JP2502277Y2 - クリ―ンル―ムの天井構造 - Google Patents

クリ―ンル―ムの天井構造

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JP2502277Y2
JP2502277Y2 JP3311590U JP3311590U JP2502277Y2 JP 2502277 Y2 JP2502277 Y2 JP 2502277Y2 JP 3311590 U JP3311590 U JP 3311590U JP 3311590 U JP3311590 U JP 3311590U JP 2502277 Y2 JP2502277 Y2 JP 2502277Y2
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Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、例えば、半導体製造工場,精密部品製造工
場等で採用されているクリーンルームの天井構造に関す
る。
〔従来の技術〕
従来、半導体製造工場,精密部品製造工場等では、微
小な塵芥により不良製品が製造される虞があるため、塵
芥を極力低減したクリーンルーム内で精密部品の製造等
が行なわれている。
このようなクリーンルームの天井構造としては、例え
ば、実開昭62-147833号公報および特開昭59-216612号公
報等に開示されるようなものが知られている。
第12図は、このようなクリーンルームの天井構造を示
すもので、符号11は、床スラブ等に吊り下げられるフィ
ルタ取付部材を示している。
このフィルタ取付部材11は、床スラブ等に固定された
吊下部材13により吊り下げられている。
また、フィルタ取付部材11は、上方に開口するシール
剤充填部15が形成された多数の枠部材16により、格子状
に形成されている。
これらの枠部材16は、溝形鋼により形成されており、
例えば、第13図に示すように、十字状のコネクタ17に4
本の枠部材16の端部を挿入して、相互に連結されてい
る。
そして、枠部材16のシール剤充填部15に、第12図に示
したように、シール剤充填装置19によりシール剤を充填
することによりフィルタ取付部材11が形成される。
そして、このようにして構成されたフィルタ取付部材
11には、第14図に示すように、そのフィルタ取付開口部
21からフィルタ23が室内側から押し上げられ、テーパ状
に形成されたフィルタ枠25が、第15図に示すように、フ
ィルタ取付開口部21を形成する枠部材16に当接され、フ
ィルタ23が、フィルタ取付部材11のフィルタ取付開口部
21に気密状態で固定されて、クリーンルームの天井が形
成される。
〔考案が解決しようとする課題〕
しかしながら、このようなクリーンルームの天井構造
では、天井の気密性を向上するため、コネクタ17に4本
の枠部材16を連結し、枠部材16のシール剤充填部15内に
充填剤を充填する必要があるが、この際に、コネクタ17
と枠部材16との隙間からシール剤が漏出する虞があり、
この場合には、天井の気密性が低下する虞があった。
即ち、4本の枠部材16はコネクタ17に連結され、この
コネクタ17が吊下部材13により吊り下げられるので、枠
部材16に固定されるフィルタ23の重量がコネクタ17に直
接作用し、この外力によりコネクタ17が変形し、枠部材
16とコネクタ17との間に隙間が形成され、この隙間から
シール剤が漏出するという問題があった。
また、多数の枠部材16をコネクタ17により連結して、
フィルタ23が取り付けられる格子状のフィルタ取付部材
11を形成し、コネクタ17を吊下部材13により吊り下げる
必要があったので、作業に手間がかかるという問題があ
った。
即ち、テーパ状に形成されたフィルタ枠25を、フィル
タ取付開口部21を形成する枠部材16に当接し、フィルタ
23を支持する必要があるが、もし、フィルタ枠25を枠部
材16に気密状態に支持することができない場合には、ク
リーンルーム内の清浄度が低下し、クリーンルーム内部
で製造等している製品に悪影響を及ぼす虞がある。この
ため、枠部材16により形成されるフィルタ取付開口部21
に、フィルタ枠25を密着して嵌入する必要があり、枠部
材16に高い寸法精度が要求されるとともに、枠部材16の
組立にも細部まで念入りに作業を行なう必要があるとい
う問題があった。
また、フィルタ取付部材11のフィルタ取付開口部21
