JPH11128808A - 回転式塗布装置および回転式塗布方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 カップや回転台の洗浄を、安全に低コストで
行う。 【構成】 内カップ洗浄用ノズル３８、外カップ洗浄用
ノズル４２、トラップ洗浄ノズル５２、回転台下面洗浄
ノズル５４ａ，５４ｂは洗浄液供給源４８に接続されて
いる。洗浄液供給源４８にはアルカリ性洗浄液が貯留さ
れている。基板２へフォトレジスト液を供給して回転さ
せて塗布した後、洗浄液供給源４８から各ノズルに対し
てアルカリ性洗浄液を供給し、それら各ノズルから回転
台６や外カップ２６、内カップ２４へアルカリ性洗浄液
を供給して洗浄する。洗浄後のアルカリ性洗浄液は洗浄
液供給源４８内の回収タンクへ回収されて再使用され
る。アルカリ性洗浄液は有機溶剤と比べて安全で低コス
トである。 【効果】 安全で低コストなアルカリ性洗浄液を使用
し、また洗浄液を再使用できるため、カップや回転台の
洗浄を、安全で安価に行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば液晶表示パネ
ルまたはプラズマ表示パネル用のガラス基板、半導体ウ
エハ、半導体製造用のマスク基板などの基板（以下、単
に「基板」という）の表面に、例えばフォトレジスト液
などの塗布液を塗布するための回転式塗布装置および回
転式塗布方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の回転式塗布装置を記載した文献
として、例えば特開平７−１７１４７６号公報が知られ
ている。

【０００３】かかる装置は、カップ内に設けた回転台に
より基板を水平姿勢に支持して塗布液を基板上に供給
し、回転台の上部を上部回転板により閉塞した後に回転
させて、塗布液を基板上に塗り広げている。このとき
に、余剰の塗布液は遠心力により回転台の外周側に設け
られた隙間から回転台の外側へ移動し、その一部はカッ
プ内に飛散したり、また一部は隙間の外側に設けられた
トラップ部に集められて回転台の回転が停止するとカッ
プ内に落下したり回転台に付着したりする。

【０００４】このような余剰の塗布液はカップ内や回転
台に付着し、乾燥後にはがれて細かな塵埃としてカップ
中やその周囲に漂い、基板に対して汚染が生じる原因と
なる。

【０００５】上記公報においては、トラップ部や回転台
やカップに対して洗浄液を供給し洗浄する機構を設け、
かかる余剰の塗布液を洗浄し、基板に対する汚染を防止
するようにしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、塗布液とし
て一般に用いられるフォトレジスト液（以下、単にレジ
スト液と称する）は、例えばプロピレングリコールモノ
メチルエーテルアセテートやエチルラクテート等のよう
な各種有機溶剤を溶媒として使用しており、上述のよう
な洗浄機構にも同様にそれらの有機溶剤が洗浄液として
使用されてきた。しかしながら、これら有機溶剤は人体
に対して有害であって作業者の健康を冒すおそれがあ
り、またそれら有機溶剤は高価であって、装置のランニ
ングコストを高いものとしてしまっていた。

【０００７】本発明は、人体に対して害がなく作業者に
とって安全で、かつ装置のランニングコストが低い回転
式塗布装置および回転式塗布方法を提供することを目的
とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この発明にかかる請求項
１記載の回転式塗布装置は、基板を回転させつつ当該基
板の表面に塗布液を塗布する回転式塗布装置であって、
前記基板を水平支持した状態で回転させる回転台と、前
記回転台の少なくとも外周側方および外周下方を取り囲
むように配置され、前記塗布液の外部への飛散を防止す
るカップと、前記カップまたは前記回転台の少なくとも
いずれかに対して洗浄液を供給する洗浄液供給部材と、
前記洗浄液供給部材に接続され該洗浄液供給部材から吐
出するアルカリ性洗浄液を供給するアルカリ性洗浄液供
給源と、を備える。

