JPH1034090A - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
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- JPH1034090A JPH1034090A JP8194449A JP19444996A JPH1034090A JP H1034090 A JPH1034090 A JP H1034090A JP 8194449 A JP8194449 A JP 8194449A JP 19444996 A JP19444996 A JP 19444996A JP H1034090 A JPH1034090 A JP H1034090A
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- Liquid Crystal (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の洗浄装置に対して構成を複雑なものと
することなく、洗浄の仕上がり状態が良好で、小型の液
晶表示パネルの洗浄にも適用できる洗浄装置を提供す
る。 【解決手段】 搬送ローラー１は、どのような状況にお
いても必ず３本以上で液晶表示パネル２の下面側を支え
るように構成され、モーターによって回転し、液晶表示
パネル２を水平方向に搬送する。液晶表示パネル２を安
定して搬送できるように、液晶表示パネル２の上面側に
も搬送ローラー１を設ける。棒状ブラシ３は、所定の間
隔をおいて、搬送ローラー１間に搬送ローラー１と平行
となるように設ける。棒状ブラシ３は、液晶表示パネル
２の上面側及び下面側に設け、液晶表示パネル２の搬送
方向に対して直交する方向に往復運動させることによ
り、液晶表示パネル２に付着した埃、ガラス粉及び汚れ
等を除去する。
することなく、洗浄の仕上がり状態が良好で、小型の液
晶表示パネルの洗浄にも適用できる洗浄装置を提供す
る。 【解決手段】 搬送ローラー１は、どのような状況にお
いても必ず３本以上で液晶表示パネル２の下面側を支え
るように構成され、モーターによって回転し、液晶表示
パネル２を水平方向に搬送する。液晶表示パネル２を安
定して搬送できるように、液晶表示パネル２の上面側に
も搬送ローラー１を設ける。棒状ブラシ３は、所定の間
隔をおいて、搬送ローラー１間に搬送ローラー１と平行
となるように設ける。棒状ブラシ３は、液晶表示パネル
２の上面側及び下面側に設け、液晶表示パネル２の搬送
方向に対して直交する方向に往復運動させることによ
り、液晶表示パネル２に付着した埃、ガラス粉及び汚れ
等を除去する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、板状物体を複数の
搬送ローラーで搬送しながらブラシで洗浄する洗浄装置
に関するもので、特に液晶表示パネル、液晶表示パネル
用電極基板及び半導体基板等の洗浄に用いられる洗浄装
置に関するものである。
搬送ローラーで搬送しながらブラシで洗浄する洗浄装置
に関するもので、特に液晶表示パネル、液晶表示パネル
用電極基板及び半導体基板等の洗浄に用いられる洗浄装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置の製造工程においては、各
工程の最後に液晶表示パネルまたは液晶表示パネル用電
極基板を洗浄し、次の工程へ進む。このときの洗浄方法
としては、ブラシ洗浄方式または超音波洗浄方式が用い
られる。ブラシ洗浄方式には、ローラーブラシ方式とデ
ィスクブラシ方式とがある。
工程の最後に液晶表示パネルまたは液晶表示パネル用電
極基板を洗浄し、次の工程へ進む。このときの洗浄方法
としては、ブラシ洗浄方式または超音波洗浄方式が用い
られる。ブラシ洗浄方式には、ローラーブラシ方式とデ
ィスクブラシ方式とがある。
【０００３】ローラーブラシ方式は、図７に示すよう
に、枚葉処理で搬送ローラー５１によって液晶表示パネ
ル５２を水平方向に搬送しながら、ローラーブラシ５３
を液晶表示パネル５２の搬送方向に対して順方向または
逆方向に回転させ、液晶表示パネル５２を洗浄する方式
