JPH11122535A - 固体撮像素子及びその駆動方法 - Google Patents

固体撮像素子及びその駆動方法

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JPH11122535A
JPH11122535A JP9282226A JP28222697A JPH11122535A JP H11122535 A JPH11122535 A JP H11122535A JP 9282226 A JP9282226 A JP 9282226A JP 28222697 A JP28222697 A JP 28222697A JP H11122535 A JPH11122535 A JP H11122535A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電荷転送部にCCDを用いた固体撮像装置に
おいて、パルスの伝播遅延による実質的なパルス振幅の
低下及び最大取り扱い電荷量の減少を防止する。 【解決手段】 光電変換素子の信号電荷を個別に出力す
る動作と、垂直方向に隣接する複数個の光電変換素子の
信号電荷を加算して出力する動作とで、垂直電荷転送レ
ジスタを駆動するパルスの相数および蓄積電極数を変え
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体撮像装置およ
び固体撮像装置の駆動方法に関する。
【0002】
【従来の技術】図8は、インターライン転送型の固体撮
像装置の構成を示す図である。図8に示すインターライ
ン転送型固体撮像装置では、半導体基板801上に、複
数列の電荷転送装置からなる垂直電荷転送レジスタ80
2群と、各垂直電荷転送レジスタ802に対応して配置
された光電変換素子803群と、各垂直電荷転送レジス
タ802の一端に電気的に結合された水平電荷転送レジ
スタ804とが設けられている。また、水平電荷転送レ
ジスタ804の一端には、電気的に結合された電荷検出
部805が設けられている。また、電荷検出部805か
らの信号出力は、出力端子806を介して外部に出力さ
れる。
【0003】図9は、光電変換素子と垂直電荷転送レジ
スタの転送電極の配置、およびパスラインと転送電極と
の接続を説明するための図であり、図9は、全画素同時
読み出し方式の固体撮像装置で、垂直電荷転送レジスタ
が4相のパルスで駆動される場合を示している。図9に
おいて、1つの光電変換素子803に対して4つの垂直
転送電極901が配置されており、これらにより単位画
素が構成されている。垂直転送電極901は、4電極お
きに同一のパスライン902に接続されている。また、
垂直電荷転送レジスタの一端には水平転送電極903が
設けられている。
【0004】このような固体撮像装置において、各光電
変換素子の信号電荷を個別に出力する動作と、垂直方向
に隣接した2つの光電変換素子の信号電荷を加算して出
力する動作との両方の駆動が必要な場合がある。2つの
光電変換素子の信号電荷を加算して出力すると解像度は
落ちるが、全信号電荷を出力するのに必要な時間を短く
することができる。また、インターレースモードで駆動
する場合にも、垂直方向に隣接した2つの光電変換素子
の信号電荷を加算して出力する。
【0005】固体撮像装置の全画素同時独立読み出しモ
ードと、垂直方向に隣接した2つの光電変換素子の信号
電荷を加算する駆動(以下、垂直2画素加算モードとい
う)とを切り替える方法に、水平ブランキング期間内に
垂直電荷転送レジスタ内の信号電荷を2回転送する方法
がある。かかる方法は例えば特開平4−262679号
公報に開示されている。水平ブランキング期間内の垂直
電荷転送レジスタの電荷転送は、全画素同時独立読み出
しモードでは1回(1画素シフト)であり、垂直2画素
加算モードにおいては2回(2画素シフト)である。
【0006】図10は、全画素同時独立読み出しモード
における、水平ブランキング期間内に垂直転送電極およ
び水平転送電極に印加されるパルスのタイミング図であ
る。ここで、水平駆動パルスは、水平転送電極903に
印加されるパルスφH1のみ示している。図11は、図
10の各時刻における垂直電荷転送レジスタ内の信号電
荷の蓄積状態の模式図である。
【0007】光電変換素子803から垂直電荷転送レジ
スタ802へ読み出された信号電荷は、水平ブランキン
グ期間に各垂直転送電極にパルスを1回印加することに
より、垂直電荷転送レジスタ内を1画素分転送される。
このとき、垂直電荷転送レジスタの最終段の信号電荷
は、水平電荷転送レジスタに転送される。垂直電荷転送
レジスタより1行分の信号電荷を受け取った水平電荷転
送レジスタは、これを出力部へ順次転送する。この動作
を垂直の画素数分繰り返すことにより、撮像領域内の全
画素の信号電荷が出力される。
