JPH1076471A - 研磨ディスク支持体及び研磨方法 - Google Patents

研磨ディスク支持体及び研磨方法

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JPH1076471A
JPH1076471A JP9187357A JP18735797A JPH1076471A JP H1076471 A JPH1076471 A JP H1076471A JP 9187357 A JP9187357 A JP 9187357A JP 18735797 A JP18735797 A JP 18735797A JP H1076471 A JPH1076471 A JP H1076471A
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JP
Japan
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coating
polishing
plate
support
main body
Prior art date
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Pending
Application number
JP9187357A
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English (en)
Inventor
George Henri Broido
アンリ ブロイド ジョルジュ
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Lam Plan SA
Original Assignee
Lam Plan SA
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/11—Lapping tools
    • B24B37/20—Lapping pads for working plane surfaces
    • B24B37/205—Lapping pads for working plane surfaces provided with a window for inspecting the surface of the work being lapped
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B24B37/11—Lapping tools
    • B24B37/20—Lapping pads for working plane surfaces
    • B24B37/24—Lapping pads for working plane surfaces characterised by the composition or properties of the pad materials
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B24B37/26—Lapping pads for working plane surfaces characterised by the shape of the lapping pad surface, e.g. grooved

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ディスク状の本体を備えてなる研磨ディスク
支持体において、使い初めの数秒間の研磨を強力にし過
ぎることなく研磨ディスクの交換を可能にするととも
に、満足な平滑性を達成するものを提供する。 【解決手段】 本体（１）の一方の面（２）には、中心
に中心位置決め用の穴（４）が設けられているとともに
偏心した位置に駆動穴（５、７）が設けられており、該
本体の他方の面（３）には、該本体の材質よりも軟らか
い材質からなる厚さ５μｍ乃至４ｍｍの被覆（６）が設
けられている研磨ディスク支持体。被覆は１２よりも大
きいショアー硬度Ｄを備え、ポリテトラフルオロエチレ
ンからなることが好ましい。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、研磨ディスク支持
体及び研磨方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】金属組織検査試料の調製をする際、研磨
紙から通常構成される研磨ディスクが外れたり、破れた
り、摩耗し過ぎた結果、それを工程中に交換しなければ
ならないことがある。使用済みの研磨紙を新しい研磨紙
に交換することは、特にこわれ易い試料、例えば、多層
