JPH06289095A - Ｉｃの消費電流測定装置 - Google Patents
Ｉｃの消費電流測定装置Info
- Publication number
- JPH06289095A JPH06289095A JP5074919A JP7491993A JPH06289095A JP H06289095 A JPH06289095 A JP H06289095A JP 5074919 A JP5074919 A JP 5074919A JP 7491993 A JP7491993 A JP 7491993A JP H06289095 A JPH06289095 A JP H06289095A
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- JP
- Japan
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- power supply
- current
- gnd
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- ics
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＩＣの消費電流の測定時にシングルでしか測
定できなかったものを、同時測定を行えるようにし、測
定のスループットを向上させることができるＩＣの消費
電流測定装置を提供する。 【構成】 複数個のＩＣ５，６を同時にプロービング時
のＩＣの消費電流測定装置において、ＩＣ５，６の電源
ピンに接続される電源ユニット１１，１２と、この電源
ユニット１１，１２間に接続されるＰウェルサブストレ
ート４と、ＧＮＤピンに接続される切換装置１３，１５
と、この切換装置１３，１５の第１の切換端子ａに接続
されるＧＮＤ線と、切換装置１３，１５の第２の切換端
子ｂに接続される電流測定ユニット１４，１６とを設け
る。
定できなかったものを、同時測定を行えるようにし、測
定のスループットを向上させることができるＩＣの消費
電流測定装置を提供する。 【構成】 複数個のＩＣ５，６を同時にプロービング時
のＩＣの消費電流測定装置において、ＩＣ５，６の電源
ピンに接続される電源ユニット１１，１２と、この電源
ユニット１１，１２間に接続されるＰウェルサブストレ
ート４と、ＧＮＤピンに接続される切換装置１３，１５
と、この切換装置１３，１５の第１の切換端子ａに接続
されるＧＮＤ線と、切換装置１３，１５の第２の切換端
子ｂに接続される電流測定ユニット１４，１６とを設け
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣの消費電流測定装
置に関するものである。
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、プロービング時のＩＣの消費電流
（ＩDD）の測定は、図３に示すように電源（ＶDD）供給
ユニット側で消費電流ＩDDの測定を行っていた。図３に
おいて、１は電源ユニット、２は電流測定ユニット、３
は被測定デバイスとしてのＩＣである。
（ＩDD）の測定は、図３に示すように電源（ＶDD）供給
ユニット側で消費電流ＩDDの測定を行っていた。図３に
おいて、１は電源ユニット、２は電流測定ユニット、３
は被測定デバイスとしてのＩＣである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上述
べた従来の消費電流の測定方法では、プロービングで被
測定デバイスとしてのＰウェル品の複数個のＩＣの同時
測定（以下、同時測定という）を行う場合、図４に示す
ように、ＤＵＴ（Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓ
ｔ）１側の供給電源ＶDDA と、ＤＵＴ２側の供給電源Ｖ
DDB にユニットの精度等に起因した電位差が少しでも存
在すると、Ｐウェルサブストレート４の影響で、両電流
測定ユニット２にそれぞれ正負の過大電流が流れ、正確
な測定を行うことができない（ここで、Ｐウェルサブス
トレート４の持つインピーダンスは非常に小さい）。
べた従来の消費電流の測定方法では、プロービングで被
測定デバイスとしてのＰウェル品の複数個のＩＣの同時
測定（以下、同時測定という）を行う場合、図４に示す
