JP4732007B2 - 波形発生器、波形整形器、及び試験装置 - Google Patents

Description

本発明は、ランプ波を生成する波形発生器、ランプ波を整形する波形整形器、及びＡＤコンバータを試験する試験装置に関する。特に、ノイズの少ないランプ波を生成する波形発生器及び波形整形器に関する。

従来、アナログデジタルコンバータ（以下、ＡＤＣという）を試験する方法として、ＡＤＣにランプ波を入力し、当該ランプ波の電圧範囲においてＡＤＣが正常に動作するか否かを試験する方法が知られている。ここで、ランプ波とは、所定の電圧範囲において、電圧値が線形に変化する波形である。

また、ＡＤＣ等のデバイスの試験においては、試験コストを低減することが望まれている。試験コストを低減する方法として、試験スループットを向上させることが知られている。例えば、ランプ波を用いたＡＤＣの試験においては、高速なランプ波を用いることにより、ＡＤＣ一つ当たりの試験時間を短縮し、試験スループットを向上させることができる。

現在、関連する特許文献等は認識していないため、その記載を省略する。

しかし、ＡＤＣの試験において、高速なランプ波を用いた場合、ランプ波の傾きが急峻となり、試験回路を広帯域化する必要がある。試験回路の帯域が十分でない場合、ランプ波形の歪みが生じてしまう。また、試験回路を広帯域化した場合、ランプ波に重畳されるノイズが増大し、測定バラツキが増大してしまう。このように、従来の装置では、高速且つ低ノイズのランプ波を生成することが困難であった。このため、ＡＤＣの試験スループットを向上させることが困難であった。

このため本発明は、上述した課題を解決することのできる波形発生器、波形整形器、及び試験装置を提供することを目的とする。この目的は、特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。

上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、ＡＤコンバータを試験する試験装置において、ＡＤコンバータに入力するランプ波を生成する波形発生器であって、所定の期間、信号値が線形に変化するランプ波を生成するランプ波形生成部と、所定の期間におけるランプ波の波形の傾きと、ローパスフィルタの時定数とに応じた振幅を有する、方形波を生成する方形波生成部と、ランプ波において信号値が変化し始めるタイミングと、方形波の前縁のタイミングとを略一致させて、ランプ波と方形波とを加算する波形加算部と、波形加算部が出力する波形から、所定の周波数帯域の成分を除去するローパスフィルタとを備える波形発生器を提供する。

本発明の第２の形態においては、ＡＤコンバータを試験する試験装置において、ＡＤコンバータに入力するランプ波を生成する波形発生器であって、所定の期間、信号値が線形に変化するランプ波を生成するランプ波形生成部と、所定の期間におけるランプ波の波形の傾きと、ローパスフィルタの時定数とに応じた振幅を有する、方形波を生成する方形波生成部と、ランプ波から、所定の周波数帯域の成分を除去する第１のローパスフィルタと、第１のローパスフィルタと略同一の特性を有し、方形波から、周波数帯域の成分を除去する第２のローパスフィルタと、第１のローパスフィルタが出力するランプ波と、第２のローパスフィルタが出力する方形波とを、ランプ波において信号値が変化し始めるタイミングと、方形波の前縁のタイミングとを略一致させて加算する波形加算部とを備える波形発生器を提供する。

本発明の第３の形態においては、ＡＤコンバータを試験する試験装置において、ＡＤコンバータに入力するランプ波を生成する波形発生器であって、所定の期間、信号値が線形に変化するランプ波を生成するランプ波形生成部と、ランプ波において信号値が変化し始めるタイミングと、前縁のタイミングとが略同一であって、ランプ波において信号の変化が終了するタイミングと、後縁のタイミングとが略同一である、方形波を生成する方形波生成部と、ランプ波において信号値が変化し始めるタイミングと、方形波の前縁のタイミングとを略一致させて、ランプ波と方形波とを加算する波形加算部と、波形加算部が出力する波形から、所定の周波数帯域の成分を除去するローパスフィルタとを備える波形発生器を提供する。