である。
に、枚葉処理で搬送ローラー５１によって液晶表示パネ
ル５２を水平方向に搬送しながら、ローラーブラシ５３
を液晶表示パネル５２の搬送方向に対して順方向または
逆方向に回転させ、液晶表示パネル５２を洗浄する方式
である。
【０００４】搬送ローラー５１は、どのような状況にお
いても必ず３本以上で液晶表示パネル５２の下面側を支
えるように構成され、図示しないモーターによって回転
し、枚葉処理で液晶表示パネル５２を水平方向に搬送す
る。また、液晶表示パネル５２を安定して搬送できるよ
うに、液晶表示パネル５２の上面側にも搬送ローラー５
１を設ける場合もある。
いても必ず３本以上で液晶表示パネル５２の下面側を支
えるように構成され、図示しないモーターによって回転
し、枚葉処理で液晶表示パネル５２を水平方向に搬送す
る。また、液晶表示パネル５２を安定して搬送できるよ
うに、液晶表示パネル５２の上面側にも搬送ローラー５
１を設ける場合もある。
【０００５】ローラーブラシ５３は、所定の間隔をおい
て、搬送ローラー５１間に搬送ローラー５１と平行とな
るように設けられる。一般的には、ローラーブラシ５３
は液晶表示パネル５２の上面側及び下面側に設けられ、
図示しないモーターによって液晶表示パネル５２の搬送
方向に対して順方向または逆方向に回転させ、液晶表示
パネル５２に付着した埃、ガラス粉及び汚れ等を除去す
る。
て、搬送ローラー５１間に搬送ローラー５１と平行とな
るように設けられる。一般的には、ローラーブラシ５３
は液晶表示パネル５２の上面側及び下面側に設けられ、
図示しないモーターによって液晶表示パネル５２の搬送
方向に対して順方向または逆方向に回転させ、液晶表示
パネル５２に付着した埃、ガラス粉及び汚れ等を除去す
る。
【０００６】ローラーブラシ５３によって液晶表示パネ
ル５２の洗浄を行う際には、液晶表示パネル５２の上面
側及び下面側に設けられたスプレーノズル５４から、洗
浄液５５を液晶表示パネル５２にかけながら洗浄を行
う。洗浄液５５としては、市水または純水等が用いら
れ、中性洗剤等を混ぜることもある。
ル５２の洗浄を行う際には、液晶表示パネル５２の上面
側及び下面側に設けられたスプレーノズル５４から、洗
浄液５５を液晶表示パネル５２にかけながら洗浄を行
う。洗浄液５５としては、市水または純水等が用いら
れ、中性洗剤等を混ぜることもある。
【０００７】ディスクブラシ方式は、図８に示すよう
に、吸着テーブル等の液晶表示パネル固定部５６に液晶
表示パネル５２を固定し、ディスクブラシ５７を液晶表
示パネル５２の表面に円を描くように回転させ、液晶表
示パネル５２を洗浄する方式である。
に、吸着テーブル等の液晶表示パネル固定部５６に液晶
表示パネル５２を固定し、ディスクブラシ５７を液晶表
示パネル５２の表面に円を描くように回転させ、液晶表
示パネル５２を洗浄する方式である。
【０００８】液晶表示パネル５２が図示しないロボット
アーム等によって液晶表示パネル固定部５６に移載さ
れ、ディスクブラシ５７が液晶表示パネル５２の表面に
ブラシの毛先が触れる程度まで移動し、図示しないモー
ターによってディスクブラシ５７が回転することによ
り、液晶表示パネル５２に付着した埃、ガラス粉及び汚
れ等を除去する。
アーム等によって液晶表示パネル固定部５６に移載さ
れ、ディスクブラシ５７が液晶表示パネル５２の表面に
ブラシの毛先が触れる程度まで移動し、図示しないモー
ターによってディスクブラシ５７が回転することによ
り、液晶表示パネル５２に付着した埃、ガラス粉及び汚
れ等を除去する。
【０００９】液晶表示パネル５２の面積がディスクブラ
シ５７の面積よりも大きい場合、ディスクブラシ５７を
液晶表示パネル５２の表面に沿って移動させながら洗浄
を行う。
シ５７の面積よりも大きい場合、ディスクブラシ５７を
液晶表示パネル５２の表面に沿って移動させながら洗浄
を行う。
【００１０】ディスクブラシ５７によって液晶表示パネ
ル５２の洗浄を行う際には、液晶表示パネル５２の上側
に設けられたスプレーノズル５４から、洗浄液５５を液
晶表示パネル５２にかけながら洗浄を行う。洗浄液５５
としては、市水または純水等が用いられ、中性洗剤等を
混ぜることもある。
