JP3872571B2

JP3872571B2 - クリーンルーム用天井構造

Info

Publication number: JP3872571B2
Application number: JP30170897A
Authority: JP
Inventors: 允和山形
Original assignee: Sanki Engineering Co Ltd
Current assignee: Sanki Engineering Co Ltd
Priority date: 1997-11-04
Filing date: 1997-11-04
Publication date: 2007-01-24
Anticipated expiration: 2017-11-04
Also published as: JPH11131673A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム用天井構造に係わり、特に、ファンフィルタユニットをクリーンルームの天井に支持するためのクリーンルーム用天井構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近時、半導体製造工場等に設置されるクリーンルームでは、例えば、特開平４−１０３９３７号公報に開示されるように、ファンとフィルタとを一体化したファンフィルタユニット（ＦＦＵ）を天井面に多数隣接配置し、運転台数制御あるいは風量制御を個別に行うことにより、クリーンルームにおける清浄度の区画域を必要に応じて任意に設定することが行われている。
【０００３】
図１３は、このようなファンフィルタユニットをクリーンルームの天井に支持するためのクリーンルーム用天井構造を示すもので、この天井構造では、所定間隔を置いて平行に配置される複数の長尺状の主枠部材１の間に、複数の副枠部材２が配置され、複数のフィルタ取付開口部３を有する格子状のフィルタ取付部材４が構成されている。
【０００４】
そして、図１４に示すように、各フィルタ取付開口部３を形成する主枠部材１および副枠部材２の上面に、ファン５とフィルタ６とをユニット化したファンフィルタユニット（ＦＦＵ）７が、ガスケット等のシール部材８を介して載置されている。
主枠部材１および副枠部材２には、吊り部９が上方に向けて突出形成されており、この吊り部９が、吊りボルト１０を介して図示しない建屋の建物梁に吊り持ちされている。
【０００５】
また、主枠部材１と、この主枠部材１の両側に配置される副枠部材２とが、吊り部９の上面において、金属からなる十字状の上側継手１１によりボルト１２を介して連結されており、主枠部材１と副枠部材２との直角度、および、シール部材８が配置される主枠部材１と副枠部材２の上面、すなわちシール面１３位置の同一平面度が保持されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来のクリーンルーム用天井構造では、吊り部９の上面においてのみ、十字状の上側継手１１により、主枠部材１と副枠部材２との直角度、およびシール部材８が配置される主枠部材１と副枠部材２のシール面１３位置の同一平面度を保持しているため、必要な直角度および同一平面度を得るために多大な工数が必要になり、また、地震等による衝撃により、直角度および同一平面度が破壊され気密性が損なわれるおそれがあるという問題があった。
【０００７】
すなわち、このようなクリーンルーム用天井構造では、フィルタ取付開口部３を形成する主枠部材１および副枠部材２の上面であるシール面１３に、ファンフィルタユニット７を、ガスケット等のシール部材８を介して載置しているため、主枠部材１と副枠部材２のシール面１３位置が同一平面上に無い場合には、充分な気密性を得ることが困難になり、従って、主枠部材１と副枠部材２のシール面１３位置を高い精度で同一平面上に保持する必要がある。
【０００８】
本発明は、かかる従来の問題点を解決するためになされたもので、主枠部材と副枠部材とを高い精度で容易，確実に連結することができるクリーンルーム用天井構造を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１のクリーンルーム用天井構造は、所定間隔を置いて平行に配置される複数の長尺状の主枠部材の間に複数の副枠部材を配置し、複数のフィルタ取付開口部を有する格子状のフィルタ取付部材を構成し、前記フィルタ取付開口部を形成する前記主枠部材および副枠部材の上面に、ファンフィルタユニットをシール部材を介して載置してなるクリーンルーム用天井構造において、前記主枠部材および副枠部材の上面に、同一の高さを有する吊り部を上方に向けて突出形成するとともに、前記主枠部材と、この主枠部材の両側に配置される副枠部材とを、前記吊り部の上面において、金属からなる十字平板状の上側継手により連結してなり、前記吊り部の上面に、入口開口の両側に突出部が形成される溝部を長手方向に沿って形成するとともに、前記溝部の前記突出部の下側にナットを水平に回転不能に配置し、前記上側継手に形成されるボルト穴にボルトを上方から挿通して前記ナットに螺合し、前記上側継手を前記ボルトの頭部と前記突出部との間に挟持してなることを特徴とする。
【００１０】
請求項２のクリーンルーム用天井構造は、請求項１記載のクリーンルーム用天井構造において、前記十字平板状の上側継手の各突出部の先端に、前記吊り部の上面に形成される溝部に嵌合する嵌合凸部を形成してなることを特徴とする。
請求項３のクリーンルーム用天井構造は、請求項１または２記載のクリーンルーム用天井構造において、前記主枠部材と、この主枠部材の両側に配置される副枠部材とを、弾性を有する樹脂からなる十字溝状の下側継手の各突出部に形成される枠部材収容部内に上側から収容し、前記主枠部材および副枠部材の側面に形成される係止溝に、前記下側継手の前記枠部材収容部の上端に形成される係止突起を係合し、前記係止突起により前記主枠部材および副枠部材の底面を、前記下側継手の底面に密着させてなることを特徴とする。
【００１１】
請求項４のクリーンルーム用天井構造は、請求項１ないし３のいずれか１項記載のクリーンルーム用天井構造において、前記主枠部材および副枠部材の側面に、前記下側継手の枠部材収容部の内面を接着してなることを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて詳細に説明する。
【００１７】
図１および図２は、図３の要部の詳細を示しており、図３は、本発明のクリーンルーム用天井構造の一実施形態を示している。
図３において、符号２１は、所定間隔を置いて平行に配置される複数の長尺状の主枠部材を示している。
この主枠部材２１の間には、複数の副枠部材２３が配置され、複数のフィルタ取付開口部２５を有する格子状のフィルタ取付部材２７が構成されている。
【００１８】
そして、フィルタ取付開口部２５を形成する主枠部材２１および副枠部材２３の上面であるシール面２９には、図４に示すように、ファン３１とフィルタ３３とをユニット化したファンフィルタユニット（ＦＦＵ）３５が、ガスケット等のシール部材３７を介して載置されている。
主枠部材２１および副枠部材２３には、吊り部３９が上方に向けて突出形成されており、この吊り部３９が、吊りボルト４１を介して図示しない建屋の建物梁に吊り持ちされている。
【００１９】
この実施形態では、主枠部材２１および副枠部材２３は、アルミニウムの押し出し成形により形成され、断面形状を同一形状とされている。
主枠部材２１および副枠部材２３は、図１および図２に示すように、断面矩形形状の本体部４１と、この本体部４１から上方に向けて突出する吊り部３９とを有している。
【００２０】
本体部４１の側面の上部には、長手方向に沿って係止溝４３が形成されている。
この係止溝４３の下側面は、底面側に向けて下方に傾斜されている。
また、本体部４１の底面の中央には、長手方向に沿って凹溝４５が形成されている。
一方、吊り部３９の上面には、長手方向に沿って、入口開口の両側に突出部４７が形成される溝部４９が形成されている。
【００２１】
そして、この実施形態では、主枠部材２１と、この主枠部材２１の両側に配置される副枠部材２３とが、上側継手５１および下側継手５３により連結されている。
上側継手５１は、図５および図６に示すように十字形状をしており、炭素鋼等の金属により形成されている。
【００２２】
そして、十字状の上側継手５１の各突出部５５の先端には、例えば、プレス加工により、嵌合凸部５７が形成されている。
この嵌合凸部５７は、主枠部材２１および副枠部材２３の吊り部３９の上面に形成される溝部４９に嵌合される。
また、上側継手５１の中央には、上方に突出する長溝状の突出部５９が形成され、上側継手５１が補強されている。
【００２３】
そして、上側継手５１の各突出部５５には、ボルト穴６１が形成されている。この上側継手５１は、図１に示すように、上側継手５１のボルト穴６１にボルト６３を挿通し、主枠部材２１および副枠部材２３の吊り部３９の上面に形成される溝部４９に配置される６角ナット６５に、ボルト６３を螺合することにより主枠部材２１および副枠部材２３に固定される。
【００２４】
一方、下側継手５３は、図７，図８および図９に示すように十字溝状に形成されている。
この下側継手５３は、弾性を有する樹脂、例えば、強化ポリカーボネートにより形成されている。
下側継手５３の各突出部６７には、主枠部材２１または副枠部材２３を収容する枠部材収容部６９が形成されている。