【０００９】この発明にかかる請求項２記載の回転式塗
布装置は、請求項１の回転式塗布装置において、カップ
または回転台の洗浄に使用した後のアルカリ性洗浄液を
回収する回収手段と、回収手段に回収したアルカリ性洗
浄液を前記洗浄液供給部材に供給する供給手段とをさら
に備える。

【００１０】この発明にかかる請求項３記載の回転式塗
布方法は、基板をカップ内に設けられた回転台に水平支
持する工程と、回転台に支持した基板の表面に塗布液を
供給する工程と、基板を支持した回転台を回転させて供
給した塗布液を基板表面に塗り広げる工程と、前記カッ
プまたは前記回転台の少なくともいずれかに対してアル
カリ性洗浄液を供給して洗浄する工程と、を備えるこの
発明にかかる請求項４記載の回転式塗布方法は、請求項
３の回転式塗布方法において、カップまたは回転台の洗
浄に使用した後のアルカリ性洗浄液を回収する工程と、
回収したアルカリ性洗浄液を再度、カップまたは回転台
へ供給して洗浄する工程とをさらに備える。

【００１１】

【発明の実施の形態】

＜１．装置の全体構成＞図１は、この発明にかかる回転
式塗布装置の一実施例を示す断面図である。この回転式
塗布装置では、例えば角形の基板２を搭載でき、しかも
回転軸４回りに回転自在な回転台６が設けられている。
すなわち、回転軸４に沿って回転シャフト８が垂設され
ており、その上端に連結ボス１０を介して回転台６が水
平に取り付けられる一方、その下端に図示を省略するモ
ータが連結されている。また、この回転台６の上面側に
基板支持用のピン１４が複数本突設されて基板２裏面を
支持するとともに、回転台６に立設された４組の係合ピ
ン１６が基板２の四隅と係合されて基板２を水平固定す
る。このように、回転台６では、基板２を水平に支持し
ながら回転軸４回りに水平回転させることができるよう
になっている。

【００１２】また、回転台６の上方側では、上部回転板
１８が回転台６に支持された基板２と所定間隔を隔てた
上方位置に平行配置されている。なお、この上部回転板
１８は、図１に示すように、図示しない昇降手段により
上下方向に移動自在であり、下降時には後述するスペー
サ２０と嵌合して、回転台６，スペーサ２０と一体化し
た状態で回転軸４回りに回転するようになっている。

【００１３】図２は、図１の回転式塗布装置の部分拡大
図である。同図に示すように、回転台６の上面の外周部
に環状のスペーサ２０が配置されている。そして、スペ
ーサ２０は回転台６と図示を省略する連結部材によって
連結して取り付けられ、回転台６とスペーサ２０との間
に余剰の塗布液を外部に流出するための流出経路４８が
形成されている。一方、上部回転板１８はピンＰのはめ
合いによってスペーサ２０に対して着脱自在となってお
り、上部回転板１８が下降してスペーサ２０に装着され
ると、これら回転台６，上部回転板１８及びスペーサ２
０とで基板２への塗布処理を行うほぼ密閉された空間Ｓ
が形成される。

【００１４】このスペーサ２０には、その上面外周側か
ら外側面にかけて円錐台形状になしたテーパ部２０ａが
形成されるとともに、外周側下部であって、流出経路４
８の外周側開口部と対向する位置に断面形状が台形のト
ラップ部２０ｂがリング状に設けられている。このトラ
ップ部２０ｂは流出経路４８を介して閉空間Ｓと連通さ
れており、図２に示すように、回転台６が高速回転し、
遠心力Ｆが付加されると、基板２からの余剰塗布液が流
出経路４８を介してトラップ部２０ｂに流入するととも
に、そのトラップ部２０ｂで貯留されるようになってい
る。また、トラップ部２０ｂの下側には、回転台６の半
径方向内側に向かって低くなる傾斜面２０ｄが形成さ
れ、傾斜面２０ｄの下端と回転台６の外周端との間に
は、開口２０ｃが設けられている。そのため、回転台６
の回転数が落ちて、遠心力Ｆが一定未満になる、あるい
はゼロになったとき、トラップ部２０ｂに貯留されてい
た塗布液が、その開口２０ｃから下方に流出する。

