JPH1078552A - ビームアラインメント補正要素アセンブリ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 標的上の位置に対するビーム照射の不整合を
補正する。 【解決手段】 補正要素アセンブリは、ハウジングを有
し、その内部に補正要素を固定している。撓曲部材はハ
ウジングに取り付けられており、二以上の駆動装置が、
ハウジングの周囲に放射状に配置されている。各駆動装
置は、ハウジングに力を加えることにより撓曲部材を偏
向させ、ハウジングを動かして、補正要素が、そのビー
ム軸について循環的に動くようになっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子プレ印刷処理等に
用いるビーム走査システムに関するものであり、具体的
には、このようなビーム走査システムにおける走査画像
形成面の不整合の補正に用いる補正要素アセンブリに関
する。

【０００２】

【従来技術】最近の電子プレ印刷処理では、レーザー走
査システムを用いて、次段の再生のための画像の書込み
即ち記録、あるいは事前に記録された画像を所定の解像
度で走査する。このような走査システムは、各種のプレ
印刷用の媒体上の画像の書込み又は記録、あるいは事前
に記録された画像の走査を行う。ここで媒体とは、感光
性又は感熱性の紙又はポリマーフィルム、感光性又は感
熱性のコーティング材又は消去可能な画像形成材料を施
した画像記録面あるいは感光性又は感熱性の紙、ポリマ
ーフィルム又はアルミ基材の印刷刷版材料等であり、こ
れらは全て電子画像再生に用いられる。このような媒体
は、通常湾曲した（平面でも良い）記録面上に取り付
け、記録即ち走査ビームで走査する。このようなシステ
ムの主たる構成要素としては、記録面、一般的にはドラ
ムシリンダと、該ドラムシリンダ内に可動に配置される
走査機構とを具備する。また、このシステムは、走査機
構の制御及び事前に記録された画像の走査を行うプロセ
ッサ及びそれに付随する記憶装置と、光検出器と、検出
器の処理装置とを含む。プロセッサ及び関連記憶装置
は、該システムに内蔵されるものでも、あるいは適当な
相互接続によりシステムから分離して配置しても良い。

【０００３】プロセッサは、保存されたプログラムの命
令に従い走査機構を制御し、シリンダードラム自体は固
定された状態で、シリンダードラムの内周面を一以上の
光線で走査することにより、シリンダードラムの内壁に
取付けられたプレート等の媒体上への画像の書込み又は
画像の読込みを行う。

【０００４】走査従って記録は、シリンダーの内壁の一
部分のみに対して行われるが、これは通常、シリンダー
ドラムの内周の１２０°から３２０°の範囲である。一
般に、光線はシリンダーの中心軸に平行になるように照
射され、例えば回転鏡、ホロゴン、ペンタプリズム偏向
器等により偏向され、一走査線又は記録面上に同時に入
射する複数の走査線を形成する。偏向器は、モーターの
働きにより、シリンダードラムの中心軸と実質的に一致
する回転軸についてスピン即ち回転する。記録速度を高
めるために、ビーム偏向装置の回転速度を増加すること
が可能である。記録速度を更に高めるために、マルチビ
ーム走査が以前から提案されている。

【０００５】このようなマルチビーム走査の一提案とし
て、例えば米国特許第５,２１４,５２８号において考察
される様に、回転ドーブプリズムを一つの光源と共に用
いるものがある。ドーブプリズムを用いると、レーザー
ダイオードアレイ等のマルチビーム源が有効に利用で
き、同時にマルチビーム補正要素及び関連器材が不要と
なる。加えて、ここで特記する必要のない理由により、
ドーブプリズムを用いるマルチビームシステムの走査速
度は、提案された他のタイプのマルチビームシステムの
走査速度より高めることが可能である。

【０００６】図１８に示すように、ドーブプリズム１１
６は、レーザー光源アレイ１１０と回転鏡１３０の間の
光路に配置される。プリズム１１６は、シリンダードラ
ム１４０の長手方向の軸に一致した軸（又は一致する光
軸）について、回転鏡１３０の半分の速度で回転し、ド
ラム１４０の画像形成面１３５を走査する。図１９の黒
丸で示された光線が示すように、ドーブプリズム１１６
が回転すると、プリズムを通過する全ての光線は２倍の
軸回転を生じ、プリズムから出射する複数のビームは、
回転鏡１３０の回転と同期して回転する。従って、複数
の光線が回転ドーブプリズムを通過することにより、回
転鏡により形成される複数の走査線が交差することを防
止できる。

【０００７】利用する走査要素の形態は言うまでもな
く、光線が所望の位置に可能な限り近くで偏向器に接
し、適切な走査線が記録面上に確実に形成され、所望の
画像が適正に記録されるようにすることが最重要であ
る。さらに、マルチビームシステムの場合は、同時に走
査されたビーム間の所望の間隔又はオーバーラップ関係
を相互に維持し、また、連続する走査線間の走査線湾曲
の差を低減又は排除することも重要となる。

【０００８】更に、光線を回転ドーブプリズムによって
回転させる場合、ビームの回転故にプリズムの回転を、
回転する偏向器の角度位置に同期させる必要があるが、
これは、記録面を適正に走査し、それにより所望の画像
を適正に記録するためである。２つのモーター、即ちプ
リズムモーターと偏向器モーターの位相固定がわずかに
変化しても、バンディング群を形成してしまう（とりわ
け、一般に用いられているレーザーアレイの幾何的配置
においては）。

【０００９】回転ドーブプリズムモーターの動揺等の異
常により、ドーブプリズムの不整合が生じ、偏向器の走
査パスの２回毎に重大なバンディング現象が繰返し引き
起こされる可能性がある。もし、提案されたようなドー
ブプリズム式のマルチビームシステムにこのような不整
合がある場合、高品質の画像を得るには、システムは回
転鏡の一回転おきにのみ記録するという制約を受けるこ
とになる。従って、４ビームシステムでは、単一ビーム
システムの２倍速しか得られず、８ビームシステムでは
４倍速といった具合になってしまう。

【００１０】ドーブプリズムの動揺によるシステムバン
ディングへの影響は、回転鏡におけるビーム径に対する
プリズムにおけるビーム径の比率で低減することが可能
である。例えば、プリズムのビーム径を１mm以下とする
場合、少なくとも２０倍から３０倍の低減が可能であ
る。故に、比率を上げることにより、プリズムの動揺が
システムバンディングに与える影響をかなり減らすこと
ができる。走査線湾曲の角度調整感度も、同様の比率で
改善される。また、プリズムにおけるビーム径を小さく
することにより、必要なプリズム及びプリズムモーター
を小型にすることができる。