【００２５】
この枠部材収容部６９は、十字状の底面７１の各突出部６７ａと、この各突出部の両側から上方に向けて平行に突出する一対の挟持部７３により形成されている。
そして、各挟持部７３の上端には、主枠部材２１および副枠部材２３の側面に形成される係止溝４３に係止される係止突起７５が形成されている。
【００２６】
この係止突起７５は、図１０に示すように、挟持部７３の上端から内側に直角に突出する突部７７と、この突部７７の下面に形成される半円部７９とを有している。
また、下側継手５３の中央線上には、主枠部材２１および副枠部材２３の本体部の底面に形成される凹溝４５に嵌合される突状部８１が内側に向けて突出して形成されている。
【００２７】
上述したクリーンルーム用天井構造では、図１２に示すように、主枠部材２１と、この主枠部材２１の両側に配置される副枠部材２３（図１２では主枠部材２１のみを示す）とが、弾性を有する樹脂からなる十字溝状の下側継手５３の各突出部に形成される枠部材収容部６９内に収容され、図１に示したように、主枠部材２１および副枠部材２３の側面に形成される係止溝４３に、下側継手５３の枠部材収容部６９の上端に形成される係止突起７５を係合され、係止突起７５により主枠部材２１および副枠部材２３の底面が、下側継手５３の底面７１に密着される。
【００２８】
そして、この状態で、図１に示したように、上側継手５１のボルト穴６１にボルト６３を挿通し、主枠部材２１および副枠部材２３の吊り部３９の上面に形成される溝部４９に配置される６角ナット６５に、ボルト６３を螺合することにより、上側継手５１が主枠部材２１および副枠部材２３に固定される。
以上のように構成されたクリーンルーム用天井構造では、主枠部材２１と、この主枠部材２１の両側に配置される副枠部材２３とを、弾性を有する樹脂からなる十字溝状の下側継手５３の各突出部６７に形成される枠部材収容部６９内に上側から収容し、主枠部材２１および副枠部材２３の側面に形成される係止溝４３に、下側継手５３の枠部材収容部６９の上端に形成される係止突起７５を係合し、係止突起７５により主枠部材２１および副枠部材２３の底面を、下側継手５３の底面７１に密着させたので、主枠部材２１と副枠部材２３とを高い精度で容易，確実に連結することができる。
【００２９】
すなわち、予め、十字溝状の下側継手５３の各突出部６７に形成される枠部材収容部６９の直角度、および、各枠部材収容部６９の底面７１位置の同一平面度を所定の許容誤差内に維持して下側継手５３を製造しておくことにより、主枠部材２１と副枠部材２３との直角度、およびシール部材が配置される主枠部材２１と副枠部材２３のシール面２９位置の同一平面度を容易，確実に得ることができる。
【００３０】
従って、クリーンルームの構築時に、主枠部材２１と副枠部材２３とに必要な直角度および同一平面度を得るための工数を低減し、また、地震等による衝撃により、直角度および同一平面度が破壊され気密性が損なわれるおそれを低減することができる。
【００３１】
また、上述したクリーンルーム用天井構造では、主枠部材２１および副枠部材２３の側面に、下側継手５３の枠部材収容部６９の内面を接着したので、主枠部材２１と副枠部材２３とをより強固に連結することができ、また、気密性をより向上することができる。
そして、この場合、図１２に示すように、係止突起７５のスペーサとしての働きにより、枠部材収容部６９の一対の挟持部７３が、外側に開いた状態で主枠部材２１および副枠部材２３に係止されるため、接着剤により主枠部材２１および副枠部材２３が汚されるおそれを解消することができる。
【００３２】
さらに、上述したクリーンルーム用天井構造では、下側継手５３をポリカーボネートにより形成したので、下側継手５３の剛性を高めることができ、また、下側継手５３の枠部材収容部６９の上端に形成される係止突起７５を充分に弾性変形することができる。
また、上述したクリーンルーム用天井構造では、主枠部材２１と、この主枠部材２１の両側に配置される副枠部材２３とを、吊り部３９の上面において、金属からなる十字状の上側継手５１により連結したので、主枠部材２１と副枠部材２３とが、その上下において上側継手５１および下側継手５３により連結されることになり、主枠部材２１と副枠部材２３との連結強度を高めることができ、特に、地震等に対する構造強度を向上することができる。
【００３３】
そして、さらに、上述したクリーンルーム用天井構造では、十字状の上側継手５１の各突出部５５に、吊り部３９の上面に形成される溝部４９に嵌合する嵌合凸部５７を形成したので、主枠部材２１と副枠部材２３との直角度を容易，確実に得ることができる。