は、コネクタ17に4本の枠部材16を挿入して形成する必
要があるため、枠部材16のすべてをコネクタ17により支
持し、各コネクタ17を吊下部材13で床スラブ等に支持す
る必要があり、吊下部材13が多数必要になるとともに、
吊り下げ位置も限定され、作業性も悪いという問題があ
った。
本考案はこのような問題点を解決するためになされた
もので、請求項1,4,5記載のクリーンルームの天井構造
は、クリーンルームの天井を手間をかけずに容易に製造
することができることを目的とし、請求項2および3記
載のクリーンルームの天井構造は、気密性を大幅に向上
することができることを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
請求項1記載のクリーンルームの天井構造は、上方に
開口しシール剤が充填されるシール剤充填部が形成され
た枠部材により、多数のフィルタ取付開口部を有する格
子状のフィルタ取付部材を構成し、このフィルタ取付部
材のフィルタ取付開口部に、フィルタ枠を有するフィル
タをそれぞれ配設し、前記フィルタ枠に形成された固定
部を前記枠部材のシール剤充填部に挿入し、この状態
で、前記シール剤充填部にシール剤を充填し、前記固定
部を前記枠部材に気密状態で固定してなるクリーンルー
ムの天井構造において、前記フィルタ取付部材が、所定
間隔を置いてほぼ平行に配設された複数の長尺状の主枠
部材と、これらの主枠部材の間にほぼ平行に配置された
複数の副枠部材と、前記主枠部材と前記副枠部材とを連
結する十字状のコネクタとを有して構成されるものであ
る。
請求項2記載のクリーンルームの天井構造は、請求項
1記載のクリーンルームの天井構造において、固定部
を、主枠部材にのみ当接してなるものである。
請求項3記載のクリーンルームの天井構造は、請求項
1または2記載のクリーンルームの天井構造において、
副枠部材のシール剤充填部の底面を、主枠部材のシール
剤充填部の底面よりも下方に位置させ、フィルタ枠の固
定部を主枠部材にのみ当接してなるものである。
請求項4記載のクリーンルームの天井構造は、請求項
1,2,3の何れか記載のクリーンルームの天井構造におい
て、副枠部材の端部におけるシール剤充填部に位置する
主枠部材を切り欠き、前記主枠部材と前記副枠部材のシ
ール剤充填部を連通してなるものである。
請求項5記載のクリーンルームの天井構造は、請求項
1,2,3,4の何れか記載のクリーンルームの天井構造にお
いて、コネクタを樹脂により形成し、このコネクタに、
その枠部材収容空間に向けて突出し前記枠部材に係合す
る係止部を形成してなるものである。
〔作用〕
請求項1記載のクリーンルームの天井構造では、副枠
部材が、長尺状の主枠部材に装着されたコネクタに連結
され、このコネクタにより副枠部材が主枠部材に固定さ
れるので、長尺状の主枠部材の自由位置を吊り下げるこ
とにより、フィルタ取付部材が吊り下げられる。
請求項2記載のクリーンルームの天井構造では、請求
項1記載のクリーンルームの天井構造において、固定部
を、主枠部材にのみ当接したので、フィルタ枠の固定部
は、主枠部材,副枠部材のシール剤充填部に挿入される
が、フィルタ枠の固定部は副枠部材に当接しないため、
フィルタの重量は副枠部材には作用せず、主枠部材に固
定されたコネクタには殆ど外力が作用せず、コネクタの
変形が阻止される。
さらに、フィルタ枠の固定部を、主枠部材,副枠部材
のシール剤充填部に挿入し、シール剤充填部にシール剤
を充填し、固定部を主枠部材,副枠部材に固定すること
により、フィルタがフィルタ取付部材に気密状態で固定
されるため、枠部材に厳密な寸法精度が要求されない。
請求項3記載のクリーンルームの天井構造では、請求
項1または2記載のクリーンルームの天井構造におい
て、副枠部材のシール剤充填部の底面を、主枠部材のシ
ール剤充填部の底面よりも下方に位置させたので、フィ
ルタ枠の固定部は副枠部材に当接せず、フィルタの重量
が副枠部材には作用しない。このため、主枠部材に固定
されたコネクタには殆ど外力が作用せず、コネクタの変
形が阻止される。
請求項4記載のクリーンルームの天井構造では、請求
項1,2,3の何れか記載のクリーンルームの天井構造にお
いて、副枠部材の端部におけるシール剤充填部に位置す
る主枠部材を切り欠き、主枠部材と副枠部材のシール剤
充填部を連通したので、主枠部材と副枠部材の何れかの
シール剤充填部にシール剤を充填すると、フィルタ取付
部材全体にシール剤が充填されるとともに、主枠部材と
副枠部材がシール剤により一体に連結される。
請求項5記載のクリーンルームの天井構造では、請求
項1,2,3,4の何れか記載のクリーンルームの天井構造に
おいて、コネクタを樹脂により形成し、このコネクタ
に、その枠部材収容空間に向けて突出し枠部材に係合す
る係止部を形成したので、主枠部材と副枠部材をコネク
タの枠部材収容空間に収容すると、係止部が主枠部材と
副枠部材に係合して抜け止めされ、副枠部材が主枠部材
に連結される。
〔実施例〕
以下、本考案の詳細を図面に示す一実施例について説
明する。
第1図は、本考案のクリーンルームの天井構造の一実
施例を示し、第2図および第3図は本考案のクリーンル
ームの天井構造を適用した天井を示している。
第2図において、符号31は、床スラブ等に吊り下げら
れるフィルタ取付部材を示している。
このフィルタ取付部材31は、床スラブ等に固定された
吊下部材33により吊り下げられている。
また、フィルタ取付部材31は、第3図に示すように、
格子状に形成されており、フィルタ取付部材31に形成さ
れた多数のフィルタ取付開口部35には、図示しない空調
装置からの空調空気をろ過するためのフィルタ37がそれ
ぞれ配設されている。
フィルタ取付部材31は、第1図,第3図,第4図およ
び第5図に示すように、所定間隔を置いてほぼ平行に配
置された複数の長尺状の主枠部材39と、これらの主枠部
材39の間にほぼ平行に配置された複数の副枠部材41と、
主枠部材39と副枠部材41とを収容して連結する十字状の
コネクタ43とから構成されている。
主枠部材39は、第6図に示すように、平行に立設され
た2枚の側板45と、これらの側板45の間に平行配置され
た2枚の底板46,47と、上底板46の上部中央に形成され
た案内部49とから構成されている。
下底板47には、上方に突出する突出部51が主枠部材39
の軸長方向に形成され、この突出部51には、下方に開口
する凹溝52が、主枠部材39の軸長方向に形成されてい
る。
また、上底板46は、2枚の側板45のほぼ中央部同士を
連結しており、これにより、上底板46の上部には、上方
に開口するシール剤充填部53が形成されている。
さらに、案内部49は、第4図および第5図に示したよ
うに、上方に、かつ主枠部材39の軸長方向に延設され、
これにより、シール剤充填部53が、主枠部材39の横方向
に2列形成されている。
主枠部材39の案内部49の上部に形成された案内凹部55
には、第1図に示したように、T形溶接ナット57の抜止
部59が係合されており、このT形溶接ナット57は、吊下
部材33の下端部に螺合されている。
副枠部材41は、第7図に示すように、平行に立設され
た2枚の側板59と、これらの側板59の間に平行配置され
た2枚の底板61,63と、上底板61の上部中央に形成され
た補強部65とから構成されている。
下底板63には、上方に突出する突出部66が副枠部材41
の軸長方向に形成され、この突出部66には、凹溝67が副
枠部材41の軸長方向に形成されている。
また、上底板61は、2枚の側板59のほぼ中央部同士を
連結しており、これにより、上底板61の上部には、上方
に開口するシール剤充填部53が形成されている。
そして、副枠部材41の上底板61の上面は、第1図に示
したように、主枠部材39の上底板46の上面よりも、下方
に位置しており、これにより、副枠部材41のシール剤充
填部53の底面が、主枠部材39のシール剤充填部53の底面
よりも下方に位置されている。
また、副枠部材41の端部におけるシール剤充填部53に
位置する主枠部材39は、第5図に示したように、切り欠
かれており、主枠部材39と副枠部材41のシール剤充填部
53が連通されている。
コネクタ43には、第8図および第9図に示すように、
主枠部材39と副枠部材41とを収容する枠部材収容空間71
が十字状に形成されている。このコネクタ43は、プラス
チック製とされ、弾性変形可能に形成されている。
枠部材収容空間71を形成する側板73の上端には、主枠
部材39と副枠部材41の側板45,59の上端に係合する係止
部75が、枠部材収容空間71に向けて突出して形成されて
いる。この係止部75の下面にはテーパ面が形成されてお
り、このテーパ面が、主枠部材39と副枠部材41の側板4
5,59の上端に形成されたテーパ面に係合することによ
り、コネクタ43が抜け止めされる。
また、コネクタ43の底面には、主枠部材39と副枠部材
41の凹溝52,67に挿入される案内突部76が上方に突出し
て形成され、コネクタ43の中央部には、主枠部材39を螺
子止めするための挿通孔77が形成されている。
そして、第10図および第11図に示すように、フィルタ
37にはフィルタ枠79が形成されており、このフィルタ枠
79には、下方に向けて突出し、主枠部材39,副枠部材41
のシール剤充填部53に挿入される固定部81が形成されて
いる。この固定部81は、フィルタ37を取り囲むようにフ
ィルタ枠79に環状に形成されている。
固定部81の下端は、主枠部材39の上底板46にのみ当接
しており、副枠部材41の上底板61には当接していない。
そして、この状態で、フィルタ枠79の固定部81は、シー
ル剤充填部53に充填されるシール剤80により、主枠部材
39と副枠部材41に固定されている。
以上のように構成されたクリーンルームの天井構造で
は、天井は、例えば、先ず、床スラブ等に固定された吊
下部材33に主枠部材39を平行に固定し、第5図に示した
ように、主枠部材39にコネクタ43の側板73を押し広げて
嵌入し、主枠部材39の側板45の上端に係止部75を係合さ
せることにより形成される。
次に、主枠部材39に固定されたコネクタ43に、副枠部
材41を、その側板73を押し広げて嵌入し、多数の主枠部
材39を副枠部材41により連結し、格子状の多数のフィル
タ取付開口部35を形成する。
この後、主枠部材39,副枠部材41のシール剤充填部53
に、フィルタ37の固定部81を挿入し、主枠部材39および
副枠部材41にシール剤80を充填し、フィルタ37を、フィ
ルタ取付部材31のフィルタ取付開口部35に気密状態で固
定することにより、天井が形成される。
そして、以上のように構成されたクリーンルームの天
井構造では、副枠部材41が、長尺状の主枠部材39に装着
されたコネクタ43に連結され、このコネクタ43により副
枠部材41が主枠部材39に固定され、長尺状の主枠部材39
の自由位置が吊り下げられる。
また、フィルタ枠79の固定部81が、主枠部材39,副枠
部材41のシール剤充填部53に挿入されるが、フィルタ枠
79の固定部81は副枠部材41には当接しないため、フィル
タ37の重量は副枠部材41には作用せず、コネクタ43には
殆ど外力が作用せず、コネクタ43の変形が阻止される。
しかして、以上のように構成されたクリーンルームの
天井構造では、フィルタ取付部材31を、平行に配置され
た複数の長尺状の主枠部材39と、これらの主枠部材39の
間に配置された複数の副枠部材41と、主枠部材39と副枠
部材41とを収容して連結する十字状のコネクタ43とから
構成したので、副枠部材41が、長尺状の主枠部材39に装
着されたコネクタ43に連結され、このコネクタ43により
副枠部材41が主枠部材39に固定される。従って、長尺状
の主枠部材39の自由位置を吊り下げることにより、フィ
ルタ取付部材31が吊り下げられ、クリーンルームの天井
を、手間をかけずに容易に製造することができる。
また、この実施例では、吊下部材33の下端部に抜止部
59を形成し、主枠部材39に、抜止部59が係合する案内部
49の案内凹部55を主枠部材39の軸長方向に形成したの
で、主枠部材39の軸長方向に形成された案内部49に、吊
下部材33の抜止部59が係合されるが、吊下部材33は、そ
の抜止部59を主枠部材39の案内部49を摺動させることに
より、吊下部材33を主枠部材39に対して自由な位置に移
動でき、主枠部材39の自由な位置を吊り下げることがで
きる。
さらに、この実施例では、副枠部材41には外力が殆ど
作用しないため、主枠部材39のみを吊下部材33で吊り下
げれば良く、また、コネクタ43を吊り下げる必要がない
ため、主枠部材39を自由な位置で吊り下げることがで
き、クリーンルームの天井を手間をかけずに容易に製造
することができる。
また、以上のように構成されたクリーンルームの天井
構造では、副枠部材41のシール剤充填部53の底面を、主
枠部材39のシール剤充填部53の底面よりも下方に位置さ
せ、フィルタ枠79の固定部81を主枠部材39にのみ当接し
たので、フィルタ枠79の固定部81が、主枠部材39,副枠
部材41のシール剤充填部53に挿入されるが、フィルタ枠
79の固定部81は副枠部材41には当接しないため、フィル
タ37の重量は副枠部材41には作用せず、コネクタ43には
殆ど外力が作用せず、コネクタ43の変形が阻止され、コ
ネクタ43と枠部材39,41との間に隙間が形成されること
