JPH10324972A - 排気系切替え装置及び排気装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ある真空容器の排気系を本来の排気系から他
の真空容器の排気系に切り替える場合、他の真空容器を
介すことなく切り替えることができるようにする。 【解決手段】 排気装置は、反応容器３１に接続された
排気配管３４と、反応容器３１に含まれる反応ガス等を
排気するための補助ポンプ３５及びメインポンプ３６
と、排気配管３４を遮断するための真空バルブ３７と、
搬送容器３２に接続された排気配管３８と、搬送容器３
２に含まれる反応ガス等を排気するための補助ポンプ３
９及びメインポンプ４０と、排気配管３８を遮断するた
めの真空バルブ４１と、排気配管３４，３８間に挿入さ
れたバイパス配管４２と、バイパス配管４２を遮断する
ための真空バルブ４３と、障害発生時に排気系を自動的
に切り替えるための制御部４４とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、第１の真
空容器の排気系に障害が発生した場合に、これを本来の
排気系から第２の真空容器の排気系に切り替える排気系
切替え装置に関する。また、本発明は、このような切替
え機能を有する排気装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体装置や液晶表示装置など
の電気的固体装置を製造する場合は、真空処理装置が必
要になる。ここで、真空処理装置とは、真空状態に設定
された真空容器を使って所定の処理を行う装置である。

【０００３】この真空処理装置としては、例えば、基板
に所定の膜を形成する成膜装置がある。この成膜装置
は、真空状態に設定された反応容器（反応曹）に反応ガ
スを導入することにより、基板に所定の膜を形成するよ
うになっている。

【０００４】この成膜装置においては、反応ガスとし
て、通常、ＳｉＨ₄ ガス、ＮＨ₃ ガス、ＮＦ₃ ガス等の
危険性の高いガスが使用される。このため、この成膜装
置においては、反応容器の排気系に障害が発生した場合
でも、反応容器に残留する反応ガスを確実に排出するこ
とが望まれる。

【０００５】この要望に応えるため、従来より、反応容
器の排気系に障害が発生した場合、反応容器の排気を搬
送容器の排気系で実行することが行われている。すなわ
ち、反応容器の排気系を本来の排気系から搬送容器（搬
送曹）の排気系に切り替えることが行われている。ここ
で、搬送容器とは、搬送用ロボットを収納するための容
器であって、反応容器を外気に触れさせることなく、基
板を出し入れすることができるようにする減圧可能な容
器である。

【０００６】反応容器の排気系を本来の排気系から搬送
容器の排気系に切り替える場合、従来は、搬送容器を介
して切り替えるようになっていた。

【０００７】これを図３を参照しながら説明する。図３
は、従来の成膜装置の構成を示すブロック図である。

【０００８】図示の成膜装置は、反応容器１１と、搬送
容器１２と、ゲートバルブ１３と、排気配管１４，１５
と、補助ポンプ１６，１７と、メインポンプ１８，１９
と、真空バルブ（開閉バルブ）２０，２１とを有する。
ここで、排気配管１４と、補助ポンプ１６と、メインポ
ンプ１８と、真空バルブ２０とは、反応容器１１の排気
系を構成し、排気配管１５と、補助ポンプ１７と、メイ
ンポンプ１９と、開閉バルブ２１とは、搬送容器１２の
排気系を構成する。

【０００９】上記構成においては、反応容器１１の排気
処理は、通常は、排気配管１４とポンプ１６，１８とに
よって行われる。これに対し、例えば、ポンプ１６，１
８に故障等の障害が発生すると、ゲートバルブ１３と真
空バルブ２１が開かれる。これにより、この場合は、反
応容器１１の排気処理は、搬送容器１２を介して排気配
管１５とポンプ１７，１９とによって行われる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】以上説明したように従
来の成膜装置においては、反応容器１１の排気系を本来
の排気系から搬送容器１２の排気系に切り替える場合、
搬送容器１２を介して切り替えるようになっていた。