【００１１】故に、ドーブプリズムの不整合により生じ
るバンディング及びツイン現象によって、マルチビーム
を用いるドーブプリズム式の走査システムの利点は大き
く損われてしまう。

【００１２】米国特許第５,０９７,３５１号では、マル
チビームシステムを提案しているが、これはドーブプリ
ズムの代りに可動反射鏡を制御し、２つのレーザービー
ムの各々が異なる光路を辿るようにするもので、この光
路には、独立した集光レンズ及びコリメートレンズと音
響光変調器（ＡＯＭ）が設置される。制御反射鏡は、一
方の光路にのみ配置され、一つのビームを回転偏向器の
回転に同期して回転するよう駆動する。記録処理の際に
エラーが検出されると、偏向器を駆動して位置合わせ角
度を調整し、エラー補正を行う。しかし、これではシス
テムが複雑になり、実用化は不可能ではないにせよ困難
をきたす。

【００１３】上記で参照した関連出願では、全ての書込
ビームが回転ドーブプリズムを通過するようなマルチビ
ームシステムについて記述している。この出願で記述さ
れたように、例えばドーブプリズムの回転軸についての
動揺により生じる不整合は、補正レンズアセンブリを用
いて補正される。記録処理の際、補正レンズアセンブリ
は例えば循環的に動き、検出された不整合エラーを補正
するよう制御される。

【００１４】このような不整合を補正するためには、補
正レンズアセンブリが上記で参照した関連出願において
詳細に記述した（ここでも参照として用いた）方法で可
動である必要がある。書込み処理の際、レンズを動的に
即ち連続的に移動させる必要が生じる可能性もあるた
め、振動がシステムの他の構成要素又は構造体に伝搬す
る可能性がある。更に、ビームの不整合を補正する補正
レンズの実際の動きを符号化し、及び又は不整合の補正
を確実に行うため書込み処理の際のレンズの動きを監視
することも有効である。

【００１５】

【発明が解決しようする課題】従って、マルチビーム走
査システムにおける不整合の補正を行う補正レンズアセ
ンブリの必要性がある。このようなアセンブリは、書込
み処理の際に循環的に駆動可能であると都合がよい。ま
た、マイクロインチオーダーでの現象及び秒以下の角度
誤差を回避するためには高度な精度が要求されるため、
アセンブリ内におけるレンズの動きによって生じる振動
が他のシステム構成要素及び構造体から絶縁可能である
ことも好都合であろう。さらに、ビームの不整合を補正
するレンズの動きを符号化及び監視することが容易であ
ることも有効であろう。

【００１６】本技術に習熟した者にとって、本発明の更
なる目的、利点、新規特徴については、本開示における
以下の詳細記述及び本発明の実施例により明らかとなろ
う。以下では、電子プレ印刷への応用における好適な実
施例に言及して本発明を記述しているが、本発明がこれ
に限定されるものではないことを理解する必要がある。
本技術における一般的な技能を有して、ここに教示され
る内容に関与する者にとっては、更なる応用、修正、及
び他の分野における態様も、本出願において開示及び請
求される本発明の範囲内であり、それに関して本発明が
大きな有用性を持ちうることが認識されるであろう。

【００１７】

【課題を解決するための手段及び作用】本発明の第一の
実施例により、標的上の位置に対する照射ビームの不整
合を補正する補正要素アセンブリが提供される。このア
センブリは、ハウジング内に固定され、ハウジングと共
に動く補正要素を有するハウジングを含む。ハウジング
は、該ハウジングの周囲を取り囲む撓曲部材（ウレタン
で形成することが望ましい）より支持される。

【００１８】少なくとも、２つの駆動装置がハウジング
の周囲に放射状に配置されるが、照射ビームの全ての不
整合を補正するようハウジングの動きを駆動する力を生
成するためには、この間隔が９０゜毎であることが望ま
しい。具体的には、駆動装置を操作してハウジングに力
を加えて撓曲部材を偏向させると、ハウジングが動い
て、ハウジングが補正要素と共に静止状態にある際、補
正要素がビーム軸について循環的に動く。補正要素のこ
のような動きを駆動するため、各駆動軸、即ちその線に
沿って各駆動装置により生成された力が点荷重として与
えられる線は、ハウジングの長軸に対して実質的に垂直
かつ、これと交差し、好ましくはその長軸が、補正要素
が静止状態にある場合、補正要素のビーム軸と実質的に
一致する。すなわち、実際においては、ハウジングの長
軸は光学軸即ちビーム軸に一致するよう形成され、各々
の駆動装置は、駆動軸がハウジングの長軸に垂直かつ、
これに交差するよう配置される。

【００１９】本発明のその他の特徴によると、ハウジン
グは、各駆動装置の駆動軸と位置合わせされた位置にお
いて撓曲部材から突出した伸長部を有して形成しても良
い。ハウジングの各伸長部の先端は、付随する駆動装置
に接近しているが離間しれて位置する。

【００２０】駆動装置は、例えば、ハウジングの伸長部
又はハウジングに取り付けた磁石と相互作用する電磁力
を生成する一以上のコイルを含んでも良い。電磁力がハ
ウジング本体に作用する場合は、ハウジングは、このよ
うな力に作用するフェライト等の物質を用いて形成す
る。

【００２１】本発明の補正要素アセンブリは、例えば電
子プレ印刷処理に用いられるような湾曲面を走査するビ
ーム走査システムでの利用に最適である。通常、このよ
うなシステムでは、回転偏向器を用いて、一又は複数の
書込み即ち記録ビームを湾曲した画像形成面上へと偏向
させる。上記で参照した関連出願において開示されるよ
うに、マルチビーム走査システムにおいても、回転偏向
器の上流の回転要素を有効に利用して、湾曲した画像形
成面上での走査線の交差を防止している。しかし、例え
ば、上流の回転要素の回転軸についての動揺により生じ
た回転偏向器に対するビームの不整合により、走査の品
質が低下してしまう。このような場合、不整合のビーム
は、上流の回転要素の構造及び動揺により決定されるパ
ターンで動く。このエラーを補正するため、補正要素ア
センブリを不整合のビーム及び上流の回転要素と同期し
て動くよう駆動し、不整合を補正することが可能であ
る。補正要素は、回転要素の上流又は下流のいづれに配
置しても良い。

【００２２】本発明の第二の実施例によると、４つの駆
動装置は、補正要素のハウジングの周囲に９０゜の角度
をなして放射状に配置される。駆動装置は、力を同時に
あるいは順次与えるよう構成することが可能である。特
定の実施においては、対向する駆動装置を一対にして逆
極性として動作するようにして、一方の装置がハウジン
グを反発すると同時に他方の装置がハウジングを引きつ
けることが有効である。これにより、こうした方法を用
いない場合よりもハウジングに作用する力を二倍にし、
駆動力における非線形性も補正できる。