ように、ＤＵＴ（Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓ
ｔ）１側の供給電源ＶDDA と、ＤＵＴ２側の供給電源Ｖ
DDB にユニットの精度等に起因した電位差が少しでも存
在すると、Ｐウェルサブストレート４の影響で、両電流
測定ユニット２にそれぞれ正負の過大電流が流れ、正確
な測定を行うことができない（ここで、Ｐウェルサブス
トレート４の持つインピーダンスは非常に小さい）。
【０００４】なお、５，６は被測定デバイスとしてのＩ
Ｃである。また、供給電源ＶDDA とＶDDB に電位差が全
く無かった場合は、被測定デバイスとしてのＩＣ５と６
の消費電流ＩDDの合計されたものが測定されてしまい、
仮に片側デバイスのみが不良でも、良品の方も不良と判
定してしまう場合がある。よって、同時測定で消費電流
ＩDDの測定を行うことは不可能で、消費電流ＩDDの測定
を行う場合、図５に示すように、電源側とＧＮＤ側の両
側にリレー等のスイッチ７，８，９，１０を付けて、未
測定側のリレーを切離し、シングル測定にしなければな
らないという問題点があった。
Ｃである。また、供給電源ＶDDA とＶDDB に電位差が全
く無かった場合は、被測定デバイスとしてのＩＣ５と６
の消費電流ＩDDの合計されたものが測定されてしまい、
仮に片側デバイスのみが不良でも、良品の方も不良と判
定してしまう場合がある。よって、同時測定で消費電流
ＩDDの測定を行うことは不可能で、消費電流ＩDDの測定
を行う場合、図５に示すように、電源側とＧＮＤ側の両
側にリレー等のスイッチ７，８，９，１０を付けて、未
測定側のリレーを切離し、シングル測定にしなければな
らないという問題点があった。
【０００５】本発明は、以上述べたＩＣの消費電流の測
定時にシングルでしか測定できなかったものを、同時測
定を行えるようにし、測定のスループットを向上させる
ことができるＩＣの消費電流測定装置を提供することを
目的とする。
定時にシングルでしか測定できなかったものを、同時測
定を行えるようにし、測定のスループットを向上させる
ことができるＩＣの消費電流測定装置を提供することを
目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、複数個のＩＣを同時にプロービング時の
ＩＣの消費電流測定装置において、ＩＣの電源ピンに接
続される電源ユニットと、該電源ユニット間に接続され
るＰウェルサブストレートと、ＧＮＤピンに接続される
切換装置と、該切換装置の第１の切換端子に接続される
ＧＮＤ線と、前記切換装置の第２の切換端子に接続され
る電流測定ユニットとを設けるようにしたものである。
成するために、複数個のＩＣを同時にプロービング時の
ＩＣの消費電流測定装置において、ＩＣの電源ピンに接
続される電源ユニットと、該電源ユニット間に接続され
るＰウェルサブストレートと、ＧＮＤピンに接続される
切換装置と、該切換装置の第１の切換端子に接続される
ＧＮＤ線と、前記切換装置の第２の切換端子に接続され
る電流測定ユニットとを設けるようにしたものである。
【０００７】また、複数個のＩＣを同時にプロービング
時のＩＣの消費電流測定装置において、ＩＣの電源ピン
に接続される電源ユニットと、該電源ユニット間に接続
されるＰウェルサブストレートと、ＧＮＤピンに接続さ
れる電流測定ユニットと、該電流測定ユニットに接続さ
れるＧＮＤレベルフォース側電源ユニットとを設けるよ
うにしたものである。
時のＩＣの消費電流測定装置において、ＩＣの電源ピン
に接続される電源ユニットと、該電源ユニット間に接続
されるＰウェルサブストレートと、ＧＮＤピンに接続さ
れる電流測定ユニットと、該電流測定ユニットに接続さ
れるＧＮＤレベルフォース側電源ユニットとを設けるよ
うにしたものである。
【０００８】更に、複数個のＩＣを同時にプロービング
時のＩＣの消費電流測定装置において、電源ユニット
と、該電源ユニットとＩＣの電源ピン間に接続される電
流測定ユニットと、ＧＮＤピン側に接続されるＧＮＤ線
と、該ＧＮＤ線間に接続されるＮウェルサブストレート
とを設けるようにしたものである。また、複数個のＩＣ
を同時にプロービング時のＩＣの消費電流測定装置にお
いて、電源ユニットと、該電源ユニットとＩＣの電源ピ
ン間に接続される電流測定ユニットと、ＧＮＤピンに接
続されるＧＮＤレベルフォース側電源ユニットと、該Ｇ
ＮＤレベルフォース側電源ユニット間に接続されるＮウ
ェルサブストレートとを設けるようにしたものである。
時のＩＣの消費電流測定装置において、電源ユニット
と、該電源ユニットとＩＣの電源ピン間に接続される電
流測定ユニットと、ＧＮＤピン側に接続されるＧＮＤ線
と、該ＧＮＤ線間に接続されるＮウェルサブストレート
とを設けるようにしたものである。また、複数個のＩＣ
を同時にプロービング時のＩＣの消費電流測定装置にお
いて、電源ユニットと、該電源ユニットとＩＣの電源ピ
ン間に接続される電流測定ユニットと、ＧＮＤピンに接
続されるＧＮＤレベルフォース側電源ユニットと、該Ｇ
ＮＤレベルフォース側電源ユニット間に接続されるＮウ
ェルサブストレートとを設けるようにしたものである。
【０００９】
【作用】本発明によれば、上記のように、複数個のＩＣ
を同時にプロービング時のＩＣの消費電流ＩDDの測定の
電流測定ユニットをＩＣのＧＮＤピン側に設置すること
で、Ｐウェルプロービングでの消費電流ＩDDのマルチ測
定を行うことができる。また、複数個のＩＣを同時にプ
ロービング時のＩＣの消費電流ＩDDの測定の電流測定ユ
ニットをＩＣの電源ピン側に設置することで、Ｎウェル
プロービングでの消費電流ＩDDのマルチ測定を行うこと
ができる。
を同時にプロービング時のＩＣの消費電流ＩDDの測定の
電流測定ユニットをＩＣのＧＮＤピン側に設置すること
で、Ｐウェルプロービングでの消費電流ＩDDのマルチ測
定を行うことができる。また、複数個のＩＣを同時にプ
ロービング時のＩＣの消費電流ＩDDの測定の電流測定ユ
ニットをＩＣの電源ピン側に設置することで、Ｎウェル
プロービングでの消費電流ＩDDのマルチ測定を行うこと
ができる。
【００１０】したがって、シングルで測定する必要が無
くなるため、同時測定の個数分の消費電流ＩDDの測定を
１回で行えるようになり、消費電流の測定のスループッ
トの向上を図ることができる。
くなるため、同時測定の個数分の消費電流ＩDDの測定を
１回で行えるようになり、消費電流の測定のスループッ
トの向上を図ることができる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例について図を参照しな
がら詳細に説明する。図１は本発明の第１の実施例を示
す複数個のＩＣを同時にプロービング時のＩＣの消費電
流測定装置の回路図である。この図に示すように、被測
定デバイスとしてのＩＣ５の電源ピン側に電源ユニット
１１を接続し、被測定デバイスとしてのＩＣ６の電源ピ
ン側に電源ユニット１２を接続する。これらの電源ユニ
ット１１と１２間にはＰウェルサブストレート４が存在
する。
がら詳細に説明する。図１は本発明の第１の実施例を示
す複数個のＩＣを同時にプロービング時のＩＣの消費電
流測定装置の回路図である。この図に示すように、被測
定デバイスとしてのＩＣ５の電源ピン側に電源ユニット
１１を接続し、被測定デバイスとしてのＩＣ６の電源ピ
ン側に電源ユニット１２を接続する。これらの電源ユニ
ット１１と１２間にはＰウェルサブストレート４が存在
する。
【００１２】ＩＣ５のＧＮＤピン側に切換装置としての
電流測定ユニット切換用トランスファーリレー１３を接
続し、そのトランスファーリレー１３の第１の切換端子
ａにＧＮＤを、トランスファーリレー１３の第２の切換
端子ｂに電流測定ユニット１４とを接続する。ＩＣ６も
同様に、ＩＣ６のＧＮＤピン側に切換装置としての電流
測定ユニット切換用トランスファーリレー１５を接続
し、トランスファーリレー１５の第１の切換端子ａにＧ
ＮＤを、トランスファーリレー１５の第２の切換端子ｂ
に電流測定ユニット１６とを接続する。
電流測定ユニット切換用トランスファーリレー１３を接
続し、そのトランスファーリレー１３の第１の切換端子
ａにＧＮＤを、トランスファーリレー１３の第２の切換
端子ｂに電流測定ユニット１４とを接続する。ＩＣ６も
同様に、ＩＣ６のＧＮＤピン側に切換装置としての電流
測定ユニット切換用トランスファーリレー１５を接続
し、トランスファーリレー１５の第１の切換端子ａにＧ
ＮＤを、トランスファーリレー１５の第２の切換端子ｂ
に電流測定ユニット１６とを接続する。
【００１３】このように、被測定デバイスとしてのＩＣ
５，６のＧＮＤ側に電流測定ユニット１４，１６を設
