JPH11126112A - 駆動制御装置 - Google Patents
駆動制御装置Info
- Publication number
- JPH11126112A JPH11126112A JP29002797A JP29002797A JPH11126112A JP H11126112 A JPH11126112 A JP H11126112A JP 29002797 A JP29002797 A JP 29002797A JP 29002797 A JP29002797 A JP 29002797A JP H11126112 A JPH11126112 A JP H11126112A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moving
- encoder
- pitch
- control device
- drive control
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Basic Packing Technique (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
の移動方向及び移動位置を正確に把握して駆動制御す
る。 【解決手段】 エンコーダ14に所定ピッチで設けた複
数の被検出部14aを検出手段15(15a,15b)
で検出することにより得られる検出信号に基づいて移動
体12を駆動制御する。前記検出手段15は、少なくと
も2箇所で、かつ、被検出部14aとは異なるピッチ間
隔で設けられている。
Description
た被検出部をセンサで検出することにより移動体を駆動
制御する駆動制御装置に関するものである。
からの検出信号に基づいて移動体を駆動制御するように
したものがある。エンコーダには所定ピッチで複数の開
口が形成されている。各開口は、発光素子及び受光素子
からなるセンサで検出されるようになっている。そし
て、センサで各開口が検出される毎に発生するパルスを
カウントし、そのパルス数に基づいて移動体の原点から
の移動距離を算出するようにしている。
来の駆動制御装置では、移動体を所定位置に停止させた
後、再度移動させる場合、次に停止させる位置を特定で
きないという問題がある。これは、移動体の移動方向の
違いによって、パルス数が増加する場合と減少する場合
とがあるためである。このため、移動体を移動させる前
に、常に、原点位置に復帰させてカウントするパルス数
をリセットしておく必要があり、作業時間がかかるとい
う問題がある。
させると共に移動方向を特定できるようにし、移動体の
停止位置を記憶可能とすることも考えられている。ここ
での、移動体の移動方向は、駆動手段に発する制御信号
に基づいて特定している。
動体自身に外力が作用する等により位置ズレした場合、
その位置ズレ方向を判別できないという問題がある。し
たがって、この場合も、再度移動体を移動させる前に、
一旦原点に復帰させなければならず、やはり作業時間が
かかるという問題は避けられない。
置ズレしても、移動体の移動方向及び移動位置を正確に
把握して駆動制御することのできる駆動制御装置を提供
することを課題とする。
決するための手段として、エンコーダに所定ピッチで設
けた複数の被検出部を検出手段で検出することにより得
られる検出信号に基づいて移動体を駆動制御する駆動制
御装置において、前記検出手段を少なくとも2箇所に、
被検出部とは異なるピッチ間隔で配設したものである。
方の検出手段を被検出部に対して1/2ピッチだけずら
せて配設し、移動体の静止状態での両検出手段からの検
出信号と、移動体の移動により最初に変化した検出信号
とに基づいて移動体の移動方向を判断可能とすればよ
い。
としたり、円盤状としたりすることができる。円盤状と
した場合、占有スペースを抑えることが可能となる。
タを元に、所定位置までの移動は高速で行い、その後移
動先までは減速させるのが好ましい。
合、検出手段によって検出されるエンコーダの被検出部
をカウントすることにより、表示手段に現在位置を表示
させるのが好ましい。
面に従って説明する。
の一例である薬剤分割包装装置を示す。この薬剤分割包
装装置は、大略、装置本体1に、散薬供給装置2と、錠
剤供給装置3と、包装装置4(図5参照)とを設けた構
成である。これら各部材の動作は制御装置29(図5参
照)により制御されるようになっている。
めのV枡5(図2参照)と、このV枡5から落下させた
散薬を分割するための複数の分割容器6を一体化してな
る第1,第2移動集合容器7a,7bと、第1,第2移
動集合容器7a,7bをそれぞれXーX’,YーY’方
向に移動させるための第1,第2移動装置8a,8bと
からなる。
固定し、両端板10に開閉板11を回動自在に設けたも
のである。V枡5は、第1,第2移動集合容器7a,7
bを原点位置、すなわち図1の状態から第2移動集合容
器7bが、第1移動集合容器7aに連続するようにX方
向に移動した位置の上方に配設されている。
中、XーX’方向に往復移動自在に配設されている。詳
しくは、仕切三角板12から側板9の後方に向かってL
字形のアーム部13が延設され、そのアーム部13には
上下一対のローラ13aが設けられている。そして、こ
のローラ13aが側板9の背面側上下縁部を転動するよ
うになっている。
ちV枡5内に収容する散薬の分割数は、仕切三角板12
の移動位置を調整することにより決定する。仕切三角板
12の移動位置及び移動方向を検出するための機構は次
の通りである。
