JPH10273378A - 単結晶引上げ装置 - Google Patents
単結晶引上げ装置Info
- Publication number
- JPH10273378A JPH10273378A JP9496697A JP9496697A JPH10273378A JP H10273378 A JPH10273378 A JP H10273378A JP 9496697 A JP9496697 A JP 9496697A JP 9496697 A JP9496697 A JP 9496697A JP H10273378 A JPH10273378 A JP H10273378A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- pulling
- seed crystal
- contact
- shoulder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 引上げ中の単結晶を把持具により把持すると
きに引上げ中の単結晶が多結晶化することを防止し、ま
た、自動的に把持する。 【解決手段】 ワイヤ１を引き下げて種結晶３を石英る
つぼ１０内のＳｉ融液１１の表面に対して浸漬させる。
このとき、アーム１２、１３は先端がＳｉ融液１１に接
触しない位置に待機し、また、把持アーム１２の先端
は、引上げ中の径拡大部５に接触しないように開いてい
る。ワイヤ１を引き上げることにより種結晶３の下にネ
ック部４、径拡大部５、くびれ部６、肩部７ａ、結晶本
体部分７を形成し、引上げ中に肩部７ａが接触／検出ア
ーム１３の先端に接触したことがセンサ１４により検出
されると、把持アーム１２の先端が閉じるように駆動さ
れてくびれ部６を把持する。把持が完了するとワイヤ１
とアーム１２、１３を一体で回転させながら引き上げ
る。
きに引上げ中の単結晶が多結晶化することを防止し、ま
た、自動的に把持する。 【解決手段】 ワイヤ１を引き下げて種結晶３を石英る
つぼ１０内のＳｉ融液１１の表面に対して浸漬させる。
このとき、アーム１２、１３は先端がＳｉ融液１１に接
触しない位置に待機し、また、把持アーム１２の先端
は、引上げ中の径拡大部５に接触しないように開いてい
る。ワイヤ１を引き上げることにより種結晶３の下にネ
ック部４、径拡大部５、くびれ部６、肩部７ａ、結晶本
体部分７を形成し、引上げ中に肩部７ａが接触／検出ア
ーム１３の先端に接触したことがセンサ１４により検出
されると、把持アーム１２の先端が閉じるように駆動さ
れてくびれ部６を把持する。把持が完了するとワイヤ１
とアーム１２、１３を一体で回転させながら引き上げ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、引上げＣＺ（Czoc
hralski）法によりＳｉ（シリコン）の無転位の単結晶
を製造するための単結晶引上げ装置に関する。
hralski）法によりＳｉ（シリコン）の無転位の単結晶
を製造するための単結晶引上げ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、引上げＣＺ法による単結晶製造
装置では、高耐圧気密チャンバ内を１０torr程度に減圧
して新鮮なＡｒ（アルゴン）ガスを流すとともに、チャ
ンバ内の下方に設けられた石英るつぼ内の多結晶を加熱
して溶融し、この融液の表面に種結晶を上から浸漬し、
種結晶と石英るつぼを回転、上下移動させながら種結晶
を引き上げることにより、種結晶の下に上端が突出した
円錐形の上部コーン部と、円筒形のボディー部と下端が
突出した円錐形の下部コーン部より成る単結晶（いわゆ
るインゴット）を成長させるように構成されている。
装置では、高耐圧気密チャンバ内を１０torr程度に減圧
して新鮮なＡｒ（アルゴン）ガスを流すとともに、チャ
ンバ内の下方に設けられた石英るつぼ内の多結晶を加熱
して溶融し、この融液の表面に種結晶を上から浸漬し、
種結晶と石英るつぼを回転、上下移動させながら種結晶
を引き上げることにより、種結晶の下に上端が突出した
円錐形の上部コーン部と、円筒形のボディー部と下端が
突出した円錐形の下部コーン部より成る単結晶（いわゆ
るインゴット）を成長させるように構成されている。
【０００３】また、この成長方法として、種結晶を融液
の表面に浸漬したときの熱衝撃により種結晶に発生する
