JPH10314540A - 二段式乾式減湿システムにおけるロータの劣化診断方法及び乾式減湿装置のロータの劣化診断方法 - Google Patents
二段式乾式減湿システムにおけるロータの劣化診断方法及び乾式減湿装置のロータの劣化診断方法Info
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 露点計を用いることなく、二段目の乾式減湿
装置のロータの劣化診断を的確に行う。 【解決手段】 二段目の乾式減湿装置のロータのチャン
バ１２内における再生区域１１ｂの出口側に、減湿区域
１１ａに近い側に温度センサ１４の温度検出部１４ａを
配置し、パージ区域１１ｃに近い側に温度センサ１５の
温度検出部１５ａを配置する。２つの温度センサ１４、
１５で測定した正常時の再生出口温度と、劣化診断時の
再生出口温度とを比較することにより、ロータの劣化診
断を行う。
装置のロータの劣化診断を的確に行う。 【解決手段】 二段目の乾式減湿装置のロータのチャン
バ１２内における再生区域１１ｂの出口側に、減湿区域
１１ａに近い側に温度センサ１４の温度検出部１４ａを
配置し、パージ区域１１ｃに近い側に温度センサ１５の
温度検出部１５ａを配置する。２つの温度センサ１４、
１５で測定した正常時の再生出口温度と、劣化診断時の
再生出口温度とを比較することにより、ロータの劣化診
断を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、二段式乾式減湿シ
ステムにおけるロータの劣化診断方法及び乾式減湿装置
のロータの劣化診断方法に関するものである。
ステムにおけるロータの劣化診断方法及び乾式減湿装置
のロータの劣化診断方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】乾式減湿装置は、塩化リチウムや塩化カ
ルシウムなどの吸収液を含浸させたハニカム状のロータ
や、シリカゲル、ゼオライトなどの吸着材で構成したロ
ータを備え、このロータの端面に位置する空気の通過域
を減湿区域と再生区域とに仕切り、ロータを回転させな
がら減湿区域に処理空気を通過させて乾燥空気を作り出
すと共に、再生区域に高温の再生空気を通過させること
によって、前記吸収液や吸着材中の水分を再生空気中に
蒸発させて、連続的に減湿処理を行うように構成されて
いる。この場合、ロータが高温のまま減湿区域に移行す
ると、処理空気が減湿しないままロータを通過して露点
を上昇させるので、低湿度に制御された空間からの還気
など、低温の空気を通過させてロータを冷却するための
パージ区域が再生区域と減湿区域との間に設定されてい
ることがある。殊に後述の二段に直列に接続した場合に
おける二段目の乾式減湿装置のロータ端面には、かかる
パージ区域が設定されることが多い。
ルシウムなどの吸収液を含浸させたハニカム状のロータ
や、シリカゲル、ゼオライトなどの吸着材で構成したロ
ータを備え、このロータの端面に位置する空気の通過域
を減湿区域と再生区域とに仕切り、ロータを回転させな
がら減湿区域に処理空気を通過させて乾燥空気を作り出
すと共に、再生区域に高温の再生空気を通過させること
によって、前記吸収液や吸着材中の水分を再生空気中に
蒸発させて、連続的に減湿処理を行うように構成されて
いる。この場合、ロータが高温のまま減湿区域に移行す
ると、処理空気が減湿しないままロータを通過して露点
を上昇させるので、低湿度に制御された空間からの還気
など、低温の空気を通過させてロータを冷却するための
パージ区域が再生区域と減湿区域との間に設定されてい
ることがある。殊に後述の二段に直列に接続した場合に
おける二段目の乾式減湿装置のロータ端面には、かかる
パージ区域が設定されることが多い。
【０００３】この種の乾式減湿装置は、半導体製造プロ
セスやリチウム電池の製造プロセスなどのためにその内
部を乾燥かつ低露点の雰囲気とする空間（以下、「低露
点空間」という）へ、超低露点の空気を供給する空調機
や空調システムに用いられているが、かかる場合前記超
低露点の空気を供給するにあたり、乾式減湿装置を、例
えば二段に直列に系統接続している場合がある。
セスやリチウム電池の製造プロセスなどのためにその内
部を乾燥かつ低露点の雰囲気とする空間（以下、「低露
点空間」という）へ、超低露点の空気を供給する空調機
や空調システムに用いられているが、かかる場合前記超
低露点の空気を供給するにあたり、乾式減湿装置を、例
えば二段に直列に系統接続している場合がある。
【０００４】ところで前記低露点空間においては、露点
温度の僅かな変化もプロセスに影響を与えるため、乾式
減湿装置のロータの減湿能力の劣化には格別注意しなけ
ればならない。即ちロータの劣化を的確に診断して、そ
の交換を適切な時期に実施する必要がある。
温度の僅かな変化もプロセスに影響を与えるため、乾式
減湿装置のロータの減湿能力の劣化には格別注意しなけ
ればならない。即ちロータの劣化を的確に診断して、そ
の交換を適切な時期に実施する必要がある。
【０００５】この点に関し、出願人は先に特開平８−１
４１３５２号公報や特開平８−１５５２４８公報におい
て、既にロータの劣化を診断してロータの交換時期を予
測する方法を開示している。特開平８−１４１３５２
は、２台の乾式減湿装置を二段に系統接続して使用する
場合の、一段目ロータの劣化を二段目の再生空気の出口
温度の測定値に基づいて劣化を診断してロータの交換時
期を予測するようにしたものであり、また特開平８−１
５５２４８は、ロータの劣化の進行度を、正常時と測定
時における処理空気のロータの入口側絶対湿度と減湿量
との相関関係から求めるようにしたものである。
