JPH06254762A - 凹球面ラッピング装置 - Google Patents
凹球面ラッピング装置Info
- Publication number
- JPH06254762A JPH06254762A JP6619193A JP6619193A JPH06254762A JP H06254762 A JPH06254762 A JP H06254762A JP 6619193 A JP6619193 A JP 6619193A JP 6619193 A JP6619193 A JP 6619193A JP H06254762 A JPH06254762 A JP H06254762A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spherical surface
- lapping
- concave spherical
- rigid ball
- ball
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 多数の凹球面を同時に、しかも形状精度、表
面粗さ共良くラップ仕上げ可能な凹球面ラッピング装置
を提供すること。 【構成】 凹球面を有する多数の被加工品を配設するた
めの試料台と、該試料台を回転させる第１の軸と、被加
工品の凹球面に対応して、該凹球面上に配設された多数
の硬質ボールと、前記第１の軸と偏心して配設された第
２の軸と、該第２の軸に軸支され、前記硬質ボールを押
圧すると共に回転し、前記硬質ボールと少なくとも接触
する部分が摩擦係数の大きな材料からなる板状体と、前
記第１および第２の軸を回転させる駆動手段と、前記硬
質ボールにラップ剤を供給する供給手段と、から構成さ
れる。
面粗さ共良くラップ仕上げ可能な凹球面ラッピング装置
を提供すること。 【構成】 凹球面を有する多数の被加工品を配設するた
めの試料台と、該試料台を回転させる第１の軸と、被加
工品の凹球面に対応して、該凹球面上に配設された多数
の硬質ボールと、前記第１の軸と偏心して配設された第
２の軸と、該第２の軸に軸支され、前記硬質ボールを押
圧すると共に回転し、前記硬質ボールと少なくとも接触
する部分が摩擦係数の大きな材料からなる板状体と、前
記第１および第２の軸を回転させる駆動手段と、前記硬
質ボールにラップ剤を供給する供給手段と、から構成さ
れる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は凹レンズや凹面鏡そして
球面軸受等の部品の凹球面を精度と能率良くラップ仕上
げすることができる凹球面ラッピング装置に関するもの
である。
球面軸受等の部品の凹球面を精度と能率良くラップ仕上
げすることができる凹球面ラッピング装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来技術およびその問題点】凹レンズや凹面鏡そして
球面軸受等の部品は技術の進歩と共に高精度が要求され
るようになり、その凹球面は精度の高い形状と表面粗さ
が要求される。その理由は、凹レンズや凹面鏡の場合、
凹球面は精度等によってそれらが使用される光学機器等
の解像度に大きく影響するからである。また、球面軸受
等の場合には、運動の伝達精度や円滑性に大きく影響す
るからである。そのため、凹球面の最終仕上げとして、
ラップ仕上げが行われている。例えば、特開昭５７−２
７６４８号や実開昭６４−２３３５１号にはラッピング
装置、また、特公昭６３−１８３号や特公平３−２９５
４６号にはラップ工具が開示されている。
球面軸受等の部品は技術の進歩と共に高精度が要求され
るようになり、その凹球面は精度の高い形状と表面粗さ
が要求される。その理由は、凹レンズや凹面鏡の場合、
凹球面は精度等によってそれらが使用される光学機器等
の解像度に大きく影響するからである。また、球面軸受
等の場合には、運動の伝達精度や円滑性に大きく影響す
るからである。そのため、凹球面の最終仕上げとして、
ラップ仕上げが行われている。例えば、特開昭５７−２
７６４８号や実開昭６４−２３３５１号にはラッピング
装置、また、特公昭６３−１８３号や特公平３−２９５
４６号にはラップ工具が開示されている。
【０００３】これらの装置等に適用されている方法は、
いずれも図２に示した（特開昭５７−２７６４８号に開
示）ように、棒の一端を球状とした球頭ラップ棒１を回
転円板１２の外周部に角度をつけて取付け、前記球頭１
３をラップ剤を介して被加工物２に形成された凹球面３
に押圧し、モータ１６によって駆動される円板の回転に
より球頭が凹球面の内面上を回転および揺動運動するこ
とによりラップ仕上げするものである。なお２０はエア
シリンダ、１９はエアシリンダ２０により昇降自在に保
持されたベアリングハウジング、１７はベアリングハウ
