JPS63217290A - 微動テ−ブル装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えば半導体製造装置のレチクルを載置し
て、このレチクルを高速位置決めする微動テーブル装置
に関する。

〔従来の技術〕

従来の微動テーブル装置としては、例えば実開昭５２−
１４７８９８号公報（第１従来例）に記載されているも
のがある。

この第１従来例は、ベースと、このベース上に滑動自在
に設けられた被制御体と、この被制御体をその動力方向
に対して直角方向に弾性変位自在に支持した複数の板ば
ねと、上記被制御体の弾性変位方向にこの被制御体と対
向して配設された電磁石とからなり、この電磁石に生じ
る吸引力で上記被制御体を弾性変位させるようにした構
成を有する。

また、他の従来例として本出願人が先に提案した実開昭
５８−１０５６０４号公報（第２従来例）に記載されて
いるものがある。

この第２従来例は、微動台がその一方の対向側面の両端
に板ばねを介してブロックが微動台とブロックが相対的
に前記一方の対向方向に弾性変位できるように連結され
、このブロックが前記板ばねと直交する方向に延長する
板ばねを介して前記一方の対向方向に直交する方向に弾
性変位できるように粗動テーブル上に固着された支持ブ
ラケットに連結された構成を有し、微動台の一方の対向
側面を電磁石等で吸引することにより、微動台を例えば
Ｙ方向に、ブロックを電磁石等で吸引することにより、
微動台を例えばＸ方向にそれぞれ微動可能に構成されて
いる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上記第１従来例にあっては、被制御体に
一端が固定された仮ばねの他端がベースに形成されたス
リット内に緩挿されているので、被制御体の電磁石の吸
引によるＸ方向変位に対して仮ばねが撓むと共に、その
撓みによるＸ方向と直角方向となるＹ方向変位量分だけ
スリット内でずれることにより、Ｙ方向変位量を吸収す
るようにしているが、このようにスリット内で仮ばねの
ずれを許容するためには、スリットの幅を板ばねの幅よ
り多少広めに選定する必要があり、特に被制御体が無負
荷状態であるときに、Ｙ方向の駆動力が伝達されると、
被制御体がＹ方向にずれるおそれがあると共に、電磁石
によってＸ方向に吸引した場合でも、板ばねとスリット
との摩擦力に差があるときには、被制御体を正確にＸ軸
方向へ平行移動させることができず、このため座標原点
や移動量を正確に維持することができないという問題点
があった。

また、第２従来例にあっては、微動テーブルをＹ方向に
微動させる場合には、そのＹ方向微動による仮ばねの変
位量によってブロックが内方に移動し、このブロックの
内方への移動をこれと支持ブラケット間の板ばねによっ
て許容することが可能であるが、微動テーブルをＸ方向
に移動させる場合には、そのＸ方向の変位量に応じてブ
ロックと支持ブラケット間の板ばねが変位するが、その
変位に対して直交する方向の変位量を吸収することがで
きず、従って専ら板ばねの長手方向の伸びに顛らざるを
得す、大きな駆動力を必要とするという解決の問題点が
あった。

そこで、この発明は、上記従来例の問題点に着目してな
されたものであり、微動台とこれを支持する支持部材と
の間に、弾性変位部材とこの弾性変位部材の変位により
その変位方向と直交する方向の変位を吸収する弾性変位
吸収部材とを交互に連結した弾性連結部材を設けること
により、微動台のＸ及びＹ方向の変位量を大きくするこ
とができると共に、その駆動力を減少させることが可能
な微動テーブル装置を提供することを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、この発明は、基台上に弾性
的に支持されて互いに直交するＸＹ方向に微動可能な微
動載置台を有する微動テーブル装置において、前記基台
上に固着された支持部材に弾性連結部材を介して前記微
動載置台が連結され、前記弾性結合部材は、前記微動載
置台と支持部材との相対変位量に応じて変位する弾性変
位部と、該弾性変位部の変位によるその変位方向と直交
する方向の変位量を吸収する弾性変位吸収部とが交互に
連結された構成を有することを特徴としている。

〔作用〕

この発明においては、微動載置台とこれを支持する支持
部材との間が、微動載置台と支持部材との相対変位量に
応じて変位する弾性変位部と、該弾性変位部の変位によ
るその変位方向と直交する方向の変位量を吸収する弾性
変位吸収部とが交互に連結された弾性結合部材によって
連結されているので、微動載置テーブルが例えばＸ方向
に移動する場合に、その移動に伴って弾性変位部が弾性
変位し、この弾性変位によって弾性変位部の弾性変位方
向と直交する方向に移動する分を弾性変位吸収部によっ
て吸収することにより、弾性結合部材に無理な力が作用
することを防止し、微動載置台の移動量を大きくすると
共に、その駆動力を大幅に減少させる。

〔実施例〕 以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図〜第５図はレチクルステージに適用した場合にお
けるこの発明の第１実施例を示す図である。

図中、１はレチクルステージを構成する基台であって、
第４図及び第５図に示すように、中心部に透孔１ａが穿
設され、図示しないが上部に配設された光源からの照射
光が後述するレチクルＲを透過して下部に載置されたマ
スク上に照射され、これによつてレチクルＲに形成され
たパターンをマスクに焼付けることができる。

第１図において、基台１上には、支持部材としての４つ
の支持ブラケット２ａ〜２ｄがねじ等の固着手段によっ
て固着され、これら支持プラテン１−２２，２ｂの左側
にそれぞれＸ方向に延長する板ばね３ａ、３ｂを介して
連結部材４Ｌが、支持ブラケット２Ｃ，２ｄの右側にそ
れぞれＸ方向に延長する板ばね３ｃ、３ｄを介して連結
部材４Ｒがそれぞれ接続されている。

そして、連結部材４Ｌには、その右側に、板ばね３ａ、
３ｂの内側に螺着されたＸ方向に延長する板ばね５ａ、
５ｂを介して連結部材６Ｌが連結部材４Ｌと平行に連結
され、連結部材４Ｒにも同様に、その左側に板ばね３ｃ
、３ｄの内側に螺着されたＸ方向に延長する板ばね５ｃ
、５ｄを介して連結部材６Ｒが連結部材４Ｒと平行に連
結されている。

連結部材６Ｌには、その右側面の前後端部にそれぞれ螺
着された前後方向に延長する板ばね７　”　＋７ｂを介
して連結部材８Ｆ、８Ｒの一端が、連結部材６Ｒには、
その左側面の前後端部にそれぞれ螺着されたＹ方向に延
長する板ばね７ｃ、７ｄを介して前記連結部材８Ｆ、８
Ｒの他端がそれぞれ連結されている。

連結部材８Ｆには、その板ばね７ａ、７ｃの内側に螺着
されたＹ方向に延長する板ばね９ａ、９Ｃを介して、連
結部材８Ｒには、その板ばね７ｂ。

７ｄの内方に螺着された前後方向に延長する板ばね９ｂ
、９ｄを介して微動載置台１０が連結されている。ここ
で、各板ばね３ａ〜３ｄ、５ａ〜５ｄ、７ａ　〜７ｄ及
び９ａ〜９ｄと連結部材４Ｌ。

４Ｒ１６Ｌ、６Ｒ及び８Ｆ、８Ｒとで弾性連結部材が構
成されている。

この微動載置台１０は、平面からみて中心部に透孔１０
ａを有して略正方形に形成され、その上面の透孔１０ａ
の周囲に真空源（図示せず）に連結されて被載置物例え
ばレチクルＲを吸着保持する真空パッド１０ｂが形成さ
れており、且つ右側部に第４図に示す如くＸ方向に移動
可能なＸ方向移動テーブル１１に形成された突条１１ａ
が接続され、このＸ方向移動テーブル１１がＹ方向に移
動可能なＹ方向移動テーブル１２に形成された左右方向
に延長する凹部１２ａ内に摺動可能に配設されている。

このＸ方向移動テーブル１１は、その右端部がＸ方向駆
動機構１３に連結され、Ｙ方向移動テーブル１２はその
後端がＹ方向駆動機構１４に連結されている。

Ｘ方向駆動機構１２は、連結部材４Ｒの右側にＹ軸に対
して反時計方向に僅かに傾斜する軸線り。

に沿ってガイドローラ２１によって往復動自在に案内さ
れ且つボールナツト２２を固着した中空の杆体２３と、
そのボールナツト２２に螺合するボールねじ２４を回転
駆動する直流サーボモータ２５とを備えている。杆体２
３には、その左側面中央部にＹ方向に延長する長孔２３
ａを有する案内体２３ｂが一体に取付けられ、その長孔
２３ａ内に、Ｘ方向移動テーブル１１の自由端に支承さ
れた係合ローラ２３ｃが係合され、このＸ方向移動テー
ブル１１の係合ローラ２３ｃと案内体２３ｂの側板を挾
んで対向する位置に案内ローラ２３ｄが支承されている
。