４１３５２号公報や特開平８−１５５２４８公報におい
て、既にロータの劣化を診断してロータの交換時期を予
測する方法を開示している。特開平８−１４１３５２
は、２台の乾式減湿装置を二段に系統接続して使用する
場合の、一段目ロータの劣化を二段目の再生空気の出口
温度の測定値に基づいて劣化を診断してロータの交換時
期を予測するようにしたものであり、また特開平８−１
５５２４８は、ロータの劣化の進行度を、正常時と測定
時における処理空気のロータの入口側絶対湿度と減湿量
との相関関係から求めるようにしたものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら前者の方
法では、２台の乾式減湿装置を二段に系統接続して使用
する場合の、二段目の乾式減湿装置のロータの劣化は診
断できない。また後者によれば、絶対湿度を測定するた
めの露点計が必要となる。さらに二段目の乾式減湿装置
のロータは元々減湿負荷が小さいため、ロータの劣化が
再生区域の出口温度に与える影響が極めて小さい。その
ためたとえ１℃でも再生区域の出口温度が変化すると、
もはや給気における所期の露点温度の維持が図れないお
それがある。したがって、ただ単に再生区域の出口温度
を測定することによってロータの劣化を判定する方法で
は、いずれにしろ二段目の乾式減湿装置のロータの劣化
を診断することは困難である。
法では、２台の乾式減湿装置を二段に系統接続して使用
する場合の、二段目の乾式減湿装置のロータの劣化は診
断できない。また後者によれば、絶対湿度を測定するた
めの露点計が必要となる。さらに二段目の乾式減湿装置
のロータは元々減湿負荷が小さいため、ロータの劣化が
再生区域の出口温度に与える影響が極めて小さい。その
ためたとえ１℃でも再生区域の出口温度が変化すると、
もはや給気における所期の露点温度の維持が図れないお
それがある。したがって、ただ単に再生区域の出口温度
を測定することによってロータの劣化を判定する方法で
は、いずれにしろ二段目の乾式減湿装置のロータの劣化
を診断することは困難である。
【０００７】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
あり、２台の乾式減湿装置を二段に系統接続して使用す
る場合に、二段目の乾式減湿装置のロータの劣化診断を
的確に行うことができる、二段式乾式減湿システムにお
けるロータの劣化診断方法、及び露点計を用いることな
くロータの劣化の診断を行え、しかも乾式減湿装置を二
段をはじめとする多段に直列系統接続した場合の、二段
目以降の乾式減湿装置のロータの診断をも可能な乾式減
湿装置のロータの劣化診断方法を提供して、前記問題の
解決を図ることを目的としている。
あり、２台の乾式減湿装置を二段に系統接続して使用す
る場合に、二段目の乾式減湿装置のロータの劣化診断を
的確に行うことができる、二段式乾式減湿システムにお
けるロータの劣化診断方法、及び露点計を用いることな
くロータの劣化の診断を行え、しかも乾式減湿装置を二
段をはじめとする多段に直列系統接続した場合の、二段
目以降の乾式減湿装置のロータの診断をも可能な乾式減
湿装置のロータの劣化診断方法を提供して、前記問題の
解決を図ることを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項１によれば、回転自在なロータ内に処理空気
を通過させて当該処理空気を減湿させる乾式減湿装置を
二段直列に系統接続し、一段目の乾式減湿装置で減湿さ
せた空気を二段目の乾式減湿装置でさらに減湿させるよ
うに構成され、さらに二段目の乾式減湿装置におけるロ
ータの端面に位置する空気の通過域は、少なくとも減湿
区域と再生区域とパージ区域とに仕切られて、ロータの
回転によって再生区域から減湿区域に移行する前にパー
ジ区域が位置するように構成された二段式乾式減湿シス
テムにおいて、二段目の乾式減湿装置における再生区域
の出口側温度を、ロータの端面から１５ｃｍ以内の軸方
向に離れた位置であってかつ減湿区域寄り又はパージ区
域寄りの地点で測定し、当該測定値に基づいて、二段目
の乾式減湿装置におけるロータの劣化を診断することを
特徴とする、二段式乾式減湿システムにおけるロータの
劣化診断方法が提供される。
め、請求項１によれば、回転自在なロータ内に処理空気
を通過させて当該処理空気を減湿させる乾式減湿装置を
二段直列に系統接続し、一段目の乾式減湿装置で減湿さ
せた空気を二段目の乾式減湿装置でさらに減湿させるよ
うに構成され、さらに二段目の乾式減湿装置におけるロ
ータの端面に位置する空気の通過域は、少なくとも減湿
区域と再生区域とパージ区域とに仕切られて、ロータの
回転によって再生区域から減湿区域に移行する前にパー
ジ区域が位置するように構成された二段式乾式減湿シス
テムにおいて、二段目の乾式減湿装置における再生区域
の出口側温度を、ロータの端面から１５ｃｍ以内の軸方
向に離れた位置であってかつ減湿区域寄り又はパージ区
域寄りの地点で測定し、当該測定値に基づいて、二段目
の乾式減湿装置におけるロータの劣化を診断することを
特徴とする、二段式乾式減湿システムにおけるロータの
劣化診断方法が提供される。
【０００９】このような請求項１の二段式乾式減湿シス
テムにおけるロータの劣化診断方法においては、二段目
の乾式減湿装置における再生区域の出口側温度（再生区
域を通過した空気の温度）を、ロータの端面から１５ｃ
ｍ以内の軸方向に離れた位置であってかつ減湿区域寄り
又はパージ区域寄りの地点で測定し、当該測定値に基づ
いて、二段目の乾式減湿装置におけるロータの劣化を診
断するようにしたので、たとえロータの劣化が再生区域
