JPH1083221A

JPH1083221A - 室圧制御システム

Info

Publication number: JPH1083221A
Application number: JP23750996A
Authority: JP
Inventors: Kanjiyuu Hashigami; 勘十橋上; Akiya Nojiri; 明哉野尻; Tadashi Mukumoto; 匡椋本
Original assignee: Taikisha Ltd
Current assignee: Taikisha Ltd
Priority date: 1996-09-09
Filing date: 1996-09-09
Publication date: 1998-03-31
Anticipated expiration: 2016-09-09
Also published as: JP3552853B2

Abstract

(57)【要約】【課題】対象室間の扉の閉じ時における極端な室圧変
化を防止する。【解決手段】各対象室１ａ，１ｂの検出室圧ｐａ，ｐ
ｂに基づき、各対象室１ａ，１ｂに対する給気風路４又
は排気風路７に介装の室圧調整用ダンパＶａ，Ｖｂを開
度調整して、各対象室１ａ，１ｂの室圧ｐａ，ｐｂを各
々の目標室圧ｐｐａ，ｐｐｂに調整する室圧制御手段９
ａ，９ｂを備える構成において、対象室１ａ，１ｂどう
しの間の扉１２の開閉を検出する開閉検出手段１４ａ
と、この開閉検出に基づいて、扉１２が開かれたとき、
この扉１２の開きで連通状態となる二つの対象室１ａ，
１ｂの目標室圧ｐｐａ，ｐｐｂのうちの一方、又は、両
方を変更して、これら二つの対象室１ａ，１ｂの目標室
圧ｐｐａ，ｐｐｂを一致させ、かつ、扉１２が閉じられ
たとき、先の扉開き時に変更した目標室圧ｐｐａ，ｐｐ
ｂを元の値に復帰させる室圧保全手段１５を設けてあ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム施
設などで用いる室圧制御システムに関し、詳しくは、各
対象室の検出室圧に基づき、各対象室に対する給気風路
又は排気風路に介装の室圧調整用ダンパを開度調整し
て、各対象室の室圧を各々の目標室圧に調整する室圧制
御手段を備える室圧制御システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の室圧制御システムでは、
対象室の用途変更の際などの初期設定として目標室圧を
設定変更する、あるいは、給排気運転の開始時に室圧を
漸次的に立ち上げるために目標室圧を漸次変更するとい
ったこと以外に、各対象室の目標室圧を変更することは
なく、定常の給排気運転中では、各対象室の目標室圧を
固定した状態で、室圧制御手段による室圧制御を各々の
対象室に対し実施していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来システム
では、目標室圧が互いに異なる対象室どうしの間に扉が
ある場合、この扉が開かれたときに、室圧制御状態にあ
るこれら対象室の室圧が、連通による均圧化で変化して
目標室圧から外れ、また、その後、扉が閉じられたとき
に、一時的ではあるが、室圧が先の扉開き時の変化方向
とは逆方向へ大きく変化して目標室圧から大きく外れる
現象がある。

【０００４】そして、これら室圧変化のうち、扉の閉じ
時の一時的な室圧変化は、扉開き時の室圧変化に比べ極
端に大きく、この為、クリーンルームの清浄度維持を目
的とする室圧制御の場合では、その清浄度維持の確実性
が大きく低下するなど、種々の目的で実施する室圧制御
において、その所期目的の達成の確実性が、扉閉じ時の
極端な室圧変化のために大きく低下する問題があった。

【０００５】なお、この扉閉じ時における極端な室圧変
化は、扉が開かれた後の室圧制御に原因するものであ
り、扉開き時の均圧化による室圧変化に対し、室圧制御
手段が、連通状態となった両対象室の室圧を各々の目標
室圧に復帰させる方向に各対象室に対する給気風路また
は排気風路の室圧調整用ダンパを開度調整するが、扉が
開き状態にある間は、扉の開きによる両室の連通のため
一方の対象室から他方の対象室へ侵入する漏れ的な風量
が増大するばかりで、室圧が目標室圧に復帰することは
なく、この為、室圧調整用ダンパは開度調整限界、ない
しは、それに近い状態まで開度調整されてしまい、対象
室における給気量と排気量の関係が、扉が開かれる以前
のものとは全く異なったものとなる。そして、このよう
に給排気量の関係が大きく狂った状態において、扉が閉
じられる為に、上記の如き極端な室圧変化が生じる。

【０００６】また、この扉閉じ時における極端な室圧変
化は、一方の対象室の室容積及び換気回数が他方の対象
室に比べ十分に大きい場合には、扉開き時の均圧化によ
る室圧変化が、その他方側の対象室の方でより大きく生
じることから、扉閉じ時における極端な室圧変化も他方
側の対象室の方で顕著に生じ、また、両対象室の室容積
及び換気回数が同等である場合には、扉開き時の均圧化
による室圧変化が、両対象室において同等（変化の向き
は逆向き）に生じることから、扉閉じ時における極端な
室圧変化も両対象室で同等（やはり変化の向きは逆向
き）に生じる。

【０００７】以上の実情に対し、本発明の主たる課題
は、扉の開閉に応じた室圧制御形態の合理的な切り換え
により、扉が開き状態にある間の室圧制御にかかわら
ず、扉閉じ時における室圧の極端な変化を効果的に抑止
できるようにする点にある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

