JP3576280B2 - アクチュエータ位置制御用ポジショナの電空変換機構 - Google Patents

アクチュエータ位置制御用ポジショナの電空変換機構 Download PDF

Info

Publication number
JP3576280B2
JP3576280B2 JP19044895A JP19044895A JP3576280B2 JP 3576280 B2 JP3576280 B2 JP 3576280B2 JP 19044895 A JP19044895 A JP 19044895A JP 19044895 A JP19044895 A JP 19044895A JP 3576280 B2 JP3576280 B2 JP 3576280B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
housing
flapper
actuator
compressed air
valve
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP19044895A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0942515A (ja
Inventor
晴夫 樫本
Original Assignee
甲南電機株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 甲南電機株式会社 filed Critical 甲南電機株式会社
Priority to JP19044895A priority Critical patent/JP3576280B2/ja
Publication of JPH0942515A publication Critical patent/JPH0942515A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3576280B2 publication Critical patent/JP3576280B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Supply Devices, Intensifiers, Converters, And Telemotors (AREA)
  • Magnetically Actuated Valves (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アクチュエータ位置制御用ポジショナの電空変換機構に関し、特に防爆性が高められるようにしたアクチュエータ位置制御用ポジショナの電空変換機構に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
例えば図3に示すように、従来のアクチュエータ位置制御用ポジショナとしては、内部に圧縮空気源にアクチュエータを連通させる主圧縮空気供給路101 が形成され、この主圧縮空気供給路101 を開閉するバルブ102 と、このバルブ102 を第1の支軸103 の周りに回転自在に支持された第1のレバー104 を介して一方向(図3上、左方)に駆動する空気駆動機構105 と、このバルブ102 を第2の支軸106 の周りに回転自在に支持された第2のレバー107 を介して一方向に駆動するスプリング108 とを内蔵したハウジング109 を有する、いわゆる、空々式ポジショナ100 がある。
【0003】
上記空気駆動機構105 は、ダイヤフラム室110 をダイヤフラム111 で区画して形成した受圧室112 に制御された圧力を有する圧縮空気を供給してダイヤフラム111 を押側方向(図3上、左方向)に駆動し、ダイヤフラム111 に連結されたロッド113 で第1のレバー104 の上端部および第1のレバー104 の上端部に連結されたバルブ102 を押側方向に駆動するようにしている。
【0004】
図3には、空気駆動機構105 の受圧室112 に所定の圧力が供給された状態でアクチュエータが受圧室112 に供給された圧縮空気の圧力(以下、入力圧力という)に対応する所定の位置に停止した状態の空々式ポジショナ100 が示されている。
この空々式ポジショナ100において、入力圧力を増大させた時には、受圧室112の内圧で空気駆動機構105 のダイヤフラム111 (ピストンでもよい)が第1のレバー104 の下端に一端が連結されたスプリング108 に抗して押側方向に移動し、バルブ102 が押側方向に移動する。これにより、主圧縮空気供給路101 の上流側部分101 aが第2の下流側部分101 cに連通され、圧縮空気がアクチュエータの第2受圧室に供給される。