の出口温度に与える影響が極めて小さくても、例えば測
定温度の時経列変化に基づいて、二段目の乾式減湿装置
におけるロータの劣化や余寿命に基づいた交換時期を的
確に診断することが可能である。ここで減湿区域寄りと
パージ区域寄りの地点とは、再生区域において減湿区域
に近い側とパージ区域に近い側の地点をいう。また具体
的に測定するにあたっては、後述の実施形態にも示した
ように、ロータの端面から軸方向に所定距離（１５ｃｍ
以内）離れた地点に温度センサの温度検出部が位置する
ように、当該温度センサをロータ端面に位置するチャン
バに取り付けることが提案できる。
テムにおけるロータの劣化診断方法においては、二段目
の乾式減湿装置における再生区域の出口側温度（再生区
域を通過した空気の温度）を、ロータの端面から１５ｃ
ｍ以内の軸方向に離れた位置であってかつ減湿区域寄り
又はパージ区域寄りの地点で測定し、当該測定値に基づ
いて、二段目の乾式減湿装置におけるロータの劣化を診
断するようにしたので、たとえロータの劣化が再生区域
の出口温度に与える影響が極めて小さくても、例えば測
定温度の時経列変化に基づいて、二段目の乾式減湿装置
におけるロータの劣化や余寿命に基づいた交換時期を的
確に診断することが可能である。ここで減湿区域寄りと
パージ区域寄りの地点とは、再生区域において減湿区域
に近い側とパージ区域に近い側の地点をいう。また具体
的に測定するにあたっては、後述の実施形態にも示した
ように、ロータの端面から軸方向に所定距離（１５ｃｍ
以内）離れた地点に温度センサの温度検出部が位置する
ように、当該温度センサをロータ端面に位置するチャン
バに取り付けることが提案できる。
【００１０】また請求項２によれば、回転自在なロータ
の端面に位置する空気の通過域が少なくとも減湿区域と
再生区域とパージ区域とに仕切られて、ロータの回転に
よって再生区域から減湿区域に移行する前にパージ区域
が位置するように構成された乾式減湿装置のロータの劣
化を診断する方法であって、再生区域の出口側温度（再
生区域を通過した空気の温度）を、減湿区域寄りとパー
ジ区域寄りの少なくとも２カ所で測定し、これら２つの
測定値に基づいて前記ロータの劣化を診断することを特
徴とする、乾式減湿装置のロータの劣化診断方法が提供
される。
の端面に位置する空気の通過域が少なくとも減湿区域と
再生区域とパージ区域とに仕切られて、ロータの回転に
よって再生区域から減湿区域に移行する前にパージ区域
が位置するように構成された乾式減湿装置のロータの劣
化を診断する方法であって、再生区域の出口側温度（再
生区域を通過した空気の温度）を、減湿区域寄りとパー
ジ区域寄りの少なくとも２カ所で測定し、これら２つの
測定値に基づいて前記ロータの劣化を診断することを特
徴とする、乾式減湿装置のロータの劣化診断方法が提供
される。
【００１１】発明者らの知見によれば、減湿区域寄りと
パージ区域寄りとでは、ロータの劣化に伴って異なった
温度特性が現れる。したがって、請求項２のように、そ
のような２つの異なった温度特性に基づいてロータの劣
化の診断をするようにすれば、例えば時経列変化を測定
することにより、より正確な劣化診断や交換時期の判断
が行える。したがって、たとえ２台の乾式減湿装置を二
段に系統接続して使用している場合であっても、二段目
の乾式減湿装置のロータの劣化を診断することができ
る。なお温度測定地点については、前記請求項１で示し
たように、前記ロータの端面から１５ｃｍ以内の軸方向
に離れた位置で測定することが好ましい。
パージ区域寄りとでは、ロータの劣化に伴って異なった
温度特性が現れる。したがって、請求項２のように、そ
のような２つの異なった温度特性に基づいてロータの劣
化の診断をするようにすれば、例えば時経列変化を測定
することにより、より正確な劣化診断や交換時期の判断
が行える。したがって、たとえ２台の乾式減湿装置を二
段に系統接続して使用している場合であっても、二段目
の乾式減湿装置のロータの劣化を診断することができ
る。なお温度測定地点については、前記請求項１で示し
たように、前記ロータの端面から１５ｃｍ以内の軸方向
に離れた位置で測定することが好ましい。
【００１２】また前記した温度特性は、後述の実施形態
で示したように正常時と劣化時では異なっているので、
請求項３に記載したように、予め測定した前記少なくと
も２カ所、即ち同一の測定箇所における正常時の出口側
温度（再生区域を通過した空気の温度）と比較すること
によっても、ロータの劣化を診断することが可能であ
る。
で示したように正常時と劣化時では異なっているので、
請求項３に記載したように、予め測定した前記少なくと
も２カ所、即ち同一の測定箇所における正常時の出口側
温度（再生区域を通過した空気の温度）と比較すること
によっても、ロータの劣化を診断することが可能であ
る。
【００１３】ところで前記診断方法は、露点計を用いる
ことなく再生区域の出口温度を測定することによってロ
ータの劣化を診断するようにしているが、減湿区域に導
入する処理空気の絶対湿度が大きく変動した場合には、
正確な劣化診断ができないおそれがある。
ことなく再生区域の出口温度を測定することによってロ
ータの劣化を診断するようにしているが、減湿区域に導
入する処理空気の絶対湿度が大きく変動した場合には、
正確な劣化診断ができないおそれがある。
【００１４】この点請求項４に記載したように、減湿区
域入口側の空気の絶対湿度を一定にした状態で再生区域
の出口側温度を測定するようにすれば、極めて正確な診
断が行える。減湿区域入口側の空気の絶対湿度を一定に
する方法としては、後述の実施の形態でも示したよう
に、例えば減湿区域入口側に冷却装置などのプレクーラ
