JP2755762B2 - 遠隔変位測定装置 - Google Patents
遠隔変位測定装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、例えば、宇宙用アンテナ反射鏡等の遠隔
位置に配置された物体の熱歪み・振動等による変位を測
定するのに用いる遠隔変位測定装置に関する。
位置に配置された物体の熱歪み・振動等による変位を測
定するのに用いる遠隔変位測定装置に関する。
（従来の技術） 一般に、通信用もしくは放送用，観測用等を目的とし
て使用される宇宙用アンテナは、地上において予め折畳
んだり、あるいは分割されてコンパクト化され、宇宙空
間に打上げられた後、展開あるいは組立て復元されるも
ので、近時、特に大形化が促進されつつある。
て使用される宇宙用アンテナは、地上において予め折畳
んだり、あるいは分割されてコンパクト化され、宇宙空
間に打上げられた後、展開あるいは組立て復元されるも
ので、近時、特に大形化が促進されつつある。
ところで、このような宇宙用アンテナは、その反射鏡
の鏡面の面精度が地上設置用と同様に高い面精度が要求
される。一方、宇宙空間においては、地上に比して激し
い温度変化のある環境にさらされるために、宇宙用アン
テナの環境変化に伴う熱歪み等を遠隔位置から高精度に
測定して対処する必要がある。
の鏡面の面精度が地上設置用と同様に高い面精度が要求
される。一方、宇宙空間においては、地上に比して激し
い温度変化のある環境にさらされるために、宇宙用アン
テナの環境変化に伴う熱歪み等を遠隔位置から高精度に
測定して対処する必要がある。
このため、従来は、第４図あるいは第５図に示すよう
な遠隔変位測定装置を用いて宇宙用アンテナ等の被測定
物の変位・振動等を測定していた。
な遠隔変位測定装置を用いて宇宙用アンテナ等の被測定
物の変位・振動等を測定していた。
先ず、第４図に示すものは、アンテナの反射鏡１に反
射体２を設け、光源３からの光を強度変調してスキャン
ミラー４を介して反射体２に入射せしめ、この反射体２
に入射した光が戻るまでの時間を計測し、その計測値か
ら変位演算部５で反射鏡の変位量を求める。そして、反
射鏡１の各測定点の変位量を検出する場合は、ミラー駆
動装置６で、スキャンミラー４の傾斜角度を変えること
により、各測定点に対して光を入射させ、各測定点にお
ける変位量を検出する。
射体２を設け、光源３からの光を強度変調してスキャン
ミラー４を介して反射体２に入射せしめ、この反射体２
に入射した光が戻るまでの時間を計測し、その計測値か
ら変位演算部５で反射鏡の変位量を求める。そして、反
射鏡１の各測定点の変位量を検出する場合は、ミラー駆
動装置６で、スキャンミラー４の傾斜角度を変えること
により、各測定点に対して光を入射させ、各測定点にお
ける変位量を検出する。
しかしながら、上記遠隔変位測定装置では、測定精度
を、いわゆる強度変調による光測距システムに依存して
いる構成上、満足のゆく測定精度を得ることが困難なも
のであった。
を、いわゆる強度変調による光測距システムに依存して
いる構成上、満足のゆく測定精度を得ることが困難なも
のであった。
一方、第５図に示すものは、アンテナ等の被測定物1a
に対してLED2aを設け、このLED2aからの光をレンズ装置
６でビーム状の光に変換する。このビーム状の光は分配
ミラー７で光軸に直交する２方向に分配して、それぞれ
をレンズ8a,8bを介して光センサ9a,9b上に結像され、い
わゆる差動法により被測定物2aの変位量が測定される。
に対してLED2aを設け、このLED2aからの光をレンズ装置
６でビーム状の光に変換する。このビーム状の光は分配
ミラー７で光軸に直交する２方向に分配して、それぞれ
をレンズ8a,8bを介して光センサ9a,9b上に結像され、い
わゆる差動法により被測定物2aの変位量が測定される。
ところが、上記遠隔変位測定装置では、光源としての
LED2aを被測定物1aに配設する構成上、被測定物側に配
線等を施さなければならないため、測定の信頼性が劣る
という問題を有する。また、このLED2aのエネルギー源
が消耗したときは、被測定物1aが遠隔位置にあるため
に、そのエネルギーを補給することが困難なことで、使
用できなくなるという問題を有する。さらに、被測定物
1aの測定点の数を増やすと、その数に対応してレンズ装
置６、分配ミラー７及び光センサ9a,9b等で構成する光
学系が必要となるために、装置が複雑となると共に、大
形となるという問題も有する。
LED2aを被測定物1aに配設する構成上、被測定物側に配
線等を施さなければならないため、測定の信頼性が劣る
という問題を有する。また、このLED2aのエネルギー源
が消耗したときは、被測定物1aが遠隔位置にあるため
に、そのエネルギーを補給することが困難なことで、使
用できなくなるという問題を有する。さらに、被測定物
1aの測定点の数を増やすと、その数に対応してレンズ装
置６、分配ミラー７及び光センサ9a,9b等で構成する光
学系が必要となるために、装置が複雑となると共に、大
形となるという問題も有する。
（発明が解決しようとする課題） 以上述べたように、従来の遠隔変位測定装置におい
て、強度変調による光測距システムでは、被測定物の変
位を高精度で測定することが困難であるという問題を有
していた。
て、強度変調による光測距システムでは、被測定物の変
位を高精度で測定することが困難であるという問題を有
していた。
また、光源を被測定物に設けるシステムでは、被測定
物側に配線等を施さなければならないために、信頼性が
劣ると共に、光源のエネルギーが消耗した状態で、変位
測定が困難となるという問題を有する。そして、被測定
物の測定点の数に対応した数の光学系を配設しなければ
ならないために、装置が複雑となると共に、大形となる
という問題も有していた。
物側に配線等を施さなければならないために、信頼性が
劣ると共に、光源のエネルギーが消耗した状態で、変位
測定が困難となるという問題を有する。そして、被測定
物の測定点の数に対応した数の光学系を配設しなければ
ならないために、装置が複雑となると共に、大形となる
という問題も有していた。
この発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、構成
簡易にして、可及的に高精度な変位量の測定を実現し得
るようにした遠隔変位測定装置を提供することを目的と
する。
簡易にして、可及的に高精度な変位量の測定を実現し得
るようにした遠隔変位測定装置を提供することを目的と
する。
［発明の構成］ （課題を解決するための手段及び作用） この発明は複数のビーム状の光を受けて反射させる反
射方向が可変可能な反射手段と、被測定物に設けられ前
記反射手段で反射された複数のビーム状の光を受けて平
行に反射する複数の反射部材と、この反射部材からの複
数の反射光の平行移動量を検出して、そのうち一つの反
射光の平行移動量より前記被測定物の面内方向における
二次元の変位を求め、かつ、前記反射部材からの複数の
反射光の各平行移動量と前記反射部材への入射角より前
記被測定物の面直方向の変位を求める変位測定手段とを
備えて遠隔変位測定装置を構成したものである。
射方向が可変可能な反射手段と、被測定物に設けられ前
記反射手段で反射された複数のビーム状の光を受けて平
行に反射する複数の反射部材と、この反射部材からの複
数の反射光の平行移動量を検出して、そのうち一つの反
射光の平行移動量より前記被測定物の面内方向における
二次元の変位を求め、かつ、前記反射部材からの複数の
反射光の各平行移動量と前記反射部材への入射角より前
記被測定物の面直方向の変位を求める変位測定手段とを
備えて遠隔変位測定装置を構成したものである。
上記構成によれば、ビーム状の複数の光は、反射手段
により反射部材に照射され、該反射部材で反射された複
数の反射光が変位測定手段に導かれて、複数の反射光の
平行移動量として検出され、上記被測定物の面内方向の
二次元の変位量及び面直方向の変位として算出される。
従って、被測定物の変位は空間的な三次元の変位として
検出されるため、変位量の高精度な検出が実現できる。
により反射部材に照射され、該反射部材で反射された複
数の反射光が変位測定手段に導かれて、複数の反射光の
