JPH11131674A - クリーンルーム用天井構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、ファンフィルタユニットをクリー
ンルームの天井に支持するためのクリーンルーム用天井
構造に関し、主枠部材と副枠部材とを高い直角度で容
易，確実に連結することを目的とする。 【解決手段】 主枠部材と副枠部材とを連結する十字状
の上側継手の各突出部に、主枠部材および副枠部材の吊
り部の上面に形成される溝部に嵌合する嵌合凸部を形成
してなることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム用
天井構造に係わり、特に、ファンフィルタユニットをク
リーンルームの天井に支持するためのクリーンルーム用
天井構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】近時、半導体製造工場等に設置されるク
リーンルームでは、例えば、特開平４−１０３９３７号
公報に開示されるように、ファンとフィルタとを一体化
したファンフィルタユニット（ＦＦＵ）を天井面に多数
隣接配置し、運転台数制御あるいは風量制御を個別に行
うことにより、クリーンルームにおける清浄度の区画域
を必要に応じて任意に設定することが行われている。

【０００３】図１３は、このようなファンフィルタユニ
ットをクリーンルームの天井に支持するためのクリーン
ルーム用天井構造を示すもので、この天井構造では、所
定間隔を置いて平行に配置される複数の長尺状の主枠部
材１の間に、複数の副枠部材２が配置され、複数のフィ
ルタ取付開口部３を有する格子状のフィルタ取付部材４
が構成されている。

【０００４】そして、図１４に示すように、各フィルタ
取付開口部３を形成する主枠部材１および副枠部材２の
上面に、ファン５とフィルタ６とをユニット化したファ
ンフィルタユニット（ＦＦＵ）７が、ガスケット等のシ
ール部材８を介して載置されている。主枠部材１および
副枠部材２には、吊り部９が上方に向けて突出形成され
ており、この吊り部９が、吊りボルト１０を介して図示
しない建屋の建物梁に吊り持ちされている。

【０００５】また、主枠部材１と、この主枠部材１の両
側に配置される副枠部材２とが、吊り部９の上面におい
て、金属からなる十字状の上側継手１１によりボルト１
２を介して連結されており、主枠部材１と副枠部材２と
の直角度、および、シール部材８が配置される主枠部材
１と副枠部材２の上面、すなわちシール面１３位置の同
一平面度が保持されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のクリーンルーム用天井構造では、十字状の上
側継手１１により、主枠部材１と副枠部材２との直角度
を保持しているため、必要な直角度を得るために多大な
工数が必要になり、また、地震等による衝撃により、直
角度が破壊され気密性が損なわれるおそれがあるという
問題があった。

【０００７】すなわち、このようなクリーンルーム用天
井構造では、ボルト１２による上側継手１１の主枠部材
１および副枠部材２への固定時に、ボルト１２の締め付
けに伴い上側継手１１が回動し、主枠部材１および副枠
部材２の吊り部９の上面の直角度を容易，確実に得るこ
とが困難になり、また、地震等による衝撃により、主枠
部材１と副枠部材２との直角度が容易に破壊されるおそ
れがある。

【０００８】本発明は、かかる従来の問題点を解決する
ためになされたもので、主枠部材と副枠部材とを高い直
角度で容易，確実に連結することができるクリーンルー
ム用天井構造を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１のクリーンルー
ム用天井構造は、所定間隔を置いて平行に配置される複
数の長尺状の主枠部材の間に複数の副枠部材を配置し、
複数のフィルタ取付開口部を有する格子状のフィルタ取
付部材を構成し、前記フィルタ取付開口部を形成する前
記主枠部材および副枠部材の上面に、ファンフィルタユ
ニットをシール部材を介して載置するとともに、前記主
枠部材および副枠部材の上面に、上方に向けて吊り部を
突出形成し、前記主枠部材と、この主枠部材の両側に配
置される副枠部材とを、前記吊り部の上面において、金
属からなる十字状の上側継手により連結してなるクリー
ンルーム用天井構造において、前記十字状の上側継手の
各突出部に、前記吊り部の上面に形成される溝部に嵌合
する嵌合凸部を形成してなることを特徴とする。