を設置したり、あるいは再生区域の出口チャンバー後の
混ざり合った空気の温度を一定に保つように再生用の加
熱装置を制御するようにしてもよい。
域入口側の空気の絶対湿度を一定にした状態で再生区域
の出口側温度を測定するようにすれば、極めて正確な診
断が行える。減湿区域入口側の空気の絶対湿度を一定に
する方法としては、後述の実施の形態でも示したよう
に、例えば減湿区域入口側に冷却装置などのプレクーラ
を設置したり、あるいは再生区域の出口チャンバー後の
混ざり合った空気の温度を一定に保つように再生用の加
熱装置を制御するようにしてもよい。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態を説明する。図１は、劣化診断の対象となる乾
式減湿装置を採用した低露点空気供給システムの概略を
示しており、この低露点空気供給システムは、低露点空
間Ｒに低露点空気を供給するシステムとして構成されて
いる。
施の形態を説明する。図１は、劣化診断の対象となる乾
式減湿装置を採用した低露点空気供給システムの概略を
示しており、この低露点空気供給システムは、低露点空
間Ｒに低露点空気を供給するシステムとして構成されて
いる。
【００１６】まず導入外気ＯＡは、外気取り入れダクト
１により導かれて、外気処理クーラ２によって冷却減湿
される。冷却減湿された空気はその後、再生余剰 空気
冷却クーラ３で冷却された再生余剰空気と混合されて、
外気処理ファン４によって、１段目の乾式減湿装置５の
減湿区域５ａに導入され、例えば露点温度−１０℃まで
減湿される。この１段目の乾式減湿装置５は、減湿区域
５ａと再生区域５ｂとの２つに分割された空気の通過域
をロータ端面を有しているタイプである。
１により導かれて、外気処理クーラ２によって冷却減湿
される。冷却減湿された空気はその後、再生余剰 空気
冷却クーラ３で冷却された再生余剰空気と混合されて、
外気処理ファン４によって、１段目の乾式減湿装置５の
減湿区域５ａに導入され、例えば露点温度−１０℃まで
減湿される。この１段目の乾式減湿装置５は、減湿区域
５ａと再生区域５ｂとの２つに分割された空気の通過域
をロータ端面を有しているタイプである。
【００１７】その後、１段目の乾式減湿装置５の減湿区
域５ａを通過して外気処理された空気は、低露点空間Ｒ
から還気ダクト６を通じて戻ってきた一部の還気ＲＡ1
と混合され、処理ファン７によって、プレクーラ８に送
られる。このプレクーラ８によって処理空気は冷却され
た後、二段目の乾式減湿装置１０のロータ１１の減湿区
域１１ａに導入されて減湿処理される。
域５ａを通過して外気処理された空気は、低露点空間Ｒ
から還気ダクト６を通じて戻ってきた一部の還気ＲＡ1
と混合され、処理ファン７によって、プレクーラ８に送
られる。このプレクーラ８によって処理空気は冷却され
た後、二段目の乾式減湿装置１０のロータ１１の減湿区
域１１ａに導入されて減湿処理される。
【００１８】二段目の乾式減湿装置１０は、図２、図３
に示した構成を有しており、回転するロータ１１の両端
面にチャンバ１２、１３が配置された構成を有してい
る。そしてロータ１１の端面は、図３中の矢印に示した
ロータ１１の回転方向順に、減湿区域１１ａ、再生区域
１１ｂ、パージ区域１１ｃの３つの空気通過域に区画さ
れている。そしてチャンバ１２の外側端面には、これら
各区域に対応して、ダクトなどに接続するための減湿入
口１２ａ、再生出口１２ｂ、パージ出口１２ｃが形成さ
れている。なおチャンバ１３の外方端面にも、前記３つ
の区域に対応して減湿出口、再生入口、パージ入口が各
々形成されている（いずれも図示せず）。なおこの乾式
減湿装置１０のロータ１１には、吸湿剤として塩化リチ
ウムを利用しているが、吸湿剤としてシリカゲルやゼオ
ライトを用いた場合にも本発明は同様に実施することが
可能である。
に示した構成を有しており、回転するロータ１１の両端
面にチャンバ１２、１３が配置された構成を有してい
る。そしてロータ１１の端面は、図３中の矢印に示した
ロータ１１の回転方向順に、減湿区域１１ａ、再生区域
１１ｂ、パージ区域１１ｃの３つの空気通過域に区画さ
れている。そしてチャンバ１２の外側端面には、これら
各区域に対応して、ダクトなどに接続するための減湿入
口１２ａ、再生出口１２ｂ、パージ出口１２ｃが形成さ
れている。なおチャンバ１３の外方端面にも、前記３つ
の区域に対応して減湿出口、再生入口、パージ入口が各
々形成されている（いずれも図示せず）。なおこの乾式
減湿装置１０のロータ１１には、吸湿剤として塩化リチ
ウムを利用しているが、吸湿剤としてシリカゲルやゼオ
ライトを用いた場合にも本発明は同様に実施することが
可能である。
【００１９】前記チャンバ１２には、図３に示したよう
に２つの温度センサ１４、１５が設けられており、各々
の温度検出部１４ａ、１５ａがチャンバ１２内における
再生区域１１ｂに位置するように設けられている。そし
て温度センサ１４の温度検出部１４ａは減湿区域１１ａ
に近い側、温度センサ１５の温度検出部１５ａはパージ
区域１１ｃに近い側に位置するように各々取り付け位置
が設定されている。
に２つの温度センサ１４、１５が設けられており、各々
の温度検出部１４ａ、１５ａがチャンバ１２内における
再生区域１１ｂに位置するように設けられている。そし
て温度センサ１４の温度検出部１４ａは減湿区域１１ａ
に近い側、温度センサ１５の温度検出部１５ａはパージ
区域１１ｃに近い側に位置するように各々取り付け位置
が設定されている。
【００２０】乾式減湿装置１０のロータ１１の減湿区域
１１ａで減湿されて、低露点となった空気は、その後ヒ
ータ２１、アフタークーラ２２によって、所定の温度に