本発明の第４の形態においては、ＡＤコンバータを試験する試験装置において、ＡＤコンバータに入力するランプ波を生成する波形発生器であって、所定の期間、信号値が線形に変化するランプ波を生成するランプ波形生成部と、ランプ波において信号値が変化し始めるタイミングと、前縁のタイミングとが略同一であって、ランプ波において信号の変化が終了するタイミングと、後縁のタイミングとが略同一である、方形波を生成する方形波生成部と、ランプ波から、所定の周波数帯域の成分を除去する第１のローパスフィルタと、第１のローパスフィルタと略同一の特性を有し、方形波から、周波数帯域の成分を除去する第２のローパスフィルタと、第１のローパスフィルタが出力するランプ波と、第２のローパスフィルタが出力する方形波とを、ランプ波において信号値が変化し始めるタイミングと、方形波の前縁のタイミングとを略一致させて加算する波形加算部とを備える波形発生器を提供する。

本発明の第５の形態においては、ＡＤコンバータを試験する試験装置において、ＡＤコンバータに入力するランプ波のノイズを除去する波形整形器であって、ランプ波の波形の傾きを検出する傾き検出部と、ランプ波において、信号値が線形に変化する期間を検出する期間検出部と、傾き検出部が検出した波形の傾きと、期間検出部が検出した期間とに応じた方形波を生成する方形波生成部と、ランプ波において信号値が変化し始めるタイミングと、方形波の前縁のタイミングとを略一致させて、ランプ波と方形波とを加算する波形加算部と、波形加算部が出力する波形から、所定の周波数帯域の成分を除去するローパスフィルタとを備える波形整形器を提供する。

本発明の第６の形態においては、ＡＤコンバータを試験する試験装置において、ＡＤコンバータに入力するランプ波のノイズを除去する波形整形器であって、ランプ波の波形の傾きを検出する傾き検出部と、ランプ波において、信号値が線形に変化する期間を検出する期間検出部と、傾き検出部が検出した波形の傾きと、期間検出部が検出した期間とに応じた方形波を生成する方形波生成部と、ランプ波において信号値が変化し始めるタイミングと、方形波の前縁のタイミングとを略一致させて、ランプ波と方形波とを加算する波形加算部と、ランプ波から、所定の周波数帯域の成分を除去する第１のローパスフィルタと、第１のローパスフィルタと略同一の特性を有し、方形波から、周波数帯域の成分を除去する第２のローパスフィルタと、第１のローパスフィルタが出力するランプ波と、第２のローパスフィルタが出力する方形波とを、ランプ波において信号値が変化し始めるタイミングと、方形波の前縁のタイミングとを略一致させて加算する波形加算部とを備える波形整形器を提供する。

本発明の第７の形態においては、ＡＤコンバータを試験する試験装置であって、ＡＤコンバータに入力するランプ波を生成する、第１の形態から第５の形態のいずれかに記載の波形発生器と、ランプ波に応じてＡＤコンバータが出力するデジタル信号に基づいて、ＡＤコンバータの良否を判定する判定器とを備える試験装置を提供する。

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、本発明の実施形態に係る波形発生器１００の構成の一例を示す図である。波形発生器１００は、高速且つ低ノイズのランプ波を生成する装置である。また、波形発生器１００は、ランプ波形生成部１０、方形波生成部３０、波形加算部４０、及びローパスフィルタ５０を備える。

ランプ波形生成部１０は、波形発生器１００が出力するべきランプ波と略同一のランプ波を生成する。ローパスフィルタ５０は、ランプ波形生成部１０が出力するランプ波から、ノイズを除去して出力する。本例においてローパスフィルタ５０は、例えば抵抗及びコンデンサを有する一次フィルタである。これにより、波形発生器１００は、ノイズの少ないランプ波を出力する。しかし、ローパスフィルタ５０を用いてノイズを除去した場合、ローパスフィルタ５０の特性に応じて、ランプ波が歪んでしまう。

図２は、ローパスフィルタ５０が出力するランプ波の歪みを説明する図である。図２（ａ）は、ランプ波の波形の一例を示す。図２においては、ローパスフィルタ５０に入力されるランプ波を破線で示し、ローパスフィルタ５０が出力する波形を実線で示す。

ランプ波形生成部１０が出力するランプ波は、エッジの始点及び終点において高周波成分を有する。このため、ローパスフィルタ５０を通過したランプ波は、図２（ａ）に示すようにエッジの始点及び終点において波形がなまる。

図２（ｂ）は、ローパスフィルタ５０に入力されるランプ波と、ローパスフィルタ５０が出力するランプ波との、差分波形を示す。ローパスフィルタ５０が出力するランプ波は、波形発生器１００が出力するべきランプ波の波形に対し、図２（ｂ）に示すような誤差を有している。