平行移動量として検出され、上記被測定物の面内方向の
二次元の変位量及び面直方向の変位として算出される。
従って、被測定物の変位は空間的な三次元の変位として
検出されるため、変位量の高精度な検出が実現できる。
また、上記遠隔変位測定装置を前記反射手段により反
射される複数のビーム状の光相互間の照射角を可変調整
して前記反射部材への入射角を設定する照射角調整手段
と、前記反射部材からの反射光を検出して前記照射角調
整手段を駆動制御し、前記ビーム状の光相互間の照射角
を制御する駆動制御手段とを付加して構成した。
射される複数のビーム状の光相互間の照射角を可変調整
して前記反射部材への入射角を設定する照射角調整手段
と、前記反射部材からの反射光を検出して前記照射角調
整手段を駆動制御し、前記ビーム状の光相互間の照射角
を制御する駆動制御手段とを付加して構成した。
上記構成によれば、ビーム状の光は、反射部材に対し
て所定の入射角で確実に入射されることにより、変位測
定の確実化が図れる。従って、被測定物の正確な変位の
測定が可能となる。
て所定の入射角で確実に入射されることにより、変位測
定の確実化が図れる。従って、被測定物の正確な変位の
測定が可能となる。
（実施例） 以下、この発明の実施例について、図面を参照して詳
細に説明する。
細に説明する。
第１図はこの発明の一実施例に係る遠隔変位測定装置
を示すもので、図中10は例えば宇宙用アンテナの反射鏡
で、その内周壁にはコーナキューブと称する複数の反射
部材11が接着剤等を用いて固着される。この反射部材11
は測定点を形成するもので、反射鏡10の任意の箇所に複
数個が配設され、平行に入射した複数のビーム状の光を
平行に反射する。
を示すもので、図中10は例えば宇宙用アンテナの反射鏡
で、その内周壁にはコーナキューブと称する複数の反射
部材11が接着剤等を用いて固着される。この反射部材11
は測定点を形成するもので、反射鏡10の任意の箇所に複
数個が配設され、平行に入射した複数のビーム状の光を
平行に反射する。
また、反射鏡10の反射部材11に対応して測定部12が配
設される。この測定部12には、ビーム状の光を照射する
光源13、ビームスプリッタ14、ハーフミラー15、傾斜角
度可変用の走査ミラー16、ミラーボール機構等の反射方
向可変用の反射機構17及び変位測定部18を形成するCCD
撮像素子等の光位置検出用二次元光センサ19が配設され
ている。
設される。この測定部12には、ビーム状の光を照射する
光源13、ビームスプリッタ14、ハーフミラー15、傾斜角
度可変用の走査ミラー16、ミラーボール機構等の反射方
向可変用の反射機構17及び変位測定部18を形成するCCD
撮像素子等の光位置検出用二次元光センサ19が配設され
ている。
ビームスプリッタ14は光源13からのビーム状の光を、
例えば２つの光に分割して、その一方の光を直接的にハ
ーフミラー15に照射する。また、ビームスプリッタ14に
は角度調整自在な光案内用の可変ミラー20が対設され、
この可変ミラー20を介して一方の光を他方の光に対して
所定の照射角を有してハーフミラー14に照射する。この
可変ミラー20にはミラー駆動部21が接続されている。こ
のミラー駆動部21は詳細を後述する上記二次元光センサ
19の検出に応動して可変ミラー20を駆動してビームスプ
リッタ14からの２つの光のハーフミラー15への照射角を
可変調整する。このハーフミラー15は照射方向に対して
45°傾斜され、入射したビーム状の光を透過して走査ミ
ラー16に導き、かつ、走査ミラー16より導かれる反射光
を略直交する方向に配設された二次元光センサ19に照射
せしめる。
例えば２つの光に分割して、その一方の光を直接的にハ
ーフミラー15に照射する。また、ビームスプリッタ14に
は角度調整自在な光案内用の可変ミラー20が対設され、
この可変ミラー20を介して一方の光を他方の光に対して
所定の照射角を有してハーフミラー14に照射する。この
可変ミラー20にはミラー駆動部21が接続されている。こ
のミラー駆動部21は詳細を後述する上記二次元光センサ