転位を除去（無転位化）するために、種結晶を融液の表
面に浸漬した後、引上げ速度を比較的速くすることによ
り種結晶より小径の、例えば直径が３〜４ｍｍのネック
部を形成した後に、上記の上部コーン部の引上げを開始
するダッシュ(Dash)法が知られている。
の表面に浸漬したときの熱衝撃により種結晶に発生する
転位を除去（無転位化）するために、種結晶を融液の表
面に浸漬した後、引上げ速度を比較的速くすることによ
り種結晶より小径の、例えば直径が３〜４ｍｍのネック
部を形成した後に、上記の上部コーン部の引上げを開始
するダッシュ(Dash)法が知られている。
【０００４】さらに、この小径のネック部を介しては、
大径、大重量（１５０〜２００ｋｇ以上）の単結晶を引
き上げることができないので、例えば特公平５−６５４
７７号公報に示されるようにDash法により小径のネック
部を形成した後、引上げ速度を比較的遅くして大径を形
成し、次いで引上げ速度を比較的速くして小径を形成す
ることにより「球状のくびれ」を形成し、このくびれを
把持具で把持することにより大径、高重量の単結晶を引
き上げる方法が提案されている。また、くびれを把持す
る従来の装置としては、上記公報の他に、例えば特公平
７−１０３０００号公報、特公平７−５１５号公報に示
されているものがある。
大径、大重量（１５０〜２００ｋｇ以上）の単結晶を引
き上げることができないので、例えば特公平５−６５４
７７号公報に示されるようにDash法により小径のネック
部を形成した後、引上げ速度を比較的遅くして大径を形
成し、次いで引上げ速度を比較的速くして小径を形成す
ることにより「球状のくびれ」を形成し、このくびれを
把持具で把持することにより大径、高重量の単結晶を引
き上げる方法が提案されている。また、くびれを把持す
る従来の装置としては、上記公報の他に、例えば特公平
７−１０３０００号公報、特公平７−５１５号公報に示
されているものがある。
【０００５】また、他の従来例としては、例えば特開平
５−２７０９７４号公報、特開平７−１７２９８１号公
報に示されるように上記「くびれ」を形成しないでボデ
ィー部をそのまま把持する方法や、特開昭６３−２５２
９９１号公報、特開平５−２７０９７５号公報に示され
るように上記「球状のくびれ」の代わりに、上部コーン
部とボディー部の間にボディー部より径が大きい「環状
のくびれ」を形成し、この「環状のくびれ」を把持する
方法が提案されている。
５−２７０９７４号公報、特開平７−１７２９８１号公
報に示されるように上記「くびれ」を形成しないでボデ
ィー部をそのまま把持する方法や、特開昭６３−２５２
９９１号公報、特開平５−２７０９７５号公報に示され
るように上記「球状のくびれ」の代わりに、上部コーン
部とボディー部の間にボディー部より径が大きい「環状
のくびれ」を形成し、この「環状のくびれ」を把持する
方法が提案されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、単結晶
の引上げ中に上記「くびれ」などを把持具により把持す
るタイミングは微妙であり、把持タイミングがずれると
引上げ中の単結晶が多結晶化するという問題点がある。
また、製造工場では通常、複数の単結晶製造装置が配列
されているので、少ない作業員が把持作業を行うと作業
性が悪いばかりか、把持タイミングを逸するおそれがあ
るいう問題点がある。
の引上げ中に上記「くびれ」などを把持具により把持す
るタイミングは微妙であり、把持タイミングがずれると
引上げ中の単結晶が多結晶化するという問題点がある。
また、製造工場では通常、複数の単結晶製造装置が配列
されているので、少ない作業員が把持作業を行うと作業
性が悪いばかりか、把持タイミングを逸するおそれがあ
るいう問題点がある。
【０００７】本発明は上記従来の問題点に鑑み、引上げ
中の単結晶を把持具により把持するときに引上げ中の単
結晶が多結晶化することを防止することができ、また、
自動的に把持することができる単結晶引上げ装置を提供
することを目的とする。
中の単結晶を把持具により把持するときに引上げ中の単
結晶が多結晶化することを防止することができ、また、
自動的に把持することができる単結晶引上げ装置を提供
することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、種結晶の下に形成される径拡大部よりもさ
