JP4218510B2 - リニヤアクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、電磁アクチュエータの作動により被駆動体を軸方向へ変位させるリニヤアクチュエータに関するものであり、例えば、弁装置を電磁アクチュエータで駆動する電磁弁に用いて好適な技術であり、スプール弁またはボール弁によって油圧の切替えや調整を行う電磁油圧制御弁に用いて好適な技術に関する。

（従来の技術）
図４を参照して、従来のリニヤアクチュエータの要部構造を説明する。
この図４に示すリニヤアクチュエータは、電磁アクチュエータＪ1 とスプリングＪ2 によってシャフトＪ3 を軸方向へ変位させることにより、シャフトＪ3 とともに被駆動体（例えば、バルブ等）を軸方向へ移動させるものである。
電磁アクチュエータＪ1 は、プランジャＪ4 を軸方向へ移動可能に収容するプランジャ収容室Ａを備えており、プランジャＪ4 がコイルＪ5 の内側で軸方向へ変位するには、プランジャ収容室Ａの空間容積（プランジャ収容室ＡとプランジャＪ4 の間に形成される空間の容積）が変化する必要がある。
被駆動体を収容するハウジングＪ6 には、内外を連通する呼吸孔Ｊ7 が形成されており、その呼吸孔Ｊ7 とプランジャ収容室Ａは、シャフトＪ3 と軸受（図４では、第１、第２軸受Ｊ8 、Ｊ9 からなる）の間の摺動クリアランスＢ1 、Ｂ2 （シャフトＪ3 と摺接する部分の隙間）を介して連通している。そして、プランジャＪ4 が軸方向へ変位する際は、この摺動クリアランスＢ1 、Ｂ2 を通って呼吸用流体（例えば、オイル、エア等）がプランジャ収容室Ａに給排されて、プランジャ収容室Ａの空間容積が変化し、プランジャＪ4 が軸方向へ変位することができる。

一方、シャフトＪ3 を支持する軸受の内周面に軸方向に伸びる溝（図示しない）を形成したものが知られている（例えば、特許文献１参照）。この溝は、摺動クリアランスＢ1 、Ｂ2 に異物（例えば、摩耗粉等）が侵入した場合に、シャフトＪ3 の摺動により異物を溝内に集積し、異物が摺動クリアランスＢ1 、Ｂ2 に噛み込むのを防ぐものである。そして、この溝は、呼吸孔Ｊ7 とプランジャ収容室Ａとを連通する呼吸通路としても作用するものである。

（従来の技術の不具合）
摺動クリアランスＢ1 、Ｂ2 を小さく設けた場合は、異物が摺動クリアランスＢ1 、Ｂ2 に入り込み難いため、異物の噛み込みによってシャフトＪ3 が摺動不良を起こす可能性は低い。
しかし、摺動クリアランスＢ1 、Ｂ2 が小さいと、呼吸用流体の流れる流路面積が小さいため、急速にプランジャ収容室Ａに呼吸用流体を給排できず、プランジャＪ4 の作動抵抗が大きくなり、優れた応答性が得られない。

逆に、摺動クリアランスＢ1 、Ｂ2 が大きい場合は、呼吸用流体の流れる流路面積が大きいため、プランジャＪ4 の作動抵抗が小さくなり、優れた応答性が得られる。
しかし、摺動クリアランスＢ1 、Ｂ2 が大きいことによって、摺動クリアランスＢ1 、Ｂ2 に粒径の大きな異物が侵入する可能性が高まり、異物の噛み込みによってシャフトＪ3 に摺動不良が発生する可能性がある。

