JPH10253313A

JPH10253313A - 感歪み抵抗体ペーストおよびそれを用いた力学量センサ

Info

Publication number: JPH10253313A
Application number: JP9056552A
Authority: JP
Inventors: Yoshihiro Hori; 堀　　喜博; Haruhiko Handa; 晴彦半田; Shinya Hasegawa; 真也長谷川; Masaki Ikeda; 正樹池田
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1997-03-11
Filing date: 1997-03-11
Publication date: 1998-09-25
Anticipated expiration: 2017-03-11
Also published as: US5985183A; JP3810507B2

Abstract

(57)【要約】【課題】感歪み特性（ＧＦ）が大きく、かつ信頼性の
高い力学量センサを提供する。【解決手段】感歪み抵抗体ペーストに配合するガラス
フリットに、ＰｂＯを７３．１〜８６．７重量％、Ｓｉ
Ｏ₂を９．７〜２２．２重量％、Ｂ₂Ｏ₃を２．５〜５．
０重量％、およびＡｌ₂Ｏ₃を０．９〜３．６重量％含む
ＰｂＯ−ＳｉＯ₂−Ｂ₂Ｏ₃−Ａｌ₂Ｏ₃系ガラスを用いる
ことにより、抵抗体形成の際の結晶化ガラスとの界面反
応を抑制する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、空調、電装、住宅
設備、電化、ＦＡなどの機器において、圧力、荷重、加
速度、変位などを計測する力学量センサに関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】近年、空調、電装、住宅設備、電化、Ｆ
Ａなどの機器を高性能化、高機能化するために、圧力、
荷重、加速度、変位などの力学量を計測する手段への要
求が高まりつつある。測定対象も構造物の荷重量から、
気体や液体の流体圧力など多岐に亘っており、様々な測
定ニーズに対応できる力学量センサが期待されている。
しかし、従来より力学量センサとして用いられていたシ
リコン半導体式センサやＣｕ−Ｎｉ合金を用いた歪みゲ
ージ式センサなどは、これらの要求に対応するには、信
頼性や価格に問題があった。

【０００３】そこで、絶縁性の基板上に感歪み抵抗体お
よび電極を形成した力学量センサが提案されている。こ
の力学量センサは、種々の応力によって基板が変形した
とき、その歪み量を、基板表面に形成された感歪み抵抗
体の長さや断面積の変化に起因した抵抗値の変化より検
出するものである。このときのセンサ感度は、ゲージフ
ァクタ(以下、ＧＦと略す)として、応力による基板の歪
み量と抵抗値変化の割合（抵抗値変化率／歪み量）で規
格化されている。

【０００４】近年、力学量センサ用基板として、表面を
絶縁層で被覆された金属基材からなるメタルコア（琺
瑯）基板が、アルミナを代表とする各種セラミックス製
の基板と比べて弾性率や加工性などに優れることから広
く用いられてきている。メタルコア基板の金属基材に
は、例えば鉄系のステンレス鋼あるいはホーロ鋼が用い
られる。金属基材の表面に形成する絶縁層には、例えば
ＳｉＯ₂−Ｂ₂Ｏ₃−ＣａＯ−ＭｇＯ系の結晶化ガラスが
用いられる。また、感歪み抵抗体は、例えば酸化ルテニ
ウム等の導電材料粉末、ガラス粉末および有機バインダ
を混合して調製されるペーストを塗布、焼成して所定の
形状に形成される。なお、このようにして得られたセン
サは、必要に応じて、その表面に保護層が設けられる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような感歪み抵抗体材料およびメタルコア基板を用いた
力学量センサにおいても、様々な用途への応用展開を考
えた場合に満足されるセンサ感度は得られていない。そ
のため、上記と同様の構成の感歪み抵抗体において、感
歪み特性（ＧＦ）を大きくし、センサ感度を向上させる
ために種々の検討が行われている。

