JP2002296556A - Lcdアレイテスタの校正方法 - Google Patents
Lcdアレイテスタの校正方法Info
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Abstract
Dアレイテスタの動作の確認及び検査精度のチェックを
再現性良好に行う。 【解決手段】 複数の画素センサチャンネルを備え、各
画素センサチャンネルには入力される電圧をデジタル値
に変換して測定する電圧測定機能と、所定の電圧を生成
して出力するパターン生成機能とを有するLCDアレイ
テスタの校正に際して、被測定対象として予め各種特性
が分かっていて、且つ同一の物が容易に手に入る基準容
量を用い、画素センサチャンネル毎に、前記パターン生
成機能から発生された電圧により前記基準容量を充電し
た後、前記基準容量の保持電圧を前記電圧測定機能で測
定する動作を複数回行うことにより得られた複数の測定
電圧値を用いて、前記画素センサチャンネル間のバラツ
キを補正するための補正値を求める。
Description
CD)の性能を検査するLCDアレイテスタの品質管理
に係り、特にLCDアレイテスタの校正方法に関する。
装置自体の品質を管理するためには、良品としての動作
の保証された実デバイス(いわゆるゴールデンサンプ
ル)の測定結果を用いて動作の確認、検査精度のチェッ
クを行っていた。
あるゴールデンサンプルは経年変化や温度などの環境変
化によりその動作が変化する可能性がある。それ故、こ
の方法では、被検査対象の測定再現性がどの程度あるの
か疑問であり、その特性についても充分把握ができない
ため、その分、LCDアレイテスタの動作の確認及び検
査精度のチェックの精度が保証されないという問題があ
った。その上、ゴールデンサンプルが破損した場合、同
じ物を作り出すことは非常に困難であるため、以降、別
のゴールデンサンプルを用いてLCDアレイテスタの動
作の確認及び検査精度のチェックを行ったとしても、以
前のゴールデンサンプルを用いた場合とでは特性の連続
性が得られないという問題もあった。
いることなく、LCDアレイテスタの動作の確認及び検
査精度のチェックを再現性良好に行うことができるLC
Dアレイテスタの校正方法を提供することである。
に、請求項1の発明の特徴は、複数の画素センサチャン
ネルを備え、各画素センサチャンネルには入力される電
圧をデジタル値に変換して測定する電圧測定機能と、所
定の電圧を生成して出力するパターン生成機能とを備え
たLCDアレイテスタの校正方法において、被測定対象
として基準容量を用い、画素センサチャンネル毎に、前
記パターン生成機能より発生された電圧によって前記基
準容量を充電した後、前記基準容量の保持電圧を前記電
圧測定機能で測定する動作を複数回行うことにより複数
の測定電圧値を得、これら複数の測定電圧値を用いて前
記画素センサチャンネル間のバラツキを補正する補正値
を求めることにある。
チャンネル毎に求まった複数の電圧測定値の平均電圧値
を求め、得られた各画素センサチャンネルの平均電圧値
から全画素センサチャンネルの平均電圧値を求め、この
全画素センサチャンネルの平均電圧値と前記各画素セン
サチャンネルの平均電圧値の差分を各画素センサチャン
ネルの補正値とすることにある。
チャンネル毎に求まった複数の電圧測定値の平均電圧値
を求め、前記基準容量の予め分かっている容量値から一
意的に求められる保持電圧値と前記各画素センサチャン
ネルの平均電圧値の差分を各センサチャンネルの補正値
とすることにある。
アレイテスタにおいて、標準とするデバイスを使用し、
1チャンネルずつ校正を行い、装置の品質を管理する。
に基づいて説明する。図1は、本発明のLCDアレイテ
スタの校正方法の一実施形態を説明する説明図である。
4個の画素センサチャンネル(以下ch1〜4と記載)
を備えたLCDアレイテスタ1に、校正回路2が接続さ
れている。
素センサチャンネル(以下、単にチャンネルと称するこ
ともある)11−1〜11−4を有している。そして、
各画素センサチャンネルは、A/Dコンバータ111、
デジタル電圧測定部112、パターン生成部113、並
びに、デジタル電圧測定部112とパターン生成部11
3のいずれか一方を入出力端子に接続するスイッチ11
4を有している(図1では、画素センサチャンネル11
−1のみ内部を図示している)。
1、基準容量切替スイッチ22及び基準デバイスである
基準容量23を有している。ここで、基準容量23とし
ては、予め諸特性が分かっており、且つ同一のものが容
易に手に入るものを使用する。
2、図3のフローチャートを参照して説明する。まず、
基準容量23の保持電圧をLCDアレイテスタ1のチャ
ンネルch1のみでm回(30回以上が望ましい)繰り
返し測定し、このチャンネルの平均値電圧を(1)式に
より求める。
ネルch1へ接続し(ステップ201)、次にスイッチ
22をオンし、スイッチ114をパターン生成部113
ヘ接続することによりパターン生成部113で発生され
た電圧パターンを基準容量23へ印加して、基準容量2
3を充電する(ステップ202)。一定時間スイッチ2
2をオフにする間、スイッチ114をA/Dコンバータ
111へ接続し、その後スイッチ22を再びオンし、基
準容量23の保持電圧VをA/Dコンバータ111に入
力する。デジタル電圧測定部112はA/Dコンバータ
111によりデジタル値に変換された保持電圧Vを測定
する(ステップ203)。この時、読み取った値がV1
となる。このような測定をm回行う(ステップ20
4)。ここで、基準容量23の保持電圧Vを測定するこ
とは、この基準容量23の容量を測定することと等価で
ある。