一方、特許文献１の技術のように、溝によって呼吸通路を設けた場合でも、呼吸用流体の流れる流路面積が大きいため、プランジャＪ4 の作動抵抗が小さくなり、優れた応答性が得られる。
しかし、呼吸通路を設けたことによって、呼吸用流体とともに異物がプランジャ収容室Ａへ侵入する可能性が高まる。プランジャ収容室Ａに呼吸用流体とともに異物として磁性異物（例えば、摩耗粉や切削粉などによる鉄粉や鉄片等）が侵入すると、侵入した磁性異物が磁気回路の一部を構成する可能性がある。
プランジャ収容室Ａに侵入した磁性異物が磁気回路の一部を構成すると、磁気ショートによってプランジャＪ4 の吸引力が低下したり、プランジャＪ4 へ作用する磁気のバランスが崩れ、プランジャＪ4 の軸方向に対して直角方向の力が作用し、プランジャＪ4 が周囲の部材（例えばシール用のカップガイドＪ10）と強く摺動してプランジャＪ4 の軸方向の移動が妨げられて、電磁アクチュエータＪ1 に対する要求特性が得られなくなる可能性がある。
また、磁性異物ではない異物でも、プランジャ収容室Ａに堆積、あるいは噛み込むなどしてプランジャＪ4 の移動が妨げられて作動不良を発生する可能性もある。
国際公開第０１／０２７５１１号パンフレット

本発明は、上記の不具合を解決すべくなされたものであり、その目的は、（１）呼吸用流体の流れる流路面積を大きくすることで応答性を高め、（２）異物によるシャフトの噛み込みの発生を抑え、（３）電磁アクチュエータの内部にあるプランジャ収容室への異物の侵入を阻止できるリニヤアクチュエータの提供にある。

［請求項１、２の手段］
（１）請求項１の手段を採用するリニヤアクチュエータは、電磁アクチュエータ内のプランジャ収容室と呼吸孔とが、シャフトと軸受の間の摺動クリアランスの流路面積よりも流路面積が大きい呼吸通路を介して連通するものである。
この呼吸通路は、呼吸用流体の流れる流路面積が大きいため、プランジャの移動によってプランジャ収容室の空間容積が変動する際、急速にプランジャ収容室に呼吸用流体を給排できる。このため、プランジャの作動抵抗を小さくでき、優れた応答性を得ることができる。
（２）摺動クリアランスとは別に、流路面積の大きい呼吸通路を設けているため、摺動クリアランスを小さくできる。これによって、異物が摺動クリアランスに入り込み難くなるため、異物の噛み込みによってシャフトが摺動不良を起こす不具合を抑えることができる。
（３）呼吸用流体の給排を行う呼吸通路に異物の通過を阻止するフィルタを設けているため、呼吸用流体とともに異物が電磁アクチュエータ内のプランジャ収容室に侵入しない。これによって、電磁アクチュエータの作動不良を防ぐことができるとともに、長期にわたり電磁アクチュエータの要求特性を維持できる。

そして、請求項１の手段を採用するリニヤアクチュエータの軸受は、第１軸受と第２軸受とからなり、プランジャに近い側の第２軸受は２つの部材を接合して設けられる。そして、フィルタは、第２軸受を構成する２つの部材に挟まれて支持されるものである。
また、請求項２の手段を採用するリニヤアクチュエータの軸受は、第１軸受と第２軸受とからなり、フィルタは第１軸受と第２軸受に挟まれて支持されるものである。

［請求項３の手段］
請求項３の手段を採用するリニヤアクチュエータは、電磁弁である。
即ち、ハウジングは、流体通路が形成されたバルブハウジングであり、被駆動体は、バルブハウジングの内部で軸方向に変位することで、流体通路の切替え（または流体通路の開閉、あるいは流体通路の通路面積の可変）を行うバルブであり、バルブハウジングとバルブによって弁装置が構成され、この弁装置が電磁アクチュエータによって駆動されるものである。

［請求項４の手段］
請求項４の手段を採用するリニヤアクチュエータは、電磁油圧制御弁である。
即ち、バルブハウジングは、オイルの入出力ポートあるいは排出ポートが形成されたスリーブであり、バルブは、バルブハウジングの内部で軸方向へ変位することで入出力ポートあるいは排出ポートの切替え（または入出力あるいは排出のポート開閉、あるいはポートの通路面積の可変）を行うものであり、バルブハウジングとバルブによって弁装置が構成され、この弁装置が電磁アクチュエータによって駆動されるものである。

最良の形態１、２のリニヤアクチュエータは、被駆動体（例えば、ボール弁、スプールバルブ等）、ハウジングを備えた駆動対象装置（例えば、弁装置、スプール弁等）と、コイル、プランジャ、ステータを備える電磁アクチュエータと、プランジャの軸方向の変位を被駆動体へ伝えるシャフトと、このシャフトの軸受と、プランジャとステータの対向距離が離れる方向へプランジャおよび被駆動体を付勢する付勢手段とを具備する。
そして、電磁アクチュエータは、プランジャを収容するプランジャ収容室を備える。
ハウジングは、内部と大気圧の外部とを連通する呼吸孔（あるいは排出ポートであっても良い）を備える。
プランジャ収容室は、シャフトと軸受の間の摺動クリアランスの流路面積よりも流路面積が大きい呼吸通路を介して呼吸孔と連通する。
呼吸通路には、その呼吸通路を流れる呼吸用流体に含まれる異物の通過を阻止するフィルタが設けられている。
そして、最良の形態１におけるリニヤアクチュエータの軸受は、第１軸受と第２軸受とからなり、プランジャに近い側の第２軸受は２つの部材を接合して設けられ、フィルタは第２軸受を構成する２つの部材に挟まれて支持されるものである。
また、最良の形態２におけるリニヤアクチュエータの軸受は、第１軸受と第２軸受とからなり、フィルタは第１軸受と第２軸受に挟まれて支持されるものである。

実施例１を図１、図２を参照して説明する。なお、以下の実施例では、リニヤアクチュエータの一例として電磁弁を示すものであり、その電磁弁の具体的な一例として電磁油圧制御弁を示すものである。
電磁油圧制御弁１は、例えば、自動変速機の油圧コントローラに搭載されて、自動変速機の多板クラッチや多板ブレーキ等の油圧係合要素の係脱を行う油圧アクチュエータにオイル（油圧）の給排を行ったり、バルブ可変タイミング装置（ＶＶＴ等）の油圧コントローラに搭載されて、カムシャフト進角調整用の油圧アクチュエータの進角室あるいは遅角室にオイル（油圧）の給排を行う制御弁である。

図１は電磁油圧制御弁１の要部断面図であり、この図１を参照して電磁油圧制御弁１の構造を説明する。
電磁油圧制御弁１は、バルブハウジング（スリーブ）２、バルブ（被駆動体の一例：図示しない）からなる弁装置（駆動対象装置の一例）３と、バルブを軸方へ駆動する電磁アクチュエータ４とを備える。
バルブハウジング２は、略円筒形状を呈するものであり、オイルの給排口となる入出力ポート（図示しない）あるいは排出ポートが形成されている。

バルブは、バルブハウジング２内において軸方向に摺動自在なものであり、バルブがスプールタイプの場合、バルブハウジング２の内径寸法にほぼ一致した外径寸法を有するポート遮断用（あるいはポート開度可変用）の大径部（ランド）を備える。また、スプールには、大径部より径の小さい小径部が設けられており、小径部の軸方向の位置に応じて入出力ポートあるいは排出ポートの連通状態が変更される。そして、スプールバルブを電磁アクチュエータ４によって軸方向へ変位させることにより、大径部による入出力ポートあるいは排出ポートの遮断状態、および小径部による入出力ポートあるいは排出ポートの連通状態を制御して、油圧アクチュエータの油圧をコントロールしている。

電磁アクチュエータ４は、プランジャ５、ステータ６、コイル７、ヨーク８、サイドギャップ用コア９、およびコネクタ（図示しない）を備える。
プランジャ５は、ステータ６に磁気吸引される磁性体金属（例えば、鉄：磁気回路を構成する強磁性材料）によって形成されたものであり、コイル７の内側（具体的には、オイルシール用のカップガイド１１の内側）で軸方向へスライド可能に支持される。

ステータ６は、バルブハウジング２とコイル７との間に挟まれて配置される略円盤形状のプレート１２と、そのプレート１２の磁束をプランジャ５の近傍まで導く略円筒形状の吸引コア１３とからなる。
プレート１２と吸引コア１３は、ともに磁性体金属（例えば、鉄：磁気回路を構成する強磁性材料）であり、プランジャ５と吸引コア１３との間にはメインギャップＭＧ（磁気吸引ギャップ）が形成される。なお、この実施例では、プレート１２と吸引コア１３を別部品で構成する例を示すが、プレート１２と吸引コア１３を一部品で設けても良い。
吸引コア１３の端部には、プランジャ５の端部が接触しないで差し込まれる凹部が形成されており、この凹部内にプランジャ５が侵入することで、プランジャ５がステータ６の端部に吸引された際に、プランジャ５とステータ６の一部が軸方向に交差するように設けられている。なお、吸引コア１３あるいはプランジャ５の端部（メインギャップＭＧ側）の形状は、平面、円錐、球面、自由曲面あるいはこれらの複合形状などであっても良い。

コイル７は、通電されると磁力を発生して、ステータ６にプランジャ５を磁気吸引させる磁力発生手段であり、樹脂性のボビン７ａの周囲にエナメル線を多数巻回したものである。
ヨーク８は、コイル７の周囲を覆う磁性体金属（例えば、鉄：磁気回路を構成する強磁性材料）であり、図１左側に形成された爪部８ａのカシメなどでバルブハウジング２と結合されるものである。
サイドギャップ用コア９は、プランジャ５の周囲を覆って、プランジャ５の周囲でプランジャ５と磁束の受渡しを行うものであり、プランジャ５とサイドギャップ用コア９の間にはサイドギャップＳＧ（磁束受渡ギャップ）が形成される。なお、この実施例では、ヨーク８とサイドギャップ用コア９を別部品で構成する例を示すが、ヨーク８とサイドギャップ用コア９を一部品で設けても良い。
コネクタは、電磁油圧制御弁１を制御する制御装置と接続線を介して電気的な接続を行う手段であり、コネクタの内部にはコイル７の両端にそれぞれ接続される端子が配置されている。

電磁油圧制御弁１は、プランジャ５とバルブの軸方向の変位を伝達するシャフト１４を備える。この実施例のシャフト１４は、図１中の右側端がプランジャ５に当接する例を示すが、プランジャ５と圧入等により固着されるものであっても良い。一方、シャフト１４の図１中の左側端は、バルブと圧入により固着されるものであっても良いし、バルブと一体に設けられるもの（シャフト１４自体がバルブ、あるいはバルブの構成要素）であっても良い。また、スプリング等の付勢手段あるいは油圧反力によりバルブがプランジャ５側へ付勢する場合などでは、バルブとシャフト１４が当接するものであっても良い。

シャフト１４は、プランジャ５から離れた側（図１中、左側）において樹脂製のカラー１５（第１軸受に相当する）によって支持されるとともに、プランジャ５に近い側（図１中、右側）で吸引コア１３（第２軸受に相当する）によって支持される。即ち、カラー１５と吸引コア１３によって、シャフト１４の軸受が構成される。
カラー１５は、バルブハウジング２の内側に固定される。また、吸引コア１３は、バルブハウジング２とコイル７の間に挟まれて固定されるプレート１２の内側に圧入等によって固定される。
なお、この軸受内に設けられる呼吸通路１６については後述する。

電磁油圧制御弁１は、プランジャ５とステータ６の対向距離（メインギャップＭＧ）が離れる方向へ、プランジャ５を付勢するスプリング１７（付勢手段に相当する）を備える。この実施例のスプリング１７は、カラー１５とシャフト１４の間に配置されて、シャフト１４に図１の右側へ移動する付勢力を与え、プランジャ５を図１の右側に付勢するものである。なお、吸引コア１３とプランジャ５の間にスプリングを配置しても良い。また、プランジャ５とは異なる側のバルブハウジング２とバルブの間にスプリングを配置して、バルブ、シャフト１４、プランジャ５に付勢力を与えても良い。また、バルブへの油圧反力などで特に付勢力が必要ない場合には、スプリング１７を省略しても良い。