【0008】図12は、垂直2画素加算モードにおけ
る、水平ブランキング期間内に垂直転送電極および水平
転送電極に印加されるパルスのタイミング図である。ま
た、図13は、図12の各時刻における垂直電荷転送レ
ジスタ内の信号電荷の蓄積状態の模式図である。
【0009】光電変換素子803から垂直電荷転送レジ
スタ802へ読み出された信号電荷は、水平ブランキン
グ期間に各垂直転送電極にパルスを2回印加することに
より垂直電荷転送レジスタ内を2画素分転送される。こ
のとき、垂直電荷転送レジスタの最終段の信号電荷、お
よびその前段の信号電荷は連続して水平電荷転送レジス
タに転送され、水平電荷転送レジスタ内で加算される。
垂直電荷転送レジスタより2行分の信号電荷を受け取っ
た水平電荷転送レジスタは、これを出力部へ順次転送す
る。この動作を垂直の画素数分の半数分繰り返すことに
より、撮像領域内の全画素の信号電荷が出力される。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】ところで、垂直2画素
加算モードで、一定の水平ブランキング期間内に、各垂
直転送電極に2回パルスを印加すると、各パルスの幅が
短くなる。従来例の固体撮像装置では、パルスの幅が短
くなると、転送電極の容量と抵抗のために生じるパルス
の伝播遅延の影響により実質的な転送パルスの振幅が小
さくなり、垂直電荷転送レジスタで転送できる最大取り
扱い電荷量が減少する。
【0011】また、パルスの伝播遅延を抑制するため
に、水平ブランキング期間を長くすると、その分だけ水
平電荷転送レジスタ内の信号電荷を出力するための時間
が短くなるために、水平電荷転送レジスタを駆動するパ
ルスの周波数を高くする必要があり、水平電荷転送レジ
スタの転送不良、固体撮像装置および駆動回路の消費電
力の増大等の問題が生じる。
【0012】本発明の目的は、低消費電力化、最大取り
扱い電荷量の拡大等を実現する固体撮像装置及びその駆
動方法を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る固体撮像装置は、電荷転送部からなる
複数列の垂直電荷転送レジスタ群と、前記垂直電荷転送
レジスタ群に対応して配置される光電変換素子群と、前
記垂直電荷転送レジスタ群の一端に電気的に結合された
水平電荷転送レジスタと、前記水平電荷転送レジスタの
一端に電気的に結合された電荷検出部とを有し、垂直方
向に隣接する複数の画素内の垂直電荷転送レジスタの転
送電極の配線は、独立に設けたものである。
【0014】また、前記電荷転送部にCCDを用いたも
のである。
【0015】また、本発明に係る固体撮像装置の駆動方
法は、少なくとも、電荷転送部からなる複数列の垂直電
荷転送レジスタ群と、前記垂直電荷転送レジスタ群に対
応して配置される光電変換素子群とを有する固体撮像装
置を駆動するものであり、垂直方向に隣接した2つの光
電変換素子の信号電荷を加算して出力するモードにおい
て、垂直駆動方法を多相駆動に切り替え、垂直電荷転送
レジスタの最大取り扱い電荷量を増加するものである。
【0016】また、本発明に係る固体撮像装置の駆動方
法は、少なくとも、電荷転送部からなる複数列の垂直電
荷転送レジスタ群と、前記垂直電荷転送レジスタ群に対
応して配置される光電変換素子群とを有する固体撮像装
置を駆動するものであって、前記各光電変換素子の信号
電荷を個別に出力する動作と、垂直方向に隣接する複数
個の光電変換素子の信号電荷を加算して出力する動作と
により、固体撮像装置を駆動し、前記動作において、前
記垂直電荷転送レジスタを駆動するパルスの相数および
蓄積電極数を切り替えるものである。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
により説明する。
【0018】(実施形態1)図1は、本発明の実施形態
1に係る固体撮像装置における垂直電荷転送レジスタの
転送電極と光電変換素子との配置を示す構成図である。
図1は、全画素同時独立読み出し方式の固体撮像装置で
あって、垂直電荷転送レジスタが4相のパルスで駆動さ
れる例を示している。
【0019】図1に示す本発明の実施形態1に係る固体
撮像装置は、1つの光電変換素子803に対して4つの
垂直転送電極901を配置し、これらにより単位画素を
構成している。さらに、垂直方向に隣接する2画素の垂
直転送電極901、例えばV1Aと、V1Bは、独立し
て垂直パスライン902に配線しており、個別のパルス
を供給するようになっている。
【0020】次に、本発明の実施形態1に係る固体撮像
装置の駆動方法について説明する。本発明に係る固体撮
像装置の駆動方法の特徴は、各光電変換素子の信号電荷
を個別に出力する動作と、垂直方向に隣接する複数個の
光電変換素子の信号電荷を加算して出力する動作とによ