プリント回路や電子部品で屡々見られるように、厚さ数
ミクロンオーダーの蒸着層を露出させなければならない
時には、適正な調製に対する大きな障害となる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】事実、超硬合金製支持
体（研磨機の研磨板）の上に新しい研磨紙を配置して使
用する際、最初の数秒間は、研磨が非常に激しく行わ
れ、材料をかなり摩耗させ、その結果として、薄い層が
あるとすれば、これを剥ぎ取ってしまう。かかる意図に
反する材料の除去は、金属よりも硬度の低いプラスチッ
ク（通常ポリ塩化ビニル）製の支持体を使用すれば低減
され、又は、かなり目立たなくなる。しかし、このよう
なプラスチック製支持体は、被験試料の縁を丸くしすぎ
て平滑性を損ない、該試料の輪郭に幾何学的な変形をも
たらす。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、使い初めの数
秒間の研磨を強力にし過ぎることなく研磨ディスクの交
換を可能にするとともに、満足な平滑性を達成すること
によって、上述の欠点を解消した研磨ディスク支持体に
関する。
【０００５】本発明の研磨ディスク支持体は、ディスク
（円盤）状の本体を備えている。この本体の一方の面の
中心には、支持体の中心位置決め用の穴が設けられてい
る。これと同じ面の偏心位置には、回転駆動手段の駆動
爪と協働するように適合された駆動穴が設けられてい
る。他の面には、本体の材質よりも軟らかい材質からな
る厚さ５μｍ乃至４ｍｍの被覆が設けられている。金属
等からなる硬質の本体に、プラスチック等の比較的軟質
の被覆を形成することにより、プラスチックの本体によ
る上記摩耗の穏やかさと、金属の支持体で得られる完全
な平滑性とが組み合わされる。ここに、厚さ３ミクロン
の被覆では上記摩耗が十分に低下されず、この被覆が厚
さ４ｍｍを超えると、全体がプラスチックからなる支持
体から得られる変形と同様の変形が生じることがわかっ
た。
【０００６】終了時に試料の輪郭に窪みを生じさせない
ようにするために、この被覆は、１２よりも大きいショ
アー硬度Ｄを備えることが好ましい。
【０００７】極めて有用な一具体例によれば、上記被覆
は、ポリテトラフルオロエチレンから作られる。これに
よって、別の材料を研磨するなどのために前に使用した
研磨紙又は研磨布を取り外したり、再取り付けすること
が可能となり、さらに、誤って支持体に取り付けられた
研磨紙又は研磨布を再配置することが可能となり、ま
た、該研磨紙又は研磨布の取り付け中に偶然取り込まれ
た空気泡は大部分自動的に除去される。ポリテトラフル
オロエチレンの非常に低い接着力のために、上記空気泡
は被研磨部品にかけられる圧力によって押し出される。
【０００８】上記被覆は、スプレーガンを用いて、例え
ば、厚さ２５ミクロンの三つの連続層を設けることによ
って形成することができるが、シート状の被覆材を所望
により重ね合わせて付着させることも可能であり、該シ
ート状の被覆材は、アラルダイトや両面接着材で支持体
に付着されるように、一方の面を化学処理したものとす
ることができる。また、該被覆は、格子やガーゼの形態
を採ってもよく、これらは全て上記本体と同様に円盤状
に形成される。また、上記本体は、厚さ１乃至５ｍｍの
アルミニウムやその他の硬質材料からなる板を鋳鉄又は
アルミニウム基材に付着させて層状とすることもでき
る。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明を、図示の具体例に
基づいて説明するが、本発明は該具体例に限定されるも
のではない。
【００１０】図示の支持体は、円盤状のアルミニウム製
本体１を備え、その両面を夫々数字２及び３で示す。面
２の中心には、中心位置決め用の盲穴４が設けられてお
り、これと同じ面２には、回転駆動モータの駆動爪と協
働するように適合された７つの駆動盲穴５及び７が設け
られている。穴５及び７の配置は、どのような研磨機を
使用した場合でも常に駆動モータの爪と協働することが
できるようなものにされている。
【００１１】本体１の面３には、厚さ１００ミクロンの
ポリテトラフルオロエチレンの被覆６が設けられてい
る。
【００１２】
【実施例】以下、試験例に基づいて本発明を説明する。
【００１３】試験例１（比較例） 被覆なしのアルミニウム板が取り付けられた研磨機 研磨紙を担持する板の材質：アルミニウム 被覆の平均硬度(mean hardness)：なし 研磨紙の粒子径： Ｐ２４０ 研磨時間： ３分４５秒 試料上の圧力： ４４９ｇ／ｃｍ2 板の回転速度： ２５０ｒｐｍ 被処理試料数： ３ 被研磨材質： 鋼 水中研磨か？： yes 金属除去量： 0.48ｇ
