃体９３との連結している位置を介して、衝撃体９３
に伝えられる。
【００４６】図１６は本発明の第１１実施例を示す圧電
素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決
め機構の上面図である。この図に示すように、この実施
例は、小型精密位置決め機構を水平面上に配置し、剪断
型圧電素子１０２の外側に慣性体１０１を連結し、剪断
型圧電素子１０２の内側の衝撃体１０３と固定する。衝
撃体１０３のケース１０８の両側に形成された孔１０８
Ａ及び１０８Ｂに設けられたローラガイド又は低摩擦係
数の摺動面１０５及び１０６で支持されている。
素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決
め機構の上面図である。この図に示すように、この実施
例は、小型精密位置決め機構を水平面上に配置し、剪断
型圧電素子１０２の外側に慣性体１０１を連結し、剪断
型圧電素子１０２の内側の衝撃体１０３と固定する。衝
撃体１０３のケース１０８の両側に形成された孔１０８
Ａ及び１０８Ｂに設けられたローラガイド又は低摩擦係
数の摺動面１０５及び１０６で支持されている。
【００４７】また、衝撃体１０３の移動方向に初期予圧
を与えるための力は、衝撃体１０３の座１０３Ａとケー
ス１０８の間に取り付けられたばね１０４の圧縮によっ
て与えられる。剪断型圧電素子１０２を出力させるため
の直流電流は、電線１０７を介して制御システムと配線
する。剪断型圧電素子１０２にゆっくりと電圧をかける
ことにより、剪断型圧電素子１０２と慣性体１０１とは
点線のように曲がり、次に、元の位置に戻すように剪断
型圧電素子１０２に急速に電圧を加えると、その変形に
よる衝撃力は、剪断型圧電素子１０２の衝撃体１０３と
の連結している位置を介して、衝撃体１０３に伝えられ
る。
を与えるための力は、衝撃体１０３の座１０３Ａとケー
ス１０８の間に取り付けられたばね１０４の圧縮によっ
て与えられる。剪断型圧電素子１０２を出力させるため
の直流電流は、電線１０７を介して制御システムと配線
する。剪断型圧電素子１０２にゆっくりと電圧をかける
ことにより、剪断型圧電素子１０２と慣性体１０１とは
点線のように曲がり、次に、元の位置に戻すように剪断
型圧電素子１０２に急速に電圧を加えると、その変形に
よる衝撃力は、剪断型圧電素子１０２の衝撃体１０３と
の連結している位置を介して、衝撃体１０３に伝えられ
る。
【００４８】なお、上記実施例では、圧電素子の一方側
に慣性体を取り付けるものとして説明したが、圧電素子
が重量を有する場合は格別慣性体を取付けなくてもよい
ことは言うまでもない。また、圧電素子と慣性体を一体
化するように構成したものであって、本発明の範囲内に
含まれる。
に慣性体を取り付けるものとして説明したが、圧電素子
が重量を有する場合は格別慣性体を取付けなくてもよい
ことは言うまでもない。また、圧電素子と慣性体を一体
化するように構成したものであって、本発明の範囲内に
含まれる。
【００４９】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【００５０】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、圧電素子の両側に慣性体及び衝撃体を取り付
け、慣性体及び衝撃体をローラガイド又は低摩擦係数の
摺動面で案内し、衝撃体の移動方向に予圧を与えるため
の機構を配置し、その移動方向と垂直な方向に摩擦力を
与えるための摩擦プレートなどを設けることなく、かつ
簡単な構成で、位置決めすべき対象物の微小移動を行わ
せることができる。また、センサーの具備により、マル
チファンクションの小型精密位置決め装置の構成も適用
可能である。
よれば、圧電素子の両側に慣性体及び衝撃体を取り付
け、慣性体及び衝撃体をローラガイド又は低摩擦係数の
摺動面で案内し、衝撃体の移動方向に予圧を与えるため
の機構を配置し、その移動方向と垂直な方向に摩擦力を
与えるための摩擦プレートなどを設けることなく、かつ
簡単な構成で、位置決めすべき対象物の微小移動を行わ
せることができる。また、センサーの具備により、マル
チファンクションの小型精密位置決め装置の構成も適用
可能である。
【図１】本発明の第１実施例を示す圧電素子の急速変形
に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の構成図
である。
に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の構成図
である。
【図２】本発明の第１実施例を示す圧電素子の急速変形
に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の位置決
め過程の説明図である。
に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の位置決
め過程の説明図である。
【図３】本発明の第１実施例を示す圧電素子の急速変形
に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の圧電素
子に加える電圧パターンの説明図である。
に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の圧電素
子に加える電圧パターンの説明図である。
【図４】本発明の第１実施例を示す圧電素子の急速変形
に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の上面図
である。
に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の上面図
である。
【図５】図４のＡ−Ａ線断面図である。
【図６】本発明の第２実施例を示す圧電素子の急速変形
に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の上面図
である。
に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の上面図
である。
【図７】図６のＢ−Ｂ線断面図である。
【図８】本発明の第３実施例を示す圧電素子の急速変形
に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の構成図
である。
に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の構成図
である。
【図９】本発明の第４実施例を示す圧電素子の急速変形
に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の平面図
である。
に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の平面図
である。
【図１０】本発明の第５実施例を示す圧電素子の急速変
形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の平面
図である。
形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の平面
図である。
【図１１】本発明の第６実施例を示す圧電素子の急速変
形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の平面
図である。
形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の平面
図である。
【図１２】本発明の第７実施例を示す圧電素子の急速変
形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の平面
図である。
形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の平面
図である。
【図１３】本発明の第８実施例を示す圧電素子の急速変
形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の断面
図である。
形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の断面
図である。
【図１４】本発明の第９実施例を示す圧電素子の急速変
形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構をワー
クピースの駆動に用いた斜視図である。
形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構をワー
クピースの駆動に用いた斜視図である。
【図１５】本発明の第１０実施例を示す圧電素子の急速
変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の上
面図である。
変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の上
面図である。
【図１６】本発明の第１１実施例を示す圧電素子の急速
変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の上
面図である。
変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め機構の上
面図である。
【図１７】従来の圧電素子の急速変形に伴う衝撃力発生
機構の駆動原理の説明図である。
機構の駆動原理の説明図である。
【図１８】従来の位置決め機構を示す断面図である。
【図１９】図１８の右側面図である。
２１，３１，４１，８１，９１，１０１ 慣性体 ２２，３２，４２，８２ 圧電素子 ２３，３３，４３，５２，６２，６７，７２，８３，９
３，１０３ 衝撃体 ２４，３４，４４，９４，１０４ ばね ２５，２６，３５，３６，４５，４６，８４，８５，９
５，９６，１０５，１０６ ローラガイド又は低摩擦
係数の摺動面 ２７，３７，４７，５３，６３，６８，７３，８６，９
８，１０８ ケース ２８，５４，６４，６５，６９，７６ 位置決めすべ
き対象物 ２９，３９，５０，５５，５６ ベース ３１Ａ，４１Ａ，５１Ａ，６１Ａ，６６Ａ，７１Ａ
慣性体の後部に設けられるロッド ３３Ａ，４３Ａ，８３Ａ 棒状の衝撃体の先端部 ３７Ａ，３７Ｂ，４７Ａ，４８Ｂ，８６Ａ，８６Ｂ，９
８Ａ，９８Ｂ，１０８Ａ，１０８Ｂ ケースの孔 ３８，４９，８７，９７，１０７ 電線 ４８，９３Ａ，１０３Ａ 座 ５４Ａ，５４Ｂ，６４Ａ，６４Ｂ，６４Ｃ，６４Ｄ，６
５Ａ，６５Ｂ，６５Ｃ，６５Ｄ 位置決めすべき対象
物の側面 ６９Ａ〜６９Ｄ ４隅が面取りされた角部を有する側
面 ７５ 回転中心軸 ７６Ａ 位置決めすべき対象物の左側面 ７６Ｂ 位置決めすべき対象物の下方面 ７６Ｃ 位置決めすべき対象物の右側面 ７６Ｄ 位置決めすべき対象物の上方面 ８７ 工具ホルダ ８８ ワークピース ８９ 回転式真空チャック ９０ 工具ホルダの支持部 ９２ バイモルフ型圧電素子 １０２ 剪断型圧電素子
３，１０３ 衝撃体 ２４，３４，４４，９４，１０４ ばね ２５，２６，３５，３６，４５，４６，８４，８５，９
５，９６，１０５，１０６ ローラガイド又は低摩擦
係数の摺動面 ２７，３７，４７，５３，６３，６８，７３，８６，９
８，１０８ ケース ２８，５４，６４，６５，６９，７６ 位置決めすべ
き対象物 ２９，３９，５０，５５，５６ ベース ３１Ａ，４１Ａ，５１Ａ，６１Ａ，６６Ａ，７１Ａ
慣性体の後部に設けられるロッド ３３Ａ，４３Ａ，８３Ａ 棒状の衝撃体の先端部 ３７Ａ，３７Ｂ，４７Ａ，４８Ｂ，８６Ａ，８６Ｂ，９
８Ａ，９８Ｂ，１０８Ａ，１０８Ｂ ケースの孔 ３８，４９，８７，９７，１０７ 電線 ４８，９３Ａ，１０３Ａ 座 ５４Ａ，５４Ｂ，６４Ａ，６４Ｂ，６４Ｃ，６４Ｄ，６
５Ａ，６５Ｂ，６５Ｃ，６５Ｄ 位置決めすべき対象
物の側面 ６９Ａ〜６９Ｄ ４隅が面取りされた角部を有する側
面 ７５ 回転中心軸 ７６Ａ 位置決めすべき対象物の左側面 ７６Ｂ 位置決めすべき対象物の下方面 ７６Ｃ 位置決めすべき対象物の右側面 ７６Ｄ 位置決めすべき対象物の上方面 ８７ 工具ホルダ ８８ ワークピース ８９ 回転式真空チャック ９０ 工具ホルダの支持部 ９２ バイモルフ型圧電素子 １０２ 剪断型圧電素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジョアキム メンデス ポルトガル ポルト 324150 ルア アル ファゲメ デ サンタレム（番地なし) (72)発明者 劉 永田 神奈川県川崎市高津区北見方１丁目６番１ 号 立石荘202
Claims (9)
- 【請求項１】 圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用
した小型精密位置決め装置において、（ａ）圧電素子の
一方側に取り付けられる慣性体と、（ｂ）前記圧電素子
のもう一方側に取り付けられる衝撃体と、（ｃ）前記慣
性体と前記衝撃体の移動方向に予圧を与える衝撃体移動
方向予圧手段と、（ｄ）前記慣性体及び前記衝撃体をガ
イドする案内手段と、（ｅ）前記圧電素子に外部より電
圧パターンを与える手段とを具備してなる圧電素子の急
速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の圧電素子の急速変形に伴
う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置において、前
記慣性体をガイドする案内手段の垂直方向に予圧を与え
ないことを特徴とする圧電素子の急速変形に伴う衝撃力
を利用した小型精密位置決め装置。 - 【請求項３】 圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用
した小型精密位置決め装置において、（ａ）ケースと、
（ｂ）該ケース内に設けられる圧電素子の一方側に取り
付けられる慣性体と、（ｃ）前記ケース内に設けられる
前記圧電素子のもう一方側に取り付けられる棒状の衝撃
体と、（ｄ）前記慣性体の後方に設けられるロッドと、
（ｅ）前記ケースの両側の前記慣性体と前記衝撃体の移
動方向に穿設される孔と、（ｆ）前記ケースの前記両側
の孔に設けられる前記棒状の衝撃体と前記ロッドとをガ
イドする案内手段と、（ｇ）前記圧電素子に外部より電
圧パターンを与える手段とを具備してなる圧電素子の急
速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置。 - 【請求項４】 圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用
した小型精密位置決め装置において、ケースと、該ケー
ス内に設けられる圧電素子の一方側に取り付けられる慣
性体と、前記ケース内に設けられる前記圧電素子のもう
一方側に取り付けられる棒状の衝撃体と、前記慣性体の
後方に設けられるロッドと、前記ケースの両側の前記慣
性体と前記衝撃体の移動方向に穿設される孔と、前記ケ
ースの前記両側の孔に設けられる前記棒状の衝撃体と前
記ロッドとをガイドする案内手段と、前記圧電素子に外
部より電圧パターンを与える手段とを具備してなる圧電
素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決
め装置を、水平に配置し、前記棒状の衝撃体の先端部を
位置決めすべき対象物に作用させることを特徴とする圧
電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置
決め装置。 - 【請求項５】 圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用
した小型精密位置決め装置において、ケースと、該ケー
ス内に設けられる圧電素子の一方側に取り付けられる慣
性体と、前記ケース内に設けられる前記圧電素子のもう
一方側に取り付けられる棒状の衝撃体と、前記慣性体の
後方に設けられるロッドと、前記ケースの両側の前記慣
性体と前記衝撃体の移動方向に穿設される孔と、前記ケ
ースの前記両側の孔に設けられる前記棒状の衝撃体と前
記ロッドとをガイドする案内手段と、前記圧電素子に外
部より電圧パターンを与える手段とを具備してなる圧電
素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決
め装置を、垂直に配置し、前記棒状の衝撃体の先端部を
位置決めすべき対象物に作用させることを特徴とする圧
電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置
決め装置。 - 【請求項６】 圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用
した小型精密位置決め装置において、ケースと、該ケー
ス内に設けられる圧電素子の一方側に取り付けられる慣
性体と、前記ケース内に設けられる前記圧電素子のもう
一方側に取り付けられる棒状の衝撃体と、前記慣性体の
後方に設けられるロッドと、前記ケースの両側の前記慣
性体と前記衝撃体の移動方向に穿設される孔と、前記ケ
ースの前記両側の孔に設けられる前記棒状の衝撃体と前
記ロッドとをガイドする案内手段と、前記圧電素子に外
部より電圧パターンを与える手段とを具備してなる圧電
素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決
め装置を、傾斜させて配置し、前記棒状の衝撃体の先端
部を位置決めすべき対象物に作用させることを特徴とす
る圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密
位置決め装置。 - 【請求項７】 圧電素子の一方側に取り付けられる慣性
体と、前記圧電素子のもう一方側に取り付けられる衝撃
体と、前記慣性体と前記衝撃体の移動方向に予圧を与え
る衝撃体移動方向予圧手段と、前記慣性体及び前記衝撃
体をガイドする案内手段と、前記圧電素子に外部より電
圧パターンを与える手段とを具備してなる圧電素子の急
速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置
を、位置決めすべき対象物の両側に配置し、前記位置決
めすべき対象物を正逆方向に駆動可能にしてなる圧電素
子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め
装置。 - 【請求項８】 圧電素子の一方側に取り付けられる慣性
体と、前記圧電素子のもう一方側に取り付けられる衝撃
体と、前記慣性体と前記衝撃体の移動方向に予圧を与え
る衝撃体移動方向予圧手段と、前記慣性体及び前記衝撃
体をガイドする案内手段と、前記圧電素子に外部より電
圧パターンを与える手段とを具備してなる圧電素子の急
速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置
を、位置決めすべき対象物のいくつかの側面に少なくと
も３個配置し、前記位置決めすべき対象物をＸ軸、Ｙ軸
及び回転方向に駆動可能にしてなる圧電素子の急速変形
に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置。 - 【請求項９】 圧電素子の一方側に取り付けられる慣性
体と、前記圧電素子のもう一方側に取り付けられる衝撃
体と、前記慣性体と前記衝撃体の移動方向に予圧を与え
る衝撃体移動方向予圧手段と、前記慣性体及び前記衝撃
体をガイドする案内手段と、前記圧電素子に外部より電
圧パターンを与える手段とを具備してなる圧電素子の急
速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置
を、回転自在にセットされた位置決めすべき対象物の側
面に配置し、前記位置決めすべき対象物を回転方向に駆
動可能にしてなる圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利
用した小型精密位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30167597A JP4073060B2 (ja) | 1997-11-04 | 1997-11-04 | 圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30167597A JP4073060B2 (ja) | 1997-11-04 | 1997-11-04 | 圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007287491A Division JP4482582B2 (ja) | 2007-11-05 | 2007-11-05 | 圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11143542A true JPH11143542A (ja) | 1999-05-28 |
| JP4073060B2 JP4073060B2 (ja) | 2008-04-09 |
Family
ID=17899786
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30167597A Expired - Fee Related JP4073060B2 (ja) | 1997-11-04 | 1997-11-04 | 圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4073060B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002228870A (ja) * | 2001-02-02 | 2002-08-14 | Mutsuo Munekata | 光軸合わせ装置および光軸合わせ方法 |
| WO2005114825A1 (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-01 | Japan Science And Technology Agency | 精密高耐荷重移動方法および装置 |
| JP2007179341A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Nano Control:Kk | インパクト駆動アクチュエータ |
| US10097111B2 (en) | 2015-03-04 | 2018-10-09 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric drive device and robot |
-
1997
- 1997-11-04 JP JP30167597A patent/JP4073060B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002228870A (ja) * | 2001-02-02 | 2002-08-14 | Mutsuo Munekata | 光軸合わせ装置および光軸合わせ方法 |
| WO2002063357A1 (fr) * | 2001-02-02 | 2002-08-15 | Japan Science And Technology Corporation | Dispositif et procede d"alignement d"axe optique |
| US6947646B2 (en) | 2001-02-02 | 2005-09-20 | Japan Science & Technology Agency | Device and method for alignment of optical axis |
| JP4537591B2 (ja) * | 2001-02-02 | 2010-09-01 | 株式会社ナノコントロール | 光軸合わせ装置および光軸合わせ方法 |
| WO2005114825A1 (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-01 | Japan Science And Technology Agency | 精密高耐荷重移動方法および装置 |
| US7622847B2 (en) | 2004-05-20 | 2009-11-24 | Japan Science And Technology Agency | Method and device for precisely resisting and moving high load |
| US7834519B2 (en) | 2004-05-20 | 2010-11-16 | Japan Science And Technology Agency | Method and device for precisely resisting and moving high load |
| JP2007179341A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Nano Control:Kk | インパクト駆動アクチュエータ |
| US10097111B2 (en) | 2015-03-04 | 2018-10-09 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric drive device and robot |
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|---|---|
| JP4073060B2 (ja) | 2008-04-09 |
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