【００２３】本発明の更なる実施例によると、ハウジン
グの動きは、レチクルを用いて符号化及び監視すること
が可能である。具体的には、レチクルは、ハウジング及
びハウジングの動きに対して静止状態にあるアセンブリ
の他の部分に各々取り付ける。ＬＥＤ又はレーザー等の
照射光源及びＣＣＤ又は光検出装置等の検出装置も、ハ
ウジングの動きに対して静止状態にあるアセンブリの一
部分に取り付ける。

【００２４】光源は、レチクルを通過する光路上の参照
照射ビームを照射する。検出装置は、レチクルの下流に
おける参照ビームからの光を検知するよう配置される。
検出装置は、ハウジングの動きを示す入射入光に対応し
た信号を生成する。

【００２５】特定の実施においては、実際に書込み処理
を行う前に、書込ビームの不整合を検出すると好都合で
ある。このような場合、補正要素アセンブリをこの書込
前の時間に作動させ不整合を補正することが可能であ
り、この間に検出装置から発せられた信号により、不整
合エラーを補正するため必要なハウジングの動きの符号
化に用いることが可能である。この符号化信号は記憶さ
れ、書き込み処理の際再び呼び出されハウジングの動き
を制御し、これにより書き込み処理の際の不整合エラー
を補正する。代替としては又はこれに加えて、書込み処
理の際に、参照照射光源及び検出装置を用いてハウジン
グの動きを監視することにより、ハウジングが正しくに
動かされ、書込前の時間に検出された書込ビームの不整
合が補正されたことを確認することが可能となる。

【００２６】本発明の第四具体例によれば、ハウジング
を所望の方法で動かすために必要な力が湾曲圧電素子に
より与えられる。本発明における特定の具体例において
は、Ｌ型部材等の二つの直交部を有する部材が使用され
る。該部材の一方の部分及びハウジングに一つの圧電素
子が取り付けられ、これによりハウジングを第一の方向
に動かす。もう一つの圧電素子は該部材の他方の部分及
びベースに取り付けられ、第一の方向に垂直な第二の方
向にハウジングを駆動する。例えば、Ｌ型部材の場合、
一方の圧電素子がＬ型の鉛直部の内面及びハウジングに
取り付けられる。この圧電素子はハウジングを水平方向
に駆動する。他方の圧電素子はＬ型の水平部の外面及び
ベースに取り付けられ、ハウジングの鉛直移動を駆動す
る。これらの圧電素子を同時に作動させることにより、
ハウジングのあらゆる方向への移動を可能にする。

【００２７】本発明の更なる具体例にれば、駆動力によ
り必然的に生じる反作用力、即ち、駆動力と同じ大きさ
で反対方向の力、及びハウジングの移動により生じる振
動の伝達を追従部材及び／又はバランス質量を用いるこ
のにより、解消しないまでも、減衰することが可能であ
る。追従部材は減衰材料であれば、如何なるものから構
成されてもよく、また、バネ配置を含んでも良いが、本
実施においては、適度な減衰特性を有するブロックの利
用が望ましい。例えば、各駆動装置と、ベースである支
持構造体の間に追従部材を配置し、駆動力に抗して生じ
る反作用力を吸収するこが可能となる。

【００２８】各駆動装置を支持する４つの追従部材の使
用はハウジングの移動の際に駆動装置に対し生ずるねじ
れ等の不都合な現象を避けるために特に好都合である。
しかし、４つ未満の支持部でも好結果を得ることも可能
であり、この場合ハウジングが静止状態時に硬直し、ハ
ウジングの移動時に、追従的、即ち軟らかくなるよう
に、機械的若しくは電気機械的に調整される追従部材を
用いる必要がある。

【００２９】追従部材は各駆動装置とハウジングの間に
配置してもよい。これらの追従部材はハウジングの可撓
性支持の役割を果たし、また、ハウジングの動きにより
生じ、アセンブリの他の部分また他のシステム部材、構
造体へ伝達されてしまっていた振動力を吸収し絶縁す
る。

【００３０】ハウジングと駆動装置の間に追従部材を配
置するより、ハウジングを駆動装置から独立してベース
としてのアセンブリ構造体に直接取りつけるほうが、好
ましい。この場合、追従部材はハウジングとアセンブリ
構造体の間に配置し、ハウジング支持、かつ撓曲部材及
び振動絶縁体としての役割を果たす。特定の実施におい
て、駆動装置をハウジングの動きに対して静止するよう
保つことが、特に好ましい場合がある。これはアセンブ
リ構造体で駆動装置を固定支持することにより可能とな
る。本発明の一実施例では、各駆動装置が対向コイルを
具備する。即ち、各駆動装置コイルが作動し、駆動力を
ハウジングの方向に、平衡力をその反対方向に同時に与
える。この駆動力が補正要素ハウジングの動きを駆動
し、平衡力はアセンブリ構造体から追従部材で支持され
るバランス質量により相殺される。従って、バランス質
量は平衡力の少なくとも一部を相殺し、追従部材が均衡
力の残りを吸収する。バランス質量は２又は４つの追従
部材により支持するのがよい。

【００３１】このような配置において、ハウジングはア
センブリ構造体から追従部材により独立して支持するの
が好ましい。ハウジング及びバランス質量は電磁気力に
作用するフェライト等で構成し得るが、各コイルによる
起動力と相互作用するように磁石をハウジング及びバラ
ンス質量に、それぞれの駆動装置に平行に位置合わせし
て取り付けるほうが更に好都合である。コイル−コイル
配置とすることも勿論可能である。

【００３２】

【実施例】図１−１５は、本発明による種々の補正レン
ズアセンブリを示す図である。

【００３３】まず図１Ａにおいて、２つのコイルを有す
るレンズ補正アセンブリの斜視図が示されている。レン
ズ８８０はハウジング８１０に内蔵されており、ハウジ
ング８１０の長軸はシリンダードラムの長軸と実質的に
一致している。コイル８２０ａ及び８２０ｂは互いに９
０゜の角度をもって位置している。

【００３４】図１Ｂは、ハウジング８１０の中心を通る
縦断面図である。図１Ｂに示されるようにハウジング８
１０は、その周囲を取り囲む撓曲部材８５０によって固
定支持体またはベース８４０に懸垂されている。撓曲部
材はウレタンで作るのが有利である。必要に応じて、撓
曲部材８５０の形状及び材質を変更することが可能であ
る。その際、変更された撓曲部材がレンズハウジング８
１０を懸垂するにあたり、ハウジングが静止状態時、該
ハウジングが補正レンズの光軸について半径方向に最小
の力で可動である必要がある。