電磁油圧制御弁１は、コイル７のOFF 時、スプールとプランジャ５が、スプリング１７の付勢力によってコイル７側（図１右側）へ変位して停止する。
この停止状態でメインギャップＭＧの最大ギャップが決定されるとともに、バルブハウジング２に対するバルブの位置決めが成される。
なお、図１中に示す符号１８はシール用のＯリングである。

〔実施例１の特徴〕
プランジャ５は、電磁アクチュエータ４の内部において軸方向へ移動するものであるため、電磁アクチュエータ４の内部には、プランジャ５を軸方向へ変位可能に収容するプランジャ収容室Ａが設けられている。このプランジャ収容室Ａは、カップガイド１１と吸引コア１３で囲まれた部屋である。
ここで、プランジャ５は、軸方向に径寸法が異なっており、その径に応じてプランジャ収容室Ａの径も軸方向に異なっている。また、プランジャ５が軸方向へ変位すると、プランジャ収容室Ａに侵入するシャフト１４の侵入量も変位する。このため、プランジャ５が軸方向へ変位すると、プランジャ収容室Ａの空間（各部材によって囲まれた空間：第１空間Ａ1 ＋第２空間Ａ2 ＋第３空間Ａ3 ）の容積が変化する。

プランジャ５のステータ６側（図１左側）の第１空間Ａ1 と、プランジャ５の反ステータ６側（第１空間Ａ1 とは異なる側：図１右側）の第２空間Ａ2 とは、プランジャ５の中心において貫通して形成されたプランジャ内通路５ａと、シャフト１４の当接面に形成された径方向溝５ｂを介して連通するようになっており、第１空間Ａ1 と第２空間Ａ2 の間でオイル（作動流体）あるいは残留エアが自由に行き来できるようになっている。
プランジャ５の外周の第３空間Ａ3 と第１空間Ａ1 とは、プランジャ５の外周に形成されたプランジャ外周溝５ｃを介して連通するようになっており、第１空間Ａ1 と第３空間Ａ3 の間でオイルあるいは残留エアが自由に行き来できるようになっている。
なお、この実施例では、径方向溝５ｂをプランジャ５の端面に形成した例を示したが、シャフト１４の端面に形成しても良い。また、プランジャ５の軸芯以外の部位に軸方向に貫通した内部通路を形成して第１空間Ａ1 と第２空間Ａ2 を連通させても良いし、プランジャ５の外周面に軸方向に伸びる溝を形成して第２空間Ａ2 と第３空間Ａ3 を連通させても良い。

バルブハウジング２には、内部と大気圧の外部とを連通してオイル（作動流体）あるいは内部残留エアの給排が可能な呼吸孔あるいは排出ポート（ドレインポート）２１が形成されている。

プランジャ収容室Ａ内における第１空間Ａ1 は、シャフト１４の軸受（カラー１５と吸引コア１３）に設けられた呼吸通路１６を通って呼吸孔２１に連通するように設けられている。
この呼吸通路１６は、シャフト１４と軸受（カラー１５と吸引コア１３）の間の両摺動クリアランスＢ1 、Ｂ2 の流路面積よりも流路面積が大きく設けられ、呼吸用のオイルが主に呼吸通路１６を流れるようになっている。

この実施例では、吸引コア１３の内部に呼吸通路１６を形成し、且つ第２軸受に相当する吸引コア１３の内部に後述するフィルタ２２を配置するために、吸引コア１３を２つの部材（主コア材１３ａと副コア材１３ｂ）で構成している。
主コア材１３ａは、プランジャ５側の中心部に円筒状の凹部が形成されており、その凹部の内側に略円筒形状の副コア材１３ｂを圧入固定した構造になっている。副コア材１３ｂには、フィルタ室１６ｄの内部に配置されるフィルタ２２の外周に挿入される複数（この実施例では、図２に示すように５つ）の突起１３ｃが形成されている。副コア材１３ｂの内周面は、シャフト１４を支持するものであり、副コア材１３ｂとシャフト１４の間に摺動クリアランスＢ2 が形成される。

吸引コア１３の内部の呼吸通路１６は、主コア材１３ａと副コア材１３ｂの軸方向の間に形成されたフィルタ室１６ｄ（スプリング１７が配置される軸受内空間１６ｂに連通する）と、副コア材１３ｂの周囲に軸方向に複数形成された溝通路１６ｅ（プランジャ収容室Ａに連通する）とからなる。
即ち、全体の呼吸通路１６は、入口路１６ａ→軸受内空間１６ｂ→フィルタ室１６ｄ→溝通路１６ｅからなり、呼吸孔２１とプランジャ収容室Ａとを連通する。この呼吸通路１６の最小流路面積は、カラー１５および吸引コア１３の摺動クリアランスＢ1 、Ｂ2 の軸方向の面積より大きく、呼吸通路１６に積極的にオイルまたは残留エアを流し、摺動クリアランスＢ1 、Ｂ2 はオイルまたは残留エアが流れ難いものである。

上述したように、プランジャ５が軸方向へ変位すると、プランジャ収容室Ａの空間容積（第１空間Ａ1 ＋第２空間Ａ2 ＋第３空間Ａ3 の容積）が変化するため、呼吸通路１６を介してオイルまたは残留エアが給排される。
プランジャ５が軸方向へ変位して、プランジャ収容室Ａの空間容積が変動する毎に、呼吸通路１６をオイルまたは残留エアが流れるため、オイル中または残留エア中に含まれる異物（摩耗粉や切削粉等）が呼吸通路１６内およびプランジャ収容室Ａ内に侵入する可能性がある。
そこで、呼吸通路１６には、呼吸通路１６を流れるオイルに含まれる異物の通過を阻止するフィルタ２２を設けている。このフィルタ２２は、呼吸通路１６を通過する全てのオイルを濾過するようになっている。この実施例のフィルタ２２は、フィルタ室１６ｄに配置されて、主コア材１３ａと副コア材１３ｂの軸方向の間に挟まれて支持されるものであり、例えば円筒形に形成した不織繊維、あるいは目の細かいメッシュ（例えば、♯８０〜♯１０００）よりなる。

〔実施例１の効果〕
この実施例１の電磁油圧制御弁１は、次の効果を奏する。
（１）プランジャ収容室Ａと呼吸孔２１とが、シャフト１４と軸受（カラー１５と吸引コア１３）の間の摺動クリアランスＢ1 、Ｂ2 の流路面積よりも流路面積が大きい呼吸通路１６を介して連通する。このように、呼吸通路１６は流路面積が大きいため、プランジャ５の移動によってプランジャ収容室Ａの空間容積が変動する際に、急速にプランジャ収容室Ａにオイルを給排できる。これによって、プランジャ５の作動抵抗を小さくでき、プランジャ５の作動応答性、ひいては電磁油圧制御弁１の応答性を高めることができる。

（２）摺動クリアランスＢ1 、Ｂ2 とは別に、流路面積の大きい呼吸通路１６を設けるため、摺動クリアランスＢ1 、Ｂ2 を小さくできる。これによって、摺動クリアランスＢ1 、Ｂ2 に異物が入り込み難くなるため、摺動クリアランスＢ1 、Ｂ2 に異物が噛み込むことによって発生するシャフト１４の摺動不良を抑えることができる。

（３）呼吸通路１６に異物の通過を阻止するフィルタ２２を設けているため、オイルまたは残留エアとともに異物が呼吸通路１６の内部、およびプランジャ収容室Ａの内部に侵入しない。これによって、電磁アクチュエータ４の作動不良を防ぐことができるとともに、長期にわたり電磁アクチュエータ４の要求特性を維持でき、電磁油圧制御弁１の信頼性を高めることができる。

即ち、本発明を適用した電磁油圧制御弁１は、応答性に優れ、且つ異物の噛み込みによるシャフト１４の作動不良が抑えられ、さらに電磁アクチュエータ４の内部にあるプランジャ収容室Ａへの異物の侵入を阻止できる。

実施例２を図３を参照して説明する。なお、以下の実施例において上記実施例１と同一符号は同一機能物を示すものである。
この実施例２は、第１軸受に相当するカラー１５と、第２軸受に相当する吸引コア１３の軸方向の間に、フィルタ２２を挟んで支持するものである。この実施例２のフィルタ２２は、略リング円盤形状を呈するものであり、メッシュあるいは不織繊維によって設けられ、入口路１６ａの吸引コア１３側をフィルタ２２が覆うように配置されている。
なお、吸引コア１３におけるフィルタ２２の当接面には、フィルタ２２を通過したオイルを軸受内空間１６ｂに導くための円環溝１６ｆと径方向溝１６ｇが形成されている。
即ち、全体の呼吸通路１６は、入口路１６ａ→円環溝１６ｆ→径方向溝１６ｇ→軸受内空間１６ｂ→軸方向溝１６ｃからなり、呼吸孔２１とプランジャ収容室Ａとを連通するものである。
このような実施例２を採用しても、呼吸通路１６を流れるオイルがフィルタ２２を通過するため、上記実施例１と同様の効果を得ることができる。

〔変形例〕
上記の実施例で示した電磁アクチュエータ４の構造は、実施例の説明のための一例であって、他の構造であっても良い。例えば、コイル７の軸方向にプランジャ５が配置されるものであっても良い。
上記の実施例では、コイル７がONした時にスプール（被駆動体、バルブ等）が反コイル７側へ変位する例を示したが、逆にコイル７がONした時にスプール（被駆動体、バルブ等）がコイル７側へ変位するようにしても良い。

上記の実施例では、電磁弁の一例として、電磁油圧制御弁１を例に示したが、オイル以外の流体（例えば、水、空気、排気ガス等）の切替え、流体の断続、流体の流量調整を行う電磁弁に本発明を適用しても良い。
さらに、バルブに代えて、他の被駆動体（直線的な移動を行う部材）を電磁アクチュエータ４で駆動するリニヤアクチュエータに本発明を適用しても良い。

電磁油圧制御弁の要部を示す軸方向に沿う断面図である（実施例１）。 フィルタ部分における軸方向に直交した方向の要部断面図である（実施例１）。 電磁油圧制御弁の要部を示す軸方向に沿う断面図である（実施例２）。 電磁油圧制御弁の要部を示す軸方向に沿う断面図である（従来例）。

符号の説明

１ 電磁油圧制御弁（リニヤアクチュエータ、電磁弁）
２ バルブハウジング（スリーブ）
３ 弁装置（駆動対象装置）
４ 電磁アクチュエータ
５ プランジャ（可動子）
６ ステータ
７ コイル
１３ 吸引コア（第２軸受）
１３ａ 主コア材（第２軸受を構成する２つの部材の一方）
１３ｂ 副コア材（第２軸受を構成する２つの部材の他方）
１４ シャフト
１５ カラー（第１軸受）
１６ 呼吸通路
１７ スプリング（付勢手段）
２１ 呼吸孔
２２ フィルタ
Ａ プランジャ収容室
Ｂ1 、Ｂ2 摺動クリアランス

Claims (4)

