JPH10306882A - 電空変換機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ムービングコイルの動きの安定化を図った電
空変換機構を提供することを目的とする。 【解決手段】 永久磁石と、永久磁石を取り囲むヨーク
と、永久磁石の軸心方向に電磁作用により進退するムー
ビングコイルと、ムービングコイルの中心から偏心した
位置に配置され、ムービングコイルの進退方向と直角の
方向の軸心の周りに回転可能な回転軸と、この回転軸を
ムービングコイルに連結する第１のアームと、この回転
軸にフラッパーを連動させる第２のアームとを備える電
空変換機構において、ムービングコイルのコイルを装着
させるボビンを導電性非磁性体で構成させた電空変換機
構とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、アクチュエータ位
置制御用ポジショナなどに用いる電空変換機構に関し、
特にムービングコイルの動きを安定化した電空変換機構
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】空々式ポジショナの受圧室に供給する圧
縮空気の圧力を制御する方法として、例えば図６に電空
変換機構２００を用いる方法が知られている。この電空
変換機構２００は、空々式ポジショナの受圧室および圧
縮空気源に連通される副圧縮空気供給路２０１と、受圧
室を大気中に連通させるリリーフ空気路２０２と、この
リリーフ空気路２０２の流量を制御して受圧室の内圧を
制御するフラッパー２０３と、このフラッパー２０３を
駆動する電磁駆動機構２０４とを備えている。

【０００３】上記フラッパー２０３はバルブハウジング
２０５に挿通して固定され、中心を貫通する中心通路２
０６と、バルブハウジング２０５に形成され、上記副圧
縮空気供給路２０１をこの中心通路２０６に連通させる
入口路２０７と、上記中心通路２０６の一端に形成した
固定絞りとしてのノズル孔２０８とを備えている。上記
リリーフ空気路２０２は、上記入口路２０７、中心通路
２０６およびノズル孔２０８と、電磁駆動機構２０４の
カバー２０９内に形成される大気連通室２１０およびこ
の大気連通室２１０を大気中に連通させる連通孔２１１
からなる。

【０００４】なお、上記中心通路２０６は排気通路２１
２介して大気中に連通させることができるが、この排気
通路２１２は通常閉塞される。また、中心通路２０６の
ノズル孔２０８と反対側の端部は例えばそこに内嵌され
たボール２１３によって閉塞されている。上記電磁駆動
機構２０４は、上記カバー２０９と、これの内部にフラ
ッパー２０３と同軸心に配置された永久磁石２１４、こ
の永久磁石２１４の磁界を制御するヨーク２１５および
フラッパーコイル２１６とを備え、このフラッパーコイ
ル２１６のボビン２１７に上記ノズル孔２０８に対向さ
せてフラッパー２０３が固定される。また、この電磁駆
動装置２０４のカバー２０９内には、大気連通室２１０
からフラッパーコイル２１６を遮断すると共に、フラッ
パー２０３およびフラッパーコイル２１６を所定の位置
に復帰させる板バネ２１８とを有し、フラッパーコイル
２１６に通電すると、その通電量に対応してフラッパー
２０３がノズル孔２０８に接近し、ノズル孔２０８から
流出する空気流量が制御され、これにより、ノズル孔２
０８よりも上流側の受圧室の内圧が制御される。

【０００５】この電磁駆動機構２０４は電磁作用により
フラッパーコイル２１６を駆動する構成になっている
が、これに代えて、固定されたコイルによって可動鉄片
を駆動するように構成した電磁駆動機構を用いることも
ある。図７に示す他の従来の空々式ポジショナ４００
は、ハウジング４０１内に形成された第１および第２の
主圧縮空気供給路４０２・４０３と、各主圧縮空気供給
路４０２・４０３を開閉する第１および第２の給気弁４
０４ａ・４０４ｂと、各主圧縮空気供給路４０２・４０
３の下流側部分４０２ｂ・４０３ｂを大気中に連通させ
る排気路４０５が形成された中空筒状の排気弁４０６
と、例えば第１の主圧縮空気供給路４０２の上流側に連
通させた受圧室４０７の内圧と大気圧との差圧によって
上記排気弁４０６をその軸心方向に駆動する空気駆動機
構４０８とを備え、上記各給気弁４０４ａ・４０４ｂに
連動して排気弁４０６の各端部に接離する排気補助弁４
０９ａ・４０９ｂとを備え、上記受圧室４０７の内圧を
電空変換機構５００によって調整できるようにしてい
る。