ル５２の洗浄を行う際には、液晶表示パネル５２の上側
に設けられたスプレーノズル５４から、洗浄液５５を液
晶表示パネル５２にかけながら洗浄を行う。洗浄液５５
としては、市水または純水等が用いられ、中性洗剤等を
混ぜることもある。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】ローラーブラシ方式で
は、前述したように、どのような状況においても必ず３
本以上の搬送ローラーで液晶表示パネルの下面側を支え
る必要があり、表示領域の対角寸法が６インチよりも小
さい小型の液晶表示パネルを洗浄する場合、搬送ローラ
ーの間隔を狭くする必要があり、この狭くなった搬送ロ
ーラーの間にローラーブラシを設けることは困難なもの
となる。
は、前述したように、どのような状況においても必ず３
本以上の搬送ローラーで液晶表示パネルの下面側を支え
る必要があり、表示領域の対角寸法が６インチよりも小
さい小型の液晶表示パネルを洗浄する場合、搬送ローラ
ーの間隔を狭くする必要があり、この狭くなった搬送ロ
ーラーの間にローラーブラシを設けることは困難なもの
となる。
【００１２】また、液晶表示パネルの大きさには関係な
く、液晶表示パネルの搬送方向に対して平行な辺の端子
面には問題はないが、液晶表示パネルの搬送方向に対し
て直交する辺の端子面の洗浄の仕上がり状態が悪くなる
という問題点を有している。
く、液晶表示パネルの搬送方向に対して平行な辺の端子
面には問題はないが、液晶表示パネルの搬送方向に対し
て直交する辺の端子面の洗浄の仕上がり状態が悪くなる
という問題点を有している。
【００１３】ディスクブラシ方式では、洗浄には直接関
係しないディスクブラシの移動機構及び液晶表示パネル
固定部へ移載するためのロボットアーム等が必要である
ため、ローラーブラシ方式と比較すると装置の構成が複
雑なものとなってしまう。さらに、これらの機構が洗浄
液に触れる環境で動作するため、このための対策も必要
となり、コストが高くなってしまう。
係しないディスクブラシの移動機構及び液晶表示パネル
固定部へ移載するためのロボットアーム等が必要である
ため、ローラーブラシ方式と比較すると装置の構成が複
雑なものとなってしまう。さらに、これらの機構が洗浄
液に触れる環境で動作するため、このための対策も必要
となり、コストが高くなってしまう。
【００１４】また、タクトタイムが長くなってしまうた
め、特に大量に生産される小型の液晶表示パネルの洗浄
に用いれば、大きな問題となる。
め、特に大量に生産される小型の液晶表示パネルの洗浄
に用いれば、大きな問題となる。
【００１５】本発明は、以上のような従来の問題点に鑑
みなされたものであって、従来の洗浄装置に対して構成
を複雑なものとすることなく、洗浄の仕上がり状態が良
好で、小型の液晶表示パネルの洗浄にも適用できる洗浄
装置を提供することを目的としている。
みなされたものであって、従来の洗浄装置に対して構成
を複雑なものとすることなく、洗浄の仕上がり状態が良
好で、小型の液晶表示パネルの洗浄にも適用できる洗浄
装置を提供することを目的としている。
【００１６】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明の請求項１記載の洗浄装置は、板状物体
を複数の搬送ローラーで搬送しながらブラシで洗浄する
洗浄装置において、前記板状物体の搬送方向に対して直
交する方向に前記ブラシを摺動させることにより、前記
板状物体の洗浄を行うことを特徴としている。
ために、本発明の請求項１記載の洗浄装置は、板状物体
を複数の搬送ローラーで搬送しながらブラシで洗浄する
洗浄装置において、前記板状物体の搬送方向に対して直
交する方向に前記ブラシを摺動させることにより、前記
板状物体の洗浄を行うことを特徴としている。
【００１７】請求項２記載の洗浄装置は、請求項１記載
の洗浄装置において、前記ブラシが棒状であって、前記
板状物体の搬送方向に対して直交する方向に往復運動す
ることにより、前記板状物体の洗浄を行うことを特徴と
している。
の洗浄装置において、前記ブラシが棒状であって、前記
板状物体の搬送方向に対して直交する方向に往復運動す
ることにより、前記板状物体の洗浄を行うことを特徴と