すなわち、嵌合凸部５７を形成しない場合には、ボルト６３による上側継手５１の主枠部材２１および副枠部材２３への固定時に、ボルト６３の締め付けに伴い上側継手５１が回動し、主枠部材２１および副枠部材２３の吊り部３９の上面の直角度を得ることが困難になるが、この実施形態では、十字状の上側継手５１の各突出部５５に、吊り部３９の上面に形成される溝部４９に嵌合する嵌合凸部５７を形成したので、主枠部材２１と副枠部材２３との上部の直角度を容易，確実に得ることができる。
【００３４】
【発明の効果】
以上述べたように、請求項１のクリーンルーム用天井構造では、主枠部材と副枠部材とを高い精度で容易，確実に連結することができる。
【００３６】
請求項２のクリーンルーム用天井構造では、十字状の上側継手の各突出部に、吊り部の上面に形成される溝部に嵌合する嵌合凸部を形成したので、主枠部材と副枠部材との直角度を容易，確実に得ることができる。
請求項３のクリーンルーム用天井構造では、主枠部材と副枠部材とが、その上下において上側継手および下側継手により連結されることになり、主枠部材と副枠部材との連結強度を高めることができる。
【００３７】
請求項４のクリーンルーム用天井構造では、主枠部材および副枠部材の側面に、下側継手の枠部材収容部の内面を接着したので、主枠部材と副枠部材とをより強固に連結することができる。また、気密性をより向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図３の要部の詳細を示す断面図である。
【図２】図３の要部の詳細を示す斜視図である。
【図３】本発明のクリーンルーム用天井構造の一実施形態を示す上面図である。
【図４】図３の要部の詳細を示す断面図である。
【図５】図１の上側継手を示す上面図である。
【図６】図５の上側継手を示す側面図である。
【図７】図１の下側継手を示す斜視図である。
【図８】図７の下側継手を示す上面図である。
【図９】図７の下側継手を示す側面図である。
【図１０】図７の下側継手の挟持部に形成される係止突起を示す説明図である。
【図１１】図７の下側継手を主枠部材に装着する状態を示す斜視図である。
【図１２】図７の下側継手を主枠部材に装着している状態を示す説明図である。
【図１３】従来のクリーンルーム用天井構造を示す上面図である。
【図１４】従来のクリーンルーム用天井構造の要部を示す断面図である。
【符号の説明】
２１主枠部材
２３副枠部材
２５フィルタ取付開口部
２７フィルタ取付部材
２９シール面
３５ファンフィルタユニット
３７シール部材
３９吊り部
４３係止溝
４７突出部
４９溝部
５１上側継手
５３下側継手
５７嵌合凸部
６３ボルト
６９枠部材収容部
７５係止突起

Claims

所定間隔を置いて平行に配置される複数の長尺状の主枠部材の間に複数の副枠部材を配置し、複数のフィルタ取付開口部を有する格子状のフィルタ取付部材を構成し、前記フィルタ取付開口部を形成する前記主枠部材および副枠部材の上面に、ファンフィルタユニットをシール部材を介して載置してなるクリーンルーム用天井構造において、
前記主枠部材および副枠部材の上面に、同一の高さを有する吊り部を上方に向けて突出形成するとともに、前記主枠部材と、この主枠部材の両側に配置される副枠部材とを、前記吊り部の上面において、金属からなる十字平板状の上側継手により連結してなり、
前記吊り部の上面に、入口開口の両側に突出部が形成される溝部を長手方向に沿って形成するとともに、前記溝部の前記突出部の下側にナットを水平に回転不能に配置し、前記上側継手に形成されるボルト穴にボルトを上方から挿通して前記ナットに螺合し、前記上側継手を前記ボルトの頭部と前記突出部との間に挟持してなることを特徴とするクリーンルーム用天井構造。
請求項１記載のクリーンルーム用天井構造において、
前記十字平板状の上側継手の各突出部の先端に、前記吊り部の上面に形成される溝部に嵌合する嵌合凸部を形成してなることを特徴とするクリーンルーム用天井構造。
請求項１または請求項２記載のクリーンルーム用天井構造において、
前記主枠部材と、この主枠部材の両側に配置される副枠部材とを、弾性を有する樹脂からなる十字溝状の下側継手の各突出部に形成される枠部材収容部内に上側から収容し、前記主枠部材および副枠部材の側面に形成される係止溝に、前記下側継手の前記枠部材収容部の上端に形成される係止突起を係合し、前記係止突起により前記主枠部材および副枠部材の底面を、前記下側継手の底面に密着させてなることを特徴とするクリーンルーム用天井構造。
請求項１ないし請求項３のいずれか１項記載のクリーンルーム用天井構造において、
前記主枠部材および副枠部材の側面に、前記下側継手の枠部材収容部の内面を接着してなることを特徴とするクリーンルーム用天井構造。