〔請求項１記載の発明〕請求項１記載の発明では、扉が
開かれたとき、この扉の開きで連通状態となる二つの対
象室の目標室圧のうちの一方、又は、両方を変更して、
これら二つの対象室の目標室圧を一致させることによ
り、扉開き時の均圧化でこれら対象室の室圧が本来の目
標室圧から外れることに対し、実質的に、これら連通状
態となった対象室を一つの目標室圧（すなわち、上記の
一致させた目標室圧）を有する一つの室圧制御対象室と
して扱かう形態で、これら対象室の各々に対する室圧調
整用ダンパを、室圧制御手段により検出室圧に基づき開
度調整するようにし、これにより、扉の開き後、これら
二つの対象室の室圧をともに、上記の一致させた目標室
圧に調整する。

【０００９】つまり、このことにより、先述の従来シス
テムで生じていたダンパ調整上の問題、すなわち、扉の
開きで両室が連通状態となって、これら対象室の室圧を
互いに異なる各々の目標室圧に調整することがもはや不
可能であるにもかかわらず、扉の開き後も互いに異なる
各室の目標室圧を目指して室圧調整用ダンパが無意味に
開度調整されるために、室圧調整用ダンパが開度調整限
界や、それに近い状態に至ってしまうといったことを防
止する。

【００１０】一方、扉が開き状態にある間は、両対象室
を実質的に一室として扱う上記の室圧制御により、両対
象室の室圧を一致の目標室圧に保ち、その後、扉が閉じ
られたとき、先の扉開き時に変更した目標室圧を元の値
に復帰させることにより、再び、これら対象室を互いに
異なる目標室圧を有する個別の室圧制御対象室として扱
う形態で、これら対象室の各々に対する室圧調整用ダン
パを、室圧制御手段により各室の検出室圧に基づき開度
調整するようにし、これにより、これら対象室の室圧を
各々の本来の目標室圧に調整する状態に戻る。

【００１１】すなわち、請求項１記載の発明によれば、
扉の開き後、室圧調整用ダンパが無意味な開度調整で開
度調整限界やそれに近い状態に至ってしまうことを防止
できることにより、これに原因する扉閉じ時の極端な室
圧変化を効果的に抑止できるようになり、これにより、
クリーンルームの清浄度維持を目的とする室圧制御の場
合では、その清浄度維持の確実性を向上し得るなど、種
々の目的で実施する室圧制御において、その所期目的の
達成を一層確実なものにし得る。

【００１２】なお、扉閉じ時における極端な室圧変化を
抑止する別法としては、扉が開かれたとき、室圧制御手
段による室圧調整用ダンパの開度調整を停止して、扉が
開き状態にある間は、室圧調整用ダンパの開度を扉開き
時点の開度に固定してしまい、そして、扉が閉じられた
ときに、室圧制御手段による室圧調整用ダンパの開度調
整を再開するようにし、これにより、扉の開き後、室圧
調整用ダンパが無意味に開度調整されて開度調整限界や
それに近い状態に至ってしまうことを防止するといった
手法も考えられる。

【００１３】しかし、この別法では、扉が開き状態にあ
る間、室圧調整用ダンパの開度が固定で対象室に対する
室圧調整機能が皆無となるため、この間において、対象
室で給気風路からの給気や排気風路への排気とは別の局
所排気や局所給気が始動されるなど、給排気量関係につ
いての何らかの変動要因があると、その影響で対象室の
室圧が変動してしまう問題が残るが、請求項１記載の発
明によれば、扉が開き状態にある間も、両対象室の室圧
を上記一致の目標室圧に調整する室圧制御を実施するか
ら、扉が開き状態にある間に、上記局所排気や局所給気
が始動されるなど、給排気量関係について何らかの変動
要因が生じたとしても、室圧制御機能により両対象室の
室圧を上記一致の目標室圧に調整・維持することがで
き、この点、対象室の室圧を極力安定的に保つことにお
いて、上記の別法に比べ一層優れた室圧制御システムと
なる。

【００１４】〔請求項２記載の発明〕請求項２記載の発
明では、扉が開かれたとき、目標室圧の変更により、二
つの対象室の目標室圧を一致させるにあたり、扉の開き
で連通状態となる二つの対象室のうち、特定の一方の対
象室の目標室圧は固定した状態で、他方の対象室の目標
室圧のみを変更して、これら二つの対象室の目標室圧
を、特定対象室である一方の対象室の目標室圧において
一致させる。

【００１５】そして、この変更形態を採ることにより、
扉が開き状態にある間も、一致の目標室圧を目指す室圧
制御により、特定対象室である一方の対象室の室圧は、
両室の連通にかかわらず、その本来の目標室圧に維持さ
れるようにし、また、その後、扉の閉じに伴い、先の扉
開き時に変更した他方の対象室の目標室圧を元の値に復
帰させて元の室圧制御状態に戻る際も、特定対象室であ
る一方の対象室については、室圧変化を殆ど伴うこと無
く、その室圧を本来の目標室圧に保ったままの状態で元
の室圧制御状態に戻れるようにする。

【００１６】つまり、請求項２記載の発明によれば、二
つの対象室において、それらの室圧を各々の本来の目標
室圧に維持することの必要性・重要性に差がある場合
に、その必要性・重要性の高い方の対象室を上記の特定
対象室として上記の変更形態を採ることにより、その必
要性・重要性の高い方の対象室の室圧を、扉が開き状態
にある間を通じて、また、その後の扉閉じの際も、その
本来の目標室圧に安定的に維持しておくことができ、こ
の点、扉の開きで連通状態となる二つの対象室のうち、
清浄度の厳密維持などの理由で、特に一方の対象室の室
圧をその本来の目標室圧に厳密に維持することが要求さ
れる場合などに有効な室圧制御システムとなる。

