JPH08160100A - 半導体テスタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 出力負荷容量が変化しても、テスト対象の集
積回路本来の消費電流である実力消費電流を簡単に測定
できる半導体テスタを得る。 【構成】 テスト対象の集積回路２には電圧が同じ一定
のもので、周波数が異なる第１，第２のテスト用信号が
半導体テスタ１から与えられる。そして、第１，第２の
テスト用信号が集積回路２にそれぞれ印加されていると
きの第１，第２の消費電流が測定される。その後、半導
体テスタ１の演算手段１１により、第１，第２のテスト
用信号の周波数及び第１，第２の消費電流に基づいて集
積回路本来の第１，第２の実力消費電流が算出される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は集積回路の動作テスト、
特に消費電流を測定する半導体テスタに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来から集積回路の動作テストをするた
めに半導体テスタが用いられている。このような半導体
テスタを用いて集積回路の動作テストを高速で行うと、
半導体テスタに内蔵されているドライバ、コンパレー
タ、テストボード、ハンドラなどにより容量が出力負荷
として加わり、測定値が実際のものと異なってくる場合
がある。例えば、集積回路の消費電流を半導体テスタで
測定した場合を説明する。図７に示すように出力負荷容
量ＣＬが異なると、半導体テスタからのテスト用信号の
周波数ｆが一定でも、集積回路の消費電流Ｉはライン７
０１，７０２，７０３で示すように出力負荷容量ＣＬの
値によって異なる。そして、集積回路本来の消費電流Ｉ
はライン７０１で示す出力負荷容量ＣＬが０〔ｐＦ〕の
場合の電流である。そこでこの出力負荷容量ＣＬが０
〔ｐＦ〕の場合の消費電流Ｉを半導体テスタを用いて測
定するため事前に出力負荷容量等のテスト条件をマニュ
アルで補正したり、場合によっては消費電流Ｉの測定値
が動作周波数ｆに依存しないレベルにまで下げて集積回
路の動作テストを実施している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記マニュ
アル補正はテスト環境（出力負荷容量の変化）に応じて
動作テストの都度実施する必要があるので、人手がかか
り、また、動作周波数ｆを下げて動作テストを実施する
方法は高速の動作周波数での集積回路本来の消費電流で
ある実力消費電流を測定することができない等、従来の
半導体テスタを用いてた場合の課題があった。

【０００４】本発明は上記のような課題を解決するため
になされたもので、出力負荷容量等のテスト環境が変化
しても、テスト対象の集積回路本来の消費電流である実
力消費電流を簡単に測定できる半導体テスタを提供する
ことを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】第１の発明では、テスト
対象の集積回路２に印加する２つの異なる第１，第２の
テスト用信号は電圧が同じ一定のもので、周波数が異な
るものを用い、上記第１，第２のテスト用信号が上記集
積回路２にそれぞれ印加されているときの消費電流であ
る第１，第２の消費電流を測定し、上記第１のテスト用
信号の周波数と上記第２のテスト用信号の周波数と上記
第１の消費電流と上記第２の消費電流とに基づいて当該
半導体テスタ１１による容量が出力負荷として加わらな
い状態での上記集積回路本来の消費電流である第１，第
２の実力消費電流を算出する演算手段１１を備えたこと
を特徴とするものである。

【０００６】第２の発明では、テスト対象の集積回路２
に印加する２つの異なる第１，第２のテスト用信号は周
波数が同じ一定のもので、電圧が異なるものを用い、上
記第１，第２のテスト用信号が上記集積回路２にそれぞ
れ印加されているときの消費電流である第１，第２の消
費電流を測定し、上記第１のテスト用信号の電圧と上記
第２のテスト用信号の電圧と上記第１の消費電流と上記
第２の消費電流とに基づいて当該半導体テスタ１による
容量が出力負荷として加わらない状態での上記集積回路
本来の消費電流である第１，第２の実力消費電流を算出
する演算手段１２を備えたことを特徴とするものであ
る。