ても、上記と同様に基準容量23の保持電圧をLCDア
レイテスタ1の各チャンネル毎にm回繰り返し測定し、
これを全てのチャンネルの測定が終了するまで行う(ス
テップ205)。
られたm個の測定値から各チャンネルの平均値電圧を
(1)式により求める(ステップ301)。但し、この
場合はn=2〜4である。
測定結果を、測定電圧とその出現頻度との関係として図
4(a)〜(d)のように纏めることができる。更に、
これら図4に示した各チャンネルの測定結果は図5に示
すようにひとつの図にまとめて表示することができる。
ここで、図5では長方形の縦方向が測定電圧の分布を示
しており、 Vが全チャンネルの平均電圧である。
求める(ステップ302)。
平均値 Vnの差を式(3)のように求め、このΔn
を補正値とする(ステップ303)。
することにより、各チャンネルの平均値が揃い、測定値
の片寄りが無<なる。なお、各チャンネルの測定値は式
(4)のようになる。
明確に分かっており、同一の物が容易に手に入るコンデ
ンサを基準容量23として、LCDアレイテスタ1の校
正に使用しているため、LCDアレイテスタ1のチャン
ネル間のバラツキの校正を精度が保証された状態で、且
つ再現性良好に行うことができる。また、基準容量23
が破壊された場合でも、同一性能の物が容易に手に入る
ため、新しい基準容量23を用いて校正した場合と以前
の校正との間に特性の連続性を保持することができる。
スタ1を用いてLCDの画素の容量を測定した場合、各
チャンネル間の測定容量にバラツキがなくなり、例えば
輝度に斑のない高品質のLCDの製造に寄与することが
できる。
均値 Vを各チャンネルの補正値を算出する場合の基
準とした。この場合は各チャンネルの測定する画素容量
は相対値で校正されることになる。しかし、基準容量2
3の予め分かっている容量値から、上記したパターン生
成部113により前記基準容量23を充電した場合に、
この基準容量23で保持される電圧V0は一意的に決ま
るため、この保持電圧V0を補正値算出のための基準と
しても良い。この場合は、各チャンネルの測定する画素
容量は絶対値で校正されることになる。
レイテスタの校正方法によれば、ゴールデンサンプルを
用いることなく、LCDアレイテスタの動作の確認及び
検査精度のチェックを再現性良好に行うことができる。
施形態を説明する説明図。
保持電圧の測定処理手順を示したフローチャート。
チャンネルの補正値を求める手順を示したフローチャー
ト。
ンネル毎に示した説明図。
した説明図。
Claims (3)
- 【請求項1】 複数の画素センサチャンネルを備え、各
画素センサチャンネルには入力される電圧をデジタル値
に変換して測定する電圧測定機能と、所定の電圧を生成
して出力するパターン生成機能とを備えたLCDアレイ
テスタの校正方法において、 被測定対象として基準容量を用い、画素センサチャンネ
ル毎に、前記パターン生成機能より発生された電圧によ
って前記基準容量を充電した後、前記基準容量の保持電
圧を前記電圧測定機能で測定する動作を複数回行うこと
により複数の測定電圧値を得、これら複数の測定電圧値
を用いて前記画素センサチャンネル間のバラツキを補正
する補正値を求めることを特徴とするLCDアレイテス
タの校正方法。 - 【請求項2】 前記画素センサチャンネル毎に求まった
複数の電圧測定値の平均電圧値を求め、得られた各画素
センサチャンネルの平均電圧値から全画素センサチャン
ネルの平均電圧値を求め、この全画素センサチャンネル
の平均電圧値と前記各画素センサチャンネルの平均電圧
値の差分を各画素センサチャンネルの補正値とすること
を特徴とする請求項1に記載のLCDアレイテスタの校
正方法。 - 【請求項3】 前記画素センサチャンネル毎に求まった
複数の電圧測定値の平均電圧値を求め、前記基準容量の
予め分かっている容量値から一意的に求められる保持電
圧値と前記各画素センサチャンネルの平均電圧値の差分
を各センサチャンネルの補正値とすることを特徴とする
請求項1に記載のLCDアレイテスタの校正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001096517A JP2002296556A (ja) | 2001-03-29 | 2001-03-29 | Lcdアレイテスタの校正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001096517A JP2002296556A (ja) | 2001-03-29 | 2001-03-29 | Lcdアレイテスタの校正方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002296556A true JP2002296556A (ja) | 2002-10-09 |
Family
ID=18950423
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001096517A Pending JP2002296556A (ja) | 2001-03-29 | 2001-03-29 | Lcdアレイテスタの校正方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002296556A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2001
- 2001-03-29 JP JP2001096517A patent/JP2002296556A/ja active Pending
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