【００１７】〔請求項３記載の発明〕請求項３記載の発
明では、扉が開かれたとき、目標室圧の変更により、二
つの対象室の目標室圧を一致させるにあたり、扉の開き
で連通状態となる二つの対象室の目標室圧をともに、こ
れら目標室圧どうしの間の設定中間値に変更して、これ
ら二つの対象室の目標室圧を、その設定中間値で一致さ
せる。

【００１８】そして、この変更形態を採ることにより、
二つの対象室のうち、一方の対象室の目標室圧は固定し
た状態で、他方の対象室の目標室圧のみを変更して、両
対象室の目標室圧を一致させる形態などに比べ、二つの
対象室の双方について、扉が閉じ状態にあるときの室圧
と、扉が開き状態にあるときの室圧との差を可及的に小
さくできるようにする。

【００１９】つまり、請求項３記載の発明によれば、二
つの対象室の双方について、扉が閉じ状態にあるときの
室圧と、扉が開き状態にあるときの室圧との差を可及的
に小さくできることにより、二つの対象室の室圧をとも
に、各々の本来の目標室圧に極力近い状態に保つことが
要求される場合に有効な室圧制御システムとなる。

【００２０】〔請求項４記載の発明〕請求項４記載の発
明では、扉が開かれたとき、この扉の開きで連通状態と
なる二つの対象室の目標室圧をともに、これら目標室圧
どうしの間の設定中間値に変更して、これら二つの対象
室の目標室圧を、その設定中間値で一致させるにあた
り、これら二つの対象室の扉開き時の室圧変化傾向度の
比（すなわち、扉開き時に各室の室圧が均圧化の方向で
どの程度変化するかの比）で、これら二つの目標室圧ど
うしの間を内分する内分点に相当の中間値を、その設定
中間値とする。

【００２１】そして、この変更形態を採ることにより、
扉の開きに伴い各対象室の室圧が均圧化の方向で変化す
ることそのものが、一致の目標室圧である上記設定中間
値への室圧調整となるようにして、扉の開きに対し、両
室の室圧を設定中間値に調整するのに要する室圧調整用
ダンパの開度調整量（換言すれば、給気量や排気量の変
更量）が少ない状態で、速やかに両室の室圧を設定中間
値に調整できるようにし、また、このことにより、その
後の扉の閉じに伴い元の室圧制御状態に戻ることについ
ても、室圧調整用ダンパの開度調整量の少ない状態で、
速やかに両室の室圧を各々の本来の目標室圧に復帰でき
るようにする。

【００２２】つまり、請求項４記載の発明によれば、上
記の如く、扉開き時及び扉の閉じ時の夫々について、室
圧調整用ダンパの開度調整量の少ない状態で、両室の室
圧を一致の目標室圧である設定中間値へ、また、各々の
本来の目標室圧へ速やかに調整できることにより、対象
室の室圧を極力安定的に保つことにおいて一層優れた室
圧制御システムとなる。

【００２３】〔請求項５記載の発明〕請求項５記載の発
明では、扉が開かれたとき、この扉の開きで連通状態と
なる二つの対象室のうち、一方の対象室に対する室圧調
整用ダンパを、その一方の対象室の検出室圧に基づき開
度調整する独立調整状態（すなわち、その一方の対象室
の目標室圧を目指して開度調整する状態）から、他方の
対象室に対する室圧調整用ダンパの検出室圧に基づく開
度調整（すなわち、その他方の対象室の目標室圧を目指
すダンパ開度調整）に追従させて開度変化させる従動調
整状態へ切り換える。

【００２４】つまり、この従動調整状態への切り換えを
行うことにより、扉開き時の均圧化で両対象室の室圧が
各々の本来の目標室圧から外れることに対し、実質的
に、これら連通状態となった対象室を一つの目標室圧
（具体的には上記他方の対象室の目標室圧）を有する一
つの室圧制御対象室として扱かう形態で、上記他方の対
象室に対する室圧調整用ダンパを検出室圧に基づき開度
調整するとともに、これに追従させて、上記一方の対象
室に対する室圧調整用ダンパを開度変化させるように
し、これにより、扉の開き後、これら二つの対象室の室
圧をともに、上記他方の対象室の目標室圧に調整する。

【００２５】そして、このことにより、先述の従来シス
テムで生じていたダンパ調整上の問題、すなわち、扉の
開きで両室が連通状態となって、これら対象室の室圧を
互いに異なる各々の目標室圧に調整することがもはや不
可能であるにもかかわらず、扉の開き後も互いに異なる
各室の目標室圧を目指して室圧調整用ダンパが無意味に
開度調整されるために、室圧調整用ダンパが開度調整限
界や、それに近い状態に至ってしまうといったことを防
止する。

【００２６】一方、扉が開き状態にある間は、上記の如
く一方の対象室に対する室圧調整用ダンパを従動調整状
態に切り換えた室圧制御により、両対象室の室圧をとも
に他方の対象室の目標室圧に保ち、その後、扉が閉じら
れたとき、先の扉開き時に従動調整状態に切り換えた室
圧調整用ダンパを独立調整状態へ復帰させることによ
り、再び、これら対象室を互いに異なる目標室圧を有す
る個別の室圧制御対象室として扱う形態で、これら対象
室の各々に対する室圧調整用ダンパを、室圧制御手段に
より各室の検出室圧に基づき開度調整するようにし、こ
れにより、これら対象室の室圧を各々の本来の目標室圧
に調整する状態に戻る。