【００３５】さて、図１Ｃによれば、各コイル８２０ａ
及び８２０ｂはそれぞれ固定ハウジング８６０ａ及び８
６０ｂに支えられている。図に示されるように、ハウジ
ング８１０は、各コイルの位置において撓曲部材８５０
より突き出ている。ハウジング８１０は、コイル８２０
ａ及び８２０ｂがそれぞれ生ずる電磁力に作用する物質
であれば、どのような材質のものででも作ることができ
る。

【００３６】レンズ８８０の動きを刻むパターンの振動
数、振幅及び波形は、各コイルへの入力信号として、レ
ンズ補正アセンブリコントローラー（図示せず）から発
せられた信号の波形により制御される。従って、レンズ
を駆動することにより、レンズを正しく位置決めし、レ
ンズを通過するビームを偏向し、これによりビームのい
かなる不整合をも打ち消すことが可能となる。レンズ８
８０は、その光軸がドーブプリズム等の上流の回転要素
の不整合のパターンに対応するパターンをなぞるように
動くが、位相がそれとは１８０゜異なっており、また、
例えば回転する回転鏡偏向器の回転軸に対してビームを
正しく位置合わせするのに十分な振幅を有する。

【００３７】図示されているレンズ補正アセンブリにお
いては、ハウジングの重さが０．５オンス未満、レンズ
の重さが０．１５オンス未満、そしてコイルハウジング
を含む２つのコイルの重さが０７５オンス未満となって
いる。したがって、アセンブリ全体は非常に軽い。

【００３８】図２は、別のレンズ補正アセンブリの配置
の図である。図に示されているように、４つの磁気円板
または磁気正方板９７０ａ−ｄが、レンズ９８０のハウ
ジング９１０に取りつけられている。４つの円板または
正方板９７０ａ−ｄは、ハウジング９１０の周囲に９０
゜の角度をなして配されている。ハウジング９１０の外
面は４面の平面から成るように図示されているが、必要
に応じてハウジングの外面はどのような形でもよい。ハ
ウジング９１０は、図１ＡーＣに関して上記したものと
同様にウレタン等の物質でできた撓曲部材９５０により
懸垂されている。コイル９２０ａ−ｄはそれぞれフェラ
イトで作られた円筒形のハウジング９７０ａーｄに別個
に内蔵されており、フェライト製の円板または正方板９
７０ａ−ｄに対向配置されている。コイルハウジング９
６０ａ−ｄは、レンズハウジング９１０の動きに対して
静止した状態にあるように取りつけられている。

【００３９】相対するコイル９２０ａ、９２０ｃ及びコ
イル９２０ｂ、９２０ｄは２組のコイル対としてそれぞ
れ、コイル対の一方のコイルが隣接しているフェライト
製の円板または正方板を引き寄せる力を生ずるように駆
動されると、その対の他方のコイルは隣接するフェライ
トのディスクを反発させる電磁力を生ずるように駆動さ
れ、逆もまた同様であるように操作される。したがっ
て、レンズ補正アセンブリコントローラーは、レンズの
光軸を動かしてビームに生じた不整合を補正するため
に、４つのコイル９２０ａ−ｄに同時に信号を発するこ
とになる。或いは、必要に応じて、レンズ９８０を所望
されるように動かすのに、それぞれ対をなすコイルを同
時にではなく順次駆動させることも可能である。

【００４０】図３は、さらなるレンズ補正アセンブリを
示す。図３には、４つのコイル１０２０ａ−ｄがレンズ
１０８０の周囲にそれぞれ隣接するコイルと９０゜の角
度をなして配置されているのが示されている。レンズ１
０８０はハウジング１０１０内に支持されている。ハウ
ジングにはエクステンション１０１０Ａを具備し、検出
された不整合を補正するための補正レンズ１０８０の適
切な動きを符号化するのに利用されるレチクルを支持し
ている。ハウジング１０１０はさらにコイル１０２０ａ
−ｄに隣接して配置されている磁石１０７０ａ−ｄを支
持している。各コイルとそれに隣接する磁石の間には間
隙があり、レンズが動いている間、互いに接触しないよ
うになっている。対向するコイルはコイル対となるよう
に配線されており、図２で記述した方法と同様にレンズ
ハウジング１０１０を動かすのに利用できる力を２倍に
するために反対の極性で作動するように制御される。

【００４１】図４に示されるように、レチクル１０９０
ａ及び１０９０ｂの対が互いに相関して動くように設け
られる。レチクル１０９０ａは固定ハウジングに取りつ
けられており、他方レチクル１０９０ｂはレンズハウジ
ング１０１０、故にレンズ１０８０と共に動くように取
りつけられている。光源１０９２及び直角位相検出器１
０９４もアセンブリに含まれ、固定ハウジングに取りつ
けられている。レチクル１０９０ａ及び１０９０ｂはそ
れぞれ図５及び図６に詳しく記されているが、斜線で示
されているのは不透明領域である。

【００４２】レチクル１０９０ａと１０９０ｂ及び直角
位相検出器１０９４はコイル対の軸に対して位置調整さ
れている。検出器は本技術において周知の如く、２種の
信号を出力してレンズハウジング１０１０の動きを特定
する。上述したように、これらの信号を処理することに
より、ハウジング１０１０の動きを符号化し、ビームの
いかなる不整合をも補正することが可能である。書込み
処理の間、直角位相検出器１０９４を利用し、ハウジン
グ１０１０の動きを追跡し、書込みビームが適切に調整
されているのを確認してもよい。

【００４３】図７は、レンズハウジングを動かすための
更なる別のアセンブリ配置を示す。図７に示されている
配置では、レンズハウジング１１１０を支持し懸垂する
ための撓曲部材は必要とされない。図からわかるよう
に、レンズ１１８０はハウジング１１１０内に支持され
ている。ハウジング１１１０は、圧電素子１１２０ａを
介してＬ型部材１１５０に支持されており、圧電素子１
１２０ａは、その両端で支持部材１１５０に固定されて
いる。第二の圧電素子１１２０ｂは、その両端で固定ベ
ース表面１１３０に固定されている。したがって、圧電
素子はレンズ補正アセンブリコントローラー（図示せ
ず）により上述のように駆動され、レンズハウジング１
１１０を動かし、検出されたビームの不整合を補正する
ようにレンズを移動する。