【０００６】図７には上記受圧室４０７の内圧が電空変
換機構５００によって調整された状態で、バタフライバ
ルブ６０１の開閉度を制御するアクチュエータ６０２が
その内圧に対応する位置で停止している状態を示してい
る。今、この状態から受圧室４０７の内圧を増大させた
場合には、排気弁４０６が図上右方に移動し、第１の排
気補助弁４０９ａから排気弁４０６が離れて第１の主圧
縮空気供給路４０２の下流側部分４０２ｂが排気路４０
５に連通されて、アクチュエータ６０２の圧抜きが行わ
れ、アクチュエータ６０２が例えば閉弁方向に移動す
る。また、この状態から受圧室４０７の内圧を減少させ
た場合には、排気弁４０６が図上左方に移動し、第１の
排気補助弁４０９ａを介して第１の給気弁４０４ａを開
弁し、第１の主圧縮空気供給路４０２が開通されて、ア
クチュエータ６０２に圧縮空気が供給され、アクチュエ
ータ６０２が例えば開弁方向に移動する。

【０００７】上記電空変換機構５００は、上記受圧室４
０７に固定絞り５０１を介して連通させたノズル５０
２．、このノズル５０２のノズル孔５０３を開閉するフ
ラッパー５０４と、フラッパー５０４を駆動する電磁駆
動機構５０５とを備え、この電磁駆動機構５０５は、中
間部を板バネ５０６によって回転可能に支持され、一端
にフラッパー５０４を支持するフラッパーレバー５０７
と、ハウジング５０８内に収納されたトルクモータ５０
９と、フィードバック機構５１０とを備える。

【０００８】上記トルクモータ５０９は、ハウジング５
０８の内部に収納されたコイル５１１およびヨーク５１
２と、ハウジング５０８に中間部が板バネ５１３を介し
て回転可能に支持され、コイル５１１によって駆動され
るアーマチュア５１４とを備え、ハウジング５０８から
突出させた上記アーマチュア５１４の先端部が上記フラ
ッパーレバー５０７のフラッパー５０４と反対側の端部
に受け止められる。

【０００９】上記フィードバック機構５１０はアクチュ
エータ６０２に連動させたフィードバックレバー５１
５、伝達アーム５１６、スパン調整レバー５１７および
スパン調整レバー５１７とフラッパーレバー５０７とに
わたって架着され、フラッパーレバー５０７をアーマチ
ュア５１４に弾接させるフィードバックスプリング５１
８とを備えている。

【００１０】第１の給気弁４０４ａが開かれている場合
には、アクチュエータ６０２が開弁方向へ移動し、その
開弁方向への移動が所定量以上になると、フィードバッ
クスプリング５１８の付勢力が増大されてフラッパー５
０４がノズル５０２に接近し、受圧室４０７の内圧が増
大されて排気弁４０６が図上右方に移動するようにして
いる。これにより、開弁されていた第１の給気弁４０４
ａは閉弁され、開弁方向に動作していたアクチュエータ
６０２が停止される。

【００１１】また、第１の主圧縮空気供給路４０２の下
流側部分４０２ｂが大気中に連通している時には、アク
チュエータ６０２が閉弁方向へ移動し、その閉弁方向へ
の移動が所定量以上になると、フィードバックスプリン
グ５１８の付勢力が減少されてフラッパー５０４がノズ
ル５０２から離隔し、受圧室４０７の内圧が減少して排
気弁４０６が図上左方に移動するようにしている。これ
により、第１の排気補助弁４０９ａに排気弁４０６が受
け止められて第１の主圧縮空気供給路４０２の下流側部
分４０２ｂが大気から遮断され、閉弁方向に移動してい
たアクチュエータ６０２が停止される。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】図６に示す電空変換機
構２００のムービングコイル方式では、フラッパーコイ
ル２１６やボビン２１７がフラッパー２０３と連結さ
れ、そのフラッパー２０３によりノズル孔２０８から放
出される空気量を制御することで、入力電流に比例した
出力圧力を発生させている。

【００１３】また、図７に示す電空変換機構５００のト
ルクモータ方式では、アーマチュア５１４やフラッパー
レバー５０７がフラッパー５０４と連結してあり、その
フラッパー５０４によりノズル孔５０３から放出される
空気量を制御することで、入力電流に比例した出力圧力
を発生させる。この図６に示す電空変換機構２００では
フラッパーコイル２１６やボビン２１７の動きを安定さ
せるために、板バネ２１８が使用されている。

【００１４】また、図７に示す電空変換機構５００では
アーマチュア５１４やフラッパーレバー５０７の動きを
安定させるために、コイルスプリング７０１が使用され
ている。図６に示すように、板バネ２１８でフラッパー
コイル２１６やボビン２１７の動きの安定化を図ろうと
すると、板バネ２１８の取付部品が必要となり、加工精
度の要求により板バネ２１８自体が高価となり、部品数
増加、組立工数増加によりコストアップとなる。

【００１５】図７に示すように、コイルスプリング７０
１でアーマチュア５１４やフラッパーレバー５０７の動
きの安定化を図ろうとすると、コイルスプリング７０１
の取付方法が複雑になり、部品数増加、組立工数増加に
よりコストアップとなる。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の事情に
鑑み、ムービングコイルの動きの安定化を図るべく、永
久磁石と、永久磁石を取り囲むヨークと、永久磁石の軸
心方向に電磁作用により進退するムービングコイルと、
ムービングコイルの中心から偏心した位置に配置され、
ムービングコイルの進退方向と直角の方向の軸心の周り
に回転可能な回転軸と、この回転軸をムービングコイル
に連結する第１のアームと、この回転軸にフラッパーを
連動させる第２のアームとを備える電空変換機構におい
て、ムービングコイルのコイルを装着させるボビンを導
電性非磁性体で構成させた電空変換機構とした。

【００１７】

【発明の実施の形態】本発明の電空変換機構の一実施例
に係るアクチュエータ位置制御用ポジショナを図面に基
づいて具体的に説明すれば、以下の通りである。図１の
構成図に示すように、アクチュエータ位置制御用ポジシ
ョナは、空々式ポジショナＰと電空変換機構Ｃとを組み
合わせたもの（電空式ポジショナ）であり、空々式ポジ
ショナＰのハウジング１内には圧縮空気源にアクチュエ
ータを連通させる主圧縮空気供給路２と、この主圧縮空
気供給路２を開閉するスプール弁からなるバルブ３と、
このバルブ３を駆動する空気駆動機構４およびスプリン
グ５が内蔵されている。

【００１８】上記空気駆動機構４はダイヤフラム室６
と、このダイヤフラム室６を大気圧室７と受圧室８とに
区画するダイヤフラム９と、このダイヤフラム９に固定
され、大気圧室７を貫通してバルブ３の方向に突出させ
たロッド１０とを備える。上記ハウジング１内には、第
１の支軸１１を介して第１のレバー１２が回転自在に支
持され、この第１のレバー１２の第１の支軸１１から上
方に延びる第１のアーム１３の上端部に上記ロッド１０
の先端が受け止められる。また、この第１のレバー１２
の第１の支軸１１から下方に延びる第２のアーム１４の
上端部に上記スプリング５の一端が連結される。

【００１９】上記ハウジング１内には、第２の支軸１５
を介して第２のレバー１６が回転自在に支持され、この
第２のレバー１６の第２の支軸１５から下方に延びる第
１のアーム１７の下端に上記スプリング５の他端が連結
され、この第２のレバー１６の第２の支軸13から左方に
延びる第２のアーム18の下端部に回転自在に支持させた
ベアリングからなるカムフォロア１９が設けられる。そ
して、このカムフォロア１９をアクチュエータに連動さ
せたステム２０に固定したカム２１に受け止めさせてい
る。

【００２０】上記バルブ３は第１のレバー１２の第１の
アーム１３の上端部に連結され、空気駆動機構４の受圧
室８の内圧が増大した時、または、上記スプリング５の
付勢力が減少した時に押側方向（図１上、左方向）に移
動し、空気駆動機構４の受圧室８の内圧が減少した時、
または、上記スプリング５の付勢力が増大した時に引側
方向（図１上、右方向）に移動する。

【００２１】図１には、受圧室８に与えられた圧力に対
応する位置にアクチュエータが位置している状態が示さ
れており、今、この状態から空気駆動機構４の受圧室８
の内圧を増大させたとすると、ダイヤフラム９がスプリ
ング５に抗して図上、左方に移動し、バルブ３が押側方
向（図１上、左方向）に移動し、バルブ３が主圧縮空気
供給路２の上流側部分２ａを第２の下流側部分２ｃに連
通させ、アクチュエータの第２の受圧室に圧縮空気が供
給される。その結果、アクチュエータが作動し、この作
動に連動するステム１６およびカム１７が例えば図１
上、反時計回り方向に回転し、第２のレバー１６がカム
２１に駆動されて図上、時計回りに回転し、スプリング
５の付勢力を増大させる。このスプリング５の付勢力が
増大すると、第１のレバー１２が図１上、時計回り方向
に回転してバルブ３を中立位置に移動させ、主圧縮空気
供給路２の上流側部分２ａを第１および第２の下流側部
分２ｂ・２ｃから遮断する。これにより、アクチュエー
タの第２受圧室への圧縮空気の供給が停止し、アクチュ
エータの動作は増大された受圧室８の内圧に対応する位
置に停止する。

【００２２】この状態または図１に示した状態から空気
駆動機構４の受圧室８の内圧を減少させたとすると、ス
プリング５が受圧室８の圧力に抗して第１のレバー１を
時計回り方向に回転させ、バルブ３を引側方向（図１
上、右方向）に移動させて、空気供給路２の上流側部分
２ａを第１の下流側部分２ｂに連通させ、アクチュエー
タの第１の受圧室に圧縮空気が供給される。その結果、
アクチュエータが逆作動し、この逆作動に連動するステ
ム１６およびカム１が例えば図１上、時計回り方向に回
転し、第２のレバー１６をカム２１で制限しながらスプ
リング５によって図上、反時計回りに回転させ、スプリ
ング５の付勢力を減少させる。このスプリング５の付勢
力が減少すると、受圧室８の内圧がスプリング５の付勢
力に抗して第１のレバー１２を図１上、反時計回り方向
に回転させ、バルブ３を中立位置に移動させる。これに
より、主圧縮空気供給路２の上流側部分２ａを第１およ
び第２の下流側部分２ｂ・２ｃから遮断され、アクチュ
エータの第１受圧室への圧縮空気の供給が停止し、アク
チュエータの動作は減少された受圧室８の内圧に対応す
る位置に停止する。

【００２３】上記電空変換機構Ｃは、バルブハウジング
２２と、これに組付けられた電磁駆動機構２３とを備
え、このバルブハウジング２２内に受圧室８を大気中に
連通させるリリーフ路２４が形成される。そして、この
リリーフ路２４の途中に所定の固定絞りとしてのノズル
孔２５が形成されると共に、このノズル孔２５の出口端
に接離するフラッパー２６が設けられる。

【００２４】上記電磁駆動機構２３は、永久磁石２７
と、これを取り囲むヨーク２８と、永久磁石２７と同軸
心状に配置され、永久磁石２７の軸心方向に進退するム
ービングコイル２９と、これらを密封状に収納するハウ
ジング３０とを備える。これら永久磁石２７およびムー
ビングコイル２９の軸心から偏心させた位置でハウジン
グ３０に回転軸３１を回転可能に支持させ、図１および
図２の斜視図に示すように、この回転軸３１の一端に固
定した第１のアーム３２の遊端部をムービングコイル２
９の軸心に固定する一方、この回転軸３１の他端に固定
した第２のアーム３３の遊端部に上記フラッパー２６が
固定され、これにより、ムービングコイル２９の進退に
連動してフラッパー２６が上記ノズル孔２５の出口端に
接離するようにしてある。

【００２５】上記回転軸３１は直接にハウジング３０に
支持させてもよいのであるが、この実施例では、回転軸
３１の回転の円滑性及び安定性を高めるために、上記回
転軸３１を１対のベアリング３４・３５を介してハウジ
ング３０に回転可能に支持させている。また、両ベアリ
ング３４・３５としては防爆性が確保できるシール型の
ベアリングを用いることが好ましいが、ここでは、シー
ル型ではないベアリング３４・３５を用い、両ベアリン
グ３４・３５間に各ベアリング３４・３５の両端間を連
通させる隙間を塞ぐようにスペーサ３６を介在させてリ
リーフ路２４とハウジング３０内とを連通させる通路を
迷路化すると共に、防爆設計上無視できる程度に狭くし
てある。また、ハウジング３０からの導線の引出孔４２
は導線の導出端部とこれに電気的に接続された端子とを
埋め込んだ絶縁材で閉塞したり、グロメットを用いて閉
塞したりされる。

【００２６】さらに、図１および図２に示すように、上
記ムービングコイル２９と第１のアーム３２との間に
鉄、鋼などの磁性体からなる座金３７を支持させ、永久
磁石２７およびヨーク２８によりこの座金３７を吸引す
ることにより非通電時にムービングコイル２９を永久磁
石２７側に引き戻すと共に、通電時のムービングコイル
２９の過剰動作を抑えてムービングコイル２９の動作を
安定させるようにしている。

【００２７】ここで、ムービングコイル２９は通電によ
り、その電流値に比例した力を受けてフラッパー２６を
開く方向に付勢し、ノズル孔２５の開度を調整する。こ
れにより、ノズル孔２５から放出される圧縮空気の流量
が制御され、受圧室８の内圧が制御されることになる。
なお、この実施例においては、上記空々式ポジショナＰ
のハウジング１が本体ハウジング３８とこれの片面に組
付けられたサブハウジング３９とからなり、これら本体
ハウジング３８とサブハウジング３９との間に上記ダイ
ヤフラム室６が形成されると共に、これら本体ハウジン
グ３８とサブハウジング３９との間にダイヤフラム９を
挿んで、サブハウジング３９内に上記受圧室８が形成さ
れるようにしている。

【００２８】この本体ハウジング３８内には、上記主圧
縮空気供給路２の上流側部分２ａから分岐され、サブハ
ウジング３９側に開口する副圧縮空気供給路４０の一部
分４０ａが形成され、サブハウジング３９内には、この
本体ハウジング３８内の副圧縮空気供給路４０の一部分
を上記受圧室８に連通させる副圧縮空気供給路４０の残
りの部分４０ｂが形成される。この副圧縮空気供給路４
０の残りの部分４０ｂの途中にはオリフィス４１が形成
され、主圧縮空気供給路２が開通している時に副圧縮空
気供給路40に供給される空気量を一定以下に制限し、ア
クチュエータへの圧縮空気の供給圧が一定以下に低下す
ることを防止している。

【００２９】このように、ハウジング１内に副圧縮空気
供給路４０を形成することにより、ハウジング１にチー
ズ継手や受圧室８への配管を組付ける必要がなくなり、
部品点数を削減できると共に、これらチーズ継手や受圧
室８への配管を組付ける工程を省略することができ、大
幅なコストダウンを図ることができる。また、輸送時や
据付時、さらに、据付後にこれらチーズ継手や受圧室８
への配管に他物が衝突して損傷するおそれがなくなり、
かかる損傷によってポジショナの作動が不良になること
を防止できる。

【００３０】上記の例では電磁駆動機構２３がムービン
グコイル型のものであるが、これに代えて、ハウジング
内にコイルが固定され、このコイルによって駆動される
可動鉄片を有する可動鉄片型の電磁駆動機構を用いる場
合にも適用できる。図１・図２で、ムービングコイル２
９に直流電流を流すと、永久磁石２７およびヨーク２８
の組み合わせにより発生する磁場により、フレミングの
法則による力を受ける。ムービングコイル２９の動き
は、回転軸３１により回転運動としてハウンジング３０
より取り出される。フラッパー２６はムービングコイル
２９と連動する。

【００３１】また、主圧縮空気供給路２より供給された
空気圧力は、上流側部２ａ、副圧縮空気供給路の一部分
４０ａ、副圧縮空気供給路４０およびオリフィス４１を
通過し、受圧室８、リリーフ路２４を経由し、ノズル孔
２５より放出される。ここで、ムービングコイル２９の
受ける力は、ムービングコイル２９に印加する電流値に
比例して大きくなる。ムービングコイル２９の受ける力
とノズル孔２５より放出される空気圧による力が釣り合
った状態で、受圧室８の圧力が一定に保たれる。