【００２７】つまり、請求項５記載の発明によれば、前
述の請求項１記載の発明と同様、扉の開き後、室圧調整
用ダンパが無意味な開度調整で開度調整限界やそれに近
い状態に至ってしまうことを防止できることにより、こ
れに原因する扉閉じ時の極端な室圧変化を効果的に抑止
できるようになり、種々の目的で実施する室圧制御にお
いて、その所期目的の達成を一層確実なものにし得る。

【００２８】また、先述の別法に対しても、請求項１記
載の発明と同様、扉が開き状態にある間も、両対象室の
室圧ともに上記他方の対象室の目標室圧に調整する室圧
制御を実施するから、扉が開き状態にある間に、対象室
で局所排気や局所給気が始動されるなど、給排気量関係
について何らかの変動要因が生じたとしても、室圧制御
機能により両対象室の室圧を上記他方の対象室の目標室
圧に調整・維持することができ、この点で、対象室の室
圧を極力安定的に保つことにおいて、先述の別法に比べ
一層優れた室圧制御システムとなる。

【００２９】

【発明の実施の形態】

〔第１実施形態〕図１において、１ａ〜１ｃは室圧制御
対象の第１〜第３の対象室、Ｆｓは主給気風路２を介し
て各対象室１ａ〜１ｃへ空調用空気ＳＡを供給する給気
ファン、Ｆｅは主排気風路３を介して各対象室１ａ〜１
ｃから室内空気ＲＡを排気する排気ファンであり、主給
気風路２から各対象室１ａ〜１ｃに接続した分岐の給気
風路４には夫々、各対象室１ａ〜１ｃへの給気量を各々
の設定量に維持する定風量装置５、及び、給気用のフィ
ルタ６を介装してある。

【００３０】また、主排気風路３から各対象室１ａ〜１
ｃに接続した分岐の排気風路７には夫々、排気用のフィ
ルタ８、及び、開度調整により各対象室１ａ〜１ｃの室
圧ｐａ〜ｐｃを調整する室圧調整用ダンパＶａ〜Ｖｃを
介装してある。

【００３１】９ａ〜９ｃは、制御盤１０から指定された
各対象室１ａ〜１ｃの目標室圧ｐｐａ〜ｐｐｃと、室圧
センサ１１により検出される各対象室１ａ〜１ｃの室圧
ｐａ〜ｐｃ（具体的には大気圧などの適当な基準圧ｐｏ
に対する差圧）との偏差Δｐａ〜Δｐｃに応じ、室圧調
整用ダンパＶａ〜Ｖｃを開度調整して、各対象室１ａ〜
１ｃの室圧ｐａ〜ｐｃを各々の目標室圧ｐｐａ〜ｐｐｃ
（例えば、ｐｐａ＝３０〔Ｐａ〕，ｐｐｂ＝２０〔Ｐ
ａ〕，ｐｐｃ＝０〔Ｐａ〕）に調整する室圧制御手段と
してのダンパ制御器である。

【００３２】なお、Ｌは、目標室圧ｐｐａ〜ｐｐｃの指
定やダンパＶａ〜Ｖｃの全閉・全開指令など、制御盤１
０からの種々の指令を各ダンパ制御器９ａ〜９ｃに送る
とともに、各対象室１ａ〜１ｃの検出室圧ｐａ〜ｐｃや
室圧調整用ダンパＶａ〜Ｖｃの開度状態など、各ダンパ
制御器９ａ〜９ｃからの情報を制御盤１０に送る通信ラ
インである。

【００３３】第１の対象室１ａと第２の対象室１ｂとの
間の第１扉１２、及び、第２の対象室１ｂと第３の対象
室１ｃとの間の第２扉１３には、夫々、これら扉１２，
１３の開閉を検出して、その開閉の検出結果を制御盤１
０に送る開閉検出手段としての扉開閉検出器１４ａ，１
４ｂを装備してあり、これに対し、制御盤１０には、第
１扉１２や第２扉１３が一旦開かれた後、再び閉じられ
たときの極端な室圧変化を防止する室圧保全手段とし
て、扉開閉検出器１４ａ，１４ｂによる各扉１２，１３
の開閉検出に基づき、扉開閉時に、対応対象室の目標室
圧ｐｐａ〜ｐｐｃを自動的に変更する目標室圧自動変更
部１５を装備してある。

【００３４】そして、この目標室圧自動変更部１５は、
次の（イ）及び（ロ）の如く目標室圧の自動変更を実行
する構成としてある。

【００３５】（イ）第１の対象室１ａと第２の対象室１
ｂについては、それらの室用途上、室圧ｐａ，ｐｂを各
々の目標室圧ｐｐａ，ｐｐｂに維持することの必要性・
重要性が第２対象室１ｂよりも第１対象室１ａの方が高
いことから、第１扉１２の開きに対し、第１対象室１ａ
を主対象室とし、かつ、第２対象室１ｂを副対象室とし
て扱う。

【００３６】そして、この主副関係の下で、第１扉１２
が開かれたとき（図２参照）、主対象室である第１対象
室１ａの目標室圧ｐｐａ（＝３０Ｐａ）は固定した状態
で、副対象室である第２対象室１ｂの目標室圧ｐｐｂ
（＝２０Ｐａ）を第１対象室１ａの目標室圧ｐｐａと等
しい値に変更（ｐｐｂ＝２０Ｐａ→３０Ｐａ）し、これ
ら第１対象室１ａの目標室圧ｐｐａと第２対象室１ｂの
目標室圧ｐｐｂとを一致させる。