【０００７】第３の発明では、テスト対象の集積回路２
側の各端子と当該半導体テスタ１側の各端子との間を開
放状態とし、当該半導体テスタ１側のテスト用信号を出
力する端子からのテスト用信号を当該半導体テスタ１側
の信号を入力する端子に入力している状態で、当該半導
体テスタ１による消費電流を測定し、この消費電流と上
記テスト用信号の電圧及び周波数とに基づいて出力負荷
容量を算出する第１の演算手段１３と、この第１の演算
手段１３により得られた出力負荷容量を用いて当該半導
体テスタ１による容量が出力負荷として加わらない状態
での上記集積回路本来の消費電流である実力消費電流を
算出する第２の演算手段１４とを備えたことを特徴とす
るものである。

【０００８】第４の発明では、第１の発明の構成におけ
る演算手段１１は、第１のテスト用信号の周波数をｆ
１、第２のテスト用信号の周波数をｆ２、第１の消費電
流をＩ３、第２の消費電流をＩ４、上記周波数ｆ２と上
記周波数ｆ１との差に定数を掛けたものを△Ｉ５、第１
の実力消費電流をＩ１、第２の実力消費電流をＩ２とす
ると、

【数７】

【数８】 という演算を行うことを特徴とするものである。

【０００９】第５の発明では、第２の発明の構成におけ
る演算手段１２は、第１のテスト用信号の電圧をＶ１、
第２のテスト用信号の電圧をＶ２、第１の消費電流をＩ
８、第２の消費電流をＩ９、上記電圧Ｖ２と上記電圧Ｖ
１との差に定数を掛けたものを△Ｉ１０、第１の実力消
費電流をＩ６、第２の実力消費電流をＩ７とすると、

【数１５】

【数１６】 という演算を行うことを特徴とするものである。

【００１０】第６の発明では、第３の発明の構成におけ
る第１の演算手段１３は、半導体テスタ１による消費電
流をＩ１３、テスト用信号の電圧をＶ０、このテスト用
信号の周波数をｆ０、出力負荷容量をＣＬとすると、

【数１９】 という演算を行うことを特徴とするものである。

【００１１】第７の発明では、第３の発明の構成におけ
る第２の演算手段１４は、半導体テスタ１がテスト対象
の集積回路２に接続されている状態でのテスト用信号の
周波数をｆ、このテスト用信号の電圧をＶ、消費電流を
Ｉ１１、出力負荷容量をＣＬ、上記集積回路２の出力す
る端子数をｂ、上記集積回路２の出力が反転する周期の
割合をｎ、上記出力負荷容量がゼロのときの実力消費電
流をＩ１２とすると、

【数１７】 という演算を行うことを特徴とするものである。

【００１２】

【作用】第１の発明においては、テスト対象の集積回路
２には電圧が同じ一定のもので、周波数が異なる第１の
テスト用信号と第２のテスト用信号が半導体テスタ１か
ら与えられる。そして、第１，第２のテスト用信号が集
積回路２にそれぞれ印加されているときの第１，第２の
消費電流が測定される。その後、半導体テスタ１の演算
手段１１により、第１のテスト用信号の周波数、第２の
テスト用信号の周波数、第１の消費電流、及び第２の消
費電流に基づいて集積回路本来の第１，第２の実力消費
電流が算出される。

【００１３】第２の発明においては、テスト対象の集積
回路２には周波数が同じ一定のもので、電圧が異なる第
１のテスト用信号と第２のテスト用信号が半導体テスタ
１から与えられる。そして、第１，第２のテスト用信号
が集積回路２にそれぞれ印加されているときの第１，第
２の消費電流が測定される。その後、半導体テスタ１の
演算手段１２により、第１のテスト用信号の電圧、第２
のテスト用信号の電圧、第１の消費電流、及び第２の消
費電流に基づいて集積回路本来の第１，第２の実力消費
電流が算出される。