【０００６】力学量センサの感歪み特性は、感歪み抵抗
体中のガラスとメタルコア基板表面の結晶化ガラスとの
界面における反応に大きく影響される。すなわち、界面
反応によって感歪み抵抗体中のガラス成分が消費され、
導電経路は導電粒子同士の直接接触によるものの割合が
大きくなるため、感歪み抵抗体のＧＦ値は小さくなり、
酸化ルテニウム固有の特性であるＧＦ値２に近づくもの
と考えられている。界面反応による影響を低減し、感歪
み抵抗体自身の特性を十分に引き出すため、感歪み抵抗
体の膜厚を厚くする検討も行われているが、図６に示す
ように、感歪み抵抗体の膜厚が厚くなるにつれて、感歪
み特性は向上するものの、感歪み抵抗体の表面や内部に
気泡が発生しやすくなり、センサ諸特性のバラツキが大
きくなる。

【０００７】本発明は、以上のような問題点を解決し、
高感度（高ＧＦ）で信頼性の高い力学量センサを提供す
ることを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、メタルコア基
板上に感歪み抵抗体を形成するための感歪み抵抗体ペー
ストに、結晶化ガラスとの界面反応を抑制することので
きるガラスフリット、すなわち、ＰｂＯを７３．１〜８
６．７重量％、ＳｉＯ₂を９．７〜２２．２重量％、Ｂ₂
Ｏ₃を２．５〜５．０重量％、およびＡｌ₂Ｏ₃を０．９
〜３．６重量％含むＰｂＯ−ＳｉＯ₂−Ｂ₂Ｏ₃−Ａｌ₂Ｏ
₃系ガラスを用いる。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明の感歪み抵抗体ペースト
は、酸化ルテニウム、ガラスフリットおよび有機バイン
ダを含み、ガラスフリットが、ＰｂＯを７３．１〜８
６．７重量％、ＳｉＯ₂を９．７〜２２．２重量％、Ｂ₂
Ｏ₃を２．５〜５．０重量％、及びＡｌ₂Ｏ₃を０．９〜
３．６重量％含むＰｂＯ−ＳｉＯ₂−Ｂ₂Ｏ₃−Ａｌ₂Ｏ₃
系ガラスからなるものである。本発明の感歪み抵抗体ペ
ーストの好ましい態様においては、酸化ルテニウムおよ
びガラスフリットの和に対する酸化ルテニウムの割合が
１０〜３０重量％である。本発明の感歪み抵抗体ペース
トの他の好ましい態様においては、酸化ルテニウムの粒
径が０．５〜３．０μｍである。本発明の感歪み抵抗体
ペーストのさらに他の好ましい態様においては、ガラス
フリットの粒径が５μｍ以下である。有機バインダに
は、例えば、セルロース系樹脂またはアクリル系樹脂を
用いる。また、有機バインダを溶解させる溶媒には、例
えばテルピネオールまたはブチルカルビトールアセテー
トを一種であるいはこれらを混合して用いる。

【００１０】本発明の力学量センサは、表面に結晶化ガ
ラス層を備えた金属基材からなる絶縁基板、絶縁基板の
表面に形成された一対の電極、電極間を接続して形成さ
れた感歪み抵抗体を具備し、感歪み抵抗体が、ＰｂＯを
７３．１〜８６．７重量％、ＳｉＯ₂を９．７〜２２．
２重量％、Ｂ₂Ｏ₃を２．５〜５．０重量％、およびＡｌ
₂Ｏ₃を０．９〜３．６重量％含むＰｂＯ−ＳｉＯ₂−Ｂ₂
Ｏ₃−Ａｌ₂Ｏ₃系ガラスからなるガラスフリット、酸化
ルテニウムおよび有機バインダを含む感歪み抵抗体ペー
ストを焼成して得られたものである。感歪み抵抗体は、
上記の感歪み抵抗体ペーストを、例えば、描画、スクリ
ーン印刷、メタルマスク印刷、ドクターブレード、オフ
セット印刷などによって絶縁基板上に塗着した後、焼成
して形成される。

【００１１】本発明の力学量センサに使用する金属基材
には、ホーロ鋼、ステンレス鋼、珪素鋼、ニッケル−ク
ロム−鉄、ニッケル−鉄、コバール、インバーなどの各
種合金材やそれらのクラッド材などが選択されるが、こ
のうち絶縁層との密着性の観点からステンレス鋼ＳＵＳ
４３０が最も好ましい。金属基材の材質が決定されれ
ば、所望の形状に、通常の機械加工、エッチング加工、
レーザ加工等によって加工される。その形状は、負荷荷
重の大きさや用途により、円筒形や板状（箔状も含む）
等が選択される。これら金属基材は、例えば、絶縁層の
密着性を向上させる目的で、表面脱脂され、ついでサン
ドブラスト処理や、ニッケル、コバルトなどの各種メッ
キを施された後、熱酸化処理によって酸化被覆層が形成
される。

【００１２】金属基材上には、結晶化ガラスからなる絶
縁層が形成される。結晶化ガラス層は、電気絶縁性およ
び耐熱性の観点から、たとえば、焼成によってＭｇＯ系
の結晶相を析出するような無アルカリ結晶化ガラスで構
成されることが好ましい。特に、ＳｉＯ₂＝７〜３０重
量％、Ｂ₂Ｏ₃＝５〜３４重量％、ＣａＯ＝０〜２０重量
％、ＭｇＯ＝１６〜５０重量％、Ｌａ₂Ｏ₃＝０〜４０重
量％、ＺｒＯ₂＝０〜５重量％、Ｐ₂Ｏ₅＝０〜５重量％
からなるガラス組成が好ましい。結晶化ガラス層を金属
基材上に被覆する方法としては、スプレー法、粉末静電
塗装法、電気泳動電着法等がある。このうち、被膜のち
密性、電気絶縁性等の観点から、電気泳動電着法が、最
も好ましい。

【００１３】電気泳動電着法による結晶化ガラス層の形
成方法の一例を挙げると、まずガラスにアルコールおよ
び少量の水を加えてボールミル中で約２０時間粉砕、混
合し、ガラスの平均粒径を１〜５μｍ程度にする。得ら
れたスラリーを電解槽に入れて、循環させる。そして、
金属基材を、このスラリー中に浸漬し、３００Ｖで陰分
極させることにより、金属基材表面にガラス粒子を付着
させる。これを乾燥後、焼成する。これによって、ガラ
ス粒子が溶融すると共に、ガラスの成分と金属材料の成
分が、充分に相互拡散するため、ガラス層と金属基材と
の間に強固な密着が得られる。なお、焼成は、常温から
徐々に昇温して上記温度に到達させる方法が好ましい。
この方法によると、微細針状結晶を無数に析出させ、ガ
ラス層の機械強度や抵抗体との密着性を向上させること
ができる。

【００１４】

【実施例】以下、本発明の感歪み抵抗体ペーストおよび
それを用いた力学量センサの好ましい具体例を、詳細に
説明する。ただし、本発明はこれらの実施例によって限
定されるものではない。

【００１５】上述の製造方法に基づいて感歪み抵抗体を
形成したＧＦ測定用のサンプルを説明する。以下のよう
にして、図１に示す力学量センサを得た。長さが１００
ｍｍ、幅が３０ｍｍで、厚さが０．８ｍｍのステンレス
鋼ＳＵＳ４３０からなる金属基材１に、前処理として脱
脂・水洗・酸洗・水洗・ニッケルメッキ・水洗の各処理
を施した。ついで、ＳｉＯ₂を１３重量％、Ｂ₂Ｏ₃を２
５重量％、ＭｇＯを３９重量％、ＣａＯを３重量％、Ｌ
ａ₂Ｏ₃を５重量％、ＺｒＯ₂を２重量％およびＰ₂Ｏ₅を
１重量％を含む結晶化ガラス粒子を分散させたスラリー
中にこの金属基材１を浸漬し、対極と金属基材１間に直
流電圧を印加することにより、金属基材１の表面にガラ
ス粒子を被覆させた。次に、この表面に結晶化ガラス粒
子を被覆した金属基材１を加熱して室温から８８０℃ま
で２時間かけて昇温させ、さらにこの温度で１０分間保
持する焼成を行なった。これにより、図１に示すように
表面に厚さ１００μｍの結晶化ガラスからなる絶縁層３
を備えた絶縁基板を得た。ついで、絶縁層３の表面にＡ
ｇ−Ｐｔペーストをスクリーン印刷した後、８００℃で
焼成して一対の電極４を形成した。