【００３７】また、その後、第１扉１２が閉じられたと
き（同図２参照）、先の第１扉１２の開き時に変更した
副対象室である第２対象室１ｂの目標室圧ｐｐｂを元の
値に復帰（ｐｐｂ＝３０Ｐａ→２０Ｐａ）させる。

【００３８】（ロ）第２の対象室１ｂと第３の対象室１
ｃについては、それらの室用途上、室圧ｐｂ，ｐｃを各
々の目標室圧ｐｐｂ，ｐｐｃに維持することの必要性・
重要性が第２対象室１ｂよりも第３対象室１ｃの方が高
いことから、第２扉１３の開きに対し、第３対象室１ｃ
を主対象室とし、かつ、第２対象室１ｂを副対象室とし
て扱う。

【００３９】そして、この主副関係の下で、第２扉１３
が開かれたとき（図３参照）、主対象室である第３対象
室１ｃの目標室圧ｐｐｃ（＝０Ｐａ）は固定した状態
で、副対象室である第２対象室１ｂの目標室圧ｐｐｂ
（＝２０Ｐａ）を第３対象室１ｃの目標室圧ｐｐｃと等
しい値に変更（ｐｐｂ＝２０Ｐａ→０Ｐａ）し、これら
第２対象室１ｂの目標室圧ｐｐｂと第３対象室１ｃの目
標室圧ｐｐｃとを一致させる。

【００４０】また、その後、第２扉１３が閉じられたと
き（同図３参照）、先の第２扉１３の開き時に変更した
副対象室である第２対象室１ｂの目標室圧ｐｐｂを元の
値に復帰（ｐｐｂ＝０Ｐａ→２０Ｐａ）させる。

【００４１】つまり、上記（イ），（ロ）の如く扉１
２，１３の開き時に目標室圧の変更を実施して、扉１
２，１３の開きで連通状態となる二つの対象室の目標室
圧を一致させることにより、扉１２，１３が開き状態に
ある間に互いに異なる目標室圧を目指す開度調整のため
に室圧調整用ダンパＶａ，Ｖｂ，Ｖｃが開度調整限界や
それに近い状態にまで無意味に調整されてしまうといっ
たことを防止し、これにより、この無意味な開度調整に
原因する扉閉じ時の極端な室圧変化を防止するようにし
てある。

【００４２】〔第２実施形態〕この第２実施形態では、
上述の第１実施形態と同様の給排気構成において、室圧
保全手段としての目標室圧自動変更部１５は、前記の
（イ），（ロ）の如く目標室圧の自動変更を行うに代
え、各対象室１ａ〜１ｃの換気条件が次記の通りである
ことに対し、次の（ハ），（ニ）の如く目標室圧の自動
変更を行う構成とする。

【００４３】Ｄａ×ｎａ＞Ｄｃ×ｎｃ＞Ｄｂ×ｎｂ例えば、Ｄａ＝３００〔ｍ³〕，ｎａ＝２０〔回／時〕Ｄｂ＝５０〔ｍ³〕，ｎｂ＝１５〔回／時〕Ｄｃ＝１００〔ｍ³〕，ｎｃ＝１５〔回／時〕

【００４４】（ハ）第１の対象室１ａと第２の対象室１
ｂについては、第１扉１２が開かれた時の両室の室圧変
化傾向度の比Δｐａ：ΔＰｂが、近似的には両室の室容
積と換気回数との積の逆比Ｄｂ×ｎｂ：Ｄａ×ｎａで与
えられることから、この逆比（すなわち、室圧変化傾向
度の比）で両室の目標室圧ｐｐａ，ｐｐｂどうしの間を
内分する内分点に相当の下記中間値ｐｐｍを、目標室圧
変更における変更目標の設定中間値とする。ｐｐｍ＝Ｘ／Ｙここで、Ｘ＝Ｄａ×ｎａ×ｐｐａ＋Ｄｂ×ｎｂ×ｐｐｂＹ＝Ｄａ×ｎａ＋Ｄｂ×ｎｂ

【００４５】そして、この設定の下で、第１扉１２が開
かれたとき（図４参照）、第１対象室１ａと第２対象室
１ｂの目標室圧ｐｐａ（＝３０Ｐａ），ｐｐｂ（＝２０
Ｐａ）をともに、上記の設定中間値ｐｐｍ（＝２８．８
Ｐａ）に変更（ｐｐａ＝３０Ｐａ→２８．８Ｐａ，ｐｐ
ｂ＝２０Ｐａ→２８．８Ｐａ）して、これら第１対象室
１ａの目標室圧ｐｐａと第２対象室１ｂの目標室圧ｐｐ
ｂとを一致させる。

【００４６】また、その後、第１扉１２が閉じられたと
き（同図４参照）、先の第１扉１２の開き時に変更した
両対象室１ａ，１ｂの目標室圧ｐｐａ，ｐｐｂを元の値
に復帰（ｐｐａ＝２８．８Ｐａ→３０Ｐａ，ｐｐｂ＝２
８．８Ｐａ→２０Ｐａ）させる。

【００４７】（ニ）第２の対象室１ｂと第３の対象室１
ｃについては、第２扉１３が開かれた時の両室の室圧変
化傾向度の比Δｐｂ：Δｐｃが、上述と同様、近似的に
両室の室容積と換気回数との積の逆比Ｄｃ×ｎｃ：Ｄｂ
×ｎｂで与えられることから、この逆比（室圧変化傾向
度の比）で両室の目標室圧ｐｐｂ，ｐｐｃどうしの間を
内分する内分点に相当の下記中間値ｐｐｎを、目標室圧
変更における変更目標の設定中間値とする。ｐｐｎ＝Ｘ’／Ｙ’ ここで、Ｘ’＝Ｄｂ×ｎｂ×ｐｐｂ＋Ｄｃ×ｎｃ×ｐｐ
ｃＹ＝Ｄｂ×ｎｂ＋Ｄｃ×ｎｃ