【００１４】第３の発明においては、集積回路２と半導
体テスタ１間の各端子を開放状態とし、半導体テスタ１
側の出力端子からのテスト用信号を半導体テスタ１側の
入力端子に入力する。この状態で半導体テスタ１による
消費電流が測定される。そして半導体テスタ１の第１の
演算手段１３により、消費電流とテスト用信号の電圧及
び周波数とに基づいて出力負荷容量が算出される。ま
た、半導体テスタ１の第２の演算手段１４により、出力
負荷容量を用いて集積回路本来の実力消費電流が算出さ
れる。

【００１５】第４の発明においては、演算手段１１は

【００１６】

【数７】

【００１７】の演算を行うことにより、第１の実力消費
電流Ｉ１が算出される。また、演算手段１１は

【００１８】

【数８】

【００１９】の演算を行うことにより、第２の実力消費
電流Ｉ２が算出される。

【００２０】第５の発明においては、演算手段１２は

【００２１】

【数１５】

【００２２】の演算を行うことにより、第１の実力消費
電流Ｉ６が算出される。また、演算手段１２は

【００２３】

【数１６】

【００２４】の演算を行うことにより、第２の実力消費
電流Ｉ７が算出される。

【００２５】第６の発明においては、第１の演算手段１
３は

【００２６】

【数１９】

【００２７】の演算を行うことにより、出力負荷容量Ｃ
Ｌが算出される。

【００２８】第７の発明においては、第２の演算手段１
４は

【００２９】

【数１７】

【００３０】の演算を行うことにより、実力消費電流Ｉ
１２が算出される。

【００３１】

【実施例】

実施例１ 以下、本発明の実施例１を図に基づいて説明する。図１
は本発明の実施例１に係る半導体テスタと集積回路が接
続されている状態を示すブロック図である。図１におい
て、半導体テスタ１は、電源端子４１、入力端子５１、
出力端子６１、入出力端子７１、及び接地端子８１を備
えるとともに、後述する第１，第２の実力消費電流を算
出する演算手段１１を内蔵している。テスト対象の集積
回路２は、電源端子４２、出力端子５２、入力端子６
２、入出力端子７２、及び接地端子８２を備えている。
集積回路２を動作テストする場合、半導体テスタ１の電
源端子４１、入力端子５１、出力端子６１、入出力端子
７１、及び接地端子８１は、集積回路２の電源端子４
２、出力端子５２、入力端子６２、入出力端子７２、及
び接地端子８２にそれぞれ接続される。接地端子８１，
８２は接地３に接続されている。

【００３２】次に集積回路２の動作テスト時の消費電流
の測定方法について説明する。集積回路２の実動作をシ
ミュレートした高速動作時の消費電流を測定するため、
半導体テスタ１の出力端子６１と入出力端子７１から図
２に示すような周波数ｆ１で電圧が一定の第１のテスト
用信号を発生させ、集積回路２の入力端子６２と入出力
端子７２に与え、集積回路２を動作させる。そして、こ
の状態で電源端子４２の電流、即ち、集積回路２の動作
時の第１の消費電流を半導体テスタ１により測定する。
この測定した第１の消費電流を図２に示すようにＩ３と
する。

【００３３】次にテスト用信号の周波数を変え、第２の
テスト用信号を発生させる。即ち、図２に示すような周
波数ｆ２で電圧が第１のテスト用信号と同じ第２のテス
ト用信号を、半導体テスタ１の出力端子６１と入出力端
子７１から発生させる。この第２のテスト用信号は集積
回路２の入力端子６２と入出力端子７２に与えられ、こ
れにより集積回路２は動作する。そして、この状態で集
積回路２の動作時の第２の消費電流を半導体テスタ１に
より測定する。この測定した第２の消費電流を図２に示
すようにＩ４とする。

【００３４】以上測定した第１の消費電流Ｉ３及び第２
の消費電流Ｉ４は図２に示すような特性となり、次の式
（１）及び式（２）で表される。

【００３５】

【数１】

【００３６】

【数２】

【００３７】上記式（１），（２）において、ｆ１は第
１のテスト用信号の周波数、ｆ２は第１のテスト用信号
の周波数、Ｖは第１，第２のテスト用信号の電圧、ｂは
集積回路２の出力をする端子数、ＣＬは出力負荷容量、
ｎは集積回路２の出力信号が反転する周期の割合、Ｉ１
は第１のテスト用信号によるテスト時において出力負荷
容量ＣＬがゼロのときの第１の実力消費電流、Ｉ２は第
２のテスト用信号によるテスト時において出力負荷容量
ＣＬがゼロのときの第２の実力消費電流を示す。第１の
実力消費電流Ｉ１は第１のテスト用信号によるテスト時
において半導体テスタ１による容量が出力負荷として加
わらない状態での集積回路本来の消費電流である。第２
の実力消費電流Ｉ２は第２のテスト用信号によるテスト
時において半導体テスタ１による容量が出力負荷として
加わらない状態での集積回路本来の消費電流である。

【００３８】ここで、事前に予め別サンプルで出力負荷
容量ＣＬ＝０〔ｐＦ〕のときにテスト用信号の周波数ｆ
をｆ１，ｆ２，・・・，ｆｎとｎ回変化させて測定した
消費電流ｉ１，ｉ２，・・・，ｉｎより最小２乗法を用
いて消費電流ｉと周波数ｆの近似式を求める。

【００３９】

【数３】

【００４０】近似式を上記式（３）のように考えると、
ｂとａは最小２乗法により

【００４１】

【数４】

【００４２】となるので、上記式（３）及び式（４）よ
りａ，ｂが求まり、

【００４３】

【数５】

【００４４】となる。上記式（５）を基準式として第２
の実力消費電流Ｉ２と第１の実力消費電流Ｉ１との差で
ある電流△Ｉ５を求めたとき、

【００４５】

【数６】

【００４６】上記式（１），（２），（６）より未知数
はＣＬ，Ｉ１，Ｉ２なのでＣＬ＝０〔ｐＦ〕時の実力消
費電流である第１の実力消費電流Ｉ１と第２の実力消費
電流Ｉ２を求めると、

【００４７】

【数７】

【００４８】

【数８】

【００４９】となり、上記式（７），（８）を半導体テ
スタ１の演算手段１１に組み込むことにより、ＣＬ＝０
〔ｐＦ〕時の集積回路２の第１，第２の実力消費電流Ｉ
１，Ｉ２が測定できる。

【００５０】本実施例１によれば、半導体テスタの出力
負荷容量が変化しても、集積回路の実力消費電流を測定
できるため、従来のようにテスト環境に応じてテスト条
件のマニュアル補正をする必要がなく、また、高速動作
時でも同一規格で動作テストができる。

【００５１】実施例２ 図３は本発明の実施例２に係る半導体テスタと集積回路
が接続されている状態を示すブロック図である。図３に
おいて、図１に示す構成要素に相当するものには同一の
符号を付し、その説明を省略する。図３において、半導
体テスタ１は演算手段１２を内蔵している。この演算手
段１２は、図４に示すように第１のテスト用信号の電圧
Ｖ１と第２のテスト用信号の電圧Ｖ２と第１の消費電流
Ｉ８と第２の消費電流Ｉ９とに基づいて半導体テスタ１
による容量ＣＬが出力負荷として加わらない状態での集
積回路本来の消費電流である第１の実力消費電流Ｉ６及
び第２の実力消費電流Ｉ７を算出するものである。

