JPH10311725A - 傾斜角測定機器 - Google Patents

傾斜角測定機器

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JPH10311725A
JPH10311725A JP9137419A JP13741997A JPH10311725A JP H10311725 A JPH10311725 A JP H10311725A JP 9137419 A JP9137419 A JP 9137419A JP 13741997 A JP13741997 A JP 13741997A JP H10311725 A JPH10311725 A JP H10311725A
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JP
Japan
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light
storage container
container
liquid
angle
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JP9137419A
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English (en)
Inventor
Eiichi Kitajima
栄一 北島
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 自由液面を有する液体が納められた収納容器
を用いて傾斜角を測定する測定機器において、収納容器
内の液体が運搬や振動等により流動しても傾斜精度や測
定精度に影響を及ぼさず、一定の傾斜検出精度を維持し
た傾斜角測定機器を提供する。 【解決手段】 この傾斜角測定機器は、光が透過する光
透過部材を備え内部に自由液面C1を有する透光性液体
Cを納めた収納容器3と、収納容器に光学系2を介して
光を入射させる発光素子1とを具備し、入射光を透光性
液体を介して収納容器から出射させるように構成され、
収納容器3の内側表面3a、3c、3dが低表面張力特
性を備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、液体の自由液面に
よる反射作用及び透過屈折作用を利用した傾斜センサ、
測量機の自動傾き補正装置等の傾斜角測定機器に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来の測量機の自動傾き補正装置として
は、例えぱ図3に示すものが知られている(特開平8−
75466号公報)。図3に示す自動傾き補正装置は、
レーザダイオード31から上方へ出射されたレーザ光L
を平行光にするコリメータレンズ32と、コリメータレ
ンズ32からの平行光が透過される収納容器33と、収
納容器33からの出射光Lの傾きを拡大するケプラー式
望遠鏡36とを備える。
【0003】収納容器33の上面33aと下面33bと
は互いに平行であり、収納容器33内には、屈折率1.
4のシリコンオイルCが封入され、かつシリコンオイル
Cの自由液面C1と接する空間37か形成されている。
【0004】この自動傾き補正装置の動作を説明する。
レーザダイオード31からのレーザ光Lはコリメータレ
ンズ32で平行光になり、収納容器33内のシリコンオ
イルCに入射する。自動傾き補正装置全体がθ1だけ傾
くと、収納容器33も傾き、収納容器33内のシリコン
オイルCの液面C1は、水平を保つので、勾配角θ1を
もつ液体プリズムを形成する。
【0005】この液体プリズムを透過した光Lは、プリ
ズムの屈折作用により、次の近似式(1)により得られ
る角度θ2だけ傾き、ケプラー式望遠鏡36に入射する
(nはシリコンオイルの屈折率)。
【0006】 θ2=(n−1)θ1 (1) θ2の角度をもったレーザ光Lは、入射側凸レンズ36
aの焦点距離f2と出射側凸レンズ36bの焦点距離f
3との間で成り立つ次の式(2)による倍率(f2/f
3)によって角度がθ2からθ3に拡大され、鉛直上方
へ出射する。 f2/f3=θ3/θ2 (2) 式(1)及び(2)から次の式(3)が得られる。
【0007】 θ3={(n−1)θ1}・f2/f3 (3) ここで、f2/f3=1/(n−1)の条件式から屈折
率nに合わせてf2/f3の倍率を設定することによっ
て、θ3=θ1とすることができる。これにより、自動
傾き補正が成り立つことになる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述のような
測量機の自動傾き補正装置における液体収納容器におい
ては、測量機の運搬等の状況や振動により、収納容器内
のシリコンオイルが収納容器内の上面に付着してしまい
上面の平面度が乱され、その結果、レーザ光の平行光が
散乱や屈折により乱れてしまい、遠距離への結像性と補
正精度が悪くなるという問題が生じる場合がある。
【0009】また、自由液面の反射作用を利用した傾斜
センサでは、収納容器の内面に付着したシリコンオイル
が流れ落ちるのに時間かかかるので、そのため液面高さ
や平面度か安定せず、傾斜精度に悪影響を及ぽすという
間題が生じる場合がある。
【0010】本発明は、自由液面を有する液体が納めら
れた収納容器を用いて傾斜角を測定する測定機器におい
て、収納容器内の液体が運搬や振動等により流動しても
傾斜精度や測定精度に影響を及ぼさず、一定の傾斜検出
精度を維持した傾斜角測定機器を提供することを目的と
する。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記課題を達成するため
に、本発明は、光が透過する光透過部材を備え内部に自
由液面を有する透光性液体を納めた収納容器と、前記収
納容器に光学系を介して光を入射させる発光素子とを具
備し、前記入射光を前記透光性液体を介して前記収納容
器から出射させるように構成した傾斜角測定機器におい
て、前記収納容器の内側表面が低表面張力特性を備える
ことを特徴とする。ここで、表面が低表面張力特性を備
えると、表面張力の小さい固相面に対して液体が接した
場合に、両者間に働く張力が小さいために液体が表面か
らはじける撥水性・撥油性が優れる。
【0012】本発明によれば、自由表面を有する透光性
液体が収納容器の内面に付着しても、収納容器の内側表
面が低表面張力特性を備えるので、その付着した透光性
液体が、低表面張力特性に基づく撥油性・撥水性の効果
により、内側表面からビーズ状になってすぱやく流れ落
ちる。従って、傾斜角測定機器が、どんな姿勢で運搬さ
れ、振動等を受けても、通常の使用状態に設置される
と、収納容器の内面に付着した透光性液体が短期間に通
常の状態に戻るから、傾斜検出精度を常に一定に維持し
て傾斜角測定を行うことができる。
【0013】また、収納容器の内側表面の表面張力が小
さいため、収納容器の内側表面と透光性液体の自由表面
との境界面における曲率が小さくなり、自由表面をより
平坦な状態にすることができるから、入射光の自由表面
における反射作用または屈折透過作用に悪影響を与えな
い。特に、収納容器の幅を狭くした場合に、自由表面全
体が湾曲してしまうことを防止できる。
【0014】なお、本発明における傾斜角測定機器と
は、測量機等に用いられる自動傾き補正装置や傾斜角を
検出する傾斜センサ等を含むものである。
【0015】また、前記収納容器の内側の天井面を、重
力方向に傾斜させる構成とすることにより、天井面に付
着した透光性液体を傾斜面に沿って下方にすばやく流し
落とすことができるから、好ましい。
【0016】また、収納容器の内側表面にフッ素樹脂膜
を形成することにより、低張力表面特性を持たせること
ができる。なお、光が透過する必要のない収納容器の部
分はフッ素樹脂部材により構成してもよい。
【0017】また、前記入射光を前記収納容器内の透光
性液体を通過させ、該通過した光を前記収納容器の傾斜
角と同一の角度に偏向させて鉛直方向に出射させる光学
系を更に具備することにより、傾斜角測定機器を測量機
等の自動傾き補正装置として構成することができる。こ
れにより、光の結像性がすぐれ、補正精度の安定した自
動傾き補正装置を提供することができる。
【0018】また、受光素子と、前記入射光を前記収納
容器内の透光性液体を介して前記受光素子に入射させる
光学系とを更に具備することにより、傾斜角測定機器を
傾斜センサとして構成することができる。これにより、
自由表面の液面高さや平面度がすばやく安定し、傾斜検
出精度のすぐれた傾斜センサを提供することができる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明による実施の形態に
ついて図1及び図2により説明する。図1は、第1の実
施の形態における測量機に備えられた自動傾き補正装置
の原理構成を説明する図である。図1に示す自動傾き補
正装置は、レーザダイオード1と、このレーザダイオー
ド1から上方へ出射されたレーザ光Lを平行光にするコ
リメータレンズ2と、コリメータレンズ2からの平行光
が透過する収納容器3と、収納容器3からの出射光Lの
傾きを拡大するケプラー式望遠鏡5とを備える。
【0020】収納容器3は、ガラスやアクリル等の光透
過性部材からなり、側面3cが側面3dよりも低く構成
され、天井面(上面)3aが底面3bに対して傾斜する
ことにより重力方向に傾斜している。上面3aと、底面
3bと、互いに平行な側面3c、3dとにより、収納容
器3の断面形状は台形状になっている。
【0021】透光性収納容器3の傾斜した上面3a、両
側面3c、3dの各内面には薄い透光性のフッ素樹脂膜
6がコーティングされている。このフッ素樹脂膜6は低
表面特性を有し、撥水性・撥油性に優れているものであ
り、例えば、ポリテトラフルオロエチレンから構成する
ことができる。また、収納容器3内には、透光性である
屈折率1.4のシリコンオイルCが封入され、シリコン
オイルCの自由液面C1と接する空間4が形成されてい
る。
【0022】この自動傾き補正装置の自動傾き補正動作
を説明する。レーザダイオード1から上方に出射したレ
ーザ光Lは、コリメータレンズ2で平行光になり、収納
容器3の底面3bに垂直に入射し、シリコンオイルCに
入射してシリコンオイルCを透過し、収納容器3の上面
3aを通過してケプラー式望遠鏡5に入射する。
【0023】ここで、自動傾き補正装置全体がθ1だけ
傾いた場合、収納容器3も傾くが、シリコンオイルCの
液面C1は水平を保つので、収納容器3内のシリコンオ
イルCが勾配角θ1をもつ液体プリズムを形成すること
になる。
【0024】この液体プリズムを透過した光Lは屈折作
用により、上述の式(1)から得られるθ2だけ傾き、
ケプラー式望遠鏡5に入射する。θ2の角度をもったレ
ーザ光Lは、入射側凸レンズ5aの焦点距離f2と出射
側凸レンズ5bの焦点距離f3との関係できまる上述の
式(2)から得られる倍率(f2/f3)によって、角
度がθ2からθ3に拡大され、レンズ5bから鉛直上方
へ出射される。
【0025】上述の式(3)から、f2/f3=1/
(n−1)の条件式に基づき、屈折率nに合わせてf2
/f3の倍率を設定することによって、θ3=θ1とす
ることができる。これにより、自動傾き補正装置を備え
る測量機全体が角度θ1だけ傾いても、ケプラー式望遠
鏡5から出射するレーザ光Lが、θ1に等しい角度θ3
だけ偏向されるので、測量機の傾きは自動的に補正され
る。
【0026】次に、透光性収納容器3内のシリコンオイ
ルCの動きを説明する。測量機の遅搬や振動等により、
収納容器3内においてシリコンオイルCが流動すると、
シリコンオイルCが収納容器3内の側面3c、3dや上
面3aに付着する。この状態から測量機を測定のための
通常の状態に設置すると、上面3a、側面3c、3dに
付着したシリコンオイルCは、フッ素樹脂膜6の撥油性
効果により、すぱやくビーズ状になって流れ落ちる。上
面3aは重力方向に傾斜しているので、上面3aに付着
したシリコンオイルCは、上面3aの傾斜方向に沿って
側面3cに向けてすばやく流れ落ちることができる。
【0027】以上のように、光の屈折透過を利用した測
量機の自動傾き補正装置においては、収納容器3の上面
3aにシリコンオイルCが付着しないので、光路に影響
を与えることはなく、レーザ光の結像性が優れ、補正精
度が安定する効果が得られる。
【0028】次に、図2により本発明の第2の実施の形
態における傾斜センサについて説明する。図2は本実施
の形態による傾斜センサの原理構成を説明する図であ
る。図2に示す傾斜センサは、レーザダイオード11、
コリメータレンズ12、入射面13a及び出射面13b
を有しシリコンオイルCを封入した透光性収納容器1
3、投影レンズ15、2次元CCD17を備えている。
【0029】収納容器13は、ガラスやアクリル等の光
透過性部材からなり、側面13dが側面13eよりも低
く構成され、天井面(上面)13cが底面13fに対し
て傾斜することにより重力方向に傾斜している。入射面
13a及び出射面13bは、レーザ光が垂直方向に入射
し、垂直方向に出射するように底面13fに対して傾斜
している。上面13c、互いに平行な側面13d、13
e、入射面13a、出射面13b、及び底面13fによ
り、収納容器3の断面形状は六角形状になっている。
【0030】透光性収納容器13の傾斜した上面13
c、両側面13d、13eの各内面には薄い透光性のフ
ッ素樹脂膜16が、図1の場合と同様に、コーティング
されている。収納容器13内には、透光性である屈折率
1.4のシリコンオイルCが封入され、シリコンオイル
Cの自由液面C1と接する空間14が形成されている。
【0031】次に、傾斜センサの動作原理を説明する。
レーザダイオード11からの光は、コリメータレンズ1
2により平行光L1とされ、平行光L1は上方向に45
度傾いて出射し、収納容器13の入射面13aに垂直に
入射し、収納容器13内に入り、シリコンオイルCを透
過して自由液面C1において全反射する。この全反射し
た光L2は、収納容器13の出射面13bから垂直に出
射し、下方向に45度傾いて投影レンズ15に入射し、
このレンズ15により集光された光が2次元CCD17
に入射する。
【0032】ここで、図2に示すように、傾斜センサ全
体がθ1だけ傾いたとすると、収納容器14に封入され
たシリコンオイルCの液面C1は水平を保つので、結果
的に液面C1はθ1だけ変化したことになる。レーザ光
L1は、液面C1で全反射され、紙面上の軸(X軸とす
る)においては、θ2x=2nθ1(nはシリコンオイ
ルの屈折率)だけ角度変化したレーザ光L2xとなって
収納容器13から出射する。一方、紙面上X軸と直交す
る軸(Y軸とする)方向の反射光は、反射角度に1.4
142倍の感度差が生じるので、θ2y=1.4142
nθ1の角度変化のレーザ光L2yとなって収納容器1
3から出射する。反射感度の異なったレーザ光L2は、
投影レンズ15によって集光され、2次元CCD17に
点像となって投影される。
【0033】2次元CCD17では、あらかじめ傾斜セ
ンサが水平のときの2軸(X軸,Y軸)原点位置か決め
られているので、原点位置からの変動した2軸の座標点
を求めて、それぞれの反射感度を考慮すれば、2軸方向
の傾斜角度を検出することができる。
【0034】また、収納容器13内のシリコンオイルC
の動きを説明する。傾斜センサの運搬や振動等により収
納容器13内のシリコンオイルCは、流動し、収納容器
13内の側面13d、13eや上面13cに付着する
が、傾斜センサが測定のための状態で設置されると、上
面13c、側面13d、13eに付着した付着したシリ
コンオイルCは、フッ素樹脂膜1の撥油性効果により、
すぱやくビーズ状になって流れ落ちる。上面13cは重
力方向に傾斜しているので、上面13cに付着したシリ
コンオイルCは、上面13cの傾斜方向に沿って側面1
3dに向けてすばやく流れ落ちることができる。
【0035】以上のように、液面の反射作用を利用した
傾斜センサにおいて、収納容器13内のシリコンオイル
Cの液面高さや平面度がすばやく安定するので、傾斜角
を正確に検出でき、検出精度を向上させることができ
る。
【0036】なお、本実施の形態では、収納容器13の
上面13c、両側面13d、13eを、入射面13aや
出射面13bと同様の光透過部材から構成し、この部材
上にフッ素樹脂膜をコーティングにより形成したが、こ
れらの部分をフッ素樹脂部材により構成してもよい。
【0037】また、本発明による傾斜角測定機器は、本
実施の形態における測量機の自動傾き補正装置や反射式
傾斜センサに限定されることなく、その他の補正または
傾斜検出方式による傾斜角測定機器に適用することもで
きる。また、収納容器に納める液体は、アルコールや水
等の透光性液体であればいずれでもよい。
【0038】
【発明の効果】本発明によれば、自由液面を有する液体
が納められた収納容器を用いて傾斜角を測定する測定機
器において、収納容器内の液体が運搬や振動等により流
動しても傾斜精度や測定精度に影響を及ぼさず、一定の
傾斜検出精度を維持した傾斜角測定機器を提供すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による第1の実施の形態における測量機
の自動傾き補正装置の構成を示す図である。
【図2】第2の実施の形態における傾斜センサの構成を
示す図である。
【図3】従来の測量機の自動傾き補正装置の構成を示す
図である。
【符号の説明】
1、11 レーザダイオード 2、12 コリメータレンズ 3、13 透光性液体の収納容器 3a、13c 収納容器の上面(天井面) 4、14 収納容器内の空間 5 ケプラー式望遠鏡 6、16 フッ素樹脂膜 C シリコンオイル C1 自由液面 15 投影レンズ 17 2次元CCD

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光が透過する光透過部材を備え内部に自
    由液面を有する透光性液体を納めた収納容器と、 前記収納容器に光学系を介して光を入射させる発光素子
    と、を具備し、 前記入射光を前記透光性液体を介して前記収納容器から
    出射させるように構成した傾斜角測定機器において、 前記収納容器の内側表面が低表面張力特性を備えること
    を特徴とする傾斜角測定機器。
  2. 【請求項2】 前記収納容器の内側の天井面を、重力方
    向に傾斜させたことを特徴とする請求項1記載の傾斜角
    測定機器。
  3. 【請求項3】 前記内側表面にフッ素樹脂膜を形成した
    ことを特徴とする請求項1または2記載の傾斜角測定機
    器。
  4. 【請求項4】 前記入射光を前記収納容器内の透光性液
    体を通過させ、該通過した光を前記収納容器の傾斜角と
    同一の角度に偏向させて鉛直方向に出射させる光学系を
    更に具備することを特徴とする請求項1,2または3記
    載の傾斜角測定機器。
  5. 【請求項5】 受光素子と、前記入射光を前記収納容器
    内の透光性液体を介して前記受光素子に入射させる光学
    系とを更に具備することを特徴とする請求項1,2また
    は3記載の傾斜角測定機器。
JP9137419A 1997-05-13 1997-05-13 傾斜角測定機器 Withdrawn JPH10311725A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105588541A (zh) * 2014-10-21 2016-05-18 陕西重型汽车有限公司 车身姿态实时采集测量装置、车辆智能化控制系统及车辆
JP2016090509A (ja) * 2014-11-10 2016-05-23 大阪瓦斯株式会社 感震器およびガスメーター

Cited By (3)

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CN105588541A (zh) * 2014-10-21 2016-05-18 陕西重型汽车有限公司 车身姿态实时采集测量装置、车辆智能化控制系统及车辆
CN105588541B (zh) * 2014-10-21 2018-04-06 陕西重型汽车有限公司 车身姿态实时采集测量装置、车辆智能化控制系统及车辆
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