JPH10279287A - 三角形状のテンション部材を有するホイスト・システム - Google Patents

三角形状のテンション部材を有するホイスト・システム

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JPH10279287A
JPH10279287A JP9213549A JP21354997A JPH10279287A JP H10279287 A JPH10279287 A JP H10279287A JP 9213549 A JP9213549 A JP 9213549A JP 21354997 A JP21354997 A JP 21354997A JP H10279287 A JPH10279287 A JP H10279287A
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spool
spools
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gripper
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JP9213549A
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Mitchell Weiss
ウェイス ミッチェル
Gerald M Friedman
エム・フリードマン ジェラルド
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 被搬送品を良好な引き揚げ力または引き降ろ
し力を発揮しながらも横揺れ、捻じれがないようにす
る。 【解決手段】互いに６０度の角度をもって配置された３
個の回転自由のスプールを含む。３本のフレキシブルな
吊り下げバンド（帯状体）１６の各々は、交点で交わる
等長の二つの側辺を有し、また、頂点と対向する第３の
側辺を含む。この側辺は、スプールの関連した一つに取
り付けられている。スプールが回転すれば、バンドは、
スプールに巻き戻されたり、スプールから繰り出された
りする。バンドは、それらの交点近くで被搬送品グリッ
パーアッセンブリーに取り付けられている。３本の三角
形のバンドは、６つの水平方向力成分を与え、これら成
分は、良好な横方向の安定性と捻じれ剛性を付与し、こ
れによって被搬送品の横揺れ並びに捻じれをなくす。バ
ンドは、また良好なプラットフォームに搭載した被搬送
品の昇降力を発揮する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウエファ
ー、マイクロチップなどの部品、半製品または完成品な
どの製品を工場内の製造ラインなどで作業ステーション
から作業ステーションへ搬送するために、オーバーヘッ
ド・レール搬送機構へ前記製品を引き揚げたり、前記搬
送機構から引き降ろすためのホイスト機構の改良に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエファー、マイクロチップなど
の電子部品を製造するに当たり、製造工場内の製造ライ
ンなどにおいて、ステーションからステーションへと半
導体ウエファー、マイクロチップなどの部品、半製品、
完成品など（以下、被搬送品という）を搬送しなければ
ならない場合が多く、このような場合には、被搬送品を
ホイスト機構でオーバーヘッド・レール機構へ昇降さ
せ、オーバーヘッド・レール機構で搬送しているもの
で、ホイストを用いて、ステーションで所定の作業を終
えた被搬送品をオーバーヘッド・レール機構へ引き上
げ、次のステーションへ搬送したり、該機構からステー
ションに引き降ろして、所定の作業を行い、次のステー
ションへ移行するようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】多くの場合、ホイスト
は、４本のロープで吊り下げられた支持プラットフォー
ム（被搬送品を載せたり、納めたりしている支持台）を
備え、これらのロープは、巻き上げられたり、繰り出さ
れたりして、前記プラットフォームを昇降させる。この
ような吊り下げシステムは、横揺れしたり、捻じれたり
してしまう。また、前記プラットフォームが傾かないよ
うに、前記ロープを同じレートで一斉に巻き上げたり、
繰り出したりしなければならず、スプール機構に格別の
工夫が必要になるもので、これの解決が本発明の解決課
題である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は、被搬送品を
リフトアップする間または引き降ろす間、良好な引き揚
げ力または引き降ろし力を発揮しながらも横揺れ、捻じ
れがない安定したホイスト機構を提供するものである。
好ましい実施例においては、前記機構は、互いに６０度
の角度をもって配置された３個の回転自由のスプールを
含んでいる。３本のフレキシブルな吊り下げバンド（帯