1. （ａ）軸方向へ変位可能に支持された被駆動体、この被駆動体を収容するハウジングを備えた駆動対象装置と、
   （ｂ）通電によって磁力を発生するコイル、軸方向へ移動可能に設けられたプランジャ、前記コイルの発生した磁力を前記プランジャの軸方向の対向位置へ導くステータを備え、前記コイルの発生する磁力によって前記プランジャを前記ステータに吸引する電磁アクチュエータと、
   （ｃ）前記被駆動体と前記プランジャの間に配置され、前記プランジャの軸方向の変位を前記被駆動体へ伝えるシャフトと、
   （ｄ）このシャフトを軸方向へ変位可能に支持する軸受と、
   （ｅ）前記プランジャと前記ステータの対向距離が離れる方向へ、前記プランジャおよび前記被駆動体を付勢する付勢手段とを具備し、
   （ｆ）前記電磁アクチュエータは、前記プランジャを軸方向へ変位可能に収容するプランジャ収容室を備え、
   （ｇ）前記ハウジングは、当該ハウジングの内外を連通する呼吸孔を備え、
   （ｈ）前記プランジャ収容室は、前記シャフトと前記軸受の間の摺動クリアランスの流路面積よりも流路面積が大きい呼吸通路を介して前記呼吸孔と連通するものであり、
   （ｉ）この呼吸通路には、当該呼吸通路を流れる呼吸用流体に含まれる異物の通過を阻止するフィルタが設けられ、
   前記軸受は、前記プランジャから離れた側で前記シャフトを支持する第１軸受と、この第１軸受よりも前記プランジャに近い側で前記シャフトを支持する第２軸受とを備え、
   この第２軸受は、２つの部材を接合して設けられたものであり、
   前記フィルタは、前記第２軸受を構成する２つの部材に挟まれて支持されることを特徴とするリニヤアクチュエータ。
2. （ａ）軸方向へ変位可能に支持された被駆動体、この被駆動体を収容するハウジングを備えた駆動対象装置と、
   （ｂ）通電によって磁力を発生するコイル、軸方向へ移動可能に設けられたプランジャ、前記コイルの発生した磁力を前記プランジャの軸方向の対向位置へ導くステータを備え、前記コイルの発生する磁力によって前記プランジャを前記ステータに吸引する電磁アクチュエータと、
   （ｃ）前記被駆動体と前記プランジャの間に配置され、前記プランジャの軸方向の変位を前記被駆動体へ伝えるシャフトと、
   （ｄ）このシャフトを軸方向へ変位可能に支持する軸受と、
   （ｅ）前記プランジャと前記ステータの対向距離が離れる方向へ、前記プランジャおよび前記被駆動体を付勢する付勢手段とを具備し、
   （ｆ）前記電磁アクチュエータは、前記プランジャを軸方向へ変位可能に収容するプランジャ収容室を備え、
   （ｇ）前記ハウジングは、当該ハウジングの内外を連通する呼吸孔を備え、
   （ｈ）前記プランジャ収容室は、前記シャフトと前記軸受の間の摺動クリアランスの流路面積よりも流路面積が大きい呼吸通路を介して前記呼吸孔と連通するものであり、
   （ｉ）この呼吸通路には、当該呼吸通路を流れる呼吸用流体に含まれる異物の通過を阻止するフィルタが設けられ、
   前記軸受は、前記プランジャから離れた側で前記シャフトを支持する第１軸受と、この第１軸受よりも前記プランジャに近い側で前記シャフトを支持する第２軸受とを備え、
   前記フィルタは、前記第１軸受と前記第２軸受に挟まれて支持されることを特徴とするリニヤアクチュエータ。
3. 請求項１または請求項２に記載のリニヤアクチュエータにおいて、
   前記ハウジングは、流体通路が形成されたバルブハウジングであり、
   前記被駆動体は、前記バルブハウジングの内部で軸方向に変位することで、前記流体通路の切替え、前記流体通路の開閉、あるいは前記流体通路の通路面積の可変を行うバルブであり、
   前記バルブハウジングと前記バルブによって弁装置が構成されることを特徴とするリニヤアクチュエータ。
4. 請求項３に記載のリニヤアクチュエータにおいて、
   前記バルブハウジングは、オイルの入出力ポートあるいは排出ポートが形成されたスリーブであり、
   前記バルブは、前記バルブハウジングの内部で軸方向へ変位することで前記入出力ポートあるいは排出ポートの切替え、または開閉、あるいは前記入出力ポートあるいは排出ポートの通路面積の可変を行うものであり、
   前記バルブハウジングと前記バルブによって弁装置が構成されることを特徴とするリニヤアクチュエータ。

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