【００４４】図７に示されるように、レンズハウジング
１１１０は、ハウジング１１１０及びレンズ１１８０の
水平、すなわちＸ方向の動きを駆動するように位置決め
た圧電素子１１２０の一部に取りつけられている。支持
部材１１５０は、圧電素子１１２０ｂの一部に取りつけ
られている。よって、圧電素子１１２０ｂを駆動し、支
持部材１１５０をレンズハウジング１１１０及びレンズ
１１８０に沿って垂直に、すなわちＹ方向に動かすこと
ができる。可動レチクル１０９０ａ’はレンズハウジン
グ１１１０に接続しており、固定レチクル１０９０ｂ’
は固定ベース面に接続されている。レチクル１０９０
ａ’及び１０９０ｂ’は、図３−６において前述したレ
チクル１０９０ａ及び１０９０ｂと実質的に同様である
ので、ここでは不必要に繰り返して述べないことにす
る。

【００４５】以上述べてきたレンズ補正アセンブリで
は、補正レンズの動きが、他の種々の走査システム部品
及び／またはシステム構造体に振動を誘発することがあ
る。ビーム走査周波数とコヒレントかつ位相同期してい
る振動はそれらの部品や構造体に問題となるようからな
振動を生ずることはないが、周波数が走査周波の半分の
振動は、例えば書込みがおこなわれるシリンダードラム
に取りつけられた画像形成媒体などにツイン現象を起す
ことがある。このような振動はまた、支持構造体に非干
渉性の自然周波を励起しバン、デイング現象を引き起こ
すこともある。ゆえに、走査システムの他の部品を支持
する構造を用いるよりもバランス質量及び／または緩衝
装置を利用し、レンズを動かすのに必要な力とバランス
をとるほうが有効であろう。このようにすると、レンズ
補正アセンブリの重心はレンズが移動する際も不変とな
り、システム構造体及び／または他のシステム部品を偏
向させたり振動させたりする静的あるいは動的力を生じ
ることはない。

【００４６】図８−９乃至図１６−１７までの図は種々
のレンズ補正アセンブリ示す。これらは、ビームの不整
合を補正する際、レンズを動かすために必要な力を支持
構造体に対してではなく反衝重りか緩衝要素に向けるこ
とによってシステム構造体に生ずる振動を減衰させる。
ゆえに反衝重り及び緩衝装置は力及び振動のレデューサ
として作用する。用いる配置及び材料を適宜選択する
と、システム構造に作用する力のベクトル和は０になら
ないまでも０にきわめて近くなる。

【００４７】まず図８及び９において、レンズ１２８０
がハウジング１２１０に内蔵されている。４つのコイル
１２２０ａ−ｄがそれぞれ隣り合うコイルと９０゜の角
度をなしてレンズハウジング１２１０の周囲に配置され
ている。コイル１２２０ａ−ｄはモーター／ソレノイド
コイルである。４つのモーター／ソレノイド磁石１２２
２ａ−ｄが、それぞれモーター／ソレノイドコイルに近
接してハウジング１２１０に固定されている。各コイル
１２２０ａ−ｄはシステム支持構造体１２９５に追従部
材１２１５ａ−ｄ及び１２１７ａ−ｄのを介して支持さ
れている。追従部材１２１５ａ−ｄ及び1217 ａ−ｄは
レンズの動きによって生ずる力を吸収する。よって、そ
れに相当する力が支持構造体１２９５に生ずることはな
く、その構造体における振動も除去されないまでも減衰
される。追従部材１２１５ａ−ｄ及び１２１７ａ−ｄは
軟性バネとして作動する。図８−９に示されたアセンブ
リはそれほど複雑な構造はしていないが、レンズ１２８
０の動きを駆動するかしないかによって、追従部材をよ
り軟らかくしたり固くしたり選択できるようにしない
と、レンズ１２８０の中心を定位に合わせておくのは困
難であろう。すなわち、ハウジングおよびレンズが静止
状態にある場合のようにレンズの中心を定位に合わせる
のが望ましい場合は、追従部材１２１５ａ−ｄ及び１２
１７ａ−ｄは堅く、レンズが動くように駆動されている
ときのみ軟らかい方がよい。そのために追従部材は機械
的もしくは電気機械的に調整する必要がある。

【００４８】図１０及び１１は、図８及び９に示された
配置において中心を定位に合わせる際の潜在的問題を避
けるためのレンズ補正アセンブリの配置を示す。図１０
に示されるように、レンズ１３８０はハウジング１３１
０内に支持されている。４つのコイル１３２０ａ−ｄは
レンズハウジング１３１０の周囲にそれぞれ隣接するコ
イルと９０゜の角度をなして配置されている。４つの磁
石１３２２ａ−ｄは、それぞれコイル１３２０ａ−ｄの
各々に近接して配置され、ハウジング１３１０に取りつ
けられている。追従部材１３１５ａ−ｄ及び１３１７ａ
−ｄはアセンブリ支持構造体１３９５に取りつけられて
いる。

【００４９】コイル支持部材１３２１ａ−ｄは、支持構
造体１３９５及びそれに支持されているすべての要素か
ら間隙をもって隔離されている。よって、レンズの作動
機構は、追従部材１３１５ａ−ｄ及び１３１７ａ−ｄを
介して支持構造体１３９５に連接する。これら追従部材
は支持構造体１３９５に相当の力をもたらすが、バネ定
数及び／またはアセンブリ部品の重りを適切に選択する
ことにより、支持構造体１３９５に加わる力のベクトル
和を実質上減衰させるか除去することが可能である。

【００５０】例えば、重り及び緩衝装置システムの機械
的な共振周波数が、コイル支持サブアセンブリ等の各反
衝要素の機械的共振周波数と等しければ、理論上、レン
ズの動きのすべての周波数に対して合力０ということも
可能である。特に、重りに対するバネ定数比が等しけれ
ば、支持構造体に生ずる力は理論上０となる。このこと
はコイル対がレンズを同時に押したり引いたりする場合
も、各コイル対の１方のコイルのみがレンズハウジング
１３１０を押すか引くかするように所定の時間駆動され
る場合も、成り立つ。熟練者には周知であろうが、レン
ズの動きの周波数が機械的共振周波数に近くなると、ア
センブリの機械的減衰”Ｑファクター”もまた振動の減
衰を最大にするように合わせる必要がある。高周波で
は、空気摩擦等による摩擦カップリング現象及び可動部
品と支持構造体１３９５の間の空気を伝わる音波カップ
リングが振動絶縁をさらに強化するのにまた好都合であ
ると考えられる。