19の検出に応動して可変ミラー20を駆動してビームスプ
リッタ14からの２つの光のハーフミラー15への照射角を
可変調整する。このハーフミラー15は照射方向に対して
45°傾斜され、入射したビーム状の光を透過して走査ミ
ラー16に導き、かつ、走査ミラー16より導かれる反射光
を略直交する方向に配設された二次元光センサ19に照射
せしめる。
上記走査ミラー16はハーフミラー15と同一光軸上で、
該光軸に対して略直交する方向に対設された反射機構17
に対応されており、駆動機構22を介して傾斜角度が可変
制御される。この駆動機構22は制御演算部23及びパワー
アンプ24に接続されており、その制御演算部23で測定点
に対応する走査ミラー16の傾斜角度を演算して求めた駆
動信号によりパワーアンプ24を介して駆動制御される。
該光軸に対して略直交する方向に対設された反射機構17
に対応されており、駆動機構22を介して傾斜角度が可変
制御される。この駆動機構22は制御演算部23及びパワー
アンプ24に接続されており、その制御演算部23で測定点
に対応する走査ミラー16の傾斜角度を演算して求めた駆
動信号によりパワーアンプ24を介して駆動制御される。
また、上記二次元光センサ19には信号処理部25が接続
される。この信号処理部25は第２図に示すように、反射
鏡10がＡ位置からＢ位置に変位すると、二次元光センサ
19が検出した反射部材11に照射した２つのビーム状の光
31,32の反射光31aと31b及び32aと32bの変位ΔL1（Δ
X31，ΔY31）及びΔL2（ΔX32，ΔY32）に基づいた信号
が供給される。ここで、信号処理部25は第３図に示すよ
うに、反射部材11が平行移動しえ、その頂点がA1から,B
1に移動すると、光31,32の垂直方向の変位がΔL1及びΔ
L2の1/2として、 ΔL1/2 ΔL2/2 で表されることにより、変位ΔL1（ΔX31，ΔY31）及び
ΔL2（ΔX32，ΔY32）のいずれか一方より反射鏡10の内
周面に沿ったいわゆる面内方向の二次元の変位量ΔＸ及
びΔＹを求める。同時に、信号処理部25は変位ΔL1（Δ
X31，ΔY31）及びΔL2（ΔX32，ΔY32）と、予め設定さ
れている２つのビーム状の光相互の角度（入射角）ΔΘ
より反射鏡10の内周面に垂直ないわゆる面直方向の変位
ΔＺを の演算を行って算出し、反射鏡10の空間的な三次元の変
位ベクトル量（方向及び大きさ）を求める。
される。この信号処理部25は第２図に示すように、反射
鏡10がＡ位置からＢ位置に変位すると、二次元光センサ
19が検出した反射部材11に照射した２つのビーム状の光
31,32の反射光31aと31b及び32aと32bの変位ΔL1（Δ
X31，ΔY31）及びΔL2（ΔX32，ΔY32）に基づいた信号
が供給される。ここで、信号処理部25は第３図に示すよ
うに、反射部材11が平行移動しえ、その頂点がA1から,B
1に移動すると、光31,32の垂直方向の変位がΔL1及びΔ
L2の1/2として、 ΔL1/2 ΔL2/2 で表されることにより、変位ΔL1（ΔX31，ΔY31）及び
ΔL2（ΔX32，ΔY32）のいずれか一方より反射鏡10の内
周面に沿ったいわゆる面内方向の二次元の変位量ΔＸ及
びΔＹを求める。同時に、信号処理部25は変位ΔL1（Δ
X31，ΔY31）及びΔL2（ΔX32，ΔY32）と、予め設定さ
れている２つのビーム状の光相互の角度（入射角）ΔΘ
より反射鏡10の内周面に垂直ないわゆる面直方向の変位
ΔＺを の演算を行って算出し、反射鏡10の空間的な三次元の変
位ベクトル量（方向及び大きさ）を求める。
さらに、二次元光センサ19の出力端には上記ミラー駆
動部21が接続されており、例えば２つのビーム状の光の
有無を検出して該ミラー駆動部21に出力する。ミラー駆
動部21は二次元光センサ19からの検出信号に応動して上
述したように可変ミラー20の角度を調整し、ビームスプ
リッタ14からの２本のビーム状の光をハーフミラー15に
所定の照射角で導く。
動部21が接続されており、例えば２つのビーム状の光の
有無を検出して該ミラー駆動部21に出力する。ミラー駆
動部21は二次元光センサ19からの検出信号に応動して上
述したように可変ミラー20の角度を調整し、ビームスプ
リッタ14からの２本のビーム状の光をハーフミラー15に
所定の照射角で導く。
上記構成において、光源13から照射されたビーム状の
光はビームスプリッタ14で２つの光に分割された後、ハ
ーフミラー15を透過して走査ミラー16に導かれる。この
際、ビームスプリッタ14からの２つの光は一方の光を基
準として、他方の光の照射角が上述したように二次元光
センサ19の検出信号に応動してミラー駆動部21が可変ミ
ラー20の角度を設定して相互間の照射角を設定する。そ
して、走査ミラー16は上述したように駆動機構22を介し
て所定の傾斜角度に設定されており、入射した平行な２
つの光を反射方向可変用の反射機構17に照射して所定の
反射部材11に入射させる。反射部材11に入射した２つの
光は、それぞれが入射光と平行な方向に反射され、再び
反射機構17を介して走査ミラー16で反射される。この走
査ミラー16で反射された２つの反射光は、ハーフミラー
15で反射されて二次元光センサ19に入射される。ここ
で、二次元光センサ19に入射する２つの反射光の位置は
反射部材11の位置によって変化する。すなわち、走査ミ
ラー16は制御演算部23で駆動制御される駆動機構22によ
り所定の反射部材11（測定点）に対しては、同じ角度で
同じ位置に光を照射せしめる。ここで、上記第２図に示
すように、反射鏡10が熱歪み等の影響でＡ位置からＢ位
置に変位すると、二次元光センサ19が検出する反射光の
位置も変化することにより、２本のビーム状の光と反射
光の変位ΔL1及びΔL2を検出する。これにより、上述し
たように、信号処理部23は変位ΔL1及びΔL2のいずれか
一方より反射鏡10の面内方向の変位量ΔＸ及びΔＹを求
めると共に、変位ΔL1及びΔL2と、予め設定されている
２つのビーム状の光相互の角度ΔΘより面直方向の変位
ΔＺを演算して反射鏡10の空間的な三次元の変位ベクト
ル量（方向及び大きさ）を求め、例えば図示しない表示
装置等に出力する。
光はビームスプリッタ14で２つの光に分割された後、ハ
ーフミラー15を透過して走査ミラー16に導かれる。この
際、ビームスプリッタ14からの２つの光は一方の光を基
準として、他方の光の照射角が上述したように二次元光
センサ19の検出信号に応動してミラー駆動部21が可変ミ
ラー20の角度を設定して相互間の照射角を設定する。そ
して、走査ミラー16は上述したように駆動機構22を介し
て所定の傾斜角度に設定されており、入射した平行な２
つの光を反射方向可変用の反射機構17に照射して所定の
反射部材11に入射させる。反射部材11に入射した２つの
光は、それぞれが入射光と平行な方向に反射され、再び
反射機構17を介して走査ミラー16で反射される。この走
査ミラー16で反射された２つの反射光は、ハーフミラー
15で反射されて二次元光センサ19に入射される。ここ
で、二次元光センサ19に入射する２つの反射光の位置は
反射部材11の位置によって変化する。すなわち、走査ミ
ラー16は制御演算部23で駆動制御される駆動機構22によ
り所定の反射部材11（測定点）に対しては、同じ角度で
同じ位置に光を照射せしめる。ここで、上記第２図に示
すように、反射鏡10が熱歪み等の影響でＡ位置からＢ位
置に変位すると、二次元光センサ19が検出する反射光の
位置も変化することにより、２本のビーム状の光と反射
光の変位ΔL1及びΔL2を検出する。これにより、上述し
たように、信号処理部23は変位ΔL1及びΔL2のいずれか
一方より反射鏡10の面内方向の変位量ΔＸ及びΔＹを求
めると共に、変位ΔL1及びΔL2と、予め設定されている
２つのビーム状の光相互の角度ΔΘより面直方向の変位
ΔＺを演算して反射鏡10の空間的な三次元の変位ベクト
ル量（方向及び大きさ）を求め、例えば図示しない表示
装置等に出力する。
このように、上記遠隔変位測定装置は反射鏡10に反射
部材11を配設し、この反射部材11に２つのビーム状の光
を照射して、この２つの光の反射光の変位量が反射鏡10
の面内方向の二次元の変位ΔＸ及びΔＹと面直方向の変