している。
【００１８】請求項３記載の洗浄装置は、請求項１記載
の洗浄装置において、前記ブラシがリング状であって、
前記板状物体の搬送方向に対して直交する方向に回転す
ることにより、前記板状物体の洗浄を行うことを特徴と
している。
の洗浄装置において、前記ブラシがリング状であって、
前記板状物体の搬送方向に対して直交する方向に回転す
ることにより、前記板状物体の洗浄を行うことを特徴と
している。
【００１９】また、前記板状物体の上面側または下面側
のいずれか一方に、前記板状物体の搬送方向に対して直
交する方向に摺動するブラシを設け、他方に前記板状物
体の搬送方向に対して順方向または逆方向に回転するブ
ラシを設ける構成としてもよい。
のいずれか一方に、前記板状物体の搬送方向に対して直
交する方向に摺動するブラシを設け、他方に前記板状物
体の搬送方向に対して順方向または逆方向に回転するブ
ラシを設ける構成としてもよい。
【００２０】本発明の洗浄装置によれば、板状物体を複
数の搬送ローラーで搬送しながらブラシで洗浄する洗浄
装置において、前記板状物体の搬送方向に対して直交す
る方向に前記ブラシを摺動させることによって前記板状
物体の洗浄を行うことにより、表示領域の対角寸法が６
インチよりも小さい小型の液晶表示パネルを洗浄する場
合であっても、狭くなった搬送ローラーの間にブラシを
設けることができる。
数の搬送ローラーで搬送しながらブラシで洗浄する洗浄
装置において、前記板状物体の搬送方向に対して直交す
る方向に前記ブラシを摺動させることによって前記板状
物体の洗浄を行うことにより、表示領域の対角寸法が６
インチよりも小さい小型の液晶表示パネルを洗浄する場
合であっても、狭くなった搬送ローラーの間にブラシを
設けることができる。
【００２１】さらに、液晶表示パネルの大きさには関係
なく、液晶表示パネルの搬送方向に対して直交する辺の
端子面の洗浄の仕上がり状態を良好なものとすることが
できる。
なく、液晶表示パネルの搬送方向に対して直交する辺の
端子面の洗浄の仕上がり状態を良好なものとすることが
できる。
【００２２】また、前記ブラシが棒状であって、前記板
状物体の搬送方向に対して直交する方向に往復運動する
ことによって前記板状物体の洗浄を行うことにより、小
型の液晶表示パネルを洗浄する場合であっても、狭くな
った搬送ローラーの間にブラシを設けることが容易にな
る。
状物体の搬送方向に対して直交する方向に往復運動する
ことによって前記板状物体の洗浄を行うことにより、小
型の液晶表示パネルを洗浄する場合であっても、狭くな
った搬送ローラーの間にブラシを設けることが容易にな
る。
【００２３】また、前記ブラシがリング状であって、前
記板状物体の搬送方向に対して直交する方向に回転する
ことによって前記板状物体の洗浄を行うことにより、小
型の液晶表示パネルを洗浄する場合であっても、狭くな
った搬送ローラーの間にブラシを設けることが容易にな
る。
記板状物体の搬送方向に対して直交する方向に回転する
ことによって前記板状物体の洗浄を行うことにより、小
型の液晶表示パネルを洗浄する場合であっても、狭くな
った搬送ローラーの間にブラシを設けることが容易にな
る。
【００２４】
【発明の実施の形態】図１乃至図６を用いて、本発明の
実施の形態について説明する。
実施の形態について説明する。
【００２５】（実施の形態１）図１乃至図３を用いて、
本発明の実施の形態１について説明する。図１は本発明
の実施の形態１に係わる洗浄装置を示す斜視図、図２は
本発明の実施の形態１に係わる洗浄装置を示す側面図、
図３は本発明の実施の形態１に係わるブラシを示す説明
図である。
本発明の実施の形態１について説明する。図１は本発明
の実施の形態１に係わる洗浄装置を示す斜視図、図２は
本発明の実施の形態１に係わる洗浄装置を示す側面図、
図３は本発明の実施の形態１に係わるブラシを示す説明
図である。
【００２６】図１及び図２に示すように、搬送ローラー
１は、従来のローラーブラシ方式と同様に、どのような
状況においても必ず３本以上で液晶表示パネル２の下面
側を支えるように構成され、図示しないモーターによっ
て回転し、枚葉処理で液晶表示パネル２を水平方向に搬