図２（ｃ）は、所定の方形波の波形の一例を示す。図２（ｃ）においては、元の方形波の波形を破線で示し、ローパスフィルタ５０を通過させた場合の波形を実線で示す。図２（ｃ）に示すように、ローパスフィルタ５０を通過させた方形波の波形は、図２（ｂ）に示した差分波形を反転したものに類似する。

図２（ｂ）及び図２（ｃ）に示すように、方形波の振幅を調整することにより、ローパスフィルタ５０を通過させた方形波の波形と、図２（ｂ）に示した差分波形の反転波形とを略同一とすることができる。即ち、振幅を調整した方形波をランプ波に予め重畳し、ローパスフィルタ５０に入力することにより、ローパスフィルタ５０における波形の歪みを補償することができる。

図３は、ランプ波形生成部１０が生成するランプ波、及び方形波生成部３０が生成する方形波の波形の一例を示す図である。図３に示すように、ランプ波形生成部１０は、所定の期間（Ｔｒ）、信号値が線形に変化するランプ波を生成する。本例において、ランプ波形生成部１０は、当該所定の期間（Ｔｒ）、信号値が所定の増加率で増加するランプ波を生成する。

方形波生成部３０は、パルス幅が当該所定の期間（Ｔｒ）と略等しい、方形波を生成する。ここで、ランプ波形生成部１０が生成するランプ波において信号値が変化し始めるタイミングＴ１と、方形波生成部３０が生成する方形波の前縁のタイミングＴ１とは略同一である。また、当該ランプ波において信号値の変化が終了するタイミングＴ２と、当該方形波の後縁のタイミングＴ２とは略同一である。また、当該期間（Ｔｒ）においてランプ波の信号値が増加する場合、方形波生成部３０は、立ち上がりエッジを前縁とし、立ち下がりエッジを後縁とする方形波を生成する。また、当該期間（Ｔｒ）においてランプ波の信号値が減少する場合、方形波生成部３０は、立ち下がりエッジを前縁として、立ち上がりエッジを後縁とする方形波を生成する。

波形加算部４０は、ランプ波形生成部１０が出力するランプ波において信号値が変化し始めるタイミングと、方形波生成部３０が出力する方形波の前縁のタイミングを略一致させて、当該ランプ波と当該方形波とを加算する。また、波形加算部４０は、加算した波形をローパスフィルタ５０に入力する。これにより、図２において説明したように、ローパスフィルタ５０における波形の歪みを補償することができる。

また、方形波生成部３０は、図２において説明した差分波形と略同一の振幅を有する方形波を生成することが好ましい。当該差分波形の振幅は、ランプ波の波形の傾きと、ローパスフィルタ５０の時定数によって定まる。ここで、ランプ波の波形の傾きとは、ランプ波の振幅Ｖ１を、当該所定の期間Ｔｒで除算することにより得られる値である。つまり、方形波生成部３０は、ランプ波の波形の傾きと、ローパスフィルタ５０の時定数とに応じた振幅を有する方形波を生成することが好ましい。

具体的には、方形波生成部３０は、下式に応じた振幅の方形波を生成する。但し、下式においてＶ２は方形波の振幅を示し、τはローパスフィルタ５０の時定数を示し、Ａはランプ波の波形の傾きを示す。
Ｖ２＝Ｖ１×τ／Ｔｒ＝τ×Ａ ・・・式（１）

方形波生成部３０は、ローパスフィルタ５０の時定数及びランプ波形生成部１０が生成するランプ波の傾きが与えられてよい。また、波形発生器１００は、ランプ波形生成部１０が生成するランプ波の波形の傾きを検出する傾き検出部を更に備えてもよい。この場合、傾き検出部は、検出した傾きを方形波生成部３０に通知する。

本例における波形発生器１００によれば、ノイズを低減し、且つ波形の歪みの少ないランプ波を生成することができる。また、ローパスフィルタ５０等の回路の周波数特性に応じて、ランプ波の波形の歪みを補償するので、回路の周波数特性によらず直線性のよいランプ波を生成することができる。このため、高速なランプ波を生成することが可能となり、例えばＡＤＣの試験時間を短縮することができる。