【００５１】ここで図１２及び１３において、図１０−
１１に示されたものに類似する配置が示されている。図
からわかるように、図１２、１３と図１０、１１では主
に追従部材１４１５ａ−ｄ及び１４１７ａ−ｄに支持さ
れたコイル支持体１４２１ａ−ｄの形が異なる。図１
２、１３に示されているアセンブリは図１０、１１で上
述したものと同様に作動する。しかしながら、追従部材
１４１５ａ−ｄ及び１４１７ａ−ｄが各コイル支持部材
１４２１ａ−ｄを多面的に支持するので、コイル１３２
０ａ−ｄ及び支持部材１４２１ａ−ｄを含むバランス質
量に作用するねじれ力に対してより有効な強さが得ら
れ，これにより、コイルに磁石の中心合わせ誤差を減少
させる。部品の多くに同じ重り及び同じバネ定数のもの
を用いると、図１２、１３に示されている構成は、図１
０、１１のものに比べてダンピングとカップリングの釣
り合いを単純化できる。

【００５２】図１４、１５は、更なるレンズ補正アセン
ブリを示す。この構成は図８−１３に示されたものより
は若干複雑であるが、力の釣り合いを電気的に制御する
ための複数のモーター／ソレノイドコイル及び磁石の使
用を可能にしている。ゆえに、図１４、１５の構成で
は、既に述べた構成に比べて振動絶縁が強化される。振
動感知フィードバックを付加すると、いかなる振動をも
実質的に確実に除去できるということがわかるであろ
う。

【００５３】図１４及び１５に示されるようにコイル支
持体１５２１ａ−ｄは、支持構造体１５９５に据えつけ
られる。バランス質量１５９７ａ−ｄは追従部材１４１
５ａ−ｄを介して支持構造体１５９５に支持されてい
る。図に示されるように各コイル支持部材１５２１ａ−
ｄは複数のコイル１５２０ａ−ｄ及び１５２０’ａ−ｄ
を支持している。また、バランス質量はコイル１５２
０’ａ−ｄとそれぞれ相互作用する合うモーター／ソレ
ノイド磁石１５２２’ａ−ｄをさらに支持する。コイル
１５２０’ａ−ｄをレンズハウジング１５１０側のコイ
ル１５２０ａ−ｄからの駆動力に応じて駆動し、それに
より反対向きの同じ大きさの力をバランス質量に加えて
力を相殺し、支持構造体に振動が生じる可能性を除去す
ることが可能である。

【００５４】図１６、１７は、また別のレンズ補正アセ
ンブリの構成図である。この構成は図１４、１５に示し
たものと類似しており、同等な要素が同一の符号で示
す。図１６、１７に示すように、各バランス質量は、そ
れを多面的に支持する４つの追従部材１４１５ａ−ｄ及
び１４１７ａ−ｄを介して支持構造体１５９５’に支持
されている。図１２及び１３に関して前述したように、
このような支持配置をとることにより、バランス質量に
作用するねじれの力に対する剛性をもたらし、バランス
質量の中心合わせ誤差を軽減する。

【００５５】また、好適な実施例によって本発明を上述
したが、本発明がこれらに限定されるものではないこと
は、本技術分野に習熟した者は理解するであろう。上述
した発明のさまざまな特徴及び要旨は、単独でまたは組
み合わせて用いることが可能である。さらに、特定の条
件における特定の応用、例えば電子プレ印刷への応用へ
の実施に関連して本発明を記述したが、本発明の利便性
はこれらに限定されるものではなく、いかなる条件及び
実施においても、本発明を有益に活用できることは、本
技術に習熟した者は認識するであろう。したがって、以
下の請求項は、ここに開示された発明の十分な活用及び
精神という見地から解釈されるべきである。

【００５６】本発明は、以下の特徴を有する。

【００５７】１． 標的上の位置に対する照射ビームの
不整合を補正するための補正要素アセンブリにおいてハ
ウジング内部に固定され、ハウジングと共に動く補正要
素を有するハウジングと、前記ハウジングに取りつけら
れた撓曲部材と、ハウジングの周囲に放射状に配置され
た少なくとも二以上の駆動装置とを具備し、前記各装置
が前記ハウジングに力を与え、前記撓曲部材を偏向させ
て、前記補正要素がそのビーム軸について循環的に動く
ようハウジングを動かすように作動可能であることを特
徴とする補正要素アセンブリ。

【００５８】２． 各前記駆動装置は、隣接の駆動装置
と90゜の角度をなして離間しており、前記ハウジングの
長軸に対して実質的に垂直でその長軸と交差する駆動軸
を有し、前記駆動軸に沿って前記ハウジングに力を加え
ることを特徴とする上記１に記載の補正要素アセンブ
リ。

【００５９】３． 前記ハウジングの長軸が、前記補正
要素のビーム軸と実質的に一致することを特徴とする上
記１に記載の補正要素アセンブリ。

【００６０】４． 前記撓曲部材は、前記ハウジングの
周囲を取り囲み、その両端が前記ハウジングよりも長く
伸びていることを特徴とする上記１に記載の補正要素ア
センブリ。

【００６１】５． 前記撓曲部材は、ウレタンからなる
ことを特徴とする上記１に記載の補正要素アセンブリ。

【００６２】６． 前記撓曲部材は、前記ハウジングの
周囲を取り囲み、前記ハウジングの突出部に駆動装置か
らの前記力が加えられ、前記突出部は、前記撓曲部材を
貫通し、その末端は各駆動装置に接近してはいるが離間
していることを特徴とする上記１に記載の補正要素アセ
ンブリ。

【００６３】７． 前記力は磁力であり、前記ハウジン
グは磁力に作用する材質で作られていることを特徴とす
る上記１に記載の補正要素アセンブリ。

【００６４】８． 駆動装置は、撓曲部材を偏向させ
て、前記補正要素がビームの光路の上流にある回転要素
と同期して動くように操作されることを特徴とする上記
１に記載の補正要素アセンブリ。

【００６５】９． 不整合のビームが、あるパターンで
動く時、駆動装置により、撓曲部材を偏向させて、前記
パターンを変化させることによりビームの不整合を実質
的に補正できることを特徴とする上記１に記載の補正要
素アセンブリ。

【００６６】１０． 前記ハウジングに取りつけられ、
駆動装置より加えられた前記力に作用するよう配置され
た複数の磁気部材をさらに含み、前記磁気部材は、それ
ぞれ、その末端が各駆動装置に近接してはいるが離間し
ていることを特徴とする上記１に記載の補正要素アセン
ブリ。

【００６７】１１． 前記二以上の駆動装置とは４つの
駆動装置であり、前記駆動装置は、前記ハウジングに同
時に力を与えることにより、前記撓曲部材を偏向させる
ことを特徴とする上記１に記載の補正要素アセンブリ。