状体）が備えられていて、各バンドは、交点で交わる等
しい長さをもった二つの側辺を有している。各バンド
は、また、前記頂点と対向する第３の側辺を含み、この
側辺は、前記スプールの関連した一つに取り付けられて
いる。前記スプールが回転すれば、前記バンドは、前記
スプールに巻き戻されたり、前記スプールから繰り出さ
れたりする。前記バンドは、それらの交点近くで被搬送
品グリッパーアッセンブリーに取り付けられている。３
本の三角形のバンドは、６つの水平方向力成分を与え、
これら成分は、良好な横方向の安定性と捻じれ剛性を付
与し、これによって被搬送品の横揺れ並びに捻じれをな
くす。前記バンドは、また良好な前記プラットフォーム
に搭載した被搬送品の昇降力を発揮する。
【０００５】
【発明の実施の形態】図１から図５を参照すると、発明
のホイスト機構は、フレーム１４に支持され、水平面に
おいて、互いに６０度の角度で配置された３個のスプー
ル１２を含む。各スプールは、その長さ方向軸を回転軸
として回転するようになっている。フレキシブルなマテ
リアルから作られた３本の三角形のバンド１６からなる
３つのテンションメンバーが関連するスプール１２に一
方の側辺１８を介して取り付けられており、該スプール
が回転すれば、そのスプールに巻かれたり、繰り出され
たりされるようになっている。多くの場合、前記三角形
のバンド１６は、二等辺三角形であり、このバンドが繰
り出されるとき、各スプールから下降してくる二つの側
辺２０は、等しい長さになっているものである。二つの
側辺２０は、交点２２で交わっている。概ね、スプール
１２に取り付けられる側辺１８は、二つの延びてゆく側
辺２０よりも短い。前記バンドは、適当な態様、例え
ば、スプールに設けたスロットにバンドをすべりこま
せ、ウエッジ部材でクランプするなどの手段でスプール
に取り付けることができる。延びてゆく側辺の長さは、
実施の面に応じて選択される。図面では、前記バンドを
略図的に図示したが、前記バンドは、図１と図２に示し
たものよりもずっと長いものにすることができる。
【０００６】各三角形のバンド１６は、交点２２近くの
部位２６で被搬送品グリッパーアッセンブリー２４に取
り付けられる（図１参照）。バンド１６をこの三角形の
交点で取り付けらることはできないもので、これは、こ
の取り付けポイントにおける断面があまりにも小さく、
十分な被搬送品昇降強度をもたないからである。したが
って、取り付け部位２６は、前記交点よりもある程度上
に離れて位置することになる。さらに、この取り付け部
位が前記交点よりも離れれば離れるほど、前記バンドの
荷重支持キャパシティは、増大する。前記バンドを被搬
送品グリッパー２１４へ取り付けるには、前記交点を前
記グリッパーにあるスロットへすべりこませ、グリッパ
ーの内面または下側に前記交点を固定するなどの適当な
取り付け手段により取り付けることができる。
【０００７】被搬送品グリッパーアッセンブリー２４
は、図８に略図的に示すように、被搬送品３０をグリッ
プするために、その下面にある適当な機構２８を含む。
図示の実施例においては、被搬送品３０は、半導体ウエ
ファーのキャリヤーからなるが、本発明のホイスト機構
は、他の形態の被搬送品にも対応できるものである。多
くの場合、半導体産業で知られているように、ウエファ
ーキャリヤーは、その上面にハンドルを有し、このハン
ドルをグリッパーアッセンブリーが掴めるようになって
いる。
【０００８】被搬送品がグリッパーアッセンブリー２４
にグリップされて、引き揚げられ、または、降下させら
れるためには、スプール１２を同期回転させ、これによ
って、三角形のバンド１６を図５に示すように、複数の
スプールへ巻き上げたり、該スプールから繰り出す。前
記バンドは、該スプールに巻き付けられる。複雑な巻き
上げ機構は、不要である。前記のスプール１２は、一つ
のスプールに単独のモーター３２を取り付け、残りのス
プールを６０度マイター歯車のような適当な歯車機構に
より前記被駆動スプールに連結することで駆動される。
図３と図４とにおいては、前記モーターは、３個のスプ
ールで構成される三角形の領域の内側に配置されてい
る。前記モーターは、例えば、モーターピニオン３３、
アイドラー３４およびウオーム歯車駆動ピニオン３５を
介して前記スプールと連結している（図４参照）。モー
ターと歯車連結機構とは、スプーレウの三角形領域外の
ハウジング５０の延長部３９内に配置することもでき
る。また別に、各スプールを関連したモーターでそれぞ
れ駆動できるが、この場合には、回転を適切に同期さ
せ、前記バンドが同じレートで巻き上げられたり、繰り
出されたりしなければならない。
【０００９】図７を参照すると、各三角形のバンドは、
テンション状態にあって、ベクトル４０ａ，４０ｂとし
て示されている、各角度がついている側辺にそう方向の
引っ張り強さＴをもつものとしてみることができる。各
引っ張り力は、垂直成分４２ａ，４２ｂに変えられる。
図７の拡大図から明らかなように、バンドの二つの側辺