図４は、波形発生器１００の回路構成の一例を示す図である。本例におけるランプ波形生成部１０は、電流源１２、スイッチ１４、コンデンサ１６、スイッチ１８、電圧源２０、バッファ２２、及び抵抗成分２４を有する。

電流源１２は、スイッチ１４を介してコンデンサ１６と接続される。つまり、電流源１２は、スイッチ１４がオン状態となる間、コンデンサ１６を充電する。コンデンサ１６は、電流源１２により充電され、充電された電荷量に応じた電圧を生成する。本例においては、所定の期間（Ｔｒ）、スイッチ１４がオン状態に制御される。これにより、コンデンサ１６は、電流源１２が生成する電流に応じた傾きを有するランプ波を生成する。

電圧源２０は、スイッチ１８を介してコンデンサ１６と接続される。電圧源２０は、コンデンサ１６の初期電圧を規定する。つまり、コンデンサ１６に電流源１２が接続される前に、電圧源２０をコンデンサ１６に接続することにより、コンデンサ１６に、電圧源２０が生成する電圧に応じた初期電圧を印加する。その後、スイッチ１８を開放し、スイッチ１４を短絡することにより、ランプ波を生成する。コンデンサ１６は、バッファ２２及び抵抗成分２４を介して、ランプ波を波形加算部４０に出力する。

また、本例における方形波生成部３０は、電圧源３２、スイッチ３４、及び抵抗成分３６を有する。電圧源３２は、生成するべき方形波の振幅と略同一の電圧を生成する。また、電圧源３２は、式（１）において説明した電圧Ｖ２を生成してよい。この場合、電圧源３２は、可変電源及び制御部を有してよい。当該制御部は、ローパスフィルタ５０の時定数及びランプ波の波形の傾きが与えられ、可変電源が生成する電圧を制御してよい。

スイッチ３４は、電圧源３２と、方形波生成部３０の出力端との間に設けられ、電圧源３２が出力する電圧を、外部に出力するか否かを制御する。スイッチ３４は、スイッチ１４と同期して制御される。つまり、スイッチ３４は、スイッチ１４と略同時に短絡又は開放される。これにより、ランプ波形生成部１０が生成するランプ波と、方形波生成部３０が生成する方形波を同期して出力することができる。

また、本例において波形加算部４０は、反転アンプ４２を有する。ランプ波形生成部１０が生成したランプ波、及び方形波生成部３０が生成した方形波は、反転アンプ４２の反転入力端に加算して入力される。

また、本例においてローパスフィルタ５０は、コンデンサ５２及び抵抗成分５４を有する。コンデンサ５２及び抵抗成分５４は、反転アンプ４２の出力端と反転入力端との間に並列に設けられる。

このような構成においては、反転アンプ４２の出力端におけるランプ波の成分の振幅Ｖ１と、方形波の成分の振幅Ｖ２は、下式で与えられる。電圧源３２は、式（２）に示すＶ１及びＶ２が、式（１）を満たすようなＶｓを生成する。
Ｖ１＝（Ｒ２／Ｒ１）×Ｉ×Ｔｒ／Ｃ１
Ｖ２＝−（Ｒ２／Ｒ３）×Ｖｓ ・・・式（２）
但し、式（２）においてＲ１は抵抗成分２４の抵抗値、Ｒ２は抵抗成分５４の抵抗値、Ｒ３は抵抗成分３６の抵抗値、Ｉは電流源１２が生成する電流値、Ｖｓは電圧源３２が生成する電圧値、Ｃ１はコンデンサ１６の容量値を示す。また、ローパスフィルタ５０の時定数τは、コンデンサ５２の容量値と、Ｒ２との積によって与えられる。

また、本例においては、コンデンサ１６を充電することによりランプ波を生成したが、他の例においては、コンデンサ１６を放電することによりランプ波を生成してもよい。この場合、電流源１２がコンデンサ１６を放電させる電流を生成する。

図５は、波形発生器１００の構成の他の例を示す図である。本例における波形発生器１００は、波形データ生成部６０、波形メモリ７０、デジタルアナログコンバータ（以下、ＤＡＣという）８０、及びローパスフィルタ５０を備える。

波形データ生成部６０は、図１に関連して説明したランプ波形生成部１０及び方形波生成部３０が生成するべきランプ波及び方形波を、デジタルデータに変換したデータを生成する。また、波形データ生成部６０は、ランプ波及び方形波のデジタルデータを加算した波形データを生成する。