らに下方に形成される単結晶の肩部に接触して、肩部を
上から押さえ付ける接触部材を設け、この接触部材と、
径拡大部の直下に形成される単結晶のくびれを把持する
把持部材により単結晶に上下両方向に力を加えて、これ
を支持するようにしたものである。
するために、種結晶の下に形成される径拡大部よりもさ
らに下方に形成される単結晶の肩部に接触して、肩部を
上から押さえ付ける接触部材を設け、この接触部材と、
径拡大部の直下に形成される単結晶のくびれを把持する
把持部材により単結晶に上下両方向に力を加えて、これ
を支持するようにしたものである。
【０００９】すなわち本発明によれば、種結晶を支持す
る種結晶ホルダを回転させながら引き上げる種結晶引上
げ手段と、前記種結晶ホルダと共に回転可能で、かつ上
下方向に移動可能であって、前記種結晶引上げ手段によ
る引上げにより前記種結晶の下に形成される単結晶の径
拡大部の下に形成される単結晶のくびれを把持するため
に先端が開閉可能な把持部材と、引上げ中の単結晶の前
記径拡大部の上面が前記接触部材に接触したときに、前
記種結晶ホルダと及び前記把持部材と共に回転可能で、
かつ上下方向に移動可能であって、前記種結晶引上げ手
段による引上げにより前記径拡大部の下方に形成される
単結晶の肩部が接触可能に配置され、かつ前記肩部が接
触した後、前記肩部を上方から抑えつける機能を有する
接触部材と、引上げ中の単結晶の前記肩部の上面が前記
接触部材に接触したときに、前記把持部材の先端を閉じ
て前記くびれを把持するよう前記径拡大部の下面に前記
把持部材の先端を移動させる移動手段とを有する単結晶
引上げ装置が提供される。
る種結晶ホルダを回転させながら引き上げる種結晶引上
げ手段と、前記種結晶ホルダと共に回転可能で、かつ上
下方向に移動可能であって、前記種結晶引上げ手段によ
る引上げにより前記種結晶の下に形成される単結晶の径
拡大部の下に形成される単結晶のくびれを把持するため
に先端が開閉可能な把持部材と、引上げ中の単結晶の前
記径拡大部の上面が前記接触部材に接触したときに、前
記種結晶ホルダと及び前記把持部材と共に回転可能で、
かつ上下方向に移動可能であって、前記種結晶引上げ手
段による引上げにより前記径拡大部の下方に形成される
単結晶の肩部が接触可能に配置され、かつ前記肩部が接
触した後、前記肩部を上方から抑えつける機能を有する
接触部材と、引上げ中の単結晶の前記肩部の上面が前記
接触部材に接触したときに、前記把持部材の先端を閉じ
て前記くびれを把持するよう前記径拡大部の下面に前記
把持部材の先端を移動させる移動手段とを有する単結晶
引上げ装置が提供される。
【００１０】また本発明によれば、種結晶を支持する種
結晶ホルダを回転させながら引き上げる種結晶引上げ手
段と、前記種結晶ホルダと共に回転可能で、かつ上下方
向に移動可能であって、前記種結晶引上げ手段による引
上げにより前記種結晶の下に形成される単結晶の径拡大
部の下に形成される単結晶のくびれを把持するために先
端が開閉可能な把持部材と、引上げ中の単結晶の前記径
拡大部の上面が前記接触部材に接触したときに、前記種
結晶ホルダと及び前記把持部材と共に回転可能で、かつ
上下方向に移動可能であって、前記種結晶引上げ手段に
よる引上げにより前記径拡大部の下方に形成される単結
晶の肩部が接触可能に配置され、かつ前記肩部が接触し
た後、前記肩部を上方から抑えつける機能を有する接触
部材と、引上げ中の単結晶の前記肩部が所定位置に引き
上げられたことを検出する位置検出手段と、前記位置検
出手段による検出に応答し、前記把持部材の先端を閉じ
て前記くびれを把持するよう、前記径拡大部の下面に前
記把持部材の先端を移動させる移動手段とを、有する単
結晶引上げ装置が提供される。
結晶ホルダを回転させながら引き上げる種結晶引上げ手
段と、前記種結晶ホルダと共に回転可能で、かつ上下方
向に移動可能であって、前記種結晶引上げ手段による引
上げにより前記種結晶の下に形成される単結晶の径拡大
部の下に形成される単結晶のくびれを把持するために先
端が開閉可能な把持部材と、引上げ中の単結晶の前記径
拡大部の上面が前記接触部材に接触したときに、前記種
結晶ホルダと及び前記把持部材と共に回転可能で、かつ
上下方向に移動可能であって、前記種結晶引上げ手段に
よる引上げにより前記径拡大部の下方に形成される単結
晶の肩部が接触可能に配置され、かつ前記肩部が接触し
