JP3859138B2

JP3859138B2 - ファンフィルタユニット組付構造

Info

Publication number: JP3859138B2
Application number: JP2002145167A
Authority: JP
Inventors: 允和山形
Original assignee: Sanki Engineering Co Ltd
Current assignee: Sanki Engineering Co Ltd
Priority date: 2002-05-20
Filing date: 2002-05-20
Publication date: 2006-12-20
Anticipated expiration: 2022-05-20
Also published as: JP2003336879A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ファンフィルタユニット（以下、ＦＦＵと称する）の組付構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ＦＦＵの組付方法としては、ＦＦＵをフィルタ枠に対し、フィルタ枠上方からのＦＦＵ自重を利用した据置方式が一般的に行われていた。
その一例を、図９により説明する。
先ず、クリーンルーム１の天井側の空間内に人手によってＦＦＵ５を搬入し、天井から所定の間隔で垂下されたフィルタ枠２，２上に仮置きする。
次に、フィルタ枠２，２の上に人が入り、所定の位置のフィルタ枠２，２上にＦＦＵ５を移動し、ＦＦＵ５を据付け直す。
【０００３】
斯くして、図９に示すように、ＦＦＵ５が自重によりフィルタ枠２，２上に据付けられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、この従来のＦＦＵの据置方式では、ＦＦＵ５を一旦フィルタ枠２，２の上方に搬入し、所定のフィルタ枠２，２枠に据付け直すため、フィルタ枠２，２枠上方に人が入らなければならない。
また、人が入ってＦＦＵ５の据付を行うのに十分な高さが必要であった。
本発明は斯かる従来の問題点を解決するために為されたもので、その目的は、ＦＦＵをフィルタ枠の下方から簡単にかつ十分な気密を持って取り付けることが可能なＦＦＵ組付構造を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、クリーンルームの天井側に長尺部材と短尺部材とを格子状に配して成る枠部材と、ファンユニットをフィルタユニットに組み付けて成るＦＦＵとを備え、前記枠部材は、中空状の箱断面形状の本体部と、前記本体部の上部に設けた上部フランジ部と、前記本体部の下部に設けるとともに前記上部フランジ部より幅が狭い下部フランジ部とを有し、前記ＦＦＵは、前記ファンユニットの周囲にガスケットを取り付け、前記枠部材に該枠部材の下方側から挿入され、前記ガスケットを介して前記枠部材の上部フランジ部に当接するとともに、該枠部材の下部フランジ部側に設けた支持板部材により前記フィルタユニットが支持固定されていることを特徴とする。
【０００６】
請求項２に係る発明は、請求項1記載のＦＦＵ組付構造において、前記長尺部材は、前記上部フランジ部および前記下部フランジ部にそれぞれ凹溝を長手方向に設けるとともに、前記上部フランジ部の両側部に前記短尺部材の幅と同等の切込み部を設け、前記短尺部材は、前記上部フランジ部および前記下部フランジ部にそれぞれ凹溝を長手方向に設け、前記長尺部材と前記短尺部材とは、前記長尺部材の各切込み部に、前記短尺部材の一端部を嵌入し、両部材の上部フランジ部側では、前記長尺部材の上部フランジ部上に正方形状の上部固定板が前記凹溝に嵌入する連結部材を介して取り付けられて両部材の嵌入部を塞ぐとともに両部材を結合し、両部材の下部フランジ部側では、前記長尺部材の下部フランジ部上に正方形状の下部固定板が前記凹溝に嵌入する連結部材を介して取り付けられて両部材を結合していることを特徴とする。
