JP2024050408A - 測量装置 - Google Patents

Abstract

【課題】迷光の発生を抑制し、追尾精度の向上を図る測量装置を提供する。【解決手段】測定対象物に測距光を射出する測距光射出部２３と、前記測定対象物からの反射測距光を受光する受光素子を有する測距光受光部２４と、前記測定対象物に前記測距光と同軸で追尾光を射出する追尾光射出部２５と、前記反射測距光と同軸で入射した反射追尾光を受光する追尾受光素子を有する追尾光受光部と、前記受光素子に対する前記反射測距光の受光結果に基づき前記測定対象物の距離を演算し、前記追尾受光素子に対する反射追尾光の受光結果に基づき前記測定対象物を追尾する演算制御部１７とを具備し、前記測距光受光部と前記追尾光受光部は前記反射測距光と前記反射追尾光を複数回内部反射させる受光プリズムを有し、該受光プリズムの前記反射追尾光の光路外に位置する角部に少なくとも１つの面取り部を形成し、該面取り部に反射防止加工を施す様構成された。【選択図】図１

Description

本発明は、測定対象物の３次元座標を取得可能な測量装置に関するものである。

レーザスキャナやトータルステーション等の測量装置は、測定対象物として再帰反射性を有するプリズムを用いたプリズム測距、反射プリズムを用いないノンプリズム測距により測定対象物迄の距離を検出する光波距離測定装置を有している。

又、特にプリズム測距を行う測量装置には、測定対象物を自動追尾する為の追尾機能を有するものもある。然し乍ら、測量装置を屋外で使用する場合、太陽光等の外光が追尾系に入り込み、迷光となって受光素子に受光される虞れがある。迷光が発生すると、迷光により追尾対象のプリズムを誤検出する場合があり、プリズムの自動追尾や自動視準の妨げとなっていた。

特開２０２１－２５９９３号公報 特開２０２１－１０１１５５号公報

本発明は、迷光の発生を抑制し、追尾精度の向上を図る測量装置を提供するものである。

本発明は、測定対象物に測距光を射出する測距光射出部と、前記測定対象物からの反射測距光を受光する受光素子を有する測距光受光部と、前記測定対象物に前記測距光と同軸で追尾光を射出する追尾光射出部と、前記反射測距光と同軸で入射した反射追尾光を受光する追尾受光素子を有する追尾光受光部と、前記受光素子に対する前記反射測距光の受光結果に基づき前記測定対象物の距離を演算し、前記追尾受光素子に対する反射追尾光の受光結果に基づき前記測定対象物を追尾する演算制御部とを具備し、前記測距光受光部と前記追尾光受光部は前記反射測距光と前記反射追尾光を複数回内部反射させる受光プリズムを有し、該受光プリズムの前記反射追尾光の光路外に位置する角部に少なくとも１つの面取り部を形成し、該面取り部に反射防止加工を施す様構成された測量装置に係るものである。

又本発明は、前記受光プリズムは、前記反射測距光と前記反射追尾光のうちのいずれか一方を透過し、いずれか他方を反射する波長分離面を有する様構成された測量装置に係るものである。

又本発明は、前記受光プリズムの前記追尾受光素子と対向する面に、前記反射追尾光のみを透過させる波長選択部を設ける様構成された測量装置に係るものである。

又本発明は、前記波長選択部は前記面よりも小さく、該面の前記波長選択部が設けられなかった部分にマスキング部を形成する様構成された測量装置に係るものである。

又本発明は、前記受光プリズムの前記反射追尾光の入射角が回転対称となった状態で入射する面に対して、波長選択膜を形成する様構成された測量装置に係るものである。

又本発明は、前記受光プリズムの前記反射測距光と前記反射追尾光の光路外に位置する面に反射防止加工を施す様構成された測量装置に係るものである。

又本発明は、前記受光プリズムは、前記反射測距光と前記反射追尾光を分離させる分離面を有し、該分離面のうち前記反射測距光と前記反射追尾光の光路外の部分に反射防止部を設ける様構成された測量装置に係るものである。

更に又本発明は、前記受光プリズムは、前記反射測距光の入射面と反対側の面に、前記入射面側に窪んだ凹部が形成され、該凹部に前記受光素子が配設される様構成された測量装置に係るものである。

本発明によれば、測定対象物に測距光を射出する測距光射出部と、前記測定対象物からの反射測距光を受光する受光素子を有する測距光受光部と、前記測定対象物に前記測距光と同軸で追尾光を射出する追尾光射出部と、前記反射測距光と同軸で入射した反射追尾光を受光する追尾受光素子を有する追尾光受光部と、前記受光素子に対する前記反射測距光の受光結果に基づき前記測定対象物の距離を演算し、前記追尾受光素子に対する反射追尾光の受光結果に基づき前記測定対象物を追尾する演算制御部とを具備し、前記測距光受光部と前記追尾光受光部は前記反射測距光と前記反射追尾光を複数回内部反射させる受光プリズムを有し、該受光プリズムの前記反射追尾光の光路外に位置する角部に少なくとも１つの面取り部を形成し、該面取り部に反射防止加工を施す様構成されたので、前記面取り部に入射した外光による迷光の発生が抑制され、迷光による測定対象物の誤検出が抑制され、追尾精度の向上が図れるという優れた効果を発揮する。

本発明の第１の実施例に係る測量装置を示す正断面図である。 （Ａ）は本発明の第１の実施例に係る測量装置の測距光受光部及び追尾光受光部を示す構成図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＡ矢視図である。 本発明の第１の実施例に係る受光プリズムに入射した外光の光路の一例を示す説明図である。 （Ａ）は本発明の第１の実施例の第１の変形例に係る測量装置の測距光受光部及び追尾光受光部を示す構成図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＢ矢視図である。 本発明の第１の実施例の第２の変形例に係る測量装置の測距光受光部及び追尾光受光部を示す構成図である。 （Ａ）は本発明の第２の実施例に係る測量装置の測距光受光部及び追尾光受光部を示す構成図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＣ矢視図であり、（Ｃ）は（Ａ）のＤ矢視図である。 本発明の第３の実施例に係る測量装置の距離測定部を示す構成図である。 （Ａ）（Ｂ）は本発明の第３の実施例に係る受光プリズムに入射した外光の光路の一例を示す説明図である。

以下、図面を参照しつつ本発明の実施例を説明する。

先ず、図１に於いて、本発明の第１の実施例に係る測量装置について説明する。

測量装置１は、例えばレーザスキャナであり、三脚（図示せず）に取付けられる整準部２と、該整準部２に取付けられた測量装置本体３とから構成される。

前記整準部２は整準ネジ１０を有し、該整準ネジ１０により前記測量装置本体３の整準を行う。

該測量装置本体３は、固定部４と、托架部５と、水平回転軸６と、水平回転軸受７と、水平回転駆動部としての水平回転モータ８と、水平角検出部としての水平角エンコーダ９と、鉛直回転軸１１と、鉛直回転軸受１２と、鉛直回転駆動部としての鉛直回転モータ１３と、鉛直角検出部としての鉛直角エンコーダ１４と、鉛直回転部である走査ミラー１５と、操作部と表示部とを兼用する操作パネル１６と、演算制御部１７と、記憶部１８と、距離測定部１９等を具備している。尚、前記演算制御部１７としては、本装置に特化したＣＰＵ、或は汎用ＣＰＵが用いられる。

前記水平回転軸受７は前記固定部４に固定される。前記水平回転軸６は鉛直な軸心６ａを有し、前記水平回転軸６は前記水平回転軸受７に回転自在に支持される。又、前記托架部５は前記水平回転軸６に支持され、前記托架部５は水平方向に前記水平回転軸６と一体に回転する様になっている。

前記水平回転軸受７と前記托架部５との間には前記水平回転モータ８が設けられ、該水平回転モータ８は前記演算制御部１７により制御される。該演算制御部１７は、前記水平回転モータ８により、前記托架部５を前記軸心６ａを中心に回転させる。

前記托架部５の前記固定部４に対する相対回転角は、前記水平角エンコーダ９によって検出される。該水平角エンコーダ９からの検出信号は前記演算制御部１７に入力され、該演算制御部１７により水平角データが演算される。該演算制御部１７は、前記水平角データに基づき、前記水平回転モータ８に対するフィードバック制御を行う。

又、前記托架部５には、水平な軸心１１ａを有する前記鉛直回転軸１１が設けられている。該鉛直回転軸１１は、前記鉛直回転軸受１２を介して回転自在となっている。尚、前記軸心６ａと前記軸心１１ａの交点が、測距光の射出位置であり、前記測量装置本体３の座標系の原点となっている。

前記托架部５には、凹部２１が形成されている。前記鉛直回転軸１１は、一端部が前記凹部２１内に延出し、前記一端部に前記走査ミラー１５が固着され、該走査ミラー１５は前記凹部２１に収納されている。又、前記鉛直回転軸１１の他端部には、前記鉛直角エンコーダ１４が設けられている。

前記鉛直回転軸１１に前記鉛直回転モータ１３が設けられ、該鉛直回転モータ１３は前記演算制御部１７に制御される。該演算制御部１７は、前記鉛直回転モータ１３により前記鉛直回転軸１１を回転させ、前記走査ミラー１５は前記軸心１１ａを中心に回転される。

前記走査ミラー１５の回転角は、前記鉛直角エンコーダ１４によって検出され、検出信号は前記演算制御部１７に入力される。該演算制御部１７は、検出信号に基づき前記走査ミラー１５の鉛直角データを演算し、該鉛直角データに基づき前記鉛直回転モータ１３に対するフィードバック制御を行う。

又、前記演算制御部１７で演算された水平角データ、鉛直角データや測定結果は、前記記憶部１８に保存される。該記憶部１８としては、磁気記憶装置としてのＨＤＤ、光記憶装置としてのＣＤ、ＤＶＤ、半導体記憶装置としてのメモリカード、ＵＳＢメモリ等種々の記憶手段が用いられる。該記憶部１８は、前記托架部５に対して着脱可能であってもよく、或は図示しない通信手段を介して外部記憶装置や外部データ処理装置にデータを送出可能としてもよい。

前記記憶部１８には、測距作動を制御するシーケンスプログラム、測距作動により距離を演算する演算プログラム、水平角データ及び鉛直角データに基づき角度を演算する演算プログラム、距離と角度に基づき所望の測定点の３次元座標を演算するプログラム、測定対象物を追尾する為の追尾プログラム等の各種プログラムが格納される。又、前記演算制御部１７により各種プログラムが実行されることで、各種処理が実行される。

前記操作パネル１６は、例えばタッチパネルであり、測距の指示や測定条件、例えば測定点間隔の変更等を行う操作部と、測距結果や画像等を表示する表示部とを兼用している。

次に、図１、図２（Ａ）、図２（Ｂ）を参照して、前記距離測定部１９について説明する。

該距離測定部１９は、測距光射出部２３と測距光受光部２４とを有している。尚、前記測距光射出部２３と前記測距光受光部２４とにより測距部が構成される。又、前記距離測定部１９は、追尾光射出部２５と追尾光受光部２６とを有し、前記追尾光射出部２５と前記追尾光受光部２６とにより追尾部が構成される。

前記測距光射出部２３は、測距光軸２７を有している。又、前記測距光射出部２３は、発光側から順に、前記測距光軸２７上に設けられた発光素子２８、例えばレーザダイオード（ＬＤ）と、コリメータレンズ２９と、ダイクロイックミラー３１と、該ダイクロイックミラー３１の反射光軸上に設けられた反射プリズム３２とを有している。又、該反射プリズム３２の反射光軸上には前記走査ミラー１５が設けられている。前記反射プリズム３２は、ガラス等の透明材料からなる窓部３０に取付けられている。

尚、前記コリメータレンズ２９、前記ダイクロイックミラー３１、前記反射プリズム３２等は投光光学系を構成する。又、本実施例では、前記測距光軸２７と、前記ダイクロイックミラー３１で反射された前記測距光軸２７と、前記反射プリズム３２で反射された前記測距光軸２７とを総称して、該測距光軸２７としている。

前記発光素子２８は、所定波長のレーザ光線を測距光３３として射出し、前記コリメータレンズ２９は、前記測距光３３を平行光束とする様構成される。又、前記ダイクロイックミラー３１は、前記測距光軸２７を後述する追尾光軸と合致する様直角に偏向する。

前記測距光受光部２４は、前記受光光軸３４を有している。又、前記測距光受光部２４は、受光側から順に前記受光光軸３４上に設けられた前記受光素子３５と、受光プリズム３６と、該受光プリズム３６で反射された前記受光光軸３４上に設けられた所定のＮＡを有する受光レンズ３７を有している。

尚、前記受光プリズム３６、前記受光レンズ３７等で受光光学系が構成される。又、本実施例では、前記受光光軸３４と、前記受光プリズム３６で反射された前記受光光軸３４とを総称して、該受光光軸３４としている。

前記追尾光射出部２５は、追尾光軸３８を有している。又、前記追尾光射出部２５は、発光側から順に、前記追尾光軸３８上に設けられた追尾発光素子３９、例えばレーザダイオード（ＬＤ）と、投光レンズ４１と、前記ダイクロイックミラー３１と、該ダイクロイックミラー３１の反射光軸上に設けられた反射プリズム３２とを有している。

尚、前記投光レンズ４１、前記ダイクロイックミラー３１、前記反射プリズム３２等は追尾投光光学系を構成する。又、本実施例では、前記追尾光軸３８と、前記反射プリズム３２で反射された前記追尾光軸３８とを総称して、該追尾光軸３８としている。

前記追尾発光素子３９は、前記測距光３３とは異なる波長、例えば赤色の一部又は近赤外波長のレーザ光線を追尾光４２として射出し、前記投光レンズ４１は前記追尾光４２を所定の広がり角となる様配置する。又、前記ダイクロイックミラー３１は、該ダイクロイックミラー３１で反射された測距光軸２７と合致する様に前記追尾光軸３８を透過する。即ち、前記ダイクロイックミラー３１は、前記測距光３３を反射し、前記追尾光４２を透過する光学特性を有している。

前記追尾光受光部２６は、前記追尾受光光軸４３を有している。又、前記追尾光受光部２６は、受光側から順に前記追尾受光光軸４３上に設けられた前記追尾受光素子４４と、受光プリズム３６と、該受光プリズム３６で反射された前記追尾受光素子４４上に設けられた前記受光レンズ３７を有している。

前記発光素子２８からパルス光の前記測距光３３が射出される。該測距光３３は、前記コリメータレンズ２９で平行光束とされ、前記ダイクロイックミラー３１で直角に反射され、前記反射プリズム３２で直角に反射される。該反射プリズム３２で反射された前記測距光３３の前記測距光軸２７は、前記軸心１１ａと合致しており、前記測距光３３は前記走査ミラー１５によって直角に偏向される。該走査ミラー１５が前記軸心１１ａを中心に回転することで、測距光は前記軸心１１ａと直交し、且つ前記軸心６ａを含む平面内で回転（走査）される。

又、前記測距光３３の射出と並行して、前記追尾発光素子３９から追尾光４２が射出される。該追尾光４２は、前記投光レンズ４１で所定の広がり角とされ、前記測距光軸２７と合致する様前記ダイクロイックミラー３１を透過し、前記反射プリズム３２で直角に反射される。該反射プリズム３２で反射された前記追尾光４２の前記追尾光軸３８は、前記走査ミラー１５によって直角に偏向され、前記測距光３３と同軸で回転（走査）される。

測定対象物で反射された前記測距光３３（以下反射測距光４５）及び前記追尾光４２（以下反射追尾光４６）は、前記走査ミラー１５に同軸で入射し、該走査ミラー１５で偏向される。該走査ミラー１５で偏向された前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６は、前記受光レンズ３７を経て前記受光プリズム３６に入射する。該受光プリズム３６に入射した前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６は、前記受光プリズム３６内で複数回内部反射された後、前記反射測距光４５と前記反射追尾光４６に分離され、前記反射測距光４５は前記受光素子３５で受光され、前記反射追尾光４６は前記追尾受光素子４４で受光される。

前記受光素子３５は、例えばアバランシェフォトダイオード（ＡＰＤ）、或は同等の光電変換素子となっている。又、前記追尾受光素子４４は、画素の集合体であるＣＣＤ、或はＣＭＯＳセンサであり、各画素は前記追尾受光素子４４上での位置が特定できる様になっている。例えば、各画素は、前記追尾受光素子４４の中心を原点とした画素座標を有し、該画素座標によって前記追尾受光素子４４上での位置が特定される。

前記演算制御部１７は、前記発光素子２８の発光タイミングと、前記受光素子３５の受光タイミングの時間差（即ち、パルス光の往復時間）と光速に基づき、前記測距光３３の１パルス毎に測距を実行する（Ｔｉｍｅ Ｏｆ Ｆｌｉｇｈｔ）。尚、前記発光素子２８発光のタイミング、即ちパルス間隔は、前記操作パネル１６を介して変更可能となっている。

前記托架部５と前記走査ミラー１５とがそれぞれ定速で回転し、該走査ミラー１５の鉛直方向の回転と、前記托架部５の水平方向の回転との協動により、前記測距光３３が２次元に走査される。又、各パルス光毎に前記鉛直角エンコーダ１４、前記水平角エンコーダ９により鉛直角、水平角を検出することで、鉛直角データ、水平角データが取得できる。前記演算制御部１７は、鉛直角データ、水平角データ、測距データとにより、測定対象物の３次元座標及び測定対象物に対応する３次元の点群データを演算する。

又、前記演算制御部１７は、前記反射追尾光４６の前記追尾受光素子４４に対する入射位置を演算し、該入射位置と前記追尾受光素子４４の中心との偏差に基づき、前記反射追尾光４６の入射位置が前記追尾受光素子４４の中心となる様に前記水平回転モータ８と前記鉛直回転モータ１３を制御する。これにより、前記測量装置本体３が測定対象物を追尾する。

次に、図２（Ａ）、図２（Ｂ）に於いて、前記測距光受光部２４及び前記追尾光受光部２６の詳細についで説明する。

前記受光プリズム３６は所定の屈折率を有する４角形のプリズムである第１受光プリズム４７と、３角形のプリズムを組合わせて形成した４角形のプリズムである第２受光プリズム４８とから構成されている。

前記第１受光プリズム４７は、前記受光レンズ３７を透過した前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６が入射する第１面４７ａ、該第１面４７ａの表面を透過した前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６が反射する第２面４７ｂ、該第２面４７ｂと前記第１面４７ａで順次反射された前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６が入射する第３面４７ｃ、前記第１面４７ａに入射した前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６と交差する方向に前記第３面４７ｃで反射された前記反射測距光４５前記反射追尾光４６が透過する透過面としての第４面４７ｄとを有している。

又、前記第２面４７ｂと前記第３面４７ｃとで形成される角部に面取り加工が施され、第１面取り部４９が形成されている。又、前記第１面４７ａと前記第３面４７ｃとで形成される角部に面取り加工が施され、第２面取り部５１が形成されている。

前記第１面取り部４９と前記第２面取り部５１は、それぞれ前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６の光路外に位置している。前記第１面取り部４９と前記第２面取り部５１の面積は、前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６の有効光束を確保しつつ、最大限の大きさとすることが望ましい。又、前記第１面取り部４９と前記第２面取り部５１には、反射防止加工が施されている。該反射防止加工は、例えば反射防止膜の蒸着や黒色塗料の塗布であり、前記第１面取り部４９と前記第２面取り部５１に入射した光の反射を防止する様に構成されている。

前記第２受光プリズム４８は、例えば立方体であり、３角形のプリズム同士の接合面にはダイクロイックフィルタ膜が設けられ、該ダイクロイックフィルタ膜により波長分離面５２が形成されている。該波長分離面５２は、例えば反射測距光４５を反射し、前記反射追尾光４６を透過する様構成されている。

又、前記第２受光プリズム４８は、前記第４面４７ｄと接合される第５面４８ａと、第５面４８ａと対向する第６面４８ｂを有している。前記波長分離面５２は、前記第５面４８ａに対して４５°傾斜しており、該第５面４８ａと隣接し、且つ該第５面４８ａと対向する側の前記波長分離面５２に対向する面は第７面４８ｃとなっている。

前記第６面４８ｂには、波長選択部としての波長選択板５３が接着されている。該波長選択板５３は、前記第６面４８ｂに入射する前記反射追尾光４６の光束径よりも大きくなっており、例えば１辺が該第６面４８ｂよりも数ｍｍ程度小さくなっている。前記波長選択板５３は、例えばバンドパスフィルタや色ガラスであり、前記反射追尾光４６以外の光を遮断する様に構成されている。

又、前記第６面４８ｂの前記波長選択板５３が接着されていない部分は、前記反射追尾光４６の光路外となっており、黒色塗料の塗布や遮光板の設置によるマスキング加工が施されたマスキング部５５が形成されている。

尚、前記波長選択板５３は、前記第６面４８ｂと同形状であってもよい。この場合には、前記第６面４８ｂの端部から数ｍｍの部分に対してマスキング加工を施し、前記マスキング部５５を形成することで、１辺が前記第６面４８ｂよりも数ｍｍ小さい前記波長選択板５３を設けた場合と同等の効果を得ることができる。

前記第１受光プリズム４７と前記第２受光プリズム４８は、前記第４面４７ｄと前記第５面４８ａとが接合されることで一体化され、受光プリズム３６が構成されている。

図３は、前記受光プリズム３６に外光５４が受光され、迷光となった際の、前記外光５４の光路の一例を示している。前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６の光路外を前記外光５４が通過し、前記追尾受光素子４４に受光される。尚、図３では、前記第１受光プリズム４７に前記第１面取り部４９及び前記第２面取り部５１が形成されていない。又、便宜上前記波長分離面５２の反射側に前記追尾受光素子４４を設けると共に、前記波長分離面５２が紙面に対して右方向に前記外光５４を反射している。

図３に示される様に、前記外光５４は前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６の光路外、即ち前記第１面取り部４９が形成された箇所（図３中波線）を通過し、前記追尾受光素子４４に受光されている。第１の実施例では、前記第１面取り部４９、前記第２面取り部５１を設け、更に前記第１面取り部４９、前記第２面取り部５１に反射防止膜や黒色塗料を塗布し、前記第１面取り部４９、前記第２面取り部５１に入射した光の反射を防止している。

従って、前記第１面取り部４９が形成された箇所に入射した前記外光５４は、前記第１面取り部４９によって反射されることがなく、前記追尾受光素子４４に受光されることがないので、迷光の発生確率を例えば０．２４％から０．１７％迄低下させることができる。

前記受光プリズム３６に入射した前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６は、前記受光レンズ３７及び前記第１面４７ａを透過する過程で屈折される。前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６は、前記第１受光プリズム４７の内部で前記第２面４７ｂ、前記第１面４７ａで順次反射され、前記第３面４７ｃに入射する。又、前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６は、前記第３面４７ｃで前記第４面４７ｄに向って、即ち前記第１面４７ａから入射した前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６と交差する方向に反射される。

又、前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６と共に入射し、前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６の光路外を通過する前記外光５４は、前記第１面取り部４９及び前記第２面取り部５１により前記第１受光プリズム４７内での反射が防止される。

前記第４面４７ｄと前記第５面４８ａを透過した前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６は、前記波長分離面５２に入射する。前記反射追尾光４６は、前記波長分離面５２を透過し、前記第６面４８ｂ及び前記波長選択板５３を透過して前記追尾受光素子４４に受光される。尚、前記波長選択板５３を透過する過程で、前記反射追尾光４６以外の波長の光、例えば前記外光（迷光）５４を遮断することができる。

又、前記反射測距光４５は、前記波長分離面５２によって、紙面に対して手前方向、即ち前記受光プリズム３６に入射する前記反射測距光４５の前記受光光軸３４と直交する方向に９０°偏向され、前記第７面４８ｃを透過して前記受光素子３５に受光される。

上述の様に、第１の実施例では、前記受光プリズム３６内を内部反射する前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６の光路外に前記第１面取り部４９と前記第２面取り部５１を形成し、前記第１面取り部４９と前記第２面取り部５１に対して反射防止膜や黒色塗料を塗布することによる反射防止加工を施している。

従って、前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６の光路外を通過する前記外光（迷光）５４は、前記第１面取り部４９と前記第２面取り部５１によって反射が防止されるので、前記外光５４が前記追尾受光素子４４に受光されることによる測定対象物の誤検出を抑制でき、追尾精度を向上させることができる。

又、前記第２受光プリズム４８の前記第６面４８ｂに前記反射追尾光４６のみを透過させる前記波長選択板５３を設け、前記反射追尾光４６のみが前記追尾受光素子４４に受光される様に構成している。

従って、前記反射追尾光４６の光路を通過した前記外光５４が前記追尾受光素子４４に受光されるのを防止することができるので、測定対象物の誤検出が防止され、追尾精度を向上させることができる。

又、前記波長選択板５３は、１辺の長さが前記第６面４８ｂよりも数ｍｍ小さく、前記波長選択板５３が接着されていない部分にはマスキング部５５が形成されている。又、該マスキング部５５は前記反射追尾光４６の光路外に位置し、前記マスキング部５５に入射する光は前記外光５４である。

従って、前記マスキング部５５に入射した前記外光５４の反射を防止できるので、迷光による測定対象物の誤検出を抑制でき、追尾精度を向上させることができる。

更に、前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６を前記受光プリズム３６内で複数回内部反射させているので、前記測距光受光部２４及び前記追尾光受光部２６の光軸方向の長さを短くすることができ、前記距離測定部１９の小型化を図ることができる。

尚、第１の実施例では、前記第１面取り部４９と前記第２面取り部５１に反射防止処理を施し、前記第６面４８ｂに前記マスキング部５５を形成している。一方で、前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６の光路外にある面、例えば前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６が入射しない前記受光プリズム３６の側面（図２（Ａ）中紙面に対して奥側及び手前側）に対しても反射防止加工を施してもよい。

前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６の光路外にある全ての面に対して反射防止加工を施すことで、前記受光プリズム３６内での前記外光５４の反射をより抑制できるので、迷光の発生を更に抑制でき、追尾精度を更に向上させることができる。

図４（Ａ）、図４（Ｂ）は、第１の実施例の第１の変形例を示している。

第１の変形例では、波長分離面５２が反射測距光４５を透過し、反射追尾光４６を反射する光学特性を有している。即ち、前記波長分離面５２の透過側に受光素子３５が配置され、前記波長分離面５２の反射側に追尾受光素子４４が配置されている。又、第７面４８ｃに波長選択板５３及びマスキング部５５が設けられている。その他の構成は第１の実施例と同様である。

第１の変形例に於いても、第１面取り部４９と前記第２面取り部５１、前記マスキング部５５によって前記反射追尾光４６の光路外を通過する外光５４を遮断でき、迷光の発生を抑制できるので、測定対象物の誤検出を抑制でき、追尾精度の向上を図ることができる。

又、第１の変形例に於いては、前記第１面取り部４９と前記第２面取り部５１を設けなかった場合と比べて、迷光の発生確率を例えば０．５４％から０．１８％に迄低下させることができる。

図５は、第１の実施例の第２の変形例を示している。

第２の変形例では、第１の実施例とは前記波長分離面５２の向きが異なっており、前記反射測距光４５の反射方向も異なっている。第２の変形例では、前記反射測距光４５が紙面に対して右側、即ち前記受光プリズム３６に入射する前記反射測距光４５の前記受光光軸３４と平行な方向に直角に偏向される。その他の構成は第１の実施例と同様である。

第２の変形例に於いても、第１面取り部４９と前記第２面取り部５１、前記マスキング部５５によって前記反射追尾光４６の光路外を通過する外光５４を遮断でき、迷光の発生を抑制できるので、測定対象物の誤検出を抑制でき、追尾精度の向上を図ることができる。

尚、図示はしないが、第２の変形例に於いても、前記波長分離面５２の透過側に前記受光素子３５を配置、前記波長分離面５２の反射側に前記追尾受光素子４４を配置してもよいのは言う迄もない。

次に、図６（Ａ）～図６（Ｃ）に於いて、本発明の第２の実施例について説明する。尚、図６（Ａ）～図６（Ｃ）中、図２（Ａ）、図２（Ｂ）と同等のものには同符号を付し、その説明を省略する。

第２の実施例では、波長選択板５３（図２（Ａ）参照）に代えて、第６面４８ｂに波長選択部としての波長選択膜５６が蒸着されている。該波長選択膜５６は、反射測距光４５を反射し、反射追尾光４６を透過させる光学特性を有している。

又、前記第６面４８ｂには、図６（Ｃ）に示される様に、例えば端部から数ｍｍの部分に対してマスキング加工を施し、マスキング部５５を形成している。該マスキング部５５は、数ｍｍの幅を有する矩形の枠状となっている。その他の構成は第１の実施例と同様である。

第２の実施例に於いても、第１面取り部４９、前記第２面取り部５１、前記マスキング部５５が形成されているので、前記反射追尾光４６の光路外を通過する外光５４が受光プリズム３６内で内部反射するのを抑制でき、迷光が発生することによる測定対象物の誤検出を抑制でき、追尾精度を向上させることができる。

又、前記波長選択膜５６が前記反射追尾光４６のみを透過させるので、該反射追尾光４６の光路を通過した前記外光５４が追尾受光素子４４に受光されるのを防止することができ、迷光の発生による測定対象物の誤検出を防止することができる。

尚、第２の実施例では、前記波長選択膜５６を前記第６面４８ｂに形成しているが、前記波長選択膜５６を形成する面は前記第６面４８ｂに限られるものではない。例えば、前記波長選択膜５６は、第４面４７ｄと第５面４８ａとの接合面に形成してもよいし、第１面４７ａに形成してもよい。即ち、前記受光プリズム３６の、前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６の入射角が回転対称となった状態で入射する面であれば、前記波長選択膜５６を形成することができる。

一方で、前記第１面４７ａや前記第４面４７ｄと前記第５面４８ａとの接合面に前記波長選択膜５６を形成する場合、前記反射測距光４５と前記反射追尾光４６の両方を透過させる必要があるので、前記波長選択膜５６としては、例えばデュアルパスフィルタが用いられる。

尚、第２の実施例に於いても、第１の実施例の第１の変形例と同様、前記波長分離面５２の透過側に前記受光素子３５を配置し、前記波長分離面５２の反射側に前記追尾受光素子４４を設けてもよい。又、第１の実施例の第２の変形例と同様、前記波長分離面５２の向きを偏向し、前記反射測距光４５の反射方向を異ならせてもよい。

又、第１の実施例及び第２の実施例では、測量装置１としてレーザスキャナを使用する場合について説明したが、前記測量装置１としてトータルステーションを用いる場合にも、本発明の、前記反射追尾光４６の光路外に面取り部を形成し、光路外の面に反射防止加工を施すことが可能であるのは言う迄もない。

例えば、特許文献２に示される測量装置のダイクロイックプリズムに代えて、本実施例の受光プリズム３６を適用することができる。

次に、図７を参照し、本発明の第３の実施例について説明する。尚、図７中、図２中と同等のものには同符号を付し、その説明を省略する。

第３の実施例に於ける距離測定部１９では、測距光射出部２３の発光素子２８とコリメータレンズ２９との間に平行平面板５８が設けられている。又、ダイクロイックミラー３１の反射光軸上に偏向光学部材としての反射プリズム５９が設けられ、該反射プリズム５９の反射光軸上に走査ミラー１５が設けられている。更に、該走査ミラー１５の反射光軸上には、透明材料で形成され、前記走査ミラー１５と一体に回転する窓部６１が設けられている。

前記平行平面板５８は、例えば所定の板厚を有するガラス板であり、測距光３３の広がり角を拡大する様に構成されており、入射面及び射出面が前記測距光軸２７と直交する様に配置される。又、前記平行平面板５８は、図示しないソレノイド等の駆動機構により、測距光軸２７に対して挿脱可能となっており、測定対象物に応じて適宜前記平行平面板５８が挿脱される。即ち、測定対象物が再帰反射性を有するプリズム等であるプリズム測定を実行する場合は、前記平行平面板５８を前記測距光軸２７上に挿入し、測定対象物がプリズム以外のノンプリズム測距を実行する場合は、前記平行平面板５８を前記測距光軸２７上から取除く様構成される。

前記反射プリズム５９は、２つの台形状のプリズムを接合させて形成され、各プリズムの接合面６２で測距光３３と追尾光４２を反射する様に構成されている。前記反射プリズム５９の射出面は、前記接合面６２で反射された前記測距光軸２７が僅かに傾斜して入射する様構成されており、前記反射プリズム５９の射出面で内部反射された前記測距光３３が受光素子（受光ファイバ）３５に受光されるのを防止している。尚、前記接合面６２の傾斜角は、前記測距光軸２７が受光光軸３４及び軸心１１ａと合致する様、前記測距光軸２７を偏向（反射）させる角度となっている。

次に、第３の実施例に係る受光プリズム６３について説明する。該受光プリズム６３は、第１プリズム６４と第２プリズム６５と第３プリズム６６とから構成されている。尚、以下の説明では、図７中、紙面に対して上側を上、紙面に対して下側を下、紙面に対して右側を右、紙面に対して左側を左、紙面に対して奥側を奥、紙面に対して手前側を手前として説明する。

前記第１プリズム６４は、所定の屈折率を有し、４つの反射面、即ち第１面６４ａ、第２面６４ｂ、第３面６４ｃ、第４面６４ｄを有する多角形のプリズムとなっている。前記第１面６４ａは、反射測距光４５及び反射追尾光４６の入射面であり、前記第１プリズム６４に入射する前記受光光軸３４及び追尾受光光軸４３と直交する様構成されている。又、前記第１面６４ａには全面に亘って反射防止膜（ＡＲコート）が設けられている。

前記第２面６４ｂは、前記第１面６４ａと対向し、該第１面６４ａよりも面積が小さくなっており、前記第２面６４ｂの上端は前記第１面６４ａの上端よりも下側に位置し、前記第２面６４ｂの下端は前記第１面６４ａの下端よりも上側に位置している。更に、前記第２面６４ｂは、下方から上方に向って前記第１面６４ａから離反する様に所定角度傾斜する様構成されている。又、前記第２面６４ｂは、例えば鏡面加工が施されたミラーとなっている。

前記第３面６４ｃは、前記第１面６４ａの上端と前記第２面６４ｂの上端との間に形成され、前記第１面６４ａから前記第２面６４ｂに向って下方に所定角度傾斜する様に構成される。更に第４面６４ｄは、前記第１面６４ａの下端と前記第２面６４ｂの下端との間に前記第３面６４ｃと対向して設けられ、前記第１面６４ａから前記第２面６４ｂに向って上方に所定角度傾斜する様に構成される。又、前記第３面６４ｃは、例えば鏡面加工が施されたミラーとなっている。

前記第１面６４ａと前記第３面６４ｃとで形成される角部には、面取り加工が施され、第１面取り部６７が形成される。又、前記第２面６４ｂと前記第３面６４ｃとで形成される角部には、面取り加工が施され、第２面取り部６８が形成される。尚、前記第１面取り部６７と前記第２面取り部６８は、前記第１プリズム６４内を内部反射する前記反射測距光４５の光路外に形成される。又、前記第１面取り部６７と前記第２面取り部６８には、反射防止塗料が塗布されている。

前記第２プリズム６５は、所定の屈折率を有し、５つの面、即ち第１面６５ａと、第２面６５ｂと、第３面６５ｃと、第４面６５ｄと、第５面６５ｅとを有する５角形のプリズムとなっている。前記第１面６５ａは、前記第１プリズム６４内で反射された反射測距光４５が入射角０°で入射する入射面であり、前記第４面６４ｄと同一面積を有し、該第４面６４ｄと接合されている。即ち、前記第４面６４ｄと前記第１面６５ａは前記第１プリズム６４と前記第２プリズム６５とを接合させる接合面となる。

前記第２面６５ｂは、前記第１面６５ａの左端から前記第１プリズム６４と離反する方向に延出する。又、例えば前記第１面６５ａと前記第２面６５ｂとの成す角度は例えば直角である。

前記第３面６５ｃは、前記第２面６５ｂの下端から右側に向って前記第１面６５ａと対向する様に延出する。又、例えば前記第２面６５ｂと前記第３面６５ｃとの成す角度は例えば鈍角となる。

前記第４面６５ｄは、前記第３面６５ｃの右端から前記第１プリズム６４と近接する方向に延出し、前記第５面６５ｅは、前記第４面６５ｄの上端と前記第１面６５ａの右端との間に形成される。又、前記第１面６５ａと前記第５面６５ｅとの成す角度は鈍角となっている。

前記第４面６４ｄと前記第１面６５ａとは同一面積の面であり、接合されているので、前記第１プリズム６４の前記第２面６４ｂと前記第２プリズム６５の第５面６５ｅは連続する。又、前記第２面６４ｂは接合面を起点として下方から上方に向って前記反射測距光４５と前記反射追尾光４６の入射面（前記第１面６４ａ）から離反する方向に傾斜し、前記第５面６５ｅは接合面を起点として下方に向って前記第１面６４ａから離反する方向に傾斜している。従って、前記第２面６４ｂと前記第５面６５ｅとにより、前記第１面６４ａに向って窪んだ凹部６９が形成される。即ち、該凹部６９は、前記受光プリズム６３の前記反射測距光４５と前記反射追尾光４６の入射面の反対側の面に形成される。

前記第３プリズム６６は、所定の屈折率を有し、４つの面、即ち第１面６６ａと、第２面６６ｂと、第３面６６ｃと、第４面６６ｄとを有する４角形のプリズムとなっている。前記第１面６６ａは、前記第２プリズム６５内を透過した前記反射測距光４５の入射面であり、前記第３面６５ｃと同一面積を有し、該第３面６５ｃと接合されている。即ち、該第３面６５ｃと前記第１面６６ａは前記第２プリズム６５と前記第３プリズム６６とを接合させる接合面となっている。又、該接合面は、前記反射測距光４５と前記反射追尾光４６の分離面となっている。

該分離面のうち、前記受光レンズ３７側の端部の一部、即ち前記反射測距光４５と前記反射追尾光４６の光路外には、例えば幅数ｍｍ程度の範囲に反射防止部としての非コーティング箇所７１が設けられている。該非コーティング箇所７１は、外光５４の反射を防止する様になっており、前記分離面での反射迷光の発生を防止可能となっている。

又、前記分離面のうち、前記非コーティング箇所７１が設けられた部分以外の部分には、ダイクロイック膜７２が設けられている。該ダイクロイック膜７２は、前記接合面に入射する前記反射測距光４５と前記反射追尾光４６の光束よりも大きくなっており、前記反射測距光４５を反射し、前記反射追尾光４６を透過する光学特性を有している。

前記第２面６６ｂは、前記第１面６６ａの左端から前記第２プリズム６５と離反する方向に延出する。又、前記第２面６５ｂと前記第２面６６ｂとは連続し、且つ面一となる。

前記第３面６６ｃは、前記第２面６６ｂの下端から前記反射測距光４５と前記反射追尾光４６の入射面（前記第１面６４ａ）から離反する方向に延出する。又、例えば前記第２面６６ｂと前記第３面６６ｃとの成す角度は例えば直角であり、該第３面６６ｃは前記第１プリズム６４の前記第４面６４ｄ及び前記第２プリズム６５の前記第１面６５ａと平行となっている。更に、前記第３面６６ｃの右端と前記第１面６６ａの右端との間に第４面６６ｄが形成される。

又、前記第３面６６ｃの中心には、所定の大きさのバンドパスフィルタ７３が設けられ、該バンドパスフィルタ７３の周囲には反射防止塗料７４が塗布されている。該バンドパスフィルタ７３の大きさは、前記ダイクロイック膜７２を透過する前記反射追尾光４６の光束径と同等又は僅かに大きくなっている。前記バンドパスフィルタ７３により、前記追尾光４２の波長とは異なる波長の光を前記反射追尾光４６から除去することができる。

前記第５面６５ｅと対向し、前記ダイクロイック膜７２で反射される前記反射測距光４５の集光位置には、前記受光素子、例えば受光ファイバ７５の受光面が設けられている。該受光ファイバ７５の受光面は前記凹部６９に位置し、前記受光ファイバ７５は前記受光プリズム６３の奥側を通り、該受光プリズム６３の入射面側に向って屈曲されている。

尚、前記ダイクロイック膜７２で反射された前記反射測距光４５の前記受光光軸３４は、前記第１プリズム６４の前記第２面６４ｂと平行又は略平行となっている。前記受光光軸３４と前記第２面６４ｂとが平行又は略平行となることで、最も突出する部分（前記受光ファイバ７５の曲げ半径だけ突出する部分）が前記受光プリズム６３の上方に位置することとなり、屈曲された前記受光ファイバ７５が前記第１プリズム６４から離反する方向に前記凹部６９から突出することを防止できる。即ち、受光光学系が前記受光光軸３４方向に拡大することを防止できる。又、前記受光ファイバ７５が前記第２面６４ｂに近接し、前記受光ファイバ７５の屈曲を妨げることを防止できる。

前記第３面６６ｃと対向し、前記ダイクロイック膜７２を透過する前記反射追尾光４６の集光位置には、追尾受光素子４４が設けられている。又、該追尾受光素子４４は、センサ基板７６に設けられている。

尚、前記第２面取り部６８の右端（下端）と、前記受光プリズム６３の入射面に向って屈曲された受光ファイバ７５の右端と、前記センサ基板７６の右端とは、略同一平面上に位置している。

受光レンズ３７を透過した前記反射測距光４５と前記反射追尾光４６は、前記第１プリズム６４の前記第１面６４ａに対して直角に同軸で入射する。前記第１プリズム６４内に入射した前記反射測距光４５と前記反射追尾光４６は、前記第２面６４ｂ、前記第１面６４ａ、前記第３面６４ｃ、前記第１面６４ａで順次同一平面内で反射され、前記第４面６４ｄ（前記第１面６５ａ）に直角に入射する。

前記第２プリズム６５内に入射した前記反射測距光４５と前記反射追尾光４６は、前記第３面６５ｃ（前記第１面６６ａ）、即ち分離面としての前記ダイクロイック膜７２に入射し、前記反射測距光４５と前記反射追尾光４６に分離される。

前記反射測距光４５は、前記ダイクロイック膜７２で反射され、前記第５面６５ｅに直角に入射し、前記受光ファイバ７５に受光される。又、前記反射追尾光４６は、前記ダイクロイック膜７２を透過し、前記第３面６６ｃに直角に入射し、前記バンドパスフィルタ７３を通過する過程で前記追尾光４２の波長とは異なる波長の光が除去され、前記追尾受光素子４４に受光される。

尚、前記受光プリズム６３に外光５４が受光され、前記反射測距光４５と前記反射追尾光４６の光路外を通過する迷光となった際には、前記外光５４は前記第１面取り部６７や前記第２面取り部６８、或は前記非コーティング箇所７１で反射迷光が防止され、前記反射防止塗料７４で迷光が吸収及び遮断され、除去される。

例えば、図８（Ａ）、図８（Ｂ）は、前記外光５４が前記受光プリズム６３に入射した際の、前記外光５４の光路の一例を示している。又、図８（Ａ）、図８（Ｂ）に於いては、前記第１プリズム６４には前記第１面取り部６７が設けられておらず、前記第２プリズム６５と前記第３プリズム６６との接合面（分離面）には前記非コーティング箇所７１にダイクロイック膜が塗布されているものとする。尚、以下の説明に於いては、前記第１プリズム６４の前記第１面６４ａに対して垂直に入射した場合の入射角を０°としており、０°で入射した場合の光路が前記反射測距光４５と前記反射追尾光４６の光路となる。

図８（Ａ）は、前記外光５４の光束が前記第１面６４ａに対して約－１３°の入射角で入射した場合の光路を示している。図８（Ａ）に示される様に、前記受光プリズム６３内に入射した前記外光５４は、前記受光プリズム６３内を内部反射する過程で、前記第１面６４ａと前記第３面６４ｃとで形成される角部で反射され、前記追尾受光素子４４に入射する。

従って、前記第１面６４ａと前記第３面６４ｃとで形成される角部に前記第１面取り部６７を形成し、該第１面取り部６７に反射防止塗料を塗布することで、約－１３°の入射角で入射する前記外光５４を除去することができる。

又、図８（Ｂ）は、前記外光５４の光束が前記第１面６４ａに対して約＋１１°の入射角で入射した場合の光路を示している。図８（Ｂ）に示される様に、前記受光プリズム６３内に入射した前記外光５４は、前記受光プリズム６３内を内部反射する過程で、前記第２プリズム６５と前記第３プリズム６６との接合面の前記受光レンズ３７側の端部、即ち図７中で前記非コーティング箇所７１で反射され、前記追尾受光素子４４に入射する。

従って、前記第２プリズム６５と前記第３プリズム６６との接合面の前記受光レンズ３７側の端部に前記非コーティング箇所７１を設けることで、約＋１１°の入射角で入射する前記外光５４による迷光の発生を防止することができる。

更に、前記第２面取り部６８、前記反射防止塗料７４によっても、前記第１面６４ａに対して所定の入射角で入射、前記反射測距光４５と前記反射追尾光４６の光路外を通過する前記外光５４を除去することができる。

第３の実施例に於いても、前記反射測距光４５と前記反射追尾光４６の光路外に前記第１面取り部６７と前記第２面取り部６８とを形成し、前記第１面取り部６７と前記第２面取り部６８に反射防止塗料を塗布して反射防止加工を施している。

従って、前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６の光路外を通過する前記外光（迷光）５４は、前記第１面取り部６７と前記第２面取り部６８によって反射が防止されるので、前記外光５４が前記追尾受光素子４４に受光されることによる測定対象物の誤検出を抑制でき、追尾精度を向上させることができる。

又、前記第２プリズム６５と前記第３プリズム６６との接合面に於いて、前記反射測距光４５と前記反射追尾光４６の光路外に位置する前記受光レンズ３７側の端部に前記非コーティング箇所７１を設け、反射防止加工を施している。

従って、前記反射測距光４５及び前記反射追尾光４６の光路外を通過する前記外光（迷光）５４は、前記非コーティング箇所７１によって反射が防止されるので、前記外光５４が前記追尾受光素子４４に受光されることによる測定対象物の誤検出を抑制でき、追尾精度を更に向上させることができる。

更に、第３の実施例では、前記受光プリズム６３が前記第１プリズム６４と前記第２プリズム６５と前記第３プリズム６６とから構成され、前記第１プリズム６４と前記第２プリズム６５とにより、前記反射測距光４５と前記反射追尾光４６の入射面（前記第１面６４ａ）と反対側の面に、前記第１面６４ａに向って窪んだ前記凹部６９を形成している。又、該凹部６９に受光素子である前記受光ファイバ７５が設けられている。

従って、該受光ファイバ７５が前記走査ミラー１５で反射された前記受光光軸３４方向（図７中紙面に対して左右方向）に突出することがないので、前記測距光受光部２４の前記受光光軸３４方向の長さを短くすることができ、前記距離測定部１９及び前記測量装置１の小型化を図ることができる。

１ 測量装置
３ 測量装置本体
１７ 演算制御部
１９ 距離測定部
２３ 測距光射出部
２４ 測距光受光部
２５ 追尾光射出部
２６ 追尾光受光部
３３ 測距光
３６ 受光プリズム
４２ 追尾光
４５ 反射測距光
４６ 反射追尾光
４９ 第１面取り部
５１ 第２面取り部
５２ 波長分離面
５３ 波長選択板
５４ 外光
５５ マスキング部
５６ 波長選択膜

Claims (8)

1. 測定対象物に測距光を射出する測距光射出部と、前記測定対象物からの反射測距光を受光する受光素子を有する測距光受光部と、前記測定対象物に前記測距光と同軸で追尾光を射出する追尾光射出部と、前記反射測距光と同軸で入射した反射追尾光を受光する追尾受光素子を有する追尾光受光部と、前記受光素子に対する前記反射測距光の受光結果に基づき前記測定対象物の距離を演算し、前記追尾受光素子に対する反射追尾光の受光結果に基づき前記測定対象物を追尾する演算制御部とを具備し、前記測距光受光部と前記追尾光受光部は前記反射測距光と前記反射追尾光を複数回内部反射させる受光プリズムを有し、該受光プリズムの前記反射追尾光の光路外に位置する角部に少なくとも１つの面取り部を形成し、該面取り部に反射防止加工を施す様構成された測量装置。
2. 前記受光プリズムは、前記反射測距光と前記反射追尾光のうちのいずれか一方を透過し、いずれか他方を反射する波長分離面を有する様構成された請求項１に記載の測量装置。
3. 前記受光プリズムの前記追尾受光素子と対向する面に、前記反射追尾光のみを透過させる波長選択部を設ける様構成された請求項２に記載の測量装置。
4. 前記波長選択部は前記面よりも小さく、該面の前記波長選択部が設けられなかった部分にマスキング部を形成する様構成された請求項３に記載の測量装置。
5. 前記受光プリズムの前記反射追尾光の入射角が回転対称となった状態で入射する面に対して、波長選択膜を形成する様構成された請求項２に記載の測量装置。
6. 前記受光プリズムの前記反射測距光と前記反射追尾光の光路外に位置する面に反射防止加工を施す様構成された請求項１～請求項５のうちいずれか１項に記載の測量装置。
7. 前記受光プリズムは、前記反射測距光と前記反射追尾光を分離させる分離面を有し、該分離面のうち前記反射測距光と前記反射追尾光の光路外の部分に反射防止部を設ける様構成された請求項１～請求項６のうちいずれか１項に記載の測量装置。
8. 前記受光プリズムは、前記反射測距光の入射面と反対側の面に、前記入射面側に窪んだ凹部が形成され、該凹部に前記受光素子が配設される様構成された請求項１～請求項６のうちいずれか１項に記載の測量装置。

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