【００１０】請求項２のクリーンルーム用天井構造は、
請求項１記載のクリーンルーム用天井構造において、前
記上側継手の中央に、上方に突出する突出部を形成して
なることを特徴とする。

【００１１】（作用）請求項１のクリーンルーム用天井
構造では、十字状の上側継手の各突出部に嵌合凸部が形
成され、この嵌合凸部が、吊り部の上面に形成される溝
部に嵌合され、主枠部材と副枠部材とが直角に連結され
る。

【００１２】請求項２のクリーンルーム用天井構造で
は、上側継手の中央に、上方に突出する突出部が形成さ
れ、この突出部により上側継手の剛性が高められる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
用いて詳細に説明する。

【００１４】図１および図２は、図３の要部の詳細を示
しており、図３は、本発明のクリーンルーム用天井構造
の一実施形態を示している。図３において、符号２１
は、所定間隔を置いて平行に配置される複数の長尺状の
主枠部材を示している。この主枠部材２１の間には、複
数の副枠部材２３が配置され、複数のフィルタ取付開口
部２５を有する格子状のフィルタ取付部材２７が構成さ
れている。

【００１５】そして、フィルタ取付開口部２５を形成す
る主枠部材２１および副枠部材２３の上面であるシール
面２９には、図４に示すように、ファン３１とフィルタ
３３とをユニット化したファンフィルタユニット（ＦＦ
Ｕ）３５が、ガスケット等のシール部材３７を介して載
置されている。主枠部材２１および副枠部材２３には、
吊り部３９が上方に向けて突出形成されており、この吊
り部３９が、吊りボルト４１を介して図示しない建屋の
建物梁に吊り持ちされている。

【００１６】この実施形態では、主枠部材２１および副
枠部材２３は、アルミニウムの押し出し成形により形成
され、断面形状を同一形状とされている。主枠部材２１
および副枠部材２３は、図１および図２に示すように、
断面矩形形状の本体部４１と、この本体部４１から上方
に向けて突出する吊り部３９とを有している。

【００１７】本体部４１の側面の上部には、長手方向に
沿って係止溝４３が形成されている。この係止溝４３の
下側面は、底面側に向けて下方に傾斜されている。ま
た、本体部４１の底面の中央には、長手方向に沿って凹
溝４５が形成されている。

【００１８】一方、吊り部３９の上面には、長手方向に
沿って、入口開口の両側に突出部４７が形成される溝部
４９が形成されている。そして、この実施形態では、主
枠部材２１と、この主枠部材２１の両側に配置される副
枠部材２３とが、上側継手５１および下側継手５３によ
り連結されている。

【００１９】上側継手５１は、図５および図６に示すよ
うに十字形状をしており、炭素鋼等の金属により形成さ
れている。そして、十字状の上側継手５１の各突出部５
５の先端には、例えば、プレス加工により、嵌合凸部５
７が形成されている。この嵌合凸部５７は、主枠部材２
１および副枠部材２３の吊り部３９の上面に形成される
溝部４９に嵌合される。

【００２０】また、上側継手５１の中央には、上方に突
出する長溝状の突出部５９が形成され、上側継手５１が
補強されている。そして、上側継手５１の各突出部５５
には、ボルト穴６１が形成されている。この上側継手５
１は、図１に示すように、上側継手５１のボルト穴６１
にボルト６３を挿通し、主枠部材２１および副枠部材２
３の吊り部３９の上面に形成される溝部４９に配置され
る６角ナット６５に、ボルト６３を螺合することにより
主枠部材２１および副枠部材２３に固定される。

【００２１】一方、下側継手５３は、図７，図８および
図９に示すように十字溝状に形成されている。この下側
継手５３は、弾性を有する樹脂、例えば、強化ポリカー
ボネートにより形成されている。下側継手５３の各突出
部６７には、主枠部材２１または副枠部材２３を収容す
る枠部材収容部６９が形成されている。

【００２２】この枠部材収容部６９は、十字状の底面７
１の各突出部６７ａと、この各突出部の両側から上方に
向けて平行に突出する一対の挟持部７３により形成され
ている。そして、各挟持部７３の上端には、主枠部材２
１および副枠部材２３の側面に形成される係止溝４３に
係止される係止突起７５が形成されている。