【０００７】
請求項３に係る発明は、請求項２記載のＦＦＵ組付構造において、前記上部固定板は、四隅に前記長尺部材および前記短尺部材の凹溝に嵌入する係止部を形成していることを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示す実施形態に基づいて説明する。
図1ないし図６は、本発明の一実施形態に係るＦＦＵ組付構造を示す（請求項１ないし請求項３に対応する）。
本実施形態に係るＦＦＵ組付構造１０は、クリーンルーム５０の天井５１側に長尺部材２１と短尺部材２５とを格子状に配して成る枠部材２０と、ファンユニット３１をフィルタユニット３２に組み付けて成るＦＦＵ３０とを備えている。
【０００９】
枠部材２０を構成する長尺部材２１および短尺部材２５は、例えば、アルミニウム材の押出しまたは引抜成形により製造されている。
長尺部材２１および短尺部材２５は、中空状の箱断面形状の本体部２１ａ，２５ａと、本体部２１ａ，２５ａの上部に設けた上部フランジ部２１ｂ，１５ｂと、本体部２１ａ，２５ａの下部に設けるとともに上部フランジ部２１ｂ，２５ｂより幅が狭い下部フランジ部２１ｃ，２５ｃとを有する。例えば、上部フランジ部２１ｂ，２５ｂと下部フランジ部２１ｃ，２５ｃとに１５〜２０ｍｍ程度の差を設け、上部フランジ部２１ｂ，２５ｂを幅広としてある。また、本体部２１ａ，２５ａの幅は、下部フランジ部２１ｃ，２５ｃよりさらに５〜１０ｍｍ程度狭くしてある。
【００１０】
長尺部材２１は、上部フランジ部２１ｂおよび下部フランジ部２１ｃにそれぞれ凹溝２１ｄ，２１ｅを長手方向に設けるとともに、両側部に上部フランジ部２１ｂに短尺部材２５の幅と同等の切込み部２２を設けている。
短尺部材２５は、上部フランジ部２５ｂおよび下部フランジ部２５ｃにそれぞれ凹溝２５ｄ，２５ｅを長手方向に設けている。
【００１１】
長尺部材２１および短尺部材２５の凹溝２１ｄ，２１ｅ，２５ｄ，２５ｅは、首部が内部空間より狭くなっており、内部空間には、例えば、Ｍ−８またはＭ−６ボルト（またはナット）２６が端部より挿入され、それらが回転しないように内部にスリットが設けてある。
長尺部材２１および短尺部材２５の下部フランジ部２１ｃ，２５ｃの幅は、照明器具４０の取り付けが可能な幅（５０〜６５ｍｍ）としてある。
【００１２】
長尺部材２１および短尺部材２５の高さは、同じにしてある。
ＦＦＵ３０は、ファンユニット３１の周縁部３１ａがフィルタユニット３２の上部側を覆い、ファンユニット３１の周縁部３１ａとフィルタユニット３２との間にはガスケット３３が取り付けてある。
次に、枠部材２０の組付について説明する。
【００１３】
先ず、図１ないし図５に示すように、例えば、３〜６ｍの長尺部材２１を継ぎ足してクリーンルーム５０の天井側５１に取り付ける。
次に、図３ないし図５に示すように、長尺部材２１の上部フランジ部２１ｂに例えば３ｍ毎に設けた切込み部２２内に短尺部材２５を嵌め込む。この嵌入により、両部材の上部フランジ部２１ｂ，２５ｂは面一となっている。
【００１４】
次に、図４に示すように、長尺部材２１の上部フランジ部２１ｂ上に正方形状の上部固定板２８を載置し、長尺部材２１の凹溝２５ｄ内に挿入されているボルト２６にナット２７を介して締め付け、長尺部材２１と短尺部材２５とを強固に一体化する。
この際、上部固定板２８は、長尺部材２１の凹溝２１ｄのスリット幅で四隅に形成された係止部２８ａ（図６）が、凹溝２１ｄ，２５ｄに嵌まり込み、長尺部材２１に対する上部固定板２８の直線性を保たせ、よって長尺部材２１と短尺部材２５の直線性を維持させている。