り、固体撮像装置を駆動し、前記動作において、前記垂
直電荷転送レジスタを駆動するパルスの相数および蓄積
電極数を切り替えるものであって、具体的には、全画素
同時独立読み出しモードと、垂直2画素加算モードとに
おいて、垂直電荷転送レジスタを駆動するパルスの相数
を変える点にある。
【0021】図2は、全画素同時独立読み出しモードに
おける、水平ブランキング期間内に垂直転送電極および
水平転送電極に印加されるパルスのタイミング図であ
る。本モードでは、φV1AとφV1B、φV2Aとφ
V2B、φV3AとφV3B、φV4AとφV4Bは、
それぞれ同相のパルスである。すなわち、垂直電荷転送
レジスタは、4相のパルスφV1A〜φV4Aで駆動さ
れる。図3は、図2の各時刻における垂直電荷転送レジ
スタ内の信号電荷の蓄積状態を示す模式図である。信号
電荷の転送動作は図11に示した従来例と同様である。
【0022】図4は、垂直2画素加算モードにおける、
水平ブランキング期間内に垂直転送電極および水平転送
電極に印加されるパルスのタイミング図である。本モー
ドでは、垂直方向に隣接した2画素の垂直転送電極に
は、それぞれ個別のパルスを印加し、垂直電荷転送レジ
スタを8相のパルスで駆動する。
【0023】図5は、図4の各時刻における垂直電荷転
送レジスタ内の信号電荷の蓄積状態の模式図である。信
号電荷は、少なくとも連続した4つの垂直転送電極の下
部に蓄積された状態で垂直電荷転送レジスタ内に転送さ
れる。
【0024】図12に示した従来の駆動方法でのパルス
幅に比べ、図4に示す本発明に係る駆動方法でのパルス
幅は長いため、パルスの伝播遅延によりパルスがなまっ
ても、パルス振幅の低下を抑制できる。したがって、垂
直電荷転送部の最大取り扱い電荷量の減少を防止するこ
とができる。
【0025】ここで、垂直2画素加算モードの垂直電荷
転送レジスタの最大取り扱い電荷量について検討する。
例えば、水平ブランキング期間の長さが3μsであり、
垂直転送電極のパルス伝播遅延の時定数が0.14μs
である場合について考える。この場合、図12に示した
従来の駆動方法における各パルスの幅(パルスがロウレ
ベルである期間)は約0.6μsであり、一方、図4に
示す本発明による駆動方法における各パルスの幅は約
1.6μsである。これにより、実質的なパルス振幅
は、パルス供給源における振幅に対して従来の駆動方法
では約76%、本発明による駆動方法では約99%とな
る。その結果、本発明による駆動方法における垂直電荷
転送レジスタの最大取り扱い電荷量は、従来の駆動方法
に比べて約1.3倍に向上する。
【0026】他の例として、水平ブランキング期間の長
さが3μsであり、垂直転送電極のパルス伝播遅延の時
定数が0.3μsである場合について考える。この場
合、図12に示した従来の駆動方法における各パルスの
幅は約0.6μsであり、一方、図4に示す本発明によ
る駆動方法における各パルスの幅は約1.6μsであ
る。これにより、実質的なパルス振幅は、パルス供給源
における振幅に対して従来の駆動方法では約50%、本
発明による駆動方法では約99%となる。その結果、本
発明による駆動方法における垂直電荷転送レジスタの最
大取り扱い電荷量は、従来の駆動方法に比べて約2倍に
向上する。
【0027】(実施形態2)次に、本発明の実施形態2
に係る固体撮像装置の駆動方法について説明する。
【0028】実施形態2において、全画素同時独立読み
出しモードでのパルスタイミングは実施形態1と同様で
ある。図6は、垂直2画素加算モードにおける、水平ブ
ランキング期間内に垂直転送電極および水平転送電極に
印加されるパルスのタイミング図である。垂直方向に隣
接した2画素の垂直転送電極には独立したパルスを供給
し、垂直電荷転送レジスタを8相のパルスで駆動する。
【0029】図7は、図6の各時刻における垂直電荷転
送レジスタ内の信号電荷の蓄積状態の模式図である。信
号電荷は、少なくとも連続した6つの垂直転送電極の下
部に蓄積された状態で垂直電荷転送レジスタ内に転送さ
れる。
【0030】実施形態2では、実施形態1に比べて幅が
短いため、パルスなまりによる電荷量の減少を抑制する
ことはできない。しかし、信号電荷の蓄積状態であるハ
イレベルの印加された垂直転送電極の数が、図5に示し
た4電極から図7に示した6電極に増えるため、最大取
り扱い電荷量が約1.5倍に増加する。したがって、パ
ルスの伝播遅延が小さい場合には、実施形態1より実施
形態2の方が有利である。
【0031】上記した例では、パルス伝播遅延の時定数
が0.14μsである場合は実施形態2が有利であり、
パルス伝播遅延の時定数が0.3μsである場合は実施
形態1が有利である。
【0032】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、垂
直方向に隣接した2つの光電変換素子の信号電荷を加算
して出力するモードにおいて、垂直駆動方法を多相駆動
に切り替えることにより、垂直電荷転送レジスタの最大
取り扱い電荷量を増加することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態1に係る固体撮像装置におけ
る、垂直電荷転送レジスタの転送電極と光電変換素子の
配置を示す構成図である。
【図2】本発明の実施形態1に係る固体撮像装置の駆動
方法における、全画素同時独立読み出しモードにおけ
る、水平ブランキング期間内に垂直転送電極および水平
転送電極に印加されるパルスを示す図である。
【図3】図2の各時刻における垂直電荷転送レジスタ内
の信号電荷の蓄積状態を示す模式図である。
【図4】本発明の実施形態1に係る固体撮像装置の駆動
方法における、垂直2画素加算モードにおける、水平ブ
ランキング期間内に垂直転送電極および水平転送電極に
印加されるパルスを示すタイミング図である。
【図5】図4の各時刻における垂直電荷転送レジスタ内
の信号電荷の蓄積状態を示す模式図である。
【図6】本発明の実施形態2に係る固体撮像装置の駆動
方法における、垂直2画素加算モードにおける、水平ブ
ランキング期間内に垂直転送電極および水平転送電極に
印加されるパルスを示すタイミング図である。
【図7】図6の各時刻における垂直電荷転送レジスタ内
の信号電荷の蓄積状態を示す模式図である。
【図8】インターライン転送型固体撮像装置を示す構成
図である。
【図9】光電変換素子と垂直電荷転送レジスタの転送電
極の配置、およびパスラインと転送電極との接続を示す
図である。
【図10】全画素同時独立読み出しモードにおける、水
平ブランキング期間内に垂直転送電極および水平転送電
極に印加されるパルスを示すタイミング図である。
【図11】図10の各時刻における垂直電荷転送レジス
タ内の信号電荷の蓄積状態を示す模式図である。
【図12】垂直2画素加算モードにおける、水平ブラン
キング期間内に垂直転送電極および水平転送電極に印加
されるパルスを示すタイミング図である。
【図13】図12の各時刻における垂直電荷転送レジス
タ内の信号電荷の蓄積状態を示す模式図である。
【符号の説明】
801 半導体基板 802 垂直電荷転送レジスタ 803 光電変換素子 804 水平電荷転送レジスタ 805 電荷検出部 806 出力端子 901 垂直転送電極 902 駆動パスライン 903 水平転送電極

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電荷転送部からなる複数列の垂直電荷転
    送レジスタ群と、 前記垂直電荷転送レジスタ群に対応して配置される光電
    変換素子群と、 前記垂直電荷転送レジスタ群の一端に電気的に結合され
    た水平電荷転送レジスタと、 前記水平電荷転送レジスタの一端に電気的に結合された
    電荷検出部とを有し、 垂直方向に隣接する複数の画素内の垂直電荷転送レジス
    タの転送電極の配線は、独立に設けたものであることを
    特徴とする固体撮像装置。
  2. 【請求項2】 前記電荷転送部にCCDを用いたもので
    あることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
  3. 【請求項3】 固体撮像装置を駆動する固体撮像装置の
    駆動方法であって、 前記固体撮像装置は、少なくとも、電荷転送部からなる
    複数列の垂直電荷転送レジスタ群と、前記垂直電荷転送
    レジスタ群に対応して配置される光電変換素子群とを有
    しており、 垂直方向に隣接した2つの光電変換素子の信号電荷を加
    算して出力するモードにおいて、垂直駆動方法を多相駆
    動に切り替え、垂直電荷転送レジスタの最大取り扱い電
    荷量を増加すること特徴とする固体撮像装置の駆動方
    法。
  4. 【請求項4】 固体撮像装置を駆動する固体撮像装置の
    駆動方法であって、 前記固体撮像装置は、少なくとも、電荷転送部からなる
    複数列の垂直電荷転送レジスタ群と、前記垂直電荷転送
    レジスタ群に対応して配置される光電変換素子群とを有
    しており、 前記各光電変換素子の信号電荷を個別に出力する動作
    と、垂直方向に隣接する複数個の光電変換素子の信号電
    荷を加算して出力する動作とに切替えて、固体撮像装置
    を駆動し、 前記動作において、前記垂直電荷転送レジスタを駆動す
    るパルスの相数および蓄積電極数を切り替えるものであ
    ることを特徴とする固体撮像装置の駆動方法。
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