波形メモリ７０は、波形データ生成部６０が生成した波形データを格納する。ＤＡＣ８０は、波形データ生成部６０が格納した波形データをアナログ信号に変換する。当該アナログ信号は、図１に関連して説明したランプ波形生成部１０及び方形波生成部３０が生成するランプ波及び方形波を加算した信号と略等しい。ローパスフィルタ５０は、ＤＡＣ８０が出力する信号を通過させる。このような構成によっても、ノイズが小さく、且つ歪みを低減したランプ波を生成することができる。

図６は、波形発生器１００の構成の他の例を示す図である。図１において説明した波形発生器１００は、ランプ波及び方形波を加算した後にローパスフィルタ５０を通過させたが、本例における波形発生器１００は、それぞれローパスフィルタ５０を通過させたランプ波及び方形波を加算する。本例における波形発生器１００は、ランプ波形生成部１０、方形波生成部３０、２つのローパスフィルタ５０、及び波形加算部４０を備える。ランプ波形生成部１０及び方形波生成部３０は、図１に関連して説明したランプ波形生成部１０及び方形波生成部３０と同一である。

ローパスフィルタ５０は、ランプ波形生成部１０及び方形波生成部３０と対応してそれぞれ設けられる。それぞれのローパスフィルタ５０は、図１において説明したローパスフィルタ５０と同一である。また、それぞれのローパスフィルタ５０は、略同一の特性を有する。つまり、ランプ波形生成部１０に対応するローパスフィルタ５０は、ランプ波形生成部１０が出力するランプ波から、所定の周波数成分を除去し、方形波生成部３０と対応するローパスフィルタ５０は、方形波生成部３０が出力する方形波から、当該所定の周波数成分を除去する。

波形加算部４０は、それぞれのローパスフィルタ５０が出力する信号を加算し、ランプ波として出力する。このような構成によっても、低ノイズ且つ低歪みのランプ波を生成することができる。

図７は、本発明の実施形態に係る波形整形器２００の構成の一例を示す図である。波形整形器２００は、入力されるランプ波のノイズを除去して出力する装置であって、傾き検出部２１０、期間検出部２２０、方形波生成部２３０、波形加算部４０、及びローパスフィルタ５０を備える。

傾き検出部２１０は、入力されるランプ波の波形の傾きを検出する。また、期間検出部２２０は、入力されるランプ波において、信号値が線形に変化する期間（Ｔｒ）を検出する。傾き検出部２１０は、入力されるランプ波の振幅と、期間検出部２２０が検出する期間とに基づいて、波形の傾きを検出してもよい。また、傾き検出部２１０及び期間検出部２２０は、ランプ波を生成する外部の波形発生器から、当該ランプ波の傾き及び期間（Ｔｒ）を通知されてよく、また当該傾き及び期間が、使用者から予め与えられてもよい。

方形波生成部２３０は、傾き検出部２１０が検出したランプ波の波形の傾き、及びローパスフィルタ５０の時定数に応じた振幅を有し、期間検出部２２０が検出した期間に応じたパルス幅を有する方形波を生成する。波形加算部４０及びローパスフィルタ５０は、図１に関連して説明した波形加算部４０及びローパスフィルタ５０と同一の機能及び構成を有する。

本例における波形整形器２００によれば、与えられるランプ波におけるノイズを除去し、且つ歪みの小さいランプ波を出力することができる。

図８は、波形整形器２００の構成の他の例を示す図である。本例における波形整形器２００は、図６において説明した波形発生器１００と同様に、それぞれローパスフィルタ５０を通過させたランプ波及び方形波を加算する。つまり、本例における波形整形器２００は、図７において説明した波形整形器２００の構成に対して、ローパスフィルタ５０に代えて、第１及び第２のローパスフィルタ５０を備える。

第１のローパスフィルタ５０は、入力されるランプ波の所定の周波数成分を除去し、波形加算部４０に入力する。また第２のローパスフィルタ５０は、方形波生成部２３０が出力する方形波の当該所定の周波数成分を除去し、波形加算部４０に入力する。これらのローパスフィルタ５０は、略同一の周波数特性を有する。