【００１５】
次に、図４に示すように、長尺部材２１の下部フランジ部２１ｃ上に正方形状の下部固定板２９を載置し、長尺部材２１の凹溝２１ｅ内および短尺部材２５の凹溝２５ｅ内に挿入されているボルト２６にナット２７を介して締め付け、長尺部材２１と短尺部材２５とを強固に一体化する。
斯くして、図５に示すように、目的とする枠部材２０の組付が完了する。
【００１６】
次に、ＦＦＵ３０の組付について説明する。
先ず、図１および図２に示すように、ＦＦＵ３０のファンユニット３１の周縁部３１ａにガスケット３５を取り付ける。
次に、枠部材２０の下方から枠部位２０に向かってＦＦＵ３０を挿入し、ガスケット３５を長尺部材２１および短尺部材２５の上部フランジ部２１ｂ，２５ｂに当接する。
【００１７】
次に、長尺部材２１および短尺部材２５の下部フランジ部２１ｃ，２５ｃの凹溝２１ｅ，２５ｅに支持板部材３７を宛がい、凹溝２１ｅ，２５ｅ内に挿入されているボルト２６にナット２７を介して締め付け、ＦＦＵ３０をガスケット３５を介して長尺部材２１と短尺部材２５に気密を保持して取り付ける。
この際、長尺部材２１と短尺部材２５との組付部においては、図４で示したように、上部固定板２８により塞がれているので、ＦＦＵ方式に対する気密性は確実に保たれている。
【００１８】
斯くして、図２に示すように、ＦＦＵ３０の組付が完了する。
以上のように、本実施形態によれば、ＦＦＵ３０を枠部材２０の下方側から枠部材２０に向かって挿入し、枠部材２０の下部フランジ部２１ｃ，２５ｃ側からボルト２６とナット２７により締結により支持板部材３７を取り付けることによってＦＦＵ３０を組み付けることができるので、従来のように、枠部材２０の上に人が登りＦＦＵ３０を所定の位置に据付けるという作業を必要としない。
【００１９】
また、ＦＦＵ３０を枠部材２０の下方から挿入するので、枠部材２０の上に十分な高さが取れない天井空間においても、簡単かつ十分な気密を持ってＦＦＵ３０を取り付けることができる。
また、ＦＦＵ３０の取り外しも、支持板部材３７を取り外すだけで、容易にＦＦＵ３０を枠部材２０から撤去することができる。
【００２０】
図７は、上記実施形態におけるＦＦＵ３０の組付を示す詳細図である。
ここでは、ＦＦＵ３０とＦＦＵ３０なしのブランクパネル３０Ａを取り付ける例を示す。
隣り合う２つのＦＦＵ３０は、２つに分割された支持板部材３７Ａ，３７Ｂによって取り付けられるようになっている。
【００２１】
そして、ＦＦＵ３０なしのブランクパネル３０Ａ側においては、支持板部材３７ＣがＦＦＵ３０のみを支持するように取り付けられている。
なお、ブランクパネル３０Ａは通常の方法によって支持されている。
図８は、上記実施形態におけるフィルタ３１の高さ違いを支持板部材３７によって吸収する例をします。
【００２２】
図８（ａ）では、フィルタ３１が枠部材２０の高さより低い場合を示し、図８（ｂ）では、フィルタ３１と枠部材２０の高さが等しい場合を示し、図８（ｃ）では、フィルタ３１が枠部材２０の高さより高い場合を示す。
このように、ＦＦＵ３０の組付においては、支持板部材３７の形状によってフィルタ３１の高さ違いを支持板部材３７によって吸収することが可能となる。
【００２３】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、ＦＦＵをフィルタ枠の下方から簡単にかつ十分な気密を持って取り付けることが可能となる。
また、天井空間側に人が入ってＦＦＵの据付を行うことがないので、天井空間に十分な高さがないクリーンルームにおいてもＦＦＵの設置が容易にできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るＦＦＵ組付構造を示す説明図である。
