JPH10340669A

JPH10340669A - プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法及びそれに使用する障壁形成用シート

Info

Publication number: JPH10340669A
Application number: JP10095720A
Authority: JP
Inventors: Koichi Asahi; 晃一旭; Katsuhiko Mizuno; 克彦水野; Takeshi Nakamura; 中村　　剛; Shiyouji Takeshige; 彰詞竹重
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1997-04-09
Filing date: 1998-04-08
Publication date: 1998-12-22

Abstract

(57)【要約】【課題】白色部分の上に黒色部分が積層した構造の２
段障壁を簡単な工程で形成する。【解決手段】基材フィルム１２上に黒色層１３と白色
層１４とがこの順で積層された２層構造の障壁形成層２
２を形成しておき、この障壁形成用シート１１から基板
２１上に黒色層１３と白色層１４を一括転写するか、基
板上に白色層と黒色層をこの順で別々に転写して２層構
造の障壁形成層を形成する。このようにして２層構造の
障壁形成層を転写により形成し、これをサンドブラスト
加工によりパターニングする。スクリーン印刷により２
層構造の障壁形成層を形成するのに比べると工程の短縮
が図れ、障壁形成材料ペーストを基板に直接塗布して障
壁形成層を形成するのに比べても設備コストがかから
ず、そのためのスペースも必要ない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネル（以下、ＰＤＰと記す）の製造工程に係わる
ものであり、詳しくはＰＤＰの放電空間を構成する障壁
の形成方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般にＰＤＰは、２枚の対向するガラス
基板にそれぞれ規則的に配列した一対の電極を設け、そ
の間にＮｅ、Ｘｅ等を主体とするガスを封入した構造に
なっている。そして、これらの電極間に電圧を印加し、
電極周辺の微小なセル内で放電を発生させることによ
り、各セルを発光させて表示を行うようにしている。情
報表示をするためには、規則的に並んだセルを選択的に
放電発光させる。このＰＤＰには、電極が放電空間に露
出している直流型（ＤＣ型）と絶縁層で覆われている交
流型（ＡＣ型）の２タイプがあり、双方とも表示機能や
駆動方法の違いによって、さらにリフレッシュ駆動方式
とメモリー駆動方式とに分類される。

【０００３】図１にＡＣ型ＰＤＰの一構成例を示してあ
る。この図は前面板と背面板を離した状態で示したもの
で、図示のように２枚のガラス基板１，２が互いに平行
に且つ対向して配設されており、両者は背面板となるガ
ラス基板２上に互いに平行に設けられた障壁３により一
定の間隔に保持されるようになっている。前面板となる
ガラス基板１の背面側には透明電極である維持電極４と
金属電極であるバス電極５とで構成される複合電極が互
いに平行に形成され、これを覆って誘電体層６が形成さ
れており、さらにその上に保護層７（ＭｇＯ層）が形成
されている。また、背面板となるガラス基板２の前面側
には前記複合電極と直交するように障壁３の間に位置し
てアドレス電極８が互いに平行に形成されており、その
上に誘電体層９が形成され、さらに障壁３の壁面とセル
底面を覆うようにして蛍光体１０が設けられている。こ
のＡＣ型ＰＤＰは面放電型であって、前面板上の複合電
極間に交流電圧を印加し、空間に漏れた電界で放電させ
る構造である。この場合、交流をかけているために電界
の向きは周波数に対応して変化する。そしてこの放電に
より生じる紫外線により蛍光体１０を発光させ、前面板
を透過する光を観察者が視認するようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の如き
ＰＤＰを高輝度で高コントラストのものにするため、障
壁の頂部を黒色とし底部を白色としたＰＤＰの開発が行
われている。そして、その障壁形成のために種々の方法
が検討されているがそれぞれに問題点がある。例えば、
スクリーン印刷による多数回のパターン刷りにより白色
部分の上に黒色部分を重ねて形成する方法では、スクリ
ーン版の伸び等が原因して位置精度不良が生じるという
問題があり、また重ね刷りのために工程が長く、さらに
は開放系であるがために異物の混入防止等の条件管理が
難しいという問題もある。スクリーン印刷による多数回
のベタ刷りにより白色障壁層と黒色障壁層を重ねて形成
した後、サンドブラスト法によるパターニングで２段障
壁を形成する方法でも、同様に工程が長くかかり、開放
系であるがために条件管理が難しいという問題がある。
また、ダイコーターにより白色障壁材料と黒色障壁材料
を塗布して２層の障壁形成層を形成した後、サンドブラ
スト法によるパターニングで２段障壁を形成する方法で
は、塗布と乾燥の工程を２回繰り返す必要があり、この
ため設備コストがかかり、それらの装置のためのスペー
スが増加するという問題が発生する。

【０００５】本発明は、このような問題点に鑑みなされ
たものであり、その目的とするところは、白色部分の上
に黒色部分が積層した構造の２段障壁を簡単な工程で形
成することのできるようにしたＰＤＰの障壁形成方法を
提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係る第１のＰＤＰの障壁形成方法は、基材
フィルム上に黒色障壁材料の黒色層と白色障壁材料の白
色層とがこの順で積層された２層構造の障壁形成層を形
成しておき、所定の要素を形成してある基板上に前記障
壁形成層を基材フィルムから転写した後、その障壁形成
層上に所望パターンのレジストマスクを形成し、当該レ
ジストマスクを介したサンドブラスト処理により障壁形
成層をパターニングする工程を含むことを特徴とする。
そして、この一括転写タイプの障壁形成方法には、基材
フィルムと、その上に黒色障壁材料ペーストを塗布して
積層された黒色層と、さらにその上に白色障壁材料ペー
ストを塗布して積層された白色層とからなる障壁形成用
シートが使用される。

【０００７】また、同様の目的を達成するため、本発明
に係る第２のＰＤＰの障壁形成方法は、所定の要素を形
成してあるプラズマディスプレイパネル基板上に白色障
壁材料の白色層と黒色障壁材料の黒色層をそれぞれ基材
フィルムからこの順で転写して２層構造の障壁形成層を
形成した後、その障壁形成層上に所望パターンのレジス
トマスクを形成し、当該レジストマスクを介したサンド
ブラスト処理により障壁形成層をパターニングする工程
を含むことを特徴とする。この個別転写タイプの障壁形
成方法の場合は、別の基材フィルム上にそれぞれ黒色層
と白色層を設けた２枚の障壁形成用シートが使用され
る。

【０００８】

【発明の実施の形態】図２は一括転写タイプの障壁形成
用シートの断面図である。この障壁形成用シート１１
は、基材フィルム１２上に黒色障壁材料ペーストを塗布
して黒色層１３を形成し、これが乾燥した後に白色障壁
材料ペーストを塗布して白色層１４を形成することで作
製される。この障壁形成用シート１１を使用してＰＤＰ
基板上に障壁を形成すると、黒色層１３が障壁の上側と
なり白色層１４が障壁の下側になる。また、図示はしな
いが、個別転写タイプの障壁形成用シートは、別の基材
フィルム上にそれぞれ黒色障壁材料ペーストと白色障壁
材料ペーストを塗布して作製される。

【０００９】障壁形成用シートの基材フィルムとして
は、ＰＥＴフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリエス
テルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドフィル
ム、ポリテトラクルオロエチレンフィルム等が使用でき
るが、中でもコストの点でＰＥＴフィルムが好適であ
る。

【００１０】障壁材料としては、ＰｂＯを主成分とする
低融点ガラスフリット、焼成時の形状を安定させるため
の耐火物フィラー及びバインダー樹脂を混合したガラス
ペーストが使用され、これに着色目的の顔料とさらに必
要により溶剤、添加剤等が添加される。

【００１１】低融点ガラスとしては、主成分としてＰｂ
Ｏを５０％以上含み、ガラスの分相を防止する効果を持
たせたり、軟化点を調整したり、熱膨張係数をガラス基
板に合わせたりするために、Ａｌ₂Ｏ₃，Ｂ₂Ｏ₃，Ｓ
ｉＯ₂，ＭｇＯ，ＣａＯ，ＳｒＯ，ＢａＯ等を含有する
ものが一般に用いられる。耐火物フィラーとしては、５
００〜６００℃程度の焼成温度で軟化しないものが広く
使用でき、安価に入手できるものとして、アルミナ、マ
グネシア、カルシア、コージュライト、シリカ、ムライ
ト、ジルコン、ジルコニア等のセラミック粉体が好適に
用いられる。そして、黒色障壁材料とする場合には、Ｃ
ｏ−Ｃｒ−Ｆｅ系、Ｃｏ−Ｍｎ−Ｆｅ系、Ｃｏ−Ｆｅ−
Ｍｎ−Ａｌ系、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ−Ｆｅ系、Ｃｏ−Ｎｉ
−Ｍｎ−Ｃｒ−Ｆｅ系、Ｃｏ−Ｎｉ−Ａｌ−Ｃｒ−Ｆｅ
系、Ｃｏ−Ｍｎ−Ａｌ−Ｃｒ−Ｆｅ−Ｓｉ系等の複合酸
化物、複合酸化物顔料（Ｃｒ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｆｅ，Ｍ
ｎ，Ｃｕ，Ｓｂ，Ａｓ，Ｂｉ，Ｔｉ，Ｃｄ，Ａｌ，Ｃ
ａ，Ｓｉ，Ｍｇ，Ｂａ等の２種以上の金属の酸化物から
なる顔料）、チタンブラック、黒色酸化鉄（Ｆｅ
₃Ｏ₄）等からなる耐火性の黒色顔料を添加する。一
方、白色障壁材料とする場合には、チタニア（Ｔｉ
Ｏ₂）等の明色の顔料を添加する。

【００１２】無機成分中の低融点ガラスの含有率は５０
〜８０重量％が好ましい。多すぎると焼成による形状保
持性に難が生じる。また、脱バインダー性を損ない、緻
密性が悪化するため好ましくない。逆に少なすぎると、
耐火物フィラーの間隙を充分に埋めることができず、緻
密性が悪化すると同時に焼成後の機械的強度が低下し、
パネル封着の際に欠けを生じる。

【００１３】バインダー樹脂は、低温で燃焼／分解／気
化し、炭化物が障壁中に残存しないことが必要であり、
エチルセルロース、メチルセルロース、ニトロセルロー
ス、セルロースアセテート、セルロースプロピオネー
ト、セルロースブチレート等のセルロース系樹脂、又は
メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、ノルマ
ルブチルメタクリレート、イソブチルメタクリレート、
イソプロピルメタクリレート、２−エチルメチルメタク
リレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート等の重
合体若しくは共重合体からなるアクリル系樹脂が好まし
く用いられる。これらのバインダー樹脂は、無機成分に
対して１．０〜２０重量％程度加えるのが好ましい。

【００１４】さらに添加剤として、可塑剤、界面活性
剤、消泡剤、酸化防止剤等が必要に応じて用いられる。
このうち可塑剤は障壁材料をフィルム化した際の柔軟性
を向上させるために添加するのが好ましく、例えば、フ
タル酸エステル類、セバチン酸エステル類、リン酸エス
テル類、アジピン酸エステル類、グリコール酸エステル
類、クエン酸エステル類等が一般的に用いられる。可塑
剤の添加量は無機成分に対して５〜３０重量％が好まし
い。ただし、可塑剤の添加率が高過ぎると樹脂の柔軟性
が増し、サンドブラストによる研削速度が遅くなるの
で、サンドブラスト法により障壁を形成する場合は、可
塑剤が焼失する温度でかつガラスフリットが完全に融着
してしまわない温度にて仮焼成してからサンドブラスト
処理することが好ましい。

【００１５】障壁材料ペーストに使用される溶剤として
は、用いるバインダー樹脂に対して良溶媒であることが
好ましく、テルピオネール、ブチルカルビトールアセテ
ート等が好適に使用される。溶剤の選定は、溶剤の揮発
性と、使用するバインダー樹脂の溶解性を主に考慮して
選定される。バインダー樹脂に対する溶剤の溶解性が低
いと、固形分比が同一でも塗工液の粘度が高くなってし
まい、塗布適性が悪化するという問題を生じる。溶剤の
含有率は、少な過ぎるとリブ材料ペーストの粘度が高く
なりすぎ、ペースト内の気泡を抜くことが困難となる、
レベリング不良により塗布面の平滑性が悪くなる、等の
問題が生じるため好ましくない。逆に多過ぎる場合に
は、分散粒子の沈降が早くなりリブ材料の組成を安定化
することが困難になる、乾燥に多大のエネルギーと時間
を要する、等の問題が生じるため好ましくなく、好適に
は５〜４０重量％である。

【００１６】障壁材料ペーストの製造方法は、少なくと
も低融点ガラス粉末と耐火物フィラーとバインダー樹脂
と溶剤とを含む混合物を、ボールミルにより分散調合す
る。すなわち、バインダー樹脂を溶剤で溶解し必要に応
じて添加剤を加えた溶液（ビヒクル）中に無機成分（低
融点ガラス粉末と耐火物フィラー）を混合してなる混合
物を作製した後、この混合物をボールミルにかけて分散
調合するが、不純物の混入を避けるために、セラミック
ボールを用い、さらに好ましくは内壁がセラミックやプ
ラスチックで被覆されたボールミルを使用する。その
後、さらに３本ロールミルで混練する。そして、必要に
より分散調合した後、真空攪拌機を用いて減圧脱泡す
る。

【００１７】各障壁材料ペーストの基材フィルムへの塗
布方法としては、スクリーン印刷法、ダイコーティン
グ、ブレードコーティング、コンマコーティング、リバ
ースロールコーティング、スプレーコーティング、ガン
コーティング、イクストルージョンコーティング、リッ
プコーティング等が好ましく用いられる。また、一括転
写タイプの障壁形成用シートを作製する場合、スロット
ダイコーター等の同時多層塗布装置を使用して黒色障壁
材料ペーストと白色障壁材料ペーストを一括塗布するよ
うにしてもよい。

【００１８】なお、絶縁性の基材フィルム上に障壁材料
のような絶縁性材料層を形成すると帯電しやすいものに
なるため、基材フィルムに帯電防止処理を施しておくこ
とが好ましい。帯電防止材料としては一般に用いられる
ものを使用すればよく、界面活性剤、親水性基を有する
高分子材料、カーボンや金属粉等を有する塗料、導電性
薄膜等が挙げられる。

【００１９】以下、図１に示したタイプのＡＣ型ＰＤＰ
における背面板に障壁を形成する場合を例に挙げ、図３
及び図４を参照しながら説明する。

【００２０】まず、図３（ａ）に示すように基板２１を
準備する。この基板としては、通常のフロートガラスを
用いることが可能であるが、透光性及び厚みが均一であ
ることが必要である。このようなガラスとしては、Ｓｉ
Ｏ₂，Ａｌ₂Ｏ₃，ＭｇＯ，ＣａＯを主成分として、Ｎ
ａ₂Ｏ，Ｋ₂Ｏ，ＰｂＯ，Ｂ₂Ｏ₃等の副成分からなる
ガラスが挙げられる。

【００２１】ガラス基板の表面には、必要により低融点
ガラスからなる薄膜の下地層を形成する。この下地層
は、ガラス基板からのアルカリ成分等の拡散を防止する
ため、或いは電極、誘電体及び障壁を形成する時のガラ
ス基板との密着力を向上させるために形成しておくこと
が好ましい。その上に、Ａｇ、Ｎｉ、Ｃｕ等の金属及び
これらの合金を低融点ガラスフリット、低温で焼成可能
なバインダー樹脂に分散させた電極ペースト材料を用い
てスクリーン印刷法、フォトリソグラフィ法、充填法、
サンドブラスト法等によりアドレス電極を形成し、必要
により低融点ガラスからなる誘電体層を形成する。誘電
体層は、駆動させる時の安定性のために形成しておくこ
とが好ましい。誘電体層の材料としては、酸化鉛ガラス
や酸化ビスマスを主成分とする低融点ガラスが好適に用
いられる。

【００２２】このようにガラス基板上に下地層、電極、
誘電体層を形成した後、その上に２段構造の障壁を形成
する。なお、図３及び図４では便宜上、ガラス基板２１
上の下地層、電極、誘電体層等の図示を省略してある。

【００２３】まず、基板上に障壁形成層を形成する。図
２に示す一括転写タイプの障壁形成用シートを使用する
場合、図３（ｂ）に示すように、当該シート１１をラミ
ネートしてから基材フィルム１２を剥離することによ
り、黒色層１３と白色層１４の２層からなる障壁形成層
２２を基材フィルム１２から基板２１上に転写する。個
別転写タイプの障壁形成用シートを使用する場合は、白
色層と黒色層をこの順序で転写して２層構造の障壁形成
層を形成する。

【００２４】次に、図３（ｃ）に示すように、障壁形成
層２２の上にドライフィルムレジストをラミネートして
マスク層２３を形成した後、所望パターンのマスクＭを
介してマスク層２３を紫外線で露光し、さらに現像工程
を経て、図３（ｄ）に示すようなサンドブラスト用マス
ク２４を形成する。

【００２５】続いて、図４（ａ）に示すように、サンド
ブラスト用マスク２４を介してサンドブラスト加工を行
って障壁形成層２２をパターニングする。これにより、
障壁形成層２２の不要部分が除去され、図４（ｂ）に示
すように、白色部分２５ａの上に黒色部分２５ｂが重な
った障壁２５がパターニングされる。そして、図４
（ｃ）に示すように、サンドブラスト用マスク２４を剥
離した後、焼成工程を経て２段構造の障壁２５が形成さ
れる。最終的に形成する障壁２５の高さは、焼成後に１
００〜２００μｍとなるのが適当である。

【００２６】

【実施例】基材フィルムに５０μｍ厚のＰＥＴフィルム
を使用し、その上に下記組成Ａの黒色障壁材料ペースト
をダイコーターにより塗布して１７０℃で乾燥させ、そ
の上から下記組成Ｂの白色障壁材料ペーストを同じくダ
イコーターで塗布して１７０℃で乾燥させることで、２
層構造の障壁形成層を有する障壁形成用シートを作製し
た。乾燥後の厚みが下層（フィルム側；黒色層）と上層
（表面側；白色層）がそれぞれ５０μｍと１５０μｍに
なるように塗工量を調整した。

【００２７】＜組成Ａ：黒色障壁材料ペースト＞ガラスフリット：松浪硝子「ＭＢ−００８」６５重量部フィラー（アルミナ）：岩谷化学工業「ＲＡ−４０」１０重量部顔料：大日精化工業「ダイピロキサイドブラック＃９５１０」１０重量部バインダー：ｎ−ブチルメタクリレート／２−ヒドロキシエ８重量部チルメタクリレート共重合体可塑剤：フタル酸ビス（２−エチルヘキシル）５重量部フタル酸ジメチル５重量部溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテル１２重量部

【００２８】＜組成Ｂ：白色障壁材料ペースト＞ガラスフリット：松浪硝子「ＭＢ−００８」６５重量部フィラー（アルミナ）：岩谷化学工業「ＲＡ−４０」１０重量部顔料（酸化チタン）：テイカ「ＭＴ−５００Ｂ」１０重量部バインダー：ｎ−ブチルメタクリレート／２−ヒドロキシエ８重量部チルメタクリレート共重合体可塑剤：フタル酸ビス（２−エチルヘキシル）５重量部フタル酸ジメチル５重量部溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテル１２重量部

【００２９】そして、電極と誘電体層を形成したガラス
基板に上記シートをその上層を誘電体層側に向かい合わ
せ加熱圧着してラミネートした。具体的には、オートカ
ットラミネーター（旭化成「ＡＣＬ−９１００」）を使
用し、基板を８０℃に加熱した状態でラミネートロール
温度１００℃にて転写した。転写速度は２ｍ／ｍｉｎで
ある。このように２層の障壁形成層を基板上に一括転写
した後、２８０〜２９０℃で仮焼成して可塑剤を除去し
た。

【００３０】次いで、基板を８０℃に加熱し、ドライフ
ィルムレジスト（東京応化工業製「ＢＦ−６０３」）を
ラミネートしてから、線幅９０μｍ、ピッチ２５０μｍ
のラインパターンマスクを介して紫外線により露光を行
った。露光条件は３６５ｎｍで測定した時に強度５ｍＷ
／ｃｍ²、照射量４００ｍＪ／ｃｍ²である。露光後、
炭酸ナトリウム０．２ｗｔ％水溶液により液温３０℃で
スプレー現像を行った。これにより線幅９０μｍ、ピッ
チ２５０μｍのサンドブラスト用マスクが得られた。

【００３１】一昼夜室温にて乾燥、エージングした後、
サンドブラスト用マスクを介したサンドブラスト加工を
行って障壁形成層の不要部分を除去した。具体的には、
研磨材としてフジミインコーポレーテッド製「ＦＯ＃８
００」を使用し、噴射量１００ｇ／ｍｉｎ、噴射圧力２
ｋｇｆ／ｃｍ²、基板とノズルとの距離１２０ｍｍ、ノ
ズルのスキャン速度１００ｍｍ／ｓｅｃの条件でサンド
ブラスト加工を行った。サンドブラスト処理を終了した
後、サンドブラスト用マスクを水酸化ナトリウム１ｗｔ
％水溶液でスプレー剥離した。さらに、ピーク温度５８
０℃、保持時間１５分の条件で焼成を行った。これによ
り高さ１２０μｍ、頂部幅５０μｍ、底部幅１００μｍ
の２段障壁がピッチ２５０μｍで形成された。

【００３２】上記のようにして２段障壁を形成した後、
障壁の間に蛍光面を形成して背面板を完成させ、別途作
製した前面板と合わせてパネル化したところ、コントラ
ストが良好で輝度効率の高いＰＤＰが得られた。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の障壁形成
方法では、２層構造の障壁形成層を転写により形成し、
これをサンドブラスト加工によりパターニングするよう
にしたので、スクリーン印刷により２層の障壁形成層を
形成するのに比べると工程の短縮が図れ、また基板上に
障壁形成材料ペーストを直接塗布して障壁形成層を形成
するのに比べても設備コストがかからず、またそのため
のスペースも必要ないという優れた利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】ＡＣ型プラズマディスプレイパネルの一構成例
をその前面板と背面板を離間した状態で示す構造図であ
る。

【図２】一括転写タイプの障壁形成用シートの断面図で
ある。

【図３】一括転写タイプの障壁形成用シートを使用して
基板上に障壁を形成する手順を示す前半の工程図であ
る。

【図４】図３に続く後半の工程図である。

【符号の説明】

１前面板２背面板３障壁４維持電極５バス電極６誘電体層７保護層８アドレス電極９誘電体層１０蛍光体１１障壁形成用シート１２基材フィルム１３黒色層１４白色層２１基板２２障壁形成層２３マスク層２４サンドブラスト用マスク２５障壁２５ａ白色部分２５ｂ黒色部分

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者竹重彰詞東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号大日本印刷株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基材フィルム上に黒色障壁材料の黒色層
と白色障壁材料の白色層とがこの順で積層された２層構
造の障壁形成層を形成しておき、所定の要素を形成して
ある基板上に前記障壁形成層を基材フィルムから転写し
た後、その障壁形成層上に所望パターンのレジストマス
クを形成し、当該レジストマスクを介したサンドブラス
ト処理により障壁形成層をパターニングする工程を含む
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの障壁形
成方法。
【請求項２】基材フィルムと、その上に黒色障壁材料
ペーストを塗布して形成された黒色層と、さらにその上
に白色障壁材料ペーストを塗布して積層された白色層と
からなることを特徴とする障壁形成用シート。
【請求項３】所定の要素を形成してあるプラズマディ
スプレイパネル基板上に白色障壁材料の白色層と黒色障
壁材料の黒色層をそれぞれ基材フィルムからこの順で転
写して２層構造の障壁形成層を形成した後、その障壁形
成層上に所望パターンのレジストマスクを形成し、当該
レジストマスクを介したサンドブラスト処理により障壁
形成層をパターニングする工程を含むことを特徴とする
プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法。