JPH02105726A - A/dコンバータの非直線性の検査方法 - Google Patents
A/dコンバータの非直線性の検査方法Info
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- JPH02105726A JPH02105726A JP25854488A JP25854488A JPH02105726A JP H02105726 A JPH02105726 A JP H02105726A JP 25854488 A JP25854488 A JP 25854488A JP 25854488 A JP25854488 A JP 25854488A JP H02105726 A JPH02105726 A JP H02105726A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 49
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000008676 import Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- Analogue/Digital Conversion (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体装置であるA/Dコンバータに関し、特
に製造後の検査方法に関する。
に製造後の検査方法に関する。
従来、この種のA/Dコンバータの非直線性の検査方法
は第2図、第3図に示す様に計算機1から基準D/A3
に入力コード4をゼロからフルスケールまで等間隔に与
えて被測定A/D2より得られる出力コード6を計算機
1に取り込み変化点を求め非直線性誤差を計算して良否
を判定する方法が取られていた。
は第2図、第3図に示す様に計算機1から基準D/A3
に入力コード4をゼロからフルスケールまで等間隔に与
えて被測定A/D2より得られる出力コード6を計算機
1に取り込み変化点を求め非直線性誤差を計算して良否
を判定する方法が取られていた。
上述した従来のA/Dコンバータの非直線性の検査方法
は高精度を得るための高分解能のD/Aを用いてゼロか
らフルスケールまで等間隔に同等の重みで測定すると非
常に長いテスト時間がかかり、かつ記憶すべきデータ数
も膨大になるという欠点がある(例として16ビツトフ
ルスケールの場合測定点は16’−1,=65535点
)。
は高精度を得るための高分解能のD/Aを用いてゼロか
らフルスケールまで等間隔に同等の重みで測定すると非
常に長いテスト時間がかかり、かつ記憶すべきデータ数
も膨大になるという欠点がある(例として16ビツトフ
ルスケールの場合測定点は16’−1,=65535点
)。
このため8ビット程度の被測定A/Dの場合は11〜1
2ビツトで測定するのが一般的であるが、ノイズに弱い
低精度のA/Dの測定の場合は11〜12ピツ)D/A
ではマージン的に粗く出力コードが一定せず、検査によ
り品質を保証しかねる場合がおこる欠点がある。
2ビツトで測定するのが一般的であるが、ノイズに弱い
低精度のA/Dの測定の場合は11〜12ピツ)D/A
ではマージン的に粗く出力コードが一定せず、検査によ
り品質を保証しかねる場合がおこる欠点がある。
上述した従来のA/Dコンバータの非直線性の検査方法
に対し本発明は、高分解能のD/Aを用いてあらかじめ
数ステップ毎の粗いアナログ入力を被測定A/Dに与え
粗い変化点を得る予備テストを施した後、本テストにお
いて予備テストで得た粗い変化点より最小分解能にて再
度変化点を走査するという相違点を有する。
に対し本発明は、高分解能のD/Aを用いてあらかじめ
数ステップ毎の粗いアナログ入力を被測定A/Dに与え
粗い変化点を得る予備テストを施した後、本テストにお
いて予備テストで得た粗い変化点より最小分解能にて再
度変化点を走査するという相違点を有する。
本発明のA/Dコンバータの非直線性の検査方法は計算
機のテストプログラムにおいて予備テストと本テストの
二段階テストを有し、予備テストにおいては基準D/A
の最小分解能の数倍の分解能にてゼロからフルスケール
まで全テストの後粗い変化点を求める機能を、本テスト
においては最小分解能にて粗い変化点より真の変化点ま
で局部テストを行ない真の変化点を求める機能をそれぞ
れ有している。
機のテストプログラムにおいて予備テストと本テストの
二段階テストを有し、予備テストにおいては基準D/A
の最小分解能の数倍の分解能にてゼロからフルスケール
まで全テストの後粗い変化点を求める機能を、本テスト
においては最小分解能にて粗い変化点より真の変化点ま
で局部テストを行ない真の変化点を求める機能をそれぞ
れ有している。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の一実施例のテストプログラムのフロー
チャート、第4図は本発明の一実施例の予備テストを示
すA/D出力特性図、第5図は本発明の一実施例の本テ
ストを示めすA/D出力特性の部分図である。
チャート、第4図は本発明の一実施例の予備テストを示
すA/D出力特性図、第5図は本発明の一実施例の本テ
ストを示めすA/D出力特性の部分図である。
計算機lにおいてあらかじめ定められた、基準D/Aコ
ンバータ3の最小分解能8(ΔL)の整数倍の分解能7
(ΔG=nΔLまただしn:整数)ずつ入力コード4を
基準D/Aコンバータ3に入力し、アナログ人力5を被
測定A/D D V T2に与え得られた出力コード6
を計算機lに取込む。
ンバータ3の最小分解能8(ΔL)の整数倍の分解能7
(ΔG=nΔLまただしn:整数)ずつ入力コード4を
基準D/Aコンバータ3に入力し、アナログ人力5を被
測定A/D D V T2に与え得られた出力コード6
を計算機lに取込む。
このサイクルをゼロスケールからフルスケールまで行な
い、予備テストにおける粗い変化点電圧11 (G(
i)、 i :出力コード)を得る。
い、予備テストにおける粗い変化点電圧11 (G(
i)、 i :出力コード)を得る。
次に本テストでG(i)から最小分解能ΔLで入力を与
えコードが変化する直前の電圧12(L(i乃を求める
。このL(i)が求めるこのA/Dの真の変化点電圧と
なる。
えコードが変化する直前の電圧12(L(i乃を求める
。このL(i)が求めるこのA/Dの真の変化点電圧と
なる。
第5図は第4図のIA、IBの部分についての本テスト
の様子を示したものである。ここでIBにおいては、予
備テストでコード“3”は検出できなかったが本テスト
で最小分解能でテストしたところコード“3nが検出さ