送する。液晶表示パネル２を安定して搬送できるよう
に、液晶表示パネル２の上面側にも搬送ローラー１を設
ける。
１は、従来のローラーブラシ方式と同様に、どのような
状況においても必ず３本以上で液晶表示パネル２の下面
側を支えるように構成され、図示しないモーターによっ
て回転し、枚葉処理で液晶表示パネル２を水平方向に搬
送する。液晶表示パネル２を安定して搬送できるよう
に、液晶表示パネル２の上面側にも搬送ローラー１を設
ける。
【００２７】棒状ブラシ３は、所定の間隔をおいて、搬
送ローラー１間に搬送ローラー１と平行となるように設
ける。棒状ブラシ３は、液晶表示パネル２の上面側及び
下面側に設け、液晶表示パネル２の搬送方向に対して直
交する方向に往復運動させることにより、液晶表示パネ
ル２に付着した埃、ガラス粉及び汚れ等を除去する。
送ローラー１間に搬送ローラー１と平行となるように設
ける。棒状ブラシ３は、液晶表示パネル２の上面側及び
下面側に設け、液晶表示パネル２の搬送方向に対して直
交する方向に往復運動させることにより、液晶表示パネ
ル２に付着した埃、ガラス粉及び汚れ等を除去する。
【００２８】棒状ブラシ３によって液晶表示パネル２の
洗浄を行う際には、液晶表示パネル２の上面側及び下面
側に設けたスプレーノズル４から、洗浄液５を液晶表示
パネル２にかけながら洗浄を行う。洗浄液５としては、
市水または純水等を用い、中性洗剤等を混ぜてもかまわ
ない。
洗浄を行う際には、液晶表示パネル２の上面側及び下面
側に設けたスプレーノズル４から、洗浄液５を液晶表示
パネル２にかけながら洗浄を行う。洗浄液５としては、
市水または純水等を用い、中性洗剤等を混ぜてもかまわ
ない。
【００２９】ここで、棒状ブラシ３について説明する。
図３に示すように、棒状ブラシ３は、液晶表示パネル２
の上面側及び下面側に設け、洗浄槽の外部で液晶表示パ
ネル２の上面側及び下面側の棒状ブラシ３の両端を連結
する。
図３に示すように、棒状ブラシ３は、液晶表示パネル２
の上面側及び下面側に設け、洗浄槽の外部で液晶表示パ
ネル２の上面側及び下面側の棒状ブラシ３の両端を連結
する。
【００３０】棒状ブラシ３の連結部６は、両側ともバネ
７によって洗浄槽壁８に連結し、洗浄槽壁８と連結部６
の間には、一方のバネ７が伸びれば他方のバネ７が縮む
ようにカム９を設ける。
７によって洗浄槽壁８に連結し、洗浄槽壁８と連結部６
の間には、一方のバネ７が伸びれば他方のバネ７が縮む
ようにカム９を設ける。
【００３１】カム９は、図示しないモーターによって回
転し、カム９の回転とバネ７の伸縮とにより、棒状ブラ
シ３が液晶表示パネル２の搬送方向に対して直交する方
向に往復運動し、液晶表示パネル２に付着した埃、ガラ
ス粉及び汚れ等を除去する。
転し、カム９の回転とバネ７の伸縮とにより、棒状ブラ
シ３が液晶表示パネル２の搬送方向に対して直交する方
向に往復運動し、液晶表示パネル２に付着した埃、ガラ
ス粉及び汚れ等を除去する。
【００３２】尚、実施の形態１では、棒状ブラシ３を往
復運動させる機構の一例を説明したが、他の機構を用い
て棒状ブラシ３を往復運動させてもかまわない。また、
棒状ブラシ３は、液晶表示パネル２の上面側と下面側と
で別々に駆動させてもよく、液晶表示パネル２の上面側
と下面側とで逆方向に駆動させてもかまわない。
復運動させる機構の一例を説明したが、他の機構を用い
て棒状ブラシ３を往復運動させてもかまわない。また、
棒状ブラシ３は、液晶表示パネル２の上面側と下面側と
で別々に駆動させてもよく、液晶表示パネル２の上面側
と下面側とで逆方向に駆動させてもかまわない。
【００３３】また、棒状ブラシ３は、液晶表示パネル２
の上面側のみまたは下面側のみに設けてもよく、液晶表
示パネル２の上面側または下面側のいずれか一方に棒状
ブラシ３を設け、他方にローラーブラシを設ける構成と
してもかまわない。
の上面側のみまたは下面側のみに設けてもよく、液晶表
示パネル２の上面側または下面側のいずれか一方に棒状
ブラシ３を設け、他方にローラーブラシを設ける構成と
してもかまわない。
【００３４】（実施の形態２）図４乃至図６を用いて、
本発明の実施の形態２について説明する。図４は本発明