【0005】
第2受圧室に圧縮空気が供給されたアクチュエータの動作に連動してステム114 が例えば反時計回り方向に回転し、このステム114 に固定したカム115 が上記スプリング108 の他端を支持する第2のレバー107 を第2の支軸106 を中心にしてスプリング108 の付勢力を増大させる方向(図上、時計回り方向)に回転させる。これにより、スプリング108 が第1のレバー104 を第1の支軸103 を中心にして受圧室112 の内圧に抗して図上、時計回り方向に回転してバルブ102 を引側方向(図上、右方向)に移動させ、バルブ102 が中立位置に戻されてアクチュエータの第2受圧室への圧縮空気の供給が停止され、アクチュエータが増大された入力圧力に対応する位置に停止することになる。
【0006】
この状態又は図3に示した状態から入力圧力を減少させた時には、スプリング108 の付勢力によってダイヤフラム111 が引側方向に押され、バルブ102 が引側方向に移動する。これにより、主圧縮空気供給路101 の上流側部分101 aが第1の下流側部分101 bに連通され、圧縮空気がアクチュエータの第1受圧室に供給され、アクチュエータは入力圧力を増大させた時と逆の方向に作動する。
【0007】
このアクチュエータの逆動作に連動してステム114 およびカム115 が逆回転すると、上記スプリング108 の他端を支持する第2のレバー107 が支軸106 を中心にしてスプリング108 の付勢力を減少させる方向(図上、反時計回り方向)に回転し、ダイヤフラム111 が受ける受圧室112 の内圧によって第1のレバー104 がバルブ102 を押側方向に移動させる。これにより、バルブ102 が中立位置に戻されてアクチュエータの第1受圧室への圧縮空気の供給が停止され、アクチュエータが減少された入力圧力に対応する位置に位置することになる。
【0008】
この空々式ポジショナ100 の受圧室112 に供給する圧縮空気の圧力を制御する方法として、いわゆる、電空変換機構200 を用いる方法が知られている。この電空変換機構200 は、例えば図4に示すように、空々式ポジショナ100の受圧室112および圧縮空気源に連通される副圧縮空気供給路201 と、受圧室112 を大気中に連通させるリリーフ空気路202 と、このリリーフ空気路202 の流量を制御して受圧室112 の内圧を制御するフラッパー203 と、このフラッパー203 を駆動する電磁駆動機構204 とを備えている。
【0009】
上記フラッパー203 はバルブハウジング205 に挿通して固定され、中心を貫通する中心通路206 と、バルブハウジング205 に形成され、上記副圧縮空気供給路201 をこの中心通路206 に連通させる入口路207 と、上記中心通路206 の一端に形成した固定絞りとしてのノズル孔208 とを備えている。
上記リリーフ空気路202 は、上記入口路207 、中心通路206およびノズル孔208と、電磁駆動機構204 のカバー209 内に形成される大気連通室210 およびこの大気連通室210 を大気中に連通させる連通孔211 からなる。
【0010】
なお、上記中心通路206 は排気通路212 を介して大気中に連通させることができるが、この排気通路212 は通常閉塞される。また、中心通路206のノズル孔208と反対側の端部は例えばそこに内嵌されたボール213 によって閉塞されている。上記電磁駆動機構204 は、上記カバー209 と、これの内部にフラッパー203 と同軸心に配置された永久磁石214 、この永久磁石214の磁界を制御するヨーク215およびフラッパーコイル216 とを備え、このフラッパーコイル216 のボビン217 に上記ノズル孔208 に対向させてフラッパー203 が固定される。また、この電磁駆動装置204 のカバー209 内には、大気連通室210 からフラッパーコイル216 を遮断すると共に、フラッパー203 およびフラッパーコイル216 を所定の位置に復帰させる板バネ218 とを有し、フラッパーコイル216 に通電すると、その通電量に対応してフラッパー203 がノズル孔208 に接近し、ノズル孔208 から流出する空気流量が制御され、これにより、ノズル孔208 よりも上流側の受圧室112 の内圧が制御される。
【0011】