示すように、長尺板状の第1エンコーダ14が配設され
ている。第1エンコーダ14には長手方向に沿って所定
ピッチで開口14aが形成されている。
3には、一対の第1光透過センサ15(第1基準センサ
15a、第1補助センサ15b)がそれぞれ配設されて
いる。各第1光透過センサ15は、発光素子と受光素子
とからなり、仕切三角板12を移動させると、順次前記
第1エンコーダ14の開口14aを検出してパルス信号
を発する。第1光透過センサ15の配設ピッチは、第1
エンコーダ14の開口14aの配設ピッチに対して半ピ
ッチずれて配設されている。本実施形態では、第1光透
過センサ15同士の間隔は、第1エンコーダ14の隣接
する開口14a同士の間隔の1.5倍である。
の原点位置から仕切三角板12を移動させ、一方の第1
光透過センサ15が第1エンコーダ14のn個目の開口
14aを検出した時点で、仕切三角板12を停止する
と、V枡5にn包分の散薬を収容可能となる。このと
き、他方の第1光透過センサ15は、隣接する(n+
1)と(n+2)個目の開口14aの中央部に位置す
る。
連結され、図示しないカムの駆動により開閉するように
なっている。
は、22個の分割容器6を着脱可能に並設一体化したも
のである。
ぞれ第1,第2移動集合容器7a,7b用であり、駆動
ユニット16と移動部17とから構成されている。
第1モータ19及び第2モータ20をそれぞれ配設した
ものである。第1モータ19にはパルスモータ,サーボ
モータ、さらにはDC/ACモータ等が使用可能である。第
1モータ19のシャフトはケース18の背面から突出
し、そこにはピニオン21が取り付けられている。
ニオン21の先端には、図4に示すように、円盤形状の
第2エンコーダ22が取り付けられている。この第2エ
ンコーダ22には、外周側に周方向に沿って所定ピッチ
で開口22aが形成されている。そして、第2エンコー
ダ22の各開口22aは、前記同様、発光素子と受光素
子からなる一対の第2光透過センサ23(第2基準セン
サ23a及び第2補助センサ23b)によって検出され
るようになっている。各第2光透過センサ23は、ケー
ス18から延設した腕部18aに固定され、駆動ユニッ
ト16と共に移動するようになっている。各第2光透過
センサ23は、第2基準センサ23aが所定の開口22
aを検出した時点で、第2補助瀬名s23bが前記開口
22aの反対側に位置する開口22bとその隣の開口2
2cとの中央部に位置するように配設されている。ま
た、前記ピニオン21は、装置本体1の背面側内面に配
設したラック31と噛合している。
ローラ24a,24bがそれぞれ回転自在に設けられて
いる。各ローラ24a,24bは、XーX’方向に延び
るレール25上を転動する。一方、第2モータ20には
種々のモータが使用可能である。第2モータ20のシャ
フトは、ケース18の側面から突出し、そこには第1傘
歯車26aが取り付けられている。また、第2モータ2
0と第1傘歯車26aとの間には、円盤状の第3エンコ
ーダ27が取り付けられ、その開口27aが一対の第3
光透過センサ28で検出されるようになっている(図6
参照;構成は第2エンコーダ22、第2光透過センサ2
3と同一であるため図略)。
軸受け部29が設けられている。両軸受部29は、X―
X’方向に配設された軸部材30の外周に沿って往復移
動自在となっている。軸部材30の外周には、スパイラ
ル状の切り溝30aが形成されている。そして、この切
り溝30aにより、駆動ユニット16の移動中、たとえ
軸部材30に埃,散薬等が付着しても、前記切り溝30
aに回収され、移動の妨げとなることはない。
に、スライド棒32及び送りねじ(図示せず)がそれぞ
れ配設されている。また、これらにガイドされて送り台
33が移動するようになっている。第1モータ19を駆
動すると、ラック31,ピニオン21を介して駆動ユニ
ット16は送り台3と共にXーX’方向に往復移動する
ようになっている。
ト16のケース18に貫通して支持され、他端部は送り
台33に摺動自在に支持されている。前記送りねじの一
端側は、ケース18に貫通し、そこには前記第2モータ
20の第1傘歯車26aに噛合する第2傘歯車26bが
固定されている。送りねじの他端側は送り台33に螺合
している。これにより、第2モータ20が駆動すると、
第1傘歯車26a,第2傘歯車26bを介して送りねじ
が回転し、送り台33はスライド棒32に沿ってYー
Y’方向に往復移動する。
器7a,7bがそれぞれ着脱可能に取り付けられてい
る。したがって、第1モータ19を駆動すると、ピニオ
ン21とラック31との噛合位置が変化する。これによ
り、駆動ユニット16、送り台33を介して第1,第2
移動集合容器7a,7bがX−X’方向に移動する。ま
た、第2モータ20を駆動すると、送りねじと送り台3
3との螺合位置が変化する。これにより、スライド棒3
2に沿って移動する送り台33を介して、第1,第2移
動集合容器7a,7bがYーY’方向に移動する。
に、錠剤収容部35と、錠剤収容部35の下方に配置さ
れて側方に平行移動する錠剤搬送部36と、錠剤搬送部
36から供給される錠剤を包装装置4のホッパー37へ
と導く搬送路38とからなる。
れた合計48箇所の錠剤収容室39を有するものであ
る。
5の各錠剤収容室39に対して錠剤受取室40をそれぞ
れ形成したものである。
給した散薬と錠剤供給装置3から供給した錠剤とをホッ
パー37で受け止め、巻回した包装紙を順次供給して1
包ずつ包装するものである。
第1〜第3光透過センサ15,23,28等からの入力
信号を受け、散薬供給装置2(第1モータ19,第2モ