調節された後、給気ＳＡとして低露点空間Ｒに供給され
る。
１１ａで減湿されて、低露点となった空気は、その後ヒ
ータ２１、アフタークーラ２２によって、所定の温度に
調節された後、給気ＳＡとして低露点空間Ｒに供給され
る。
【００２１】低露点空間Ｒからの他の一部の還気ＲＡ2
は、パージ系還気ダクト２３を通じ、パージ空気とし
て、乾式減湿装置１０のロータ１１のパージ区域１１ｃ
に導入され、これによってロータ１１の冷却が行われ
る。ここでの冷却が十分でないと、温度が高いままロー
タ１１が減湿区域１１ａに入ってしまい、減湿が十分に
できないことになる。
は、パージ系還気ダクト２３を通じ、パージ空気とし
て、乾式減湿装置１０のロータ１１のパージ区域１１ｃ
に導入され、これによってロータ１１の冷却が行われ
る。ここでの冷却が十分でないと、温度が高いままロー
タ１１が減湿区域１１ａに入ってしまい、減湿が十分に
できないことになる。
【００２２】そしてロータ１１のパージ区域１１ｃを通
過したパージ空気は、二段目の再生ファン２６によって
再生循環系統Ｐの空気に合流して混合される。このよう
にして混合された空気は、その大部分が再生系統ダクト
２７を通って、二段目の再生ヒータ２８に送られ、この
再生ヒータ２８により、例えば１２０℃に加熱された
後、乾式減湿装置１０のロータ１１の再生区域１１ｂに
導入されるのである。
過したパージ空気は、二段目の再生ファン２６によって
再生循環系統Ｐの空気に合流して混合される。このよう
にして混合された空気は、その大部分が再生系統ダクト
２７を通って、二段目の再生ヒータ２８に送られ、この
再生ヒータ２８により、例えば１２０℃に加熱された
後、乾式減湿装置１０のロータ１１の再生区域１１ｂに
導入されるのである。
【００２３】再生系統Ｚからの一部の空気は１段目の再
生ファン２９の作動により１段目の再生ヒータ３０を通
過した後、昇温されて１段目の乾式減湿装置５の再生区
域５ｂに導入され、この乾式減湿装置５のロータの再生
に用いられる。そしてその後、排気ＥＡとしてシステム
外に排出される。一方再生ヒータ３０を通過しない残り
の再生系統Ｚの空気は、再生余剰空気循環ダクト３１を
通って、前出再生余剰空気冷却用クーラ３によって冷却
され、外気ＯＡと混合されて１段目の乾式減湿装置５の
減湿区域５ａに導入されて減湿されるようになってい
る。即ち処理空気の一部として再使用される。なお図１
におけるＤ1〜Ｄ8は、風量を調節するためダクト中に介
装されたダンパである。
生ファン２９の作動により１段目の再生ヒータ３０を通
過した後、昇温されて１段目の乾式減湿装置５の再生区
域５ｂに導入され、この乾式減湿装置５のロータの再生
に用いられる。そしてその後、排気ＥＡとしてシステム
外に排出される。一方再生ヒータ３０を通過しない残り
の再生系統Ｚの空気は、再生余剰空気循環ダクト３１を
通って、前出再生余剰空気冷却用クーラ３によって冷却
され、外気ＯＡと混合されて１段目の乾式減湿装置５の
減湿区域５ａに導入されて減湿されるようになってい
る。即ち処理空気の一部として再使用される。なお図１
におけるＤ1〜Ｄ8は、風量を調節するためダクト中に介
装されたダンパである。
【００２４】第１の実施形態にかかる低露点供給システ
ムは以上のように構成されているが、このように２つの
乾式減湿装置５、１０を二段に直列に系統接続した場
合、二段目の乾式減湿装置１０の劣化の診断を行うこと
は従来では露点計を用いない限りは困難であったが、本
実施の形態によれば露点計を用いることなく次のように
して診断することが可能である。
ムは以上のように構成されているが、このように２つの
乾式減湿装置５、１０を二段に直列に系統接続した場
合、二段目の乾式減湿装置１０の劣化の診断を行うこと
は従来では露点計を用いない限りは困難であったが、本
実施の形態によれば露点計を用いることなく次のように
して診断することが可能である。
【００２５】即ち図４のグラフに示したように、初期の
正常時の再生出口温度分布の様子と、劣化したときの温
度分布とは異なっている様子を示している。図４におけ
るＡ地点は温度センサ１４の温度検出部１４ａの位置を
示し、Ｂ地点は温度センサ１５の温度検出部１５ａの位
置を示している。そしてかかるグラフによれば、再生区
域１１ｂを通過した空気の減湿区域１１ａに近い側の温
度は、ロータ１１の劣化により温度下降が確認でき、こ
れに対しパージ区域１１ｃに近い側の温度は、ロータ１
１の劣化により温度上昇が確認できる。
正常時の再生出口温度分布の様子と、劣化したときの温
度分布とは異なっている様子を示している。図４におけ
るＡ地点は温度センサ１４の温度検出部１４ａの位置を
示し、Ｂ地点は温度センサ１５の温度検出部１５ａの位
置を示している。そしてかかるグラフによれば、再生区
域１１ｂを通過した空気の減湿区域１１ａに近い側の温
度は、ロータ１１の劣化により温度下降が確認でき、こ
れに対しパージ区域１１ｃに近い側の温度は、ロータ１
１の劣化により温度上昇が確認できる。
【００２６】さらに各温度センサ１４、１５の初期の正
常時から劣化時に至るまでの時経列変化を調べると、図
５のグラフに示したように、温度センサ１４、１５と
も、時間の経過と共に値が変化していく様子を示してい
る。即ち、ロータ１１の劣化にともなって温度センサ１
４の方では温度が下降し、温度センサ１５の方では逆に
上昇する傾向が明瞭に示されている。したがって、温度
センサ１４又は１５のいずれか一方の測定結果の時経列
変化に基づいて、ロータ１１の劣化を診断することがで
きる。なお、図５のグラフにおける特性の傾きはロータ
個々の特性により異なる。そして時経列変化を常時、あ