この電磁駆動機構204 は電磁作用によりフラッパーコイル216 を駆動する構成になっているが、これに代えて、固定されたコイルによって可動鉄片を駆動するように構成した電磁駆動機構を用いることもある。
図5に示す他の従来の空々式ポジショナ200 は、ハウジング201 内に形成された第1および第2の主圧縮空気供給路402 ・403 と、各主圧縮空気供給路402 ・403 を開閉する第1および第2の給気弁404 a・404 bと、各主圧縮空気供給路402 ・403 の下流側部分402 b・403 bを大気中に連通させる排気路405 が形成された中空筒状の排気弁406 と、例えば第1の主圧縮空気供給路402 の上流側に連通させた受圧室407 の内圧と大気圧との差圧によって上記排気弁406 をその軸心方向に駆動する空気駆動機構408 とを備え、上記各給気弁404 a・404 bに連動して排気弁406 の各端部に接離する排気補助弁409 a・409 bとを備え、上記受圧室407 の内圧を電空変換機構500 によって調整できるようにしている。
【0012】
図5には上記受圧室407 の内圧が電空変換機構500 によって調整された状態で、バタフライバルブ601 の開閉度を制御するアクチュエータ602 がその内圧に対応する位置で停止している状態を示している。
今、この状態から受圧室407 の内圧を増大させた場合には、排気弁406 が図上右方に移動し、第1の排気補助弁409 aから排気弁406 が離れて第1の主圧縮空気供給路402 の下流側部分402 bが排気路405に連通されて、アクチュエータ602の圧抜きが行われ、アクチュエータ602 が例えば閉弁方向に移動する。また、この状態から受圧室407 の内圧を減少させた場合には、排気弁406 が図上左方に移動し、第1の排気補助弁409 aを介して第1の給気弁404 aを開弁し、第1の主圧縮空気供給路402 が開通されて、アクチュエータ602 に圧縮空気が供給され、アクチュエータ602 が例えば開弁方向に移動する。
【0013】
上記電空変換機構500 は、上記受圧室407 に固定絞り501 を介して連通させたノズル502 と、このノズル502 のノズル孔503 を開閉するフラッパー504 と、フラッパー504 を駆動する電磁駆動機構505 とを備え、この電磁駆動機構505 は、中間部を板バネ506 によって回転可能に支持され、一端にフラッパー504 を支持するフラッパーレバー507 と、ハウジング508 内に収納されたトルクモータ509 と、フィードバック機構510 とを備える。
【0014】
上記トルクモータ509 は、ハウジング508 の内部に収納されたコイル511 およびヨーク512 と、ハウジング508 に中間部が板バネ513 を介して回転可能に支持され、コイル511 によって駆動されるアーマチュア514とを備え、ハウジング508から突出させた上記アーマチュア514 の先端部が上記フラッパーレバー507 のフラッパー504 と反対側の端部に受け止められる。
【0015】
上記フィードバック機構510 はアクチュエータ602 に連動させたフィードバックレバー515 、伝達アーム516 、スパン調整レバー517 およびスパン調整レバー517 とフラッパーレバー507 とにわたって架着され、フラッパーレバー507 をアーマチュア514 に弾接させるフィードバックスプリング518 とを備えている。
第1の給気弁404 aが開かれている場合には、アクチュエータ602 が開弁方向へ移動し、その開弁方向への移動が所定量以上になると、フィードバックスプリング518 の付勢力が増大されてフラッパー504 がノズル502に接近し、受圧室407の内圧が増大されて排気弁406 が図上右方に移動するようにしている。これにより、開弁されていた第1の給気弁404 aは閉弁され、開弁方向に動作していたアクチュエータ602 が停止される。
【0016】
また、第1の主圧縮空気供給路402 の下流側部分402 bが大気中に連通している時には、アクチュエータ602 が閉弁方向へ移動し、その閉弁方向への移動が所定量以上になると、フィードバックスプリング518 の付勢力が減少されてフラッパー504 がノズル502 から離隔し、受圧室407 の内圧が減少して排気弁406 が図上左方に移動するようにしている。これにより、第1の排気補助弁409 aに排気弁406 が受け止められて第1の主圧縮空気供給路402 の下流側部分402 bが大気から遮断され、閉弁方向に移動していたアクチュエータ602 が停止される。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、図5に示した従来の電空変換機構200 の場合、板バネ218 の両側でフラッパーコイル216 が配置された空間が大気連通室210 に大きく開放されており、この大気連通室210 を大気中に連通させる連通孔211 はノズル孔208 から流出する圧縮空気を支障なく大気中に放出させるために大きく開かれている。このため、防爆設計ができないという問題がある。