【００３２】ムービングコイル２９は、性能確保のた
め、出来るかぎり少ない抵抗で作動する必要がある。ま
た、ムービングコイル２９はノズル孔２５より放出され
る空気圧の脈動などにより、細かな振幅を繰り返してい
る非常に不安定な状態にある。ムービングコイル２９の
ボビン５１に、図１および図３に示すように、アルミ、
銅、非磁性のステンレスなどの導電性非磁性体を使用す
ると、ムービングコイル２９の動きを安定化させ、ノズ
ル２５より放出される空気圧の脈動を減少させられる。

【００３３】図４では、アルミなどの導電体非磁性体の
ボビン５１にコイル５２が捲装され、コイル５１とヨー
ク２８との間に隙間５３が形成されている。図に示すよ
うに、永久磁石２７とヨーク２８で形成された磁場内
で、ノズル孔２５からの噴流の上向きの力Ｆがムービン
グコイル２９に作用すると、フレミングの右手の法則に
よりムービングコイル２９に電流が紙面に垂直で下向き
に生ずる。

【００３４】次に図５に示すように永久磁石２７とヨー
ク２８で形成された磁場内で、図４の紙面に垂直で下向
きの電流が印加されると、フレミングの左手の法則によ
り下向きの力Ｆ’が生ずる。この下向きの力Ｆ’は前記
の上向きの力Ｆを減少させ、ムービングコイル２９の脈
動の振幅を減少させるように作用する。したがって、ム
ービングコイル２９のボビン５１に導電性非磁性体を使
用することによりムービングコイル２９を安定化させる
ことができる。

【００３５】なお、実際には図４のＦには上下方向に振
幅を繰り返す。従来のムービングコイルのボビンには非
導電体の樹脂が使用されていたので、電磁誘導が生じな
いので、ムービングコイルの安定化を図ることができな
かった。ムービングコイルの安定化を図る要因として
は、ムービングコイルのボビンが導電性非磁性体である
他に、コイル５２とヨーク２８との隙間５３の大小（磁
力の大きさ）、ムービングコイルのボビンの質量（重力
の大きさ）、永久磁石の強度に関係する。

【００３６】

【発明の効果】本発明は、上述のように、永久磁石と、
永久磁石を取り囲むヨークと、永久磁石の軸心方向に電
磁作用により進退するムービングコイルと、ムービング
コイルの中心から偏心した位置に配置され、ムービング
コイルの進退方向と直角の方向の軸心の周りに回転可能
な回転軸と、この回転軸をムービングコイルに連結する
第１のアームと、この回転軸にフラッパーを連動させる
第２のアームとを備える電空変換機構において、ムービ
ングコイルのコイルを装着させるボビンを導電性非磁性
体で構成させた電空変換機構であるので、ムービングコ
イルの動きの安定化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るアクチュエータ位置制御用ポジシ
ョナの構成図である。

【図２】本発明に係る電空変換機構の斜視図である。

【図３】本発明の要部の断面図である。

【図４】本発明の作動を説明する断面図である。

【図５】本発明の作動を説明する断面図である。

【図６】従来の電空変換機構の断面図である。

【図７】他の従来例の構成図である。

【符号の説明】 Ｃ…電空変換機構 Ｐ…空々式ポジショナ ２３…電磁駆動機構 ２６…フラッパー ２９…ムービングコイル ３０…ハウジング ３１…回転軸 ３２…第１のアーム ３３…第２のアーム ５１…ボビン ５２…コイル ５３…隙間

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 永久磁石と、永久磁石を取り囲むヨーク
   と、永久磁石の軸心方向に電磁作用により進退するムー
   ビングコイルと、ムービングコイルの中心から偏心した
   位置に配置され、ムービングコイルの進退方向と直角の
   方向の軸心の周りに回転可能な回転軸と、この回転軸を
   ムービングコイルに連結する第１のアームと、この回転
   軸にフラッパーを連動させる第２のアームとを備える電
   空変換機構において、ムービングコイルのコイルを装着
   させるボビンを導電性非磁性体で構成させた電空変換機
   構。