JPH04283046A - 作業順序制御方式 - Google Patents
作業順序制御方式Info
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- JPH04283046A JPH04283046A JP9146307A JP4630791A JPH04283046A JP H04283046 A JPH04283046 A JP H04283046A JP 9146307 A JP9146307 A JP 9146307A JP 4630791 A JP4630791 A JP 4630791A JP H04283046 A JPH04283046 A JP H04283046A
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- Japan
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 57
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 55
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 21
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 11
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 7
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- 239000000284 extract Substances 0.000 description 4
- 238000013517 stratification Methods 0.000 description 3
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 2
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- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
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- General Factory Administration (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は作業順序制御方式、特に
製造業における製造プロセス中でプロセスの異常を検出
したとき、その異常プロセスによる影響を除去して安定
状態へもどすための作業順序制御方式に関する。
製造業における製造プロセス中でプロセスの異常を検出
したとき、その異常プロセスによる影響を除去して安定
状態へもどすための作業順序制御方式に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から半導体の製造プロセスなどでは
プロセス中で測定検査をおこない、これによって異常を
発見した際には製造プロセス中の不具合に対処するとと
もに、その不具合により影響が及んだと推定される作業
ロットについては測定検査の結果から選別作業などの対
処を行っている。
プロセス中で測定検査をおこない、これによって異常を
発見した際には製造プロセス中の不具合に対処するとと
もに、その不具合により影響が及んだと推定される作業
ロットについては測定検査の結果から選別作業などの対
処を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した測定検査プロ
セスは、製造プロセスの後工程に独立している場合が多
く、製造プロセスから測定検査プロセスまでの間に複数
のロットが仕掛っていることが多い。さらに検査工程で
は複数のロットが作業待ちになっている。従って、現在
発見された製造プロセス中の不具合が及んだと推定され
る全ての作業ロットの測定検査が完了するまでには、こ
れらの仕掛および待ちのロットすべてが規定の順序で流
れるのを待たなければならず、そのために不具合による
影響全体の把握やそれへの対処が遅れてしまうという問
題がある。さらに、これらのロットの中から現在発見さ
れた製造プロセス中の不具合による影響が及んだと推定
されるものを速やかに発見し、その作業優先順位を繰上
げて不具合による影響全体の把握やその対処を優先的に
完了するためには、測定検査工程と製造プロセスとの間
の各工程に作業優先度指示を与えてやる必要があるが、
詳細な作業記録と仕掛一覧とを突き合わせる作業に多く
の工数を要するという問題もある。
セスは、製造プロセスの後工程に独立している場合が多
く、製造プロセスから測定検査プロセスまでの間に複数
のロットが仕掛っていることが多い。さらに検査工程で
は複数のロットが作業待ちになっている。従って、現在
発見された製造プロセス中の不具合が及んだと推定され
る全ての作業ロットの測定検査が完了するまでには、こ
れらの仕掛および待ちのロットすべてが規定の順序で流
れるのを待たなければならず、そのために不具合による