は、互いに反対の方向の水平方向成分４４ａ，４４ｂを
与える。水平面において、互いに６０度の角度をもった
３本のバンドによって、図６の水平面図に略図で示した
ように、６つの水平方向力コンポーネンツが互いに反対
する方向をもつ３ペアーとして与えられる。このような
力コンポーネンツのシステムによって、横方向の安定性
は向上する。このシステムの捻じれ抵抗は、斜め４５度
の筋かいの付加によって増大するもので、これは、本発
明におけるように、薄いシートをテンション部材として
使用することが、無限の数の斜め筋かいをもったシステ
ムとして考えられるものであるからであり、これに対
し、ワイヤーロープは、筋かいを全く有していない。図
１２，図１３および図１４を参照すると、被搬送品を捻
じろうとする荷重Ｆは、ここでもワイヤーロープと異な
り、前記バンドに引っ張りストレス及び圧縮ストレスを
生じさせる。かくして、剪断ストレスがキャンセルさ
れ、バンドの捻じれ傾向がなくなる。したがって、従来
技術のホイスト機構ほとんどでの問題であった被搬送品
並びに支持プラットフォームの横方向への揺れ、または
捻じれがなくなる。
【００１０】三角形のバンド１６は、例えば、ステンレ
ススチールまたは高強度プラスチックスといったマテリ
アルの薄いシートから作ることができる。それらは、前
記スプールの直径または均等強度のロープに比べて薄く
作られることができるから、前記バンドは、極めてフレ
キシビリティと耐久性に富む。さらに、これらの特性に
よって、前記バンドを巻き付けるスプール１２をより細
い直径にすることが可能になる。半導体搬送用途におい
ては、バンドは、約０．００２インチの厚さが適切なも
のである。さらに、バンドは、ロープまたはワイヤーの
ホイスト機構よりも、はるかにクリーンである。さら
に、前記バンドをプラスチックスで作れば、コンダクタ
ーを前記バンドに付加して、電気信号を前記グリッパー
へ供給できる。前記バンドをスチールまたは別の導電性
金属で作れば、それぞれのバンドが独立したコンダクタ
ーになる。
【００１１】前記スプール機構は、多くの場合、前記駆
動機構を支持し、該機構の汚染を防ぐハウジング５０内
に配置される。前記ハウジングは、上位プレート５１
（図１参照）と前記バンドが通されるスロット５４を含
む下位プレート５２（図４参照）とを含む。図１と図２
に示した実施例においては、前記ハウジングは、シリン
ドリカルなものであり、図３と図４とにおいては、ほぼ
三角形のものである。必要に応じて、モーターと歯車ト
レインのために、前記したように、延長部３９を設ける
ことができる。他の形状も使用できる。前記ハウジング
を、また、必要に応じて垂直軸５６を軸として回転でき
るように装着することもできる。
【００１２】前記ホイスト機構を図８と図９とにおいて
レール搬送システムと関連させて図示する。例えば、図
示の搬送システムにおいては、一対のレール６０が設け
られていて、例えば、工場内の種々の所望の位置へ走行
できるようになっている。モノレールシステムもまた知
られている。適当なビークル（搬送車）６２がレールに
そって動かされる。前記ホイスト機構は、横方向へ伸び
たアーム６４を介してビークル６２に装着される。この
態様で、ホイスト機構は、望みの場所へ搬送される。こ
のような搬送システムは、特に半導体製造産業において
は、周知のことである。
【００１３】図２に略図的に示したターゲットシステム
により、目指す被搬送品の上に前記ホイスト機構を適正
に位置させることができる。ターゲットシステムは、被
搬送品の上面に配置した光学的に検知できるマークまた
はトランスポンダーのようなターゲット７２を含む。前
記ホイストにおけるカメラ機構またはレーザーシステム
が前記ターゲットを突きとめ、コントロールシステムへ
シグナルを送り、前記グリッパーを被搬送品の上に正し
く位置させる。
【００１４】好ましい実施例においては、上記したスプ
ール機構を利用するが、吊り下げバンドを上下に昇降す
る他の機構も使用できる。例えば、前記バンドは、２個
または、それ以上のドラムまたはプーリーに巻き付ける
ことができ、これについては、図１１に略図で示してあ
る。同様に、吊り下げバンドは、ソリッドのシートとし
て示してあるが、その内側領域を所望に応じて切除で
き、これは、これらの領域は、荷重受けロールとならな
いからであるが、この場合もそのようなバンドを巻くに
当たり注意深く取り扱って、バンドがもつれないように
しなければならない。他の実施例においては、各テンシ
ョンメンバーは、スプールや他の適切な巻き取り機構に
巻き付けることができ，被搬送品グリッパーアッセンブ
リーに取り付けられ、三角形の形状を構成するものであ
る薄くて、フレキシブルなテープまたはストラップでも
よい。該テープは、図１０に点線で示したように、テー
プが三角形の形状を保って巻き取り機構に巻き上げられ
る。
【００１５】この発明は、添付の請求の範囲に示したも
のを除き、特に図示及び記載したものに限定されるべき
ものではない。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明のホイスト機構の斜視図である。
【図２】 図１のホイスト機構の分解斜視図である。
【図３】 本発明のホイスト機構の平面斜視図である。
【図４】 本発明のホイスト機構の底面斜視図である。
【図５】 スプールに一部が巻き付いている三角形の吊
り下げバンドの正面図である。
【図６】 三角形の吊り下げバンドの水平方向力コンポ
ーネンツの略図的平面図である。
【図７】 三角形の吊り下げバンドの自由状態の略図で
ある。
【図８】 レール搬送機構と関連する本発明のホイスト
機構の側面図である。
【図９】 図８のホイスト機構の斜視図である。
【図１０】 本発明の他の実施例の略図である。
【図１１】 前記ホイスト機構の別の実施例の略図であ
る。
【図１２】 捻じれ抵抗を示すホイスト機構の略図であ
る。
【図１３】 捻じれ抵抗を示すホイスト機構の略図であ
る。
【図１４】 捻じれ抵抗を示すホイスト機構の略図であ
る。
【符号の説明】
１２ スプール １４ フレーム １６ バンド ３０ 被搬送品
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジェラルド エム・フリードマン アメリカ合衆国 03071 ニューハンプシ ャー州 ニュー イプスゥィッチ メイン ストリート 239

Claims (26)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 以下の構成からなる被搬送品を昇降させ
    るホイスト機構：フレーム；該フレームにより支持され
    ていて、上下に昇降するリフト機構；被搬送品のグリッ
    パー機構；および前記リフト機構に連結されている吊り
    下げ機構であって、三つの平行になっていない水平面に
    そって、三方向の引っ張り力を発揮するように形成され
    た垂下する複数のテンション部材を備え、該テンション
    部材がそれぞれの垂下端部において前記被搬送品のグリ
    ッパー機構に連結している吊り下げ機構。
  2. 【請求項２】 前記垂下するテンション部材それぞれ
    は、三角形の形状を有し、この三角形の二つの第１と第
    ２の側辺は、長さが等しく、一つの交点で交わり、第３
    の側辺が前記交点に対向していて、前記第３の側辺が前
    記リフト機構に取り付けられ、前記それぞれのテンショ
    ン部材は、前記交点の近傍で前記被搬送品のグリッパー
    機構に連結していることを特徴とする請求項１のホイス
    ト機構。
  3. 【請求項３】 前記リフト機構は、長さ方向軸にそって
    水平に延びている３個のスプールを備え、これらスプー
    ルは、前記フレームに支持されて、水平面において互い
    に６０度の角度を介して配置され、前記長さ方向軸を回
    転軸として回転可能に取り付けられている請求項１のホ
    イスト機構。
  4. 【請求項４】 前記リフト機構は、前記スプールを回転
    させるために、前記スプールに連結している回転駆動機
    構を備えている請求項２のホイスト機構。
  5. 【請求項５】 前記吊り下げ機構の前記テンション部材
    は、３つのフレキシブルなバンド（帯状体）からなり、
    各バンドは、三角形の形状を有していて、この三角形の
    二つの第１と第２の側辺は、長さが等しく、一つの交点
    で交わり、第３の側辺が前記交点に対向していて、前記
    第３の側辺が前記リフト機構における前記スプールの内
    の関連する一つに取り付けられ、前記関連したスプール
    の回転により、前記テンション部材は前記スプールに巻
    き取られるか、または、前記スプールから繰り出される
    ものとなっており、前記各テンション部材は、前記交点
    近くで被搬送品のグリッパー機構に連結されていること
    を特徴とする請求項２のホイスト機構。
  6. 【請求項６】 前記スプールを保持するハウジングを備
    えている請求項２のホイスト。
  7. 【請求項７】 前記回転駆動機構は、前記スプールの一
    つと連結している該スプール駆動のためのモーター及び
    該スプールに作用するモーターの駆動力を他のスプール
    へ伝えて、これらスプールを同期回転させる駆動力伝達
    機構を備えている請求項２のホイスト。
  8. 【請求項８】 前記３つの水平方向ラインは、互いに６
    ０度の角度をもった正三角形の配置になっている請求項
    １のホイスト機構。
  9. 【請求項９】 前記フレームは、垂直軸を回転軸として
    回転自由になっている請求項１のホイスト。
  10. 【請求項１０】 前記フレームは、レール搬送機構に連
    結している請求項１のホイスト機構。
  11. 【請求項１１】 前記被搬送品のグリッパー機構は、半
    導体ウエファーのキャリヤーを掴む構成になっている請