【００５２】次に集積回路２の動作テスト時の消費電流
の測定方法について説明する。集積回路２の実動作をシ
ミュレートした高速動作時の消費電流を測定するため、
半導体テスタ１の出力端子６１と入出力端子７１から図
４に示すような電圧Ｖ１で周波数が一定の第１のテスト
用信号を発生させ、集積回路２の入力端子６２と入出力
端子７２に与え、集積回路２を動作させる。そして、こ
の状態で電源端子４２の電流、即ち、集積回路２の動作
時の第１の消費電流を半導体テスタ１により測定する。
この測定した第１の消費電流を図４に示すようにＩ８と
する。

【００５３】次にテスト用信号の電圧を変え、第２のテ
スト用信号を発生させる。即ち、図４に示すような電圧
Ｖ２で周波数が第１のテスト用信号と同じ第２のテスト
用信号を、半導体テスタ１の出力端子６１と入出力端子
７１から発生させる。この第２のテスト用信号は集積回
路２の入力端子６２と入出力端子７２に与えられ、これ
により集積回路２は動作する。そして、この状態で、集
積回路２の動作時の第２の消費電流を半導体テスタ１に
より測定する。この測定した第２の消費電流を図４に示
すようにＩ９とする。

【００５４】以上測定した第１の消費電流Ｉ８及び第２
の消費電流Ｉ９は図４に示すような特性となり、次の式
（９）及び式（１０）で表される。

【００５５】

【数９】

【００５６】

【数１０】

【００５７】上記式（９），（１０）において、ｆは第
１，第２のテスト用信号の周波数、Ｖ１は第１のテスト
用信号の電圧、Ｖ２は第２のテスト用信号の電圧、ｂは
集積回路２の出力をする端子数、ＣＬは出力負荷容量、
ｎは集積回路２の出力信号が反転する周期の割合、Ｉ６
は第１のテスト用信号によるテスト時において出力負荷
容量ＣＬがゼロの時の第１の実力消費電流、Ｉ７は第２
のテスト用信号によるテスト時において出力負荷容量Ｃ
Ｌがゼロのときの第２の実力消費電流を示す。

【００５８】ここで、事前に予め別サンプルで出力負荷
容量ＣＬ＝０〔ｐＦ〕のときにテスト用信号の電圧Ｖを
Ｖ１，Ｖ２，・・・，Ｖｎとｎ回変化させて測定した消
費電流ｉ１，ｉ２，・・・，ｉｎより最小２乗法を用い
て消費電流ｉと電圧Ｖの近似式を求める。

【００５９】

【数１１】

【００６０】近似式を上記式（１１）のように考える
と、ｂとａは最小２乗法により

【００６１】

【数１２】

【００６２】となるので、上記式（１１）及び式（１
２）よりａ，ｂが求まり、

【００６３】

【数１３】

【００６４】となる。上記式（１３）を基準式として第
２の実力消費電流Ｉ７と第１の実力消費電流Ｉ６との差
である電流△１１０を求めたとき、

【００６５】

【数１４】

【００６６】上記式（９），（１０），（１４）より未
知数はＣＬ，Ｉ６，Ｉ７なのでＣＬ＝０〔ｐＦ〕時の実
力消費電流である第１の実力消費電流Ｉ６と第２の実力
消費電流Ｉ２を求めると、

【００６７】

【数１５】

【００６８】

【数１６】

【００６９】となり、上記式（１５），（１６）を半導
体テスタ１の演算手段１２に組み込むことにより、ＣＬ
＝０〔ｐＦ〕時の集積回路２の第１，第２の実力消費電
流Ｉ６，Ｉ７が測定できる。

【００７０】本実施例２によれば、半導体テスタの出力
負荷容量が変化しても、集積回路の実力消費電流を測定
できるため、従来のようにテスト環境に応じてテスト条
件のマニュアル補正をする必要がなく、また、高速動作
時でも同一規格で動作テストできる。