【0018】
また、図9に示した従来の他の電空変換機構500 の場合、アーマチュア514 を回転させる必要があるので、アーマチュア514 をハウジング508 外に突出させるためにハウジング508 に形成した挿通孔をアーマチュア514 の周囲に所定量以上の遊隙が確保される大径のものにしなければならず、防爆性を高める上で不利であるという問題がある。
【0019】
本発明は、上記の事情を鑑みて、防爆性が高められるようにしたアクチュエータ位置制御用ポジショナを提供することを目的とするものである。
【0020】
【課題を解決するための手段】
本発明は、空々式ポジショナの入力圧力を制御するフラッパーおよびこのフラッパーを駆動する電磁駆動機構を有するアクチュエータ位置制御用ポジショナの電空変換機構において、上記の目的を達成するため、次のような手段を講じている。
【0021】
すなわち、上記電磁駆動機構が、コイルを密封状に収納するハウジングと、このハウジング内で電磁作用により進退する可動部と、可動部の中心から偏心した位置に配置され、上記ハウジングに可動部の進退方向と直角の方向の軸心の周りに回転可能に挿通される回転軸と、この回転軸を可動部に連結する第1のアームと、ハウジング外でこの回転軸にフラッパーを連動させる第2のアームとを備えるものであることを特徴とするものである。
【0022】
本発明によれば、フラッパーが配置される空間とハウジング内部とは回転軸を挿通するためハウジングに形成された孔と回転軸との間の隙間で連通される。しかしながら、この隙間は回転軸が回転でき、しかも、回転軸のぐらつきを無視できる程度に小さくできるように形成しなければならないので、この隙間は防爆性という観点からは無視できる程度に小さくなる。
【0023】
本発明においては、回転軸の回転の円滑性および安定性を高めるために、ベアリングを用いて回転軸をハウジングに支持させることが可能である。この場合には、シール型のベアリングを用いたり、ベアリングの片面または両面にベアリングの隙間を覆うスリーブまたはスペーサを配置してハウジングの内外間に形成される隙間を迷路化して防爆性という観点からは無視できる程度に狭くしたりすることができる。
【0024】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施例に係るアクチュエータ位置制御用ポジショナを図面に基づいて具体的に説明すれば、以下の通りである。
図1の構成図に示すように、本発明の一実施例に係るアクチュエータ位置制御用ポジショナは、空々式ポジショナPと電空変換機構Cとを組み合わせたもの(電空式ポジショナ)であり、空々式ポジショナPのハウジング1内には圧縮空気源にアクチュエータを連通させる主圧縮空気供給路2と、この主圧縮空気供給路2を開閉するスプール弁からなるバルブ3と、このバルブ3を駆動する空気駆動機構4およびスプリング5が内蔵されている。
【0025】
上記空気駆動機構4はダイヤフラム室6と、このダイヤフラム室6を大気圧室7と受圧室8とに区画するダイヤフラム9と、このダイヤフラム9に固定され、大気圧室7を貫通してバルブ3の方向に突出させたロッド10とを備える。
上記ハウジング1内には、第1の支軸11を介して第1のレバー12が回転自在に支持され、この第1のレバー12の第1の支軸11から上方に延びる第1のアーム13の上端部に上記ロッド10の先端が受け止められる。また、この第1のレバー12の第1の支軸11から下方に延びる第2のアーム14の上端部に上記スプリング5の一端が連結される。
【0026】
上記ハウジング1内には、第2の支軸15を介して第2のレバー16が回転自在に支持され、この第2のレバー16の第2の支軸15から下方に延びる第1のアーム17の下端に上記スプリング5の他端が連結され、この第2のレバー16の第2の支軸13から左方に延びる第2のアーム18の下端部に回転自在に支持させたベアリングからなるカムフォロア19が設けられる。そして、このカムフォロア19をアクチュエータに連動させたステム20に固定したカム21に受け止めさせている。
【0027】