影響全体の把握やそれへの対処が遅れてしまうという問
題がある。さらに、これらのロットの中から現在発見さ
れた製造プロセス中の不具合による影響が及んだと推定
されるものを速やかに発見し、その作業優先順位を繰上
げて不具合による影響全体の把握やその対処を優先的に
完了するためには、測定検査工程と製造プロセスとの間
の各工程に作業優先度指示を与えてやる必要があるが、
詳細な作業記録と仕掛一覧とを突き合わせる作業に多く
の工数を要するという問題もある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の作業順序制御方
式は、製造プロセス中の測定検査工程で収集されたロッ
トの検査データとあらかじめそのロットがその検査の対
象となる製造プロセスにあるときに収集された製造作業
データとを結合操作して製造作業内容を区別するキーに
より層別した上で検査結果を数値的に判定できるよう統
計処理を行い製造プロセスの規格データによって検査結
果を判定し、判定結果が不合格の場合には発見された不
具合が関与する製造作業内容を抽出するための不具合製
造作業キーを出力し、前記製造作業データの中の前記不
具合製造作業キーにより抽出したすべてのロットの情報
から既に測定検査工程を完了したロットを除いたロット
の情報を優先指示ロットリストとして出力し、前記製造
プロセス以降で測定検査以前の各プロセスの作業待ちロ
ットの作業順序を保持する作業待ちリストの作業順序を
前記優先指示ロットリストにより優先指示のあったロッ
トについて繰上げて書換え、この繰上げ書換えを優先指
示されたロットがすべて測定検査工程を完了するまで繰
返して作業指示として出力することにより構成される。
式は、製造プロセス中の測定検査工程で収集されたロッ
トの検査データとあらかじめそのロットがその検査の対
象となる製造プロセスにあるときに収集された製造作業
データとを結合操作して製造作業内容を区別するキーに
より層別した上で検査結果を数値的に判定できるよう統
計処理を行い製造プロセスの規格データによって検査結
果を判定し、判定結果が不合格の場合には発見された不
具合が関与する製造作業内容を抽出するための不具合製
造作業キーを出力し、前記製造作業データの中の前記不
具合製造作業キーにより抽出したすべてのロットの情報
から既に測定検査工程を完了したロットを除いたロット
の情報を優先指示ロットリストとして出力し、前記製造
プロセス以降で測定検査以前の各プロセスの作業待ちロ
ットの作業順序を保持する作業待ちリストの作業順序を
前記優先指示ロットリストにより優先指示のあったロッ
トについて繰上げて書換え、この繰上げ書換えを優先指
示されたロットがすべて測定検査工程を完了するまで繰
返して作業指示として出力することにより構成される。
【０００５】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００６】図１は本発明の基本構成を示すブロック図
である。製造プロセス中の測定検査工程で収集されたあ
るロットの検査データ１と、あらかじめそのロットがそ
の検査の対象となる製造プロセスにあるときに収集され
た製造作業データ２とを結合して、統計処理部３で製造
作業内容により層別して検査結果を数値的に判定できる
ように統計処理をおこなう。検出部４では製造プロセス
の規格データ１１によって検査結果を判定し、判定結果
が不合格の場合には発見された不具合の関与する製造作
業内容を抽出するための不具合製造作業キー５を出力す
る。抽出部６では、あらかじめ製造プロセスで収集され
た要因作業データ２の中から不具合作業キー５により検
出部４で発見された不具合が関与するすべてのロットの
情報を抽出し、優先指示ロットリスト７として出力する
。順序制御部９では、前記製造プロセス以降で測定検査
以前の各プロセスの作業待ちロットの作業順序を保持す
る作業待ちリスト８の作業順序を、優先指示ロットリス
ト７により優先指示のあったロットについて繰上げて書
換え、作業指示１０として出力する。
である。製造プロセス中の測定検査工程で収集されたあ
るロットの検査データ１と、あらかじめそのロットがそ
の検査の対象となる製造プロセスにあるときに収集され
た製造作業データ２とを結合して、統計処理部３で製造
作業内容により層別して検査結果を数値的に判定できる
ように統計処理をおこなう。検出部４では製造プロセス
の規格データ１１によって検査結果を判定し、判定結果
が不合格の場合には発見された不具合の関与する製造作
業内容を抽出するための不具合製造作業キー５を出力す
る。抽出部６では、あらかじめ製造プロセスで収集され
た要因作業データ２の中から不具合作業キー５により検
出部４で発見された不具合が関与するすべてのロットの
情報を抽出し、優先指示ロットリスト７として出力する
。順序制御部９では、前記製造プロセス以降で測定検査
以前の各プロセスの作業待ちロットの作業順序を保持す
る作業待ちリスト８の作業順序を、優先指示ロットリス
ト７により優先指示のあったロットについて繰上げて書
換え、作業指示１０として出力する。
【０００７】図２は本発明の一実施例を示すブロック図
である。図２では工程管理上の区分による各工程ごとに
端末装置１３ａ，１３ｂ〜１３ｄがネットワーク１４を
介して実績収集部１２，作業待ちリスト８および順序制
御部９を含む工程管理システム１５に接続されており、
さらに工程管理システム１５と検査データ１，製造作業
データ２，統計処理部３，検査部４，抽出部６および規
格データ１１を含む品質監視システム１６が接続されて
いる。いま、あるロットが工程番号「４２１」を持つ製
造工程で作業を行い、その日付・工程番号・作業号機・
ロット番号などの作業実績報告が端末装置１３ａから入
力されると、実績収集部１２から品質監視システム１６
に製造作業データ２として通知する。同様に工程番号「
５７０」を持つ検査工程では、作業の日付・工程番号・
作業号機・ロット番号・検査結果などの検査実績報告が
端末装置１３ｄから入力されると、実績収集部１２から
品質監視システム１６へ検査データ１として通知される
。また、実績収集部１２は各工程からのロットの作業の
報告を受けて作業待ちリスト８の内容を更新する。例え
ば工程番号「４２１」で作業終了したロットは、その工
程の待行列から削除され工程管理上の次の工程である「
４９０」という工程番号の待行列の最尾部に追加される
。この待行列の内容は、品質監視システム１６から出力
される優先指示リスト７の情報をもとに順序制御部９に
よって更新され、作業指示１０として各工程の端末装置
１３ａ，１３ｂ〜１３ｄに出力される。品質監視システ
ム１６では、検査データ１および製造作業データ２から
検査データを製造工程ごとに層別し、統計処理部３で規
格データ１１との対比ができるように数値化する。検出
部４では規格データ１１との対比の結果、不良と判定さ
れたデータを有する層別条件を不具合製造作業キー５と
して抽出部６に通知する。例えば、『１１月１日以降の
工程番号「４２１」の１１号機』という層別キーの場合
、抽出部６では製造作業データ２を検索して該当する作
業条件のロット番号を抽出し、これを優先指示データ７
として出力する。
である。図２では工程管理上の区分による各工程ごとに
端末装置１３ａ，１３ｂ〜１３ｄがネットワーク１４を
介して実績収集部１２，作業待ちリスト８および順序制
御部９を含む工程管理システム１５に接続されており、
さらに工程管理システム１５と検査データ１，製造作業
データ２，統計処理部３，検査部４，抽出部６および規
格データ１１を含む品質監視システム１６が接続されて
いる。いま、あるロットが工程番号「４２１」を持つ製
造工程で作業を行い、その日付・工程番号・作業号機・
ロット番号などの作業実績報告が端末装置１３ａから入
力されると、実績収集部１２から品質監視システム１６
に製造作業データ２として通知する。同様に工程番号「
５７０」を持つ検査工程では、作業の日付・工程番号・
作業号機・ロット番号・検査結果などの検査実績報告が
端末装置１３ｄから入力されると、実績収集部１２から
品質監視システム１６へ検査データ１として通知される
。また、実績収集部１２は各工程からのロットの作業の
報告を受けて作業待ちリスト８の内容を更新する。例え
ば工程番号「４２１」で作業終了したロットは、その工
程の待行列から削除され工程管理上の次の工程である「
４９０」という工程番号の待行列の最尾部に追加される
。この待行列の内容は、品質監視システム１６から出力
される優先指示リスト７の情報をもとに順序制御部９に
よって更新され、作業指示１０として各工程の端末装置
１３ａ，１３ｂ〜１３ｄに出力される。品質監視システ
ム１６では、検査データ１および製造作業データ２から
検査データを製造工程ごとに層別し、統計処理部３で規
格データ１１との対比ができるように数値化する。検出
部４では規格データ１１との対比の結果、不良と判定さ
れたデータを有する層別条件を不具合製造作業キー５と
して抽出部６に通知する。例えば、『１１月１日以降の
工程番号「４２１」の１１号機』という層別キーの場合
、抽出部６では製造作業データ２を検索して該当する作
業条件のロット番号を抽出し、これを優先指示データ７
として出力する。
【０００８】図３は図２の検査データ１の一例を示す図
である。図３で、検査データ１は複数の検査データレコ
ード１７からなる。検査データレコード１７には、例え
ば『１１月８日に工程番号「５７０」の２３号機でロッ
ト番号「９０４３５」を検査したときの検査結果データ
が「２３．５」「２３．７」…』というように検査結果
が報告されたロット単位のデータとして記録されている
。
である。図３で、検査データ１は複数の検査データレコ
ード１７からなる。検査データレコード１７には、例え
ば『１１月８日に工程番号「５７０」の２３号機でロッ
ト番号「９０４３５」を検査したときの検査結果データ
が「２３．５」「２３．７」…』というように検査結果
が報告されたロット単位のデータとして記録されている
。
【０００９】図４は検査データの統計処理を説明するた
めのグラフである。図４でヒストグラム１８は図３で説
明した検査データレコード１７のひとつの度数を示して
いる。このグラフには規格データ１１を参照して規格中
央値１１ａ、規格上限値１１ｂ、規格下限値１１ｃの３
本の規格線がプロットされている。また、グラフ下部に
は統計処理の結果出力される中心値１９ａおよびデータ
の分散を示す＋３σ１９ｂ、および−３σ１９ｃが表示
されている。検出部４では、たとえば規格中央値と中心
値との差異があらかじめ定められた規格データに記載さ
れた許容範囲内かどうか、或は＋３σの値が規格上限値
を越えていないかどうか、といった判定項目に従って検
査データを判定する。
めのグラフである。図４でヒストグラム１８は図３で説
明した検査データレコード１７のひとつの度数を示して
いる。このグラフには規格データ１１を参照して規格中
央値１１ａ、規格上限値１１ｂ、規格下限値１１ｃの３
本の規格線がプロットされている。また、グラフ下部に
は統計処理の結果出力される中心値１９ａおよびデータ
の分散を示す＋３σ１９ｂ、および−３σ１９ｃが表示
されている。検出部４では、たとえば規格中央値と中心
値との差異があらかじめ定められた規格データに記載さ
れた許容範囲内かどうか、或は＋３σの値が規格上限値
を越えていないかどうか、といった判定項目に従って検
査データを判定する。
【００１０】図５は図２の製造作業データ２の一例を示
す図である。図５で製造作業データ２は、複数の製造作
業データレコード２０からなる。いま、抽出部６に『１
１月１日以降に工程番号「４２１」の１１号機を通過し
たすべてのロット』という条件が与えられたとすると、
抽出部６は本データに対して「日付＞１１月１日」「工
程番号＝４２１」「号機＝１１」という条件でのロット
番号の抽出処理をおこなう。この結果、「９０４３５」
「９０６４２」「９０４３９」の三つのロット番号が抽
出される。このうち図３の検査データ１から「９０４３
５」は既に検査を終えて報告されているのでこれを除く
二つが製造工程以降かつ検査工程以前に仕掛っているこ
とになり、これを優先指示データとして抽出部６から出
力する。
す図である。図５で製造作業データ２は、複数の製造作
業データレコード２０からなる。いま、抽出部６に『１
１月１日以降に工程番号「４２１」の１１号機を通過し
たすべてのロット』という条件が与えられたとすると、
抽出部６は本データに対して「日付＞１１月１日」「工
程番号＝４２１」「号機＝１１」という条件でのロット
番号の抽出処理をおこなう。この結果、「９０４３５」
「９０６４２」「９０４３９」の三つのロット番号が抽
出される。このうち図３の検査データ１から「９０４３
５」は既に検査を終えて報告されているのでこれを除く
二つが製造工程以降かつ検査工程以前に仕掛っているこ
とになり、これを優先指示データとして抽出部６から出
力する。
【００１１】図６は図２の実施例における工程とロット
待行列とを模式的に示したブロック図である。図６（ａ
）で製造工程２１ａ、第１工程２１ｂ、第２工程２１ｃ
、検査工程２１ｄがこの順に直列に並んでいるものとす
る。各工程の後にはそれぞれ次工程の作業順序を示す待
行列２２ａ，２２ｂ，〜２２ｄがあり、各工程での作業
を終えたロット２３ａ，２３ｂ，〜２３ｇがその完了順
に次工程を待っていることを示している。待行列２２ｂ
および２２ｃに優先指示されたロット「９０４３９」２
３ｂおよび「９０６４２」２３ｄがそれぞれ存在する。 待行列２２ｂでロット２３ｂは優先指示されないロット
２３ｃよりも順序が下位におかれているため、順序制御
部９は図６（ｂ）のようにロット２３ｂの優先順位を上
位に上げる。待行列２２ｃではロット２３ｄが既に最上
位におかれているので順序を変更しない。以後優先指示
されたロットがすべて検査工程「５７０」２１ｄを通過
し終わるまで上記の順序制御を繰返してやることで、優
先指示されたロットを優先的に検査することができる。
待行列とを模式的に示したブロック図である。図６（ａ
）で製造工程２１ａ、第１工程２１ｂ、第２工程２１ｃ
、検査工程２１ｄがこの順に直列に並んでいるものとす
る。各工程の後にはそれぞれ次工程の作業順序を示す待
行列２２ａ，２２ｂ，〜２２ｄがあり、各工程での作業
を終えたロット２３ａ，２３ｂ，〜２３ｇがその完了順
に次工程を待っていることを示している。待行列２２ｂ
および２２ｃに優先指示されたロット「９０４３９」２
３ｂおよび「９０６４２」２３ｄがそれぞれ存在する。 待行列２２ｂでロット２３ｂは優先指示されないロット
２３ｃよりも順序が下位におかれているため、順序制御
部９は図６（ｂ）のようにロット２３ｂの優先順位を上
位に上げる。待行列２２ｃではロット２３ｄが既に最上
位におかれているので順序を変更しない。以後優先指示
されたロットがすべて検査工程「５７０」２１ｄを通過
し終わるまで上記の順序制御を繰返してやることで、優
先指示されたロットを優先的に検査することができる。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように本発明の作業順序制
御方式によれば、測定検査工程で不具合が発見されたロ
ットがその製造プロセスを通過した以降にその製造プロ
セスを通過し、かつ測定検査工程の作業前であるすべて
のロットに対して、それぞれの仕掛工程での作業待ち順
序を優先的に並び替え、測定検査完了までの作業を優先
的に実行するように再スケジューリングを行うことがで
きる。このため、不具合を及ぼした影響度全体を検査工
程により速やかに把握し、さらに測定検査により選別す
るなどの対処が可能となる効果がある。