    求項１のホイスト機構。
  12. 【請求項１２】 下記の構成からなる搬送機構：オーバ
    ーヘッド・レール搬送機構；および前記オーバーヘッド
    ・レール搬送機構にそって搬送操作を行う該オーバーヘ
    ッド・レール搬送機構に連結している以下の構成を備え
    るホイスト機構；フレーム；該フレームにより支持され
    ていて、上下に昇降するリフト機構；被搬送品のグリッ
    パー機構；および前記リフト機構に連結されている吊り
    下げ機構であって、三つの平行になっていない水平面に
    そって、三方向の引っ張り力を発揮するように形成され
    た垂下する複数のテンション部材を備え、該テンション
    部材がそれぞれの垂下端部において前記被搬送品のグリ
    ッパー機構に連結している吊り下げ機構。
  13. 【請求項１３】 前記オーバーヘッド・レール搬送機構
    は、工場内に配置されている請求項１２のホイスト機
    構。
  14. 【請求項１４】 前記リフト機構は、長さ方向軸にそっ
    て水平に延びている３個のスプールを備え、これらスプ
    ールは、前記フレームに支持されて、水平面において互
    いに６０度の角度を介して配置され、前記長さ方向軸を
    回転軸として回転可能に取り付けられている請求項１２
    のホイスト機構。
  15. 【請求項１５】 前記垂下するテンション部材それぞれ
    は、三角形の形状を有し、この三角形の二つの第１と第
    ２の側辺は、長さが等しく、一つの交点で交わり、第３
    の側辺が前記交点に対向していて、前記第３の側辺が前
    記リフト機構に取り付けられ、前記それぞれのテンショ
    ン部材は、前記交点の近傍で前記被搬送品のグリッパー
    機構に連結していることを特徴とする請求項１２のホイ
    スト機構。
  16. 【請求項１６】 前記リフト機構は、前記スプールを回
    転させるために、前記スプールに連結している回転駆動
    機構を備えている請求項１５のホイスト機構。
  17. 【請求項１７】 前記吊り下げ機構の前記テンション部
    材は、３つのフレキシブルなバンド（帯状体）からな
    り、各バンドは、三角形の形状を有していて、この三角
    形の二つの第１と第２の側辺は、長さが等しく、一つの
    交点で交わり、第３の側辺が前記交点に対向していて、
    前記第３の側辺が前記リフト機構における前記スプール
    の内の関連する一つに取り付けられ、前記関連したスプ
    ールの回転により、前記テンション部材は前記スプール
    に巻き取られるか、または、前記スプールから繰り出さ
    れるものとなっており、前記各テンション部材は、前記
    交点近くで被搬送品のグリッパー機構に連結されている
    ことを特徴とする請求項１５のホイスト機構。
  18. 【請求項１８】 前記スプールを保持するハウジングを
    備えている請求項１５のホイスト。
  19. 【請求項１９】 前記回転駆動機構は、前記スプールの
    一つと連結している該スプール駆動のためのモーター及
    び該スプールに作用するモーターの駆動力を他のスプー
    ルへ伝えて、これらスプールを同期回転させる駆動力伝
    達機構を備えている請求項１５のホイスト。
  20. 【請求項２０】 前記３つの水平方向ラインは、互いに
    ６０度の角度をもった正三角形の配置になっている請求
    項１２のホイスト機構。
  21. 【請求項２１】 前記フレームは、垂直軸を回転軸とし
    て回転自由になっている請求項１２のホイスト。
  22. 【請求項２２】 前記被搬送品のグリッパー機構は、半
    導体ウエファーのキャリヤーを掴む構成になっている請
    求項１のホイスト機構。
  23. 【請求項２３】 前記ホイスト機構を被搬送品の直上に
    位置決めさせるターゲット位置決め機構が前記ホイスト
    機構に装着されている請求項１２のホイスト機構。
  24. 【請求項２４】 前記ターゲット位置決め機構は、被搬
    送品に配置のターゲットを検知する光学カメラまたはレ
    ーザーセンサーを備えている請求項２３のホイスト機
    構。
  25. 【請求項２５】 前記ターゲットは、光学的に検知でき
    るマークまたはトランスポンダーからなる請求項２４の
    ホイスト機構。
  26. 【請求項２６】 前記ターゲット位置決め機構は、前記
    ホイスト機構の位置決めをコントロールするコントロー
    ラーと連絡している請求項２３のホイスト機構。
JP9213549A 1996-12-20 1997-08-07 三角形状のテンション部材を有するホイスト・システム Pending JPH10279287A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106809656A (zh) * 2015-10-29 2017-06-09 细美事有限公司 吊装传送机的抓手单元