【００７１】実施例３ 図５は本発明の実施例３に係る半導体テスタと集積回路
が接続されている状態を示すブロック図である。図５に
おいて、図１に示す構成要素に相当するものには同一の
符号を付し、その説明を省略する。図５において、半導
体テスタ１は第１の演算手段１３と第２の演算手段１４
を内蔵している。第１の演算手段１３は、測定された消
費電流とテスト用信号の電圧及び周波数とに基づいて出
力負荷容量を算出するものである。第２の演算手段１４
は、第１の演算手段１３で得られた出力負荷容量を用い
て半導体テスタ１による容量が出力負荷として加わらな
い状態での集積回路本来の消費電流である実力消費電流
を算出するものである。

【００７２】次に集積回路２の動作テスト時の消費電流
の測定方法について説明する。集積回路２の実動作をシ
ミュレートした高速動作時の消費電流を測定するため、
半導体テスタ１の出力端子６１と入出力端子７１から電
圧Ｖで周波数ｆのテスト用信号を発生させ、集積回路２
の入力端子６２と入出力端子７２に与え、集積回路２を
動作させる。そして、この状態で電源端子４２の消費電
流Ｉ１１を測定する。この時、出力負荷容量ＣＬが０
〔ｐＦ〕での実力消費電流をＩ１２とすると、

【００７３】

【数１７】

【００７４】上記式（１７）において、Ｖはテスト用信
号の電圧、ｂは集積回路２の出力をする端子の数、ＣＬ
は出力負荷容量、ｎは集積回路２の出力信号が反転する
周期の割合、ｆはテスト用信号の周波数、Ｉ１１は出力
負荷容量ＣＬが存在する動作テスト時の消費電流を示
す。

【００７５】上記式（１７）において、Ｉ１２を求める
場合、未知数はＣＬである。出力負荷容量ＣＬを予め測
定する方法として、図６に示すように半導体テスタ１に
集積回路２を接続せずに半導体テスタ１の例えば出力端
子６１から入力端子５１に電圧Ｖ０で周波数ｆ０のデュ
ーティ比５０％の方形波のテスト用信号を印加した場
合、電源端子４１の電流Ｉ１３を測定すると、

【００７６】

【数１８】

【００７７】となり、出力負荷容量ＣＬは

【００７８】

【数１９】

【００７９】となる。上記式（１９）よりＣＬが既知と
して取り扱えるので、上記式（１７）よりＣＬ＝０〔ｐ
Ｆ〕時の集積回路２の実力消費電流Ｉ１２を測定でき
る。このような演算を行わせるために、式（１９）は第
１の演算手段１３に、式（１７）は第２の演算手段１４
に組み込まれている。

【００８０】本実施例３によれば、半導体テスタの出力
負荷容量を求め、この出力負荷容量を用いて集積回路の
実力消費電流を測定できるため、従来のようにテスト環
境に応じてテスト条件のマニュアル補正をする必要がな
く、また、高速動作時でも同一規格で動作テストができ
る。

【００８１】

【発明の効果】以上のように第１の発明によれば、第
１，第２のテスト用信号の周波数と第１，第２の消費電
流とに基づいて集積回路本来の消費電流である第１，第
２の実力消費電流を算出する演算手段を備えて構成した
ので、従来のようにテスト環境に応じてテスト条件のマ
ニュアル補正をする必要がなくなり、半導体テスタの出
力負荷容量等のテスト環境が変化しても、テスト対象の
集積回路本来の消費電流である実力消費電流を簡単に測
定できるという効果が得られる。また、高速動作時でも
上記演算手段によりテスト条件が同じになり、同一規格
で集積回路の動作テストができるという効果が得られ
る。

【００８２】第２の発明によれば、第１，第２のテスト
用信号の電圧と第１，第２の消費電流とに基づいて集積
回路本来の消費電流である第１，第２の実力消費電流を
算出する演算手段を備えて構成したので、従来のように
テスト環境に応じてテスト条件のマニュアル補正をする
必要がなくなり、半導体テスタの出力負荷容量等のテス
ト環境が変化しても、テスト対象の集積回路本来の消費
電流である実力消費電流を簡単に測定できるという効果
が得られる。また、高速動作時でも上記演算手段により
テスト条件が同じになり、同一規格で集積回路の動作テ
ストができるという効果が得られる。

