JP2002166239A - 基板洗浄方法 - Google Patents
基板洗浄方法Info
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 16
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 17
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 7
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- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 洗浄装置の占有スペースを従来装置の約半分
とし、また、洗浄サイクルタイムも短縮する。 【解決手段】 被洗浄基板１が載置されるテーブル１０
側を固定とし、これに対して、被洗浄基板１を超音波振
動空気により洗浄する洗浄ヘッド２０側を往復させる。
とし、また、洗浄サイクルタイムも短縮する。 【解決手段】 被洗浄基板１が載置されるテーブル１０
側を固定とし、これに対して、被洗浄基板１を超音波振
動空気により洗浄する洗浄ヘッド２０側を往復させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラスなどの基板
表面に付着している異物を超音波振動空気により除去す
る気体洗浄による基板洗浄方法に関するものである。
表面に付着している異物を超音波振動空気により除去す
る気体洗浄による基板洗浄方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ゴミを嫌う精密基板の一つとして、液晶
表示パネルに用いられる透明電極基板がある。透明電極
基板はガラスもしくはプラスチックからなるが、その表
面に付着している異物が１〜数１０μｍ程度の微小なも
のであっても、製品の歩留まりに悪影響を与える。
表示パネルに用いられる透明電極基板がある。透明電極
基板はガラスもしくはプラスチックからなるが、その表
面に付着している異物が１〜数１０μｍ程度の微小なも
のであっても、製品の歩留まりに悪影響を与える。
【０００３】この異物を除去する方法として、洗剤や溶
剤を使用する化学的洗浄方法、不織布などを接触させる
物理的洗浄方法、圧縮空気の吹き付けおよび／または負
圧吸引による気体洗浄方法などがあるが、透明電極基板
にとっては、非接触方式の気体洗浄方法が好ましいと言
える。
剤を使用する化学的洗浄方法、不織布などを接触させる
物理的洗浄方法、圧縮空気の吹き付けおよび／または負
圧吸引による気体洗浄方法などがあるが、透明電極基板
にとっては、非接触方式の気体洗浄方法が好ましいと言
える。
【０００４】気体洗浄方法もいくつかの種類があるが、
中でも超音波振動空気を被洗浄基板に吹き付ける方法が
有効で多用されている。超音波振動空気は、超音波振動
子を備えたエアノズルに空気を通すことにより得られる
が、その超音波振動空気はエアノズルにより絞られて噴
出されるため、被洗浄基板の全面を洗浄するにあたっ
て、従来では次のようにしている。
中でも超音波振動空気を被洗浄基板に吹き付ける方法が
有効で多用されている。超音波振動空気は、超音波振動
子を備えたエアノズルに空気を通すことにより得られる
が、その超音波振動空気はエアノズルにより絞られて噴
出されるため、被洗浄基板の全面を洗浄するにあたっ
て、従来では次のようにしている。
【０００５】すなわち、図５に示すように、被洗浄基板
１を載置するテーブル２と、その上方に配置された洗浄
ヘッド３とを備え、洗浄ヘッド３に対してテーブル２を
移動させることにより、洗浄ヘッド３からの超音波振動
空気を被洗浄基板１の全面に浴びせて洗浄するようにし
ている。
１を載置するテーブル２と、その上方に配置された洗浄
ヘッド３とを備え、洗浄ヘッド３に対してテーブル２を
移動させることにより、洗浄ヘッド３からの超音波振動
空気を被洗浄基板１の全面に浴びせて洗浄するようにし
ている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これに
よるとテーブル２を少なくとも被洗浄基板１の２枚分に
相当する距離Ａだけ移動させる必要があるため、洗浄装
置が大型となり設置スペース上好ましくない。また、洗
浄サイクルタイムについても良好とは言えない。
よるとテーブル２を少なくとも被洗浄基板１の２枚分に
相当する距離Ａだけ移動させる必要があるため、洗浄装
置が大型となり設置スペース上好ましくない。また、洗
浄サイクルタイムについても良好とは言えない。
【０００７】この点を、被洗浄基板１を洗浄ヘッド３の
下方を１回通過させることにより洗浄が完了するものと
し、また、図２の左側ステージでワーク搬入、右側のス
テージでワーク搬出が行なわれるものとして説明する
と、１枚あたり次の４ステップを要する。
下方を１回通過させることにより洗浄が完了するものと
し、また、図２の左側ステージでワーク搬入、右側のス
テージでワーク搬出が行なわれるものとして説明する
と、１枚あたり次の４ステップを要する。
【０００８】すなわち、左側ステージでのワーク搬
入、テーブル２を右側ステージに向け移動させて洗
浄、右側ステージでのワーク搬出、テーブル２を左
側ステージに向けて空送りの４ステップ。
入、テーブル２を右側ステージに向け移動させて洗
浄、右側ステージでのワーク搬出、テーブル２を左
側ステージに向けて空送りの４ステップ。
【０００９】なお、左側ステージと右側ステージの各々
に、ワーク搬入機構およびワーク搬出機構を設ければ、
テーブル２の１往復で２枚の被洗浄基板１を処理できる
が、ワーク搬入機構およびワーク搬出機構を追加する分
のコストアップが問題となるので好ましくない。
に、ワーク搬入機構およびワーク搬出機構を設ければ、
テーブル２の１往復で２枚の被洗浄基板１を処理できる
が、ワーク搬入機構およびワーク搬出機構を追加する分
のコストアップが問題となるので好ましくない。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、洗浄装
置の占有スペースが従来装置の約半分で済み、また、洗
浄サイクルタイムも短縮することができる。
置の占有スペースが従来装置の約半分で済み、また、洗
浄サイクルタイムも短縮することができる。
【００１１】そのため、本発明は、ガラスなどの被洗浄
基板が載置されるテーブルと、同テーブル上の上記被洗
浄基板を超音波振動空気により洗浄する洗浄ヘッドとを
含み、上記テーブルの位置を固定とし、これに対して上
記洗浄ヘッドを往復動させることを特徴としている。
基板が載置されるテーブルと、同テーブル上の上記被洗
浄基板を超音波振動空気により洗浄する洗浄ヘッドとを
含み、上記テーブルの位置を固定とし、これに対して上
記洗浄ヘッドを往復動させることを特徴としている。
【００１２】これによれば、洗浄ヘッドをテーブルの幅
範囲内で移動させればよく、洗浄装置の占有スペースを
従来装置の約半分とすることができる。
範囲内で移動させればよく、洗浄装置の占有スペースを
従来装置の約半分とすることができる。
【００１３】また、洗浄ヘッドの１回の移動により洗浄
が完了するものとして、洗浄ヘッドの往路および復路ご
とに、被洗浄基板を取り替えることにより、洗浄ヘッド
の１往復につき２枚の上記被洗浄基板を洗浄することが
でき、その分、洗浄サイクルタイムを短縮できる。
が完了するものとして、洗浄ヘッドの往路および復路ご
とに、被洗浄基板を取り替えることにより、洗浄ヘッド
の１往復につき２枚の上記被洗浄基板を洗浄することが
でき、その分、洗浄サイクルタイムを短縮できる。
【００１４】使用する洗浄ヘッドは、中央に超音波振動
空気を吹き出すエアノズルを有し、その左右両側に空気
を吸い込むサクションノズルが配置された洗浄ヘッド、
もしくはその配置を逆にして、中央に空気を吸い込むサ
クションノズルを有し、その左右両側に超音波振動空気
を吹き出すエアノズルが配置された洗浄ヘッドが好まし
いが、超音波振動空気を吹き出すエアノズルのみを有す
る洗浄ヘッドであってもよい。
空気を吹き出すエアノズルを有し、その左右両側に空気
を吸い込むサクションノズルが配置された洗浄ヘッド、
もしくはその配置を逆にして、中央に空気を吸い込むサ
クションノズルを有し、その左右両側に超音波振動空気
を吹き出すエアノズルが配置された洗浄ヘッドが好まし
いが、超音波振動空気を吹き出すエアノズルのみを有す
る洗浄ヘッドであってもよい。
【００１５】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態について
説明する。この実施形態は、被洗浄物として液晶表示パ
ネルに用いられるガラス基板を選択した場合のもので、
図１にはガラス基板１をテーブル１０上に載置した状態
が示されている。
説明する。この実施形態は、被洗浄物として液晶表示パ
ネルに用いられるガラス基板を選択した場合のもので、
図１にはガラス基板１をテーブル１０上に載置した状態
が示されている。
【００１６】本発明によると、テーブル１０の位置は固
定で、これに対して、洗浄ヘッド２０がテーブル１０上
の所定高さ位置において、そのテーブル面と平行に往復
動可能に設けられている。なお、テーブル１０は図示し
ない負圧源に連結されており、その負圧によりガラス基
板１を一時的に吸着保持する。
定で、これに対して、洗浄ヘッド２０がテーブル１０上
の所定高さ位置において、そのテーブル面と平行に往復
動可能に設けられている。なお、テーブル１０は図示し
ない負圧源に連結されており、その負圧によりガラス基
板１を一時的に吸着保持する。
【００１７】図示されていないが、洗浄ヘッド２０の駆
動手段は、例えばサーボ系の送りねじ機構やチェーン駆
動機構もしくはリニアテーブルなどであってよい。ま
た、図示されていないが、テーブル１０にはワークを搬
入・搬出するワーク運搬手段が付設されている。
動手段は、例えばサーボ系の送りねじ機構やチェーン駆
動機構もしくはリニアテーブルなどであってよい。ま
た、図示されていないが、テーブル１０にはワークを搬
入・搬出するワーク運搬手段が付設されている。
【００１８】往路、復路のいずれでも、１回の走行によ
りガラス基板１の洗浄を効果的に行えるようにするた
め、図２に示すように、洗浄ヘッド２０は中央に超音波
振動空気を吹き出すエアノズル２１を有し、その左右両
側（走行方向Ｂに沿って前後両側）に空気を吸い込むサ
クションノズル２２，２２を配置した構成であることが
好ましい。
りガラス基板１の洗浄を効果的に行えるようにするた
め、図２に示すように、洗浄ヘッド２０は中央に超音波
振動空気を吹き出すエアノズル２１を有し、その左右両
側（走行方向Ｂに沿って前後両側）に空気を吸い込むサ
クションノズル２２，２２を配置した構成であることが
好ましい。
【００１９】また、図３に示すように、エアノズル２１
とサクションノズル２２の位置を入れ替えて、中央にサ
クションノズル２２を配置し、その左右両側にエアノズ
ル２１，２１を配置した構成としてもよい。
とサクションノズル２２の位置を入れ替えて、中央にサ
クションノズル２２を配置し、その左右両側にエアノズ
ル２１，２１を配置した構成としてもよい。
【００２０】次に、図４を参照して、本発明の洗浄方法
について説明する。まず、図４（ａ）に示すように、洗
浄ヘッド２０がテーブル１０の例えば左端位置の初期位
置にあるとき、ワーク運搬手段（図示省略）により１枚
目のガラス基板１ａがテーブル１０上に載置される。ガ
ラス基板１ａはテーブル１０に負圧吸着される。
について説明する。まず、図４（ａ）に示すように、洗
浄ヘッド２０がテーブル１０の例えば左端位置の初期位
置にあるとき、ワーク運搬手段（図示省略）により１枚
目のガラス基板１ａがテーブル１０上に載置される。ガ
ラス基板１ａはテーブル１０に負圧吸着される。
【００２１】次に、図４（ｂ）に示すように、洗浄ヘッ
ド２０が往路としてテーブル１０の右端位置に向けて走
行し、超音波振動空気にてガラス基板１ａを洗浄する。
そして、図４（ｃ）に示すように、洗浄ヘッド２０がテ
ーブル１０の右端位置に到来すると、ワーク運搬手段に
より洗浄済みのガラス基板１ａがテーブル１０から外さ
れる。
ド２０が往路としてテーブル１０の右端位置に向けて走
行し、超音波振動空気にてガラス基板１ａを洗浄する。
そして、図４（ｃ）に示すように、洗浄ヘッド２０がテ
ーブル１０の右端位置に到来すると、ワーク運搬手段に
より洗浄済みのガラス基板１ａがテーブル１０から外さ
れる。
【００２２】しかる後、図４（ｄ）に示すように、ワー
ク運搬手段により２枚目のガラス基板１ｂがテーブル１
０上に載置されると、洗浄ヘッド２０が復路としてテー
ブル１０の左端位置（初期位置）に向けて走行し、超音
波振動空気にてガラス基板１ｂを洗浄する。そして、図
４（ａ）の状態に戻り以下これを繰り返す。
ク運搬手段により２枚目のガラス基板１ｂがテーブル１
０上に載置されると、洗浄ヘッド２０が復路としてテー
ブル１０の左端位置（初期位置）に向けて走行し、超音
波振動空気にてガラス基板１ｂを洗浄する。そして、図
４（ａ）の状態に戻り以下これを繰り返す。
【００２３】このように、本発明によれば、洗浄ヘッド
２０の１往復につき、２枚のガラス基板を洗浄すること
ができる。また、１枚のガラス基板の洗浄に要するステ
ップは、ワーク搬入、洗浄ヘッド２０の一方向走行
による洗浄、ワーク搬出の３ステップとなり、先に説
明した従来例でのテーブルの空送りステップが不要で、
その分、サイクルタイムが短縮される。
２０の１往復につき、２枚のガラス基板を洗浄すること
ができる。また、１枚のガラス基板の洗浄に要するステ
ップは、ワーク搬入、洗浄ヘッド２０の一方向走行
による洗浄、ワーク搬出の３ステップとなり、先に説
明した従来例でのテーブルの空送りステップが不要で、
その分、サイクルタイムが短縮される。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被洗浄基板が載置されるテーブル側を固定とし、これに
対して、被洗浄基板を超音波振動空気により洗浄する洗
浄ヘッド側を往復させるようにしたことにより、洗浄装
置の占有スペースが従来装置の約半分で済み、また、洗
浄サイクルタイムも短縮することができる。
被洗浄基板が載置されるテーブル側を固定とし、これに
対して、被洗浄基板を超音波振動空気により洗浄する洗
浄ヘッド側を往復させるようにしたことにより、洗浄装
置の占有スペースが従来装置の約半分で済み、また、洗
浄サイクルタイムも短縮することができる。
【図１】本発明の実施形態を示した模式図。
【図２】上記実施形態で用いられる洗浄ヘッドのノズル
配置を示した側面図。
配置を示した側面図。
【図３】上記洗浄ヘッドの変形例を示した側面図。
【図４】本発明による洗浄方法の洗浄ステップを示した
説明図。
説明図。
【図５】従来例を説明するための模式図。
１，１ａ，１ｂ ガラス基板（被洗浄基板） １０ テーブル ２０ 洗浄ヘッド ２１ エアノズル ２２ サクションノズル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H088 FA17 FA21 FA24 FA30 2H090 HC18 JB02 JC19 3B116 AA02 AB01 AB47 BB21 BB44 BB83 BB88
Claims (4)
- 【請求項１】 ガラスなどの被洗浄基板が載置されるテ
ーブルと、同テーブル上の上記被洗浄基板を超音波振動
空気により洗浄する洗浄ヘッドとを含み、上記テーブル
の位置を固定とし、これに対して上記洗浄ヘッドを往復
動させることを特徴とする基板洗浄方法。 - 【請求項２】 上記洗浄ヘッドの往路および復路ごとに
上記被洗浄基板を取り替えて、上記洗浄ヘッドの１往復
につき２枚の上記被洗浄基板を洗浄する請求項１に記載
の基板洗浄方法。 - 【請求項３】 上記洗浄ヘッドとして、中央に超音波振
動空気を吹き出すエアノズルを有し、その左右両側に空
気を吸い込むサクションノズルが配置された洗浄ヘッド
を用いる請求項１または２に記載の基板洗浄方法。 - 【請求項４】 上記洗浄ヘッドとして、中央に空気を吸
い込むサクションノズルを有し、その左右両側に超音波
振動空気を吹き出すエアノズルが配置された洗浄ヘッド
を用いる請求項１または２に記載の基板洗浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000364454A JP2002166239A (ja) | 2000-11-30 | 2000-11-30 | 基板洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000364454A JP2002166239A (ja) | 2000-11-30 | 2000-11-30 | 基板洗浄方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002166239A true JP2002166239A (ja) | 2002-06-11 |
Family
ID=18835395
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000364454A Pending JP2002166239A (ja) | 2000-11-30 | 2000-11-30 | 基板洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002166239A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007007407A1 (ja) * | 2005-07-07 | 2007-01-18 | Hugle Electronics Inc. | スポットクリーナ |
| CN100467140C (zh) * | 2004-05-10 | 2009-03-11 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 涂布装置 |
| JP2012199458A (ja) * | 2011-03-23 | 2012-10-18 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | 異物除去装置及びそれを備えたダイボンダ |
| JP2013193060A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Sharp Corp | 除塵装置および除塵方法 |
| CN107234101A (zh) * | 2017-07-28 | 2017-10-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种基板清洗装置 |
| CN110153078A (zh) * | 2019-05-24 | 2019-08-23 | 清华大学 | 一种基板清洗头及基板清洗装置 |
| CN110153079A (zh) * | 2019-05-24 | 2019-08-23 | 清华大学 | 一种基板清洗头及基板清洗装置 |
| KR20210021815A (ko) * | 2019-08-19 | 2021-03-02 | 주식회사 포스코 | 이물 제거장치 |
| CN116390818A (zh) * | 2021-08-26 | 2023-07-04 | 雅马哈智能机器控股株式会社 | 音响式异物去除装置 |
-
2000
- 2000-11-30 JP JP2000364454A patent/JP2002166239A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP4653169B2 (ja) * | 2005-07-07 | 2011-03-16 | ヒューグルエレクトロニクス株式会社 | スポットクリーナ |
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| CN110153078A (zh) * | 2019-05-24 | 2019-08-23 | 清华大学 | 一种基板清洗头及基板清洗装置 |
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| KR20210021815A (ko) * | 2019-08-19 | 2021-03-02 | 주식회사 포스코 | 이물 제거장치 |
| KR102323789B1 (ko) * | 2019-08-19 | 2021-11-10 | 주식회사 포스코 | 이물 제거장치 |
| CN116390818A (zh) * | 2021-08-26 | 2023-07-04 | 雅马哈智能机器控股株式会社 | 音响式异物去除装置 |
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