JPH06182664A - 振動テーブル装置 - Google Patents
振動テーブル装置Info
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- JPH06182664A JPH06182664A JP33649892A JP33649892A JPH06182664A JP H06182664 A JPH06182664 A JP H06182664A JP 33649892 A JP33649892 A JP 33649892A JP 33649892 A JP33649892 A JP 33649892A JP H06182664 A JPH06182664 A JP H06182664A
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- axis
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- direction portion
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 研磨加工時に、工作物に対して二次元方向の
振動を付与する。 【構成】 ベース（１）の上方に、任意方向に転動可能
の転がり要素（２）を介して振動テーブル（３）を配置
する。ベース（１）と振動テーブル（３）との間には、
第１の弾性部材（7a）及び第２の弾性部材（7b）とを圧
縮状態で介在させる。振動テーブル（３）の一端面にＸ
軸方向部（9a）及びＹ軸方向部（9b）からなる接触部材
（９）を装着し、この両軸方向部（9a）（9b）で囲まれ
た空間内に、円板型の偏心部材（11）を配置する。振動
テーブル（３）の側方に、第１の押圧部材（15ａ）と第
２の押圧部材（15ｂ）とを配置し、両押圧部材（15ａ）
（15ｂ）を適宜駆動して偏心部材（11）をＸ軸方向部
（9a）、Ｙ軸方向部（9b）、Ｘ軸方向部（9a）及びＹ軸
方向部（9b）に択一的に接触させる。
振動を付与する。 【構成】 ベース（１）の上方に、任意方向に転動可能
の転がり要素（２）を介して振動テーブル（３）を配置
する。ベース（１）と振動テーブル（３）との間には、
第１の弾性部材（7a）及び第２の弾性部材（7b）とを圧
縮状態で介在させる。振動テーブル（３）の一端面にＸ
軸方向部（9a）及びＹ軸方向部（9b）からなる接触部材
（９）を装着し、この両軸方向部（9a）（9b）で囲まれ
た空間内に、円板型の偏心部材（11）を配置する。振動
テーブル（３）の側方に、第１の押圧部材（15ａ）と第
２の押圧部材（15ｂ）とを配置し、両押圧部材（15ａ）
（15ｂ）を適宜駆動して偏心部材（11）をＸ軸方向部
（9a）、Ｙ軸方向部（9b）、Ｘ軸方向部（9a）及びＹ軸
方向部（9b）に択一的に接触させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、研磨加工や研削加工等
の磨き加工において、工作物を支持しながらこれに二次
元方向の振動を付与する振動テーブル装置に関する。
の磨き加工において、工作物を支持しながらこれに二次
元方向の振動を付与する振動テーブル装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】金型等の磨き加工では、加工後に研磨ム
ラのない高精度の仕上げ面が要求される。このような高
精度の磨き加工を行なうには、工作物を工具の送り方向
と平行に振動させる必要があり、このように工作物を振
動させることを目的として、従来からいわゆる振動テー
ブル装置が用いられている。以下、この振動テーブル装
置の基本構造を図９に基づいて説明する。
ラのない高精度の仕上げ面が要求される。このような高
精度の磨き加工を行なうには、工作物を工具の送り方向
と平行に振動させる必要があり、このように工作物を振
動させることを目的として、従来からいわゆる振動テー
ブル装置が用いられている。以下、この振動テーブル装
置の基本構造を図９に基づいて説明する。
【０００３】工作物を支持するテーブル（37）は、ベー
ス（39）との間に配置したリニアガイド（41）でＸ軸方
向に精密に案内される。Ｘ軸上には、テーブル（37）を
挟んでバネ（43）と偏心円板（45）とが設けられてい
る。前記バネ（43）はベース（39）とテーブル（37）の
端面との間に圧縮状態で介装されており、このバネ（4
3）の弾性力によってテーブル（37）が図面右方に押圧
される。そのため、テーブル（37）の端面と偏心円板
（45）とは常時接触している。前記偏心円板（45）は、
モータ（図示省略）等に連結され且つその回転軸（47）
は中心（49）に対してＸ軸方向にオフセットされてい
る。このような構成により、偏心円板（45）を回転させ
れば、テーブル（37）がＸ軸方向に振動し、テーブル
（37）上に支持された工作物にＸ軸方向の振動が付与さ
れる。この振動方向（Ｘ軸方向）と平行に砥石（51）を
送ることにより、高精度の仕上げ面が得られるようにな
る。
ス（39）との間に配置したリニアガイド（41）でＸ軸方
向に精密に案内される。Ｘ軸上には、テーブル（37）を
挟んでバネ（43）と偏心円板（45）とが設けられてい
る。前記バネ（43）はベース（39）とテーブル（37）の
端面との間に圧縮状態で介装されており、このバネ（4
3）の弾性力によってテーブル（37）が図面右方に押圧
される。そのため、テーブル（37）の端面と偏心円板
（45）とは常時接触している。前記偏心円板（45）は、
モータ（図示省略）等に連結され且つその回転軸（47）
は中心（49）に対してＸ軸方向にオフセットされてい
る。このような構成により、偏心円板（45）を回転させ
れば、テーブル（37）がＸ軸方向に振動し、テーブル
（37）上に支持された工作物にＸ軸方向の振動が付与さ
れる。この振動方向（Ｘ軸方向）と平行に砥石（51）を
送ることにより、高精度の仕上げ面が得られるようにな
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のテー
ブル振動装置では、テーブルの振動方向が一方向（Ｘ軸
方向）に限られており、工作物に２次元方向の振動を付
与することができないという問題点がある。
ブル振動装置では、テーブルの振動方向が一方向（Ｘ軸
方向）に限られており、工作物に２次元方向の振動を付
与することができないという問題点がある。
【０００５】このため、例えば、図10に示すように、平
板状工作物（53）の表面研磨を行なうに際し砥石（51）
にトロコイド曲線等の円運動状の送りをかける場合や、
３次元自由曲面状工作物の表面研磨を行なう場合など、
砥石（51）の送り方向が刻一刻と変化する場合には、砥
石（51）の送り方向とテーブル（37）の振動方向とを一
致させることは不可能であった。
板状工作物（53）の表面研磨を行なうに際し砥石（51）
にトロコイド曲線等の円運動状の送りをかける場合や、
３次元自由曲面状工作物の表面研磨を行なう場合など、
砥石（51）の送り方向が刻一刻と変化する場合には、砥
石（51）の送り方向とテーブル（37）の振動方向とを一
致させることは不可能であった。
【０００６】そこで、本発明は、工作物に二次元方向の
振動を付与することのできる振動テーブル装置の提供を
目的とする。
振動を付与することのできる振動テーブル装置の提供を
目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的の達成のため、
本発明装置は、振動テーブルと、前記振動テーブルをＸ
軸方向で弾性的に支持する第１の弾性部材と、前記振動
テーブルをＹ軸方向で弾性的に支持する第２の弾性部材
と、回転源に連結され、その回転中心が中心に対してＸ
軸及びＹ軸方向にオフセットされた偏心部材と、前記振
動テーブルに固定され、Ｘ軸方向に延びるＸ軸方向部及
びＹ軸方向に延びるＹ軸方向部を有し、前記Ｘ軸方向部
及びＹ軸方向部が前記偏心部材と接触可能に設けられた
接触部材と、前記振動テーブルを第１の弾性部材に抗し
てＸ軸方向に押圧する第１の押圧部材と、前記振動テー
ブルを第２の弾性部材に抗してＹ軸方向に押圧する第２
の押圧部材とを備え、前記第１及び第２の押圧部材を適
宜駆動させ、前記回転源により回転駆動された偏心部材
を接触部材のＸ軸方向部、Ｙ軸方向部、Ｘ軸方向部及び
Ｙ軸方向部に択一的に接触させて振動テーブルをＸＹ平
面内で振動させている（請求項１）。
本発明装置は、振動テーブルと、前記振動テーブルをＸ
軸方向で弾性的に支持する第１の弾性部材と、前記振動
テーブルをＹ軸方向で弾性的に支持する第２の弾性部材
と、回転源に連結され、その回転中心が中心に対してＸ
軸及びＹ軸方向にオフセットされた偏心部材と、前記振
動テーブルに固定され、Ｘ軸方向に延びるＸ軸方向部及
びＹ軸方向に延びるＹ軸方向部を有し、前記Ｘ軸方向部
及びＹ軸方向部が前記偏心部材と接触可能に設けられた
接触部材と、前記振動テーブルを第１の弾性部材に抗し
てＸ軸方向に押圧する第１の押圧部材と、前記振動テー
ブルを第２の弾性部材に抗してＹ軸方向に押圧する第２
の押圧部材とを備え、前記第１及び第２の押圧部材を適
宜駆動させ、前記回転源により回転駆動された偏心部材
を接触部材のＸ軸方向部、Ｙ軸方向部、Ｘ軸方向部及び
Ｙ軸方向部に択一的に接触させて振動テーブルをＸＹ平
面内で振動させている（請求項１）。
【０００８】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記振動テーブルの上方に、前記振動テーブルから
独立してＺ軸回りに正逆回転可能な回転テーブルを設
け、この回転テーブルをＸＹ断面における工作物表面の
傾斜角度に応じて回転させることを特徴とする。
て、前記振動テーブルの上方に、前記振動テーブルから
独立してＺ軸回りに正逆回転可能な回転テーブルを設
け、この回転テーブルをＸＹ断面における工作物表面の
傾斜角度に応じて回転させることを特徴とする。
【０００９】請求項３の発明は、請求項１の発明におい
て、研磨ヘッドの変位検出信号から、工作物斜面の傾き
角を演算し、この検出量に基づいて付加回転テーブルを
回転させ、工作物斜面をＸ軸もしくはＹ軸に一致させる
ように制御することを特徴としている。
て、研磨ヘッドの変位検出信号から、工作物斜面の傾き
角を演算し、この検出量に基づいて付加回転テーブルを
回転させ、工作物斜面をＸ軸もしくはＹ軸に一致させる
ように制御することを特徴としている。
【００１０】
【作用】第１及び第２の押圧部材を適宜駆動させると、
偏心部材が接触部材のＸ軸方向部、Ｙ軸方向部、Ｘ軸方
向部及びＹ軸方向部と択一的に接触する。偏心部材をＸ
軸方向部に接触させた場合には、偏心部材の回転によっ
て振動テーブルがＹ軸方向に振動する。また、偏心部材
をＹ軸方向部に接触させた場合には、振動テーブルがＸ
軸方向に振動する。さらに、偏心部材をＸ軸方向部及び
Ｙ軸方向部の双方に接触させた場合には、上述の２つの
振動が合成されて振動テーブルが円運動を行なう。
偏心部材が接触部材のＸ軸方向部、Ｙ軸方向部、Ｘ軸方
向部及びＹ軸方向部と択一的に接触する。偏心部材をＸ
軸方向部に接触させた場合には、偏心部材の回転によっ
て振動テーブルがＹ軸方向に振動する。また、偏心部材
をＹ軸方向部に接触させた場合には、振動テーブルがＸ
軸方向に振動する。さらに、偏心部材をＸ軸方向部及び
Ｙ軸方向部の双方に接触させた場合には、上述の２つの
振動が合成されて振動テーブルが円運動を行なう。
【００１１】振動テーブルの上方に、振動テーブルから
独立して正逆方向に回転可能の回転テーブルを設け、こ
の回転テーブルをＸＹ断面における工作物表面の傾斜角
度に応じて回転させることにより、加工部における工作
物表面をＸ軸方向あるいはＹ軸方向と平行にすることが
できる。これにより、工具の送り方向と振動方向とを一
致させることが可能となる。
独立して正逆方向に回転可能の回転テーブルを設け、こ
の回転テーブルをＸＹ断面における工作物表面の傾斜角
度に応じて回転させることにより、加工部における工作
物表面をＸ軸方向あるいはＹ軸方向と平行にすることが
できる。これにより、工具の送り方向と振動方向とを一
致させることが可能となる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１乃至図８に基づ
いて説明する。
いて説明する。
【００１３】図１（ａ）（ｂ）は、本発明装置の平面図
及び側面図である。ベース（１）の上方には、任意方向
に転動可能な転がり要素（２）を介して振動テーブル
（３）が配置される。前記ベース（１）の上部には、Ｘ
軸方向壁（5a）及びＹ軸方向壁（5b）からなるＬ字型の
側壁（５）が装着されており、この側壁（５）と振動テ
ーブル（３）の端面との間には第１の弾性部材（7a）お
よび第２の弾性部材（7b）がそれぞれ圧縮状態で介装さ
れる。前記第１の弾性部材（7a）は振動テーブル（３）
をＸ軸方向に支持し、第２の弾性部材（7b）はＹ軸方向
に支持している。両弾性部材（7a）（7b）の弾性力によ
り、振動テーブル（３）はＸ軸及びＹ軸の正方向に常時
付勢される。
及び側面図である。ベース（１）の上方には、任意方向
に転動可能な転がり要素（２）を介して振動テーブル
（３）が配置される。前記ベース（１）の上部には、Ｘ
軸方向壁（5a）及びＹ軸方向壁（5b）からなるＬ字型の
側壁（５）が装着されており、この側壁（５）と振動テ
ーブル（３）の端面との間には第１の弾性部材（7a）お
よび第２の弾性部材（7b）がそれぞれ圧縮状態で介装さ
れる。前記第１の弾性部材（7a）は振動テーブル（３）
をＸ軸方向に支持し、第２の弾性部材（7b）はＹ軸方向
に支持している。両弾性部材（7a）（7b）の弾性力によ
り、振動テーブル（３）はＸ軸及びＹ軸の正方向に常時
付勢される。
【００１４】振動テーブル（３）の一端面、具体的には
第２の弾性部材（7b）の装着面の反対面には、Ｘ軸方向