ータ20)、錠剤供給装置3及び包装装置4等に制御信
号を発する。
角板12、第1,第2移動集合容器7a,7bの移動位
置及び移動方向が次のようにして検出されるようになっ
ている。
端側(原点位置)から移動させると、第1光透過センサ
15が第1エンコーダ14の各開口14aを順次検出し
てパルス信号を発する。このとき、一方の第1光透過セ
ンサ15からのパルス信号をカウントし、そのパルス数
に基づいて仕切三角板12の現在位置を特定する。本実
施形態では、パルス数がn(n=0,1,2…)の場合、仕
切三角板12は、V枡5にn包分の散薬を収容可能な位
置に停止している。
ため、仕切三角板12を移動させる場合、各第1光透過
センサ15からのパルス信号を検出して仕切三角板12
の移動方向と移動位置とを判断する。
位置ズレする場合があるため、必ずしも当初移動させた
位置にあるとは限らない。そこで、まず、前記各第1光
透過センサ15の検出信号が、仕切三角板12の移動開
始前にどうなっているのかを判断する。そして、仕切三
角板12を移動させることにより、前記検出信号がどの
ように変化するのかに基づいてその移動方向を判断す
る。
ると、第1基準センサ15a及び第1補助センサ15b
のいずれもがオン状態にある場合(停止1)、第1基準
センサ15aが先にオフ状態となれば、仕切三角板12
が右方向に移動していると判断でき、第1補助センサ1
5bが先にオフ状態となれば、仕切三角板12が左方向
に移動していると判断できる。そこで、前記同様、今回
第1基準センサ15aによって検出されるパルス数を減
算し、仕切三角板12の移動後の位置を特定する。
始前の検出信号と、先に変化する信号とに基づいて図7
の図表に従って移動方向の判断を行う。
の移動位置及び移動方向についても、前記仕切三角板1
2の場合と同様に判断可能である。
12の移動位置は、テンキー等から分割数を入力するこ
とにより決定し、仕切三角板12の移動はモータ等で自
動的に行うようにしてもよい。例えば、図8に示すよう
に、アーム部13の端部をローラ41a,41b間に掛
け渡したベルト42に係合する。そして、一方のローラ
41aをモータ43によって回転駆動する。また、アー
ム部13の端部を延設し、その先端に第1光透過センサ
15(基準センサ15a及び補助センサ15b)を設け
る。さらに、ベルト42と平行に長尺板状のエンコーダ
44を配設する。エンコーダ44には所定ピッチで切欠
き44aを形成する。そして、電源入力直後であれば、
モータ43を駆動することにより、まず仕切三角板12
を原点位置に移動させて第1基準センサ15aからのカ
ウント数をリセットし、その後、前記手動で移動させる
場合と同様に、仕切三角板12の位置を特定する。
の移動位置及び移動方向の判断に長尺板状のエンコーダ
14、第1,第2移動集合容器7a,7bの移動位置及
び移動方向の判断に円盤状のエンコーダ25,29をそ
れぞれ使用するようにしたが、いずれの形状のものであ
ってもそれぞれ適用可能である。
8はそれぞれ2箇所に1/2ピッチずらせて設けるよう
にしたが、図8に示すように、2箇所に1/3ピッチず
らせて設けるようにしてもよいし、図9に示すように、
3箇所に1/3ピッチずらせて設けるようにしてもよ
い。
合、図10の図表に従って移動方向を特定することがで
きる。したがって、1/3ピッチに限らず、基準センサ
15aで被検出部である開口14a等を検出する際、補
助センサ15bで被検出部を検出しないようにずらせれ
ばよい。
合、図12の図表に示すように、いずれのセンサがオン
状態にあるのかを判断し、残る2つのセンサのいずれが
先にオン状態になるのかで、移動方向を特定するように
すればよい。
は開口14a等を使用するようにしたが、永久磁石等で
あっても構わない。
等を薬剤分割包装装置に適用した場合について説明した
が、他の装置、例えば、錠剤フィーダの錠剤整列盤や、
円盤状の受け皿に供給した散薬を1包分ずつ掻き出すた
めの掻き出しロータに適用することも可能である。
0等への印加電圧は、図13のグラフに示すように、各
モータの飽和電圧に沿って増大させ、その後所定位置で
徐々に減少させるようにするのが好ましい。これによ
り、第1,第2移動集合容器7a,7bの移動開始及び
停止をスムーズに行うことができ、しかも中間での移動
速度を確保して効率的な動作を得ることができる。
られるパルス信号に基づいて仕切三角板12の現在位置
(V枡5に何包分の散薬を収容可能であるのか)を表示
するようにしてもよいし、第2及び第3光透過センサ2
3及び28からのパルス信号に基づいて第1,第2移動
集合容器7a,7bの現在位置を判別し、この判別結果
に基づいて現在の処理状態を表示するようにしてもよ
い。
に係る駆動制御装置によれば、検出手段を少なくとも2
箇所で、かつ、被検出部とは異なるピッチ間隔で設ける
ようにしたので、移動体の移動方向の判断が可能とな
り、移動体を原点位置まで戻す必要がなくなり、作業性
を高めることができる。
の検出手段を被検出部に対して1/2ピッチだけずらせ
て配設し、移動体の静止状態での両検出手段からの検出
信号と、移動体の移動により最初に変化した検出信号と
に基づいて移動体の移動方向を判断可能としたので、よ
り構成を簡略化することが可能となる。
とできるので、用途に応じて自由に設計変更可能であ
る。
ータを元に、所定位置までの移動は高速で行い、その後
移動先までは減速させるようにしたので、移動体を効率
的に移動させることができ、より作業性を高めることが
可能となる。
