JPH1073406A - 試料移動台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】電子線又は荷電粒子等を使用した描画装置等の
真空容器内にある試料移動台をレーザ測長で位置検出す
る試料移動台で、真空容器壁面の歪みの影響を極力抑え
た位置検出を行えるようにする。 【解決手段】レーザ・ヘッド３から照射されたレーザ光
は、透過ミラー１０，１１，１２によりＸ軸測長用光２
５，２６、Ｙ軸測長用光２７，２８に分割され、真空容
器１内の試料移動台２上のＸ軸およびＹ軸測長用ミラー
１９，２０で各々反射しＸ軸測長用光２５はＸ軸正側デ
ィテクタ２１に、測長用光２６はディテクタ２２，測長
用光２７はディテクタ２３に、測長用光２８はディテク
タ２４に受光され位置が検出される。試料移動台制御ユ
ニット４はそれらを基にアクチエータ・ドライバに与え
る操作量を調整しアクチエータ６の回転量を制御して試
料移動台２を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は試料移動台に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来の真空容器内にある試料移動台は、
Ｘ及びＹ軸各一方向のみから測長されていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の技術では、Ｘ及
びＹ軸各一方向のみからの測長していたために、真空容
器の壁面が真空容器壁面内圧及び真空容器壁面外圧の変
動によって歪む事により基準点に対する測長用基準透過
ミラーの絶対位置が変化し測定位置誤差が生じるという
問題があった。

【０００４】本発明の目的は、Ｘ及びＹ軸各正負の二方
向から測長することにより上記問題を解決することにあ
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、Ｘ及びＹ軸各一方向のみからの測長を、各軸正負の
二方向から測長するようにした。

【０００６】二方向から測長することは、真空容器壁面
の歪みの影響を極力抑えた位置検出を可能にする。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図１，
図２により説明する。

【０００８】真空容器１内にある試料移動台２の位置制
御は、図１に示す様に試料移動台制御ユニット４がレー
ザ測長の結果を基にＸ軸歪み量Δ_X ，Ｙ軸歪み量Δ_Y ，
Ｘ軸位置偏差ε_X 及びＹ軸位置偏差ε_Y の演算を行い、
Ｘ軸位置偏差ε_X 及びＹ軸位置偏差ε_Y が０に近づく様
にアクチエータ・ドライバ５に与える操作量を調整し、
アクチエータ６の回転量を制御するディジタル位置サー
ボで行う。

【０００９】試料移動台制御ユニット４によるＸ軸歪み
量Δ_X ，Ｙ軸歪み量Δ_Y ，Ｘ軸位置偏差ε_X 及びＹ軸位
置偏差ε_Y の演算を１［ｋＨｚ］以上の周期で行うため
に、試料移動台制御ユニット４内の演算素子にはＤＳＰ
〔ディジタル・シグナル・プロセッサ〕等の高速演算が
可能な素子を使用する。

【００１０】Ｘ及びＹ各軸正負の二方向からのレーザ測
長は、図２に示す様にレーザ・ヘッド３から照射された
レーザ光を透過ミラー１０によりＸ軸正側測長用光２５
に、透過ミラー１１によりＹ軸正側測長用光２７に、透
過ミラー１２によりＸ軸負側測長用光２６及びＹ軸負側
測長用光２８に分割し、分割した各測長用光は試料移動
台２上のＸ軸測長用ミラー１９及びＹ軸測長用ミラー２
０で反射させＸ軸正側ディテクタ２１，Ｘ軸負側ディテ
クタ２２，Ｙ軸正側ディテクタ２３及びＹ軸負側ディテ
クタ２４で受光しＸ軸正側測長用基準透過ミラー１５，
Ｘ軸負側測長用基準透過ミラー１６，Ｙ軸正側測長用基
準透過ミラー１７及びＹ軸負側測長用基準透過ミラー１
８に対する絶対位置の検出を行う。

【００１１】移動動作を行った時の移動開始、現在及び
目標移動終了の各位置を、Ｘ軸正側の移動開始位置
ｘ_+S，現在位置ｘ_+N，目標移動終了位置ｘ_+E，Ｘ軸負側
の移動開始位置ｘ_-S，現在位置ｘ_-N，目標移動終了位置
ｘ_-E，Ｙ軸正側の移動開始位置ｙ_+S，現在位置ｙ_+N，目
標移動終了位置ｙ_+E，Ｙ軸負側の移動開始位置ｙ_-S，現
在位置ｙ_-N，目標移動終了位置ｙ_-Eとした場合、真空容
器１壁面のＸ軸歪み量Δ_X は数１に示す様にＸ軸正側現
在位置ｘ_+Nと移動開始位置ｘ_+Sの差とＸ軸負側現在位置
ｘ_-Nと移動開始位置ｘ_-Sの差の平均、Ｙ軸歪み量Δ_Y は
数２に示す様にＹ軸正側現在位置ｙ_+Nと移動開始位置ｙ
_+Sの差とＹ軸負側現在位置ｙ_-Nと移動開始位置ｙ_-Sの差
の平均とする。

【００１２】

【数１】

【００１３】

【数２】

【００１４】位置制御におけるＸ軸位置偏差ε_X は数３
に示す様にＸ軸正側の目標移動終了位置ｘ_+Eと移動開始
位置ｘ_+Sの差に歪み量Δ_Xを減算した値、Ｙ軸位置偏差
ε_Yは数４に示す様にＹ軸正側の目標移動終了位置ｙ_+E
と移動開始位置ｙ_+Sの差に歪み量Δ_Y を減算した値とす
る。

【００１５】

【数３】 ε_X ＝(ｘ_+E−ｘ_+N)−Δ_X …（数３）

【００１６】

【数４】 ε_Y ＝(ｙ_+E−ｙ_+N)−Δ_Y …（数４）

【００１７】

【発明の効果】本発明により、真空容器壁面の歪みの影
響を極力抑えた位置検出を可能にした。

【図面の簡単な説明】

【図１】試料移動台の説明図。

【図２】測長系の説明図。

【符号の説明】

１…真空容器、２…試料移動台、３…レーザ・ヘッド、
４…試料移動台制御ユニット、５…アクチエータ・ドラ
イバ、６…アクチエータ、７…測長用基準透過ミラー、
８…測長用ミラー、９…ディテクタ。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】真空容器内にある試料移動台をレーザ測長
   で位置検出することを特徴とする試料移動台。
2. 【請求項２】請求項１において、位置制御する試料移動
   台。
3. 【請求項３】真空容器内にある試料移動台をＸ及びＹ各
   軸正負の二方向からレーザ測長で位置検出することを特
   徴とする試料移動台。
4. 【請求項４】請求項３において、上記真空容器壁面の歪
   みを検出し、その結果を位置制御に帰還させる試料移動
   台。