た後、前記肩部を上方から抑えつける機能を有する接触
部材と、引上げ中の単結晶の前記肩部が所定位置に引き
上げられたことを検出する位置検出手段と、前記位置検
出手段による検出に応答し、前記把持部材の先端を閉じ
て前記くびれを把持するよう、前記径拡大部の下面に前
記把持部材の先端を移動させる移動手段とを、有する単
結晶引上げ装置が提供される。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図１は本発明に係る単結晶引上げ
装置の一実施形態及びその引上げ工程を示す説明図であ
る。
施の形態を説明する。図１は本発明に係る単結晶引上げ
装置の一実施形態及びその引上げ工程を示す説明図であ
る。
【００１２】図１において、ワイヤ１（シャフトでもよ
い）の先端には種結晶ホルダ２が取り付けられ、種結晶
ホルダ２には種結晶３が取り付けられる。ワイヤ１は図
示省略のワイヤ巻き取りドラム及びワイヤ巻き取りモー
タにより上方に巻き取られるように構成され、また、ワ
イヤ巻き取りドラム及びワイヤ巻き取りモータは同じく
図示省略のドラム回転モータにより回転可能に構成され
ている。そして、種結晶３を石英るつぼ内１０のＳｉ融
液１１に浸漬させた後、引き上げることにより種結晶３
の下にネック部４、支持用の径拡大部５、くびれ部６、
結晶本体部分７の肩部７ａ、結晶本体部分７を形成す
る。
い）の先端には種結晶ホルダ２が取り付けられ、種結晶
ホルダ２には種結晶３が取り付けられる。ワイヤ１は図
示省略のワイヤ巻き取りドラム及びワイヤ巻き取りモー
タにより上方に巻き取られるように構成され、また、ワ
イヤ巻き取りドラム及びワイヤ巻き取りモータは同じく
図示省略のドラム回転モータにより回転可能に構成され
ている。そして、種結晶３を石英るつぼ内１０のＳｉ融
液１１に浸漬させた後、引き上げることにより種結晶３
の下にネック部４、支持用の径拡大部５、くびれ部６、
結晶本体部分７の肩部７ａ、結晶本体部分７を形成す
る。
【００１３】また、ワイヤ１の周りには径拡大部５の下
のくびれ部６を把持するための２以上の把持アーム１２
と、肩部７ａに接触して検出するための接触／検出アー
ム１３がワイヤ１と共に回転するように配置されてい
る。なお、肩部７ａは単結晶の直胴部（ボディー部）７
の上面であり、いわゆる上部コーン部である。把持アー
ム１２は、その先端がくびれ部６を把持するために開閉
可能であるとともに、把持状態でくびれ部６を引き上げ
るために上下移動可能に構成され、接触／検出アーム１
３は、この引上げとともに上下移動可能に構成されてい
る。把持アーム１２を開閉させる機構としては、モータ
で駆動されるラックアンドピニオン機構やエアーシリン
ダなどのアクチュエータを用いることができる。また、
接触／検出アーム１３にはその先端に引上げ中の肩部７
ａが接触したことを検出するためのセンサ１４が接続さ
れ、センサ１４は例えば電気抵抗式や電流検知式、重量
負荷検知方式のものを用いることができる。また、ワイ
ヤ１とアーム１２、１３は一体で回転可能に支持されて
いる。
のくびれ部６を把持するための２以上の把持アーム１２
と、肩部７ａに接触して検出するための接触／検出アー
ム１３がワイヤ１と共に回転するように配置されてい
る。なお、肩部７ａは単結晶の直胴部（ボディー部）７
の上面であり、いわゆる上部コーン部である。把持アー
ム１２は、その先端がくびれ部６を把持するために開閉
可能であるとともに、把持状態でくびれ部６を引き上げ
るために上下移動可能に構成され、接触／検出アーム１
３は、この引上げとともに上下移動可能に構成されてい
る。把持アーム１２を開閉させる機構としては、モータ
で駆動されるラックアンドピニオン機構やエアーシリン
ダなどのアクチュエータを用いることができる。また、
接触／検出アーム１３にはその先端に引上げ中の肩部７
ａが接触したことを検出するためのセンサ１４が接続さ
れ、センサ１４は例えば電気抵抗式や電流検知式、重量
負荷検知方式のものを用いることができる。また、ワイ
ヤ１とアーム１２、１３は一体で回転可能に支持されて
いる。
【００１４】図２は、センサ１４による検出により、ア
ーム１２を閉じるよう制御する装置の模式的ブロック図
である。センサ１４は各アーム１３の動きなどを検知す
るセンサ素子１４Ａ、１４Ｂを有し、それらの出力信号
は増幅・検出回路１５Ａ、１５Ｂにてそれぞれ所定のス
レッショルドと比較され、検出信号が得られ、ＯＲ回路
１６を介してスイッチ回路１７に入力される。よって、
スイッチ回路１７は、センサ素子１４Ａ、１４Ｂのいず
れか一方が、その接続されたアーム１３の肩部７ａとの
接触を検出すると、モータ１８に通電し、よってアクチ
ュエータ１９が駆動されてアーム１２が移動して、その
先端が径拡大部５の直下のくびれ６に入り込み、図１の
（ｂ）から（ｃ）の閉じた状態となる。
ーム１２を閉じるよう制御する装置の模式的ブロック図
である。センサ１４は各アーム１３の動きなどを検知す
るセンサ素子１４Ａ、１４Ｂを有し、それらの出力信号
は増幅・検出回路１５Ａ、１５Ｂにてそれぞれ所定のス
レッショルドと比較され、検出信号が得られ、ＯＲ回路
１６を介してスイッチ回路１７に入力される。よって、
スイッチ回路１７は、センサ素子１４Ａ、１４Ｂのいず
れか一方が、その接続されたアーム１３の肩部７ａとの
接触を検出すると、モータ１８に通電し、よってアクチ
ュエータ１９が駆動されてアーム１２が移動して、その
先端が径拡大部５の直下のくびれ６に入り込み、図１の
（ｂ）から（ｃ）の閉じた状態となる。
【００１５】このような構成において、単結晶本体７を
製造する場合、図示省略のチャンバ内を１０torr程度に
減圧して新鮮なＡｒ（アルゴン）ガスを流すとともに、
チャンバ内の下方に設けられた石英るつぼ１０内の多結
晶を加熱して溶融し、また、図１（ａ）に示すようにワ
イヤ１を矢印Ｍ１方向へ引き下げて種結晶３を石英るつ
ぼ１０内のＳｉ融液１１の表面に対して浸漬させる。こ
のとき、アーム１２、１３は先端がＳｉ融液１１に接触
しない位置に待機し、また、把持アーム１２の先端は、
引上げ中の径拡大部５に接触しないように開いている
（矢印Ｍ２、Ｍ３）。
製造する場合、図示省略のチャンバ内を１０torr程度に
減圧して新鮮なＡｒ（アルゴン）ガスを流すとともに、
チャンバ内の下方に設けられた石英るつぼ１０内の多結
晶を加熱して溶融し、また、図１（ａ）に示すようにワ
イヤ１を矢印Ｍ１方向へ引き下げて種結晶３を石英るつ
ぼ１０内のＳｉ融液１１の表面に対して浸漬させる。こ
のとき、アーム１２、１３は先端がＳｉ融液１１に接触
しない位置に待機し、また、把持アーム１２の先端は、
引上げ中の径拡大部５に接触しないように開いている
（矢印Ｍ２、Ｍ３）。
【００１６】次いで図１（ｂ）に示すように、所定時間
の経過後に種結晶３を比較的速い速度で矢印Ｍ４方向へ
引き上げることにより、種結晶３の下に直径が３〜４ｍ
ｍの小径のネック部４を形成させ、次いで引上げ速度を
比較的遅くしてネック部４の下に径拡大部５を形成した
後、引上げ速度を比較的速くして径拡大部５の下にくび
れ部６を形成させ、次いで引上げ速度を徐々に遅くする
ことにより、くびれ部６の下に肩部７ａを形成させ、次
いで引上げ速度を一定にすることにより円筒形の結晶本
体部分（ボディー部）７の形成を開始させる。
の経過後に種結晶３を比較的速い速度で矢印Ｍ４方向へ
引き上げることにより、種結晶３の下に直径が３〜４ｍ
ｍの小径のネック部４を形成させ、次いで引上げ速度を
比較的遅くしてネック部４の下に径拡大部５を形成した
後、引上げ速度を比較的速くして径拡大部５の下にくび
れ部６を形成させ、次いで引上げ速度を徐々に遅くする
ことにより、くびれ部６の下に肩部７ａを形成させ、次
いで引上げ速度を一定にすることにより円筒形の結晶本
体部分（ボディー部）７の形成を開始させる。
【００１７】この引上げ中に図１（ｂ）に示すように、
肩部７ａが接触／検出アーム１３の先端に接触したこと
がセンサ１４により検出されると、矢印Ｍ５、Ｍ６で示
されるように、把持アーム１２の先端が閉じるようにア
クチュエータ１９により駆動される。その結果、図１
（ｃ）に示すように、把持アーム１２の先端は径拡大部
５の下方に入り込み、くびれ部６を把持する。この場
合、結晶本体部分７がこの把持による振動などにより多
結晶化しないように、接触／検出アーム１３は把持アー
ム１２による把持が完了するまで上方に移動しないこと
が望ましい。すなわち、接触部材としての接触／検出ア
ーム１３は肩部７ａを上方から抑えつける機能を有し、
把持アーム１２が径拡大部５を下方から把持するので、
両アーム１２、１３にて単結晶に上下逆方向の力を加え
て把持した形となる。把持が完了するとワイヤ１とアー