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19732451C2 (de) * 1997-07-23 1999-08-05 Mannesmann Ag Seilanordnung zur Aufhängung eines Anschlagmittels an einem Hubwerk, insbesondere für Laufkrane oder Laufkatzen
US6106213A (en) * 1998-02-27 2000-08-22 Pri Automation, Inc. Automated door assembly for use in semiconductor wafer manufacturing
US6533101B2 (en) 1998-06-24 2003-03-18 Asyst Technologies, Inc. Integrated transport carrier and conveyor system
US6223886B1 (en) 1998-06-24 2001-05-01 Asyst Technologies, Inc. Integrated roller transport pod and asynchronous conveyor
US6439407B1 (en) 1998-07-13 2002-08-27 The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce System for stabilizing and controlling a hoisted load
US6053478A (en) * 1998-07-15 2000-04-25 Pri Automation, Inc. Wafer hoist with self-aligning bands
EP1117610A4 (en) * 1998-08-12 2002-11-27 Middlesex General Ind Inc BELT ELEVATOR
US6481558B1 (en) 1998-12-18 2002-11-19 Asyst Technologies, Inc. Integrated load port-conveyor transfer system
US6308818B1 (en) * 1999-08-02 2001-10-30 Asyst Technologies, Inc. Transport system with integrated transport carrier and directors
US6889813B1 (en) 2000-06-22 2005-05-10 Amkor Technology, Inc. Material transport method
US6530735B1 (en) 2000-06-22 2003-03-11 Amkor Technology, Inc. Gripper assembly
US6695120B1 (en) 2000-06-22 2004-02-24 Amkor Technology, Inc. Assembly for transporting material
US6726429B2 (en) 2002-02-19 2004-04-27 Vertical Solutions, Inc. Local store for a wafer processing station
DE10217161B4 (de) * 2002-04-17 2006-09-21 Eisenmann Maschinenbau Gmbh & Co. Kg Hubvorrichtung
US7287740B2 (en) * 2005-11-01 2007-10-30 International Business Machines Corporation Hoisting apparatus
US8522412B1 (en) * 2006-04-03 2013-09-03 Line Walker, LLC Extraction tool lifting system
DE102006059335A1 (de) * 2006-12-15 2008-06-19 Schaeffler Kg Roboter mit längenveränderlichen Spreizbandaktuatoren
US7641041B1 (en) * 2008-07-17 2010-01-05 Datatronics Technology, Inc. Conveying device
EP2820580A4 (en) * 2012-02-28 2015-07-29 Univ Wayne State USE OF IONIC CURRENT SIGNAL FOR MOTOR PERFORMANCE AND EMISSION MEASUREMENT TECHNIQUES AND METHODS FOR REALIZING THE SAME
WO2014052738A1 (en) * 2012-09-28 2014-04-03 Wayne State University Ion current use for combustion resonance detection, reduction and engine control
DE102016001695B4 (de) * 2016-02-13 2018-06-07 CEMTEC Cement and Mining Technology GmbH Hubvorrichtung

Family Cites Families (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3602544A (en) * 1969-01-29 1971-08-31 United Aircraft Corp Universal,heavy-duty sling
US3794125A (en) * 1971-01-11 1974-02-26 A Nelson Apparatus and method of maneuver and sustain
GB1301233A (ja) * 1971-07-12 1972-12-29
US3815509A (en) * 1971-11-29 1974-06-11 M Voronin Apparatus for the automatic control of a monorail road
US3887090A (en) * 1971-12-09 1975-06-03 Sweco Inc Hoist pans and hoist pan handling apparatus
US3967387A (en) * 1974-10-21 1976-07-06 Daniel Marchegiani Motion simulator
CH578995A5 (ja) * 1974-12-20 1976-08-31 Bbc Brown Boveri & Cie
DE2554988C2 (de) * 1975-12-06 1985-01-10 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Verfahren zur Bestimmung der Zusammensetzung des einer Brennkraftmaschine zugeführten Betriebsgemisches bzw. des Verbrennungsablaufs des Betriebsgemisches und Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens
US4203368A (en) * 1977-01-21 1980-05-20 Haskins Albert R Load handling system
US4164080A (en) * 1977-05-10 1979-08-14 The Singer Company Basic simulator unit
US4246987A (en) * 1979-04-04 1981-01-27 Envirotech Corporation Mounting assembly for electrically conductive rail
FR2486049B2 (fr) * 1980-07-04 1986-09-26 Buzzichelli Lilian Perfectionnement aux appareils de levage comportant une fleche et un support de contre-poids a positions respectives reglables
DE8122103U1 (de) * 1981-07-28 1986-10-16 Kurz, Hubert, Prof. Dr.-Ing., 8000 München Hubwerk für bewegliche Fahrzeugladebrücken
US4456890A (en) * 1982-04-05 1984-06-26 Computer Peripherals Inc. Data tracking clock recovery system using digitally controlled oscillator
US4536690A (en) * 1982-10-19 1985-08-20 Calspan Corporation Tool-supporting self-propelled robot platform
US4568233A (en) * 1984-08-06 1986-02-04 Harnischfeger Corporation Storage and retrieval apparatus
DE3522843A1 (de) * 1985-06-26 1987-01-02 D & M Rolladentechnik Gmbh Hebevorrichtung
US4973219A (en) * 1986-04-30 1990-11-27 Sea-Land Corporation Grid rail container transport and storage system
US4883184A (en) * 1986-05-23 1989-11-28 Albus James S Cable arrangement and lifting platform for stabilized load lifting
US4881548A (en) * 1987-02-10 1989-11-21 Circle K Enterprises, Inc. Tanning bed top cover actuator
US4905848A (en) * 1988-06-06 1990-03-06 Skjonberg Knut B Coordinated hoist controllers
DE3826908A1 (de) * 1988-08-08 1990-02-15 Fredenhagen Kg Laufkatze fuer haengebahnen
US4949855A (en) * 1988-12-09 1990-08-21 Harnischfeger Corporation Anti-sway crane reeving apparatus
US4986915A (en) * 1989-03-09 1991-01-22 Baker Hughes Incorporated Tape drive with self-expanding coils for sludge collector
US4932541A (en) * 1989-04-24 1990-06-12 Calspan Corporation Stabilized shipboard crane
US5179525A (en) * 1990-05-01 1993-01-12 University Of Florida Method and apparatus for controlling geometrically simple parallel mechanisms with distinctive connections
DE4109971C2 (de) * 1991-03-22 1994-05-26 Mannesmann Ag Einschienenbahn-Unterflansch-Fahrwerk
US5271290A (en) * 1991-10-29 1993-12-21 United Kingdom Atomic Energy Authority Actuator assembly
US5263382A (en) * 1992-04-13 1993-11-23 Hughes Aircraft Company Six Degrees of freedom motion device
US5265742A (en) * 1993-04-12 1993-11-30 Stenger Donald D Portable, collapsible hoist apparatus
US5373926A (en) * 1993-08-30 1994-12-20 Howell Corporation Insulated rail electrification system
US5522581A (en) * 1994-01-13 1996-06-04 Zimmerman International Corp. Balancing hoist and material handling system
US5568189A (en) * 1994-06-21 1996-10-22 Kneller; Paul J. Aerial support platform mechanism with five axes of motion
US5552581A (en) * 1994-11-10 1996-09-03 Wirekraft Industries Inc. Defrost heater for cooling appliance

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106809656A (zh) * 2015-10-29 2017-06-09 细美事有限公司 吊装传送机的抓手单元
CN106809656B (zh) * 2015-10-29 2020-12-08 细美事有限公司 吊装传送机的抓手单元

Also Published As

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DE69719001T2 (de) 2003-10-02

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