御方式によれば、測定検査工程で不具合が発見されたロ
ットがその製造プロセスを通過した以降にその製造プロ
セスを通過し、かつ測定検査工程の作業前であるすべて
のロットに対して、それぞれの仕掛工程での作業待ち順
序を優先的に並び替え、測定検査完了までの作業を優先
的に実行するように再スケジューリングを行うことがで
きる。このため、不具合を及ぼした影響度全体を検査工
程により速やかに把握し、さらに測定検査により選別す
るなどの対処が可能となる効果がある。
【図１】本発明の基本構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施例のブロック図である。
【図３】図２の実施例における検査データの一例を示す
図である。
図である。
【図４】図２の実施例における検査データの統計処理を
説明するためのグラフである。
説明するためのグラフである。
【図５】図２の実施例における製造作業データの一例を
示す図である。
示す図である。
【図６】図２の実施例における工程とロット待行列とを
模式的に示したブロック図である。
模式的に示したブロック図である。
１ 検査データ
２ 製造作業データ
３ 統計処理部
４ 検査部
５ 不具合製造作業キー
６ 抽出部
７ 優先指示データ
８ 作業待ちリスト
９ 順序制御部
１０ 作業指示
１１ 規格データ
１２ 実績収集部
１３ａ，１３ｂ，〜１３ｃ 端末装置１４
ネットワーク １５ 工程管理システム １６ 品質監視システム
ネットワーク １５ 工程管理システム １６ 品質監視システム
Claims (1)
- 【請求項１】 製造プロセス中の測定検査工程で収集
されたロットの検査データとあらかじめそのロットがそ
の検査の対象となる製造プロセスにあるときに収集され
た製造作業データとを結合操作して製造作業内容を区別
するキーにより層別した上で検査結果を数値的に判定で
きるよう統計処理を行い製造プロセスの規格データによ
って検査結果を判定し、判定結果が不合格の場合には発
見された不具合が関与する製造作業内容を抽出するため
の不具合製造作業キーを出力し、前記製造作業データの
中の前記不具合製造作業キーにより抽出したすべてのロ
ットの情報から既に測定検査工程を完了したロットを除
いたロットの情報を優先指示ロットリストとして出力し
、前記製造プロセス以降で測定検査以前の各プロセスの
作業待ちロットの作業順序を保持する作業待ちリストの
作業順序を前記優先指示ロットリストにより優先指示の
あったロットについて繰上げて書換え、この繰上げ書換
えを優先指示されたロットがすべて測定検査工程を完了
するまで繰返して作業指示として出力することを特徴と
する作業順序制御方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9146307A JPH04283046A (ja) | 1991-03-12 | 1991-03-12 | 作業順序制御方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9146307A JPH04283046A (ja) | 1991-03-12 | 1991-03-12 | 作業順序制御方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04283046A true JPH04283046A (ja) | 1992-10-08 |
Family
ID=12743537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9146307A Pending JPH04283046A (ja) | 1991-03-12 | 1991-03-12 | 作業順序制御方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04283046A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009527903A (ja) * | 2006-02-17 | 2009-07-30 | テスト アドバンテージ， インコーポレイテッド | データ解析のための方法および装置 |
| CN110297463A (zh) * | 2018-03-23 | 2019-10-01 | 发那科株式会社 | 输入错误检测装置 |
| US11853899B2 (en) | 2001-01-05 | 2023-12-26 | In-Depth Test Llc | Methods and apparatus for data analysis |
-
1991
- 1991-03-12 JP JP9146307A patent/JPH04283046A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11853899B2 (en) | 2001-01-05 | 2023-12-26 | In-Depth Test Llc | Methods and apparatus for data analysis |
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