【００１５】また、回転台６のまわりには、環状のカッ
プ２２が配置されている。このカップ２２は、図１に示
すように、回転台６の外周下方位置に配置された内カッ
プ２４と、回転台６の外周に配置された外カップ２６と
で構成されている。なお、カップ２２の底部には、廃液
を排出するための廃液排出口２８が設けられている。

【００１６】また、内カップ２４と外カップ２６で囲ま
れる空間は、環状の排気経路４５を介して排気口３０と
連通している。この排気口３０を通じて装置の内部の空
気が外部へ排気される。それにともなって、塗布液から
蒸発した溶剤ガスや塗布液ミストが排気除去される。

【００１７】＜２．３種の洗浄機構の構成と動作＞ま
た、この回転式塗布装置では、カップ２２の内面を洗浄
するためのカップ洗浄機構、トラップ部２０ｂを洗浄す
るトラップ洗浄機構、および回転台６の下面を洗浄する
回転台下面洗浄機構が設けられており、それら各洗浄機
構は、それぞれに対して洗浄液を供給する洗浄液供給源
４８を共有している。

【００１８】カップ洗浄機構（図１）は、内カップ２４
を洗浄するための内カップ洗浄機構と、主として外カッ
プ２６を洗浄するための外カップ洗浄機構とで構成され
ている。

【００１９】内カップ洗浄機構では、回転台６の外周下
方部に内カップ洗浄用ノズル３８が取り付けられてい
る。この内カップ洗浄用ノズル３８は内カップ２４の内
面に対向配置されており、回転台６の下面に配設された
連結管４０を介して回転シャフト８の中心部に挿通して
非回転状態に設置された洗浄液供給管３６と接続されて
いる。洗浄液供給管３６は、図外で回転シャフト８の外
へ導かれ、開閉バルブ４９を介して洗浄液供給源４８に
接続される。そして、開閉バルブ４９の開放により、内
カップ洗浄用ノズル３８から洗浄液が内カップ２４の内
面に向けて吐出されるようになっている。このように内
カップ洗浄用ノズル３８からの洗浄液を内カップ２４に
吹き付けることによって、内カップ２４が洗浄される。

【００２０】また、外カップ洗浄機構では、同図に示す
ように、その吐出口がスペーサ２０のテーパ部２０ａに
対向するようにして、外カップ洗浄用ノズル４２が外カ
ップ２６に取り付けられている。また、この外カップ洗
浄用ノズル４２は、連結管４４を介して、内カップ洗浄
用ノズル３８と同様に上述の開閉バルブ４９、洗浄液供
給源４８に接続されている。そして、上述の開閉バルブ
４９の開放により、内カップ洗浄用ノズル３８からの洗
浄液の吐出と同期して、外カップ洗浄用ノズル４２にも
洗浄液が供給され、テーパ部２０ａに吐出される。こう
してテーパ部２０ａに吐出された洗浄液はそのテーパ部
２０ａではね返されたり、回転台６の遠心力を受けて、
適宜テーパ部２０ａから外周部に向けて飛散され、外カ
ップ２６が洗浄される。