るいは所定時間毎に測定して、所定のしきい値に達する
までの時間を予測することにより、ロータ１１の交換時
期を知ることも可能である。
常時から劣化時に至るまでの時経列変化を調べると、図
５のグラフに示したように、温度センサ１４、１５と
も、時間の経過と共に値が変化していく様子を示してい
る。即ち、ロータ１１の劣化にともなって温度センサ１
４の方では温度が下降し、温度センサ１５の方では逆に
上昇する傾向が明瞭に示されている。したがって、温度
センサ１４又は１５のいずれか一方の測定結果の時経列
変化に基づいて、ロータ１１の劣化を診断することがで
きる。なお、図５のグラフにおける特性の傾きはロータ
個々の特性により異なる。そして時経列変化を常時、あ
るいは所定時間毎に測定して、所定のしきい値に達する
までの時間を予測することにより、ロータ１１の交換時
期を知ることも可能である。
【００２７】減湿区域１１ａの入口の絶対湿度と温度セ
ンサ１４、１５の計測温度との関係を図６に示した。こ
の図６グラフからわかるように、温度センサ１４、１５
の計測温度は減湿区域１１ａの入口の絶対湿度とほぼ直
線の関係にある。したがって、例えば温度センサ１４の
計測値をＴ、減湿区域１１ａ入口の絶対湿度をＸとすれ
ば、Ｔ＝ａＸ＋ｂである。
ンサ１４、１５の計測温度との関係を図６に示した。こ
の図６グラフからわかるように、温度センサ１４、１５
の計測温度は減湿区域１１ａの入口の絶対湿度とほぼ直
線の関係にある。したがって、例えば温度センサ１４の
計測値をＴ、減湿区域１１ａ入口の絶対湿度をＸとすれ
ば、Ｔ＝ａＸ＋ｂである。
【００２８】ここでａ、ｂは回帰係数であり、減湿区域
１１ａの入口の絶対湿度と温度センサ１４の時経列デー
タから最小２乗法による回帰分析によって値を求める。
なおこのときの時経列データは、例えば１日に１回のよ
うに、所定の間隔をおいて求める。そして基準となるＸ
の値（例えば０．５ｇ／ｋｇ’）といった値を用いて、
基準となるＴを求める。なおこの場合、減湿区域１１ａ
の入口の絶対湿度が一定のシステムにおいては、そのよ
うな演算処理は不要であり、温度センサ１４の計測値を
そのままＴとして用いることができる。
１１ａの入口の絶対湿度と温度センサ１４の時経列デー
タから最小２乗法による回帰分析によって値を求める。
なおこのときの時経列データは、例えば１日に１回のよ
うに、所定の間隔をおいて求める。そして基準となるＸ
の値（例えば０．５ｇ／ｋｇ’）といった値を用いて、
基準となるＴを求める。なおこの場合、減湿区域１１ａ
の入口の絶対湿度が一定のシステムにおいては、そのよ
うな演算処理は不要であり、温度センサ１４の計測値を
そのままＴとして用いることができる。
【００２９】このＴを用いて、図５に見られる計測温度
の劣化の進行状況との回帰を行う。回帰の方法として
は、例えばＴの値として、初期値が７０、劣化時が６０
としたときには、ｙ＝（７０−Ｔｉ）／（７０−６０）
によって求める、いわば劣化進行度ｙを基にし、ｙ＝１
となるまでの時刻を、特開平８−１４１３５２号公報に
開示されたように、時経列データに基づいて予測すれ
ば、余寿命時間、即ちロータの交換時期が予測できる。
なおＴｉは計測時の温度センサ１４の計測温度である。
の劣化の進行状況との回帰を行う。回帰の方法として
は、例えばＴの値として、初期値が７０、劣化時が６０
としたときには、ｙ＝（７０−Ｔｉ）／（７０−６０）
によって求める、いわば劣化進行度ｙを基にし、ｙ＝１
となるまでの時刻を、特開平８−１４１３５２号公報に
開示されたように、時経列データに基づいて予測すれ
ば、余寿命時間、即ちロータの交換時期が予測できる。
なおＴｉは計測時の温度センサ１４の計測温度である。
【００３０】さらにまた温度センサ１４、１５からは、
全く逆の温度特性が確認できるから、この２つの温度セ
ンサ１４、１５双方の温度特性を計測すれば、温度変化
がたとえ僅かであっても、双方とも逆の温度特性を示し
ているから、この２つを各々正常時の温度と照合するこ
とで、正常時との違い、即ち劣化を判断することも可能
である。
全く逆の温度特性が確認できるから、この２つの温度セ
ンサ１４、１５双方の温度特性を計測すれば、温度変化
がたとえ僅かであっても、双方とも逆の温度特性を示し
ているから、この２つを各々正常時の温度と照合するこ
とで、正常時との違い、即ち劣化を判断することも可能
である。
【００３１】したがってこれら各温度センサ１４、１５
からの温度信号を、例えば別設の演算装置（図示せず）
へと出力するように構成し、当該演算装置において、予
め求め同一測定箇所で検出した正常時の温度信号と比較
するようにすれば、いずれも（温度センサ１４、１５か
らの温度信号とも）予め設定した所定のしきい値を越え
る温度差があった時には、劣化していると判断すること
が可能になる。このように２つの温度特性によってロー
タの劣化を判断するようにしているので、劣化による再
生出口温度の変化が小さい二段目の乾式減湿装置１０の
ロータ１１であっても、これを容易に診断することがで
きる。
からの温度信号を、例えば別設の演算装置（図示せず）
へと出力するように構成し、当該演算装置において、予
め求め同一測定箇所で検出した正常時の温度信号と比較
するようにすれば、いずれも（温度センサ１４、１５か
らの温度信号とも）予め設定した所定のしきい値を越え
る温度差があった時には、劣化していると判断すること
が可能になる。このように２つの温度特性によってロー
タの劣化を判断するようにしているので、劣化による再
生出口温度の変化が小さい二段目の乾式減湿装置１０の
ロータ１１であっても、これを容易に診断することがで
きる。
【００３２】ところで実際の運転の環境如何によって