け、消費電流ＩDD以外の測定の時はトランスファーリレ
ー１３，１５をＧＮＤ側にしておき、消費電流ＩDDの測
定時には、トランスファーリレー１３，１５を電流測定
ユニット１４，１６に切り換え同時測定を行う。これに
よって、Ｐウェルサブストレート４による電源ショート
の影響を受けずに、正確な消費電流ＩDDの測定を行うこ
とができる。
５，６のＧＮＤ側に電流測定ユニット１４，１６を設
け、消費電流ＩDD以外の測定の時はトランスファーリレ
ー１３，１５をＧＮＤ側にしておき、消費電流ＩDDの測
定時には、トランスファーリレー１３，１５を電流測定
ユニット１４，１６に切り換え同時測定を行う。これに
よって、Ｐウェルサブストレート４による電源ショート
の影響を受けずに、正確な消費電流ＩDDの測定を行うこ
とができる。
【００１４】次に、本発明の第２の実施例について説明
する。図２は本発明の第２の実施例を示す複数個のＩＣ
を同時にプロービング時のＩＣの消費電流測定装置の回
路図である。この図に示すように、被測定デバイスとし
てのＩＣ５の電源ピン側に電源ユニット２１を接続し、
ＩＣ６の電源ピン側に電源ユニット２２を接続する。こ
れらの電源ユニット２１と２２間にはＰウェルサブスト
レート４が存在する。
する。図２は本発明の第２の実施例を示す複数個のＩＣ
を同時にプロービング時のＩＣの消費電流測定装置の回
路図である。この図に示すように、被測定デバイスとし
てのＩＣ５の電源ピン側に電源ユニット２１を接続し、
ＩＣ６の電源ピン側に電源ユニット２２を接続する。こ
れらの電源ユニット２１と２２間にはＰウェルサブスト
レート４が存在する。
【００１５】ＩＣ５のＧＮＤピン側に電流測定ユニット
２３を接続し、この電流測定ユニット２３にはＧＮＤレ
ベルフォース側電源ユニット２４を接続する。ＩＣ６も
同様に、ＩＣ６のＧＮＤピン側に電流測定ユニット２５
を接続し、この電流測定ユニット２５にはＧＮＤレベル
フォース側電源ユニット２６を接続する。このように、
ＩＣ５，６のＧＮＤピンにテスターのＧＮＤレベルフォ
ース側電源ユニット２４，２６を継ぎ、これによってＧ
ＮＤレベルをフォースする。
２３を接続し、この電流測定ユニット２３にはＧＮＤレ
ベルフォース側電源ユニット２４を接続する。ＩＣ６も
同様に、ＩＣ６のＧＮＤピン側に電流測定ユニット２５
を接続し、この電流測定ユニット２５にはＧＮＤレベル
フォース側電源ユニット２６を接続する。このように、
ＩＣ５，６のＧＮＤピンにテスターのＧＮＤレベルフォ
ース側電源ユニット２４，２６を継ぎ、これによってＧ
ＮＤレベルをフォースする。
【００１６】ＩＣ５，６の消費電流ＩDDの測定時は、同
じ側の電流測定ユニット２３，２５で測定する。これに
よって、第１実施例と同様に、サブストレート４による
電源ショートの影響を受けることなく、正確なＩＣ５，
６の消費電流ＩDDの測定を行うことができる。図６は本
発明の第３の実施例を示す複数個のＩＣを同時にプロー
ビング時のＩＣの消費電流測定装置の回路図である。
じ側の電流測定ユニット２３，２５で測定する。これに
よって、第１実施例と同様に、サブストレート４による
電源ショートの影響を受けることなく、正確なＩＣ５，
６の消費電流ＩDDの測定を行うことができる。図６は本
発明の第３の実施例を示す複数個のＩＣを同時にプロー
ビング時のＩＣの消費電流測定装置の回路図である。
【００１７】この図に示すように、被測定デバイスとし
てのＩＣ５の電源ピン側に電源ユニット３１を設け、こ
の電源ユニット３１とＩＣ５の電源ピン間に電流測定ユ
ニット３２を接続し、ＩＣ５のＧＮＤピンをＧＮＤに接
続する。また、ＩＣ６も同様に、ＩＣ６の電源ピン側に
電源ユニット３４を設け、この電源ユニット３４とＩＣ
６の電源ピン間に電流測定ユニット３５を接続し、ＩＣ
６のＧＮＤピンをＧＮＤ線に接続する。ここで、ＧＮＤ
線間にはＮウェルサブストレート３３が介在する。
てのＩＣ５の電源ピン側に電源ユニット３１を設け、こ
の電源ユニット３１とＩＣ５の電源ピン間に電流測定ユ
ニット３２を接続し、ＩＣ５のＧＮＤピンをＧＮＤに接
続する。また、ＩＣ６も同様に、ＩＣ６の電源ピン側に
電源ユニット３４を設け、この電源ユニット３４とＩＣ
６の電源ピン間に電流測定ユニット３５を接続し、ＩＣ
６のＧＮＤピンをＧＮＤ線に接続する。ここで、ＧＮＤ
線間にはＮウェルサブストレート３３が介在する。