【００１４】試験例２（比較例） ３μのＰＶＣ被覆を備えたアルミニウム板が取り付けら
れた研磨機 研磨紙を担持する板の材質：アルミニウム 支持体板上の被覆厚： ３μ 被覆の平均硬度： ８０ ＳＨＲ Ｄ 研磨紙の粒子径： Ｐ２４０ 研磨時間： ３分４５秒 試料上の圧力： ４４９ｇ／ｃｍ2 板の回転速度： ２５０ｒｐｍ 被処理試料数： ３ 被研磨材質： 鋼 水中研磨か？： yes 金属除去量： 0.48ｇ
【００１５】試験例３ １０μのＰＶＣ被覆を備えたアルミニウム板が取り付け
られた研磨機 研磨紙を担持する板の材質：アルミニウム 支持体板上の被覆厚： １０μ 被覆の平均硬度： ８０ ＳＨＲ Ｄ 研磨紙の粒子径： Ｐ２４０ 研磨時間： ３分４５秒 試料上の圧力： ４４９ｇ／ｃｍ2 板の回転速度： ２５０ｒｐｍ 被処理試料数： ３ 被研磨材質： 鋼 水中研磨か？： yes 金属除去量： 0.27ｇ 試料の輪郭は良好であった。
【００１６】試験例４ ５０μのＰＶＣ被覆を備えたアルミニウム板が取り付け
られた研磨機 研磨紙を担持する板の材質：アルミニウム 支持体板上の被覆厚： ５０μ 被覆の平均硬度： ８０ ＳＨＲ Ｄ 研磨紙の粒子径： Ｐ２４０ 研磨時間： ３分４５秒 試料上の圧力： ４４９ｇ／ｃｍ2 板の回転速度： ２５０ｒｐｍ 被処理試料数： ３ 被研磨材質： 鋼 水中研磨か？： yes 金属除去量： 0.22ｇ 試料の輪郭は良好であった。
【００１７】試験例５ １００μのＰＶＣ被覆を備えたアルミニウム板が取り付
けられた研磨機 研磨紙を担持する板の材質：アルミニウム 支持体板上の被覆厚： １００μ 被覆の平均硬度： ８０ ＳＨＲ Ｄ 研磨紙の粒子径： Ｐ２４０ 研磨時間： ３分４５秒 試料上の圧力： ４４９ｇ／ｃｍ2 板の回転速度： ２５０ｒｐｍ 被処理試料数： ３ 被研磨材質： 鋼 水中研磨か？： yes 金属除去量： 0.22ｇ 試料の輪郭は良好であった。
【００１８】試験例６ ５００μのＰＶＣ被覆を備えたアルミニウム板が取り付
けられた研磨機 研磨紙を担持する板の材質：アルミニウム 支持体板上の被覆厚： ５００μ 被覆の平均硬度： ８０ ＳＨＲ Ｄ 研磨紙の粒子径： Ｐ２４０ 研磨時間： ３分４５秒 試料上の圧力： ４４９ｇ／ｃｍ2 板の回転速度： ２５０ｒｐｍ 被処理試料数： ３ 被研磨材質： 鋼 水中研磨か？： yes 金属除去量： 0.23ｇ 試料の輪郭は優良であった。
【００１９】試験例７ 2000μ(2mm)のＰＶＣ被覆を備えたアルミニウム板が取
り付けられた研磨機 研磨紙を担持する板の材質：アルミニウム 支持体板上の被覆厚： ２０００μ 被覆の平均硬度： ８０ ＳＨＲ Ｄ 研磨紙の粒子径： Ｐ２４０ 研磨時間： ３分４５秒 試料上の圧力： ４４９ｇ／ｃｍ2 板の回転速度： ２５０ｒｐｍ 被処理試料数： ３ 被研磨材質： 鋼 水中研磨か？： yes 金属除去量： 0.23ｇ 試料の輪郭は優良であった。
【００２０】試験例８ 4000μ（4mm）のＰＶＣ被覆を備えたアルミニウム板が
取り付けられた研磨機 研磨紙を担持する板の材質：アルミニウム 支持体板上の被覆厚： ４０００μ 被覆の平均硬度： ８０ ＳＨＲ Ｄ 研磨紙の粒子径： Ｐ２４０ 研磨時間： ３分４５秒 試料上の圧力： ４４９ｇ／ｃｍ2 板の回転速度： ２５０ｒｐｍ 被処理試料数： ３ 被研磨材質： 鋼 水中研磨か？： yes 金属除去量： 0.28ｇ 試料の輪郭は依然満足できるものであった。
【００２１】試験例９（比較例） 中実のＰＶＣ板（厚さ１２ｍｍ）が取り付けられた研磨
機 研磨紙を担持する板の材質：ＰＶＣ 支持体板上の被覆厚： １２ｍｍ 被覆の平均硬度： ８０ ＳＨＲ Ｄ 研磨紙の粒子径： Ｐ２４０ 研磨時間： ３分４５秒 試料上の圧力： ４４９ｇ／ｃｍ2 板の回転速度： ２５０ｒｐｍ 被処理試料数： ３ 被研磨材質： 鋼 水中研磨か？： yes 金属除去量： 0.27ｇ 試料の輪郭は湾曲していた。
【００２２】試験例１０（比較例） アルミニウム板：硬度 １００ ＳＨＲ Ｄ 試験条件：支持体に接着剤で結合させた３０ｍｍのFI鋼
からなる試料３個 板の回転速度：２５０ｒｐｍ 圧力：４４９ｇ／ｃｍ2
【００２３】
【表１】
【００２４】試験例１１ テフロン被覆されたアルミニウム板：硬度 ５０／６０ ＳＨＲ Ｄ 厚さ １００ミクロン 試験条件：支持体に接着剤で結合させた３０ｍｍのFI鋼
からなる試料３個 板の回転速度：２５０ｒｐｍ 圧力：４４９ｇ／ｃｍ2
【００２５】
【表２】
【００２６】試験例１２ 試験条件：支持体に接着剤で結合させた３０ｍｍのFI鋼
からなる試料３個 板の回転速度：２５０ｒｐｍ 圧力：４４９ｇ／ｃｍ2
【００２７】
【表３】
【００２８】試験例１３（比較例） 試験条件：支持体に接着剤で結合させた３０ｍｍのFI鋼