ム１２、１３を一体で回転させながら引き上げる。
肩部７ａが接触／検出アーム１３の先端に接触したこと
がセンサ１４により検出されると、矢印Ｍ５、Ｍ６で示
されるように、把持アーム１２の先端が閉じるようにア
クチュエータ１９により駆動される。その結果、図１
（ｃ）に示すように、把持アーム１２の先端は径拡大部
５の下方に入り込み、くびれ部６を把持する。この場
合、結晶本体部分７がこの把持による振動などにより多
結晶化しないように、接触／検出アーム１３は把持アー
ム１２による把持が完了するまで上方に移動しないこと
が望ましい。すなわち、接触部材としての接触／検出ア
ーム１３は肩部７ａを上方から抑えつける機能を有し、
把持アーム１２が径拡大部５を下方から把持するので、
両アーム１２、１３にて単結晶に上下逆方向の力を加え
て把持した形となる。把持が完了するとワイヤ１とアー
ム１２、１３を一体で回転させながら引き上げる。
【００１８】なお、接触／検出アーム１３は把持が完了
すると、肩部７ａには当接しないように上方に移動させ
るか又は先端が開くようにしてもよい。また、上記実施
形態では、センサ１４を接触／検出アーム１３側に設け
たが、ワイヤ１（又はシャフト）側に設け、アーム１３
は肩部７ａを押さえ付ける接触機能のみを持たせるよう
にしてもよい。さらに、アーム１３と肩部７ａが接触す
る位置関係にあることを、非接触型のセンサである、光
センサや、撮像装置と画像処理装置を組み合わせた装置
などで検出して、把持アーム１２の駆動タイミングを決
定するようにしてもよい。
すると、肩部７ａには当接しないように上方に移動させ
るか又は先端が開くようにしてもよい。また、上記実施
形態では、センサ１４を接触／検出アーム１３側に設け
たが、ワイヤ１（又はシャフト）側に設け、アーム１３
は肩部７ａを押さえ付ける接触機能のみを持たせるよう
にしてもよい。さらに、アーム１３と肩部７ａが接触す
る位置関係にあることを、非接触型のセンサである、光
センサや、撮像装置と画像処理装置を組み合わせた装置
などで検出して、把持アーム１２の駆動タイミングを決
定するようにしてもよい。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、種
結晶の下に形成される単結晶の肩部に接触して押さえ付
ける接触部材を設け、この接触部材と、大径部の下に形
成される単結晶のくびれを把持する把持部材により単結
晶に上下両方向の力を加えて支持するようにしたので、
引上げ中の単結晶を把持具により把持するときに、確実
かつ安定して把持し、引上げ中の単結晶が多結晶化する
ことを防止することができる。また、引上げ中の単結晶
の肩部が接触部材に接触したこと、あるいは接触するよ
うな位置関係にあることをセンサにより検出して、くび
れを把持することにより、自動的に把持することができ
る。よって、径拡大部の把持のタイミングの決定に人手
を煩わすことがなく、大径、大重量の単結晶を安全・確
実に引き上げることができる。
結晶の下に形成される単結晶の肩部に接触して押さえ付
ける接触部材を設け、この接触部材と、大径部の下に形
成される単結晶のくびれを把持する把持部材により単結
晶に上下両方向の力を加えて支持するようにしたので、
引上げ中の単結晶を把持具により把持するときに、確実
かつ安定して把持し、引上げ中の単結晶が多結晶化する
ことを防止することができる。また、引上げ中の単結晶
の肩部が接触部材に接触したこと、あるいは接触するよ
うな位置関係にあることをセンサにより検出して、くび
れを把持することにより、自動的に把持することができ
る。よって、径拡大部の把持のタイミングの決定に人手
を煩わすことがなく、大径、大重量の単結晶を安全・確
実に引き上げることができる。
【図１】本発明に係る単結晶引上げ装置の一実施形態及
びその引上げ工程を示す説明図である。
びその引上げ工程を示す説明図である。
【図２】図１の把持部材としてのアームの開閉を制御す
る装置の模式的ブロック図である。
る装置の模式的ブロック図である。
１ ワイヤ ２ 種結晶ホルダ ３ 種結晶 ４ ネック部 ５ 径拡大部 ６ くびれ部 ７ａ 肩部（上部コーン部） ７ 単結晶本体 １０ 石英るつぼ １１ Ｓｉ融液 １２ 把持アーム（把持部材） １３ 接触／検出アーム（接触部材） １４ センサ １４Ａ、１４Ｂ センサ素子 １５Ａ、１５Ｂ 増幅・検出回路 １６ ＯＲ回路 １７ スイッチ回路 １８ モータ １９ アクチュエータ（移動手段）
Claims (7)
- 【請求項１】 種結晶を支持する種結晶ホルダを回転さ
せながら引き上げる種結晶引上げ手段と、 前記種結晶ホルダと共に回転可能で、かつ上下方向に移
動可能であって、前記種結晶引上げ手段による引上げに
より前記種結晶の下に形成される単結晶の径拡大部の下
に形成される単結晶のくびれを把持するために先端が開
閉可能な把持部材と、 引上げ中の単結晶の前記径拡大部の上面が前記接触部材
に接触したときに、 前記種結晶ホルダと及び前記把持部材と共に回転可能
で、かつ上下方向に移動可能であって、前記種結晶引上
げ手段による引上げにより前記径拡大部の下方に形成さ
れる単結晶の肩部が接触可能に配置され、かつ前記肩部
が接触した後、前記肩部を上方から抑えつける機能を有
する接触部材と、 引上げ中の単結晶の前記肩部の上面が前記接触部材に接
触したときに、前記把持部材の先端を閉じて前記くびれ
を把持するよう前記径拡大部の下面に前記把持部材の先
端を移動させる移動手段とを有する単結晶引上げ装置。 - 【請求項２】 引上げ中の単結晶の径拡大部の上面が前
記接触部材に接触したことを検出するセンサを前記接触
部材に設け、前記センサの検出信号に基づいて前記移動
手段を制御する構成としたことを特徴とする請求項１記
載の単結晶引上げ装置。 - 【請求項３】 引上げ中の単結晶の径拡大部の上面が前
記接触部材に接触したことを検出するセンサを前記種結
晶引上げ手段に設け、前記センサの検出信号に基づいて
前記移動手段を制御する構成としたことを特徴とする請
求項１記載の単結晶引上げ装置。 - 【請求項４】 前記センサは、電気抵抗又は電流を検出
する電気式のセンサであることを特徴とする請求項２又
は３記載の単結晶引上げ装置。 - 【請求項５】 前記センサは、前記種結晶引上げ手段の
荷重を検出するセンサであることを特徴とする請求項２
又は３記載の単結晶引上げ装置。 - 【請求項６】 種結晶を支持する種結晶ホルダを回転さ
せながら引き上げる種結晶引上げ手段と、 前記種結晶ホルダと共に回転可能で、かつ上下方向に移
動可能であって、前記種結晶引上げ手段による引上げに
より前記種結晶の下に形成される単結晶の径拡大部の下
に形成される単結晶のくびれを把持するために先端が開
閉可能な把持部材と、 引上げ中の単結晶の前記径拡大部の上面が前記接触部材
に接触したときに、 前記種結晶ホルダと及び前記把持部材と共に回転可能
で、かつ上下方向に移動可能であって、前記種結晶引上
げ手段による引上げにより前記径拡大部の下方に形成さ
れる単結晶の肩部が接触可能に配置され、かつ前記肩部
が接触した後、前記肩部を上方から抑えつける機能を有
する接触部材と、 引上げ中の単結晶の前記肩部が所定位置に引き上げられ
たことを検出する位置検出手段と、 前記位置検出手段による検出に応答し、前記把持部材の
先端を閉じて前記くびれを把持するよう、前記径拡大部
の下面に前記把持部材の先端を移動させる移動手段と
を、 有する単結晶引上げ装置。 - 【請求項７】 前記位置検出手段が前記肩部が前記接触
部材に接触する位置にあることを検出する検出手段を有
することを特徴とする請求項６記載の単結晶引上げ装
置。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9496697A JPH10273378A (ja) | 1997-03-29 | 1997-03-29 | 単結晶引上げ装置 |
| KR1019980007118A KR19980079892A (ko) | 1997-03-28 | 1998-03-04 | 단결정 인상장치 |
| TW087103350A TW460634B (en) | 1997-03-28 | 1998-03-07 | Single crystal pulling apparatus |
| EP02023127A EP1277856A2 (en) | 1997-03-28 | 1998-03-10 | Single crystal pulling apparatus |
| EP98104227A EP0867532B1 (en) | 1997-03-28 | 1998-03-10 | Single crystal pulling apparatus |
| DE69823908T DE69823908T2 (de) | 1997-03-28 | 1998-03-10 | Einkristallziehvorrichtung |
| EP02023128A EP1275754A2 (en) | 1997-03-28 | 1998-03-10 | Single crystal pulling apparatus |
| US09/037,513 US6022411A (en) | 1997-03-28 | 1998-03-10 | Single crystal pulling apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9496697A JPH10273378A (ja) | 1997-03-29 | 1997-03-29 | 単結晶引上げ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10273378A true JPH10273378A (ja) | 1998-10-13 |
Family
ID=14124670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9496697A Withdrawn JPH10273378A (ja) | 1997-03-28 | 1997-03-29 | 単結晶引上げ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10273378A (ja) |
-
1997
- 1997-03-29 JP JP9496697A patent/JPH10273378A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6228167B1 (en) | Single crystal pulling apparatus | |
| JPH07172981A (ja) | 半導体単結晶の製造装置および製造方法 | |
| US6022411A (en) | Single crystal pulling apparatus | |
| JP3474076B2 (ja) | 単結晶引上げ装置 | |
| JPH10273378A (ja) | 単結晶引上げ装置 | |
| WO1998010125A1 (fr) | Appareil pour tirage de monocristal | |
| JP2990658B2 (ja) | 単結晶引上装置 | |
| JPH1179881A (ja) | 単結晶引上げ装置及び単結晶引上げ方法 | |
| JPH10310492A (ja) | 単結晶引上装置及び引上方法 | |
| JPH10120487A (ja) | 単結晶引上装置および引上方法 | |
| JPH10273389A (ja) | 単結晶引上げ装置 | |
| JP3400317B2 (ja) | 単結晶引上げ装置 | |
| JPH10273390A (ja) | 半導体単結晶製造装置 | |
| JPH10279385A (ja) | 単結晶引上げ装置及び単結晶引上げ方法 | |
| JPH10273387A (ja) | 単結晶引上げ方法及び単結晶引上げ装置 | |
| US6273945B1 (en) | Single crystal producing apparatus and method | |
| JPH11217292A (ja) | 単結晶製造装置 | |
| JPH1192285A (ja) | 単結晶成長装置及び単結晶成長方法 | |
| JP2000247783A (ja) | 単結晶引き上げ装置及び単結晶引き上げ方法 | |
| JP4025939B2 (ja) | 単結晶小径部凹部への支持部材挿入確認方法および単結晶引上げ装置 | |
| JPH11228288A (ja) | 単結晶保持装置 | |
| JP2000313692A (ja) | 単結晶製造装置及び単結晶製造方法 | |
| JP2000247786A (ja) | 単結晶成長装置及び単結晶成長方法 | |
| JPH11217293A (ja) | 単結晶製造装置 | |
| JPH10273388A (ja) | 単結晶引上げ装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040601 |