JPH10303267A - 解析装置の操作方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】解析の操作手順を記憶保存しておき、この保存
内容に基づき自動的に解析を行うもので、操作性の向上
あるいは、解析作業の省力化を目的とする。 【解決手段】検査装置１−１，１−２，…１−ｎとネッ
トワーク２を介して接続されるデータ収集用コンピュー
タ３および、収集されたデータを解析するための解析用
コンピュータ４から構成される。検査装置１−１からの
検査結果データ１０−１は、検査完了時にデータ収集用
コンピュータ３に送られ、データベース５に登録され
る。解析用コンピュータ４は、解析を行うためデータベ
ース５から必要な検査結果データ１０−４を検索し、ネ
ットワーク２を介してデータを取得し、種々の形式で処
理，表示を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造工程の検
査データを処理する解析装置における解析手順に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造で、早期に歩留まりを向上さ
せ、且つ高い歩留まりを安定に維持することが重要であ
る。このためには、歩留まり低下の要因を早く突き止
め、製造工程の対策を行うことが必要である。

【０００３】近年の半導体製造では、この歩留まり低下
要因の早期発見ために、各工程での検査データをオンラ
インで収集し、歩留まりデータとの相関関係を解析する
ための解析ツールが用いられるようになってきた。

【０００４】検査装置の検査結果データは、ネットワー
クを介してデータ収集用のコンピュータに収集される。
解析を行うためのコンピュータは、収集されたデータか
ら解析に必要なデータを抽出して解析を行う。この解析
結果は、抽出したデータに種々の処理を加えデータが持
つ特徴的な傾向、すなわち歩留まりに対する相関性等を
可視化した形で表示される。オペレータは、これらの表
示結果から、歩留まりを低下させていると考えられる要
因を摘出し、その要因を排除すべく製造工程（製造装置
や製造条件）に対策を行う。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の解析ツ
ールは、検査データを種々の形式で表示する機能を有し
ているものの、それらの表示を行うための操作は、全て
ツールを使用するオペレータが行う。また、ある程度画
一化した解析を行う場合でも、その操作手順を毎回繰り
返す必要がある。

【０００６】本発明の目的は、解析を行う場合の操作性
の向上を目的としており、一定の解析手順を記憶するこ
とにより、自動的に解析を繰り返すことができる操作方
法を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は解析を行う操作手順を記憶保存しておき、
この保存内容に基づき自動的に解析を行う。

【０００８】本発明によると、操作手順が記憶されてい
るため、画一化された操作手順を毎回繰り返し操作する
ことなく、自動的に解析を行うことができ、操作性の向
上あるいは、解析作業の省力化を図ることができる。ま
た、操作方法を熟知していないオペレータでも同じ操作
を行うことができ、解析の信頼性向上にもつながる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図を用
いて説明する。

【００１０】図１は、半導体製造工程の検査解析装置の
全体構成図である。半導体製造工程では、各工程毎に異
物の付着状況を検査するための異物検査や、パターンの
欠陥を検査するための欠陥検査等の検査を行う。また、
製造の最終段階では、デバイスの電気的特性を検査する
ためにプローブ検査が行われる。検査解析装置は、これ
らの検査装置１−１，１−２，…１−ｎとネットワーク
２を介して接続されるデータ収集用コンピュータ３およ
び、収集されたデータを解析するための解析用コンピュ
ータ４から構成される。検査装置１−１からの検査結果
データ１０−１は、検査完了時にデータ収集用コンピュ
ータ３に送られる。データ収集用コンピュータ３は、送
られた検査結果データ１０−１をデータベース５に登録
する。異なる検査装置１−２からの検査結果データ１０
−２も同様に、データベース５に登録される。

【００１１】解析用コンピュータ４は、解析を行うため
データベース５から必要な検査結果データ１０−４を検
索し、ネットワーク２を介してデータを取得する。解析
用コンピュータ４では、取得したデータを種々の形式で
処理，表示を行う。

【００１２】図２（ａ），図２（ｂ）は、解析結果表示
の一例を示している。

【００１３】図２（ａ）は、異物検査のデータをウェハ
マップ上に表示したものである。また、図２（ｂ）は、
任意の期間の異物検査データの推移を表示したものであ
る。次に、これら解析結果を表示するための手順を図３
により説明する。先ず、解析対象となるデータを検索す
るために検索条件の設定（Ｓ１）を行う。データ検索完
了後、処理，表示したい形式により、各解析メニューを
指定（Ｓ２）する。オペレータは、解析の内容，目的に
応じてこれらの解析メニューを順次指定し、いろいろな
形式でデータを表示させる。このとき、解析用コンピュ
ータ４では、オペレータの操作を逐次記憶してゆく。

【００１４】図４はその記憶方法の一例を示している。
解析メニューに対応する番号２０を格納する部分と、各
解析を行う時に必要となる設定条件パラメータ２１を格
納する部分から構成される操作手順テーブル２２を用意
する。オペレータの操作に応じ、第１の操作に対応する
解析メニュー番号２０−１と設定条件パラメータ２１−
１を操作手順テーブル２２の第１行目に登録する。次の
操作に対する解析メニュー番号２０−２と設定条件パラ
メータ２１−２を操作手順テーブル２２の第２行目に登
録する。この登録処理を順次行い、オペレータの操作を
記憶保存してゆく。

【００１５】ある時点で、登録された操作手順テーブル
２２を、操作手順ファイル２３としてファイルの形式で
保存する。このとき、操作手順ファイル２３に特定の名
称を付加することにより、複数の操作手順ファイルを作
成することもできる。

【００１６】自動的に解析を行う場合は、この操作手順
ファイルを読みだし、操作手順ファイルを作成する。解
析処理では、操作手順テーブルの第１行目に登録されて
いる、解析メニュー番号２０−１と設定条件パラメータ
２１−１を読み込み、それに応じた解析メニューを起動
する。この処理を操作手順テーブルの最終行まで繰り返
すことにより、操作手順テーブルを作成した時の操作を
再現させることができる。

【００１７】また、この操作手順テーブルを編集，修正
する機能を別途用意することにより、一部分のみ異なる
操作あるいは、一部設定条件を変更した解析操作を実現
することもできる。

【００１８】操作手順テーブルは、解析メニュー番号の
代わりに解析メニュー名称を登録することや、実際のプ
ログラムの解析メニューのモジュール名や関数名称を登
録してもよい。

【００１９】

【発明の効果】本発明によれば、操作手順が記憶されて
いるため、画一化された操作手順を毎回繰り返し操作す
ることなく、自動的に解析を行うことができ、操作性の
向上あるいは、解析作業の省力化を図ることができる。
また、操作方法を熟知していないオペレータでも同じ操
作を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の半導体製造工程の検査解析装置のブロ
ック図。

【図２】解析結果表示の一例の説明図。

【図３】解析結果を表示するための手順の説明図。

【図４】解析手順記憶方法の説明図。

【符号の説明】

２０…解析メニュー番号を格納する部分、２１…設定条
件パラメータを格納する部分、２２…操作手順テーブ
ル、２３…操作手順ファイル。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体製造工程において、各検査装置とネ
   ットワークを介して接続させた検査データを収集するた
   めの収集用コンピュータと、上記収集用コンピュータか
   らデータを取得しデータ解析を行う解析用コンピュータ
   からなる解析装置において、解析の手順を記憶保存する
   ことにより、解析を自動的に行うことを特徴とする解析
   装置の操作方法。