合、検出手段によって検出されるエンコーダの被検出部
をカウントすることにより、表示手段に現在位置を表示
させるようにしたので、より使い勝手がよくなる。
分割包装装置の平面図である。
部分拡大図である。
部分拡大図である。
号を示すグラフである。
号に基づいて仕切三角板の移動方向を決定するための図
表である。
る。
配設例(a)及び検出信号を示すグラフである。
て回転方向を決定するための図表である。
の配設例(a)及び検出信号を示すグラフである。
いて回転方向を決定するための図表である。
変化を示すグラフである。
Claims (6)
- 【請求項1】 エンコーダに所定ピッチで設けた複数の
被検出部を検出手段で検出することにより得られる検出
信号に基づいて移動体を駆動制御する駆動制御装置にお
いて、 前記検出手段を少なくとも2箇所に、被検出部とは異な
るピッチ間隔で配設したことを特徴とする駆動制御装
置。 - 【請求項2】 前記検出手段を2箇所に設け、一方の検
出手段を被検出部に対して1/2ピッチだけずらせて配
設し、移動体の静止状態での両検出手段からの検出信号
と、移動体の移動により最初に変化した検出信号とに基
づいて移動体の移動方向を判断可能としたことを特徴と
する請求項1に記載の駆動制御装置。 - 【請求項3】 前記エンコーダを長尺板状としたことを
特徴とする請求項1又は2に記載の駆動制御装置。 - 【請求項4】 前記エンコーダを円盤状としたことを特
徴とする請求項1又は2に記載の駆動制御装置。 - 【請求項5】 前記移動体を移動させる場合、移動先デ
ータを元に、所定位置までの移動は高速で行い、その後
移動先までは減速させることを特徴とする請求項1ない
し4のいずれか1項に記載の駆動制御装置。 - 【請求項6】 前記移動体を原点位置から移動させる場
合、検出手段によって検出されるエンコーダの被検出部
をカウントすることにより、表示手段に現在位置を表示
させることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1
項に記載の駆動制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29002797A JP3495891B2 (ja) | 1997-10-22 | 1997-10-22 | 薬剤分割包装装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29002797A JP3495891B2 (ja) | 1997-10-22 | 1997-10-22 | 薬剤分割包装装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11126112A true JPH11126112A (ja) | 1999-05-11 |
JP3495891B2 JP3495891B2 (ja) | 2004-02-09 |
Family
ID=17750845
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29002797A Expired - Fee Related JP3495891B2 (ja) | 1997-10-22 | 1997-10-22 | 薬剤分割包装装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3495891B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20110007285A1 (en) * | 2003-06-09 | 2011-01-13 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US8344341B2 (en) | 2002-11-12 | 2013-01-01 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US8446568B2 (en) | 2002-11-12 | 2013-05-21 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US8941810B2 (en) | 2005-12-30 | 2015-01-27 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US9057967B2 (en) | 2002-11-12 | 2015-06-16 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US9091940B2 (en) | 2002-11-12 | 2015-07-28 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and method involving a fluid inlet and a fluid outlet |
US9482966B2 (en) | 2002-11-12 | 2016-11-01 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US10503084B2 (en) | 2002-11-12 | 2019-12-10 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
-
1997