【図２】（ａ）本発明の一実施形態に係るＦＦＵ組付構造の組付前の状態を拡大して示す説明図である。
（ｂ）本発明の一実施形態に係るＦＦＵ組付構造の組付後の状態を拡大して示す説明図である。
【図３】（ａ）本発明の一実施形態に係るＦＦＵ組付構造を構成する長尺部材と短尺部材との結合状態を拡大して示す平面図である。
（ｂ）本発明の一実施形態に係るＦＦＵ組付構造を構成する長尺部材と短尺部材との結合状態を拡大して示す側面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係るＦＦＵ組付構造を構成する長尺部材と短尺部材との結合状態を拡大して示す説明図である。
【図５】本発明の一実施形態に係るＦＦＵ組付構造を構成する枠部材の平面図である。
【図６】（ａ）本発明の一実施形態に係るＦＦＵ組付構造を構成する上部固定板の要部を示す平面図である。
（ｂ）本発明の一実施形態に係るＦＦＵ組付構造を構成する上部固定板の要部を示す側面図である。
【図７】本発明の一実施形態におけるＦＦＵの組付を示す詳細図である。
【図８】本発明の一実施形態におけるフィルタの高さ違いを支持板部材によって吸収する例を示す説明図であり、
（ａ）フィルタ３１が枠部材２０の高さより低い場合を示し、
（ｂ）フィルタ３１と枠部材２０の高さが等しい場合を示し、
（ｃ）フィルタ３１が枠部材２０の高さより高い場合を示す。
【図９】従来のＦＦＵ組付構造を示す説明図である。
【符号の説明】
１０ＦＦＵ組付構造
２１長尺部材
２１ａ，２５ａ本体部
２１ｂ，２５ｂ上部フランジ部
２１ｃ，１５ｃ下部フランジ部
２１ｄ，２１ｅ，２５ｄ，２５ｅ凹溝
２２切込み部
２５短尺部材
２６ボルト
２７ナット
２８上部固定板
２９下部固定板
３０ＦＦＵ
３１ファンユニット
３１ａ周縁部
３２フィルタユニット
３３，３５ガスケット
３７支持板部材
４０照明器具
５０クリーンルーム
５１天井

Claims

クリーンルームの天井側に長尺部材と短尺部材とを格子状に配して成る枠部材と、
ファンユニットをフィルタユニットに組み付けて成るファンフィルタユニットとを備え、
前記枠部材は、中空状の箱断面形状の本体部と、前記本体部の上部に設けた上部フランジ部と、前記本体部の下部に設けるとともに前記上部フランジ部より幅が狭い下部フランジ部とを有し、
前記ファンフィルタユニットは、前記ファンユニットの周囲にガスケットを取り付け、前記枠部材に該枠部材の下方側から挿入され、前記ガスケットを介して前記枠部材の上部フランジ部に当接するとともに、該枠部材の下部フランジ部側に設けた支持板部材により前記フィルタユニットが支持固定されている
ことを特徴とするファンフィルタユニット組付構造。
請求項1記載のファンフィルタユニット組付構造において、
前記長尺部材は、前記上部フランジ部および前記下部フランジ部にそれぞれ凹溝を長手方向に設けるとともに、前記上部フランジ部の両側部に前記短尺部材の幅と同等の切込み部を設け、
前記短尺部材は、前記上部フランジ部および前記下部フランジ部にそれぞれ凹溝を長手方向に設け、
前記長尺部材と前記短尺部材とは、前記長尺部材の各切込み部に、前記短尺部材の一端部を嵌入し、両部材の上部フランジ部側では、前記長尺部材の上部フランジ部上に正方形状の上部固定板が前記凹溝に嵌入する連結部材を介して取り付けられて両部材の嵌入部を塞ぐとともに両部材を結合し、両部材の下部フランジ部側では、前記長尺部材の下部フランジ部上に正方形状の下部固定板が前記凹溝に嵌入する連結部材を介して取り付けられて両部材を結合している
ことを特徴とするファンフィルタユニット組付構造。
請求項２記載のファンフィルタユニット組付構造において、
前記上部固定板は、四隅に前記長尺部材および前記短尺部材の凹溝に嵌入する係止部を形成している
ことを特徴とするファンフィルタユニット組付構造。