の実施の形態２に係わる洗浄装置を示す斜視図、図５は
本発明の実施の形態２に係わる洗浄装置を示す側面図、
図６は本発明の実施の形態２に係わるブラシを示す説明
図である。
本発明の実施の形態２について説明する。図４は本発明
の実施の形態２に係わる洗浄装置を示す斜視図、図５は
本発明の実施の形態２に係わる洗浄装置を示す側面図、
図６は本発明の実施の形態２に係わるブラシを示す説明
図である。
【００３５】図４及び図５に示すように、搬送ローラー
１は、従来のローラーブラシ方式と同様に、どのような
状況においても必ず３本以上で液晶表示パネル２の下面
側を支えるように構成され、図示しないモーターによっ
て回転し、枚葉処理で液晶表示パネル２を水平方向に搬
送する。液晶表示パネル２を安定して搬送できるよう
に、液晶表示パネル２の上面側にも搬送ローラー１を設
ける。
１は、従来のローラーブラシ方式と同様に、どのような
状況においても必ず３本以上で液晶表示パネル２の下面
側を支えるように構成され、図示しないモーターによっ
て回転し、枚葉処理で液晶表示パネル２を水平方向に搬
送する。液晶表示パネル２を安定して搬送できるよう
に、液晶表示パネル２の上面側にも搬送ローラー１を設
ける。
【００３６】リング状ブラシ１０は、タイミングベルト
の外側をブラシとしたものを用い、所定の間隔をおい
て、搬送ローラー１間に搬送ローラー１と平行となるよ
うに設ける。リング状ブラシ１０は、液晶表示パネル２
の上面側及び下面側に設け、液晶表示パネル２の搬送方
向に対して直交する方向に回転させることにより、液晶
表示パネル２に付着した埃、ガラス粉及び汚れ等を除去
する。
の外側をブラシとしたものを用い、所定の間隔をおい
て、搬送ローラー１間に搬送ローラー１と平行となるよ
うに設ける。リング状ブラシ１０は、液晶表示パネル２
の上面側及び下面側に設け、液晶表示パネル２の搬送方
向に対して直交する方向に回転させることにより、液晶
表示パネル２に付着した埃、ガラス粉及び汚れ等を除去
する。
【００３７】リング状ブラシ１０によって液晶表示パネ
ル２の洗浄を行う際には、液晶表示パネル２の上面側及
び下面側に設けたスプレーノズル４から、洗浄液５を液
晶表示パネル２にかけながら洗浄を行う。洗浄液５とし
ては、市水または純水等を用い、中性洗剤等を混ぜても
かまわない。
ル２の洗浄を行う際には、液晶表示パネル２の上面側及
び下面側に設けたスプレーノズル４から、洗浄液５を液
晶表示パネル２にかけながら洗浄を行う。洗浄液５とし
ては、市水または純水等を用い、中性洗剤等を混ぜても
かまわない。
【００３８】ここで、リング状ブラシ１０について説明
する。図６に示すように、リング状ブラシ１０は、液晶
表示パネル２の上面側及び下面側に設け、図示しないモ
ーターによって歯車１１を回転させ、歯車１１の回転に
より、リング状ブラシ１０が液晶表示パネル２の搬送方
向に対して直交する方向に回転し、液晶表示パネル２に
付着した埃、ガラス粉及び汚れ等を除去する。
する。図６に示すように、リング状ブラシ１０は、液晶
表示パネル２の上面側及び下面側に設け、図示しないモ
ーターによって歯車１１を回転させ、歯車１１の回転に
より、リング状ブラシ１０が液晶表示パネル２の搬送方
向に対して直交する方向に回転し、液晶表示パネル２に
付着した埃、ガラス粉及び汚れ等を除去する。
【００３９】尚、実施の形態２では、リング状ブラシ１
０を回転させる機構の一例を説明したが、他の機構を用
いてリング状ブラシ１０を回転させてもかまわない。ま
た、リング状ブラシ１０は、液晶表示パネル２の上面側
と下面側とで逆方向に駆動させてもかまわない。
０を回転させる機構の一例を説明したが、他の機構を用
いてリング状ブラシ１０を回転させてもかまわない。ま
た、リング状ブラシ１０は、液晶表示パネル２の上面側
と下面側とで逆方向に駆動させてもかまわない。
【００４０】また、リング状ブラシ１０は、液晶表示パ
ネル２の上面側のみまたは下面側のみに設けてもよく、
液晶表示パネル２の上面側または下面側のいずれか一方
にリング状ブラシ１０を設け、他方にローラーブラシを
設ける構成としてもかまわない。
ネル２の上面側のみまたは下面側のみに設けてもよく、
液晶表示パネル２の上面側または下面側のいずれか一方
にリング状ブラシ１０を設け、他方にローラーブラシを
設ける構成としてもかまわない。
【００４１】
【発明の効果】以上の説明のように、本発明の洗浄装置
によれば、板状物体を複数の搬送ローラーで搬送しなが
らブラシで洗浄する洗浄装置において、前記板状物体の
搬送方向に対して直交する方向に前記ブラシを摺動させ
ることによって前記板状物体の洗浄を行うことにより、
小型の液晶表示パネルを洗浄する場合であっても、狭く
なった搬送ローラーの間にブラシを設けることができる
ため、従来の洗浄装置に対して構成を複雑なものとする
ことなく、小型の液晶表示パネルの洗浄にも適用できる
洗浄装置を得ることが可能となる。
によれば、板状物体を複数の搬送ローラーで搬送しなが
らブラシで洗浄する洗浄装置において、前記板状物体の
搬送方向に対して直交する方向に前記ブラシを摺動させ
ることによって前記板状物体の洗浄を行うことにより、
小型の液晶表示パネルを洗浄する場合であっても、狭く
なった搬送ローラーの間にブラシを設けることができる
ため、従来の洗浄装置に対して構成を複雑なものとする
ことなく、小型の液晶表示パネルの洗浄にも適用できる
洗浄装置を得ることが可能となる。
【００４２】さらに、液晶表示パネルの大きさには関係
なく、液晶表示パネルの搬送方向に対して直交する辺の
端子面の洗浄の仕上がり状態を良好なものとすることが
できる。
なく、液晶表示パネルの搬送方向に対して直交する辺の
端子面の洗浄の仕上がり状態を良好なものとすることが
できる。
【００４３】また、前記ブラシが棒状であって、前記板
状物体の搬送方向に対して直交する方向に往復運動する
ことによって前記板状物体の洗浄を行うことにより、小
型の液晶表示パネルを洗浄する場合であっても、狭くな
った搬送ローラーの間にブラシを設けることが容易にな
る。
状物体の搬送方向に対して直交する方向に往復運動する
ことによって前記板状物体の洗浄を行うことにより、小
型の液晶表示パネルを洗浄する場合であっても、狭くな
った搬送ローラーの間にブラシを設けることが容易にな
る。
【００４４】また、前記ブラシがリング状であって、前
記板状物体の搬送方向に対して直交する方向に回転する
ことによって前記板状物体の洗浄を行うことにより、小
型の液晶表示パネルを洗浄する場合であっても、狭くな
った搬送ローラーの間にブラシを設けることが容易にな
る。
記板状物体の搬送方向に対して直交する方向に回転する
ことによって前記板状物体の洗浄を行うことにより、小
型の液晶表示パネルを洗浄する場合であっても、狭くな
った搬送ローラーの間にブラシを設けることが容易にな
る。
【図１】本発明の実施の形態１に係わる洗浄装置を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係わる洗浄装置を示す
側面図である。
側面図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係わるブラシを示す説
明図である。
明図である。
【図４】本発明の実施の形態２に係わる洗浄装置を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係わる洗浄装置を示す
側面図である。
側面図である。
【図６】本発明の実施の形態２に係わるブラシを示す説
明図である。
明図である。
【図７】従来のローラーブラシ方式の洗浄装置を示す側
面図である。
面図である。
【図８】従来のディスクブラシ方式の洗浄装置を示す側
面図である。
面図である。
１ 搬送ローラー ２ 液晶表示パネル ３ 棒状ブラシ ４ スプレーノズル ５ 洗浄液 ６ 連結部 ７ バネ ８ 洗浄槽壁 ９ カム １０ リング状ブラシ １１ 歯車 ５１ 搬送ローラー ５２ 液晶表示パネル ５３ ローラーブラシ ５４ スプレーノズル ５５ 洗浄液 ５６ 液晶表示パネル固定部 ５７ ディスクブラシ
Claims (3)
- 【請求項１】 板状物体を複数の搬送ローラーで搬送し
ながらブラシで洗浄する洗浄装置において、前記板状物
体の搬送方向に対して直交する方向に前記ブラシを摺動
させることにより、前記板状物体の洗浄を行うことを特