を防止することができ、天井の気密性を従来よりも大幅
に向上することができる。
また、長尺状の主枠部材39の間に副枠部材41を連結す
ることにより、フィルタ取付部材31が形成されるので、
連結点数を低減することができ、クリーンルームの天井
を手間をかけずに容易に製造することができる。
さらに、フィルタ枠79の固定部81を、主枠部材39,副
枠部材41のシール剤充填部53に挿入し、シール剤充填部
53にシール剤80を充填することにより、フィルタ37がフ
ィルタ取付部材31に気密状態で固定されるため、枠部材
39,41への厳密な寸法精度,厳密な組立精度が要求され
ず、これにより、クリーンルームの天井を手間をかけず
に容易に製造することができる。
また、以上のように構成されたクリーンルームの天井
構造では、副枠部材41の端部におけるシール剤充填部53
に位置する主枠部材39を切り欠き、主枠部材39と副枠部
材41のシール剤充填部53を連通したので、主枠部材39と
副枠部材41の何れかのシール剤充填部53にシール剤80を
充填すると、フィルタ取付部材31全体にシール剤80が充
填されるとともに、主枠部材39と副枠部材41の連結部分
がシール剤80により一体に連結され、クリーンルームの
天井を手間をかけずに容易に形成することができるとと
もに、気密性を大幅に向上することができる。
さらに、以上のように構成されたクリーンルームの天
井構造では、コネクタ43を樹脂により形成し、このコネ
クタ43に、その枠部材収容空間71に向けて突出し枠部材
39,41に係合する係止部75を形成したので、主枠部材39
と副枠部材41をコネクタ43の枠部材収容空間71に収容す
ると、係止部75が主枠部材39と副枠部材41の側板45,59
のテーパ面に係合して抜け止めされ、副枠部材41を主枠
部材39に確実に連結することができ、天井の気密性を向
上することができる。
尚、上記実施例では、副枠部材41のシール剤充填部53
の底面を、主枠部材39のシール剤充填部53の底面よりも
下方に位置させ、フィルタ枠79の固定部81を副枠部材41
に当接しないようにした例について説明したが、本考案
は上記実施例に限定されるものではなく、フィルタの固
定部を、副枠部材に相当する部分だけ短く形成しても、
上記実施例とほぼ同様の効果を得ることができる。
〔考案の効果〕
請求項1記載のクリーンルームの天井構造では、フィ
ルタ取付部材を、所定間隔を置いてほぼ平行に配設され
た複数の長尺状の主枠部材と、これらの主枠部材の間に
ほぼ平行に配置された複数の副枠部材と、主枠部材と副
枠部材とを連結する十字状のコネクタとを有して構成し
たので、副枠部材が、長尺状の主枠部材に装着されたコ
ネクタに連結され、このコネクタにより副枠部材が主枠
部材に固定される。従って、長尺状の主枠部材の自由位
置を吊り下げることにより、フィルタ取付部材が吊り下
げられ、クリーンルームの天井を、手間をかけずに容易
に製造することができる。
請求項2記載のクリーンルームの天井構造では、請求
項1記載のクリーンルームの天井構造において、固定部
を、主枠部材にのみ当接したので、フィルタ枠の固定部
は、主枠部材,副枠部材のシール剤充填部に挿入される
が、フィルタ枠の固定部は副枠部材に当接しないため、
フィルタの重量は副枠部材には作用せず、主枠部材に固
定されたコネクタには殆ど外力が作用せず、コネクタの
変形が阻止され、コネクタと枠部材との間からのシール
剤の漏出を防止することができ、天井の気密性を従来よ
りも大幅に向上することができる。
また、フィルタ枠の固定部を、主枠部材,副枠部材の
シール剤充填部に挿入し、シール剤充填部にシール剤を
充填することにより、フィルタがフィルタ取付部材に気
密状態で固定されるため、枠部材に厳密な寸法精度が要
求されず、クリーンルームの天井を手間をかけずに容易
に製造することができる。
請求項3記載のクリーンルームの天井構造では、請求
項1または2記載のクリーンルームの天井構造におい
て、副枠部材のシール剤充填部の底面を、主枠部材のシ
ール剤充填部の底面よりも下方に位置したので、フィル
タ枠の固定部は副枠部材に当接せず、フィルタの重量が
副枠部材には作用しない。このため、コネクタには殆ど
外力が作用せず、コネクタの変形が阻止され、天井の気
密性を従来よりも大副に向上することができる。
請求項4記載のクリーンルームの天井構造では、請求
項1,2,3の何れか記載のクリーンルームの天井構造にお