【００６８】１２． 前記４つの駆動装置は、相対する
駆動装置で対をなし二対となるが、相対する駆動装置は
それぞれ逆極性で作動するようになっていることを特徴
とする上記１１に記載の補正要素アセンブリ。

【００６９】１３． 前記ハウジングの動きを符号化す
るために、前記ハウジングに取りつけられ、それと共に
動くレチクルをさらに具備することを特徴とする上記１
に記載の補正要素アセンブリ。

【００７０】１４． 前記ハウジングの動きを監視する
ために、前記ハウジングに取りつけられ、それと共に動
くレチクルをさらに具備することを特徴とする上記１に
記載の補正要素アセンブリ。

【００７１】１５． 前記ハウジングに取りつけられ、
それと共に動く第一レチクルと、前記第一レチクルに対
して固定して取りつけられた第二レチクルと、第一レチ
クルに対して固定して取りつけられ、前記レチクルを通
過する光路に参照ビームを照射するために用いられる参
照ビーム照射光源と、前記第一レチクルに対して固定し
て取りつけられ、前記レチクルの下流の参照ビームの照
射を感知し、前記ハウジングの動きを表す信号を生成す
る検出器とを具備することを特徴とする上記１に記載の
補正要素アセンブリ。

【００７２】１６．標的上の位置に対する照射ビームの
不整合を補正するための補正要素アセンブリにおいて、
ハウジング内部に固定され、ハウジングと共に動く補正
要素を有するハウジングと、第一部分と第二部分をもつ
部材と、該部材の第一部分及び前記ハウジングに取りつ
けられ、前記ハウジングを第一方向に動かすように配置
された第一圧電素子と、該部材の第二部分及びベースに
取りつけられ、前記第一方向と実質的に垂直な第二方向
に前記ハウジングを動かすように配置された第二圧電素
子とを具備することを特徴とする補正要素アセンブリ。

【００７３】１７． 前記補正レンズはビーム軸を有
し、前記ハウジングの前記動きにより、前記補正要素が
ビーム軸のについて循環的に動くことを特徴とする上記
１６に記載の補正要素アセンブリ。

【００７４】１８． 該部材の第一及び第二部分にはそ
れぞれ対向する第一及び第二側面を有し、該第一側面は
前記ハウジングに対向し、第一圧電素子は該部材の第一
部分の第一側面に取りつけられており、第二圧電素子は
該部材の第二部分の第二側面に取りつけられていること
を特徴とする上記１６に記載の補正要素アセンブリ。

【００７５】１９． 前記ハウジングの動きを符号化す
るために、前記ハウジングに取りつけられ、それと共に
動くレチクルをさらに具備することを特徴とする上記１
６に記載の補正要素アセンブリ。

【００７６】２０． 前記ハウジングの動きを調整する
ために、前記ハウジングに取りつけられ、それと共に動
くレチクルをさらに具備することを特徴とする上記１６
に記載の補正要素アセンブリ。

【００７７】２１． 前記ハウジングに取りつけられ、
それと共に動く第一レチクルと、前記第一レチクルに対
して固定して取りつけられた第二レチクルと、前記第一
レチクルに対して固定して取りつけられ、前記レチクル
を通過する光路に参照ビームを照射するのに用いられる
参照ビーム照射光源と、前記第一レチクルの下流の参照
ビームの照射を感知し、前記ハウジングの動きを表す信
号を出すのに用いられる検出器とを具備することを特徴
とする上記１６に記載の補正要素アセンブリ。

【００７８】２２． 標的上の位置に対する照射ビーム
の不整合を補正するための補正要素アセンブリにおいて
ハウジング内部に固定され、ハウジングと共に動く補正
要素を有するハウジングと、前記ハウジングに対して第
一方向に駆動力を加え前記ハウジングを動かす駆動装置
と、前記駆動装置とベースの間に配置され、第一方向と
反対の第二方向の駆動力に相当する反作用力を吸収する
よう配置された第一追従部材とを具備することを特徴と
する補正要素アセンブリ。

【００７９】２３． 前記駆動装置とハウジングの間に
配置され、加えられた駆動力に応答して偏向するよう配
された第二追従部材をさらに具備する上記２２に記載の
補正要素アセンブリ。

【００８０】２４． 前記補正要素はビーム軸を有し、
第二追従部材の前記偏向により、前記補正要素がビーム
軸について循環的に動くよう前記ハウジングが動くこと
を特徴とする上記２３に記載の補正要素アセンブリ。

【００８１】２５． ハウジングと第二ベースの間に配
置され、加えられた駆動力に応答して偏向し、前記ハウ
ジングの動きにより生じた力を吸収するよう配された第
二追従部材をさらに具備することを特徴とする上記２２
に記載の補正要素アセンブリ。

【００８２】２６． 前記補正要素を静止状態にある前
記ハウジングに対し中心合わせの際には、前記第二追従
部材は比較的堅くなり、ハウジングが動いているとき
は、力を偏向して吸収するために比較的軟らかくなるこ
とを特徴とする上記２５に記載の補正要素アセンブリ。

【００８３】２７． 前記第一追従部材は、駆動装置と
ベースの間に配置されている４つの追従部材のうちの一
であることを特徴とする上記２２に記載の補正要素アセ
ンブリ。

【００８４】２８． 標的上の位置に対する照射ビーム
の不整合を補正するための補正要 素アセンブリにおい
てハウジング内部に固定され、ハウジングと共に動く補
正要素を有する可動ハウジングと、可動バランス質量
と、前記ハウジング及び前記バランス質量に対して第一
ベースに支持され、前記ハウジングに第一方向の駆動力
と、前記バランス質量に第一方向とは反対の第二方向の
平衡力を加えるよう作動可能である駆動装置と、前記バ
ランス質量と第二ベースの間に配置され、前記バランス
質量を支持し、少なくとも平衡力の第一部分を吸収する
よう構成された第一追従部材とを具備し、前記バランス
質量は、少なくとも平衡力の第二部分とつり合うよう構
成されていることを特徴とする補正要素アセンブリ。

【００８５】２９． 前記ハウジングと第三ベースの間
に配置され、前記ハウジングに加えられた駆動力に応答
して偏向するよう配される第二追従部材をさらに具備す
ることを特徴とする上記２８に記載の補正要素アセンブ
リ。

【００８６】３０． 前記補正要素はビーム軸を有し、
第二追従部材の前記偏向により、前記補正要素がビーム
軸について循環的に動くよう前記ハウジングが動くこと
を特徴とする上記２９に記載の補正要素アセンブリ。

【００８７】３１． ハウジングと第三ベースの間に配
置され、駆動力に応答して偏向し、前記ハウジングの動
きより生じる力を吸収するよう配される第二追従部材を
さらに具備することを特徴とする上記２８に記載の補正
要素アセンブリ。

【００８８】３２． 前記ハウジングに取りつけられた
第一磁石と、前記バランス質量に取りつけられた第二磁
石とを更に具備し、前記駆動装置は、前記ハウジングに
駆動力を加える第一コイルと前記バランス質量に平衡力
を加える第二コイルを有し、前記駆動力は電磁駆動力で
あり、前記第一磁石は、前記電磁気的駆動力に作用し前
記ハウジングを動かし、また、前記平衡力は電磁気的平
衡力であり、第二磁石は前記電磁気的平衡力に対し作用
し前記バランス質量を動かすことを特徴とする上記２８
に記載の補正要素アセンブリ。

【００８９】３３． 第一追従部材は、バランス質量と
ベースの間に配置された４つの追従部材のうちの一であ
ることを特徴とする上記２８に記載の補正要素アセンブ
リ。

【図面の簡単な説明】

【図１】Ａは、本発明による第一実施例のレンズハウジ
ング及びコイル配置の斜視図でり、ＢはＡのレンズハウ
ジングの縦断面図であり、Ｃは、Ａのレンズハウジング
の横断面図である。

【図２】本発明によるレンズ補正アセンブリの第二の実
施例を示す。

【図３】本発明による第三実施例においてレチクルを取
りつけた補正レンズアセンブリを示す。

【図４】図３の補正レンズアセンブリの横断面図であ
る。

【図５】図３に示された一方のレチクルの詳細を示す。

【図６】図３に示された他方のレチクルの図を示す。

【図７】本発明による第四の実施例の圧電要素を有する
補正レンズアセンブリを示す。

【図８】本発明による第五の実施例による振動及び力に
対する緩衝装置を有するレンズ補正アセンブリを示す。

【図９】図８に示した実施例の力及び振動に対する緩衝
部品の詳細を示す。

【図１０】本発明による力及び振動に対する緩衝装置を
有する別の実施例を示す。

【図１１】図１０に示された緩衝装置の詳細図を示す。

【図１２】本発明による、力及び振動に対する緩衝装置
を有する更に別の実施例を示す。

【図１３】図１２に示された実施例の緩衝部材の詳細を
示す。

【図１４】本発明の更に別の実施例による、力及び振動
に対する緩衝装置とバランス質量を有する補正レンズア
センブリを示す

【図１５】図１４の実施例の緩衝部材とバランス質量の
詳細を示す。

【図１６】本発明による、図１４，１５に示されたもの
と類似の、４つの振動緩衝装置に支持されたバランス質
量を有する補正レンズアセンブリである。

【図１７】図１６の実施例の緩衝部材とバランス質量の
詳細を示す。

【図１８】従来のマルチビーム走査システムを示す。

【図１９】図１６の回転する回転鏡によるビームの回転
をを示す。

【符号の説明】

８１０ ハウジング ８２０ コイル ８５０ 撓曲部材 ８６０ａ 固定ハウジング ８６０ｂ 固定ハウジング ８８０ レンズ ９２０ａ コイル ９２０ａ コイル ９８０ レンズ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 595022371 200 ＢＡＬＬＡＲＤＶＡＬＥ ＳＴＲＥ ＥＴ，ＷＥＬＭＩＮＧＴＯＮ，ＭＡＳＳＡ ＣＨＵＳＥＴＴＳ 01887，Ｕ．Ｓ．Ａ. (72)発明者 ノーマン・ロルフ アメリカ合衆国マサチユセツツ州01741カ ーライル・ナウエルフアームロード194 (72)発明者 ヘンリー・エイ・ケリー アメリカ合衆国マサチユセツツ州01801ウ オバーン・ウエストゲイトドライブ４ (72)発明者 フランク・シヨルテン アメリカ合衆国ニユージヤージイ州07039 リビングストン・ベイカーロード57

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 標的上の位置に対する照射ビームの不整
   合を補正するための補正要素アセンブリにおいて、 ハウジング内部に固定され、ハウジングと共に動く補正
   要素を有するハウジングと、 前記ハウジングに取りつけられた撓曲部材と、 ハウジングの周囲に放射状に配置された少なくとも二以
   上の駆動装置とを具備し、前記各装置が前記ハウジング
   に力を与え、前記撓曲部材を偏向させて、前記補正要素
   がそのビーム軸について循環的に動くようハウジングを
   動かすように作動可能であることを特徴とする補正要素
   アセンブリ。
2. 【請求項２】 標的上の位置に対する照射ビームの不整
   合を補正するための補正要素アセンブリにおいて、 ハウジング内部に固定され、ハウジングと共に動く補正
   要素を有するハウジングと、 第一部分と第二部分をもつ部材と、 該部材の第一部分及び前記ハウジングに取りつけられ、
   前記ハウジングを第一方向に動かすように配置された第
   一圧電素子と、 該部材の第二部分及びベースに取りつけられ、前記第一
   方向と実質的に垂直な第二方向に前記ハウジングを動か
   すように配置された第二圧電素子とを具備することを特
   徴とする補正要素アセンブリ。
3. 【請求項３】 標的上の位置に対する照射ビームの不整
   合を補正するための補正要素アセンブリにおいて、 ハウジング内部に固定され、ハウジングと共に動く補正
   要素を有するハウジングと、 前記ハウジングに対して第一方向に駆動力を加え前記ハ
   ウジングを動かす駆動装置と、 前記駆動装置とベースの間に配置され、第一方向と反対
   の第二方向の駆動力に相当する反作用力を吸収するよう
   配置された第一追従部材とを具備することを特徴とする
   補正要素アセンブリ。
4. 【請求項４】 標的上の位置に対する照射ビームの不整
   合を補正するための補正要 素アセンブリにおいてハウ
   ジング内部に固定され、ハウジングと共に動く補正要素
   を有する可動ハウジングと、 可動バランス質量と、 前記ハウジング及び前記バランス質量に対して第一ベー
   スに支持され、前記ハウジングに第一方向の駆動力と、
   前記バランス質量に第一方向とは反対の第二方向の平衡
   力を加えるよう作動可能である駆動装置と、 前記バランス質量と第二ベースの間に配置され、前記バ
   ランス質量を支持し、少なくとも平衡力の第一部分を吸
   収するよう構成された第一追従部材とを具備し、 前記バランス質量は、少なくとも平衡力の第二部分とつ
   り合うよう構成されていることを特徴とする補正要素ア
   センブリ。