JP4183892B2 - 研磨工具およびこの研磨工具を用いた研磨装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、レンズ、レンズ成形型などの表面を高精度に研磨加工する研磨装置に係わり、詳しくは表面が回転軸対称曲面であるワークを研磨加工する研磨工具とこの研磨工具を用いた研磨装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、表面に曲面を有するワークを研磨加工する研磨装置は、図6に示すような研磨装置(従来技術1)が広く知られている。図6において、ワーク101は、皿102に貼付され、図示を省略したワーク軸の軸心mを中心として回転している。ワーク101の表面101aは、通常非球面などの光学機能面に仕上げられる。ワーク101の上方には、NC制御などにより変曲面を形成する軌跡を辿る研磨ヘッド106が配設されている。研磨ヘッド106の下端には、球状の研磨ツール103を回転自在に保持する回転軸104と、この回転軸104を回転および加圧する回転加圧装置105とが装備されている。研磨ツール103が、ワーク101の表面101aに微小面積で接触し、変曲面を形成する軌跡を辿りながら、研磨加工を行うものである。
【0003】
一方、「研磨工具保持装置および該研磨工具保持装置を備えた研磨ヘッド」として、特許2938593号公報(登録日平成11年6月11日)所載の技術(従来技術2)が開示されている。図7を用いてこの従来技術2の研磨工具保持装置を説明する。図7において、この研磨工具保持装置は、凸球面201を有する工具保持部202と、凹球面203を有し加工力を伝達する工具支持部204と、凸球面201と凹球面203との間に挟まれた少なくとも3個の球体205と、工具保持部202により保持される研磨工具206とを有している。工具保持部202は、工具保持部202に設けられた磁石207により、工具支持部204側に吸引されており、また、工具保持部202と工具支持部204とは、可撓性部材208により連結され、可撓性部材208により、工具保持部202と工具支持部204との間に密閉空間が形成されている。
【0004】
工具保持部202の凸球面201の中心点および工具支持部204の凹球面203の中心点は、工具保持部202に保持される研磨工具206のポリッシャ209の中心点Oに一致している。また、研磨工具206は、磁石207により工具保持部202に吸引されている。上記構成の研磨工具保持装置では、回転軸210が回転すると、板バネ211を介して工具支持部204が回転し、この工具支持部204に吸着される工具保持部202の回転により研磨工具206が回転して、研磨加工を行うものである。
【0005】
さらに、「研磨装置」として、特開平10−315110号公報所載の技術(従来技術3)が開示されている。図8を用いてこの従来技術3を説明する。図8において、回転軸307は、円筒状のカラー308を介してベアリング309、310により回転自在に上下方向に保持されている。カラー308と回転軸307とは、キー307Aによって回転方向へは一体で回転し、上下方向へはスライド可能に構成されている。この回転軸307は、プーリ311、ベルト314、プーリ313およびモータ312に連動しており、所定の回転数で回転駆動される。また、回転軸307の上方にはエアシリンダ315が配設され、その加圧軸315aに固定されたカップリング316の下面が、スラストベアリング317を介して当接し、加圧力を伝達するように構成されている。
【0006】
回転軸307の下端には、弾性を有するポリウレタンシートからなる円盤状のポリッシャ318が、その裏面中央位置に取着されており、回転軸307の回転に伴って回転する。回転軸307上のポリッシャ318の直上には、円筒状のスライド部材319が、回転軸307に沿って上下動自在に嵌装されている。スライド部材319の下部外周319aとポリッシャ318の裏面外周318aとは、弾性変形するポリッシャ変形部材である複数の板バネ320により連結されている。また、スライド部材319の上端は、スラストベアリング321を介して、上下方向に移動自在なL字状の押圧部材323の停止位置に従って押圧されるようになっている。この押圧部材323は、圧力機構としてのリニアアクチュエータ322のスライダ322bに取着され、図示しないボールネジおよびDCサーボモータ322aによって上下方向に駆動され、位置制御されている。こうした構成で、ポリッシャ318によって、ワーク304に研磨圧力を作用させるとともに、ワーク304の表面304aの凹凸形状の高低差によって、押圧部材323をリニアアクチュエータ322により位置決めして、ポリッシャ318をワーク304の表面304aに常に密着させて、研磨加工するものである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかるに、上記従来技術にはつぎのような問題点があった。すなわち、従来技術1においては、研磨ツール103がワーク101の加工面101aに微小面積で接触することが前提となるため、研磨効率が非常に悪く、多大の研磨時間を要する。また、研磨ツール103が微小面積で接触するため、カッターマーク(前工程の挽目)として見える加工面101aの微小凸部に研磨ツール103を選択的に接触させて除去する作業が困難であり、カッターマークの効率的な除去が難しいという問題があった。また、研磨ツール103の走査による新たな研磨痕が生ずるという問題も発生する。
【0008】
つぎに、従来技術2においては、研磨加工の凹凸形状に対し、工具保持部202の凸球面部201、工具支持部204の凹球面部203および球体205によって、ポリッシャ209が面接触に近い状態で姿勢保持できるが、研磨加工面の状態によっては、面接触が不完全になる場合もある。また、ポリッシャ209の接触面積が大きいため、接触部の周速において周速分布が生じてしまい、接触面積内の研磨除去量の差により、ワークの形状精度を損ねるという問題がある。
【0009】
さらに、従来技術3においては、研磨加工面であるワーク304の表面304aに対してポリッシャ318の接触状態を一定にすることが可能ではあるが、ポリッシャ318の接触面積が大きくなるとともに、従来技術2と同様に、ポリッシャ318の接触面積内の周速分布による研磨除去量の差が生じ、研磨加工による形状精度を劣化させるという問題がある。
【0010】
本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたもので、請求項1、2または3に係る発明の課題は、カッターマークの効率的な除去および被加工物の表面の形状精度が高い研磨加工が可能であり、かつポリッシャの走査による研磨痕が生じることのない研磨工具およびこの研磨工具を用いた研磨装置を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項1に係る発明は、被加工物の表面を研磨する研磨工具において、被加工物の表面に当接する回転可能な球状の第1ポリッシャと、前記第1ポリッシャの周囲に隙間をあけて配設され、前記第1ポリッシャが当接する被加工物の表面の周囲に当接する平面状の研磨作用面を有する回転可能な略筒状の第2ポリッシャと、を具備し、前記第2ポリッシャは、前記第1ポリッシャの材質よりも弾性率の低い材質で構成されている。
【0013】
請求項1に係る発明の研磨工具では、第1ポリッシャが、回転しながら被加工物の表面に当接し、第1ポリッシャの周囲に配設された第2ポリッシャが回転しながら、第1ポリッシャが当接する被加工物の表面の周囲に当接しつつ研磨加工を行う。
【0014】
また、第2ポリッシャは、第1ポリッシャの材質よりも弾性率の低い材質で構成されていることにより、被加工物の表面形状に対応して撓みつつ研磨加工を行う。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、具体的な実施の形態について説明する。
【0017】
(実施の形態1)
図1および図2は実施の形態1を示し、図1は研磨装置の斜視図、図2はポリッシャユニットおよび研磨工具の縦断面図である。図1において、研磨装置は、支持定盤1上に配設され被加工物(以下、ワークと称する)2に後述する所定の運動を行わせるための加工物駆動部3と、ワーク2の表面としての加工面2aを回転軸対称曲面に研磨するポリッシャユニット部4と、支持定盤1上に配設されポリッシャユニット部4を支持するとともにポリッシャユニット部4を上下方向(図1の矢印Z軸方向)に移動させるための移動手段としてのZ軸機構部5とを有している。
【0018】
まず、加工物駆動部3について説明する。図1において、加工物駆動部3は、ワーク2を水平方向(図1の矢印X軸方向)に往復移動させるためのX軸機構部6と、X軸機構部6上に載置されワーク2をX軸とZ軸とに直交する図1におけるo軸を中心として矢印θ方向に旋回または揺動させるためのθ軸機構部8とを有している。
【0019】
つぎに、X軸機構部6の詳細を説明する。支持定盤1上には、X軸方向に平行な2本のガイドレール9a、9bを有するX軸ベース板9が固定されている。このX軸ベース板9上には、X軸テーブル10が2本のガイドレール9a、9bに案内されて矢印X軸方向に往復移動自在に装着されている。2本のガイドレール9a、9bの間には、これと平行にボールネジ11が回転自在に軸支されている。このボールネジ11は、X軸テーブル10の下面に設けられている図示しないボールナットに螺合し、その一端がX軸ベース板9の右側面に取着されたモータ12の出力軸と接続されている。そして、ボールネジ11がモータ12の駆動により正転、逆転することにより、X軸テーブル10が矢印X軸方向に往復移動され、所定の位置で位置決めされる。
【0020】
つぎに、θ軸機構部8の詳細を説明する。L字状のL字基台13は、X軸テーブル10上に固定されており、L字状の立ち上がり側面の内側である前面8aにエンコーダを内蔵したモータ14が取付けられている。このモータ14の前面には、L字基台13よりも小さいL字状のワークスピンドル固定板15が取付けられている。ワークスピンドル固定板15上には、ワークスピンドル7が取付けられている。このワークスピンドル7には、ワーク2の回転中心軸mを中心として回転するワーク保持具17が回転可能に保持されている。そして、ワークスピンドル7の下方には、モータ18が接続されており、このモータ18によってワーク保持具17が回転される。
【0021】
また、ワークスピンドル固定板15は、モータ14によってX軸とZ軸とに直交する図1におけるo軸を中心として、所定の揺動角度の範囲でθ方向に揺動可能となっている。すなわち、ワークスピンドル固定板15が旋回したときに、ワーク2の回転中心軸mがo軸に対して常に垂直となるように構成されている。さらに、ワークスピンドル固定板15が揺動したときに、ワーク2の回転中心軸mとo軸との交点が常にワーク2の加工面2aの面頂位置2oになるように設定されている。ワーク保持具17は、図示しない開閉自在な保持チャックによって、加工面2aが上を向けたワーク2を着脱できるようになっている。
【0022】
つぎに、Z軸機構部5の詳細を説明する。Z軸機構部5は、X軸機構部6の後方で支持定盤1上に立設された支柱19の上方側面である前面19aに設けられている。支柱19の前面19aには、平行な2本のガイドレール20a、20bを有するZ軸ベース板20が固定されている。このZ軸ベース板20の前面には、Z軸テーブル21が2本のガイドレール20a、20bに案内されて矢印Z軸方向に往復移動自在に装着されている。2本のガイドレール20a、20bの間には、各ガイドレール20a、20bと平行にボールネジ22が回転自在に軸支されている。このボールネジ22は、Z軸テーブル21の後面に設けられた図示しないボールナットに螺合し、その一端がZ軸ベース板20の上面に取着されたモータ23の出力軸と接続されている。そして、ボールネジ22がモータ23の駆動により正転、逆転することにより、Z軸テーブル21が矢印Z軸方向に往復移動され、所定の位置で位置決めされる。
【0023】
つぎに、ポリッシャユニット部4の詳細を説明する。ポリッシャユニット部4は、取付け板24を介してワーク2の加工面2aの上方に位置するように、Z軸テーブル21に固定されている。図2に示すように、ポリッシャユニット部4の回転軸25は、円筒状のカラー26を介して、フレーム30に取着されたベアリング27、28に回転可能に支持されている。回転軸25には、その外周面の中央部に、回転中心軸mに対して直交する方向に突出したキー25Aが、回転軸25の長手方向(中心軸m方向)に延出して埋設されている。また、回転軸25には、その外周面の上部に回転中心軸mに対して直交する方向に突出した上フランジ部25Bが設けられ、外周面の下部に回転中心軸mに対して直交する方向に突出した下フランジ部25Cが設けられている。
【0024】
回転軸25のキー25Aは、円筒状のカラー26の内面に、回転中心軸m方向に延出して設けられた溝部に嵌合している。これにより、回転軸25は、カラー26と一体的に回転可能であるとともに、カラー26と別体で回転中心軸m方向にスライド可能となっている。カラー26の外周面の中央部および下部は、ベアリング27、28にそれぞれ回転可能に支持されている。また、回転軸25の上フランジ部25Bの直下であって、カラー26の外周面の上部には、プーリ29が取着されている。このプーリ29は、フレーム30に固定された回転手段としてのモータ31のプーリ32とベルト33により連動している。従って、モータ31からの回転駆動力は、プーリ32、ベルト33、プーリ29およびカラー26を介して回転軸25に伝達され、回転軸25が所定の回転数で回転駆動される。
【0025】
一方、回転軸25の上方には、加圧手段としてのエアシリンダ34が配設されている。このエアシリンダ34の加圧軸34aには、筐状のカップリング35が固定されており、カップリング35の下面がスラストベアリング36を介して回転軸25の上フランジ部25Bの上面に当接している。従って、エアシリンダ34からの加圧力は、カップリング35およびスラストベアリング36を介して回転軸25に伝達される。
【0026】
回転軸25の下端には、研磨工具37が取付けられている。この研磨工具37の詳細を説明する。回転軸25の下端には、回転中心軸mと偏心量δ(0.1〜1mmが望ましい)だけ偏心させた軸38aが取付けられており、この軸38aに弾性を有する材質(本実施の形態ではポリウレタンを用いる)からなる球状の第1ポリッシャ38が着脱自在に取付けられている。このように、回転軸25の回転中心軸mと第1ポリッシャ38の中心とが偏心量δだけ偏心しているため、第1ポリッシャ38の偏心運動によって微小面積での研磨作用がワーク2の加工面2aに対して生ずることになる。
【0027】
回転軸25の下フランジ部25Cの下面には、蛇腹状の可撓性部材39を介して第1保持部材としての工具保持部材40が取付けられている。この工具保持部材40は、回転軸25が回転可能に挿通できるように中空形状をなしており、その内径部40bと回転軸25との間には隙間が設けられている。工具保持部材40の下面は、凹球面形状の凹球面部40aであり、後述する第2ポリッシャ43を収納する収納部となっている。工具保持部材40の凹球面部40aには、3個以上の球体42を介して略円筒状の第2保持部材としての工具支持部材41が支持されている。工具支持部材41の上端面には、略円筒状の磁石44が固着されており、この磁石44と工具保持部材40の凹球面部40aとの間で磁力を発生させている。
【0028】
一方、工具支持部材41の下端面には、第1ポリッシャ38よりも弾性率の低い材質(本実施の形態では発泡率の高いポリウレタンを用いる)からなる略円筒状の第2ポリッシャ43が固持されている。第2ポリッシャ43の研磨作用面43aは平面状に形成されている。第2ポリッシャ43、工具支持部材41および磁石44には、それぞれ貫通孔43b、41a、44aが形成され、回転している第1ポリッシャ38と干渉しないようになっている。すなわち、第1ポリッシャ38が回転したときに、常に第2ポリッシャ43、工具支持部材41および磁石44に接触しないようになっている。なお、上述した、X軸機構部6、θ軸機構部8、Z軸機構部5、エアシリンダ34等は、図示しない制御手段としてのコントローラによってNC制御される。
【0029】
つぎに、上記構成の研磨工具および研磨装置を用いたワークの研磨方法について説明する。まず、図1に示すように、ワーク保持具17に保持されたワーク2を、X軸機構部6によって矢印X軸方向に移動させ、その加工面2aが研磨工具37と対向した時点で停止させる。つぎに、図2に示すように、研磨工具37の第1ポリッシャ38をワーク2の研磨加工開始点に接触できるように、ワーク2を図1に示すθ軸機構部8によって矢印θ方向に旋回させる。このとき、図2に示すように、回転軸25の回転中心軸mは、ワーク2の加工面2aの法線方向に向いている。つぎに、研磨工具37を、図1に示すZ軸機構部5によって矢印Z軸方向に下降させ、ワーク2の加工面2aに接近した状態で停止させる。その後、図2に示すように、研磨工具37を、エアシリンダ34によって下方に加圧し、第1ポリッシャ38と第2ポリッシャ43とをワーク2の加工面2aに所定の研磨圧力で接触させる。
【0030】
このとき、第2ポリッシャ43は、ワーク2の加工面2aに凹凸形状の高低差があっても、第1ポリッシャ38よりも弾性率の低い材質で構成されているので、研磨圧力および研磨工具の自重によって弾性変形し、ワーク2の加工面2aと容易に密着状態となる。その後、回転軸25を回転させて、第1ポリッシャ38を回転させるとともに、ワーク2を回転軸中心mを中心として回転させる。第1ポリッシャ38は、回転軸25の回転中心軸mからの偏心量δの半径を持つ回転運動によって微小面積に対して研磨が行われる。また、第2ポリッシャ43は、第1ポリッシャ38の回転力が、工具保持部材40、球体42および工具支持部材41を介して適当に伝達され、第1ポリッシャ38とワーク2との接触箇所の周囲の研磨が行われる。
【0031】
このとき、第2ポリッシャ43は、第1ポリッシャ38よりも弾性率が低い材質で構成されているので、第1ポリッシャ38の研磨量を減少させることはない。また、工具保持部材40の凹球面部40aと工具支持部材41との間に介在している3個以上の球体42によって、ワーク2の加工面2aの形状変化に伴い、第2ポリッシャ43の姿勢が追従する。このように、第1ポリッシャ38と第2ポリッシャ43をワーク2の加工面2aに当接させた後、第1ポリッシャ38、第2ポリッシャ43およびワーク2を回転させつつ、X軸機構部6、θ軸機構部8およびZ軸機構部5を同時に制御する。そして、第1ポリッシャ38に対してワーク2の加工面2aを所定の曲面形状の断面に沿って移動させ、移動速度を変化させて第1ポリッシャ38の研磨量を制御することにより、ワーク2の加工面2aを所望の形状の曲面に研磨する。
【0032】
本実施の形態によれば、研磨工具37を構成する第1ポリッシャ38と第2ポリッシャ43とをワーク2の加工面2aに作用させながら研磨する際、第1ポリッシャ38による形状創成作用と、第2ポリッシャ43の研磨作用面43aへの密着による加工面2aの平滑作用とにより、カッターマークの効果的な除去およびワーク2の加工面2aの形状精度が高い研磨加工をすることができる。また、第1ポリッシャ38により発生する研磨痕の除去が第2ポリッシャ43によって同時に行われるため、研磨痕のない研磨面を能率的に得ることができる。
【0033】
(実施の形態2)
図3は実施の形態2を示し、ポリッシャユニットおよび研磨工具の縦断面図である。本実施の形態は、ポリッシャユニットと研磨工具との連結手段が実施の形態1と異なり、他の部分は実施の形態1と同一のため、異なる部分のみ示し、同一部分の図と説明を省略する。図3においても、同一の部材には、同一の符号を付し説明を省略する。
【0034】
図3において、回転軸25の下部外周に、工具保持部材40Aを、実施の形態1の可撓性部材39に替えて、ベアリング45によって固持している。従って、工具保持部材40Aすなわち研磨工具37Aは、ポリッシャユニット4Aの回転軸25に一体化され、共に上下動自在に構成されている。その他の構成は実施の形態1と同様である。
【0035】
上記構成の研磨装置を用いた研磨方法を説明する。実施の形態1と同様に、図2に示すように、加工物2の研磨開始点において、ワーク2の加工面2aの法線方向を向くように、X軸機構部6、θ軸機構部8およびZ軸機構部5により位置決めさせる。つぎに、図3に示すように、エアーシリンダ34の加圧軸34aにより、回転軸25の下端に取着されている研磨工具37Aをワーク2の加工面2a(図2参照)に当接させて、所定の研磨圧力を作用させる。この時、工具保持部材40Aは、回転軸25にベアリング45により固持されているため、第1ポリッシャ38と同一の研磨圧力が作用する。この研磨圧力は、球体42を介して工具支持部材41に作用し、第2ポリッシャ部43の弾性体である研磨面43aとの接触部を弾性変形させ、密着させる。この時、第2ポリッシャ43の材質は、実施の形態1と同様、第1ポリッシャ38より弾性率の低い材質であるため、容易に変形する。また、第2ポリッシャ43の姿勢制御も実施の形態1と同様の作用が可能である。
【0036】
本実施の形態によれば、実施の形態1と同様の効果に加え、第2ポリッシャ43への研磨圧力を大きくすることが可能となるため、実施の形態1より効率的な研磨加工が可能となる。
【0037】
(実施の形態3)
図4および図5は実施の形態3を示し、図4はポリッシャユニットおよび研磨工具の縦断面図、図5はポリッシャユニットおよび他の研磨工具の縦断面図である。本実施の形態は、実施の形態1と研磨工具のみが異なり、他の部分は実施の形態1と同一のため、異なる部分のみ説明し、同一部分の図と説明を省略する。また、図4および図5においても、同一の部材には、同一の符号を付し説明を省略する。
【0038】
図4において、研磨工具37Bの第2ポリッシャ43Aは、実施の形態1の第2ポリッシャ43の研磨作用面43aが平面状であるのに替えて、研磨作用面43bを一定の曲率半径を有する曲面状に形成している。第2ポリッシャ43Aの他の部分の形状は実施の形態1と同一である。また、研磨工具37Bのその他の部材も、実施の形態1の研磨工具37の各部材と同一である。
【0039】
図5において、研磨工具37Cの第2ポリッシャ43Bは、実施の形態1の第2ポリッシャ43の研磨作用面43aが平面状で、かつ内外周の角は直角に形成されているのに替えて、研磨作用面43aの内外周の角に、R部43cを形成したものである。第2ポリッシャ43Bの他の部分の形状は実施の形態1と同一である。また、研磨工具37Cのその他の部材も、実施の形態1の研磨工具37の各部材と同一である。
【0040】
つぎに、上記構成の研磨工具37B、37Cを装備した研磨装置を用いた研磨方法を説明する。実施の形態1と同様に、図2に示すように、加工物2の研磨開始点において、ワーク2の加工面2aの法線方向を向くように、X軸機構部6、θ軸機構部8およびZ軸機構部5により位置決めさせる。つぎに、図4および図5に示すように、エアーシリンダ34の加圧軸34aにより、回転軸25の下端に取着されている研磨工具37B、37Cをワーク2の加工面2a(図2参照)に当接させて、所定の研磨荷重を作用させる。この時、図4に示すように、第2ポリッシャ43Aの一定の曲率半径を有する曲面状の研磨作用面43b、または、図5に示すように、第2ポリッシャ43Bの研磨作用面43aの内外周の角に設けたR部43cにより、滑らかに第2ポリッシャ43A、43Bが弾性変形して、ワーク2の加工面2aに密着する。また、第2ポリッシャ43A、43Bの姿勢保持も実施の形態1と同様の作用が可能である。
【0041】
本実施の形態によれば、実施の形態1と同様の効果に加え、第2ポリッシャの角のない研磨作用面により、研磨荷重の過大作用によるキズ等の発生を防止することができ、高品質の研磨面が得られる。
【0042】
なお、上述の具体的な実施の形態から、つぎのような構成の技術的思想が導き出される。
(付記)
(1) 被加工物の表面を研磨する研磨工具において、
被加工物の表面に当接する回転可能な球状の第1ポリッシャと、該第1ポリッシャの周囲に隙間をあけて配設され前記第1ポリッシャが当接する被加工物の表面の周囲に当接する回転可能な略筒状の第2ポリッシャとを具備することを特徴とする研磨工具。
【0043】
付記(1)によれば、第1ポリッシャが、回転しながら被加工物の表面に当接し、第1ポリッシャの周囲に配設された第2ポリッシャが、回転しながら第1ポリッシャが当接する被加工物の表面の周囲に当接しつつ研磨加工を行うようにしたので、カッターマークの効率的な除去および被加工物の表面の形状精度が高い研磨加工が可能であり、かつポリッシャの走査による研磨痕が生じることのない研磨面を得ることができる。
【0044】
(2) 前記第2ポリッシャは、前記第1ポリッシャの材質よりも弾性率の低い材質で構成されていることを特徴とする付記(1)記載の研磨工具。
【0045】
付記(2)によれば、付記(1)の効果に加え、第2ポリッシャが被加工物の表面形状に対応して撓みつつ研磨加工を行うようにしたので、被加工物の表面に容易に密着するとともに、第1ポリッシャの研磨量を減少させることはない。
【0046】
(3) 被加工物の表面を研磨する研磨装置において、
被加工物の表面に当接する回転可能な球状の第1ポリッシャおよび該第1ポリッシャの周囲に隙間をあけて配設され前記第1ポリッシャが当接する被加工物の表面の周囲に当接する回転可能な略筒状の第2ポリッシャを有する研磨工具と、前記第1ポリッシャを装着する回転軸と、該回転軸を回転させる回転手段と、前記研磨工具を被加工物の表面に向かって加圧させるように前記回転軸を軸方向に移動させる移動手段とを具備することを特徴とする研磨装置。
【0047】
付記(3)によれば、研磨手段が研磨工具を回転させ、移動手段が研磨工具を被加工物の表面に向かって加圧させるように研磨工具を回転軸方向に移動させ、第1ポリッシャが、回転しながら被加工物の表面に当接し、第1ポリッシャの周囲に配設された第2ポリッシャが、回転しながら第1ポリッシャが当接する被加工物の表面の周囲に当接しつつ研磨加工を行うようにしたので、カッターマークの効率的な除去および被加工物の表面の形状精度が高い研磨加工が可能であり、かつポリッシャの走査による研磨痕が生じることのない研磨面を得ることができる。
【0048】
(4) 前記回転軸に取り付けられ前記第1ポリッシャと第2ポリッシャとを収納する凹球面形状の収納部を有する第1保持部材と、前記第2ポリッシャを保持する略筒状の第2保持部材と、前記第2ポリッシャを第1保持部材に対して回転可能に支持するために前記第1保持部材と前記第2保持部材との間に配設された球体とをさらに具備することを特徴とする付記(3)記載の研磨装置。
【0049】
付記(4)によれば、付記(3)の効果に加え、被加工物の表面の形状変化に伴って第2ポリッシャの姿勢が追従するとともに、第1ポリッシャと第2ポリッシャとが互いに干渉することなく、円滑に作動させることができる。
【0050】
(5) 前記第2ポリッシャは、前記第1ポリッシャの材質よりも弾性率の低い弾性体で構成されていることを特徴とする付記(3)または(4)記載の研磨装置。
【0051】
付記(5)によれば、付記(3)または(4)の効果に加え、第2ポリッシャが被加工物の表面形状に対応して撓みつつ研磨加工を行うようにしたので、被加工物の表面に容易に密着するとともに、第1ポリッシャの研磨量を減少させることはない。
【0052】
(6) 前記第1ポリッシャは、前記回転軸に対して偏心させて装着されたことを特徴とする付記(3)、(4)または(5)記載の研磨装置。
【0053】
付記(6)によれば、付記(3)、(4)または(5)の効果に加え、回転軸に対して偏心している第1ポリッシャは、偏心運動により微小面積の研磨作用を被加工物の表面に与える。
【0054】
(7) 前記第1保持部材は、可撓性部材を介して前記回転軸に取付けられていることを特徴とする付記(4)、(5)または(6)記載の研磨装置。
【0055】
付記(7)によれば、付記(4)、(5)または(6)の効果に加え、第2ポリッシャの研磨荷重を支持する第1保持部材が傾斜しても、可撓性部材が傾斜を吸収し、研磨装置が円滑に作動する。
【0056】
(8) 前記第1保持部材は、ベアリングを介して前記回転軸に取付けられていることを特徴とする付記(4)、(5)または(6)記載の研磨装置。
【0057】
付記(8)によれば、付記(4)、(5)または(6)の効果に加え、第2ポリッシャへの研磨荷重を大きくすることができ、より効率的な研磨加工が可能となる。
【0058】
【発明の効果】
請求項1に係る発明によれば、第1ポリッシャが、回転しながら被加工物の表面に当接し、第1ポリッシャの周囲に配設された第2ポリッシャが、回転しながら第1ポリッシャが当接する被加工物の表面の周囲に当接しつつ研磨加工を行うようにしたので、カッターマークの効率的な除去および被加工物の表面の形状精度が高い研磨加工が可能であり、かつポリッシャの走査による研磨痕が生じることのない研磨面を得ることができる。
【0059】
また、第2ポリッシャが被加工物の表面形状に対応して撓みつつ研磨加工を行うようにしたので、被加工物の表面に容易に密着するとともに、第1ポリッシャの研磨量を減少させることはない。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施の形態1の研磨装置の斜視図である。
【図2】実施の形態1のポリッシャユニットおよび研磨工具の縦断面図である。
【図3】実施の形態2のポリッシャユニットおよび研磨工具の縦断面図である。
【図4】実施の形態3のポリッシャユニットおよび研磨工具の縦断面図である。
【図5】実施の形態3のポリッシャユニットおよび他の研磨工具の縦断面図である。
【図6】従来技術1の研磨装置の構成図である。
【図7】従来技術2の研磨工具保持装置の縦断面図である。
【図8】従来技術3のポリッシャユニットおよび研磨工具の縦断面図である。
【符号の説明】
2 ワーク
2a 加工面
37 研磨工具
38 第1ポリッシャ
43 第2ポリッシャ
Claims (1)
- 被加工物の表面を研磨する研磨工具において、
被加工物の表面に当接する回転可能な球状の第1ポリッシャと、
前記第1ポリッシャの周囲に隙間をあけて配設され、前記第1ポリッシャが当接する被加工物の表面の周囲に当接する平面状の研磨作用面を有する回転可能な略筒状の第2ポリッシャと、
を具備し、
前記第2ポリッシャは、前記第1ポリッシャの材質よりも弾性率の低い材質で構成されていることを特徴とする研磨工具。
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