【００８３】第３の発明によれば、消費電流とテスト用
信号の電圧及び周波数とに基づいて出力負荷容量を算出
する第１の演算手段を備えて構成したので、半導体テス
タの出力負荷容量を知ることができ、また、上記出力負
荷容量を用いて集積回路本来の消費電流である実力消費
電流を算出する第２の演算手段を備えて構成したので、
従来のようにテスト環境に応じてテスト条件マニュアル
補正をする必要がなくなり、半導体テスタの出力負荷容
量等のテスト環境が変化しても、テスト対象の集積回路
本来の消費電流である実力消費電流を簡単に測定できる
という効果が得られる。また、高速動作時でも上記第
１，第２の演算手段によりテスト条件が同じになり、同
一規格で集積回路の動作テストができるという効果が得
られる。

【００８４】第４の発明によれば、第１の発明の構成に
おける演算手段は、

【００８５】

【数７】

【００８６】

【数８】

【００８７】という演算を行うので、テスト対象の集積
回路の第１，第２の実力消費電流を簡単に求めることが
でき、第１の発明の効果を達成するのに役立てることが
できる。

【００８８】第５の発明によれば、第２の発明の構成に
おける演算手段は、

【００８９】

【数１５】

【００９０】

【数１６】

【００９１】という演算を行うので、テスト対象の集積
回路の第１，第２の実力消費電流を簡単に求めることが
でき、第２の発明の効果を達成するのに役立てることが
できる。

【００９２】第６の発明によれば、第３の発明の構成に
おける第１の演算手段は、

【００９３】

【数１９】

【００９４】という演算を行うので、半導体テスタの出
力負荷容量を簡単に求めることができる。

【００９５】第７の発明によれば、第３の発明の構成に
おける第２の演算手段は、

【００９６】

【数１７】

【００９７】という演算を行うので、テスト対象の集積
回路の実力消費電流を簡単に求めることができ、第３の
発明の効果を達成するのに役立てることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例１に係る半導体テスタと集積
回路が接続されている状態を示すブロック図である。

【図２】 上記実施例１におけるテスト用信号の周波数
と消費電流との関係を示す特性図である。

【図３】 本発明の実施例２に係る半導体テスタと集積
回路が接続されている状態を示すブロック図である。

【図４】 上記実施例２におけるテスト用信号の電圧と
消費電流との関係を示す特性図である。

【図５】 本発明の実施例３に係る半導体テスタと集積
回路が接続されている状態を示すブロック図である。

【図６】 上記実施例３において半導体テスタと集積回
路が接続されていない状態を示すブロック図である。

【図７】 従来の半導体テスタによる測定方法を説明す
るためのテスト用信号の周波数と消費電流との関係を示
す特性図である。

【符号の説明】

１ 半導体テスタ、２ 集積回路、３ 接地、１１，１
２ 演算手段、１３ 第１の演算手段、１４ 第２の演
算手段、４１，４２ 電源端子、５１，６２ 入力端
子、５２，６１ 出力端子、７１，７２ 入出力端子、
８１，８２ 接地端子。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長野 英生 相模原市宮下一丁目１番57号 三菱電機株 式会社相模事業所内