ジング１９内に挿入したベアリング１８によって回転自
在に支持された被加工物受である。しかし、これらの方
法には次のような問題があった。 （１）一度に一個の凹球面しかラップ仕上げできず加工
能率が悪い。 （２）球頭ラップ棒は複雑な構造のため製作にかなりの
工数を必要とする。 （３）ラップ加工によって球頭部が摩耗するため使用回
数に限界がありコストがかかる。
いずれも図２に示した（特開昭５７−２７６４８号に開
示）ように、棒の一端を球状とした球頭ラップ棒１を回
転円板１２の外周部に角度をつけて取付け、前記球頭１
３をラップ剤を介して被加工物２に形成された凹球面３
に押圧し、モータ１６によって駆動される円板の回転に
より球頭が凹球面の内面上を回転および揺動運動するこ
とによりラップ仕上げするものである。なお２０はエア
シリンダ、１９はエアシリンダ２０により昇降自在に保
持されたベアリングハウジング、１７はベアリングハウ
ジング１９内に挿入したベアリング１８によって回転自
在に支持された被加工物受である。しかし、これらの方
法には次のような問題があった。 （１）一度に一個の凹球面しかラップ仕上げできず加工
能率が悪い。 （２）球頭ラップ棒は複雑な構造のため製作にかなりの
工数を必要とする。 （３）ラップ加工によって球頭部が摩耗するため使用回
数に限界がありコストがかかる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明者等は前記問題
点を詳細に検討し、以下の点に着眼した。すなわち、粗
成形した凹球面を有する多数の被加工品を試料台に配設
し、従来使用されてきた球頭ラップ棒を使用せずに各凹
球面に硬質ボールを押圧すると共に回転することにより
ラップ加工を行えば、多数の凹球面を一度に精度良くラ
ップ仕上げをすることができると考え、本発明をなすに
いたったものである。本発明は、多数の凹球面を同時
に、しかも形状精度、表面粗さ共良くラップ仕上げ可能
な凹球面ラッピング装置を提供することを目的とする。
点を詳細に検討し、以下の点に着眼した。すなわち、粗
成形した凹球面を有する多数の被加工品を試料台に配設
し、従来使用されてきた球頭ラップ棒を使用せずに各凹
球面に硬質ボールを押圧すると共に回転することにより
ラップ加工を行えば、多数の凹球面を一度に精度良くラ
ップ仕上げをすることができると考え、本発明をなすに
いたったものである。本発明は、多数の凹球面を同時
に、しかも形状精度、表面粗さ共良くラップ仕上げ可能
な凹球面ラッピング装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の凹球面ラッピン
グ装置は、凹球面を有する多数の被加工品を配設するた
めの試料台と、該試料台を回転させる第１の軸と、被加
工品の凹球面に対応して、該凹球面上に配設された多数
の硬質ボールと、前記第１の軸と偏心して配設された第
２の軸と、該第２の軸に軸支され、前記硬質ボールを押
圧すると共に回転し、前記硬質ボールと少なくとも接触
する部分が摩擦係数の大きな材料からなる板状体と、前
記第１および第２の軸を回転させる駆動手段と、前記硬
質ボールにラップ剤を供給する供給手段と、から構成さ
れることを特徴とする。
グ装置は、凹球面を有する多数の被加工品を配設するた
めの試料台と、該試料台を回転させる第１の軸と、被加
工品の凹球面に対応して、該凹球面上に配設された多数
の硬質ボールと、前記第１の軸と偏心して配設された第
２の軸と、該第２の軸に軸支され、前記硬質ボールを押
圧すると共に回転し、前記硬質ボールと少なくとも接触
する部分が摩擦係数の大きな材料からなる板状体と、前
記第１および第２の軸を回転させる駆動手段と、前記硬
質ボールにラップ剤を供給する供給手段と、から構成さ
れることを特徴とする。
【０００６】本発明の凹球面ラッピング装置は、例え
ば、図１のような構成からなる。本装置の構成の特徴
は、従来の球頭ラップ棒に代えて硬質ボール４を用いた
点および試料台１上に凹球面３を有する被加工品２を多
数配設し、この凹球面３上に前記硬質ボールを配置した
点にある。硬質ボールは凹球面を有する被加工品の材
質、硬さ等によって変わるが通常は被加工品よりも硬い
ものであれば、特に限定はない（形状の精度は？）。通
常は、一般のベアリングに使用されている調質高炭素ク
ロム軸受鋼ボールを用いればよい。目的によっては非鉄
製球、セラミック製球、超硬合金製球、プラスチック製
球等を使用することもできる。また、硬質ボールの精度
は対応する凹球面の精度に合わせればよい。
ば、図１のような構成からなる。本装置の構成の特徴
は、従来の球頭ラップ棒に代えて硬質ボール４を用いた
点および試料台１上に凹球面３を有する被加工品２を多
数配設し、この凹球面３上に前記硬質ボールを配置した