【００４８】そして、この設定の下で、第２扉１３が開
かれたとき（図５参照）、第２対象室１ｂと第３対象室
１ｃの目標室圧ｐｐｂ（＝２０Ｐａ），ｐｐｃ（＝０Ｐ
ａ）をともに、上記の設定中間値ｐｐｎ（＝６．６Ｐ
ａ）に変更（ｐｐｂ＝２０Ｐａ→６．６Ｐａ，ｐｐｃ＝
０Ｐａ→６．６Ｐａ）して、これら第２対象室１ｂの目
標室圧ｐｐｂと第３対象室１ｃの目標室圧ｐｐｃとを一
致させる。

【００４９】また、その後、第２扉１３が閉じられたと
き（同図５参照）、先の第２扉１３の開き時に変更した
両対象室１ｂ，１ｃの目標室圧ｐｐｂ，ｐｐｃを元の値
に復帰（ｐｐｂ＝６．６Ｐａ→２０Ｐａ，ｐｐｃ＝６．
６Ｐａ→０Ｐａ）させる。

【００５０】つまり、上記（ハ），（ニ）の如く扉１
２，１３の開き時に目標室圧の変更を実施して、扉１
２，１３の開きで連通状態となる二つの対象室の目標室
圧を一致させることにより、前述の第１実施形態の場合
と同様、扉１２，１３が開き状態にある間に互いに異な
る目標室圧を目指す開度調整のために室圧調整用ダンパ
Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃが開度調整限界やそれに近い状態にま
で無意味に調整されてしまうといったことを防止し、こ
れにより、この無意味な開度調整に原因する扉閉じ時の
極端な室圧変化を防止する。

【００５１】〔第３実施形態〕この第３実施形態では、
第１扉１２や第２扉１３が一旦開かれた後、再び閉じら
れたときの極端な室圧変化を防止する室圧保全手段とし
て、前述の第１及び第２実施形態で示した如き目標室圧
自動変更部１５を設けるに代え、図６に示す如く、第１
対象室１ａのダンパ制御器９ａと第２対象室１ｂのダン
パ制御器９ｂとに対して第１のダンパ調整状態切換器１
６ａを装備し、また、第２対象室１ｂのダンパ制御器９
ｂと第３対象室１ｃのダンパ制御器９ｃとに対して第２
のダンパ調整状態切換器１６ｂを装備してある。

【００５２】これらダンパ調整状態切換器１６ａ，１６
ｂは、扉開閉検出器１４ａ，１４ｂによる各扉１２，１
３の開閉検出に基づき、扉開閉時に、対応対象室のうち
の一方の対象室の室圧調整用ダンパＶａ〜Ｖｃに対する
開度調整形態を切り換えるものであり、具体的には、第
１のダンパ調整状態切換器１６ａは次の（ホ）の如く開
度調整形態の切り換えを行い、また、第２のダンパ調整
状態切換器１６ｂは次の（ヘ）の如く開度調整形態の切
り換えを行う構成としてある。

【００５３】（ホ）第１の対象室１ａと第２の対象室１
ｂについては、それらの室用途上、室圧ｐａ，ｐｂを各
々の目標室圧ｐｐａ，ｐｐｂに維持することの必要性・
重要性が第２対象室１ｂよりも第１対象室１ａの方が高
いことから、第１扉１２の開きに対し、第１対象室１ａ
を主対象室とし、かつ、第２対象室１ｂを副対象室とし
て扱う。

【００５４】そして、この主副関係の下で、第１扉１２
が開かれたとき、主対象室である第１対象室１ａの室圧
調整用ダンパＶａについては、第１対象室１ａの検出室
圧ｐａに基づき第１対象室１ａの目標室圧ｐｐａを目指
して開度調整する独立調整状態を維持したままで、副対
象室である第２対象室１ｂの室圧調整用ダンパＶｂを、
第２対象室１ｂの検出室圧ｐｂに基づき第２対象室１ｂ
の目標室圧ｐｐｂを目指して開度調整するそれまでの独
立調整状態から、主対象室である第１対象室１ａの室圧
調整用ダンパＶａの開度調整に追従させて開度変化させ
る従動調整状態へ切り換える。（第１扉１２の開き時）Ｖａ：独立調整状態維持Ｖｂ：独立調整状態→従動調整状態

【００５５】また、その後、第１扉１２が閉じられたと
き、先の第１扉１２の開き時に従動調整状態へ切り換え
た第２対象室１ｂの室圧調整用ダンパＶｂを、従動調整
状態から、第２対象室１ｂの検出室圧ｐｂに基づき第２
対象室１ｂの目標室圧ｐｐｂを目指して開度調整する独
立調整状態へ復帰させる。（第１扉１２の閉じ時）Ｖａ：独立調整状態維持Ｖｂ：従動調整状態→独立調整状態

【００５６】（へ）第２の対象室１ｂと第３の対象室１
ｃについては、それらの室用途上、室圧ｐｂ，ｐｃを各
々の目標室圧ｐｐｂ，ｐｐｃに維持することの必要性・
重要性が第２対象室１ｂよりも第３対象室１ｃの方が高
いことから、第２扉１３の開きに対し、第３対象室１ｃ
を主対象室とし、かつ、第２対象室１ｂを副対象室とし
て扱う。