位ΔＺを検出するように構成したことにより、従来のよ
うに被測定物1aに光源（LED2a）を設けることがなくな
ることで、非常に信頼性の高い高精度な変位測定が実現
される。
部材11を配設し、この反射部材11に２つのビーム状の光
を照射して、この２つの光の反射光の変位量が反射鏡10
の面内方向の二次元の変位ΔＸ及びΔＹと面直方向の変
位ΔＺを検出するように構成したことにより、従来のよ
うに被測定物1aに光源（LED2a）を設けることがなくな
ることで、非常に信頼性の高い高精度な変位測定が実現
される。
また、光源13からのビーム状の光を分割するビームス
プリッタ14からの光の照射角を可変ミラー20を介して調
整自在に設け、複数のビーム状の光を反射部材11に対し
て確実に所定の入射角を有して照射させるように構成し
たことにより、変位測定の確実化が図れるため、この点
からも反射鏡10の正確な変位の測定が可能となる。
プリッタ14からの光の照射角を可変ミラー20を介して調
整自在に設け、複数のビーム状の光を反射部材11に対し
て確実に所定の入射角を有して照射させるように構成し
たことにより、変位測定の確実化が図れるため、この点
からも反射鏡10の正確な変位の測定が可能となる。
なお、上記実施例では、１つの光源13からのビーム状
の光をビームスプリッタ14を用いて２つに分割するよう
に構成した場合で説明したが、これに限ることなく、例
えば、上記ビームスプリッタ14を用いることなく、例え
ば２個の光源を配設して２つのビーム状の光を得るよう
に構成するこも可能である。この場合、２個の光源の一
方、あるいは双方の移動調整自在に設け、反射部材から
の反射光の有無に応じて光源を移動調整して照射角の調
整を可能とする。
の光をビームスプリッタ14を用いて２つに分割するよう
に構成した場合で説明したが、これに限ることなく、例
えば、上記ビームスプリッタ14を用いることなく、例え
ば２個の光源を配設して２つのビーム状の光を得るよう
に構成するこも可能である。この場合、２個の光源の一
方、あるいは双方の移動調整自在に設け、反射部材から
の反射光の有無に応じて光源を移動調整して照射角の調
整を可能とする。
また、上記実施例では、反射鏡10の変位を測定するよ
うに２つのビーム状の光を照射するように構成したが、
これに限ることなく、被測定物として反射鏡以外の物の
変位測定に使用可能である。さらに、ビーム状の光にお
いても、２つ以上のビーム状の光を用いて被測定物の変
位を測定するように構成することも可能である。
うに２つのビーム状の光を照射するように構成したが、
これに限ることなく、被測定物として反射鏡以外の物の
変位測定に使用可能である。さらに、ビーム状の光にお
いても、２つ以上のビーム状の光を用いて被測定物の変
位を測定するように構成することも可能である。
よってこの発明は、上記実施例に限ることなく、その
他、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実
施し得ることは勿論のことである。
他、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実
施し得ることは勿論のことである。
［発明の効果］ 以上詳述したように、この発明によれば、構成簡易に
して、可及的に高精度な変位量の測定を実現し得るよう
にした遠隔変位測定装置を提供することができる。
して、可及的に高精度な変位量の測定を実現し得るよう
にした遠隔変位測定装置を提供することができる。
第１図はこの発明の一実施例に係る遠隔変位測定装置を
示す構成図、第２図及び第３図は第１図の動作を説明す
るために示した図、第４図及び第５図は従来の遠隔変位
測定装置を示す構成図である。 10……反射鏡、11……反射部材、12……測定部、13……
光源、14……ビームスプリッタ、15……ハーフミラー、
16……走査ミラー、17……反射機構、18……変位測定
部、19……二次元光センサ、20……可変ミラー、21……
ミラー駆動部、22……駆動機構、23……制御演算部、24
……パワーアンプ、25……信号処理部。