に延びるＸ軸方向部（9a）とＹ軸方向に延びるＹ軸方向
部（9b）とからなるＬ字型の接触部材（９）が装着され
る。この接触部材（９）は、Ｘ軸方向部（9a）を振動テ
ーブル（３）に接触させ且つＹ軸方向部（9b）を第１の
弾性部材（7a）側に位置させて取り付けられる。前記Ｘ
軸方向部（9a）及びＹ軸方向部（9b）で囲まれた空間内
には、両軸方向部（9a）（9b）の内面と接触する偏心部
材（11）が配置される。この偏心部材（11）は円板型を
なしており、モータ等の回転源に連結されている。ま
た、偏心部材（11）の回転軸（12）は中心（13）に対し
てＸ軸及びＹ軸方向にオフセットされている。
第２の弾性部材（7b）の装着面の反対面には、Ｘ軸方向
に延びるＸ軸方向部（9a）とＹ軸方向に延びるＹ軸方向
部（9b）とからなるＬ字型の接触部材（９）が装着され
る。この接触部材（９）は、Ｘ軸方向部（9a）を振動テ
ーブル（３）に接触させ且つＹ軸方向部（9b）を第１の
弾性部材（7a）側に位置させて取り付けられる。前記Ｘ
軸方向部（9a）及びＹ軸方向部（9b）で囲まれた空間内
には、両軸方向部（9a）（9b）の内面と接触する偏心部
材（11）が配置される。この偏心部材（11）は円板型を
なしており、モータ等の回転源に連結されている。ま
た、偏心部材（11）の回転軸（12）は中心（13）に対し
てＸ軸及びＹ軸方向にオフセットされている。
【００１５】前記振動テーブル（３）の側方には、第１
の押圧部材（15ａ）及び第２の押圧部材（15ｂ）が配置
される。この第１および第２の押圧部材（15ａ）（15
ｂ）は油圧シリンダ等で構成されており、第１の押圧部
材（15ａ）がＸ軸方向に向けられ、第２の押圧部材（15
ｂ）がＹ軸方向に向けられている。
の押圧部材（15ａ）及び第２の押圧部材（15ｂ）が配置
される。この第１および第２の押圧部材（15ａ）（15
ｂ）は油圧シリンダ等で構成されており、第１の押圧部
材（15ａ）がＸ軸方向に向けられ、第２の押圧部材（15
ｂ）がＹ軸方向に向けられている。
【００１６】このような構成により、図示のように押圧
部材（15ａ）（15ｂ）を後退させた状態では、偏心部材
（11）が接触部材（９）のＸ軸方向部（9a）及びＹ軸方
向部（9b）の双方と接触する。また、第１の押圧部材
（15ａ）を進出させると、第１の弾性部材（7a）が圧縮
されて振動テーブル（３）がＸ軸の負方向に移動し、偏
心部材（11）とＹ軸方向部（9b）とが非接触になる。同
様に第２の押圧部材（15ｂ）を進出させると、第２の弾
性部材（7b）が圧縮されて振動テーブル（３）がＹ軸の
負方向に移動し、偏心部材（11）とＸ軸方向部（9a）と
が非接触となる。一方、第１及び第２の押圧部材（15
ａ）（15ｂ）の双方を進出させると、両弾性部材（7a）
（7b）が圧縮され、振動テーブル（３）がＸ軸及びＹ軸
の負方向の合成方向に変位し、偏心部材（11）とＸ軸方
向部（9a）及びＹ軸方向部（9b）とが非接触となる。
部材（15ａ）（15ｂ）を後退させた状態では、偏心部材
（11）が接触部材（９）のＸ軸方向部（9a）及びＹ軸方
向部（9b）の双方と接触する。また、第１の押圧部材
（15ａ）を進出させると、第１の弾性部材（7a）が圧縮
されて振動テーブル（３）がＸ軸の負方向に移動し、偏
心部材（11）とＹ軸方向部（9b）とが非接触になる。同
様に第２の押圧部材（15ｂ）を進出させると、第２の弾
性部材（7b）が圧縮されて振動テーブル（３）がＹ軸の
負方向に移動し、偏心部材（11）とＸ軸方向部（9a）と
が非接触となる。一方、第１及び第２の押圧部材（15
ａ）（15ｂ）の双方を進出させると、両弾性部材（7a）
（7b）が圧縮され、振動テーブル（３）がＸ軸及びＹ軸
の負方向の合成方向に変位し、偏心部材（11）とＸ軸方
向部（9a）及びＹ軸方向部（9b）とが非接触となる。
【００１７】本発明装置は以上の構成からなる。以下、
この装置の動作を図２（ａ）〜（ｄ）に基づいて説明す
る。
この装置の動作を図２（ａ）〜（ｄ）に基づいて説明す
る。
【００１８】同図（ａ）は、両押圧部材（15ａ）（15
ｂ）を後退させた状態を示す。この状態で偏心部材（1
1）を回転させると、その移動軌跡は図３に示すような
ものになる。ここで、例えば偏心部材（11）とＸ軸方向
部（9a）との接触部（16）の挙動について考えると、当
該接触部（16）の移動軌跡は点線で示す円を描く。従っ
て、この場合には振動テーブル（３）が円運動を行なう
ようになる。
ｂ）を後退させた状態を示す。この状態で偏心部材（1
1）を回転させると、その移動軌跡は図３に示すような
ものになる。ここで、例えば偏心部材（11）とＸ軸方向
部（9a）との接触部（16）の挙動について考えると、当
該接触部（16）の移動軌跡は点線で示す円を描く。従っ
て、この場合には振動テーブル（３）が円運動を行なう
ようになる。
【００１９】この振動形態は、平板状工作物の表面研磨
等において、砥石をトロコイド曲線状（図10参照）に送
る場合に好適である。このような振動形態を選択するこ
とにより、振動テーブル（３）の振動方向を砥石の送り
方向に一致させることが可能となるからである。
等において、砥石をトロコイド曲線状（図10参照）に送
る場合に好適である。このような振動形態を選択するこ
とにより、振動テーブル（３）の振動方向を砥石の送り
方向に一致させることが可能となるからである。
【００２０】図２（ｂ）は、第１の押圧部材（15ａ）を
後退させたままで、第２の押圧部材（15ｂ）を進出させ
た状態を示す。この状態では、偏心部材（11）とＸ軸方
向部（9a）とが非接触となるため、振動テーブル（３）
はＸ軸方向にのみ振動する。この振動形態は、砥石をＸ
軸方向に送る場合に好適である。
後退させたままで、第２の押圧部材（15ｂ）を進出させ
た状態を示す。この状態では、偏心部材（11）とＸ軸方
向部（9a）とが非接触となるため、振動テーブル（３）
はＸ軸方向にのみ振動する。この振動形態は、砥石をＸ
軸方向に送る場合に好適である。
【００２１】図２（ｃ）は、第１の押圧部材（15ａ）を
進出させると共に、第２の押圧部材を後退させた状態を
示す。この状態では、偏心部材（11）とＹ軸方向部（9
b）とが非接触となるため、振動テーブル（３）はＹ軸
方向にのみ振動する。この振動形態は、砥石をＹ軸方向
に送る場合に好適である。
進出させると共に、第２の押圧部材を後退させた状態を
示す。この状態では、偏心部材（11）とＹ軸方向部（9
b）とが非接触となるため、振動テーブル（３）はＹ軸
方向にのみ振動する。この振動形態は、砥石をＹ軸方向
に送る場合に好適である。
【００２２】図２（ｄ）は、両押圧部材（15ａ）（15
ｂ）を進出させた場合を示す。この状態では、偏心部材
（11）と、Ｘ軸方向部（9a）及びＹ軸方向部（9b）とが
非接触となるため、振動テーブル（３）は振動しない。
従って、通常の静止テーブルとして用いることができ
る。
ｂ）を進出させた場合を示す。この状態では、偏心部材
（11）と、Ｘ軸方向部（9a）及びＹ軸方向部（9b）とが
非接触となるため、振動テーブル（３）は振動しない。
従って、通常の静止テーブルとして用いることができ
る。
【００２３】以上の振動形態（図２（ａ）〜（ｄ））を
適宜選択することにより、工作物に高精度の磨き加工を
施すことが可能となる。具体的に説明すると、例えば工
作物（19）が図４に示すポケット状の金型である場合、
ポケットの短手側の側面（20）の加工時には、図２
（ｂ）に示すＸ軸方向振動を選択し、Ｙ軸方向に砥石
（21）を送る。また、長手側の側面（22）の加工時に
は、同図（ｃ）に示すＹ軸方向振動を選択し、Ｘ軸方向
に砥石（21）を送る。さらに、底面（23）の加工時に
は、同図（ａ）に示す回転運動を選択し、図10に示すト
ロコイド曲線状に砥石（21）を送る。
適宜選択することにより、工作物に高精度の磨き加工を
施すことが可能となる。具体的に説明すると、例えば工
作物（19）が図４に示すポケット状の金型である場合、
ポケットの短手側の側面（20）の加工時には、図２
（ｂ）に示すＸ軸方向振動を選択し、Ｙ軸方向に砥石
（21）を送る。また、長手側の側面（22）の加工時に
は、同図（ｃ）に示すＹ軸方向振動を選択し、Ｘ軸方向
に砥石（21）を送る。さらに、底面（23）の加工時に
は、同図（ａ）に示す回転運動を選択し、図10に示すト
ロコイド曲線状に砥石（21）を送る。
【００２４】ところで、上述の振動テーブル振動装置で
は、図５に示すような三角柱状の工作物（19）を加工す
る場合に問題が生じる。即ち、上述の装置では振動方向
がＸ軸・Ｙ軸方向及び円運動に限られており、斜面（2
5）の加工時に要する斜め方向（矢示（26）で示す）の
振動が付与できない。
は、図５に示すような三角柱状の工作物（19）を加工す
る場合に問題が生じる。即ち、上述の装置では振動方向
がＸ軸・Ｙ軸方向及び円運動に限られており、斜面（2
5）の加工時に要する斜め方向（矢示（26）で示す）の
振動が付与できない。
【００２５】この問題を解決するものとして、図６に示
す構成が考えられる。この装置は、図１の構成に加え、
新たに振動テーブル（３）の上方に回転テーブル（27）
を設けたものである。前記回転テーブル（27）は、サー
ボモータ等の駆動機構（図示省略）に連結され、振動テ
ーブル（３）に対して独立してＺ軸回りに正逆回転可能
とされている。
す構成が考えられる。この装置は、図１の構成に加え、
新たに振動テーブル（３）の上方に回転テーブル（27）
を設けたものである。前記回転テーブル（27）は、サー
ボモータ等の駆動機構（図示省略）に連結され、振動テ
ーブル（３）に対して独立してＺ軸回りに正逆回転可能
とされている。
【００２６】この装置を用いて前記斜面（25）を加工す
る場合には、先ず、回転テーブル（27）上に支持した工
作物（19）の斜面（25）の傾斜角度（θ）（Ｘ軸に対す
る傾斜角度）を先願の特公平4−48578において倣い制御
用に用いた変位検出信号εｘ、εｙから演算することに
より算出する。次に、図７に示すように、この検出した
傾斜角度（θ）に応じて回転テーブル（27）をＺ軸回り
に回転させ、斜面（25）をＹ軸と平行にする。この状態
で、砥石（21）をＹ軸方向に送りながら図２（ｃ）に示
す振動形態を選択することにより、砥石（21）の送り方
向と工作物（19）の振動方向とを一致させることが可能
となる。
る場合には、先ず、回転テーブル（27）上に支持した工
作物（19）の斜面（25）の傾斜角度（θ）（Ｘ軸に対す
る傾斜角度）を先願の特公平4−48578において倣い制御
用に用いた変位検出信号εｘ、εｙから演算することに
より算出する。次に、図７に示すように、この検出した
傾斜角度（θ）に応じて回転テーブル（27）をＺ軸回り
に回転させ、斜面（25）をＹ軸と平行にする。この状態
で、砥石（21）をＹ軸方向に送りながら図２（ｃ）に示
す振動形態を選択することにより、砥石（21）の送り方
向と工作物（19）の振動方向とを一致させることが可能
となる。
【００２７】上述の研磨作業を行なうに際しては、本出
願人が先に提案した自己倣い研磨ヘッド（特公平4−485
78号公報参照）を用いることにより、より一層効率的で
且つ高精度の研削作業が可能となる。この自己倣い研磨
ヘッドは、工作物表面に砥石を一定圧力で押しつけなが
ら砥石回転軸のＸ軸及びＹ軸方向の変位量を検出し、こ
の検出信号を合成して当該合成値が一定値となるよう工
作機械の主軸を倣い制御するものである。従って、この
自己倣い研磨ヘッドにより砥石回転軸のＸ軸及びＹ軸方
向の変位量εｘ、εｙを検出し、この検出信号から傾斜
角度（θ）を演算し、この傾斜角度（θ）がゼロとなる
よう回転テーブル（27）を回転させれば、加工部におけ
る工作物（19）の表面を常に振動方向と平行にすること
ができる。
願人が先に提案した自己倣い研磨ヘッド（特公平4−485
78号公報参照）を用いることにより、より一層効率的で
且つ高精度の研削作業が可能となる。この自己倣い研磨
ヘッドは、工作物表面に砥石を一定圧力で押しつけなが
ら砥石回転軸のＸ軸及びＹ軸方向の変位量を検出し、こ
の検出信号を合成して当該合成値が一定値となるよう工
作機械の主軸を倣い制御するものである。従って、この
自己倣い研磨ヘッドにより砥石回転軸のＸ軸及びＹ軸方
向の変位量εｘ、εｙを検出し、この検出信号から傾斜
角度（θ）を演算し、この傾斜角度（θ）がゼロとなる
よう回転テーブル（27）を回転させれば、加工部におけ
る工作物（19）の表面を常に振動方向と平行にすること
ができる。
【００２８】この構成により、図８に示すような３次元
自由曲面状金型（19）の表面研磨が自動的に且つ高精度
に行なえるようになる。即ち、金型（19）の表面に沿っ
て砥石（21）を倣い送りしながら、加工箇所（29）にお
ける表面の傾斜角度を逐次検出・演算し、この傾斜角が
Ｘ軸若しくはＹ軸に対してゼロとなるように逐次回転テ
ーブル（27）を正逆回転させる。そして、傾斜角がゼロ
となる方向（例えば、Ｙ軸に対して傾斜角度がゼロとな
るように回転テーブル（27）を回転させた場合はＹ軸方
向）の振動を振動テーブル（３）と回転テーブル（27）
に与えるのである。
自由曲面状金型（19）の表面研磨が自動的に且つ高精度
に行なえるようになる。即ち、金型（19）の表面に沿っ
て砥石（21）を倣い送りしながら、加工箇所（29）にお
ける表面の傾斜角度を逐次検出・演算し、この傾斜角が
Ｘ軸若しくはＹ軸に対してゼロとなるように逐次回転テ
ーブル（27）を正逆回転させる。そして、傾斜角がゼロ
となる方向（例えば、Ｙ軸に対して傾斜角度がゼロとな
るように回転テーブル（27）を回転させた場合はＹ軸方
向）の振動を振動テーブル（３）と回転テーブル（27）
に与えるのである。
【００２９】なお、以上の説明は、テーブルを振動させ
て回転角を制御するものであるが、砥石自体にＸ軸方
向、Ｙ軸方向、円運動状の振動を与え、これを工作物の