【００５７】そして、この主副関係の下で、第２扉１３
が開かれたとき、主対象室である第３対象室１ｃの室圧
調整用ダンパＶｃについては、第３対象室１ｃの検出室
圧ｐｃに基づき第３対象室１ｃの目標室圧ｐｐｃを目指
して開度調整する独立調整状態を維持したままで、副対
象室である第２対象室１ｂの室圧調整用ダンパＶｂを、
第２対象室１ｂの検出室圧ｐｂに基づき第２対象室１ｂ
の目標室圧ｐｐｂを目指して開度調整するそれまでの独
立調整状態から、主対象室である第３対象室１ｃの室圧
調整用ダンパＶｃの開度調整に追従させて開度変化させ
る従動調整状態へ切り換える。（第２扉１３の開き時）Ｖｃ：独立調整状態維持Ｖｂ：独立調整状態→従動調整状態

【００５８】また、その後、第２扉１３が閉じられたと
き、先の第２扉１３の開き時に従動調整状態へ切り換え
た第２対象室１ｂの室圧調整用ダンパＶｂを、従動調整
状態から、第２対象室１ｂの検出室圧ｐｂに基づき第２
対象室１ｂの目標室圧ｐｐｂを目指して開度調整する独
立調整状態へ復帰させる。（第２扉１３の閉じ時）Ｖｃ：独立調整状態維持Ｖｂ：従動調整状態→独立調整状態

【００５９】つまり、上記（ホ），（ヘ）の如く扉１
２，１３の開き時に、連通状態となる二つの対象室のう
ちの一方の室圧調整用ダンパＶｂを、他方の対象室の室
圧調整用ダンパＶａ，Ｖｂの開度調整に追従させて開度
変化させる従動調整状態に切り換えることにより、扉１
２，１３が開き状態にある間に互いに異なる目標室圧を
目指す開度調整のために室圧調整用ダンパＶａ，Ｖｂ，
Ｖｃが開度調整限界やそれに近い状態にまで無意味に調
整されてしまうといったことを防止し、これにより、こ
の無意味な開度調整に原因する扉閉じ時の極端な室圧変
化を防止する。

【００６０】なお、上記の従動調整状態において、一方
の室圧調整用ダンパＶｂを、他方の対象室の室圧調整用
ダンパＶａ，Ｖｃの開度調整に追従させて開度変化させ
る具体的追従方式ついては、従動調整状態に切り換えた
室圧調整用ダンパＶｂを、その切り換え時点の開度か
ら、独立調整状態維持側の室圧調整用ダンパＶａ，Ｖｃ
の開度変更に伴い、その変更率と同率に開度変化させる
方式、あるいはまた、従動調整状態に切り換えた室圧調
整用ダンパＶｂを、独立調整状態維持側の室圧調整用ダ
ンパＶａ，Ｖｃと同開度を維持するように開度変化させ
る方式などを一例として挙げることができる。

【００６１】〔別の実施形態〕次に発明の別の実施形態
を列記する。扉が開かれたとき、この扉の開きで連通状
態となる二つの対象室の目標室圧のうちの一方のみを変
更して、これら対象室の目標室圧を一致させる方式を採
る場合、前述の第１実施形態では、室圧を本来の目標室
圧に維持することの必要性・重要性が高い方の対象室を
目標室圧固定側とする例を示したが、両室に上記必要性
・重要性の差がない場合などでは、扉開閉時における室
圧調整用ダンパの開度調整量を極力少なくすることを目
的として、扉開き時の室圧変化傾向度が小さい方の対象
室を目標室圧固定側とするようにしてもよい。

【００６２】扉が開かれたとき、この扉の開きで連通状
態となる二つの対象室の目標室圧の両方を、これら目標
室圧どうしの間の設定中間値に変更して、これら対象室
の目標室圧を一致させる方式を採る場合、前述の第２実
施形態では、扉開き時の両室の室圧変化傾向度の比で、
両室の目標室圧どうしの間を内分する内分点に相当の中
間値を上記の設定中間値としたが、これに代え、この内
分点相当の中間値以外の中間値を上記の設定中間値とす
るようにしてもよい。

【００６３】また、扉が開かれたとき、この扉の開きで
連通状態となる二つの対象室の目標室圧の両方を変更し
て、これら対象室の目標室圧を一致させるにあたり、場
合によっては、両対象室の目標室圧どうしの間から外れ
た値で、両対象室の目標室圧を一致させるようにしても
よい。

【００６４】前述の第１及び第２実施形態では、扉が開
かれたときに目標室圧の変更を行う室圧保全手段として
の目標室圧自動変更部１５を、制御盤１０に組み込み装
備する形式を示したが、この目標室圧自動変更部１５
は、制御盤１０とは別の単体器で構成してもよい。

【００６５】また、前述の第３実施形態では、扉が開か
れたときに従動調整状態への切り換えを行う室圧保全手
段としてのダンパ調整状態切換器１６ａ，１６ｂを、制
御盤１０とは別の単体器で構成する形式を示したが、こ
れらダンパ調整状態切換器１６ａ，１６ｂは制御盤１０
に組み込み装備する形式としてもよい。

【００６６】扉が開かれたとき、この扉の開きで連通状
態となる二つの対象室のうち、一方の対象室の室圧調整
用ダンパを、独立調整状態から他方の対象室の室圧調整
用ダンパの開度調整に追従させて開度変化させる従動調
整状態に切り換える方式を採る場合、前述の第３実施形
態では、室圧を本来の目標室圧に維持することの必要性
・重要性が低い方の対象室の室圧調整用ダンパを、従動
調整状態に切り換える側のダンパとする例を示したが、
両室に上記必要性・重要性の差がない場合などでは、扉
開閉時における室圧調整用ダンパの開度調整量を極力少
なくすることを目的として、扉開き時の室圧変化傾向度
が大きい方の対象室の室圧調整用ダンパを、従動調整状
態に切り換える側のダンパとするようにしてもよい。

【００６７】前述の各実施形態では、各対象室の排気風
路に室圧調整用ダンパを介装する形式を示したが、本発
明は、室圧調整用ダンパを各対象室の給気風路に介装す
る形式や、室圧調整用ダンパを各対象室の給気風路と排
気風路の双方に介装する形式においても適用できる。

【００６８】扉の開閉を検出する開閉検出手段は、機械
式のリミットスイッチや、光学利用により扉開閉を検出
する方式、あるいは、磁気利用により開閉を検出する方
式など、種々の方式のものを採用できる。

【００６９】対象室はクリーンルームに限らず、どのよ
うな用途のものであってもよい。

【００７０】なお、前記の第１扉１２と第２扉１３とが
ともに開き状態となることがある場合には、先に開かれ
た扉に対応する２室につき本発明を適用して、これら２
室を実質的に１室として扱う前述の如き室圧制御を実施
し、その上で、後の扉の開きに対して、この実質的１室
扱いの２室と他の１室とについて、さらに本発明を適用
する形態で、結果的に、両扉１２，１３の開きに対し、
これら扉１２，１３の開きで連通状態となる三つの対象
室の目標室圧のうちの２つ、又は、全部を変更して、こ
れら三つの対象室の目標室圧を一致させる、又は、両扉
１２，１３の開きに対し、これら扉１２，１３の開きで
連通状態となる三つの対象室のうち、二つの対象室に対
する室圧調整用ダンパを、独立調整状態から、他の三つ
目の対象室に対する室圧調整用ダンパに追従させて開度
変化させる従動調整状態へ切り換えようにすればよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１及び第２実施形態を示すシステム構成図

【図２】第１実施形態における目標室圧の変更形態を示
す図

【図３】第１実施形態における目標室圧の変更形態を示
す図

【図４】第２実施形態における目標室圧の変更形態を示
す図

【図５】第２実施形態における目標室圧の変更形態を示
す図

【図６】第３実施形態を示すシステム構成図

【符号の説明】

１ａ，１ｂ対象室ｐａ，ｐｂ室圧４給気風路７排気風路Ｖａ，Ｖｂ室圧調整用ダンパｐｐａ，ｐｐｂ目標室圧９ａ，９ｂ室圧制御手段１２扉１４ａ開閉検出手段１５，１６ａ室圧保全手段ｐｐｍ設定中間値

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】各対象室の検出室圧に基づき、各対象室
に対する給気風路又は排気風路に介装の室圧調整用ダン
パを開度調整して、各対象室の室圧を各々の目標室圧に
調整する室圧制御手段を備える室圧制御システムであっ
て、前記対象室どうしの間の扉の開及び閉を検出する開閉検
出手段と、この開閉検出手段により前記扉の開が検出されたとき、
この扉の開きで連通状態となる二つの前記対象室の目標
室圧のうちの一方、又は、両方を変更して、これら二つ
の前記対象室の目標室圧を一致させ、かつ、前記開閉検出手段により前記扉の閉が検出された
とき、先の扉開き時に変更した目標室圧を変更前の元の
値に復帰させる室圧保全手段を設けた室圧制御システ
ム。
【請求項２】前記室圧保全手段は、前記扉の開が検出
されたとき、この扉の開きで連通状態となる二つの前記
対象室のうち、特定の一方の対象室の目標室圧は固定し
た状態で、他方の対象室の目標室圧のみを変更して、こ
れら二つの前記対象室の目標室圧を一致させる構成とし
てある請求項１記載の室圧制御システム。
【請求項３】前記室圧保全手段は、前記扉の開が検出
されたとき、この扉の開きで連通状態となる二つの前記
対象室の目標室圧をともに、これら目標室圧どうしの間
の設定中間値に変更して、これら二つの前記対象室の目
標室圧を一致させる構成としてある請求項１記載の室圧
制御システム。
【請求項４】前記扉の開きで連通状態となる二つの前
記対象室の扉開き時の室圧変化傾向度の比で、これら二
つの前記対象室の目標室圧どうしの間を内分する内分点
に相当の中間値を、前記の設定中間値としてある請求項
３記載の室圧制御システム。
【請求項５】各対象室の検出室圧に基づき、各対象室
に対する給気風路又は排気風路に介装の室圧調整用ダン
パを開度調整して、各対象室の室圧を各々の目標室圧に
調整する室圧制御手段を備える室圧制御システムであっ
て、前記対象室どうしの間の扉の開及び閉を検出する開閉検
出手段と、この開閉検出手段により前記扉の開が検出されたとき、
この扉の開きで連通状態となる二つの前記対象室のう
ち、一方の対象室に対する前記室圧調整用ダンパを、そ
の一方の対象室の検出室圧に基づき開度調整する独立調
整状態から、他方の対象室に対する前記室圧調整用ダン
パの検出室圧に基づく開度調整に追従させて開度変化さ
せる従動調整状態へ切り換え、かつ、前記開閉検出手段により前記の閉が検出されたと
き、先の扉開き時に従動調整状態へ切り換えた前記室圧
調整用ダンパを切り換え前の独立調整状態へ復帰させる
室圧保全手段を設けた室圧制御システム。