いて、副枠部材の端部におけるシール剤充填部に位置す
る主枠部材を切り欠き、主枠部材と副枠部材のシール剤
充填部を連通したので、主枠部材と副枠部材の何れかの
シール剤充填部にシール剤を充填すると、フィルタ取付
部材全体にシール剤が充填されるとともに、主枠部材と
副枠部材との連結部分がシール剤により一体に連結さ
れ、これにより、クリーンルームの天井を手間をかけず
に容易に製造することができる。
請求項5記載のクリーンルームの天井構造では、請求
項1,2,3,4の何れか記載のクリーンルームの天井構造に
おいて、コネクタを樹脂により形成し、このコネクタ
に、その枠部材収容空間に向けて突出し枠部材に係合す
る係止部を形成したので、主枠部材と副枠部材をコネク
タの枠部材収容空間に収容すると、係止部が主枠部材と
副枠部材に係合して抜け止めされ、これにより、副枠部
材を主枠部材に確実に固定することができ、天井の気密
性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案のクリーンルームの天井構造の一実施例
を示す断面図である。 第2図は第1図のクリーンルームの天井構造により天井
を形成した状態を示す側面図である。 第3図は第2図の底面図である。 第4図は主枠部材に副枠部材を連結する状態を示す斜視
図である。 第5図は主枠部材にコネクタを嵌入する状態を示す斜視
図である。 第6図は第4図のVI-VI線に沿う横断面図である。 第7図は第4図のVII-VII線に沿う横断面図である。 第8図は第5図のコネクタを示す平面図である。 第9図は第8図の正面図である。 第10図は第3図のX-X線に沿う横断面図である。 第11図は第3図のXI-XI線に沿う横断面図である。 第12図は従来のクリーンルームの天井構造を示す斜視図
である。 第13図は枠部材をコネクタで連結した状態を示す斜視図
である。 第14図および第15図はフィルタをフィルタ取付部材に配
置する状態を示す斜視図である。 〔主要な部分の符号の説明〕 31……フィルタ取付部材 35……フィルタ取付開口部 37……フィルタ 39……主枠部材 41……副枠部材 43……コネクタ 53……シール剤充填部 71……枠部材収容空間 75……係止部 79……フィルタ枠 80……シール剤 81……固定部。

Claims (5)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】上方に開口しシール剤が充填されるシール
    剤充填部が形成された枠部材により、多数のフィルタ取
    付開口部を有する格子状のフィルタ取付部材を構成し、
    このフィルタ取付部材のフィルタ取付開口部に、フィル
    タ枠を有するフィルタをそれぞれ配設し、前記フィルタ
    枠に形成された固定部を前記枠部材のシール剤充填部に
    挿入し、この状態で、前記シール剤充填部にシール剤を
    充填し、前記固定部を前記枠部材に気密状態で固定して
    なるクリーンルームの天井構造において、前記フィルタ
    取付部材が、所定間隔を置いてほぼ平行に配設された複
    数の長尺状の主枠部材と、これらの主枠部材の間にほぼ
    平行に配置された複数の副枠部材と、前記主枠部材と前
    記副枠部材とを連結する十字状のコネクタとを有して構
    成されることを特徴とするクリーンルームの天井構造。
  2. 【請求項2】固定部は、主枠部材にのみ当接される請求
    項1記載のクリーンルームの天井構造。
  3. 【請求項3】副枠部材のシール剤充填部の底面は、主枠
    部材のシール剤充填部の底面よりも下方に位置してお
    り、フィルタ枠の固定部が主枠部材にのみ当接される請
    求項1または2記載のクリーンルームの天井構造。
  4. 【請求項4】副枠部材の端部におけるシール剤充填部に
    位置する主枠部材は切り欠かれており、前記主枠部材と
    前記副枠部材のシール剤充填部が連通されている請求項
    1,2,3の何れか記載のクリーンルームの天井構造。
  5. 【請求項5】コネクタは樹脂により形成されており、こ
    のコネクタには、その枠部材収容空間に向けて突出し前
    記枠部材に係合する係止部が形成されている請求項1,2,
    3,4の何れか記載のクリーンルームの天井構造。
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