JPH10329271A - 積層構造体 - Google Patents
積層構造体Info
- Publication number
- JPH10329271A JPH10329271A JP16040497A JP16040497A JPH10329271A JP H10329271 A JPH10329271 A JP H10329271A JP 16040497 A JP16040497 A JP 16040497A JP 16040497 A JP16040497 A JP 16040497A JP H10329271 A JPH10329271 A JP H10329271A
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- JP
- Japan
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- fluororubber
- layer
- rubber
- peroxide
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- Pending
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- Gasket Seals (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Sealing Material Composition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高真空下でかつ腐食性ガスの存在下で使用さ
れるシール材などとして有効に用いられる耐性を有し、
しかもコストパーフォーマンス性にすぐれたゴム構造体
を提供する。 【解決手段】 パーオキサイド架橋フッ素ゴム層および
パーフルエラストマー架橋物層よりなる積層構造体であ
って、好ましくは内層がパーオキサイド架橋フッ素ゴム
よりなり、その外周面がパーフルオロエラストマー架橋
物で包被されているゴム２層構造体。
れるシール材などとして有効に用いられる耐性を有し、
しかもコストパーフォーマンス性にすぐれたゴム構造体
を提供する。 【解決手段】 パーオキサイド架橋フッ素ゴム層および
パーフルエラストマー架橋物層よりなる積層構造体であ
って、好ましくは内層がパーオキサイド架橋フッ素ゴム
よりなり、その外周面がパーフルオロエラストマー架橋
物で包被されているゴム２層構造体。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、積層構造体に関す
る。更に詳しくは、シール材などとして用いられる積層
構造体に関する。
る。更に詳しくは、シール材などとして用いられる積層
構造体に関する。
【０００２】
【従来の技術】プラズマエッチング装置等の高真空下で
かつ種々の腐食性ガスの存在下で使用される装置のシー
ル材（Ｏリング、パッキン等）の成形材料には、その耐
性からパーフルオロエラストマーが用いられることが多
い。しかしながら、テトラフルオロエチレン−パーフル
オロ（メチルビニルエーテル）共重合エラストマーによ
って代表されるパーフルオロエラストマーは、汎用のフ
ッ素ゴムと比較して非常に高価であるという問題があ
る。一方、汎用のフッ素ゴムにはこれに対する耐性がな
く、あえてこの種の用途に使用した場合には、ゴムの劣
化によりチャンバー内が汚染されるばかりではなく、交
換頻度が多くなるという欠点がみられる。
かつ種々の腐食性ガスの存在下で使用される装置のシー
ル材（Ｏリング、パッキン等）の成形材料には、その耐
性からパーフルオロエラストマーが用いられることが多
い。しかしながら、テトラフルオロエチレン−パーフル
オロ（メチルビニルエーテル）共重合エラストマーによ
って代表されるパーフルオロエラストマーは、汎用のフ
ッ素ゴムと比較して非常に高価であるという問題があ
る。一方、汎用のフッ素ゴムにはこれに対する耐性がな
く、あえてこの種の用途に使用した場合には、ゴムの劣
化によりチャンバー内が汚染されるばかりではなく、交
換頻度が多くなるという欠点がみられる。
【０００３】こうした問題を解決するために、汎用のフ
ッ素ゴムとパーフルオロエラストマーとを積層させた状
態などで使用することが考えられるが、シール材料とし
て用いる場合にはこれら２種類のゴム間の密着性が重要
であり、変形などによってこれらゴム間での剥離が簡単
に起るようなものであってはならない。
ッ素ゴムとパーフルオロエラストマーとを積層させた状
態などで使用することが考えられるが、シール材料とし
て用いる場合にはこれら２種類のゴム間の密着性が重要
であり、変形などによってこれらゴム間での剥離が簡単
に起るようなものであってはならない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、高真
空下でかつ腐食性ガスの存在下で使用されるシール材な
どとして有効に用いられる耐性を有し、しかもコストパ
ーフォーマンス性にすぐれたゴム構造体を提供すること
にある。
空下でかつ腐食性ガスの存在下で使用されるシール材な
どとして有効に用いられる耐性を有し、しかもコストパ
ーフォーマンス性にすぐれたゴム構造体を提供すること
にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】かかる本発明の目的は、
パーオキサイド架橋フッ素ゴム層およびパーフルエラス
トマー架橋物層よりなる積層構造体であって、好ましく
は内層がパーオキサイド架橋フッ素ゴムよりなり、その
外周面がパーフルオロエラストマー架橋物で包被されて
いるゴム２層構造体によって達成される。
パーオキサイド架橋フッ素ゴム層およびパーフルエラス
トマー架橋物層よりなる積層構造体であって、好ましく
は内層がパーオキサイド架橋フッ素ゴムよりなり、その
外周面がパーフルオロエラストマー架橋物で包被されて
いるゴム２層構造体によって達成される。
【０００６】
【発明の実施の形態】ゴム２層構造体の内層は、パーオ
キサイド架橋フッ素ゴムから形成される。パーオキサイ
ド架橋フッ素ゴムは、パーオキサイド架橋性フッ素ゴム
を最終的に有機過酸化物で架橋することにより形成され
る。
キサイド架橋フッ素ゴムから形成される。パーオキサイ
ド架橋フッ素ゴムは、パーオキサイド架橋性フッ素ゴム
を最終的に有機過酸化物で架橋することにより形成され
る。
【０００７】パーオキサイド架橋性フッ素ゴムは、フッ
化ビニリデン−ヘキサフルオロプロペン共重合ゴム、フ
ッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロペン−テトラフル
オロエチレン３元共重合ゴム等によって代表される汎用
フッ素ゴム中に、パーオキサイド架橋性基としてヨウ素
原子および臭素原子の少くとも一種を導入したものであ
り、それの詳細は例えば特開平７−292198号公報に記載
されている。実際には、市販品、例えばデュポン社製品
バイトン、ダイキン製品ダイエル等をそのまま用いるこ
とができる。
化ビニリデン−ヘキサフルオロプロペン共重合ゴム、フ
ッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロペン−テトラフル
オロエチレン３元共重合ゴム等によって代表される汎用
フッ素ゴム中に、パーオキサイド架橋性基としてヨウ素
原子および臭素原子の少くとも一種を導入したものであ
り、それの詳細は例えば特開平７−292198号公報に記載
されている。実際には、市販品、例えばデュポン社製品
バイトン、ダイキン製品ダイエル等をそのまま用いるこ
とができる。
【０００８】それの架橋は、必要に応じてトリ（メタ）
アリルイソシアヌレート、トリ（メタ）アリルシアヌレ
ート、トリアリルトリメリテート、Ｎ，Ｎ´−ｍ−フェ
ニレンビスマレイミド、ジアリルフタレート、トリス
（ジアリルアミン）−ｓ−トリアジン、亜リン酸トリア
リル、（ジ）エチレングリコールジアクリレート、ネオ
ペンチルグリコールジアクリレート等の多官能性不飽和
化合物の共存下に、一般的に用いられている有機過酸化
物を用いて行われる。
アリルイソシアヌレート、トリ（メタ）アリルシアヌレ
ート、トリアリルトリメリテート、Ｎ，Ｎ´−ｍ−フェ
ニレンビスマレイミド、ジアリルフタレート、トリス
（ジアリルアミン）−ｓ−トリアジン、亜リン酸トリア
リル、（ジ）エチレングリコールジアクリレート、ネオ
ペンチルグリコールジアクリレート等の多官能性不飽和
化合物の共存下に、一般的に用いられている有機過酸化
物を用いて行われる。
【０００９】ゴム２層構造体の内層部分は、パーオキサ
イド架橋性フッ素ゴムおよび有機過酸化物に加えて、カ
ーボンフラック等の補強剤、タルク等の充填剤、ステア
リン酸等の加工助剤、２価金属の酸化物または水酸化物
である受酸剤等の各種配合剤を必要に応じて添加し、イ
ンタミックス、ニーダ、バンバリーミキサ等の混練機あ
るいはオープンロール等で混練し、得られた混練物を圧
縮成形機、加硫プレス等を用い、約150〜200℃で約3〜3
0分間程度加熱することにより、まずＯリング、パッキ
ン等の所定形状に予備成形される。
イド架橋性フッ素ゴムおよび有機過酸化物に加えて、カ
ーボンフラック等の補強剤、タルク等の充填剤、ステア
リン酸等の加工助剤、２価金属の酸化物または水酸化物
である受酸剤等の各種配合剤を必要に応じて添加し、イ
ンタミックス、ニーダ、バンバリーミキサ等の混練機あ
るいはオープンロール等で混練し、得られた混練物を圧
縮成形機、加硫プレス等を用い、約150〜200℃で約3〜3
0分間程度加熱することにより、まずＯリング、パッキ
ン等の所定形状に予備成形される。
【００１０】予備成形された内層部分を被覆し、包被す
るフルオロエラストマー架橋物の形成に際しては、フル
オロエラストマーに架橋剤および上記の如き種々の配合
剤を必要に応じて添加してコンパウンドを形成させ、そ
れをカレンダロール等を用いてリボン状とし、これを内
層部分に巻き付けて加熱加圧する方法、あるいはゴムコ
ンパウンドを冷凍粉砕するなどの方法によって粒子化
し、これを内層部分に付着させた後加熱加圧する方法な
どがまず実施される。
るフルオロエラストマー架橋物の形成に際しては、フル
オロエラストマーに架橋剤および上記の如き種々の配合
剤を必要に応じて添加してコンパウンドを形成させ、そ
れをカレンダロール等を用いてリボン状とし、これを内
層部分に巻き付けて加熱加圧する方法、あるいはゴムコ
ンパウンドを冷凍粉砕するなどの方法によって粒子化
し、これを内層部分に付着させた後加熱加圧する方法な
どがまず実施される。
【００１１】パーフルオロエラストマーとしては、一般
にテトラフルオロエチレン−パーフルオロ（低級アルキ
ルビニルエーテル）共重合ゴム、好ましくはテトラフル
オロエチレン（メチルビニルエーテル）共重合ゴム等が
用いられ、これらの共重合ゴム中には架橋点を形成し得
る単量体、例えば含ヨウ素化合物、含臭素化合物、含ヨ
ウ素臭素化合物、シアノ基含有不飽和化合物、フェノキ
シ基含有不飽和化合物等のパーオキサイド架橋可能な架
橋性単量体あるいはビスフェノール型化合物二アルカリ
金属塩で加硫可能な1,1,3,3,3−ペンタフルオロプロペ
ン等の架橋性単量体が更に共重合されている。また、こ
れらの共重合ゴム中には、本発明の目的を阻害しない範
囲内で、パーフルオロ化されたあるいはされていない他
のビニル単量体やオレフィン性単量体が共重合されてい
てもよい。これらのパーフルオロエラストマーは、有機
過酸化物、ビスフェノール型化合物二アルカリ金属塩、
ビス（アミノフェニル）化合物、クラウンエーテル等に
よって架橋される。
にテトラフルオロエチレン−パーフルオロ（低級アルキ
ルビニルエーテル）共重合ゴム、好ましくはテトラフル
オロエチレン（メチルビニルエーテル）共重合ゴム等が
用いられ、これらの共重合ゴム中には架橋点を形成し得
る単量体、例えば含ヨウ素化合物、含臭素化合物、含ヨ
ウ素臭素化合物、シアノ基含有不飽和化合物、フェノキ
シ基含有不飽和化合物等のパーオキサイド架橋可能な架
橋性単量体あるいはビスフェノール型化合物二アルカリ
金属塩で加硫可能な1,1,3,3,3−ペンタフルオロプロペ
ン等の架橋性単量体が更に共重合されている。また、こ
れらの共重合ゴム中には、本発明の目的を阻害しない範
囲内で、パーフルオロ化されたあるいはされていない他
のビニル単量体やオレフィン性単量体が共重合されてい
てもよい。これらのパーフルオロエラストマーは、有機
過酸化物、ビスフェノール型化合物二アルカリ金属塩、
ビス（アミノフェニル）化合物、クラウンエーテル等に
よって架橋される。
【００１２】予備成形された内層部分がパーフルオロエ
ラストマーのコンパウンドで覆われたら、全体を更に約
150〜200℃で約3〜60分間程度加熱し、更に必要に応じ
て約150〜250℃で約1〜24時間程度オーブン加硫（二次
加硫）させることにより、目的とする内層がパーオキサ
イド架橋フッ素ゴムよりなり、その外周面が約50〜1000
μm、好ましくは約100〜500μmの厚さを有するパーフル
オロエラストマー架橋物で包被されているゴム２層構造
体を得ることができる。
ラストマーのコンパウンドで覆われたら、全体を更に約
150〜200℃で約3〜60分間程度加熱し、更に必要に応じ
て約150〜250℃で約1〜24時間程度オーブン加硫（二次
加硫）させることにより、目的とする内層がパーオキサ
イド架橋フッ素ゴムよりなり、その外周面が約50〜1000
μm、好ましくは約100〜500μmの厚さを有するパーフル
オロエラストマー架橋物で包被されているゴム２層構造
体を得ることができる。
【００１３】
【発明の効果】本発明に係る積層構造体、好ましくはゴ
ム２層構造体は、内層にパーオキサイド架橋フッ素ゴム
が用いられているので、外層のパーフルオロエラストマ
ー架橋物との密着性が良好であり、内、外層の界面が変
形によって剥離するようなこともない。しかも、２層構
造体の大部分は汎用のフッ素ゴムで形成されているの
で、コストパーフォマンス性の点でもすぐれている。
ム２層構造体は、内層にパーオキサイド架橋フッ素ゴム
が用いられているので、外層のパーフルオロエラストマ
ー架橋物との密着性が良好であり、内、外層の界面が変
形によって剥離するようなこともない。しかも、２層構
造体の大部分は汎用のフッ素ゴムで形成されているの
で、コストパーフォマンス性の点でもすぐれている。
【００１４】
【実施例】次に、実施例について本発明を説明する。 実施例１〜３ いずれもパーオキサイド架橋性のヨウ素含有フッ素ゴム
であるダイキン製品ダイエルＧ801（実施例１）または
ダイエルＧ901（実施例２）、臭素含有フッ素ゴムであ
るデュポン社製品バイトンＧＬＴ（実施例３）の各100
重量部に、ＭＴカーボンブラック20重量部、2,5−ジメ
チル−2,5−ビス（第３ブチルパーオキシ）ヘキサン
（日本油脂製品パーヘキサ25B）1.5重量部およびトリア
リルイソシアヌレート４重量部を加え、ニーダおよびオ
ープンロールで混練した。混練物について、170℃、10
分間の条件下で熱プレスして150×150×1mmのシート状
に予備成形した。
であるダイキン製品ダイエルＧ801（実施例１）または
ダイエルＧ901（実施例２）、臭素含有フッ素ゴムであ
るデュポン社製品バイトンＧＬＴ（実施例３）の各100
重量部に、ＭＴカーボンブラック20重量部、2,5−ジメ
チル−2,5−ビス（第３ブチルパーオキシ）ヘキサン
（日本油脂製品パーヘキサ25B）1.5重量部およびトリア
リルイソシアヌレート４重量部を加え、ニーダおよびオ
ープンロールで混練した。混練物について、170℃、10
分間の条件下で熱プレスして150×150×1mmのシート状
に予備成形した。
【００１５】このシートに、テトラフルオロエチレン−
パーフルオロ（メチルビニルエーテル）系共重合ゴム
（日本メクトロン製品ＦＣ16；配合剤配合済み)をシー
トの状態で重ね合せ、再度100℃で10分間プレスするこ
とにより、150×150×2mmの２層加硫ゴムシートを得
た。
パーフルオロ（メチルビニルエーテル）系共重合ゴム
（日本メクトロン製品ＦＣ16；配合剤配合済み)をシー
トの状態で重ね合せ、再度100℃で10分間プレスするこ
とにより、150×150×2mmの２層加硫ゴムシートを得
た。
【００１６】得られた各２層加硫ゴムシートについて、
界面剥離試験および耐溶剤性試験（25℃のアセトン中に
70時間浸漬した後の各層の膨潤差による剥離状態を目視
で観察）を行った。
界面剥離試験および耐溶剤性試験（25℃のアセトン中に
70時間浸漬した後の各層の膨潤差による剥離状態を目視
で観察）を行った。
【００１７】比較例１〜２ ポリオール系架橋剤含有フッ素ゴムであるダイキン製品
ダイエルＧ701（比較例１）またはダイエルＧ602（比較
例２）100重量部に、ＭＴカーボンブラック20重量部、
酸化マグネシウム３重量部および水酸化カルシウム６重
量部を加え、以下実施例と同様に混練、予備成形、複合
化および試験を行った。
ダイエルＧ701（比較例１）またはダイエルＧ602（比較
例２）100重量部に、ＭＴカーボンブラック20重量部、
酸化マグネシウム３重量部および水酸化カルシウム６重
量部を加え、以下実施例と同様に混練、予備成形、複合
化および試験を行った。
【００１８】以上の各実施例および比較例で得られた結
果は、次の表に示される。 表 試験項目 実-1 実-2 実-3 比-1 比-2 ［界面剥離試験］ 剥離状態 ゴム破壊 〃 〃 界面剥離 〃 剥離強度(Kg/cm) 2.3 2.5 0.9 1.0 1.8 ［耐溶剤性試験］ 界面剥離 なし 〃 〃 あり 〃
果は、次の表に示される。 表 試験項目 実-1 実-2 実-3 比-1 比-2 ［界面剥離試験］ 剥離状態 ゴム破壊 〃 〃 界面剥離 〃 剥離強度(Kg/cm) 2.3 2.5 0.9 1.0 1.8 ［耐溶剤性試験］ 界面剥離 なし 〃 〃 あり 〃
Claims (4)
- 【請求項１】 パーオキサイド架橋フッ素ゴム層および
パーフルエラストマー架橋物層よりなる積層構造体。 - 【請求項２】 シール材として用いられる請求項１記載
の積層構造体。 - 【請求項３】 内層がパーオキサイド架橋フッ素ゴムよ
りなり、その外周面がパーフルオロエラストマー架橋物
で包被されているゴム２層構造体。 - 【請求項４】 シール材として用いられる請求項３記載
のゴム２層構造体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16040497A JPH10329271A (ja) | 1997-06-03 | 1997-06-03 | 積層構造体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16040497A JPH10329271A (ja) | 1997-06-03 | 1997-06-03 | 積層構造体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10329271A true JPH10329271A (ja) | 1998-12-15 |
Family
ID=15714214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16040497A Pending JPH10329271A (ja) | 1997-06-03 | 1997-06-03 | 積層構造体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10329271A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000182639A (ja) * | 1998-12-16 | 2000-06-30 | Toyota Motor Corp | シール部材およびこれを用いた燃料電池 |
| JP2001349301A (ja) * | 2000-06-06 | 2001-12-21 | Nok Corp | 油圧回路の脈動吸収体 |
| JP2006036884A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | Nippon Valqua Ind Ltd | シール材、その製造方法および処理剤 |
| WO2023149419A1 (ja) * | 2022-02-03 | 2023-08-10 | 株式会社バルカー | 環状積層体、シール材および製造方法 |
| WO2023149500A1 (ja) * | 2022-02-07 | 2023-08-10 | Ａｇｃ株式会社 | 積層体及び前駆体積層体 |
-
1997
- 1997-06-03 JP JP16040497A patent/JPH10329271A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000182639A (ja) * | 1998-12-16 | 2000-06-30 | Toyota Motor Corp | シール部材およびこれを用いた燃料電池 |
| JP2001349301A (ja) * | 2000-06-06 | 2001-12-21 | Nok Corp | 油圧回路の脈動吸収体 |
| JP2006036884A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | Nippon Valqua Ind Ltd | シール材、その製造方法および処理剤 |
| WO2023149419A1 (ja) * | 2022-02-03 | 2023-08-10 | 株式会社バルカー | 環状積層体、シール材および製造方法 |
| WO2023149500A1 (ja) * | 2022-02-07 | 2023-08-10 | Ａｇｃ株式会社 | 積層体及び前駆体積層体 |
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