JPH11133100A - 半導体デバイス試験装置および方法 - Google Patents
半導体デバイス試験装置および方法Info
- Publication number
- JPH11133100A JPH11133100A JP9294616A JP29461697A JPH11133100A JP H11133100 A JPH11133100 A JP H11133100A JP 9294616 A JP9294616 A JP 9294616A JP 29461697 A JP29461697 A JP 29461697A JP H11133100 A JPH11133100 A JP H11133100A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power supply
- semiconductor device
- voltage
- supply line
- electrolytic capacitor
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- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 構成を簡易にすることができる半導体デバイ
ス試験装置および方法を得ること。 【解決手段】 本発明は、入力端子１ａを有する被測定
デバイス１と、電源ライン３を介して被測定デバイス１
の入力端子１ａへ直流電圧を供給する電源回路２と、電
源ライン３とＧＮＤ（接地）との間に介挿された高周波
用コンデンサ４と、低周波用電解コンデンサ５を介して
電源ライン３へＧＮＤレベルの電源電圧を供給する電源
回路７とを有している。
ス試験装置および方法を得ること。 【解決手段】 本発明は、入力端子１ａを有する被測定
デバイス１と、電源ライン３を介して被測定デバイス１
の入力端子１ａへ直流電圧を供給する電源回路２と、電
源ライン３とＧＮＤ（接地）との間に介挿された高周波
用コンデンサ４と、低周波用電解コンデンサ５を介して
電源ライン３へＧＮＤレベルの電源電圧を供給する電源
回路７とを有している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体デバイスの
試験に用いられる半導体デバイス試験装置および方法に
関する。
試験に用いられる半導体デバイス試験装置および方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は、従来の半導体デバイス試験装置
の構成を示す回路図である。この図において、１は、半
導体デバイス等の被測定デバイスであり、入力端子１ａ
を有している。２は、電源ライン３を介して被測定デバ
イス１の入力端子１ａへ直流電圧を供給する電源回路で
ある。４は、電源ライン３とＧＮＤ（接地）との間に介
挿された高周波用コンデンサであり、電源ライン３にお
ける高周波ノイズを除去する。５は、スイッチ６を介し
て電源ライン３とＧＮＤとの間に介挿された低周波用電
解コンデンサであり、電源ライン３における電圧変動を
抑制する。
の構成を示す回路図である。この図において、１は、半
導体デバイス等の被測定デバイスであり、入力端子１ａ
を有している。２は、電源ライン３を介して被測定デバ
イス１の入力端子１ａへ直流電圧を供給する電源回路で
ある。４は、電源ライン３とＧＮＤ（接地）との間に介
挿された高周波用コンデンサであり、電源ライン３にお
ける高周波ノイズを除去する。５は、スイッチ６を介し
て電源ライン３とＧＮＤとの間に介挿された低周波用電
解コンデンサであり、電源ライン３における電圧変動を
抑制する。
【０００３】次に、上述した従来の半導体デバイス試験
装置を用いた試験手順を図４に示すフローチャートを参
照して説明する。まず、被測定デバイス１の電源電流を
測定する場合、図４に示すステップＳＡ１では、スイッ
チ６がオフとされた後、ステップＳＡ２では、電源回路
２の電源電圧（直流電圧）が設定される。ここで、スイ
ッチ６をオフにする理由は、低周波用電解コンデンサ５
を電源ライン３に接続するとリーク電流が流れるため、
このリーク電流が測定精度に影響を与えることを防止す
るためである。
装置を用いた試験手順を図４に示すフローチャートを参
照して説明する。まず、被測定デバイス１の電源電流を
測定する場合、図４に示すステップＳＡ１では、スイッ
チ６がオフとされた後、ステップＳＡ２では、電源回路
２の電源電圧（直流電圧）が設定される。ここで、スイ
ッチ６をオフにする理由は、低周波用電解コンデンサ５
を電源ライン３に接続するとリーク電流が流れるため、
このリーク電流が測定精度に影響を与えることを防止す
るためである。
【０００４】次に、ステップＳＡ３において、電源回路
２から電源ライン３に直流電圧が印加されると、電源回
路２からは、電源ライン３を介して電源電流（負荷電
流）が被測定デバイス１の入力端子１ａへ出力される。
このとき、電源回路２においては、上記電源電流（負荷
電流）の測定が行われる。
２から電源ライン３に直流電圧が印加されると、電源回
路２からは、電源ライン３を介して電源電流（負荷電
流）が被測定デバイス１の入力端子１ａへ出力される。
このとき、電源回路２においては、上記電源電流（負荷
電流）の測定が行われる。
【０００５】一方、被測定デバイス１に対して交流試験
を行う場合には、スイッチ６がオンとされる。これによ
り、電源ライン３には、高周波用コンデンサ４および低
周波用電解コンデンサ５が共に接続される。この状態に
おいて、交流試験が行われると、高周波成分が高周波用
コンデンサ４により除去されるとともに、低周波用電解
コンデンサ５により電源電圧のレベル変動が抑制され
る。
を行う場合には、スイッチ６がオンとされる。これによ
り、電源ライン３には、高周波用コンデンサ４および低
周波用電解コンデンサ５が共に接続される。この状態に
おいて、交流試験が行われると、高周波成分が高周波用
コンデンサ４により除去されるとともに、低周波用電解
コンデンサ５により電源電圧のレベル変動が抑制され
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の半導
体デバイス試験装置においては、スイッチ６と、該スイ
ッチ６を駆動するための電源、駆動回路とが別途必要と
なるため、回路規模が大きくなり、ひいては構成が複雑
となるという欠点があった。本発明はこのような背景の
下になされたもので、構成を簡易にすることができる半
導体デバイス試験装置および方法を提供することを目的
とする。
体デバイス試験装置においては、スイッチ６と、該スイ
ッチ６を駆動するための電源、駆動回路とが別途必要と
なるため、回路規模が大きくなり、ひいては構成が複雑
となるという欠点があった。本発明はこのような背景の
下になされたもので、構成を簡易にすることができる半
導体デバイス試験装置および方法を提供することを目的
とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、半導体デバイスへ電源ラインを介して直流電圧を印
加する第１の電源と、前記第１の電源から出力される電
源電流を測定する第１の測定手段と、接地レベルの直流
電圧を出力する第２の電源と、前記電源ラインと前記第
２の電源との間に介挿され、前記電源ラインの電圧変動
を抑制する低周波用電解コンデンサと、前記低周波用電
解コンデンサを流れるリーク電流を測定する第２の測定
手段と、前記第１の測定手段の測定結果と前記第２の測
定手段の測定結果との差を、前記半導体デバイスへ入力
される実電源電流として求める演算手段とを具備するこ
とを特徴とする。また、請求項２に記載の発明は、半導
体デバイスへ電源ラインを介して直流電圧を印加する第
１の過程と、前記第１の電源から出力される電源電流を
測定する第２の過程と、前記電源ラインと前記第２の電
源との間に介挿され、前記電源ラインの電圧変動を抑制
する低周波用電解コンデンサに、接地レベルの直流電圧
を印加する第３の過程と、前記低周波用電解コンデンサ
を流れるリーク電流を測定する第４の過程と、前記第１
の測定手段の測定結果と前記第２の測定手段の測定結果
との差を、前記半導体デバイスへ入力される実電源電流
として求める第５の過程とからなることを特徴とする。
は、半導体デバイスへ電源ラインを介して直流電圧を印
加する第１の電源と、前記第１の電源から出力される電
源電流を測定する第１の測定手段と、接地レベルの直流
電圧を出力する第２の電源と、前記電源ラインと前記第
２の電源との間に介挿され、前記電源ラインの電圧変動
を抑制する低周波用電解コンデンサと、前記低周波用電
解コンデンサを流れるリーク電流を測定する第２の測定
手段と、前記第１の測定手段の測定結果と前記第２の測
定手段の測定結果との差を、前記半導体デバイスへ入力
される実電源電流として求める演算手段とを具備するこ
とを特徴とする。また、請求項２に記載の発明は、半導
体デバイスへ電源ラインを介して直流電圧を印加する第
１の過程と、前記第１の電源から出力される電源電流を
測定する第２の過程と、前記電源ラインと前記第２の電
源との間に介挿され、前記電源ラインの電圧変動を抑制
する低周波用電解コンデンサに、接地レベルの直流電圧
を印加する第３の過程と、前記低周波用電解コンデンサ
を流れるリーク電流を測定する第４の過程と、前記第１
の測定手段の測定結果と前記第２の測定手段の測定結果
との差を、前記半導体デバイスへ入力される実電源電流
として求める第５の過程とからなることを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態について説明する。図１は本発明の第一実施形態
による半導体デバイス試験装置の構成を示すブロック図
である。この図において、図３の各部に対応する部分に
は同一の符号を付けその説明を省略する。図１において
は、図３に示すスイッチ６に代えて電源回路７が設けら
れている。
施形態について説明する。図１は本発明の第一実施形態
による半導体デバイス試験装置の構成を示すブロック図
である。この図において、図３の各部に対応する部分に
は同一の符号を付けその説明を省略する。図１において
は、図３に示すスイッチ６に代えて電源回路７が設けら
れている。
【０００９】図１に示す電源回路７は、電源回路２に併
設されており、低周波用電解コンデンサ５を介して電源
ライン３へ電源電圧を供給する。すなわち、低周波用電
解コンデンサ５は、電源回路７と電源ライン３との間に
介挿されている。
設されており、低周波用電解コンデンサ５を介して電源
ライン３へ電源電圧を供給する。すなわち、低周波用電
解コンデンサ５は、電源回路７と電源ライン３との間に
介挿されている。
【００１０】次に、上述した一実施形態による半導体デ
バイス試験装置を用いた試験手順を図２に示すフローチ
ャートを参照して説明する。まず、被測定デバイス１の
電源電流を測定する場合、図２に示すステップＳＢ１で
は、被測定デバイス１の入力端子１ａへ印加すべき、電
源回路２の電源電圧（直流電圧）が設定される。
バイス試験装置を用いた試験手順を図２に示すフローチ
ャートを参照して説明する。まず、被測定デバイス１の
電源電流を測定する場合、図２に示すステップＳＢ１で
は、被測定デバイス１の入力端子１ａへ印加すべき、電
源回路２の電源電圧（直流電圧）が設定される。
【００１１】次いで、ステップＳＢ２では、電源回路７
の電源電圧がＧＮＤレベルに設定される。この状態にお
いて、電源回路２から電源ライン３を介して入力端子１
ａへ電源電圧（直流電圧）が印加されると、電源回路２
からは、電源ライン３を介して電源電流（負荷電流）が
入力端子１ａへ入力される。このとき、上記電源電流
（負荷電流）の一部は、低周波用電解コンデンサ５を介
して電源回路７へリーク電流として流れる。
の電源電圧がＧＮＤレベルに設定される。この状態にお
いて、電源回路２から電源ライン３を介して入力端子１
ａへ電源電圧（直流電圧）が印加されると、電源回路２
からは、電源ライン３を介して電源電流（負荷電流）が
入力端子１ａへ入力される。このとき、上記電源電流
（負荷電流）の一部は、低周波用電解コンデンサ５を介
して電源回路７へリーク電流として流れる。
【００１２】そして、ステップＳＢ３では、電源回路２
において、電源ライン３を流れる電源電流（負荷電流）
の測定が行われた後、ステップＳＢ４では、電源回路７
において、低周波用電解コンデンサ５を流れるリーク電
流の測定が行われる。そして、ステップＳＢ５では、図
示しない演算部は、ステップＳＢ３における電源回路２
の測定結果（電源電流）と、ステップＳＢ４における電
源回路７の測定結果（リーク電流）との差を求め、該差
を被測定デバイス１の入力端子１ａに入力された実電源
電流（実負荷電流）として求める。
において、電源ライン３を流れる電源電流（負荷電流）
の測定が行われた後、ステップＳＢ４では、電源回路７
において、低周波用電解コンデンサ５を流れるリーク電
流の測定が行われる。そして、ステップＳＢ５では、図
示しない演算部は、ステップＳＢ３における電源回路２
の測定結果（電源電流）と、ステップＳＢ４における電
源回路７の測定結果（リーク電流）との差を求め、該差
を被測定デバイス１の入力端子１ａに入力された実電源
電流（実負荷電流）として求める。
【００１３】以上説明したように、本発明の一実施形態
による半導体デバイス試験装置によれば、スイッチ６を
設けることなく被測定デバイス１における実電源電流
（実負荷電流）の測定をリーク電流に影響されることな
く高精度で行うことができる。従って、上述した一実施
形態による半導体デバイス試験装置によれば、スイッチ
６が不要であるため、構成を簡易にすることができる。
による半導体デバイス試験装置によれば、スイッチ６を
設けることなく被測定デバイス１における実電源電流
（実負荷電流）の測定をリーク電流に影響されることな
く高精度で行うことができる。従って、上述した一実施
形態による半導体デバイス試験装置によれば、スイッチ
６が不要であるため、構成を簡易にすることができる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
従来のようにスイッチが不要であるため、構成を簡易に
することができる。また、本発明によれば、スイッチを
用いることなく、測定結果としてリーク電流分が除去さ
れた実電源電流を求めることができるので、高精度の測
定をすることができる。
従来のようにスイッチが不要であるため、構成を簡易に
することができる。また、本発明によれば、スイッチを
用いることなく、測定結果としてリーク電流分が除去さ
れた実電源電流を求めることができるので、高精度の測
定をすることができる。
【図１】 本発明の一実施形態による半導体デバイス試
験装置の構成を示す回路図である。
験装置の構成を示す回路図である。
【図２】 同一実施形態による半導体デバイス試験装置
を用いた試験手順を示すフローチャートである。
を用いた試験手順を示すフローチャートである。
【図３】 従来の半導体デバイス試験装置の構成を示す
回路図である。
回路図である。
【図４】 従来の半導体デバイス試験装置を用いた試験
手順を示すフローチャートである。
手順を示すフローチャートである。
１ 被測定デバイス １ａ 入力端子 ２ 電源回路 ３ 電源ライン ４ 高周波用コンデンサ ５ 低周波用電解コンデンサ ７ 電源回路
Claims (2)
- 【請求項１】 半導体デバイスへ電源ラインを介して直
流電圧を印加する第１の電源と、 前記第１の電源から出力される電源電流を測定する第１
の測定手段と、 接地レベルの直流電圧を出力する第２の電源と、 前記電源ラインと前記第２の電源との間に介挿され、前
記電源ラインの電圧変動を抑制する低周波用電解コンデ
ンサと、 前記低周波用電解コンデンサを流れるリーク電流を測定
する第２の測定手段と、 前記第１の測定手段の測定結果と前記第２の測定手段の
測定結果との差を、前記半導体デバイスへ入力される実
電源電流として求める演算手段とを具備することを特徴
とする半導体デバイス試験装置。 - 【請求項２】 半導体デバイスへ電源ラインを介して直
流電圧を印加する第１の過程と、 前記第１の電源から出力される電源電流を測定する第２
の過程と、 前記電源ラインと前記第２の電源との間に介挿され、前
記電源ラインの電圧変動を抑制する低周波用電解コンデ
ンサに、接地レベルの直流電圧を印加する第３の過程
と、 前記低周波用電解コンデンサを流れるリーク電流を測定
する第４の過程と、 前記第１の測定手段の測定結果と前記第２の測定手段の
測定結果との差を、前記半導体デバイスへ入力される実
電源電流として求める第５の過程とからなることを特徴
とする半導体デバイス試験方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9294616A JPH11133100A (ja) | 1997-10-27 | 1997-10-27 | 半導体デバイス試験装置および方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9294616A JPH11133100A (ja) | 1997-10-27 | 1997-10-27 | 半導体デバイス試験装置および方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11133100A true JPH11133100A (ja) | 1999-05-21 |
Family
ID=17810072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9294616A Pending JPH11133100A (ja) | 1997-10-27 | 1997-10-27 | 半導体デバイス試験装置および方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11133100A (ja) |
-
1997
- 1997-10-27 JP JP9294616A patent/JPH11133100A/ja active Pending
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