【００２３】この係止突起７５は、図１０に示すよう
に、挟持部７３の上端から内側に直角に突出する突部７
７と、この突部７７の下面に形成される半円部７９とを
有している。また、下側継手５３の中央線上には、主枠
部材２１および副枠部材２３の本体部の底面に形成され
る凹溝４５に嵌合される突状部８１が内側に向けて突出
して形成されている。

【００２４】上述したクリーンルーム用天井構造では、
図１２に示すように、主枠部材２１と、この主枠部材２
１の両側に配置される副枠部材２３（図１２では主枠部
材２１のみを示す）とが、弾性を有する樹脂からなる十
字溝状の下側継手５３の各突出部に形成される枠部材収
容部６９内に収容され、図１に示したように、主枠部材
２１および副枠部材２３の側面に形成される係止溝４３
に、下側継手５３の枠部材収容部６９の上端に形成され
る係止突起７５を係合され、係止突起７５により主枠部
材２１および副枠部材２３の底面が、下側継手５３の底
面７１に密着される。

【００２５】そして、この状態で、図１に示したよう
に、上側継手５１のボルト穴６１にボルト６３を挿通
し、主枠部材２１および副枠部材２３の吊り部３９の上
面に形成される溝部４９に配置される６角ナット６５
に、ボルト６３を螺合することにより、上側継手５１が
主枠部材２１および副枠部材２３に固定される。以上の
ように構成されたクリーンルーム用天井構造では、主枠
部材２１と、この主枠部材２１の両側に配置される副枠
部材２３とを、弾性を有する樹脂からなる十字溝状の下
側継手５３の各突出部６７に形成される枠部材収容部６
９内に上側から収容し、主枠部材２１および副枠部材２
３の側面に形成される係止溝４３に、下側継手５３の枠
部材収容部６９の上端に形成される係止突起７５を係合
し、係止突起７５により主枠部材２１および副枠部材２
３の底面を、下側継手５３の底面７１に密着させたの
で、主枠部材２１と副枠部材２３とを高い精度で容易，
確実に連結することができる。

【００２６】すなわち、予め、十字溝状の下側継手５３
の各突出部６７に形成される枠部材収容部６９の直角
度、および、各枠部材収容部６９の底面７１位置の同一
平面度を所定の許容誤差内に維持して下側継手５３を製
造しておくことにより、主枠部材２１と副枠部材２３と
の直角度、およびシール部材が配置される主枠部材２１
と副枠部材２３のシール面２９位置の同一平面度を容
易，確実に得ることができる。

【００２７】従って、クリーンルームの構築時に、主枠
部材２１と副枠部材２３とに必要な直角度および同一平
面度を得るための工数を低減し、また、地震等による衝
撃により、直角度および同一平面度が破壊され気密性が
損なわれるおそれを低減することができる。また、上述
したクリーンルーム用天井構造では、主枠部材２１およ
び副枠部材２３の側面に、下側継手５３の枠部材収容部
６９の内面を接着したので、主枠部材２１と副枠部材２
３とをより強固に連結することができ、また、気密性を
より向上することができる。

【００２８】そして、この場合、図１２に示すように、
係止突起７５のスペーサとしての働きにより、枠部材収
容部６９の一対の挟持部７３が、外側に開いた状態で主
枠部材２１および副枠部材２３に係止されるため、接着
剤により主枠部材２１および副枠部材２３が汚されるお
それを解消することができる。さらに、上述したクリー
ンルーム用天井構造では、下側継手５３をポリカーボネ
ートにより形成したので、下側継手５３の剛性を高める
ことができ、また、下側継手５３の枠部材収容部６９の
上端に形成される係止突起７５を充分に弾性変形するこ
とができる。

【００２９】また、上述したクリーンルーム用天井構造
では、主枠部材２１と、この主枠部材２１の両側に配置
される副枠部材２３とを、吊り部３９の上面において、
金属からなる十字状の上側継手５１により連結したの
で、主枠部材２１と副枠部材２３とが、その上下におい
て上側継手５１および下側継手５３により連結されるこ
とになり、主枠部材２１と副枠部材２３との連結強度を
高めることができ、特に、地震等に対する構造強度を向
上することができる。

【００３０】そして、さらに、上述したクリーンルーム
用天井構造では、十字状の上側継手５１の各突出部５５
に、吊り部３９の上面に形成される溝部４９に嵌合する
嵌合凸部５７を形成したので、主枠部材２１と副枠部材
２３との直角度を容易，確実に得ることができる。すな
わち、嵌合凸部５７を形成しない場合には、ボルト６３
による上側継手５１の主枠部材２１および副枠部材２３
への固定時に、ボルト６３の締め付けに伴い上側継手５
１が回動し、主枠部材２１および副枠部材２３の吊り部
３９の上面の直角度を得ることが困難になるが、この実
施形態では、十字状の上側継手５１の各突出部５５に、
吊り部３９の上面に形成される溝部４９に嵌合する嵌合
凸部５７を形成したので、主枠部材２１と副枠部材２３
との上部の直角度を容易，確実に得ることができる。

【００３１】

【発明の効果】以上述べたように、請求項１のクリーン
ルーム用天井構造では、十字状の上側継手の各突出部
に、吊り部の上面に形成される溝部に嵌合する嵌合凸部
を形成したので、予め、十字状の上側継手の各突出部に
形成される嵌合凸部の直角度を所定の許容誤差内に維持
して上側継手を製造しておくことにより、主枠部材と副
枠部材とを高い直角度で容易，確実に連結することがで
きる。

【００３２】請求項２のクリーンルーム用天井構造で
は、上側継手の中央に、上方に突出する突出部を形成し
たので、突出部により補強用のリブが形成され、上側継
手の剛性を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図３の要部の詳細を示す断面図である。

【図２】図３の要部の詳細を示す斜視図である。

【図３】本発明のクリーンルーム用天井構造の一実施形
態を示す上面図である。

【図４】図３の要部の詳細を示す断面図である。

【図５】図１の上側継手を示す上面図である。

【図６】図５の上側継手を示す側面図である。

【図７】図１の下側継手を示す斜視図である。

【図８】図７の下側継手を示す上面図である。

【図９】図７の下側継手を示す側面図である。

【図１０】図７の下側継手の挟持部に形成される係止突
起を示す説明図である。

【図１１】図７の下側継手を主枠部材に装着する状態を
示す斜視図である。

【図１２】図７の下側継手を主枠部材に装着している状
態を示す説明図である。

【図１３】従来のクリーンルーム用天井構造を示す上面
図である。

【図１４】従来のクリーンルーム用天井構造の要部を示
す断面図である。

【符号の説明】

２１ 主枠部材 ２３ 副枠部材 ２５ フィルタ取付開口部 ２７ フィルタ取付部材 ２９ シール面 ３５ ファンフィルタユニット ３７ シール部材 ３９ 吊り部 ４３ 係止溝 ４７ 突出部 ４９ 溝部 ５１ 上側継手 ５５ 突出部 ５３ 下側継手 ５７ 嵌合凸部 ５９ 突出部 ６３ ボルト ６９ 枠部材収容部 ７５ 係止突起

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定間隔を置いて平行に配置される複数
   の長尺状の主枠部材の間に複数の副枠部材を配置し、複
   数のフィルタ取付開口部を有する格子状のフィルタ取付
   部材を構成し、前記フィルタ取付開口部を形成する前記
   主枠部材および副枠部材の上面に、ファンフィルタユニ
   ットをシール部材を介して載置するとともに、前記主枠
   部材および副枠部材の上面に、上方に向けて吊り部を突
   出形成し、前記主枠部材と、この主枠部材の両側に配置
   される副枠部材とを、前記吊り部の上面において、金属
   からなる十字状の上側継手により連結してなるクリーン
   ルーム用天井構造において、 前記十字状の上側継手の各突出部に、前記吊り部の上面
   に形成される溝部に嵌合する嵌合凸部を形成してなるこ
   とを特徴とするクリーンルーム用天井構造。
2. 【請求項２】 請求項１記載のクリーンルーム用天井構
   造において、 前記上側継手の中央に、上方に突出する突出部を形成し
   てなることを特徴とするクリーンルーム用天井構造。