【００２１】つぎに、トラップ洗浄機構（図１、図２）
では、吐出口がスペーサ２０に形成された開口２０ｃへ
向かって洗浄液を吐出するトラップ洗浄ノズル５２が、
内カップ２４に取り付けられている。このトラップ洗浄
ノズル５２には連結管５１が接続されている。さらに、
この連結管５１は、内カップ洗浄用ノズル３８等が接続
される上述の開閉バルブ４９とは別系統の開閉バルブ５
０を介して、洗浄液供給源４８に接続されている。そし
て、この開閉バルブ５０の開放により、洗浄液がトラッ
プ洗浄ノズル５２に供給され、さらに開口２０ｃへ向か
って吐出される。トラップ洗浄ノズル５２からの洗浄液
の吐出は、回転台６を回転しつつ行われる。こうして吐
出された洗浄液はトラップ部２０ｂへ侵入し、このトラ
ップ部２０ｂの内部を回転台６の全周にわたって洗浄す
る。すなわち、トラップ部２０ｂへ残留する塗布液を洗
浄液の作用によって溶解し、開口２０ｃから下方へ流出
させる。

【００２２】回転台下面洗浄機構（図１、図２）では、
吐出口が回転台６の下面へ向かって洗浄液を吐出する２
種類の回転台下面洗浄ノズル５４ａおよび５４ｂが、内
カップ２４と連結ボス１０とに連結し回転台６の下面に
対向して設置される底板３１および内カップ２４にそれ
ぞれ取り付けられている。これらの中で、回転台下面洗
浄ノズル５４ａは回転台６の下面の中央部付近に洗浄液
を吐出する。一方、回転台下面洗浄ノズル５４ｂは、回
転台６の下面の外周近傍、すなわち内カップ洗浄用ノズ
ル３８の付近に向かって洗浄液を吐出する。

【００２３】これらの回転台下面洗浄ノズル５４ａ、５
４ｂは、連結管５３ａ、５３ｂにそれぞれ接続されてい
る。さらに、これらの連結管５３ａ、５３ｂは、いずれ
も開閉バルブ５０を介して、洗浄液供給源４８に接続さ
れている。そして、この開閉バルブ５０の開放により、
洗浄液が回転台下面洗浄ノズル５４ａ、５４ｂに供給さ
れ、さらに回転台６の下面へ向かって吐出される。な
お、本実施例においては２つの回転台下面洗浄ノズル５
４ａ、５４ｂが設けられているが、これは回転台６の外
径が大きいためであり、回転台の外径が比較的小さい場
合には１つの回転台下面洗浄ノズルを設けるだけでもよ
い。

【００２４】これらの回転台下面洗浄ノズル５４ａ、５
４ｂによる回転台６の下面への洗浄液の供給は、回転台
６を回転させつつ行われる。このため、回転台下面洗浄
ノズル５４ａによって回転台６の下面の中央部付近に供
給された洗浄液は、回転台６の回転にともなって、回転
台６の下面に沿ってその周辺部へと広がる。このため、
回転台６の下面全体が、中央部分から周辺へと流れる洗
浄液によって洗われる。このため、回転台６の下面への
付着した塗布液ミストなどの汚染物が洗浄除去される。
回転台６の下面に付着した汚染物は、排気口３０へと排
気される空気の流れによって２次的に形成され回転台６
の下面へ流れ込む空気の流れに沿って、溶剤ガスや塗布
液ミストが回転台６の下面へ舞い込むことによって形成
される。

【００２５】排気される空気の流れによって塗布液ミス
トなどが特に多く付着するのは、回転台６の下面の中の
外周近傍、すなわち内カップ洗浄用ノズル３８の近傍に
おいてである。このため、回転台下面洗浄ノズル５４ｂ
によって供給される洗浄液は、もっとも汚染され易いカ
ップ洗浄用ノズル３８の近傍を、特に洗浄する役割を担
っている。

【００２６】前記各洗浄機構が共有している洗浄液供給
源４８は、前記各ノズルに連通してそのノズルから吐出
するアルカリ性洗浄液を供給するアルカリ性洗浄液供給
源であって、図４に示すように、アルカリ性洗浄液を貯
留する新液タンク７０と、洗浄液を送出するポンプ７１
および開閉バルブ７２を備えた配管７３と、カップ２２
から排出される洗浄液を回収して貯留する回収タンク８
０と、洗浄液を送出するポンプ８１および開閉バルブ８
２を備えた配管８３と、洗浄液としての純水を貯留する
純水タンク９０と、洗浄液を送出するポンプ９１および
開閉バルブ９２を備えた配管９３とよりなっている。回
収タンク８０は、カップ２２の廃液排出口２８と連通す
る配管に介挿した三方弁８４に接続された配管８５を備
え、カップ２２の廃液排出口２８から排出される洗浄液
を回収して貯留する。