【００１１】しかしながら、このような構成では、搬送
容器１２が反応ガスにさらされ、この反応ガスによって
汚染される可能性が高くなるという問題があった。

【００１２】また、これにより、残留ガスによる事故が
発生する危険性が高くなるという問題があった。すなわ
ち、反応容器１１の排気系に障害が発生したあとのメン
テナンスにおいては、反応容器１１や搬送容器１２は、
通常、大気に解放される。この場合、反応容器１１は、
残留ガスの危険を回避するためのシーケンスを経てから
解放される。これに対し、搬送容器１２は、このような
シーケンスを経ないで解放される。したがって、上記の
ような構成では、搬送容器１２において、残留ガスによ
る事故が発生してしまう危険性が高くなるわけである。

【００１３】そこで、本発明は、第１の真空容器の排気
系を本来の排気系から第２の真空容器の排気系に切り替
える場合、第２の真空容器を介さずに切り替えることが
できる排気系切替え装置及び排気装置を提供することを
目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項１記載の排気系切替え装置は、第１の真空容器
の排気系を本来の排気系から第２の真空容器の排気系に
切り替える装置において、第１の真空容器に接続された
排気配管と第２の真空容器に接続された第２の排気配管
との間に挿入されたバイパス配管と、このバイパス配管
を遮断するためのバイパス用開閉バルブとを備えたもの
である。

【００１５】この請求項１記載の排気系切替え装置にお
いては、例えば、第１の真空容器の本来の排気系に障害
が発生した場合、バイパス用開閉バルブが開かれる。こ
れにより、この場合は、第１の真空容器の気体は、バイ
パス配管を介して第２の真空容器の排気系によって排出
される。

【００１６】このような構成によれば、第１の真空容器
の排気系を本来の排気系から第２の真空容器の排気系に
切り替える場合、第２の真空容器を介すことなく切り替
えることができる。これにより、第２の真空容器が反応
ガスによって汚染される可能性や残留ガスによる事故が
発生する危険性を低減することができる。

【００１７】請求項２記載の排気装置は、第１の真空容
器に接続された第１の排気配管と、この第１の排気配管
を介して第１の真空容器から気体を排出するための第１
の真空ポンプと、第１の排気配管を遮断するための第１
の開閉バルブと、第２の真空容器に接続された第２の排
気配管と、この第２の排気配管を介して第２の真空容器
から気体を排出するための第２の真空ポンプと、第２の
排気配管を遮断するための第２の開閉バルブと、第１の
排気配管のうち第１の開閉バルブの上流に位置する部分
と第２の排気配管のうち第２の開閉バルブの下流に位置
する部分との間に挿入されたバイパス配管と、このバイ
パス配管を遮断するためのバイパス用開閉バルブとを備
えたものである。

【００１８】この請求項２記載の排気装置では、例え
ば、第１の真空ポンプに障害が発生した場合、第１，第
２の開閉バルブが閉じられるとともに、バイパス用開閉
バルブが開かれる。これにより、この場合は、第１の真
空容器の気体は、バイパス配管を介して第２の排気配管
と第２の真空ポンプによって排出される。

【００１９】このような構成においても、第１の真空容
器の排気系を本来の排気系から第２の真空容器の排気系
に切り替える場合、第２の真空容器を介すことなく切り
替えることができる。これにより、第２の真空容器が反
応ガスによって汚染される可能性や残留ガスによる事故
が発生する危険性を低減することができる。

【００２０】また、このような構成によれば、バイパス
配管を第１の排気配管のうち第１の開閉バルブの上流に
位置する部分と第２の排気配管のうち第２の開閉バルブ
の下流に位置する部分との間に挿入するようにしたの
で、第１の真空ポンプに対するガスの流入を防止するこ
とができるとともに、第２の真空容器に対するガスの逆
流を防止することができる。

【００２１】請求項３記載の排気装置は、請求項２記載
の装置において、第１の真空容器の排気系を本来の排気
系から第２の真空容器の排気系に切り替えるための切替
え要求が発生すると、第１の開閉バルブと第２の開閉バ
ルブとを閉じるとともに、バイパス用開閉バルブを開く
ことにより、第１の真空容器の排気系を自動的に本来の
排気系から第２の真空容器の排気系に切り替える排気系
切替え手段を設けるようにしたものである。

【００２２】この請求項３記載の排気装置では、第１の
真空容器の排気系を本来の排気系から第２の真空容器の
排気系に切り替えるための切替え要求が発生すると、排
気系切替え手段により、第１の真空容器の排気系が自動
的に本来の排気系から第２の真空容器の排気系に切り替
えられる。

【００２３】このような構成によれば、第１の真空容器
の排気系を本来の排気系から第２の真空容器の排気系に
切り替える場合、手動により切り替える場合に比べ、障
害の発生に迅速に対処することができる。

【００２４】

【実施の形態】以下、図面を参照しながら、本発明の実
施の形態を詳細に説明する。

【００２５】図１は、本発明の一実施の形態に係る排気
系切替え装置及び排気装置を備えた成膜装置の構成を示
すブロック図である。

【００２６】図示の成膜装置は、基板に膜を形成するた
めの反応容器３１と、搬送用ロボットを収納する容器で
あって、反応容器を外気に触れさせることなく、基板を
出し入れすることができるようにする減圧可能な搬送容
器３２と、反応容器３１と搬送容器３２との間を遮断す
るためのゲートバルブ３３とを有する。

【００２７】また、この成膜装置は、反応容器３１に接
続された排気配管３４と、反応容器３１に含まれる大気
あるいは残留ガスを排出するための補助ポンプ３５及び
メインポンプ３６と、排気配管３４を遮断するための真
空バルブ３７とを有する。これらは、反応容器３１の排
気系をなす。

【００２８】また、この成膜装置は、搬送容器３２に接
続された排気配管３８と、搬送容器３２に含まれる大気
あるいは反応ガスを排出するための補助ポンプ３９及び
メインポンプ４０と、排気配管３８を遮断するための真
空バルブ４１とを有する。これらは、搬送容器３２の排
気系をなす。

【００２９】また、この成膜装置は、排気系切替え用の
配管をなすバイパス配管４２と、このバイパス配管４２
を遮断するための真空バルブ４３と、反応容器３１の排
気系を本来の排気系から搬送容器３２の排気系に切り替
えるための処理等を実行する制御部４４とを有する。上
記バイパス配管４２は、排気配管３４のうち真空バルブ
３７の上流側に位置する部分と排気配管３８のうち真空
バルブ４１の下流側に位置する部分との間に挿入されて
いる。

【００３０】上記構成においては、排気配管３４，３８
と、補助ポンプ３５，３９と、メインポンプ３６，４０
と、真空バルブ３７，４１，４３と、バイパス配管３８
と、制御部４４とにより、本発明の排気装置が構成され
る。

【００３１】また、バイパス用配管４２と、真空バルブ
４３と、制御部４４とにより、本発明の排気系切替え装
置が構成される。

【００３２】上記構成において、動作を説明する。ま
ず、反応容器３１に含まれる大気あるいは反応ガスを反
応容器３１の本来の排気系で排出する場合の動作を説明
する。この場合は、真空バルブ３７が開かれる。また、
補助ポンプ３５とメインポンプ３６とが駆動される。こ
れにより、この場合は、反応容器３１に含まれる大気あ
るいは反応ガスが排気配管３４を介して補助ポンプ３５
とメインポンプ３６により排出される。以上が反応容器
３１に含まれる大気あるいは反応ガスを反応容器３１の
本来の排気系で排出する場合の動作である。

【００３３】次に、搬送容器３２に含まれる大気あるい
は反応ガスを搬送容器３２の本来の排気系で排出する場
合の動作を説明する。この場合は、真空バルブ４１が開
かれる。また、補助ポンプ３９とメインポンプ４０とが
駆動される。これにより、この場合は、搬送容器３２に
含まれる大気あるいは反応ガスが排気配管３８を介して
補助ポンプ３９とメインポンプ４０により排出される。
以上が搬送容器３２に含まれる大気あるいは反応ガスを
搬送容器３２の本来の排気系で排出する場合の動作であ
る。

【００３４】次に、図２を参照しながら、例えば、反応
容器３１の排気系に障害が発生した場合に、反応容器３
１の排気系を本来の排気系から搬送容器１２の排気系に
切り替える場合の動作を説明する。図２は、この場合の
制御部４４の排気系切替え処理を示すフローチャートで
ある。

【００３５】ポンプ３５，３６によって反応容器３１の
排気処理を行っているときに、例えば、ポンプ３５，３
６に故障等の障害が発生すると、図示しない障害検出装
置からアラームが出力される。制御部４４は、このアラ
ームが発生すると、図２に示す排気系切替え処理を実行
する。

【００３６】この処理においては、制御部４４は、ま
ず、真空バルブ３７を閉じる（ステップＳ１１）。次
に、真空バルブ４１を閉じる（ステップＳ１２）。次
に、真空バルブ４３を開く（ステップＳ１３）。次に、
ポンプ３９，４０を駆動する（ステップＳ１４）。以上
により、制御部４４の排気系切替え処理が終了する。

【００３７】この排気系切替え処理により、反応容器３
１に含まれる反応ガス等は、バイパス配管４２と排気配
管３８を介してポンプ３９，４０により排出される。こ
の場合、真空バルブ３７が閉じられているので、ポンプ
３５，３６に対する反応ガス等の流入が防止される。ま
た、真空バルブ４１が閉じられているので、搬送容器３
２に対する反応ガス等の逆流が防止される。以上が、反
応容器３１の排気系に障害が発生した場合に、反応容器
３１の排気系を本来の排気系から搬送容器１２の排気系
に切り替える場合の動作である。

【００３８】以上詳述した本実施の形態によれば、反応
容器３１の排気配管３４と搬送容器３２の排気配管３８
との間にバイパス配管４２を挿入し、反応容器３１の排
気系を本来の排気系から搬送容器３２の排気系に切り替
える場合、バイパス配管４２を介して切り替えるように
したので、搬送容器３２を介すことなく切り替えること
ができる。これにより、搬送容器３２が反応ガスによっ
て汚染される可能性やこの汚染による事故が発生する危
険性を低減することができる。

【００３９】また、本実施の形態によれば、バイパス配
管４２を排気配管３４のうち真空バルブ３７の上流に位
置する部分と排気配管３８のうち真空バルブ４１の下流
に位置する部分との間に挿入するようにしたので、ポン
プ３５，３６に対する反応ガス等の流入を防止すること
ができるとともに、搬送容器３２に対する反応ガス等の
逆流が防止することができる。

【００４０】また、本実施の形態によれば、排気系の切
替え要求が発生すると、排気系を自動的に切り替える制
御部４４を設けるようにしたので、排気系を手動により
切り替える場合に比べ、障害の発生に迅速に対処するこ
とができる。

【００４１】以上、本発明の一実施の形態を詳細に説明
したが、本発明は、上述したような実施の形態に限定さ
れるものではない。

【００４２】例えば、先の実施の形態では、排気系の切
替え処理を自動的に行う場合を説明した。しかしなが
ら、本発明は、これを操作者の操作（手動）によって行
うようにしてもよい。

【００４３】また、先の実施の形態では、本発明を、反
応容器３１の排気系を本来の排気系から搬送容器３２の
排気系に切り替える装置に適用する場合を説明した。し
かしながら、本発明は、搬送容器３２以外の真空容器の
排気系に切り替える装置にも適用することができる。

【００４４】また、先の実施の形態では、本発明を、反
応容器３１の排気系を切り替える装置に適用する場合を
説明した。しかしながら、本発明は、反応容器３１以外
の真空容器の排気系を切り替える場合にも適用すること
ができる。例えば、本発明は、搬送容器３２の排気系を
切り替える装置にも適用することができる。

【００４５】また、先の実施の形態では、本発明を成膜
装置の排気系切替え装置及び排気装置に適用する場合を
説明した。しかしながら、本発明は、成膜装置以外の真
空処理装置の排気系切替え装置及び排気装置にも適用す
ることができる。

【００４６】このほかにも、本発明は、その要旨を逸脱
しない範囲で、種々様々変形実施可能なことは勿論であ
る。

【００４７】

【発明の効果】以上詳述したように請求項１記載の排気
系切替え装置及び請求項２記載の排気装置によれば、第
１の真空容器の排気配管と第２の真空容器の排気配管と
の間にバイパス配管を挿入し、第１の真空容器の排気系
を本来の排気系から第２の真空容器の排気系に切り替え
る場合、このバイパス配管を介して切り替えるようにし
たので、第２の真空容器を介すことなく切り替えること
ができる。これにより、第２の真空容器が反応ガスによ
って汚染される可能性やこの汚染による事故が発生する
危険性を低減することができる。

【００４８】また、請求項２記載の排気装置によれば、
バイパス配管を第１の真空容器の排気配管のうちその開
閉バルブの上流に位置する部分と第２の真空容器の排気
配管のうちその開閉バルブの下流に位置する部分との間
に挿入するようにしたので、第１の真空容器の真空ポン
プに対する反応ガス等の流入を防止することができると
ともに、第２の真空容器に対する反応ガス等の逆流が防
止することができる。

【００４９】また、請求項３記載の排気装置によれば、
排気系の切替え要求が発生すると、排気系を自動的に切
り替える排気系切替え手段を設けるようにしたので、排
気系を手動により切り替える場合に比べ、障害の発生に
迅速に対処することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る排気系切替え装置及び排気装置の
一実施の形態の構成を示すブロック図である。

【図２】本発明に係る排気系切替え装置及び排気装置の
一実施の形態の排気系切替え動作を説明するためのフロ
ーチャートである。

【図３】従来の排気系切替え装置及び排気装置の構成を
示すブロック図である。

【符号の説明】

３１…反応容器、３２…搬送容器、３３…ゲートバル
ブ、３４，３８…排気配管、３５，３９…補助ポンプ、
３６，４０…メインポンプ、３７，４１，４３…真空バ
ルブ、４２…バイパス配管、４４…制御部。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１の真空容器の排気系を本来の排気系
   から第２の真空容器の排気系に切り替えるための排気系
   切替え装置において、 前記第１の真空容器に接続された排気配管と前記第２の
   真空容器に接続されたの排気配管との間に挿入されたバ
   イパス配管と、 このバイパス配管を遮断するためのバイパス用開閉バル
   ブとを備えたことを特徴とする排気系切替え装置。
2. 【請求項２】 第１の真空容器に接続された第１の排気
   配管と、 この第１の排気配管を介して前記第１の真空容器から気
   体を排出するための第１の真空ポンプと、 前記第１の排気配管を遮断するための第１の開閉バルブ
   と、 第２の真空容器に接続された第２の排気配管と、 この第２の排気配管を介して前記第２の真空容器から気
   体を排出するための第２の真空ポンプと、 前記第２の排気配管を遮断するための第２の開閉バルブ
   と、 前記第１の排気配管のうち前記第１の開閉バルブの上流
   に位置する部分と前記第２の排気配管のうち前記第２の
   開閉バルブの下流に位置する部分とに挿入されたバイパ
   ス配管と、 このバイパス配管を遮断するためのバイパス用開閉バル
   ブとを備えたことを特徴とする排気装置。
3. 【請求項３】 前記第１の真空容器の排気系を本来の排
   気系から前記第２の真空容器の排気系に切り替えるため
   の切替え要求が発生すると、前記第１の開閉バルブと前
   記第２の開閉バルブとを閉じるとともに、前記バイパス
   用開閉バルブを開くことにより、前記第１の真空容器の
   排気系を自動的に本来の排気系から前記第２の真空容器
   の排気系に切り替える排気系切替え手段をさらに有する
   ことを特徴とする請求項２記載の排気装置。