このような構成によっても、与えられるランプ波におけるノイズを除去し、且つ歪みの小さいランプ波を出力することができる。

図９は、ＡＤＣ４００を試験する試験装置３００の構成の一例を示す図である。試験装置３００は、波形発生器１００及び判定器３１０を備える。波形発生器１００は、図１から図６において説明した波形発生器１００と同一である。波形発生器１００は、生成したランプ波をＡＤＣ４００に入力する。

判定器３１０は、ランプ波に応じてＡＤＣ４００が出力するデジタル信号に基づいて、ＡＤＣ４００の良否を判定する。例えば、判定器３１０は、与えられる期待値信号と、当該デジタル信号とを比較することにより、ＡＤＣ４００の良否を判定してよい。

本例における試験装置３００によれば、低ノイズ且つ低歪みのランプ波を用いてＡＤＣ４００を試験することができるので、精度よくＡＤＣ４００の良否を判定することができる。また、高速にランプ波を生成することができるので、効率よくＡＤＣ４００の試験を行うことができる。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

以上から明らかなように、本発明によれば、ノイズを低減し、且つ波形の歪みの少ないランプ波を生成することができる。

本発明の実施形態に係る波形発生器１００の構成の一例を示す図である。 ローパスフィルタ５０が出力するランプ波の歪みを説明する図である。 ランプ波形生成部１０が生成するランプ波、及び方形波生成部３０が生成する方形波の波形の一例を示す図である。 波形発生器１００の回路構成の一例を示す図である。 波形発生器１００の構成の他の例を示す図である。 波形発生器１００の構成の他の例を示す図である。 本発明の実施形態に係る波形整形器２００の構成の一例を示す図である。 波形整形器２００の構成の他の例を示す図である。 ＡＤＣ４００を試験する試験装置３００の構成の一例を示す図である。

１０・・・ランプ波形生成部、１２・・・電流源、１４・・・スイッチ、１６・・・コンデンサ、１８・・・スイッチ、２０・・・電圧源、２２・・・バッファ、２４・・・抵抗成分、３０・・・方形波生成部、３２・・・電圧源、３４・・・スイッチ、３６・・・抵抗成分、４０・・・波形加算部、４２・・・反転アンプ、５０・・・ローパスフィルタ、５２・・・コンデンサ、５４・・・抵抗成分、６０・・・波形データ生成部、７０・・・波形メモリ、８０・・・デジタルアナログコンバータ、１００・・・波形発生器、２００・・・波形整形器、２１０・・・傾き検出部、２２０・・・期間検出部、２３０・・・方形波生成部、３００・・・試験装置、３１０・・・判定器

Claims (9)

1. ＡＤコンバータを試験する試験装置において、前記ＡＤコンバータに入力するランプ波を生成する波形発生器であって、
   所定の期間、信号値が線形に変化するランプ波を生成するランプ波形生成部と、
   前記所定の期間における前記ランプ波の波形の傾きと、ローパスフィルタの時定数とに応じた振幅を有する、方形波を生成する方形波生成部と、
   前記ランプ波において信号値が変化し始めるタイミングと、前記方形波の前縁のタイミングとを略一致させて、前記ランプ波と前記方形波とを加算する波形加算部と、
   前記波形加算部が出力する波形から、所定の周波数帯域の成分を除去するローパスフィルタと
   を備える波形発生器。
2. ＡＤコンバータを試験する試験装置において、前記ＡＤコンバータに入力するランプ波を生成する波形発生器であって、
   所定の期間、信号値が線形に変化するランプ波を生成するランプ波形生成部と、
   前記所定の期間における前記ランプ波の波形の傾きと、ローパスフィルタの時定数とに応じた振幅を有する、方形波を生成する方形波生成部と、
   前記ランプ波から、所定の周波数帯域の成分を除去する第１のローパスフィルタと、
   前記第１のローパスフィルタと略同一の特性を有し、前記方形波から、前記周波数帯域の成分を除去する第２のローパスフィルタと、
   前記第１のローパスフィルタが出力する前記ランプ波と、前記第２のローパスフィルタが出力する前記方形波とを、前記ランプ波において信号値が変化し始めるタイミングと、前記方形波の前縁のタイミングとを略一致させて加算する波形加算部と
   を備える波形発生器。
3. ＡＤコンバータを試験する試験装置において、前記ＡＤコンバータに入力するランプ波を生成する波形発生器であって、
   所定の期間、信号値が線形に変化するランプ波を生成するランプ波形生成部と、
   前記ランプ波において信号値が変化し始めるタイミングと、前縁のタイミングとが略同一であって、前記ランプ波において信号の変化が終了するタイミングと、後縁のタイミングとが略同一である、方形波を生成する方形波生成部と、
   前記ランプ波において信号値が変化し始めるタイミングと、前記方形波の前縁のタイミングとを略一致させて、前記ランプ波と前記方形波とを加算する波形加算部と、
   前記波形加算部が出力する波形から、所定の周波数帯域の成分を除去するローパスフィルタと
   を備える波形発生器。
4. ＡＤコンバータを試験する試験装置において、前記ＡＤコンバータに入力するランプ波を生成する波形発生器であって、
   所定の期間、信号値が線形に変化するランプ波を生成するランプ波形生成部と、
   前記ランプ波において信号値が変化し始めるタイミングと、前縁のタイミングとが略同一であって、前記ランプ波において信号の変化が終了するタイミングと、後縁のタイミングとが略同一である、方形波を生成する方形波生成部と、
   前記ランプ波から、所定の周波数帯域の成分を除去する第１のローパスフィルタと、
   前記第１のローパスフィルタと略同一の特性を有し、前記方形波から、前記周波数帯域の成分を除去する第２のローパスフィルタと、
   前記第１のローパスフィルタが出力する前記ランプ波と、前記第２のローパスフィルタが出力する前記方形波とを、前記ランプ波において信号値が変化し始めるタイミングと、前記方形波の前縁のタイミングとを略一致させて加算する波形加算部と
   を備える波形発生器。
5. 前記方形波生成部は、前記波形の傾きと、前記時定数とを乗算した値に応じた振幅を有する、前記方形波を生成する
   請求項１または２に記載の波形発生器。
6. 前記ランプ波の波形の傾きを検出する傾き検出部を更に備え、
   前記方形波生成部は、前記傾き検出部が検出した前記波形の傾きに基づいて、前記方形波を生成する
   請求項１、２または５に記載の波形発生器。
7. ＡＤコンバータを試験する試験装置において、前記ＡＤコンバータに入力するランプ波のノイズを除去する波形整形器であって、
   前記ランプ波の波形の傾きを検出する傾き検出部と、
   前記ランプ波において、信号値が線形に変化する期間を検出する期間検出部と、
   前記傾き検出部が検出した前記波形の傾きと、前記期間検出部が検出した前記期間とに応じた方形波を生成する方形波生成部と、
   前記ランプ波において信号値が変化し始めるタイミングと、前記方形波の前縁のタイミングとを略一致させて、前記ランプ波と前記方形波とを加算する波形加算部と、
   前記波形加算部が出力する波形から、所定の周波数帯域の成分を除去するローパスフィルタと
   を備える波形整形器。
8. ＡＤコンバータを試験する試験装置において、前記ＡＤコンバータに入力するランプ波のノイズを除去する波形整形器であって、
   前記ランプ波の波形の傾きを検出する傾き検出部と、
   前記ランプ波において、信号値が線形に変化する期間を検出する期間検出部と、
   前記傾き検出部が検出した前記波形の傾きと、前記期間検出部が検出した前記期間とに応じた方形波を生成する方形波生成部と、
   前記ランプ波において信号値が変化し始めるタイミングと、前記方形波の前縁のタイミングとを略一致させて、前記ランプ波と前記方形波とを加算する波形加算部と、
   前記ランプ波から、所定の周波数帯域の成分を除去する第１のローパスフィルタと、
   前記第１のローパスフィルタと略同一の特性を有し、前記方形波から、前記周波数帯域の成分を除去する第２のローパスフィルタと、
   前記第１のローパスフィルタが出力する前記ランプ波と、前記第２のローパスフィルタが出力する前記方形波とを、前記ランプ波において信号値が変化し始めるタイミングと、前記方形波の前縁のタイミングとを略一致させて加算する波形加算部と
   を備える波形整形器。
9. ＡＤコンバータを試験する試験装置であって、
   前記ＡＤコンバータに入力するランプ波を生成する、請求項１から５のいずれか一項に記載の波形発生器と、
   前記ランプ波に応じて前記ＡＤコンバータが出力するデジタル信号に基づいて、前記ＡＤコンバータの良否を判定する判定器と
   を備える試験装置。

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