【００２７】ここで使用するアルカリ性洗浄液として
は、例えばＮａＯＨやＫＯＨベースのアルカリ性洗浄液
などがあげられる。それらは有機溶剤と比べて、作業者
にとって安全で健康を冒すおそれがなく、しかも安価で
ある。なお、ここでは回転台６や外カップ２６、内カッ
プ２４などは、使用するレジスト液やアルカリ性洗浄液
に冒されることがない素材で作られている。

【００２８】図３は装置の部分平面図であり、トラップ
洗浄ノズル５２、回転台下面洗浄ノズル５４ａ、５４ｂ
の配置を示している。これらのトラップ洗浄ノズル５
２、回転台下面洗浄ノズル５４ａ、および回転台下面洗
浄ノズル５４ｂは、いずれも１対ずつ設けられており、
しかもそれぞれの対を構成する２本のノズルは回転台６
の回転中心を挟んで互いに反対側に設置されている。こ
のため、各ノズルから供給される洗浄液が、回転台６の
下面に全周にわたって広がるので、回転台６の下面を効
率よく洗浄することが可能である。なお、同一種類のノ
ズルは本数が多いほど回転台６の下面の洗浄をより効率
よく行い得る。このときにも、同一種類のノズルは回転
台６の円周に沿って等間隔で配置されるのが好ましい。

【００２９】＜３．装置全体の動作＞次に、上記のよう
に構成された回転式塗布装置の動作について説明する。
まず、図１の１点鎖線に示すように、上部回転板１８を
持ち上げて、中央開口を大きく開放し、基板２を基板支
持用ピン１４上に水平に搭載して、回転台６への基板セ
ットを完了する。

【００３０】それに続いて、塗布液供給用ノズル４６
を、図１の１点鎖線に示すように、中央開口の中央に移
動させるとともに、基板２上の適当な高さまで下降させ
る。そして、所定量の塗布液、すなわちレジスト液を基
板２の上面中央部に滴下する。こうして、基板２への塗
布液の供給が行われる。

【００３１】その後、塗布液供給用ノズル４６を適当な
場所に退避させた上で、上部回転板１８をスペーサ２０
に装着固定して、回転塗布の準備を完了する。そして、
図示を省略するモータを駆動して、基板２を水平支持し
た状態のままで、回転台６，スペーサ２０及び上部回転
板１８を一体的に高速回転させる（回転数Ｎ＝Ｎ3 ）。
この回転によって、基板２上の塗布液が外方に拡散して
基板２上面に薄く塗布される。このとき、図２の点線に
示すように、遠心力Ｆにより塗布液の一部が余剰塗布液
として回転台６とスペーサ２０の隙間、つまり流出経路
４８を通過してトラップ部２０ｂに貯留される。このよ
うに、回転塗布処理中において、余剰塗布液がカップ２
２内など回転台６周囲に飛散することがなく、カップ２
２が飛散した余剰塗布液によって著しく汚染されてしま
うことがない。

【００３２】また、基板２への回転塗布が完了すると、
回転台６の回転を一旦停止させる。これにより、塗布液
にかかる遠心力Ｆはゼロとなり、トラップ部２０ｂに貯
留されている塗布液は開口２０ｃからほぼ垂直に流出す
る。このように、回転台６が停止した状態で余剰塗布液
が外部に流出されるので、塗布液の排出時においても、
余剰塗布液がカップ２２内など回転台６の周囲に飛散す
ることがなくなり、カップ２２が飛散した余剰塗布液に
よって著しく汚染されてしまうことがない。なお、ここ
では、回転台６の回転数をゼロにしているが、このこと
が必須要件となるものではなく、一定回転数まで許容す
ることができる。つまり、回転台６の回転数を一定回転
数まで落とすと、遠心力Ｆが弱くなり、トラップ部２０
ｂ中の塗布液が開口２０ｃからほぼ垂直方向に流出する
ようになり、上記と同様の効果が得られる。

【００３３】次に、回転台６の回転数Ｎが回転数Ｎ1
（＜Ｎ3 ）に調整され、開閉バルブ７２，４９を開き、
ポンプ７１を駆動することで、一定時間の間、各洗浄用
ノズル３８，４２に塗布液を溶解するアルカリ性洗浄液
が新液タンク７０から供給されて、洗浄工程が行われ
る。すなわち、内カップ洗浄用ノズル３８からの洗浄液
によって内カップ２４の内周面が洗浄され、また同時
に、外カップ洗浄用ノズル４２から吐出される洗浄液に
よって外カップ２６の内周面が洗浄される。なお、この
とき三方弁８４は廃液排出口２８を配管８５を介して回
収タンク８０へ連通しており、内カップ２４および外カ
ップ２６を洗浄したアルカリ性洗浄液はカップ２２の廃
液排出口２８から排出されて回収タンク８０へ回収され
る。

【００３４】その後開閉バルブ７２を閉じてポンプ７１
を停止し、開閉バルブ９２を開き、ポンプ９１を駆動す
ることで、各洗浄用ノズル３８，４２に純水が供給さ
れ、内カップ２４、外カップ２６へ純水が供給されてそ
れらに付着しているアルカリ性洗浄液を洗い流す。な
お、このとき三方弁８４は廃液排出口２８を図示しない
ドレン配管へ連通しており、アルカリ性洗浄液を洗浄し
た純水はドレン配管へ排出される。

【００３５】次に、回転台６の回転数Ｎを回転数Ｎ2
（＜Ｎ3 ，＞Ｎ1 ）まで上昇させて、回転台６に付着し
た洗浄液を遠心力でカップ２２側に飛散させ、取り除
く。その後、回転台６の回転を停止させてトラップ部２
０ｂに貯留された洗浄液が排出されるとともに、上部回
転板１８を上方向に移動させた後（図１の１点鎖線）、
塗布処理を完了した基板２を回転台６から取りだす。

【００３６】こうして、一連の作業を終了するが、連続
して処理を行う場合には、上記作業サイクルを繰返して
行う。そして、回収タンク８０へ適当量のアルカリ性洗
浄液が回収されると、次回からの洗浄工程には回収タン
ク８０に貯留されているアルカリ性洗浄液を再使用す
る。すなわち洗浄工程において、開閉バルブ７２を開い
てポンプ７１を駆動するのにかえて、開閉バルブ８２を
開いてポンプ８１を駆動する。これにより、アルカリ性
洗浄液を使い捨てることなく再使用が可能となり、ラン
ニングコストの低減が可能となる。なお、再使用を繰り
返したために回収タンク８０内のアルカリ性洗浄液が汚
れてきたときには、洗浄時に三方弁８４を切り替えて廃
液排出口２８を図示しないドレン配管へ連通させ、汚れ
たアルカリ性洗浄液をドレン配管へ排出し、次回から新
液タンク７０から新たなアルカリ性洗浄液を供給使用す
る。

【００３７】１枚ないし一定数量の基板２の処理が終了
する毎に、あるいは一連の基板２の処理が終了する毎
に、トラップ部２０ｂおよび回転台６の下面の洗浄が行
われる。すなわち、基板２が装置から除去された状態
で、回転台６を回転数Ｎ1 をもって回転させつつ、開閉
バルブ５０を開き、また開閉バルブ７２を開いてポンプ
７１を駆動するか、または回収タンク８０に使用可能な
アルカリ性洗浄液があるときには開閉バルブ８２を開い
てポンプ８１を駆動することで、アルカリ性洗浄液をト
ラップ洗浄ノズル５２と回転台下面洗浄ノズル５４ａ、
５４ｂへと供給する。その結果、トラップ洗浄ノズル５
２へ供給された洗浄液は、トラップ部２０ｂの全周にわ
たって侵入し、トラップ部２０ｂに残留する塗布液を溶
解する。また、回転台下面洗浄ノズル５４ａ、５４ｂへ
供給された洗浄液は、回転台６の下面の全体にわたって
広がることにより、回転台６の下面に付着した汚染物を
溶解除去する。なお、かかる洗浄後のアルカリ性洗浄液
も、再使用可能な程度の汚れ方であれば、三方弁８４か
ら回収タンク８０へ回収して再使用する。再使用不能な
程度に汚れていれば、三方弁８４からドレン配管へ排出
する。その後、開いていた開閉バルブ７２または８２を
閉じてポンプ７１または８１を停止し、開閉バルブ９２
を開き、ポンプ９１を駆動することで、各洗浄ノズル５
２，５４ａ，５４ｂに純水が供給され、トラップ部２０
ｂや回転台６の下面へ純水が供給されてそれらに付着し
ているアルカリ性洗浄液を洗い流す。なお、このとき三
方弁８４は廃液排出口２８を図示しないドレン配管へ連
通しており、アルカリ性洗浄液を洗浄した純水はドレン
配管へ排出される。

【００３８】次に、回転台６の回転数Ｎを回転数Ｎ2 ま
で上昇させて、回転台６の下面に付着した洗浄液を遠心
力でカップ２２側に飛散させ、取り除く。その後、回転
台６の回転を停止させてトラップ部２０ｂに貯留された
洗浄液を、溶解した汚染物とともに開口２０ｃから下方
へ排出させる。なおこれらの洗浄液の廃液も、同様に廃
液排出口２８から排出される。

【００３９】なお、この実施例の装置は半密閉型の装置
であり、上部回転板１８を備え、基板２の上方をこの上
部回転板１８で覆うことにより、ほぼ密閉された空間Ｓ
の中で基板２への塗布液の塗布を実行する。しかしなが
ら、回転台下面洗浄ノズル５４ａ、５４ｂなどの回転台
下面洗浄機構は、上部回転板１８およびスペーサ２０を
備えない上部開放型の装置もしくは上部回転板１８およ
びスペーサ２０によって完全に密閉された回転空間を形
成する密閉型の装置に対しても設置することが可能であ
る。このときにも上述の実施例の装置と同様に、回転台
の下面に付着するミスト等の汚染物を溶解除去するとい
う効果を奏する。

【００４０】また、上記実施形態では、外カップ洗浄機
構として、外カップ２６に取り付けられた外カップ洗浄
用ノズル４２から回転台６に向けて洗浄液を吐出して、
外カップ２６へ洗浄液を飛散させて供給するものであっ
たが、これに限らず、例えば外カップ２６へ向けて直接
洗浄液を吐出するようなノズルを設ける構成としてもよ
い。さらに、上記実施形態では、洗浄に使用した全ての
アルカリ性洗浄液を一旦は回収タンク８０へ回収する構
成とし、また各洗浄用ノズル３８，４２，５２，５４
ａ，５４ｂの全てに対してアルカリ性洗浄液の新液と再
使用液と純水とを切り替えて供給できるものであった
が、例えば、余剰塗布液が多く溜まっているトラップ部
２０ｂの洗浄には回収タンク８０からの再使用液のみを
使用して、そのトラップ部２０ｂ洗浄後のアルカリ性洗
浄液は回収再使用せずに直ちに廃棄する構成としてもよ
い。また上記実施形態の構成に対して、必要に応じて例
えば基板２裏面に洗浄液を供給してその基板２裏面を洗
浄するための裏面洗浄ノズルを設けてもよい。この場
合、かかる裏面洗浄用ノズルに対して供給する洗浄液
は、他の各洗浄用ノズル，３８，４２，５２，５４ａ，
５４ｂに対して供給しているアルカリ性洗浄液と同じも
のを使用してもよく、また裏面洗浄ノズルには塗布液に
使用されている有機溶剤と同じものを使用してもよい。
なお、アルカリ性洗浄液と有機溶剤の両方を使用する場
合には、両者が混合しないように回収することが望まし
いことはいうまでもない。

【００４１】なお、上記実施例では、回転台６に該回転
台６とは別部材からなるスペーサ２０を取り付けるよう
に構成していたが、本発明において回転台とスペーサと
を別部材によって構成する必要はなく、スペーサを回転
台と一体的に形成し、そのようなスペーサにトラップ部
を設けたものであってもよい。

【００４２】

【発明の効果】この発明の回転式塗布装置では、カップ
または回転台の少なくともいずれかに対して洗浄液を供
給する洗浄液供給部材へアルカリ性洗浄液供給源からア
ルカリ性の洗浄液を供給して、それらカップまたは回転
台を洗浄する構成を備え、またこの発明の回転式塗布方
法では、カップまたは回転台の少なくともいずれかに対
してアルカリ性洗浄液を供給して洗浄する工程を備えて
いるので、カップや回転台の洗浄を、作業者にとって安
全で健康を冒すおそれなく行うことができ、しかも装置
の運用を安価に低いランニングコストで行うことができ
る。

【００４３】また、一度使用したアルカリ性洗浄液を回
収する回収手段または回収工程を備えているので、一度
使用したアルカリ性洗浄液を再度洗浄に使用することが
でき、さらにランニングコストを低減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明にかかる回転式塗布装置を示す断面図
である。

【図２】図１の回転式塗布装置の部分拡大図である。

【図３】図１の回転式塗布装置の部分平面図である。

【図４】洗浄液供給源を示す断面図である。

【符号の説明】

２ 基板 ６ 回転台 １８ 上部回転板 ２０ スペーサ ２０ｂ トラップ部 ２２ カップ ３０ 排気口 ４８ 洗浄液供給源 ５２ トラップ洗浄ノズル ５４ａ、５４ｂ 回転台下面洗浄ノズル Ｓ 空間

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を回転させつつ当該基板の表面に塗
   布液を塗布する回転式塗布装置であって、 前記基板を水平支持した状態で回転させる回転台と、 前記回転台の少なくとも外周側方および外周下方を取り
   囲むように配置され、前記塗布液の外部への飛散を防止
   するカップと、 前記カップまたは前記回転台の少なくともいずれかに対
   して洗浄液を供給する洗浄液供給部材と、 前記洗浄液供給部材に接続され該洗浄液供給部材から吐
   出するアルカリ性洗浄液を供給するアルカリ性洗浄液供
   給源とを備えることを特徴とする回転式塗布装置。
2. 【請求項２】 カップまたは回転台の洗浄に使用した後
   のアルカリ性洗浄液を回収する回収手段と、回収手段に
   回収したアルカリ性洗浄液を前記洗浄液供給部材に供給
   する供給手段とをさらに備えたことを特徴とする請求項
   １記載の回転式塗布装置。
3. 【請求項３】 基板をカップ内に設けられた回転台に水
   平支持する工程と、 回転台に支持した基板の表面に塗布液を供給する工程
   と、 基板を支持した回転台を回転させて供給した塗布液を基
   板表面に塗り広げる工程と、 前記カップまたは前記回転台の少なくともいずれかに対
   してアルカリ性洗浄液を供給して洗浄する工程とを備え
   ることを特徴とする回転式塗布方法。
4. 【請求項４】 カップまたは回転台の洗浄に使用した後
   のアルカリ性洗浄液を回収する工程と、 回収したアルカリ性洗浄液を再度、カップまたは回転台
   へ供給して洗浄する工程とをさらに備えたことを特徴と
   する請求項３記載の回転式塗布方法。