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 集積回路の動作テストを行う半導体テス
   タにおいて、テスト対象の集積回路に印加する２つの異
   なる第１，第２のテスト用信号は電圧が同じ一定のもの
   で、周波数が異なるものを用い、上記第１，第２のテス
   ト用信号が上記集積回路にそれぞれ印加されているとき
   の消費電流である第１，第２の消費電流を測定し、上記
   第１のテスト用信号の周波数と上記第２のテスト用信号
   の周波数と上記第１の消費電流と上記第２の消費電流と
   に基づいて当該半導体テスタによる容量が出力負荷とし
   て加わらない状態での上記集積回路本来の消費電流であ
   る第１，第２の実力消費電流を算出する演算手段を備え
   たことを特徴とする半導体テスタ。
2. 【請求項２】 集積回路の動作テストを行う半導体テス
   タにおいて、テスト対象の集積回路に印加する２つの異
   なる第１，第２のテスト用信号は周波数が同じ一定のも
   ので、電圧が異なるものを用い、上記第１，第２のテス
   ト用信号が上記集積回路にそれぞれ印加されているとき
   の消費電流である第１，第２の消費電流を測定し、上記
   第１のテスト用信号の電圧と上記第２のテスト用信号の
   電圧と上記第１の消費電流と上記第２の消費電流とに基
   づいて当該半導体テスタによる容量が出力負荷として加
   わらない状態での上記集積回路本来の消費電流である第
   １，第２の実力消費電流を算出する演算手段を備えたこ
   とを特徴とする半導体テスタ。
3. 【請求項３】 集積回路の動作テストを行う半導体テス
   タにおいて、テスト対象の集積回路側の各端子と当該半
   導体テスタ側の各端子との間を開放状態とし、当該半導
   体テスタ側のテスト用信号を出力する端子からのテスト
   用信号を当該半導体テスタ側の信号を入力する端子に入
   力している状態で、当該半導体テスタによる消費電流を
   測定し、この消費電流と上記テスト用信号の電圧及び周
   波数とに基づいて出力負荷容量を算出する第１の演算手
   段と、この第１の演算手段により得られた出力負荷容量
   を用いて当該半導体テスタによる容量が出力負荷として
   加わらない状態での上記集積回路本来の消費電流である
   実力消費電流を算出する第２の演算手段とを備えたこと
   を特徴とする半導体テスタ。
4. 【請求項４】 上記演算手段は、第１のテスト用信号の
   周波数をｆ１、第２のテスト用信号の周波数をｆ２、第
   １の消費電流をＩ３、第２の消費電流をＩ４、上記周波
   数ｆ２と上記周波数ｆ１との差に定数を掛けたものを△
   Ｉ５、第１の実力消費電流をＩ１、第２の実力消費電流
   をＩ２とすると、 【数７】 【数８】 という演算を行うことを特徴とする請求項第１項記載の
   半導体テスタ。
5. 【請求項５】 上記演算手段は、第１のテスト用信号の
   電圧をＶ１、第２のテスト用信号の電圧をＶ２、第１の
   消費電流をＩ８、第２の消費電流をＩ９、上記電圧Ｖ２
   と上記電圧Ｖ１との差に定数を掛けたものを△Ｉ１０、
   第１の実力消費電流をＩ６、第２の実力消費電流をＩ７
   とすると、 【数１５】 【数１６】 という演算を行うことを特徴とする請求項第２項記載の
   半導体テスタ。
6. 【請求項６】 上記第１の演算手段は、半導体テスタに
   よる消費電流をＩ１３、テスト用信号の電圧をＶ０、こ
   のテスト用信号の周波数をｆ０、出力負荷容量をＣＬと
   すると、 【数１９】 という演算を行うことを特徴とする請求項第３項記載の
   半導体テスタ。
7. 【請求項７】 上記第２の演算手段は、半導体テスタが
   テスト対象の集積回路に接続されている状態でのテスト
   用信号の周波数をｆ、このテスト用信号の電圧をＶ、消
   費電流をＩ１１、出力負荷容量をＣＬ、上記集積回路の
   出力をする端子数をｂ、上記集積回路の出力が反転する
   周期の割合をｎ、上記出力負荷容量がゼロのときの実力
   消費電流をＩ１２とすると、 【数１７】 という演算を行うことを特徴とする請求項第３項記載の
   半導体テスタ。