点にある。硬質ボールは凹球面を有する被加工品の材
質、硬さ等によって変わるが通常は被加工品よりも硬い
ものであれば、特に限定はない（形状の精度は？）。通
常は、一般のベアリングに使用されている調質高炭素ク
ロム軸受鋼ボールを用いればよい。目的によっては非鉄
製球、セラミック製球、超硬合金製球、プラスチック製
球等を使用することもできる。また、硬質ボールの精度
は対応する凹球面の精度に合わせればよい。
【０００７】前記硬質ボールは、この硬質ボールと少な
くとも接触する部分が摩擦係数の大きな材料からなる板
状体とで上部から押圧される。この硬質ボールは凹球面
上に固定されずに自由に動けるように配置されるが前記
板状体８で押圧される。摩擦係数の大きな材料は、特に
限定はなく、例えばゴム、樹脂、木材、鋳鉄等が用いら
れる。なお、硬質ボールを押圧する手段には、特に限定
はなく空気圧シリンダ、バネ、油圧シリンダ等を用いれ
ばよい。前記試料台の軸１１と板状体の軸７とは偏心し
て配設される。また、両軸はモータ等の駆動手段によっ
て駆動される。また、前記硬質ボールと凹球面の界面に
はラップ剤がラップ供給手段１２から供給される。ま
た、押圧力および試料台等の回転速度は凹球面のラップ
仕上げを必要とされる品物の材質や要求される精度によ
り適正値を決定すればよい。
くとも接触する部分が摩擦係数の大きな材料からなる板
状体とで上部から押圧される。この硬質ボールは凹球面
上に固定されずに自由に動けるように配置されるが前記
板状体８で押圧される。摩擦係数の大きな材料は、特に
限定はなく、例えばゴム、樹脂、木材、鋳鉄等が用いら
れる。なお、硬質ボールを押圧する手段には、特に限定
はなく空気圧シリンダ、バネ、油圧シリンダ等を用いれ
ばよい。前記試料台の軸１１と板状体の軸７とは偏心し
て配設される。また、両軸はモータ等の駆動手段によっ
て駆動される。また、前記硬質ボールと凹球面の界面に
はラップ剤がラップ供給手段１２から供給される。ま
た、押圧力および試料台等の回転速度は凹球面のラップ
仕上げを必要とされる品物の材質や要求される精度によ
り適正値を決定すればよい。
【０００８】
【作用】本発明の凹球面ラッピング装置の作用を図１に
もとずいて説明する。凹球面３を有する被加工品２が試
料台１上に多数配設される。この凹球面上に、その形状
に合わせて硬質ボール４を配置する。この硬質ボール表
面にはラップ供給手段１２によってラップ液が供給され
る。次に、これらの多数の硬質ボールは、この硬質ボー
ルと少なくとも接触する部分が摩擦係数の大きな材料か
らなる板状体によって上部から押圧される。次に、モー
タ等の駆動手段によって前記試料台および板状体を回転
させる。この試料台等の回転軸は偏心して配設されてい
るので硬質ボールは凹球面にラップ剤を介して押圧され
ることによって自転と揺動を繰りかえし、凹球面はラッ
ピングされる。
もとずいて説明する。凹球面３を有する被加工品２が試
料台１上に多数配設される。この凹球面上に、その形状
に合わせて硬質ボール４を配置する。この硬質ボール表
面にはラップ供給手段１２によってラップ液が供給され
る。次に、これらの多数の硬質ボールは、この硬質ボー
ルと少なくとも接触する部分が摩擦係数の大きな材料か
らなる板状体によって上部から押圧される。次に、モー
タ等の駆動手段によって前記試料台および板状体を回転
させる。この試料台等の回転軸は偏心して配設されてい
るので硬質ボールは凹球面にラップ剤を介して押圧され
ることによって自転と揺動を繰りかえし、凹球面はラッ
ピングされる。
【０００９】
【効果】本発明の凹球面ラッピング装置は、簡単な構造
で一度に多数の凹球面のラップ仕上げを可能とし、著し
く加工能率が向上した。また、ラッピング工具として安
価で精度の高い硬質ボールを利用できるようにしたため
コストを著しく低減できる。
で一度に多数の凹球面のラップ仕上げを可能とし、著し
く加工能率が向上した。また、ラッピング工具として安
価で精度の高い硬質ボールを利用できるようにしたため
コストを著しく低減できる。
【００１０】
【実施例】本実施例で用いた凹球面ラッピング装置を図
２に示す。試料台１の表面部には周方向に凹球面を有す
る被加工品２を６個配設する穴が形成されており、この
穴に前記被加工品を設置する。前記穴の底部には吸引孔
３が開孔しており、真空ポンプ（図示せず）により被加
工品２は穴に吸引され固定される。前記被加工品２の形
状は直径が１５ｍｍで、高さが５ｍｍであり、被加工品
２の表面部に形成された凹球面の形状は、曲率半径が１
０ｍｍで、凹部の深さは１．２ｍｍである。これらの凹
球面に対応した直径が２０ｍｍのベアリングボール４を
硬質ボール保持具５を介して被加工品２の凹球面上に設
置した。なお、前記ベアリングボール４と硬質ボール保
持具５は単式スラスト玉軸受等のボールとケージが一体
化したものをそのまま使用することもできる。ベアリン
グボール４の設置に際して、ベアリングボール４と被加
工品２との相対位置を一定に保つため保持具５はノック
ピン６により試料台１に固定した。試料台１は第１の軸
１１に軸支され、モータ１３により駆動回転される。
２に示す。試料台１の表面部には周方向に凹球面を有す
る被加工品２を６個配設する穴が形成されており、この
穴に前記被加工品を設置する。前記穴の底部には吸引孔
３が開孔しており、真空ポンプ（図示せず）により被加
工品２は穴に吸引され固定される。前記被加工品２の形
状は直径が１５ｍｍで、高さが５ｍｍであり、被加工品
２の表面部に形成された凹球面の形状は、曲率半径が１
０ｍｍで、凹部の深さは１．２ｍｍである。これらの凹
球面に対応した直径が２０ｍｍのベアリングボール４を
硬質ボール保持具５を介して被加工品２の凹球面上に設
置した。なお、前記ベアリングボール４と硬質ボール保
持具５は単式スラスト玉軸受等のボールとケージが一体
化したものをそのまま使用することもできる。ベアリン
グボール４の設置に際して、ベアリングボール４と被加
工品２との相対位置を一定に保つため保持具５はノック
ピン６により試料台１に固定した。試料台１は第１の軸
１１に軸支され、モータ１３により駆動回転される。
【００１１】また、大径円板８が第１の軸１１と偏心し
た第２の軸７に軸支されており、大径円板８はエアシリ
ンダ９によって１ｋｇ／ｃｍ2 の圧力でベアリングボー
ル４を押圧するとともに回転させた。大径円板８と試料
台１とは互いに反対方向に回転させた。大径円板８の下
面には厚さ５ｍｍのシリコンゴムシート１０が接着され
ており、ベアリングボール４の自転と揺動を確実にさせ
た。この過程でシリコンカーバイトの微粉を分散させた
ラップ液をノズル１２よりベアリングボール４表面部に
吹きつけた。
た第２の軸７に軸支されており、大径円板８はエアシリ
ンダ９によって１ｋｇ／ｃｍ2 の圧力でベアリングボー
ル４を押圧するとともに回転させた。大径円板８と試料
台１とは互いに反対方向に回転させた。大径円板８の下
面には厚さ５ｍｍのシリコンゴムシート１０が接着され
ており、ベアリングボール４の自転と揺動を確実にさせ
た。この過程でシリコンカーバイトの微粉を分散させた
ラップ液をノズル１２よりベアリングボール４表面部に
吹きつけた。
【００１２】本実施例の凹球面ラッピング装置を用いて
８分間のラップ仕上げを行った。第１の軸１１の回転速
度は１８．５ｒｐｍ、第２の軸７の回転速度は５０ｒｐ
ｍである。このラップ仕上げ前後の凹球面の形状を三次
元形状測定器（カールツアイス社製）により測定した結
果を図３（ａ）、（ｂ）に示した。図３から明らかなよ
うにラップ仕上げ前には表面粗度がＲZ ２０μｍであっ
たが、ラップ仕上げ後には表面粗度がＲZ ０．１μｍと
なり、本装置によれば、８分間という短時間に極めて精
度よく凹球面をラップ仕上げをすることができることが
わかる。また、６個の被加工品を一度にラップ仕上げで
きるため極めて加工能率に優れている。
８分間のラップ仕上げを行った。第１の軸１１の回転速
度は１８．５ｒｐｍ、第２の軸７の回転速度は５０ｒｐ
ｍである。このラップ仕上げ前後の凹球面の形状を三次
元形状測定器（カールツアイス社製）により測定した結
果を図３（ａ）、（ｂ）に示した。図３から明らかなよ
うにラップ仕上げ前には表面粗度がＲZ ２０μｍであっ
たが、ラップ仕上げ後には表面粗度がＲZ ０．１μｍと
なり、本装置によれば、８分間という短時間に極めて精
度よく凹球面をラップ仕上げをすることができることが
わかる。また、６個の被加工品を一度にラップ仕上げで
きるため極めて加工能率に優れている。
【図１】実施例の凹球面ラッピング装置の概略図であ
る。
る。
【図２】従来例の凹球面ラッピング装置の概略図であ
る。
る。
【図３】実施例の凹球面ラッピング装置を用いてラップ
仕上げを行った前後の凹球面の形状を示した図である。
仕上げを行った前後の凹球面の形状を示した図である。
１ 試料台 ２ 被加工品 ３ 凹球面 ４ 硬質ボール ５ 保持具 ６ ノックピン ７ 第２の軸 ８ 大径円板 ９ エアシリンダ １０ ゴムシート １１ 第１の軸
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 奥田 勝治 愛知県愛知郡長久手町大字長湫字横道41番 地の１株式会社豊田中央研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】 凹球面を有する多数の被加工品を配設す
るための試料台と、 該試料台を回転させる第１の軸と、 被加工品の凹球面に対応して、該凹球面上に配設された
多数の硬質ボールと、 前記第１の軸と偏心して配設された第２の軸と、 該第２の軸に軸支され、前記硬質ボールを押圧すると共
に回転し、前記硬質ボールと少なくとも接触する部分が
摩擦係数の大きな材料からなる板状体と、 前記第１および第２の軸を回転させる駆動手段と、 前記硬質ボールにラップ剤を供給する供給手段と、から
構成されることを特徴とする凹球面ラッピング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6619193A JPH06254762A (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | 凹球面ラッピング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6619193A JPH06254762A (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | 凹球面ラッピング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06254762A true JPH06254762A (ja) | 1994-09-13 |
Family
ID=13308714
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6619193A Pending JPH06254762A (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | 凹球面ラッピング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06254762A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003097564A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-03 | Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd | ４点接触ボールベアリング |
| CN102814729A (zh) * | 2012-09-05 | 2012-12-12 | 江苏腾旋科技股份有限公司 | 凹球面研磨机构 |
| US8525319B2 (en) | 2010-05-06 | 2013-09-03 | SK Hynix Inc. | Selecting chips within a stacked semiconductor package using through-electrodes |
| CN109333336A (zh) * | 2018-11-28 | 2019-02-15 | 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团有限公司第七七研究所） | 球铰轴承研磨装置 |
-
1993
- 1993-03-01 JP JP6619193A patent/JPH06254762A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003097564A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-03 | Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd | ４点接触ボールベアリング |
| US8525319B2 (en) | 2010-05-06 | 2013-09-03 | SK Hynix Inc. | Selecting chips within a stacked semiconductor package using through-electrodes |
| CN102814729A (zh) * | 2012-09-05 | 2012-12-12 | 江苏腾旋科技股份有限公司 | 凹球面研磨机构 |
| CN109333336A (zh) * | 2018-11-28 | 2019-02-15 | 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团有限公司第七七研究所） | 球铰轴承研磨装置 |
| CN109333336B (zh) * | 2018-11-28 | 2024-05-28 | 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团有限公司第七一七研究所） | 球铰轴承研磨装置 |
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