示す構成図、第２図及び第３図は第１図の動作を説明す
るために示した図、第４図及び第５図は従来の遠隔変位
測定装置を示す構成図である。 10……反射鏡、11……反射部材、12……測定部、13……
光源、14……ビームスプリッタ、15……ハーフミラー、
16……走査ミラー、17……反射機構、18……変位測定
部、19……二次元光センサ、20……可変ミラー、21……
ミラー駆動部、22……駆動機構、23……制御演算部、24
……パワーアンプ、25……信号処理部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 堤 勇二 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地 株式会社東芝小向工場内 (72)発明者 秋葉 敏克 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地 株式会社東芝総合研究所内 (56)参考文献 特開 平１−237406（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−122508（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01B 11/00 - 11/30
Claims (2)
- 【請求項１】複数のビーム状の光を受けて反射させる反
射方向が可変可能な反射手段と、 被測定物に設けられ前記反射手段で反射された複数のビ
ーム状の光を受けて平行に反射する複数の反射部材と、 この反射部材からの複数の反射光の平行移動量を検出し
て、そのうち一つの反射光の平行移動量より前記被測定
物の面内方向における二次元の変位を求め、かつ、前記
反射部材からの複数の反射光の各平行移動量と前記反射
部材への入射角より前記被測定物の面直方向の変位を求
める変位測定手段とを具備したことを特徴とする遠隔変
位測定装置。 - 【請求項２】前記反射手段により反射される複数のビー
ム状の光相互間の照射角を可変調整して前記反射部材へ
の入射角を設定する照射角調整手段と、 前記反射部材からの反射光を検出して前記照射角調整手
段を駆動制御し、前記ビーム状の光相互間の照射角を制
御する駆動制御手段とを具備したことを特徴とする請求
項１記載の遠隔変位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1796290A JP2755762B2 (ja) | 1990-01-30 | 1990-01-30 | 遠隔変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1796290A JP2755762B2 (ja) | 1990-01-30 | 1990-01-30 | 遠隔変位測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03223608A JPH03223608A (ja) | 1991-10-02 |
| JP2755762B2 true JP2755762B2 (ja) | 1998-05-25 |
Family
ID=11958372
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1796290A Expired - Fee Related JP2755762B2 (ja) | 1990-01-30 | 1990-01-30 | 遠隔変位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2755762B2 (ja) |
-
1990
- 1990-01-30 JP JP1796290A patent/JP2755762B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03223608A (ja) | 1991-10-02 |
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