からなる試料３個 板の回転速度：２５０ｒｐｍ 圧力：４４９ｇ／ｃｍ2
【００２９】
【表４】
【００３０】なお、上記試験において、M.R.は除去され
た材料を意味する。
【００３１】
【発明の効果】本発明によれば、研磨ディスクの交換を
可能にするとともに、交換後の使い初めの数秒間の研磨
が強力過ぎることもなく、物体を平滑に研磨することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の研磨ディスク支持体を底部から見た図
【図２】図１の断面図
【符号の説明】
１…本体、４…中心位置決め用の穴、５…駆動穴、６…
被覆、７…駆動穴
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 596165154 ７ ｒｕｅ ｄｅｓ Ｊａｒｄｉｎｓ, 74240 ＧＡＩＬＬＡＲＤ、ＦＲＡＮＣＥ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ディスク状の本体を備えてなる研磨ディ
    スク支持体であって、該本体の一方の面には、中心に中
    心位置決め用の穴が設けられているとともに偏心した位
    置に駆動穴が設けられており、該本体の他方の面には、
    該本体の材質よりも軟らかい材質からなる厚さ５μｍ乃
    至４ｍｍの被覆が設けられている研磨ディスク支持体。
  2. 【請求項２】 前記被覆は１２よりも大きいショアー硬
    度Ｄを備えている請求項１に記載の支持体。
  3. 【請求項３】 前記被覆はポリテトラフルオロエチレン
    からなる請求項１に記載の支持体。
  4. 【請求項４】 ディスク状の本体を備えてなる研磨ディ
    スク支持体によって担持されてなる研磨ディスクを用い
    て、摩擦により物体を研磨することからなる物体の研磨
    方法において、該ディスク状の本体の一方の面には、中
    心に中心位置決め用の穴が設けられているとともに偏心
    した位置に駆動穴が設けられており、該本体の他方の面
    には、該本体の材質よりも軟らかい材質からなる厚さ５
    μｍ乃至４ｍｍの被覆が設けられている物体の研磨方
    法。
JP9187357A 1996-06-28 1997-06-27 研磨ディスク支持体及び研磨方法 Pending JPH1076471A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9608076 1996-06-28
FR9608076A FR2750354B1 (fr) 1996-06-28 1996-06-28 Support de disque de polissage et procede de polissage

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JPH1076471A true JPH1076471A (ja) 1998-03-24

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ID=9493524

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JP9187357A Pending JPH1076471A (ja) 1996-06-28 1997-06-27 研磨ディスク支持体及び研磨方法

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US (1) US6048261A (ja)
EP (1) EP0816018B1 (ja)
JP (1) JPH1076471A (ja)
AT (1) ATE182829T1 (ja)
CA (1) CA2208430A1 (ja)
DE (2) DE69700374D1 (ja)
DK (1) DK0816018T3 (ja)
ES (1) ES2136460T3 (ja)
FR (1) FR2750354B1 (ja)
ZA (1) ZA975747B (ja)

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DK0816018T3 (da) 1999-12-06
ES2136460T3 (es) 1999-11-16
FR2750354B1 (fr) 1998-08-07
EP0816018B1 (fr) 1999-08-04
ATE182829T1 (de) 1999-08-15
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