は、二段目の乾式減湿装置１０における減湿区域１１ａ
の入口空気の絶対湿度が変動することがある。そうする
と再生区域１１ｂの出口温度が変化し、その影響により
再生出口温度分布（温度センサ１４、１５によって得ら
れた温度分布）の値が変動する。これを取り除くために
は、減湿区域１１ａの入口の絶対湿度を露点計で測定す
ればよいが、露点計は高価であるため、再生区域１１ｂ
の再生出口１２ｂを出た後の混ざり合った空気の温度
（以下、「再生出口代表温度」という）を測定し、前述
の再生出口温度分布との関数の変化を求めれば、その結
果より劣化の判定を行うことができる。即ち、減湿区域
入口の絶対湿度と再生出口代表温度は、ほぼ線形の相関
があるため、減湿区域入口の絶対湿度に代えて再生出口
代表温度を用いても、同様な方法で診断できる。
は、二段目の乾式減湿装置１０における減湿区域１１ａ
の入口空気の絶対湿度が変動することがある。そうする
と再生区域１１ｂの出口温度が変化し、その影響により
再生出口温度分布（温度センサ１４、１５によって得ら
れた温度分布）の値が変動する。これを取り除くために
は、減湿区域１１ａの入口の絶対湿度を露点計で測定す
ればよいが、露点計は高価であるため、再生区域１１ｂ
の再生出口１２ｂを出た後の混ざり合った空気の温度
（以下、「再生出口代表温度」という）を測定し、前述
の再生出口温度分布との関数の変化を求めれば、その結
果より劣化の判定を行うことができる。即ち、減湿区域
入口の絶対湿度と再生出口代表温度は、ほぼ線形の相関
があるため、減湿区域入口の絶対湿度に代えて再生出口
代表温度を用いても、同様な方法で診断できる。
【００３３】なお夏期には、図１の外気処理クーラ２で
冷却除湿するため、減湿区域１１ａ入口空気の絶対湿度
が比較的安定しており、この時期のデータのみを用いる
と、前記した再生出口代表温度の測定を行わずに診断を
行うことができる。また一段目の乾式減湿装置５のロー
タの能力に余裕がある場合には、一段目の再生ヒータ３
０をサイリスタなどで制御し、二段目のロータ１１の再
生出口代表温度を一定に保つことで、劣化の診断を行う
ことが容易になる。この場合、再生ヒータを制御するこ
とで、再生ヒータ３０の消費エネルギーを低減させるこ
とができる。
冷却除湿するため、減湿区域１１ａ入口空気の絶対湿度
が比較的安定しており、この時期のデータのみを用いる
と、前記した再生出口代表温度の測定を行わずに診断を
行うことができる。また一段目の乾式減湿装置５のロー
タの能力に余裕がある場合には、一段目の再生ヒータ３
０をサイリスタなどで制御し、二段目のロータ１１の再
生出口代表温度を一定に保つことで、劣化の診断を行う
ことが容易になる。この場合、再生ヒータを制御するこ
とで、再生ヒータ３０の消費エネルギーを低減させるこ
とができる。
【００３４】
【発明の効果】本発明によれば、露点計を用いることな
く、二段目の乾式減湿装置のロータの劣化を診断するこ
とができる。また特に請求項４の乾式減湿装置のロータ
の劣化診断方法によれば、より正確な劣化診断を行うこ
とが可能である。従って、本発明によれば、二段式乾式
減湿装置で最近問題となってきた二段目の減湿装置のロ
ータの状態を常にタイムリーに診断できるので、ユーザ
ーの不安を取り除くことができ、しかも設備業者が必要
以上のメンテナンス対応に追われるといった問題も解消
される。また従前のサンプリング調査と比較すると診断
に要する費用が大幅に低減できる。特に減湿ロータとし
て使用される機会が最近増えてきたシリカゲルやゼオラ
イトのロータでは、サンプリング調査ができないため本
発明は非常に有効な診断方法である。
く、二段目の乾式減湿装置のロータの劣化を診断するこ
とができる。また特に請求項４の乾式減湿装置のロータ
の劣化診断方法によれば、より正確な劣化診断を行うこ
とが可能である。従って、本発明によれば、二段式乾式
減湿装置で最近問題となってきた二段目の減湿装置のロ
ータの状態を常にタイムリーに診断できるので、ユーザ
ーの不安を取り除くことができ、しかも設備業者が必要
以上のメンテナンス対応に追われるといった問題も解消
される。また従前のサンプリング調査と比較すると診断
に要する費用が大幅に低減できる。特に減湿ロータとし
て使用される機会が最近増えてきたシリカゲルやゼオラ
イトのロータでは、サンプリング調査ができないため本
発明は非常に有効な診断方法である。
【図１】本発明の実施の形態にかかる診断方法の対象と
なった乾式減湿装置が組み入れられた低露点空気供給シ
ステムの構成の概略を示す説明図である。
なった乾式減湿装置が組み入れられた低露点空気供給シ
ステムの構成の概略を示す説明図である。
【図２】本発明の実施の形態にかかる診断方法の対象と
なった乾式減湿装置の斜視図である。
なった乾式減湿装置の斜視図である。
【図３】図２の乾式減湿装置の軸方向からみた正面図で
ある。
ある。
【図４】図２の乾式減湿装置に取り付けられた２つの温
度センサによって測定した正常時と劣化時のロータの再
生出口温度の温度分布を示すグラフである。
度センサによって測定した正常時と劣化時のロータの再
生出口温度の温度分布を示すグラフである。
【図５】図２の乾式減湿装置に取り付けられた２つの温
度センサによって測定した正常時から劣化時に至るまで
のロータの再生出口温度の時経列変化を示すグラフであ
る。
度センサによって測定した正常時から劣化時に至るまで
のロータの再生出口温度の時経列変化を示すグラフであ
る。
【図６】ロータの減湿区域入口絶対湿度と図２の乾式減
湿装置に取り付けられた２つの温度センサによって測定
した温度との関係を示すグラフである。
湿装置に取り付けられた２つの温度センサによって測定
