JPH10290236A - マルチ通信装置 - Google Patents

マルチ通信装置

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JPH10290236A
JPH10290236A JP9383597A JP9383597A JPH10290236A JP H10290236 A JPH10290236 A JP H10290236A JP 9383597 A JP9383597 A JP 9383597A JP 9383597 A JP9383597 A JP 9383597A JP H10290236 A JPH10290236 A JP H10290236A
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JP
Japan
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slave
station
master
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stations
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JP9383597A
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English (en)
Inventor
Katsumi Ito
勝美 伊藤
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Sumco Techxiv Corp
Original Assignee
Sumco Techxiv Corp
Komatsu Electronic Metals Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】主局側の通信負担を軽減するすると共に、従局
数の増減によってもハードウェア及びソフトウェアの本
格的な変更を行う必要のないようにする。 【解決手段】主局と複数のスレーブ従局間にマスタ従局
を置き、マスタ従局でスレーブ従局の従局情報を収集し
て記憶して、主局に伝送する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、主局と複数の従
局との間をシリアルインターフェースで接続し、主局お
よび複数の従局との間で情報伝送を行うマルチ通信装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】複数の装置の間で相互通信を行う際に
は、通常、マルチドロップ通信インターフェースが採用
され、このマルチドロップ通信インターフェースには、
RS−422,RS485などのシリアルインターフェ
ースや、GP−IB等の規格がある。
【0003】これらの通信インターフェースを用いて複
数の装置間でデータの授受を行う際際には、通常、図5
に示すような、フェーズ1〜フェーズ5から成る、一般
的な交換回線網における通信制御手順が用いられる。
【0004】フェーズ1においては一般回線網における
接続の確率処理が行われ、フェーズ2においてはデータ
リンクの確率処理が行われ、フェーズ3においては情報
の転送処理が行われ、フェーズ4においては終結処理が
行われ、フェーズ5においては回線接続の解放処理が行
われる。なお、回線の切替えを行わない場合や複雑な回
線網でない場合にはフェーズ1及びフェーズ5は省略さ
れる。
【0005】このような通信手順を踏むことにより複数
の装置間での対等な相互通信が可能になるが、通常は何
れか1つの装置を主局とし残りを従局としてデータ通信
を行う方式が採用されている。
【0006】すなわち、この主局−従局間の通信におい
ては、図6に示すように、主局に複数の従局を上記マル
チドロップ通信インターフェースを用いて接続し、ポー
リング/セレクティング方式などによるデータ通信を行
うことで主局及び複数の従局間でデータの相互通信を行
う。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図6に示す従
来の通信方式によれば、主局−従局間で通信を行う際、
主局は、該主局に接続された全ての従局に対して直接ポ
ーリングなどにより交信を行う必要があり、主局側で全
ての従局チャンネルの制御を必要とするため、主局側の
負担が大きいという問題がある。
【0008】また、上記従来方式においては、従局数が
増減されると、これに伴って主に主局側でハードウェア
およびソフトウェアを大幅に変更する必要がある。
【0009】この発明はこのような実情に鑑みてなされ
たもので、主局側の負担を軽減するするとともに、従局
数の増減によってもハードウェアおよびソフトウェアの
本格的な変更を行う必要のないマルチ通信装置を提供す
ることを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段及び作用効果】この発明で
は、主局と複数の従局との間を接続し、主局および複数
の従局との間で情報伝送を行うマルチ通信装置におい
て、前記複数の従局は前記主局と接続される1つのマス
タ従局と、このマスタ従局および各従局間がシリアルイ