上記バルブ3は第1のレバー12の第1のアーム13の上端部に連結され、空気駆動機構4の受圧室8の内圧が増大した時、または、上記スプリング5の付勢力が減少した時に押側方向(図1上、左方向)に移動し、空気駆動機構4の受圧室8の内圧が減少した時、または、上記スプリング5の付勢力が増大した時に引側方向(図1上、右方向)に移動する。
【0028】
図1には、受圧室8に与えられた圧力に対応する位置にアクチュエータが位置している状態が示されており、今、この状態から空気駆動機構4の受圧室8の内圧を増大させたとすると、ダイヤフラム9がスプリング5に抗して図上、左方に移動し、バルブ3が押側方向(図1上、左方向)に移動し、バルブ3が主圧縮空気供給路2の上流側部分2aを第2の下流側部分2cに連通させ、アクチュエータの第2の受圧室に圧縮空気が供給される。その結果、アクチュエータが作動し、この作動に連動するステム16およびカム17が例えば図1上、反時計回り方向に回転し、第2のレバー16がカム21に駆動されて図上、時計回りに回転し、スプリング5の付勢力を増大させる。このスプリング5の付勢力が増大すると、第1のレバー12が図1上、時計回り方向に回転してバルブ3を中立位置に移動させ、主圧縮空気供給路2の上流側部分2aを第1および第2の下流側部分2b・2cから遮断する。これにより、アクチュエータの第2受圧室への圧縮空気の供給が停止し、アクチュエータの動作は増大された受圧室8の内圧に対応する位置に停止する。
【0029】
この状態または図1に示した状態から空気駆動機構4の受圧室8の内圧を減少させたとすると、スプリング5が受圧室8の圧力に抗して第1のレバー12を時計回り方向に回転させ、バルブ3を引側方向(図1上、右方向)に移動させて、空気供給路2の上流側部分2aを第1の下流側部分2bに連通させ、アクチュエータの第1の受圧室に圧縮空気が供給される。その結果、アクチュエータが逆作動し、この逆作動に連動するステム16およびカム17が例えば図1上、時計回り方向に回転し、第2のレバー16をカム21で制限しながらスプリング5によって図上、反時計回りに回転させ、スプリング5の付勢力を減少させる。このスプリング5の付勢力が減少すると、受圧室8の内圧がスプリング5の付勢力に抗して第1のレバー12を図1上、反時計回り方向に回転させ、バルブ3を中立位置に移動させる。これにより、主圧縮空気供給路2の上流側部分2aを第1および第2の下流側部分2b・2cから遮断され、アクチュエータの第1受圧室への圧縮空気の供給が停止し、アクチュエータの動作は減少された受圧室8の内圧に対応する位置に停止する。
【0030】
上記電空変換機構Cは、バルブハウジング22と、これに組付けられた電磁駆動機構23とを備え、このバルブハウジング22内に受圧室8を大気中に連通させるリリーフ路24が形成される。そして、このリリーフ路24の途中に所定の固定絞りとしてのノズル孔25が形成されると共に、このノズル孔25の出口端に接離するフラッパー26が設けられる。
【0031】
上記電磁駆動機構23は、永久磁石27と、これを取り囲むヨーク28と、永久磁石27と同軸心状に配置され、永久磁石27の軸心方向に進退するムービングコイル29と、これらを密封状に収納するハウジング30とを備える。
これら永久磁石27およびムービングコイル29の軸心から偏心させた位置でハウジング30に回転軸31を回転可能に支持させ、図1および図2の斜視図に示すように、この回転軸31の一端に固定した第1のアーム32の遊端部をムービングコイル29の軸心に固定する一方、この回転軸31の他端に固定した第2のアーム33の遊端部に上記フラッパー26が固定され、これにより、ムービングコイル29の進退に連動してフラッパー26が上記ノズル孔25の出口端に接離するようにしてある。
【0032】
上記回転軸31は直接にハウジング30に支持させてもよいのであるが、この実施例では、回転軸31の回転の円滑性及び安定性を高めるために、上記回転軸31を1対のベアリング34・35を介してハウジング30に回転可能に支持させている。また、両ベアリング34・35としては防爆性が確保できるシール型のベアリングを用いることが好ましいが、この実施例では、シール型ではないベアリング34・35を用い、両ベアリング34・35間に各ベアリング34・35の両端間を連通させる隙間を塞ぐようにスペーサ36を介在させてリリーフ路24とハウジング30内とを連通させる通路を迷路化すると共に、防爆設計上無視できる程度に狭くしてある。また、ハウジング30からの導線の引出孔42は導線の導出端部とこれに電気的に接続された端子とを埋め込んだ絶縁材で閉塞したり、グロメットを用いて閉塞したりされる。