形状に合わせて回転させる場合にも同様の手法を用いる
ことが可能である。
て回転角を制御するものであるが、砥石自体にＸ軸方
向、Ｙ軸方向、円運動状の振動を与え、これを工作物の
形状に合わせて回転させる場合にも同様の手法を用いる
ことが可能である。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
第１及び第２の押圧部材を適宜駆動させ、偏心部材を接
触部材のＸ軸方向部、Ｙ軸方向部、Ｘ軸方向部及びＹ軸
方向部に択一的に接触させているので、振動テーブルを
Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、円運動状に振動させることが可能
となる。これにより、多種多様の振動形態が得られるよ
うになり、工作物の形状や加工方法に最も適合した振動
形態が選択できるようになる。
第１及び第２の押圧部材を適宜駆動させ、偏心部材を接
触部材のＸ軸方向部、Ｙ軸方向部、Ｘ軸方向部及びＹ軸
方向部に択一的に接触させているので、振動テーブルを
Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、円運動状に振動させることが可能
となる。これにより、多種多様の振動形態が得られるよ
うになり、工作物の形状や加工方法に最も適合した振動
形態が選択できるようになる。
【００３１】また、振動テーブルの上方に、前記振動テ
ーブルから独立してＺ軸回りに正逆回転可能な回転テー
ブルを設け、この回転テーブルをＸＹ断面における工作
物表面の傾斜角度に応じて回転させることにより、ＸＹ
平面内のあらゆる方向の振動を付与することが可能とな
る。これにより、従来困難であった３次元自由曲面状工
作物の表面研磨も高精度に行なえるようになる。
ーブルから独立してＺ軸回りに正逆回転可能な回転テー
ブルを設け、この回転テーブルをＸＹ断面における工作
物表面の傾斜角度に応じて回転させることにより、ＸＹ
平面内のあらゆる方向の振動を付与することが可能とな
る。これにより、従来困難であった３次元自由曲面状工
作物の表面研磨も高精度に行なえるようになる。
【図１】本発明装置の平面図（ａ）及びＡ−Ａ線での断
面図（ｂ）である。
面図（ｂ）である。
【図２】本発明装置の動作を示す平面図である。
【図３】偏心円板を回転させた際の状況を示す平面図で
ある。
ある。
【図４】本発明装置をポケット状金型の加工に用いた場
合の平面図（ａ）及び断面図（ｂ）である。
合の平面図（ａ）及び断面図（ｂ）である。
【図５】本発明装置を三角柱状の工作物の加工に用いた
場合の平面図である。
場合の平面図である。
【図６】本発明装置の他の実施例を示す断面図である。
【図７】回転テーブルを回転させた場合の平面図であ
る。
る。
【図８】本発明装置を３次元自由曲面状工作物の加工に
用いた場合の断面図（ａ）及びＣ−Ｃ線での断面図
（ｂ）である。
用いた場合の断面図（ａ）及びＣ−Ｃ線での断面図
（ｂ）である。
【図９】従来のテーブル振動装置の平面図である。
【図10】砥石をトロコイド曲線状に送る場合の平面図で
ある。
ある。
３ 振動テーブル 7a 第１の弾性部材 7b 第２の弾性部材 ９ 接触部材 9a Ｘ軸方向部 9b Ｙ軸方向部 11 偏心部材 12 回転中心 13 中心 15ａ 第１の押圧部材 15ｂ 第２の押圧部材
Claims (3)
- 【請求項１】 振動テーブルと、 前記振動テーブルをＸ軸方向で弾性的に支持する第１の
弾性部材と、 前記振動テーブルをＹ軸方向で弾性的に支持する第２の
弾性部材と、 回転源に連結され、その回転中心が中心に対してＸ軸及
びＹ軸方向にオフセットされた偏心部材と、 前記振動テーブルに固定され、Ｘ軸方向に延びるＸ軸方
向部及びＹ軸方向に延びるＹ軸方向部を有し、前記Ｘ軸
方向部及びＹ軸方向部が前記偏心部材と接触可能に設け
られた接触部材と、 前記振動テーブルを第１の弾性部材に抗してＸ軸方向に
押圧する第１の押圧部材と、 前記振動テーブルを第２の弾性部材に抗してＹ軸方向に
押圧する第２の押圧部材とを備え、 前記第１及び第２の押圧部材を適宜駆動させ、前記回転
源により回転駆動された偏心部材を接触部材のＸ軸方向
部、Ｙ軸方向部、Ｘ軸方向部及びＹ軸方向部に択一的に
接触させて振動テーブルをＸＹ平面内で振動させること
を特徴とするテーブル振動装置。 - 【請求項２】 振動テーブルと、 前記振動テーブルをＸ軸方向で弾性的に支持する第１の
弾性部材と、 前記振動テーブルをＹ軸方向で弾性的に支持する第２の
弾性部材と、 回転源に連結され、その回転中心が中心に対してＸ軸及
びＹ軸方向にオフセットされた偏心部材と、 前記振動テーブルに固定され、Ｘ軸方向に延びるＸ軸方
向部及びＹ軸方向に延びるＹ軸方向部を有し、前記Ｘ軸
方向部及びＹ軸方向部が前記偏心部材と接触可能に設け
られた接触部材と、 前記振動テーブルを第１の弾性部材に抗してＸ軸方向に
押圧する第１の押圧部材と、 前記振動テーブルを第２の弾性部材に抗してＹ軸方向に
押圧する第２の押圧部材とを備え、 前記第１及び第２の押圧部材を適宜駆動させ、前記回転
源により回転駆動された偏心部材を接触部材のＸ軸方向
部、Ｙ軸方向部、Ｘ軸方向部及びＹ軸方向部に択一的に
接触させて振動テーブルをＸＹ平面内で振動させるテー
ブル振動装置において、 前記振動テーブルの上方に、前記振動テーブルから独立
してＺ軸回りに正逆回転可能な回転テーブルを設け、こ
の回転テーブルをＸＹ断面における工作物表面の傾斜角
度に応じて回転させることを特徴とする振動テーブル装
置。 - 【請求項３】 振動テーブルと、 前記振動テーブルをＸ軸方向で弾性的に支持する第１の
弾性部材と、 前記振動テーブルをＹ軸方向で弾性的に支持する第２の
弾性部材と、 回転源に連結され、その回転中心が中心に対してＸ軸及
びＹ軸方向にオフセットされた偏心部材と、 前記振動テーブルに固定され、Ｘ軸方向に延びるＸ軸方
向部及びＹ軸方向に延びるＹ軸方向部を有し、前記Ｘ軸
方向部及びＹ軸方向部が前記偏心部材と接触可能に設け
られた接触部材と、 前記振動テーブルを第１の弾性部材に抗してＸ軸方向に
押圧する第１の押圧部材と、 前記振動テーブルを第２の弾性部材に抗してＹ軸方向に
押圧する第２の押圧部材とを備え、 前記第１及び第２の押圧部材を適宜駆動させ、前記回転
源により回転駆動された偏心部材を接触部材のＸ軸方向
部、Ｙ軸方向部、Ｘ軸方向部及びＹ軸方向部に択一的に
接触させて振動テーブルをＸＹ平面内で振動させるテー
ブル振動装置において、 研磨ヘッドの変位検出信号から、工作物斜面の傾き角を
演算し、この検出量に基づいて付加回転テーブルを回転
させ、工作物斜面をＸ軸もしくはＹ軸に一致させるよう
に制御することを特徴とする振動テーブル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33649892A JPH06182664A (ja) | 1992-12-17 | 1992-12-17 | 振動テーブル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33649892A JPH06182664A (ja) | 1992-12-17 | 1992-12-17 | 振動テーブル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06182664A true JPH06182664A (ja) | 1994-07-05 |
Family
ID=18299755
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33649892A Withdrawn JPH06182664A (ja) | 1992-12-17 | 1992-12-17 | 振動テーブル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06182664A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006021295A (ja) * | 2004-07-09 | 2006-01-26 | Yuzo Mori | 超精密鏡面加工方法及びその装置 |
| CN111347350A (zh) * | 2020-04-01 | 2020-06-30 | 浙江辛子精工机械有限公司 | 一种曲线进给机构 |
-
1992
- 1992-12-17 JP JP33649892A patent/JPH06182664A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006021295A (ja) * | 2004-07-09 | 2006-01-26 | Yuzo Mori | 超精密鏡面加工方法及びその装置 |
| JP4639669B2 (ja) * | 2004-07-09 | 2011-02-23 | 森 勇蔵 | Ｅｅｍ法による超精密鏡面加工方法及びその装置 |
| CN111347350A (zh) * | 2020-04-01 | 2020-06-30 | 浙江辛子精工机械有限公司 | 一种曲线进给机构 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000307 |