ンターフェースで接続される複数のスレーブ従局とで構
成されるとともに、前記複数のスレーブ従局は、前記マ
スタ従局からの情報送信要求に応答して当該スレーブ従
局から送信すべき従局情報を前記マスタ従局に送信する
スレーブ側情報伝送手段、をそれぞれ具え、前記マスタ
従局は、前記従局情報を各スレーブ従局別に格納するメ
モリと、前記情報送信要求を所定の周期で前記複数のス
レーブ従局に送信することにより前記複数のスレーブ従
局の従局情報を所定の周期で収集し、該収集した従局情
報を各スレーブ従局別に前記メモリに格納する情報収集
手段と、前記主局からの情報伝送要求に応答して前記メ
モリに格納された複数のスレーブ従局に関する従局情報
を前記主局に伝送するマスタ側情報伝送手段とを具える
ようにしている。
【0011】かかる発明によれば、主局とスレーブ従局
間にマスタ従局を置き、マスタ従局でスレーブ従局の従
局情報を収集して記憶するようにしたので、主局側から
見た場合、接続された従局はマスタ従局1局のみとして
扱うことができるようになり、これにより主局の通信負
担が軽減されると共に、スレーブ従局の増減に対して基
本的はハードウェア及びソフトウェアの変更を行うこと
なく対処できるようになる。
【0012】またこの発明では、主局と複数の従局との
間を接続し、主局および複数の従局との間で情報伝送を
行うマルチ通信装置において、前記複数の従局は前記主
局と接続される1つのマスタ従局と、このマスタ従局お
よび各従局間がシリアルインターフェースで接続される
複数のスレーブ従局とで構成されるとともに、前記複数
のスレーブ従局は、前記マスタ従局からの情報受信要求
に応答して前記マスタ従局からの制御情報を受信するス
レーブ側情報受信手段、をそれぞれ具え、前記マスタ従
局は、前記主局から送られてきた前記スレーブ局に関す
る制御情報を各スレーブ従局別に格納するメモリと、前
記情報受信要求を所定の周期で前記複数のスレーブ従局
に送信することにより前記主局の制御情報を前記複数の
スレーブ局に送信するマスタ側情報送信手段とを具える
ようにしたことを特徴とする。
【0013】かかる発明によれば、主局とスレーブ従局
間にマスタ従局を置き、マスタ従局において、主局から
各スレーブ従局に対する制御情報を一旦記憶してこれを
各スレーブ従局に分配するようにしたので、主局側から
見た場合、接続された従局はマスタ従局1局のみとして
扱うことができるようになり、これにより主局の通信負
担が軽減されると共に、スレーブ従局の増減に対して基
本的なハードウェア及びソフトウェアの変更を行うこと
なく対処できるようになる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下この発明の実施例を添付図面
に従って詳細に説明する。
【0015】図1にこの発明の実施例を示す。
【0016】この実施例は、ウェハの温度を制御するた
めのクーリングプレート等の温調機器を複数個集中制御
する半導体製造システムに適用される。
【0017】これら半導体製造システムに使われる複数
の温調機器Q1〜Qnはそれぞれ従局M,U1〜Unに接続
されている。
【0018】これら従局は、1つのマスタ従局Mと複数
のスレーブ従局U1〜Unで構成されており、各従局間は
RS485などのシリアルインターフェースで接続され
ている。
【0019】また、この場合、マスタ従局Mは主局10
ともRS485などのシリアルインターフェースで接続
されている。
【0020】図2は、マスタ従局の内部構成例を示すも
ので、主局との通信を行う上位通信装置11と、スレー
ブ従局と通信を行うスレーブ通信装置12と、当該マス
タ従局に接続された温調機器Q1との信号授受を行う周
辺機器用インターフェース13と、複数のスレーブ従局
U1〜Unから収集したスレーブ従局情報とマスタ従局M
のマスタ従局情報とからなる従局情報および主局10か
ら送信された各従局への制御情報を記憶するメモリ14
と、各種制御を行なう制御部15とを有している。
【0021】図3(a)は、マスタ従局M内のメモリ14
に記憶される従局情報を示すもので、これらの従局情報
はマスタ従局Mによって収集される。
【0022】すなわち、メモリ14の従局情報記憶領域
には、マスタ従局Mに接続された温調機器Q1から得た
各種データやマスタ従局M自体の各種状態を表すデータ
が更新記憶されるマスタ従局情報記憶領域と、各スレー
ブ従局U1〜Unに接続された温調機器Q2,Q3,…から
得た各種データや各スレーブ従局U1〜Un自体の各種状
態を表すデータが更新記憶されるスレーブ従局情報記憶
領域とが含まれており、各スレーブ従局情報は、マスタ
従局Mによるスレーブ従局U1〜Unへのポーリング処理
によって所定のポーリング周期毎に収集され更新され
る。また、この際に、マスタ従局Mに接続された温調機
器Q1のデータも収集されて更新される。
【0023】図3(b)は、マスタ従局M内のメモリ14
に記憶される主局10からの制御情報を示すもので、こ
れらの制御情報は各従局別に予め設定された所定のエリ
アに記憶される。マスタ従局Mは、これらの制御情報を
セレクティング処理によって各スレーブ従局U1〜Unへ
送信する。
【0024】図4は、各スレーブ従局U1〜Unの内部構
成を示すもので、マスタ従局Mとの通信を行うマスタ通
信装置21と、スレーブ従局と通信を行うスレーブ通信
装置22と、当該マスタ従局に接続された温調機器Q
2,Q3,…との信号授受を行う周辺機器用インターフェ
ース23と、各種制御を行なう制御部24とを有してい
る。
【0025】図2および図4においては、それぞれマス
タ従局Mおよびスレーブ従局U1〜Unの機能を達成する
為に必要な構成要件のみを示したが、これらの双方の機
能を達成できる従局機器を用意し、ディップスイッチな
どの機能切替え手段を用いてマスタ従局として機能させ
るかあるいはスレーブ従局として機能させるかを切替え
設定するようにすれば、従局機器をマスタ用およびスレ
ーブ用として共用することができ、従局機器のコストを
下げることができる。
【0026】以下、上記構成の動作を説明する。
【0027】まず、スレーブ従局U1〜Unの従局情報を
主局10に伝送するまでの動作について説明する。
【0028】マスタ従局Mにおいては、予め設定された
所定のポーリング周期毎に、スレーブ通信装置12を介
して各スレーブ従局U1〜Unに対しポーリングをかけて
情報送信要求を各スレーブ従局に送信する。この情報送
信要求をマスタ通信装置2を介して受信した各スレーブ
従局U1〜Unでは、周辺機器インターフェースを介して
当該スレーブ従局に接続された温調機器のデータなどの
従局情報を収集し、該収集した従局情報をマスタ通信装
置21を介してマスタ従局Mに送信する。
【0029】これら各スレーブ従局U1〜Unからの従局
情報を受信したマスタ従局Mにおいては、これら受信し
た従局情報でメモリ14内の従局情報記憶領域を対応す
るスレーブ従局毎に更新する。この結果、メモリ14の
従局情報記憶領域に記憶されていた前回ポーリング時の
従局情報が今回のポーリング時の従局情報によって更新
される。
【0030】なお、このポーリングの際にマスタ従局M
に関する従局情報も現ポーリング時の従局情報に更新さ
れる。
【0031】一方、主局10においては、前記マスタ従
局Mによるポーリング周期とは全く非同期のタイミング
で情報伝送要求をマスタ従局Mに送信する。この主局1
0からの情報伝送要求を上位通信装置11を介して受信
したマスタ従局Mにおいては、メモリ14に記憶されて
いる従局情報をメモリ14から読み出し、該読み出した
従局情報を上位通信装置11を介して主局10に送信す
る。
【0032】次に、主局10から各スレーブ従局に各ス
レーブ従局U1〜Unの制御情報を伝送するまでの動作に
ついて説明する主局10においては、情報受信要求をマ
スタ従局Mに送信した後、各スレーブ従局U1〜Unの制
御情報をマスタ従局Mに送信する。
【0033】これら各スレーブ従局U1〜Unの制御情報
を上位通信装置1を介して受信したマスタ従局Mにおい
ては、これらの制御情報でメモリ14内の制御情報記憶
領域を対応するスレーブ従局毎に更新する。
【0034】そして、マスタ従局Mでは、メモリ14内
の制御情報記憶領域から当該マスタ従局Mに対応する制
御情報を読み出し、該制御情報を用いて当該マスタ従局
Mに接続されている温調機器Q1を制御する。
【0035】一方、マスタ従局Mでは、所定のセレクテ
ィング周期毎に、スレーブ通信装置12を介して各スレ
ーブ従局U1〜Unに対しセレクティング処理をかけて情
報受信要求を各スレーブ従局に送信する。この情報受信
要求を受信した各スレーブ従局U1〜Unでは、データ受
信が可能な場合はマスタ従局Mに対して肯定応答を送信
し、データ受信が不可能な場合はマスタ従局Mに対して
否定応答を送信する。マスタ従局Mでは、メモリ14内
の制御情報記憶領域から各スレーブ従局U1〜Unに対応
する制御情報を読み出し、肯定応答を送信したスレーブ
従局に対し対応する制御情報を送信する。
【0036】上記セレクティング処理が何回か行われる
ことにより、全てのスレーブ従局から肯定応答が返送さ
れ、この結果全てのスレーブ従局に制御情報が送信され
ることになる。
【0037】当該スレーブ従局の制御情報を受信した各
スレーブ従局U1〜Unでは、該受信した制御情報を用い
て当該スレーブ従局に接続された温調機器を制御する。
【0038】このようにこの実施例では、主局10とス
レーブ従局U1〜Un間にマスタ従局Mを置き、マスタ従
局において、主局から各スレーブ従局への制御情報およ
び各スレーブ従局から主局への従局情報を一旦記憶して
これを各スレーブ従局および主局へ送信するようにした
ので、主局側から見た場合、接続された従局はマスタ従
局Mの1局のみとして扱うことができるようになり、こ
れにより主局の通信負担が軽減されると共に、スレーブ
従局の増減に対して基本的なハードウェア及びソフトウ
ェアの変更を行うことなく対処できるようになる。
【0039】なお、上記実施例ではポーリング/セレク
ティング方式を用いて情報の収集及び分配を行うように
したが、他の任意の手順を用いて情報の収集及び分配を
行うようにしてもよい。
【0040】また、上記実施例ではマスタ従局Mと主局
10とをシリアルインターフェースで接続するようにし
たが、これらの間では他の任意のインターフェースを用
いるようにしても良い。
【0041】また、上記実施例では、ディップスイッチ
によってマスタ従局とスレーブ従局の機能を切り換える
ようにしたが、操作パネル、操作キーボードの操作によ
ってこれらを切り換えるようにしてもよい。
【0042】また、各従局に接続する機器も温調機器以
外の任意の機器を接続するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例を示す図。
【図2】マスタ従局の内部構成例を示す図。
【図3】マスタ従局内のメモリの記憶態様を示す図。
【図4】スレーブ従局の内部構成例を示す図。
【図5】一般的な交換回線網における通信制御手順を示
す図。
【図6】従来技術を示す図。
【符号の説明】
10…主局 M…マスタ従局 U1〜Un…スレーブ従局 Q1,Q2,〜…温調機器 11…上位通信装置 12…スレーブ通信装置 13、23…周辺機器インターフェース 15,24…制御部 21…マスタ通信装置 22…スレーブ通信装置

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】主局と複数の従局との間を接続し、主局お
    よび複数の従局との間で情報伝送を行うマルチ通信装置
    において、 前記複数の従局は前記主局と接続される1つのマスタ従
    局と、 このマスタ従局および各従局間がシリアルインターフェ
    ースで接続される複数のスレーブ従局と、 で構成されるとともに、 前記複数のスレーブ従局は、 前記マスタ従局からの情報送信要求に応答して当該スレ
    ーブ従局から送信すべき従局情報を前記マスタ従局に送
    信するスレーブ側情報伝送手段、 をそれぞれ具え、 前記マスタ従局は、 前記従局情報を各スレーブ従局別に格納するメモリと、 前記情報送信要求を所定の周期で前記複数のスレーブ従
    局に送信することにより前記複数のスレーブ従局の従局
    情報を所定の周期で収集し、該収集した従局情報を各ス
    レーブ従局別に前記メモリに格納する情報収集手段と、 前記主局からの情報伝送要求に応答して前記メモリに格
    納された複数のスレーブ従局に関する従局情報を前記主
    局に伝送するマスタ側情報伝送手段と、 を具えるようにしたことを特徴とするマルチ通信装置。
  2. 【請求項2】前記マスタ従局およびスレーブ従局は、 前記スレーブ側情報伝送手段と、前記メモリと、前記情
    報収集手段と、前記マスタ側情報伝送手段と、マスタ従
    局としての機能とスレーブ従局としての機能とを選択切
    替え指定する切替え指定手段と、 前記切替え指定手段によりスレーブ従局が指定された場
    合は前記スレーブ側情報伝送手段のみの動作を有効とす
    るとともに、前記切替え指定手段によりマスタ従局が指
    定された場合は前記メモリ、前記情報収集手段及び前記
    マスタ側情報伝送手段のみの動作を有効とする機能切替
    え手段と、 を具える請求項1記載のマルチ通信装置。
  3. 【請求項3】前記切替え指定手段は、ディップスイッチ
    である請求項2記載のマルチ通信装置。
  4. 【請求項4】主局と複数の従局との間を接続し、主局お
    よび複数の従局との間で情報伝送を行うマルチ通信装置
    において、 前記複数の従局は前記主局と接続される1つのマスタ従
    局と、 このマスタ従局および各従局間がシリアルインターフェ
    ースで接続される複数のスレーブ従局と、 で構成されるとともに、 前記複数のスレーブ従局は、 前記マスタ従局からの情報受信要求に応答して前記マス
    タ従局からの制御情報を受信するスレーブ側情報受信手
    段、 をそれぞれ具え、 前記マスタ従局は、 前記主局から送られてきた前記スレーブ局に関する制御
    情報を各スレーブ従局別に格納するメモリと、 前記情報受信要求を所定の周期で前記複数のスレーブ従
    局に送信することにより前記主局の制御情報を前記複数
    のスレーブ局に送信するマスタ側情報送信手段と、 を具えるようにしたことを特徴とするマルチ通信装置。
  5. 【請求項5】前記マスタ従局およびスレーブ従局は、 前記スレーブ側情報受信手段と、前記メモリと、前記マ
    スタ側情報送信手段と、マスタ従局としての機能とスレ
    ーブ従局としての機能とを選択切替え指定する切替え指
    定手段と、 前記切替え指定手段によりスレーブ従局が指定された場
    合は前記スレーブ側情報受信手段のみの動作を有効とす
    るとともに、前記切替え指定手段によりマスタ従局が指
    定された場合は前記メモリ、前記マスタ側情報送信手段
    のみの動作を有効とする機能切替え手段と、 を具える請求項4記載のマルチ通信装置。
  6. 【請求項6】前記切替え指定手段は、ディップスイッチ
    である請求項5記載のマルチ通信装置。
JP9383597A 1997-04-11 1997-04-11 マルチ通信装置 Pending JPH10290236A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006324749A (ja) * 2005-05-17 2006-11-30 Yaskawa Electric Corp 制御装置およびアドレス設定方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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