【００１８】このように、テスターの電源側に電流測定
ユニット３２，３５を設け、同時測定を行う。これによ
って、Ｎウェルサブストレート３３による電源ショート
の影響を受けずに、正確な消費電流ＩDDの測定を行うこ
とができる。次に、本発明の第４の実施例について説明
する。
ユニット３２，３５を設け、同時測定を行う。これによ
って、Ｎウェルサブストレート３３による電源ショート
の影響を受けずに、正確な消費電流ＩDDの測定を行うこ
とができる。次に、本発明の第４の実施例について説明
する。
【００１９】図７は本発明の第４の実施例を示す複数個
のＩＣを同時にプロービング時のＩＣの消費電流測定装
置の回路図である。この図に示すように、ＩＣ５の電源
ピン側に電源ユニット３１を設け、この電源ユニット３
１とＩＣ５の電源ピン間に電流測定ユニット３２を接続
し、ＩＣ５のＧＮＤピンをＧＮＤ線に接続する。また、
ＩＣ６も同様に、ＩＣ６の電源ピン側に電源ユニット３
４を設け、この電源ユニット３４とＩＣ６の電源ピン間
に電流測定ユニット３５を接続し、ＩＣ６のＧＮＤピン
をＧＮＤ線に接続する。ここで、ＧＮＤ線間にはＮウェ
ルサブストレート３３が介在する。
のＩＣを同時にプロービング時のＩＣの消費電流測定装
置の回路図である。この図に示すように、ＩＣ５の電源
ピン側に電源ユニット３１を設け、この電源ユニット３
１とＩＣ５の電源ピン間に電流測定ユニット３２を接続
し、ＩＣ５のＧＮＤピンをＧＮＤ線に接続する。また、
ＩＣ６も同様に、ＩＣ６の電源ピン側に電源ユニット３
４を設け、この電源ユニット３４とＩＣ６の電源ピン間
に電流測定ユニット３５を接続し、ＩＣ６のＧＮＤピン
をＧＮＤ線に接続する。ここで、ＧＮＤ線間にはＮウェ
ルサブストレート３３が介在する。
【００２０】そして、ＩＣ５，６のＧＮＤピンにＧＮＤ
レベルフォース側電源ユニット３６，３７を継ぎ、これ
によってＧＮＤレベルをフォースする。ＩＣ５，６の消
費電流ＩDDの測定時は、電源側の電流測定ユニット３
２，３５で測定する。これによって、第３実施例と同様
に、サブストレート３３による電源ショートの影響を受
けることなく、正確なＩＣ５，６の消費電流ＩDDの測定
を行うことができる。
レベルフォース側電源ユニット３６，３７を継ぎ、これ
によってＧＮＤレベルをフォースする。ＩＣ５，６の消
費電流ＩDDの測定時は、電源側の電流測定ユニット３
２，３５で測定する。これによって、第３実施例と同様
に、サブストレート３３による電源ショートの影響を受
けることなく、正確なＩＣ５，６の消費電流ＩDDの測定
を行うことができる。
【００２１】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能で
あり、それらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
のではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能で
あり、それらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【００２２】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、シングルで測定する必要が無くなるため、同時
測定の個数分の消費電流ＩDDの測定を１回で行えるよう
になり、測定のスループットの向上を図ることができ
る。
よれば、シングルで測定する必要が無くなるため、同時
測定の個数分の消費電流ＩDDの測定を１回で行えるよう
になり、測定のスループットの向上を図ることができ
る。
【図１】本発明の第１の実施例を示す複数個のＩＣを同
時にプロービング時のＩＣの消費電流測定装置の回路図
である。
時にプロービング時のＩＣの消費電流測定装置の回路図
である。
【図２】本発明の第２の実施例を示す複数個のＩＣを同
時にプロービング時のＩＣの消費電流測定装置の回路図
である。
時にプロービング時のＩＣの消費電流測定装置の回路図
である。
【図３】従来のシングルのＩＣのプロービング時のＩＣ
の消費電流測定装置の回路図である。
の消費電流測定装置の回路図である。
【図４】従来の複数個のＩＣを同時にプロービング時の
ＩＣの消費電流測定装置の回路図である。
ＩＣの消費電流測定装置の回路図である。
【図５】従来のプロービング時のＩＣの消費電流のシン