れ変化点電圧L(3)が得られたことを示すものである
。
の様子を示したものである。ここでIBにおいては、予
備テストでコード“3”は検出できなかったが本テスト
で最小分解能でテストしたところコード“3nが検出さ
れ変化点電圧L(3)が得られたことを示すものである
。
以上説明したように本発明は、高精度を得るための高分
解能のD/Aコンバータを用いてもゼロからフルスケー
ルまで等間隔に同等の重みで測定することがなく、予備
テストにより粗い変化点をさがしてそれ以前の区間のム
ダな高精度測定を省略できるため比較的短いテスト時間
で高精度測定が行なえる利点があり、記憶すべきデータ
数も少なくてすむという効果がある。
解能のD/Aコンバータを用いてもゼロからフルスケー
ルまで等間隔に同等の重みで測定することがなく、予備
テストにより粗い変化点をさがしてそれ以前の区間のム
ダな高精度測定を省略できるため比較的短いテスト時間
で高精度測定が行なえる利点があり、記憶すべきデータ
数も少なくてすむという効果がある。
このため8ビット程度のノイズに弱い低精度A/Dの検
査でも16ビツト以上の高精度測定が現実的に可能にな
り、検査による品質保証かはぼ完全にできる効果がある
。
査でも16ビツト以上の高精度測定が現実的に可能にな
り、検査による品質保証かはぼ完全にできる効果がある
。
第1図は本発明のA/Dコンバータの非直線性の検査方
法の一実施例のテストプログラムのフローチャート、第
2図は従来の方法のフローチャート、第3図は一般的な
A/Dコンバータの検査に用いられる装置の概略図、第
4図は本発明の一実施例の予備テストを示すA/D出力
特性図、第5図は本発明の一実施例の本テストを示すA
/D出力特性の部分図である。 l・・・・・・計算機、2・・・・・・被測定A/Dコ
ンバータ、3・・・・・・基準D/Aコンバータ、4・
・・・・・D/A入力コード、訃・・・・・アナログ入
力、6・・・・・・A/D出力コード、7・・・・・・
予備テストのD/A分解能、8・・・・・・本テストの
D/A分解能、9・・・・・・A/Dの出力特性、10
・・・・・・予備テストの測定点、11・・・・・・予
備テストの変化点電圧、12・・・・・・本テストの変
化点電圧、13・・・・・・本テストの測定点。 代理人 弁理士 内 原 晋 図 濱1 第づ図
法の一実施例のテストプログラムのフローチャート、第
2図は従来の方法のフローチャート、第3図は一般的な
A/Dコンバータの検査に用いられる装置の概略図、第
4図は本発明の一実施例の予備テストを示すA/D出力
特性図、第5図は本発明の一実施例の本テストを示すA
/D出力特性の部分図である。 l・・・・・・計算機、2・・・・・・被測定A/Dコ
ンバータ、3・・・・・・基準D/Aコンバータ、4・
・・・・・D/A入力コード、訃・・・・・アナログ入
力、6・・・・・・A/D出力コード、7・・・・・・
予備テストのD/A分解能、8・・・・・・本テストの
D/A分解能、9・・・・・・A/Dの出力特性、10
・・・・・・予備テストの測定点、11・・・・・・予
備テストの変化点電圧、12・・・・・・本テストの変
化点電圧、13・・・・・・本テストの測定点。 代理人 弁理士 内 原 晋 図 濱1 第づ図
Claims (4)
- (1)計算機より入力コードを基準となるD/Aコンバ
ータに与え、その出力されたアナログ量を被測定対象で
あるA/Dコンバータに入力し、出力されたデジタルコ
ードを計算機に取り込み計算により非直線性誤差を求め
るA/Dコンバータの非直線性の検査方法において、あ
らかじめ出力コード変化点付近の入力量を求める予備テ
ストを行なった後本テストを行なうことを特徴とするA
/Dコンバータの非直線性の検査方法。 - (2)予備テストにおけるD/Aコンバータの分解能は
、本テストの分解能より粗くすることを特徴とする特許
請求の範囲第(1)項記載のA/Dコンバータの非直線
性の検査方法。 - (3)予備テスト、本テストにおけるD/Aコンバータ
の分解能の切換えをD/Aコンバータに入力するコード
のステップ幅の変更により行なうことを特徴とする特許
請求の範囲第(1)項または第(2)項記載のA/Dコ
ンバータの非直線性の検査方法。 - (4)本テストにおけるA/Dコンバータの変化点走査
は、予備テストにより得られた変化点付近の入力量より
開始し、それ以前の走査を省くことを特徴とする特許請
求の範囲第(1)項、第(2)項または第(3)項記載
のA/Dコンバータの非直線性の検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25854488A JPH02105726A (ja) | 1988-10-14 | 1988-10-14 | A/dコンバータの非直線性の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25854488A JPH02105726A (ja) | 1988-10-14 | 1988-10-14 | A/dコンバータの非直線性の検査方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02105726A true JPH02105726A (ja) | 1990-04-18 |
Family
ID=17321703
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25854488A Pending JPH02105726A (ja) | 1988-10-14 | 1988-10-14 | A/dコンバータの非直線性の検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02105726A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008526112A (ja) * | 2004-12-23 | 2008-07-17 | テラダイン・インコーポレーテッド | 変換器試験のためのパラメトリック測定ユニットの使用 |
-
1988
- 1988-10-14 JP JP25854488A patent/JPH02105726A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008526112A (ja) * | 2004-12-23 | 2008-07-17 | テラダイン・インコーポレーテッド | 変換器試験のためのパラメトリック測定ユニットの使用 |
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