した温度との関係を示すグラフである。
１０ 乾式減湿装置 １１ ロータ １１ａ 減湿区域 １１ｂ 再生区域 １１ｃ パージ区域 １２、１３ チャンバ １４、１５ 温度センサ Ｄ1〜Ｄ8 ダンパ Ｒ 低露点空間
Claims (4)
- 【請求項１】 回転自在なロータ内に処理空気を通過さ
せて当該処理空気を減湿させる乾式減湿装置を二段直列
に系統接続し、一段目の乾式減湿装置で減湿させた空気
を二段目の乾式減湿装置でさらに減湿させるように構成
され、さらに二段目の乾式減湿装置におけるロータの端
面に位置する空気の通過域は、少なくとも減湿区域と再
生区域とパージ区域とに仕切られて、ロータの回転によ
って再生区域から減湿区域に移行する前にパージ区域が
位置するように構成された二段式乾式減湿システムにお
いて、 二段目の乾式減湿装置における再生区域の出口側温度
を、ロータの端面から１５ｃｍ以内の軸方向に離れた位
置であってかつ減湿区域寄り又はパージ区域寄りの地点
で測定し、当該測定値に基づいて二段目の乾式減湿装置
におけるロータの劣化を診断することを特徴とする、二
段式乾式減湿システムにおけるロータの劣化診断方法。 - 【請求項２】 回転自在なロータの端面に位置する空気
の通過域が少なくとも減湿区域と再生区域とパージ区域
とに仕切られて、ロータの回転によって再生区域から減
湿区域に移行する前にパージ区域が位置するように構成
された乾式減湿装置のロータの劣化を診断する方法であ
って、 再生区域の出口側温度を、減湿区域寄りとパージ区域寄
りの少なくとも２カ所で測定し、 これら２つの測定値に基づいて前記ロータの劣化を診断
することを特徴とする、乾式減湿装置のロータの劣化診
断方法。 - 【請求項３】 再生区域の出口側温度を、減湿区域寄り
とパージ区域寄りの少なくとも２カ所で測定した測定値
と、予め測定した前記少なくとも２カ所における正常時
の出口側温度と比較することによって、前記ロータの劣
化を診断することを特徴とする、請求項２に記載の乾式
減湿装置のロータの劣化診断方法。 - 【請求項４】 減湿区域入口側の空気の絶対湿度を一定
にした状態で再生区域の出口側温度を測定することを特
徴とする、請求項２又は３に記載の乾式減湿装置のロー
タの劣化診断方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14097797A JP3795630B2 (ja) | 1997-05-15 | 1997-05-15 | 乾式減湿装置のロータの劣化診断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14097797A JP3795630B2 (ja) | 1997-05-15 | 1997-05-15 | 乾式減湿装置のロータの劣化診断方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10314540A true JPH10314540A (ja) | 1998-12-02 |
| JP3795630B2 JP3795630B2 (ja) | 2006-07-12 |
Family
ID=15281261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14097797A Expired - Fee Related JP3795630B2 (ja) | 1997-05-15 | 1997-05-15 | 乾式減湿装置のロータの劣化診断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3795630B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010281521A (ja) * | 2009-06-05 | 2010-12-16 | Mitsubishi Electric Corp | 加湿装置、加湿装置の制御方法及び加湿装置を有する空気調和機 |
| JP2013034944A (ja) * | 2011-08-08 | 2013-02-21 | Shinryo Corp | 省エネ除湿システム |
| JP2020131106A (ja) * | 2019-02-19 | 2020-08-31 | 新日本空調株式会社 | 減湿システム及びその減湿システムの運転方法 |
-
1997
- 1997-05-15 JP JP14097797A patent/JP3795630B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010281521A (ja) * | 2009-06-05 | 2010-12-16 | Mitsubishi Electric Corp | 加湿装置、加湿装置の制御方法及び加湿装置を有する空気調和機 |
| JP2013034944A (ja) * | 2011-08-08 | 2013-02-21 | Shinryo Corp | 省エネ除湿システム |
| JP2020131106A (ja) * | 2019-02-19 | 2020-08-31 | 新日本空調株式会社 | 減湿システム及びその減湿システムの運転方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3795630B2 (ja) | 2006-07-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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