徴とする洗浄装置。 - 【請求項２】 前記ブラシが棒状であって、前記板状物
体の搬送方向に対して直交する方向に往復運動すること
により、前記板状物体の洗浄を行うことを特徴とする請
求項１記載の洗浄装置。 - 【請求項３】 前記ブラシがリング状であって、前記板
状物体の搬送方向に対して直交する方向に回転すること
により、前記板状物体の洗浄を行うことを特徴とする請
求項１記載の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8194449A JPH1034090A (ja) | 1996-07-24 | 1996-07-24 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8194449A JPH1034090A (ja) | 1996-07-24 | 1996-07-24 | 洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1034090A true JPH1034090A (ja) | 1998-02-10 |
Family
ID=16324764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8194449A Pending JPH1034090A (ja) | 1996-07-24 | 1996-07-24 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1034090A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006068706A (ja) * | 2004-09-06 | 2006-03-16 | Nihon Micro Coating Co Ltd | パネルクリーニング装置及び方法 |
| WO2007129790A1 (en) * | 2006-05-10 | 2007-11-15 | Ledtech Co., Ltd. | Apparatus for cleaning planar object |
| KR100853378B1 (ko) * | 2006-10-24 | 2008-08-21 | 주식회사 케이씨텍 | 대면적 기판의 접촉식 세정장치 |
| CN100446177C (zh) * | 2005-12-13 | 2008-12-24 | 大日本网目版制造株式会社 | 基板处理方法以及基板处理装置 |
| CN103143515A (zh) * | 2013-03-01 | 2013-06-12 | 佛山市森科能源科技开发有限公司 | 一种板材模具清理装置 |
| CN104192474A (zh) * | 2014-09-23 | 2014-12-10 | 太仓万冠涂装设备有限公司 | 一种铝板除尘输送辊 |
| CN107433277A (zh) * | 2017-10-12 | 2017-12-05 | 江苏秉宸科技有限公司 | 一种单晶硅棒切割后的水洗脱胶台 |
| CN111822409A (zh) * | 2020-07-30 | 2020-10-27 | 衡阳市迪曼电子产品有限公司 | 电源适配器用pcb板生产的清洗设备 |
-
1996
- 1996-07-24 JP JP8194449A patent/JPH1034090A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006068706A (ja) * | 2004-09-06 | 2006-03-16 | Nihon Micro Coating Co Ltd | パネルクリーニング装置及び方法 |
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| CN111822409A (zh) * | 2020-07-30 | 2020-10-27 | 衡阳市迪曼电子产品有限公司 | 电源适配器用pcb板生产的清洗设备 |
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