Ｙ方向駆動機構１４は、連結部材８Ｒの後方側にＹ軸に
対して時計方向に僅かに傾斜する軸線Ｌ２に沿ってガイ
ドローラ２１によって往復動自在に案内され且つボール
ナフト２２を固着した杆体２３が配設され、その案内体
２３ｂの長孔２３ａ内にＹ方向移動テーブル１２に支承
された係合ローラ２６が係合され、このＹ方向移動テー
ブルエ２の係合ローラ２６と案内体２３ｂの側板を挟ん
で対向する位置に案内ローラ２７が支承されていること
を除いては前記Ｘ方向駆動機構１３と同様の構成を有し
、対応部分には同一符号を付し、その詳細説明はこれを
省略する。

また、Ｙ方向移動テーブル１２の前端部には、発磁体３
０が固着され、この発磁体３０が基台１上に固設された
検出ヘッド３１に対向され、さらに、微動載置台１０の
左側部下面に固着されＹ方向移動テーブル１２の上面に
沿って左方に延長する支持板３２の自由端に発磁体３３
が固着され、この発磁体３３がＹ方向移動テーブル１４
の左端に固設された検出ヘッド３４に対向され、これら
検出ヘッド３１及び３４によって微動載置台１０のＸ方
向及びＹ方向の原点位置が検出され、これら検出値がＸ
及びＹ方向駆動機構１３．１４の直流サーボモータ２５
を駆動制御する制御装置（図示せず）に原点位置検出値
としてフィードバックされる。

次に、上記実施例の動作を説明する。今、Ｘ方向駆動機
構１３及びＹ方向駆動機構１４の杆体２３が中立位置即
ち第１図図示の位置にあるものとする。この状態では、
支持ブラケット２２〜２ｄと連結部材４Ｌ、４Ｒとの間
に介挿された板ばね３ａ〜３ｄ、連結部材４Ｌ、４Ｒと
連結部材６Ｌ。

６Ｒとの間に介挿された板ばね５ａ〜５ｄ、連結部材６
Ｌ、６Ｒと連結部材８Ｆ、８Ｒとの間に介挿された板ば
ね７ａ〜７ｄ及び連結部材８Ｆ、８Ｒと微動載置台１０
との間に介挿された板ばね９ａ〜９ｄには何ら水平方向
の力が作用しておらず、また各連結部材４Ｌ、４Ｒ；６
Ｌ、６Ｒ及び８Ｆ。

８ＲがＹ方向移動テーブル１２上に摺接しているので、
垂直方向の力も殆ど作用しておらず弾性変形を生じない
状態にある。

この中立状態から、例えばＸ方向駆動機構１３の直流サ
ーボモータ２５を例えば正転（又は逆転）駆動して、杆
体２３を後方（又は前方）に摺動させると、この杆体２
３の後方（又は前方）の摺動に応じて、案内体２３ｂの
長孔２３ａが後方（又は後方）に移動しながら右方（又
は左方）に移動することになり、この長孔２３ａ内に係
合している係合ローラ２３ｃが右方（又は左方）に移動
するので、Ｘ方向移動テーブル１１が右方（又は左方）
に摺動して、これに連結されている微動載置台１０がＸ
方向に移動を開始する。

このように、微動載置台１０が右（又は左）方向に移動
を開始すると、Ｘ方向に延長する板ばね３ａ〜３ｄ及び
５ａ〜５ｄについてはその延長方向と直交する方向の弾
性変位を生じることはなく、Ｙ方向に延長する板ばね９
ａ〜９ｄについては、微動載置台１０がΔＸだけ右方（
又は左方）に移動すると、微動載置台１０側を基準とし
て先端側が相対的に左方（又は右方）に弾性変位し、こ
れに応じて連結部材８Ｆ、８ＲもΔＸ／２だけ右方（又
は左方）に移動する。一方、連結部材６Ｌ。

６Ｒは原位置を保持しているので、板ばね７ａ〜７ｄの
先端が連結部材６Ｌ、６Ｒ側を基準として先端側が右方
（又は左方）に弾性変位する。したがって、連結部材８
Ｆ、８Ｒは、板ばね９ａ〜９ｄの弾性変位によって微動
載置台ＩＯ側に引き寄せられることになり、この場合の
移動量を、他方の板ばね７ａ〜７ｄが前記移動量を吸収
する方向に弾性変位し吸収することができ、両板ばね７
ａ〜７ｄ及び９ａ〜９ｄには大きな引張り力が作用する
ことはなく、微動載置台１０の右方（又は左方）への移
動を軽く行うことができると共に、微動載置台１０のＸ
方向移動量を２組の板ばね９ａ〜９ｄ及び７ａ〜７ｄに
分割した弾性変位量とすることができる。ここで、板ば
ね９ａ〜９ｄが弾性変位部に、板ばね７ａ〜７ｄが弾性
変位吸収部にそれぞれ対応している。

同様に、微動載置台１０が中立位置にある状態から、Ｙ
方向駆動機構１４の直流サーボモータ２５を例えば正転
（又は逆転）させて、杆体２３を左方（又は右方）に摺
動させたときには、Ｙ方向移動テーブル１２がＸ方向移
動テーブル１１を載置した状態で後方（又は前方）に移
動するので、微動Ｓ！載置台０が後方（又は前方）にＹ
軸に沿って移動を開始する。

このように微動載置台１０が後方（又は前方）にＹ軸に
沿って移動を開始すると、Ｙ軸方向に延長する板ばね７
ａ〜７ｄ及び９ａ〜９ｄについてはその長手方向と直交
する方向の弾性変位は生ぜず、このため連結部材８Ｆ、
８Ｒ及び６Ｌ、６Ｒが微動載置台１０と同じ移動量ΔＹ
だけ後方に移動じ、Ｘ軸方向に延長する板ばね５ａ〜５
ｄが、連結部材６Ｌ、６Ｒの後方（又は前方）への移動
によって、連結部材６Ｌ、６Ｒ側を基準として先端側が
相対的に前方（又は後方）側に弾性変位し、これに伴っ
て連結部材４Ｌ、４Ｒが後方（又は前方）にΔＹ／２だ
け移動し、これに応じて板ばね３ａ〜３ｄが支持ブラケ
ッｌ−２ａ〜２ｄ側を基準として後方（又は前方）に弾
性変位する。したがって、板ばね５ａ〜５ｄの前方（又
は後方）への弾性変位による連結部材４Ｌ、４Ｒの内側
への移’Ｉ）ＪＭを板ばね３ａ〜３ｄの弾性変位によっ
て吸収することができ、連結部材４Ｌ、４Ｒが円滑に内
方に移動し、Ｙ方向移動テーブル１４の移動を小さい駆
動力で円滑に行うことができると共に、微動ｆ２装置１
０の移動量ΔＹを板ばね３ａ〜３ｄと板ばね５ａ〜５ｄ
とに分割した弾性変位量とすることができるので、微動
載置台１０の移動量をＸ方向移動量ΔＸと同様に大きく
採ることができる。

ここで、仮ばね５ａ〜５ｄが弾性変位部に、板ばね３ａ
〜３ｄが弾性変位吸収部にそれぞれ対応している。

さらに、Ｘ軸駆動機構１３及びＹ軸駆動機構１４の直流
サーボモータ２５を同時に駆動して同時２軸制御を行う
場合には、両者の直流サーボモータ２５の回転に応じて
Ｘ方向移動テーブル１１及びＹ方向移動テーブル１２が
移動して微動載置台１０を所定位置に速やかに移動させ
ることができる。

また、微動載置台１０を中立位置即ち制御原点に復帰さ
せるには、それぞれ直流サーボモータ２５を逆回転させ
て、杆体２３を第１図図示の状態に復帰させることによ
り行うことができ、この際に弾性変位している板ばねが
その弾力によって原位置に復帰するので、制御原点がド
リフトすることな（、正確に原点復帰を行うことができ
る。

なお、微動載置台１０をＸ方向及びＹ方向に移動させる
と、その移動量に応じて発磁体３０，３３が移動し、そ
の移動量が検出ヘッド３１．３４で検出され、これらの
原点位置検出値を直流サーボモータ２５の制御装置（図
示せず）にフィードバンク信号として入力することによ
り、正確な原点位置決め制御を行うことができる。

次に、この発明の第２実施例を第６図について説明する
。

この第２実施例は、支持ブラケット２ａ〜２ｄに代えて
枠状の支持部材２とし、これと板ばね、連結部材及び微
動載置台とを一体形成するようにしたものである。

すなわち、第６図に示すように、所定の平面度に仕上げ
た例えばマルテンサイト系ステンレス類の方形板材を、
ワイヤカット放電加工機で放電加工することにより、板
ばね３ａ〜３ｄ、５ａ〜５ｄ、？ａ〜７ｄ及び９ａ〜９
ｄと、連結部材４Ｌ。

