JP3621519B2 - デバイスの良否判定方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ADコンバータが内蔵されたデバイスの良否判定を行う方法に関し、特に、ADコンバータの非直線性誤差及び微分直線性誤差を測定することにより、被測定デバイスの良否判定を行う方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、ADコンバータが内蔵されたデバイスに対し、ADコンバータの非直線性誤差及び微分直線性誤差を測定することにより良否判定を行う場合、被測定デバイスにランプ波電圧を印加し、印加されたランプ波電圧を用いてADコンバータの非直線性誤差及び微分直線性誤差を測定し、それにより、良否判定が行われている。
【0003】
図3は、従来の、良否判定を行うために被測定デバイスに印加されるランプ波電圧の一例を示す図である。
【0004】
被測定デバイスに印加されるランプ波電圧は図3に示すように、良否判定に必要な測定分解能のステップ幅(ΔV)を有している。したがって、nbitのADコンバータを(1/N)LSBの測定分解能で測定するためには、2n×Nステップのランプ波電圧が用られている。
【0005】
図3に示したランプ波電圧を用いて被測定デバイスの良否判定を行う場合は、まず、被測定デバイスに図3に示したランプ波電圧を順次印加する。
【0006】
すると、被測定デバイス内のADコンバータにおいて、印加されたランプ波電圧がデジタル値に変換され、キャプチャメモリに格納される。
【0007】
次に、キャプチャメモリに格納されたデジタル値がDSPに転送され、演算が行われて非直線性誤差及び微分直線性誤差が求められる。
【0008】
その後、求められた非直線性誤差及び微分直線性誤差に基づいて、被測定デバイスの良否判定が行われる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
上述したような従来のものにおいては、被測定デバイスの良否判定に必要となる時間のほとんどが、ランプ波電圧を入力し、AD変換されたデジタル値を取り込むために費やされている。
【0010】
そこで、測定分解能のステップ幅を広くすれば、被測定デバイスの良否判定に必要となる時間を短縮することができるが、その場合、良否判定の精度が低下してしまう。
【0011】
しかし、良否判定に必要な測定分解能よりも広いステップ幅を用いた測定において不良と判断することができるものにおいては、不良と判断するのに十分なレベルまでステップ幅を広くすれば、その不良品を不良と判断するために費やされる時間を短縮することができる。
【0012】
本発明は、上述したような従来の技術が有する問題点に鑑みてなされたものであって、ADコンバータが内蔵されたデバイスの良否判定試験を高速に行うことによりデバイス試験にかかるコストを低減させることができるデバイスの良否判定方法を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明は、
ADコンバータが内蔵されたデバイスに対し、所定の測定分解能を有するランプ波電圧を印加し、印加されたランプ波電圧を用いてADコンバータの非直線性誤差及び微分直線性誤差を測定し、それにより、前記デバイスの良否判定を行うデバイスの良否判定方法であって、
前記デバイスに印加する電圧のステップ幅を前記測定分解能のM倍(Mは自然数)に設定して測定を行い、その後、前記ステップ幅を徐々に狭く設定して順次測定を行い、前記デバイスが不良と判断された場合は測定を終了することを特徴とする。
【0014】
また、ADコンバータが内蔵されたデバイスに対し、所定の測定分解能を有する正弦波電圧を印加し、印加された正弦波電圧を用いてADコンバータの非直線性誤差及び微分直線性誤差を測定し、それにより、前記デバイスの良否判定を行うデバイスの良否判定方法であって、
前記デバイスに印加する電圧のステップ幅を前記測定分解能のM倍(Mは自然数)に設定して測定を行い、その後、前記ステップ幅を徐々に狭く設定して順次測定を行い、前記デバイスが不良と判断された場合は測定を終了することを特徴とする。
【0015】
また、前記ステップ幅を、1回目の測定において前記測定分解能のM倍、2回目の測定において前記測定分解能のM/2倍、3回目の測定において前記測定分解能のM/3倍というように、N回目の測定において前記測定分解能のM/N倍とし、測定をM回繰り返し行うことを特徴とする。
【0016】
(作用)
上記のように構成された本発明においては、デバイスに印加する電圧のステップ幅を測定分解能のM倍に設定して測定を行い、その後、ステップ幅を徐々に狭く設定して順次測定を行い、デバイスが不良と判断された場合はその時点で測定を終了する。
【0017】
これにより、不良品においては、不良と判断するのに十分な広さのステップ幅において不良品と判断されるので、測定時間が短縮される。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【0019】
図1は、本発明のデバイスの良否判定方法における、被測定デバイスに印加されるランプ波電圧の一例を示す図である。
【0020】
図1に示すように本形態においては、ランプ波電圧の電圧ステップ幅を良否判定に必要な測定分解能のステップ幅(ΔV:(1/N)LSB)のM倍にする。ランプ波電圧は、2n×N/Mのステップとなる。
【0021】
被測定デバイスに(N/M)個になったランプ波電圧を印加し、従来の方法と同様にAD変換されたデータをキャプチャメモリに取り込み、非直線性誤差及び微分直線性誤差を求める。
【0022】
このときの測定分解能は、(M/N)LSBとなり、測定分解能は十分ではない。しかし、良否判定値+(M/N)LSBより悪い非直線性誤差及び微分直線性誤差を持つ被測定デバイスはここで不良とし、測定を終了する。
【0023】
ここまでに取り込まれたデータは、測定分解能のステップ幅がΔVである場合の(1/M)倍であるため、測定に費やされる時間も(1/M)倍となる。ここで、不良品となるデバイスにおいては、必ずしも(1/N)LSBの測定分解能は必要ではない。
【0024】
次に、上記測定で良品と判断されたデバイスに対して、(M/(N×2))LSB相当のオフセット電圧を加えたランプ波電圧を印加し、同様にAD変換されたデータをキャプチャメモリに取り込み、これ以前に取り込まれたデータとあわせて非直線性誤差及び微分直線性誤差を求める。
【0025】
このときの測定分解能は、(M/(N×2))LSBとなる。良否判定値+(M/(N×2))LSBより悪い非直線性誤差及び微分直線性誤差を持つ被測定デバイスはここで不良と判断し、測定を終了する。
【0026】
同様に、良品と判断されたデバイスに対して、ランプ波電圧に適切なオフセット電圧を加え、上記測定を繰り返す。m回目の測定における測定分解能が(M/(N×m))LSBとなるようにすれば、全部でM回の測定を繰り返したときに、デバイスを良品と判断するのに必要な測定分解能で測定したことになる。
【0027】
測定時間のほとんどは、ランプ波電圧を入力し、AD変換されたデータを取り込む時間である。データ転送、演算処理及び判定を行うための時間は、これを処理するシステムに依存するが、データ処理を並列に行うことができる試験装置では処理時間を必要としない。
【0028】
したがって、上記手法を用いれば、良品においては従来と同じ分解能、測定時間だが、不良品においては測定時間を短縮することができる。
【0029】
それにより、デバイスの良否判定を行う検査ラインにおいて、検査時間の短縮を行い、試験にかかるコストの低減を図ることができる。
【0030】
なお、上述した繰り返し処理におけるランプ波電圧は図1に示すように、単調増加と単調減少を交互に行えば、波形切替え時におけるセットリング時間が短縮される。
【0031】
以下に、上述した処理についてフローを参照して詳細に説明する。
【0032】
図2は、本発明のデバイスの良否判定方法における処理の流れの一例を示すフローチャートである。
【0033】
まず、良否判定値が本来の良否判定値に対してΔVだけ緩い値となるように、m=1に設定する(ステップS1)。
【0034】
次に、オフセット電圧ΔV”(m)を決定する(ステップS2)。
【0035】
次に、ADコンバータに印加する初期電圧を設定する(ステップS3)。
【0036】
次に、ADコンバータに電圧V+ΔV”(m)を印加する(ステップS4)。
【0037】
次に、ADコンバータにおいてデジタル値に変換されたデータをキャプチャメモリに取り込む(ステップS5)。
【0038】
次に、ADコンバータに印加する電圧の置き換えを行い(ステップS6)、その後、同一の測定分解能における測定回数が所定の回数に達したかどうかを判断し、所定の回数に達していなければステップS4に戻る(ステップS7)。
【0039】
ステップS7において、所定の回数に達していると判断されると、キャプチャメモリに取り込まれたデータをDSPに転送し、非直線性誤差及び微分直線性誤差の演算を行う(ステップS8)。
【0040】
その後、測定分解能を変更し(ステップS9)、良否判定値を決定する(ステップS10)。
【0041】
ステップS10において決定した良否判定値に基づいて良否判定を行うとともに、測定回数が所定の回数に達したかどうかの判断を行い、不良品または所定の回数に達していれば処理を終了し、そうでなければステップS2に戻る(ステップS11)。
【0042】
(他の実施の形態)
上述した実施の形態は、ADコンバータにランプ波電圧を印加することにより、デバイスの良否判定を行うものであるが、ADコンバータに正弦波信号を印加し、デバイスのAC特性を測定するものもある。
【0043】
デバイスに正弦波信号を印加し、AD変換されたデータをキャプチャメモリに取り込み、データ処理から各種の測定結果を得る。
【0044】
測定時間が長い程、周波数分解能が向上し、測定ダイナミックレンジも広がる。
【0045】
従来、キャプチャするデータ数は良品と判断するのに必要な周波数分解能と測定ダイナミックレンジから決定していた。
【0046】
しかし、上述した実施の形態と同様に、1/Mのデータ数を取り込んだ時点で演算処理を行い、粗な周波数分解能と測定ダイナミックレンジで暫定的良否判断を行う。不良と判断されなければさらにデータ取り込みを継続する。
【0047】
上述した処理を繰り返し行えば、測定毎に周波数分解能と測定ダイナミックレンジは向上する。
【0048】
それぞれの時点で暫定的良否判断を行うことにより、早期に不良デバイスを見つけ出すことができ、不良デバイスの測定における無駄なデータ取り込み時間を削除することができる。
【0049】
【発明の効果】
以上説明したように本発明においては、デバイスに印加する電圧のステップ幅を測定分解能のM倍に設定して測定を行い、その後、ステップ幅を徐々に狭く設定して順次測定を行い、デバイスが不良と判断された場合はその時点で測定を終了するため、不良品においては、不良と判断するのに十分な広さのステップ幅において不良品と判断することができ、測定時間を短縮することができる。
【0050】
それにより、デバイスの良否判定試験を高速に行うことができ、デバイス試験にかかるコストを低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のデバイスの良否判定方法における、被測定デバイスに印加されるランプ波電圧の一例を示す図である。
【図2】本発明のデバイスの良否判定方法における処理の流れの一例を示すフローチャートである。
【図3】従来の、良否判定を行うために被測定デバイスに印加されるランプ波電圧の一例を示す図である。
Claims (3)
- ADコンバータが内蔵されたデバイスに対し、所定の測定分解能を有するランプ波電圧を印加し、印加されたランプ波電圧を用いてADコンバータの非直線性誤差及び微分直線性誤差を測定し、それにより、前記デバイスの良否判定を行うデバイスの良否判定方法であって、
前記デバイスに印加する電圧のステップ幅を前記測定分解能のM倍(Mは自然数)に設定して測定を行い、その後、前記ステップ幅を徐々に狭く設定して順次測定を行い、前記デバイスが不良と判断された場合は測定を終了することを特徴とするデバイスの良否判定方法。 - ADコンバータが内蔵されたデバイスに対し、所定の測定分解能を有する正弦波電圧を印加し、印加された正弦波電圧を用いてADコンバータの非直線性誤差及び微分直線性誤差を測定し、それにより、前記デバイスの良否判定を行うデバイスの良否判定方法であって、
前記デバイスに印加する電圧のステップ幅を前記測定分解能のM倍(Mは自然数)に設定して測定を行い、その後、前記ステップ幅を徐々に狭く設定して順次測定を行い、前記デバイスが不良と判断された場合は測定を終了することを特徴とするデバイスの良否判定方法。 - 請求項1または請求項2に記載のデバイスの良否判定方法において、
前記ステップ幅を、1回目の測定において前記測定分解能のM倍、2回目の測定において前記測定分解能のM/2倍、3回目の測定において前記測定分解能のM/3倍というように、N回目の測定において前記測定分解能のM/N倍とし、測定をM回繰り返し行うことを特徴とするデバイスの良否判定方法。
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JP24623896A JP3621519B2 (ja) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | デバイスの良否判定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP24623896A JP3621519B2 (ja) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | デバイスの良否判定方法 |
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JPH1090373A JPH1090373A (ja) | 1998-04-10 |
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JP24623896A Expired - Fee Related JP3621519B2 (ja) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | デバイスの良否判定方法 |
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JP4732007B2 (ja) * | 2005-06-01 | 2011-07-27 | 株式会社アドバンテスト | 波形発生器、波形整形器、及び試験装置 |
-
1996
- 1996-09-18 JP JP24623896A patent/JP3621519B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JPH1090373A (ja) | 1998-04-10 |
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