- 1997-10-22 JP JP29002797A patent/JP3495891B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9588442B2 (en) | 2002-11-12 | 2017-03-07 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US10503084B2 (en) | 2002-11-12 | 2019-12-10 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US8446568B2 (en) | 2002-11-12 | 2013-05-21 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US10962891B2 (en) | 2002-11-12 | 2021-03-30 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US10788755B2 (en) | 2002-11-12 | 2020-09-29 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US10620545B2 (en) | 2002-11-12 | 2020-04-14 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US9057967B2 (en) | 2002-11-12 | 2015-06-16 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US9740107B2 (en) | 2002-11-12 | 2017-08-22 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US9091940B2 (en) | 2002-11-12 | 2015-07-28 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and method involving a fluid inlet and a fluid outlet |
US9097987B2 (en) | 2002-11-12 | 2015-08-04 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US8344341B2 (en) | 2002-11-12 | 2013-01-01 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US9195153B2 (en) | 2002-11-12 | 2015-11-24 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US9360765B2 (en) | 2002-11-12 | 2016-06-07 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US10261428B2 (en) | 2002-11-12 | 2019-04-16 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US9482966B2 (en) | 2002-11-12 | 2016-11-01 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US10222706B2 (en) | 2002-11-12 | 2019-03-05 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US10191389B2 (en) | 2002-11-12 | 2019-01-29 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US9885965B2 (en) | 2002-11-12 | 2018-02-06 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US10678139B2 (en) | 2003-06-09 | 2020-06-09 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US8482845B2 (en) * | 2003-06-09 | 2013-07-09 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US10180629B2 (en) | 2003-06-09 | 2019-01-15 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US9152058B2 (en) | 2003-06-09 | 2015-10-06 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method involving a member and a fluid opening |
US9541843B2 (en) | 2003-06-09 | 2017-01-10 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method involving a sensor detecting a radiation beam through liquid |