【0033】
さらに、図1および図2に示すように、上記ムービングコイル29と第1のアーム32との間に鉄、鋼などの磁性体からなる座金37を支持させ、永久磁石27およびヨーク28によりこの座金37を吸引することにより非通電時にムービングコイル29を永久磁石27側に引き戻すと共に、通電時のムービングコイル29の過剰動作を抑えてムービングコイル29の動作を安定させるようにしている。
【0034】
ここで、ムービングコイル29は通電により、その電流値に比例した力を受けてフラッパー26を開く方向に付勢し、ノズル孔25の開度を調整する。これにより、ノズル孔25から放出される圧縮空気の流量が制御され、受圧室8の内圧が制御されることになる。
なお、この実施例においては、上記空々式ポジショナPのハウジング1が本体ハウジング38とこれの片面に組付けられたサブハウジング39とからなり、これら本体ハウジング38とサブハウジング39との間に上記ダイヤフラム室6が形成されると共に、これら本体ハウジング38とサブハウジング39との間にダイヤフラム9を挿んで、サブハウジング39内に上記受圧室8が形成されるようにしている。
【0035】
この本体ハウジング38内には、上記主圧縮空気供給路2の上流側部分2aから分岐され、サブハウジング39側に開口する副圧縮空気供給路40の一部分40aが形成され、サブハウジング39内には、この本体ハウジング38内の副圧縮空気供給路40の一部分を上記受圧室8に連通させる副圧縮空気供給路40の残りの部分40bが形成される。この副圧縮空気供給路40の残りの部分40bの途中にはオリフィス41が形成され、主圧縮空気供給路2が開通している時に副圧縮空気供給路40に供給される空気量を一定以下に制限し、アクチュエータへの圧縮空気の供給圧が一定以下に低下することを防止している。
【0036】
このように、ハウジング1内に副圧縮空気供給路40を形成することにより、ハウジング1にチーズ継手や受圧室8への配管を組付ける必要がなくなり、部品点数を削減できると共に、これらチーズ継手や受圧室8への配管を組付ける工程を省略することができ、大幅なコストダウンを図ることができる。
また、輸送時や据付時、さらに、据付後にこれらチーズ継手や受圧室8への配管に他物が衝突して損傷するおそれがなくなり、かかる損傷によってポジショナの作動が不良になることを防止できる。
【0037】
上記の一実施例では電磁駆動機構23がムービングコイル型のものであるが、これに代えて、ハウジング内にコイルが固定され、このコイルによって駆動される可動鉄片を有する可動鉄片型の電磁駆動機構を用いる場合にも本発明は適用できる。
【0038】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明に係るアクチュエータ位置制御用ポジショナの電磁駆動機構は、コイルを密封状に収納するハウジングと、このハウジング内で電磁作用により進退する可動部と、可動部の中心から偏心した位置に配置され、上記ハウジングに可動部の進退方向と直角の方向の軸心の周りに回転可能に挿通される回転軸と、この回転軸を可動部に連結する第1のアームと、ハウジング外でこの回転軸にフラッパーを連動させる第2のアームとを備えるものであるので、フラッパーが配置される空間とハウジング内部とを連通させる隙間が防爆性という観点からは無視できる程度に小さくなので、防爆性を高めることができる効果が得られる上、構成が簡単で、容易に、且つ、安価に実施することができる効果が得られる。
【0039】
また、本発明において、特に上記回転軸がベアリングを介してハウジングに支持され、このベアリングの両端を連通する空間を覆うスペーサ又はスリーブが設けられる場合には、ベアリングの両端を連通させる隙間によって防爆性が損なわれることなく、回転軸の回転の円滑性および安定性を高めることができ、アクチュエータ位置制御用ポジショナの制御精度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の構成図である。
【図2】本発明の要部の斜視図である。
【図3】従来の空々式ポジショナの構成図である。
【図4】従来の電空変換機構の断面図である。
【図5】他の従来例の構成図である。
【符号の説明】
C…電空変換機構
P…空々式ポジショナ
23…電磁駆動機構
26…フラッパー
29…ムービングコイル
30…ハウジング
31…回転軸
32…第1のアーム
33…第2のアーム
34・35…ベアリング
36…スペーサ

Claims (2)

  1. 空々式ポジショナの入力圧力を制御するフラッパーおよびこのフラッパーを駆動する電磁駆動機構を有するアクチュエータ位置制御用ポジショナの電空変換機構において、上記電磁駆動機構が、コイルを密封状に収納するハウジングと、このハウジング内で電磁作用により進退する可動部と、可動部の中心から偏心した位置に配置され、上記ハウジングに可動部の進退方向と直角の方向の軸心の周りに回転可能に挿通される回転軸と、この回転軸を可動部に連結する第1のアームと、ハウジング外でこの回転軸にフラッパーを連動させる第2のアームとを備えるものであることを特徴とするアクチュエータ位置制御用ポジショナの電空変換機構。
  2. 上記回転軸がベアリングを介してハウジングに支持され、このベアリングの両端を連通する空間を覆うスペーサまたはスリーブが設けられる請求項1に記載のアクチュエータ位置制御用ポジショナの電空変換機構。
JP19044895A 1995-07-26 1995-07-26 アクチュエータ位置制御用ポジショナの電空変換機構 Expired - Fee Related JP3576280B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19044895A JP3576280B2 (ja) 1995-07-26 1995-07-26 アクチュエータ位置制御用ポジショナの電空変換機構

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19044895A JP3576280B2 (ja) 1995-07-26 1995-07-26 アクチュエータ位置制御用ポジショナの電空変換機構

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0942515A JPH0942515A (ja) 1997-02-14
JP3576280B2 true JP3576280B2 (ja) 2004-10-13

Family

ID=16258305

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19044895A Expired - Fee Related JP3576280B2 (ja) 1995-07-26 1995-07-26 アクチュエータ位置制御用ポジショナの電空変換機構

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3576280B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013104708A (ja) * 2011-11-11 2013-05-30 Azbil Corp 角度センサ
CN110594480B (zh) * 2019-10-08 2024-09-06 深圳市摩控自动化设备有限公司 一种隔爆型智能定位器

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0942515A (ja) 1997-02-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5597009A (en) Vacuum-enclosed integral cryogenic valve
US4250924A (en) Electromagnetic control valve assembly
US5213307A (en) Gastight manually-operated valve
US6439539B1 (en) Electrically controllable valve
US4840193A (en) Electromagnetically actuatable three-way/two-position directional control valve
US5467797A (en) Two-position three-way solenoid valve
EP2115336B1 (en) Solenoid valve having a two piece moving valve element
JPH06185668A (ja)
EP0222223B1 (en) Inline solenoid operated slide valve
US20080308079A1 (en) Exhaust Gas Recycling Device Comprising a Flow Regulating and Selectively Connecting Valve
US7540467B2 (en) Actuator assembly with rotational coupler in-line with rotational valve shaft
JPS6218363B2 (ja)
JP3576280B2 (ja) アクチュエータ位置制御用ポジショナの電空変換機構
GB2295884A (en) Exhaust gas recirculation valve
US20040035472A1 (en) Valve arrangement having electromagnetic actuation
JP2000320711A (ja) 電動式コントロールバルブ
JP4218510B2 (ja) リニヤアクチュエータ
US5179888A (en) Split clamp linear solenoid valve positioner
JP2001041340A (ja) 電磁弁
JP3623822B2 (ja) アクチュエータ位置制御用ポジショナの電空変換機構
JPH06249083A (ja) 電動式アクチュエータ
JPH0942209A (ja) アクチュエータ位置制御用ポジショナ
JPH0893576A (ja) 蒸発燃料制御弁装置
JPH09144611A (ja) 排気ガス再循環制御バルブ装置
JPH0942202A (ja) アクチュエータ位置制御用ポジショナ

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040706

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040707

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080716

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090716

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100716

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110716

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120716

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130716

Year of fee payment: 9

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees