JPH1090373A - デバイスの良否判定方法 - Google Patents
デバイスの良否判定方法Info
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- JPH1090373A JPH1090373A JP8246238A JP24623896A JPH1090373A JP H1090373 A JPH1090373 A JP H1090373A JP 8246238 A JP8246238 A JP 8246238A JP 24623896 A JP24623896 A JP 24623896A JP H1090373 A JPH1090373 A JP H1090373A
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- JP
- Japan
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- voltage
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 デバイスの良否判定に必要となる時間のほと
んどが、ランプ波電圧を入力し、ＡＤ変換されたデジタ
ル値を取り込むために費やされており、その時間の短縮
が望まれる。 【解決手段】 デバイスに印加する電圧のステップ幅を
測定分解能のＭ倍に設定して測定を行い、その後、ステ
ップ幅を徐々に狭く設定して順次測定を行い、デバイス
が不良と判断された場合はその時点で測定を終了する。
んどが、ランプ波電圧を入力し、ＡＤ変換されたデジタ
ル値を取り込むために費やされており、その時間の短縮
が望まれる。 【解決手段】 デバイスに印加する電圧のステップ幅を
測定分解能のＭ倍に設定して測定を行い、その後、ステ
ップ幅を徐々に狭く設定して順次測定を行い、デバイス
が不良と判断された場合はその時点で測定を終了する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＡＤコンバータが
内蔵されたデバイスの良否判定を行う方法に関し、特
に、ＡＤコンバータの非直線性誤差及び微分直線性誤差
を測定することにより、被測定デバイスの良否判定を行
う方法に関する。
内蔵されたデバイスの良否判定を行う方法に関し、特
に、ＡＤコンバータの非直線性誤差及び微分直線性誤差
を測定することにより、被測定デバイスの良否判定を行
う方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ＡＤコンバータが内蔵された
デバイスに対し、ＡＤコンバータの非直線性誤差及び微
分直線性誤差を測定することにより良否判定を行う場
合、被測定デバイスにランプ波電圧を印加し、印加され
たランプ波電圧を用いてＡＤコンバータの非直線性誤差
及び微分直線性誤差を測定し、それにより、良否判定が
行われている。
デバイスに対し、ＡＤコンバータの非直線性誤差及び微
分直線性誤差を測定することにより良否判定を行う場
合、被測定デバイスにランプ波電圧を印加し、印加され
たランプ波電圧を用いてＡＤコンバータの非直線性誤差
及び微分直線性誤差を測定し、それにより、良否判定が
行われている。
【０００３】図３は、従来の、良否判定を行うために被
測定デバイスに印加されるランプ波電圧の一例を示す図
である。
測定デバイスに印加されるランプ波電圧の一例を示す図
である。
【０００４】被測定デバイスに印加されるランプ波電圧
は図３に示すように、良否判定に必要な測定分解能のス
テップ幅（ΔＶ）を有している。したがって、ｎｂｉｔ
のＡＤコンバータを（１／Ｎ）ＬＳＢの測定分解能で測
定するためには、２n×Ｎステップのランプ波電圧が用
られている。
は図３に示すように、良否判定に必要な測定分解能のス
テップ幅（ΔＶ）を有している。したがって、ｎｂｉｔ
のＡＤコンバータを（１／Ｎ）ＬＳＢの測定分解能で測
定するためには、２n×Ｎステップのランプ波電圧が用
られている。
【０００５】図３に示したランプ波電圧を用いて被測定
デバイスの良否判定を行う場合は、まず、被測定デバイ
スに図３に示したランプ波電圧を順次印加する。
デバイスの良否判定を行う場合は、まず、被測定デバイ
スに図３に示したランプ波電圧を順次印加する。
【０００６】すると、被測定デバイス内のＡＤコンバー
タにおいて、印加されたランプ波電圧がデジタル値に変
換され、キャプチャメモリに格納される。
タにおいて、印加されたランプ波電圧がデジタル値に変
換され、キャプチャメモリに格納される。
【０００７】次に、キャプチャメモリに格納されたデジ
タル値がＤＳＰに転送され、演算が行われて非直線性誤
差及び微分直線性誤差が求められる。
タル値がＤＳＰに転送され、演算が行われて非直線性誤
差及び微分直線性誤差が求められる。
【０００８】その後、求められた非直線性誤差及び微分
直線性誤差に基づいて、被測定デバイスの良否判定が行
われる。
直線性誤差に基づいて、被測定デバイスの良否判定が行
われる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
ものにおいては、被測定デバイスの良否判定に必要とな
る時間のほとんどが、ランプ波電圧を入力し、ＡＤ変換
されたデジタル値を取り込むために費やされている。
ものにおいては、被測定デバイスの良否判定に必要とな
る時間のほとんどが、ランプ波電圧を入力し、ＡＤ変換
されたデジタル値を取り込むために費やされている。
【００１０】そこで、測定分解能のステップ幅を広くす
れば、被測定デバイスの良否判定に必要となる時間を短
縮することができるが、その場合、良否判定の精度が低
下してしまう。
れば、被測定デバイスの良否判定に必要となる時間を短
縮することができるが、その場合、良否判定の精度が低
下してしまう。
【００１１】しかし、良否判定に必要な測定分解能より
も広いステップ幅を用いた測定において不良と判断する
ことができるものにおいては、不良と判断するのに十分
なレベルまでステップ幅を広くすれば、その不良品を不
良と判断するために費やされる時間を短縮することがで
きる。
も広いステップ幅を用いた測定において不良と判断する
ことができるものにおいては、不良と判断するのに十分
なレベルまでステップ幅を広くすれば、その不良品を不
良と判断するために費やされる時間を短縮することがで
きる。
【００１２】本発明は、上述したような従来の技術が有
する問題点に鑑みてなされたものであって、ＡＤコンバ
ータが内蔵されたデバイスの良否判定試験を高速に行う
ことによりデバイス試験にかかるコストを低減させるこ
とができるデバイスの良否判定方法を提供することを目
的とする。
する問題点に鑑みてなされたものであって、ＡＤコンバ
ータが内蔵されたデバイスの良否判定試験を高速に行う
ことによりデバイス試験にかかるコストを低減させるこ
とができるデバイスの良否判定方法を提供することを目
的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、ＡＤコンバータが内蔵されたデバイスに対
し、所定の測定分解能を有するランプ波電圧を印加し、
印加されたランプ波電圧を用いてＡＤコンバータの非直
線性誤差及び微分直線性誤差を測定し、それにより、前
記デバイスの良否判定を行うデバイスの良否判定方法で
あって、前記デバイスに印加する電圧のステップ幅を前
記測定分解能のＭ倍（Ｍは自然数）に設定して測定を行
い、その後、前記ステップ幅を徐々に狭く設定して順次
測定を行い、前記デバイスが不良と判断された場合は測
定を終了することを特徴とする。
に本発明は、ＡＤコンバータが内蔵されたデバイスに対
し、所定の測定分解能を有するランプ波電圧を印加し、
印加されたランプ波電圧を用いてＡＤコンバータの非直
線性誤差及び微分直線性誤差を測定し、それにより、前
記デバイスの良否判定を行うデバイスの良否判定方法で
あって、前記デバイスに印加する電圧のステップ幅を前
記測定分解能のＭ倍（Ｍは自然数）に設定して測定を行
い、その後、前記ステップ幅を徐々に狭く設定して順次
測定を行い、前記デバイスが不良と判断された場合は測
定を終了することを特徴とする。
【００１４】また、ＡＤコンバータが内蔵されたデバイ
スに対し、所定の測定分解能を有する正弦波電圧を印加
し、印加された正弦波電圧を用いてＡＤコンバータの非
直線性誤差及び微分直線性誤差を測定し、それにより、
前記デバイスの良否判定を行うデバイスの良否判定方法
であって、前記デバイスに印加する電圧のステップ幅を
前記測定分解能のＭ倍（Ｍは自然数）に設定して測定を
行い、その後、前記ステップ幅を徐々に狭く設定して順
次測定を行い、前記デバイスが不良と判断された場合は
測定を終了することを特徴とする。
スに対し、所定の測定分解能を有する正弦波電圧を印加
し、印加された正弦波電圧を用いてＡＤコンバータの非
直線性誤差及び微分直線性誤差を測定し、それにより、
前記デバイスの良否判定を行うデバイスの良否判定方法
であって、前記デバイスに印加する電圧のステップ幅を
前記測定分解能のＭ倍（Ｍは自然数）に設定して測定を
行い、その後、前記ステップ幅を徐々に狭く設定して順
次測定を行い、前記デバイスが不良と判断された場合は
測定を終了することを特徴とする。
【００１５】また、前記ステップ幅を、１回目の測定に
おいて前記測定分解能のＭ倍、２回目の測定において前
記測定分解能のＭ／２倍、３回目の測定において前記測
定分解能のＭ／３倍というように、Ｎ回目の測定におい
て前記測定分解能のＭ／Ｎ倍とし、測定をＭ回繰り返し
行うことを特徴とする。
おいて前記測定分解能のＭ倍、２回目の測定において前
記測定分解能のＭ／２倍、３回目の測定において前記測
定分解能のＭ／３倍というように、Ｎ回目の測定におい
て前記測定分解能のＭ／Ｎ倍とし、測定をＭ回繰り返し
行うことを特徴とする。
【００１６】（作用）上記のように構成された本発明に
おいては、デバイスに印加する電圧のステップ幅を測定
分解能のＭ倍に設定して測定を行い、その後、ステップ
幅を徐々に狭く設定して順次測定を行い、デバイスが不
良と判断された場合はその時点で測定を終了する。
おいては、デバイスに印加する電圧のステップ幅を測定
分解能のＭ倍に設定して測定を行い、その後、ステップ
幅を徐々に狭く設定して順次測定を行い、デバイスが不
良と判断された場合はその時点で測定を終了する。
【００１７】これにより、不良品においては、不良と判
断するのに十分な広さのステップ幅において不良品と判
断されるので、測定時間が短縮される。
断するのに十分な広さのステップ幅において不良品と判
断されるので、測定時間が短縮される。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。
いて図面を参照して説明する。
【００１９】図１は、本発明のデバイスの良否判定方法
における、被測定デバイスに印加されるランプ波電圧の
一例を示す図である。
における、被測定デバイスに印加されるランプ波電圧の
一例を示す図である。
【００２０】図１に示すように本形態においては、ラン
プ波電圧の電圧ステップ幅を良否判定に必要な測定分解
能のステップ幅（ΔＶ：（１／Ｎ）ＬＳＢ）のＭ倍にす
る。ランプ波電圧は、２n×Ｎ／Ｍのステップとなる。
プ波電圧の電圧ステップ幅を良否判定に必要な測定分解
能のステップ幅（ΔＶ：（１／Ｎ）ＬＳＢ）のＭ倍にす
る。ランプ波電圧は、２n×Ｎ／Ｍのステップとなる。
【００２１】被測定デバイスに（Ｎ／Ｍ）個になったラ
ンプ波電圧を印加し、従来の方法と同様にＡＤ変換され
たデータをキャプチャメモリに取り込み、非直線性誤差
及び微分直線性誤差を求める。
ンプ波電圧を印加し、従来の方法と同様にＡＤ変換され
たデータをキャプチャメモリに取り込み、非直線性誤差
及び微分直線性誤差を求める。
【００２２】このときの測定分解能は、（Ｍ／Ｎ）ＬＳ
Ｂとなり、測定分解能は十分ではない。しかし、良否判
定値＋（Ｍ／Ｎ）ＬＳＢより悪い非直線性誤差及び微分
直線性誤差を持つ被測定デバイスはここで不良とし、測
定を終了する。
Ｂとなり、測定分解能は十分ではない。しかし、良否判
定値＋（Ｍ／Ｎ）ＬＳＢより悪い非直線性誤差及び微分
直線性誤差を持つ被測定デバイスはここで不良とし、測
定を終了する。
【００２３】ここまでに取り込まれたデータは、測定分
解能のステップ幅がΔＶである場合の（１／Ｍ）倍であ
るため、測定に費やされる時間も（１／Ｍ）倍となる。
ここで、不良品となるデバイスにおいては、必ずしも
（１／Ｎ）ＬＳＢの測定分解能は必要ではない。
解能のステップ幅がΔＶである場合の（１／Ｍ）倍であ
るため、測定に費やされる時間も（１／Ｍ）倍となる。
ここで、不良品となるデバイスにおいては、必ずしも
（１／Ｎ）ＬＳＢの測定分解能は必要ではない。
【００２４】次に、上記測定で良品と判断されたデバイ
スに対して、（Ｍ／（Ｎ×２））ＬＳＢ相当のオフセッ
ト電圧を加えたランプ波電圧を印加し、同様にＡＤ変換
されたデータをキャプチャメモリに取り込み、これ以前
に取り込まれたデータとあわせて非直線性誤差及び微分
直線性誤差を求める。
スに対して、（Ｍ／（Ｎ×２））ＬＳＢ相当のオフセッ
ト電圧を加えたランプ波電圧を印加し、同様にＡＤ変換
されたデータをキャプチャメモリに取り込み、これ以前
に取り込まれたデータとあわせて非直線性誤差及び微分
直線性誤差を求める。
【００２５】このときの測定分解能は、（Ｍ／（Ｎ×
２））ＬＳＢとなる。良否判定値＋（Ｍ／（Ｎ×２））
ＬＳＢより悪い非直線性誤差及び微分直線性誤差を持つ
被測定デバイスはここで不良と判断し、測定を終了す
る。
２））ＬＳＢとなる。良否判定値＋（Ｍ／（Ｎ×２））
ＬＳＢより悪い非直線性誤差及び微分直線性誤差を持つ
被測定デバイスはここで不良と判断し、測定を終了す
る。
【００２６】同様に、良品と判断されたデバイスに対し
て、ランプ波電圧に適切なオフセット電圧を加え、上記
測定を繰り返す。ｍ回目の測定における測定分解能が
（Ｍ／（Ｎ×ｍ））ＬＳＢとなるようにすれば、全部で
Ｍ回の測定を繰り返したときに、デバイスを良品と判断
するのに必要な測定分解能で測定したことになる。
て、ランプ波電圧に適切なオフセット電圧を加え、上記
測定を繰り返す。ｍ回目の測定における測定分解能が
（Ｍ／（Ｎ×ｍ））ＬＳＢとなるようにすれば、全部で
Ｍ回の測定を繰り返したときに、デバイスを良品と判断
するのに必要な測定分解能で測定したことになる。
【００２７】測定時間のほとんどは、ランプ波電圧を入
力し、ＡＤ変換されたデータを取り込む時間である。デ
ータ転送、演算処理及び判定を行うための時間は、これ
を処理するシステムに依存するが、データ処理を並列に
行うことができる試験装置では処理時間を必要としな
い。
力し、ＡＤ変換されたデータを取り込む時間である。デ
ータ転送、演算処理及び判定を行うための時間は、これ
を処理するシステムに依存するが、データ処理を並列に
行うことができる試験装置では処理時間を必要としな
い。
【００２８】したがって、上記手法を用いれば、良品に
おいては従来と同じ分解能、測定時間だが、不良品にお
いては測定時間を短縮することができる。
おいては従来と同じ分解能、測定時間だが、不良品にお
いては測定時間を短縮することができる。
【００２９】それにより、デバイスの良否判定を行う検
査ラインにおいて、検査時間の短縮を行い、試験にかか
るコストの低減を図ることができる。
査ラインにおいて、検査時間の短縮を行い、試験にかか
るコストの低減を図ることができる。
【００３０】なお、上述した繰り返し処理におけるラン
プ波電圧は図１に示すように、単調増加と単調減少を交
互に行えば、波形切替え時におけるセットリング時間が
短縮される。
プ波電圧は図１に示すように、単調増加と単調減少を交
互に行えば、波形切替え時におけるセットリング時間が
短縮される。
【００３１】以下に、上述した処理についてフローを参
照して詳細に説明する。
照して詳細に説明する。
【００３２】図２は、本発明のデバイスの良否判定方法
における処理の流れの一例を示すフローチャートであ
る。
における処理の流れの一例を示すフローチャートであ
る。
【００３３】まず、良否判定値が本来の良否判定値に対
してΔＶだけ緩い値となるように、ｍ＝１に設定する
（ステップＳ１）。
してΔＶだけ緩い値となるように、ｍ＝１に設定する
（ステップＳ１）。
【００３４】次に、オフセット電圧ΔＶ"（ｍ）を決定
する（ステップＳ２）。
する（ステップＳ２）。
【００３５】次に、ＡＤコンバータに印加する初期電圧
を設定する（ステップＳ３）。
を設定する（ステップＳ３）。
【００３６】次に、ＡＤコンバータに電圧Ｖ＋ΔＶ"
（ｍ）を印加する（ステップＳ４）。
（ｍ）を印加する（ステップＳ４）。
【００３７】次に、ＡＤコンバータにおいてデジタル値
に変換されたデータをキャプチャメモリに取り込む（ス
テップＳ５）。
に変換されたデータをキャプチャメモリに取り込む（ス
テップＳ５）。
【００３８】次に、ＡＤコンバータに印加する電圧の置
き換えを行い（ステップＳ６）、その後、同一の測定分
解能における測定回数が所定の回数に達したかどうかを
判断し、所定の回数に達していなければステップＳ４に
戻る（ステップＳ７）。
き換えを行い（ステップＳ６）、その後、同一の測定分
解能における測定回数が所定の回数に達したかどうかを
判断し、所定の回数に達していなければステップＳ４に
戻る（ステップＳ７）。
【００３９】ステップＳ７において、所定の回数に達し
ていると判断されると、キャプチャメモリに取り込まれ
たデータをＤＳＰに転送し、非直線性誤差及び微分直線
性誤差の演算を行う（ステップＳ８）。
ていると判断されると、キャプチャメモリに取り込まれ
たデータをＤＳＰに転送し、非直線性誤差及び微分直線
性誤差の演算を行う（ステップＳ８）。
【００４０】その後、測定分解能を変更し（ステップＳ
９）、良否判定値を決定する（ステップＳ１０）。
９）、良否判定値を決定する（ステップＳ１０）。
【００４１】ステップＳ１０において決定した良否判定
値に基づいて良否判定を行うとともに、測定回数が所定
の回数に達したかどうかの判断を行い、不良品または所
定の回数に達していれば処理を終了し、そうでなければ
ステップＳ２に戻る（ステップＳ１１）。
値に基づいて良否判定を行うとともに、測定回数が所定
の回数に達したかどうかの判断を行い、不良品または所
定の回数に達していれば処理を終了し、そうでなければ
ステップＳ２に戻る（ステップＳ１１）。
【００４２】（他の実施の形態）上述した実施の形態
は、ＡＤコンバータにランプ波電圧を印加することによ
り、デバイスの良否判定を行うものであるが、ＡＤコン
バータに正弦波信号を印加し、デバイスのＡＣ特性を測
定するものもある。
は、ＡＤコンバータにランプ波電圧を印加することによ
り、デバイスの良否判定を行うものであるが、ＡＤコン
バータに正弦波信号を印加し、デバイスのＡＣ特性を測
定するものもある。
【００４３】デバイスに正弦波信号を印加し、ＡＤ変換
されたデータをキャプチャメモリに取り込み、データ処
理から各種の測定結果を得る。
されたデータをキャプチャメモリに取り込み、データ処
理から各種の測定結果を得る。
【００４４】測定時間が長い程、周波数分解能が向上
し、測定ダイナミックレンジも広がる。
し、測定ダイナミックレンジも広がる。
【００４５】従来、キャプチャするデータ数は良品と判
断するのに必要な周波数分解能と測定ダイナミックレン
ジから決定していた。
断するのに必要な周波数分解能と測定ダイナミックレン
ジから決定していた。
【００４６】しかし、上述した実施の形態と同様に、１
／Ｍのデータ数を取り込んだ時点で演算処理を行い、粗
な周波数分解能と測定ダイナミックレンジで暫定的良否
判断を行う。不良と判断されなければさらにデータ取り
込みを継続する。
／Ｍのデータ数を取り込んだ時点で演算処理を行い、粗
な周波数分解能と測定ダイナミックレンジで暫定的良否
判断を行う。不良と判断されなければさらにデータ取り
込みを継続する。
【００４７】上述した処理を繰り返し行えば、測定毎に
周波数分解能と測定ダイナミックレンジは向上する。
周波数分解能と測定ダイナミックレンジは向上する。
【００４８】それぞれの時点で暫定的良否判断を行うこ
とにより、早期に不良デバイスを見つけ出すことがで
き、不良デバイスの測定における無駄なデータ取り込み
時間を削除することができる。
とにより、早期に不良デバイスを見つけ出すことがで
き、不良デバイスの測定における無駄なデータ取り込み
時間を削除することができる。
【００４９】
【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
デバイスに印加する電圧のステップ幅を測定分解能のＭ
倍に設定して測定を行い、その後、ステップ幅を徐々に
狭く設定して順次測定を行い、デバイスが不良と判断さ
れた場合はその時点で測定を終了するため、不良品にお
いては、不良と判断するのに十分な広さのステップ幅に
おいて不良品と判断することができ、測定時間を短縮す
ることができる。
デバイスに印加する電圧のステップ幅を測定分解能のＭ
倍に設定して測定を行い、その後、ステップ幅を徐々に
狭く設定して順次測定を行い、デバイスが不良と判断さ
れた場合はその時点で測定を終了するため、不良品にお
いては、不良と判断するのに十分な広さのステップ幅に
おいて不良品と判断することができ、測定時間を短縮す
ることができる。
【００５０】それにより、デバイスの良否判定試験を高
速に行うことができ、デバイス試験にかかるコストを低
減させることができる。
速に行うことができ、デバイス試験にかかるコストを低
減させることができる。
【図１】本発明のデバイスの良否判定方法における、被
測定デバイスに印加されるランプ波電圧の一例を示す図
である。
測定デバイスに印加されるランプ波電圧の一例を示す図
である。
【図２】本発明のデバイスの良否判定方法における処理
の流れの一例を示すフローチャートである。
の流れの一例を示すフローチャートである。
【図３】従来の、良否判定を行うために被測定デバイス
に印加されるランプ波電圧の一例を示す図である。
に印加されるランプ波電圧の一例を示す図である。
Claims (3)
- 【請求項１】 ＡＤコンバータが内蔵されたデバイスに
対し、所定の測定分解能を有するランプ波電圧を印加
し、印加されたランプ波電圧を用いてＡＤコンバータの
非直線性誤差及び微分直線性誤差を測定し、それによ
り、前記デバイスの良否判定を行うデバイスの良否判定
方法であって、 前記デバイスに印加する電圧のステップ幅を前記測定分
解能のＭ倍（Ｍは自然数）に設定して測定を行い、その
後、前記ステップ幅を徐々に狭く設定して順次測定を行
い、前記デバイスが不良と判断された場合は測定を終了
することを特徴とするデバイスの良否判定方法。 - 【請求項２】 ＡＤコンバータが内蔵されたデバイスに
対し、所定の測定分解能を有する正弦波電圧を印加し、
印加された正弦波電圧を用いてＡＤコンバータの非直線
性誤差及び微分直線性誤差を測定し、それにより、前記
デバイスの良否判定を行うデバイスの良否判定方法であ
って、 前記デバイスに印加する電圧のステップ幅を前記測定分
解能のＭ倍（Ｍは自然数）に設定して測定を行い、その
後、前記ステップ幅を徐々に狭く設定して順次測定を行
い、前記デバイスが不良と判断された場合は測定を終了
することを特徴とするデバイスの良否判定方法。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載のデバイ
スの良否判定方法において、 前記ステップ幅を、１回目の測定において前記測定分解
能のＭ倍、２回目の測定において前記測定分解能のＭ／
２倍、３回目の測定において前記測定分解能のＭ／３倍
というように、Ｎ回目の測定において前記測定分解能の
Ｍ／Ｎ倍とし、測定をＭ回繰り返し行うことを特徴とす
るデバイスの良否判定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24623896A JP3621519B2 (ja) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | デバイスの良否判定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24623896A JP3621519B2 (ja) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | デバイスの良否判定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1090373A true JPH1090373A (ja) | 1998-04-10 |
| JP3621519B2 JP3621519B2 (ja) | 2005-02-16 |
Family
ID=17145571
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24623896A Expired - Fee Related JP3621519B2 (ja) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | デバイスの良否判定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3621519B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006337139A (ja) * | 2005-06-01 | 2006-12-14 | Advantest Corp | 波形発生器、波形整形器、及び試験装置 |
-
1996
- 1996-09-18 JP JP24623896A patent/JP3621519B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006337139A (ja) * | 2005-06-01 | 2006-12-14 | Advantest Corp | 波形発生器、波形整形器、及び試験装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3621519B2 (ja) | 2005-02-16 |
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