US20110007285A1 (en) * | 2003-06-09 | 2011-01-13 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US9081299B2 (en) | 2003-06-09 | 2015-07-14 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method involving removal of liquid entering a gap |
US8947631B2 (en) | 2005-12-30 | 2015-02-03 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US10222711B2 (en) | 2005-12-30 | 2019-03-05 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US9851644B2 (en) | 2005-12-30 | 2017-12-26 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US10761433B2 (en) | 2005-12-30 | 2020-09-01 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US8941810B2 (en) | 2005-12-30 | 2015-01-27 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US9436096B2 (en) | 2005-12-30 | 2016-09-06 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US11275316B2 (en) | 2005-12-30 | 2022-03-15 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US11669021B2 (en) | 2005-12-30 | 2023-06-06 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3495891B2 (ja) | 2004-02-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5950876B2 (ja) | 薬剤フィーダ | |
KR101801442B1 (ko) | 약제 충전 장치 | |
JPH11126112A (ja) | 駆動制御装置 | |
JP2008119069A (ja) | 薬品類カセット及び払出装置ならびに払出システム | |
US20180085287A1 (en) | Medicine-dispensing apparatus | |
JP2552429B2 (ja) | 除包機 | |
JPH0236441B2 (ja) | ||
JP2000255717A (ja) | 製品の残数管理方法および製品取出装置 | |
JPH04269960A (ja) | 物品搬送装置 | |
JP2007007099A (ja) | 薬品類カセット及び払出装置ならびに払出システム | |
JPS5843282B2 (ja) | 全自動散剤錠剤分包機 | |
KR101534318B1 (ko) | 약제포장장치의 정제분배기 | |
KR101470866B1 (ko) | 약제포장장치의 정제분배기 | |
KR20100042404A (ko) | 궐련 무게 선별기 및 그 제어방법 | |
JP5721176B2 (ja) | 薬品類カセット | |
JPH04269966A (ja) | 調剤装置 | |
JP4271755B2 (ja) | リニア搬送装置およびこれを用いた組合せ計量計数装置 | |
JPH04269196A (ja) | 調剤装置 | |
JP5154881B2 (ja) | 調剤装置のカッティング制御装置 | |
JP2002272815A (ja) | 薬剤払出装置 | |
JPH04269967A (ja) | 調剤装置 | |
JP5345234B2 (ja) | 調剤装置 | |
JP4929017B2 (ja) | 調剤装置のシート取り扱い方法及びその装置 | |
JP5648794B2 (ja) | 薬剤払出装置 | |
JP5648794B6 (ja) | 薬剤払出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091121 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091121 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101121 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111121 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111121 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121121 Year of fee payment: 9 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |