JPH10281729A5 - - Google Patents
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- JPH10281729A5 JPH10281729A5 JP1997085152A JP8515297A JPH10281729A5 JP H10281729 A5 JPH10281729 A5 JP H10281729A5 JP 1997085152 A JP1997085152 A JP 1997085152A JP 8515297 A JP8515297 A JP 8515297A JP H10281729 A5 JPH10281729 A5 JP H10281729A5
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Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08515297A JP3777709B2 (ja) | 1997-04-03 | 1997-04-03 | マーク位置検出装置及びそれを備えた投影露光装置、及びマーク位置検出方法 |
| US09/722,310 US6384898B1 (en) | 1997-02-06 | 2000-11-28 | Projection exposure apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08515297A JP3777709B2 (ja) | 1997-04-03 | 1997-04-03 | マーク位置検出装置及びそれを備えた投影露光装置、及びマーク位置検出方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10281729A JPH10281729A (ja) | 1998-10-23 |
| JPH10281729A5 true JPH10281729A5 (enExample) | 2005-03-03 |
| JP3777709B2 JP3777709B2 (ja) | 2006-05-24 |
Family
ID=13850702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08515297A Expired - Lifetime JP3777709B2 (ja) | 1997-02-06 | 1997-04-03 | マーク位置検出装置及びそれを備えた投影露光装置、及びマーク位置検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3777709B2 (enExample) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4506027B2 (ja) * | 2001-04-27 | 2010-07-21 | 株式会社村田製作所 | 電子部品装着装置 |
| US7026832B2 (en) | 2002-10-28 | 2006-04-11 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Probe mark reading device and probe mark reading method |
| JP5152567B2 (ja) * | 2008-01-10 | 2013-02-27 | 株式会社島津製作所 | Ｔｆｔアレイ検査装置 |
| JP5247617B2 (ja) * | 2009-07-16 | 2013-07-24 | キヤノン株式会社 | 画像処理装置およびその方法 |
| JP5751940B2 (ja) * | 2011-06-10 | 2015-07-22 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
| JP7310617B2 (ja) * | 2020-01-22 | 2023-07-19 | ウシオ電機株式会社 | アライメントマーク検出装置およびアライメントマーク検出方法 |
-
1997
- 1997-04-03 JP JP08515297A patent/JP3777709B2/ja not_active Expired - Lifetime
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