グルの測定の回路図である。
グルの測定の回路図である。
【図６】本発明の第３の実施例を示す複数個のＩＣを同
時にプロービング時のＩＣの消費電流測定装置の回路図
である。
時にプロービング時のＩＣの消費電流測定装置の回路図
である。
【図７】本発明の第４の実施例を示す複数個のＩＣを同
時にプロービング時のＩＣの消費電流測定装置の回路図
である。
時にプロービング時のＩＣの消費電流測定装置の回路図
である。
４ Ｐウェルサブストレート ５，６ ＩＣ（被測定デバイス） １１，１２，２１，２２，３１，３４ 電源ユニット １３，１５，２６ ＧＮＤ電流測定ユニット切換用ト
ランスファーリレー １４，１６，２３，２５，３２，３５ 電流測定ユニ
ット ２４，２６，３６，３７ ＧＮＤレベルフォース側電
源ユニット ３３ Ｎウェルサブストレート
ランスファーリレー １４，１６，２３，２５，３２，３５ 電流測定ユニ
ット ２４，２６，３６，３７ ＧＮＤレベルフォース側電
源ユニット ３３ Ｎウェルサブストレート
Claims (4)
- 【請求項１】 複数個のＩＣを同時にプロービング時の
ＩＣの消費電流測定装置において、（ａ）ＩＣの電源ピ
ンに接続される電源ユニットと、（ｂ）該電源ユニット
間に接続されるＰウェルサブストレートと、（ｃ）ＧＮ
Ｄピンに接続される切換装置と、（ｄ）該切換装置の第
１の切換端子に接続されるＧＮＤ線と、（ｅ）前記切換
装置の第２の切換端子に接続される電流測定ユニットと
を具備することを特徴とするＩＣの消費電流測定装置。 - 【請求項２】 複数個のＩＣを同時にプロービング時の
ＩＣの消費電流測定装置において、（ａ）ＩＣの電源ピ
ンに接続される電源ユニットと、（ｂ）該電源ユニット
間に接続されるＰウェルサブストレートと、（ｃ）ＧＮ
Ｄピンに接続される電流測定ユニットと、（ｄ）該電流
測定ユニットに接続されるＧＮＤレベルフォース側電源
ユニットとを具備することを特徴とするＩＣの消費電流
測定装置。 - 【請求項３】 複数個のＩＣを同時にプロービング時の
ＩＣの消費電流測定装置において、（ａ）電源ユニット
と、（ｂ）該電源ユニットとＩＣの電源ピン間に接続さ
れる電流測定ユニットと、（ｃ）ＧＮＤピン側に接続さ
れるＧＮＤ線と、（ｄ）該ＧＮＤ線間に接続されるＮウ
ェルサブストレートとを具備することを特徴とするＩＣ
の消費電流測定装置。 - 【請求項４】 複数個のＩＣを同時にプロービング時の
ＩＣの消費電流測定装置において、（ａ）電源ユニット
と、（ｂ）該電源ユニットとＩＣの電源ピン間に接続さ
れる電流測定ユニットと、（ｃ）ＧＮＤピンに接続され
るＧＮＤレベルフォース側電源ユニットと、（ｄ）該Ｇ
ＮＤレベルフォース側電源ユニット間に接続されるＮウ
ェルサブストレートとを具備することを特徴とするＩＣ
の消費電流測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5074919A JPH06289095A (ja) | 1993-04-01 | 1993-04-01 | Ｉｃの消費電流測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5074919A JPH06289095A (ja) | 1993-04-01 | 1993-04-01 | Ｉｃの消費電流測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06289095A true JPH06289095A (ja) | 1994-10-18 |
Family
ID=13561279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5074919A Withdrawn JPH06289095A (ja) | 1993-04-01 | 1993-04-01 | Ｉｃの消費電流測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06289095A (ja) |
-
1993
- 1993-04-01 JP JP5074919A patent/JPH06289095A/ja not_active Withdrawn
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