４Ｒ１６Ｌ、６Ｒ及び８Ｆ、８Ｒと、微動載置台１０を
一体に形成する。

この第２実施例によると、支持部材、板ばね、連結部材
及び微動載置台の構成自体は前記第１実施例と同様の構
成を有するので、第１実施例と同様の作用効果を得るこ
とができるものであるが、これに加えて支持部材、仮ば
ね、連結部材及び微動載置台が一体形成されているので
、これらをビス等で螺着する組立工程を省略することが
できると共に、微動載置台１０の平面度、平行度等の静
的精度を無調整で十分確保することができる利点がある
。

次に、この発明の第３実施例を第７図について説明する
。

この第３実施例は、平行な板ばねに代えて互いに直交す
る方向の仮ばねを交互に連結することにより、前記第１
実施例と同様の作用効果を得るようにしたものである。

すなわち、第７図に示すように、基台１上に固定配置さ
れた枠状の支持部材２にＹ方向に延長する板ばね４１ａ
〜４１ｄを介してＹ方向に延長する連結部材４２Ｌ、４
２Ｒを連結し、これら連結部材４２Ｌ、４２ＲにＸ方向
に延長する板ばね４３ａ〜４３ｄを介してＸ方向に延長
する連結部材４４Ｆ、４４Ｒを連結し、これら連結部材
４４Ｆ。

４４ＲにＹ方向に延長する板ばね４５ａ〜４５ｄを介し
てＹ方向に延長する連結部材４６Ｌ、４６Ｒを連結し、
これら連結部材４６Ｌ、４６ＲにＸ方向に延長する板ば
ね４７ａ〜４７ｄを介してＸ方向に延長する連結部材４
８Ｆ、４８Ｒを連結し、これら連結部材４８Ｆ、４８Ｒ
にＸ方向に延長する板ばね４９ａ〜４９ｄを介して微動
載置台５０が連結され、この微動載置台゛５０が第１実
施例と同様のＸ方向移動テーブル１１及びＹ方向移動テ
ーブル１２を介してＸ方向駆動機構１３及びＹ方向駆動
機構１４によってＸＹ方向に駆動される。

この第３実施例によると、微動載置台５０をＸ方向の左
方（又は右方）に移動させると、その中立状態からの移
動量が少ない間は、板ばね４９ａ〜４９ｄがＹ方向に延
長しているので、これら板ばね４９ａ〜４９ｄが微動載
置台５０を基準としてその先端側が右方（又は左方）に
弾性変位し、この弾性変位によって連結部材４８Ｆ、４
８Ｒが内方に僅かに引き寄せられ、これら連結部材４８
Ｆ、４８Ｈの移動が弾性変位吸収部材となる板ばね４７
ａ　〜４７ｄが連結部材４６Ｌ、４６Ｒを基準としてそ
の先端側が内方に弾性変位することによって許容される
。また、微動載置台５０の移動量が大きくなって、板ば
ね４９ａ〜４９ｄの弾性変位のみでは吸収し得ない状態
となると、未吸収の移動量が板ばね４７ａ〜４７ｄを介
して連結部材４６Ｌ、４６Ｒが左方（又は右方）に移動
し、この移動量が板ばね４５ａ〜４５ｄの弾性変位によ
って許容され、これら板ばね４５ａ〜４５ｄの弾性変位
による連結部材４４Ｆ、４４Ｒの内方への移動が板ばね
４３ａ〜４３ｄの弾性変位によって許容される。

したがって、微動載置台５０のＸ方向の移動による板ば
ね４９ａ〜４９ｄの弾性変位による連結部材の僅かな移
動を次段の板ばねで吸収するようにしているので、小さ
な駆動力で板ばね４９ａ〜４９ｄ自体の弾性変位量を大
きく採ることができると共に、板ばね４５ａ〜４５ｄも
微動載置台５０のＸ方向の移動に応じて弾性変位するの
で、微動載置台５０の移動量をより大きく採ることがで
き、精密な位置決めを行う場合の位置決め回数を減少さ
せて露光装置等の作業効率を大幅に向上させることかで
き、前記第１実施例と同様の作用効果を得ることができ
る。

また、微動載置台５０をＹ方向に移動させた場合には、
板ばね４９ａ〜４９ｄが弾性変位せず、板ばね４７ａ〜
４７ｄ及び４３ａ〜４３ｄが弾性変位し、その弾性変位
に伴う連結部材４６Ｌ、４６Ｒ及び４２Ｌ、４２Ｒの移
動を板ばね４５ａ〜４５ｄ及び４１ａ〜４１ｄで吸収す
ることができる。

さらに、この第２実施例においては、連結部材を８本設
けた場合について説明したが、微動載置台５０の移動量
及び板ばねの弾性係数の設定値に応じて最外周の連結部
材４２Ｌ、４２Ｒを省略したり、第８図に示すように連
結部材４２Ｆ、４２Ｒの外側にさらに板ばね５１ａ〜５
１ｄを介して連結部材５２Ｆ、５２Ｒを連結し、これら
連結部材５２Ｆ、５２Ｒに板ばね５３ａ〜５３ｄを介し
て連結部材５４Ｌ、５４Ｒを増設することができること
は言うまでもない。

なお、上記各実施例においては、Ｘ方向駆動機構１３及
びＹ方向駆動機構１４として、ボールねし、ポールナツ
ト及び直流サーボモータを適用した場合について説明し
たが、これに限定されるものではなく、電磁石、流体圧
シリンダ等の他の駆動機構を適用し得ることは勿論であ
る。

また、第１図、第６図、第７図、第８図において、微動
載置台１０（又は５０）をＸ及びＹ方向に移動させた実
施例を説明したが、微動載置台１０（又は５０）を基台
１に固定して支持部材とし、支持部材２又は支持プラテ
ン１−２ａ〜２ｄを微動載置台としてＸ及びＹ方向に移
動させるようにしても上記実施例と同様の作用効果を得
ることができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明によれば、微動載置台の
移動量に応じて弾性変位する弾性変形部材とこの弾性変
形部材の弾性変位によって生じる連結部材の移動を許容
する弾性変位吸収部材とが交互に連結された構成を有す
るので、弾性変位部材には弾性変位を妨げる無理な引張
り力が作用することがなく、弾性変位部材自体の弾性変
位量を大きくすることができると共に、小さい駆動力で
大きな移動量を確保することができ、微小距離毎に位置
決めを行う場合の微動テーブルの移動回数を減少させて
、位置決め効率を向上させることができ、しかも制御原
点がドリフトすることを確実に防止することができる等
の効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の第１実施例を示す平面図、第２図及
び第３図はそれぞれ第１図の正面図及び左側面図、第４
図及び第５図はそれぞれ第１図のＩＶ−４’線及びＶ−
Ｖ線断面図、第６図はこの発明の第２実施例を示す平面
図、第７図はこの発明の第３実施例を示す平面図、第８
図は第３実施例の変形例を示す平面図である。 図中、１は基台、２は支持部材、２ａ〜２ｄは支持ブラ
ケット、３　ａ　〜３　ｄ、　５　ａ　〜５　ｄ、７ａ
〜７ｄ及び９ａ〜９ｄは板ばね、４Ｌ、４Ｒ，６Ｌ、６
Ｒ及び８Ｆ、８Ｒは連結部材、１０は微動載置台、１１
はＸ方向移動テーブル、１２はＹ方向移動テーブル、１
３はＸ方向駆動機構、１４はＹ方向駆動機構、２２はボ
ールナツト、２３は杆体、２４はボールねし、２５は直
流サーボモータ、４１ａ　〜４１ｄ、４３ａ　〜４３ｄ
、４５ａ〜４５ｄ、４７ａ　〜４７ｄ及び４９ａ〜４９
ｄは板ばね、４２Ｌ、４２Ｒ，４４Ｆ、４４Ｒ，４６Ｌ
、４６Ｒ及び４８Ｆ、４８Ｒは連結部材、５０は微動載
置台、５１ａ〜５１ｄ、５３ａ〜５３ｄは板ばね、５２
Ｆ、５２Ｒ１５４Ｌ、５４Ｒは連結部材である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基台上に弾性的に支持されて互いに直交するＸＹ方向に
   微動可能な微動載置台を有する微動テーブル装置におい
   て、前記基台上に固着された支持部材に弾性連結部材を
   介して前記微動載置台が連結され、前記弾性結合部材は
   、前記微動載置台と支持部材との相対変位量に応じて変
   位する弾性変位部と、該弾性変位部の変位によるその変
   位方向と直交する方向の変位量を吸収する弾性変位吸収
   部とが交互に連結された構成を有することを特徴とする
   微動テーブル装置。