【００１６】平均粒径が１．２μｍの酸化ルテニウム
と、平均粒径３μｍで表１〜３に示す組成番号１〜２１
のガラスを重量比で１：４となるように混合した。この
混合物に、エチルセルロースとテルピネオールを主成分
とする有機ビヒクルを、酸化ルテニウムとガラスの混合
物１００重量部に対して約２０重量部添加した。これら
を乳鉢で混合し、さらに３本ローラで２時間混合して、
感歪み抵抗体ペーストを得た。なお、乳鉢混合およびロ
ーラ混合の際に、希釈剤としてブチルカルビトールアセ
テートを適時加えて、最終的にペースト粘度を調整し
た。

【００１７】《実施例１》表１〜３に示す組成番号１〜
２１のガラスを用いた感歪み抵抗体ペーストをそれぞれ
調製した。得られた感歪み抵抗体ペーストを用いて、絶
縁基板に形成された一対の電極を接続するように、所定
のパターンで印刷したのち、絶縁基板を乾燥器で１２０
℃で３０分間乾燥させた。ついで、この絶縁基板をピー
ク温度８００℃で１０分間焼成し、抵抗体２を形成し
た。

【００１８】ここで、表１に示す組成番号１〜８のガラ
スは、他の成分を一定として、ＳｉＯ₂とＰｂＯの比を
変化させたものである。表２に示す組成番号９〜１３の
ガラスは、他の成分を一定として、Ａｌ₂Ｏ₃（表中では
ＡｌＯ_1.5で表す）の配合量を変化させたものである。
表３に示す組成番号１４〜２１のガラスは、他の成分を
一定として、Ｂ₂Ｏ₃（表中ではＢＯ_1.5で表す）の配合
量を変化させたものである。

【００１９】

【表１】

【００２０】

【表２】

【００２１】

【表３】

【００２２】これらのガラスを用いて得られた力学量セ
ンサのＧＦ、ノイズ特性および抵抗値を測定した。その
結果を表１〜３に示す。ちなみに、これらの評価におい
て、多くの製品への応用を考えた場合、ＧＦ特性は１５
以上、ノイズ特性は５ｄＢ以下、抵抗値のバラツキ
（σ）は１０％以内が望まれる。

【００２３】また、用いるガラス自身の耐酸性が、感歪
み抵抗体の信頼性に大きく影響することから、あわせて
それぞれのガラスの耐酸性を評価した。この評価は、５
％のクエン酸水溶液中にそれぞれのガラスを３０分間浸
漬し、その間の単位表面積あたりの減量値が、１０ｍｇ
／ｃｍ²以下のものを○、同じく１１〜２０ｍｇ／ｃｍ²
のものを△、２０ｍｇ／ｃｍ²以上減量したものを×と
したものである。

【００２４】表１より明らかなように、抵抗体中のＰｂ
Ｏの含有率が高くなるにしたがい、センサのＧＦ特性は
向上する。ＰｂＯの含有率が７３．１重量％以上になる
と、ＧＦは目標とした１５以上になった。しかし、Ｐｂ
Ｏの含有率が８６．７重量％より高くなると、ガラスは
徐々に結晶化しやすくなるため、耐酸性は低下し、ノイ
ズ特性やバラツキに示すように、抵抗値の安定性は悪化
した。ＰｂＯ含有率を８９．２重量％とした試料は、安
定した抵抗値が得られず、またＧＦ測定ができなかっ
た。したがって、ＳｉＯ₂の含有率は、９．７〜２２．
２重量％、ＰｂＯの含有率は、７３．１〜８６．７重量
％であることが好ましい。

【００２５】表２から、抵抗体中のＡｌ₂Ｏ₃の含有率が
高くなるにしたがい、耐酸性は向上することがわかる。
しかし、表１に示すＳｉＯ₂とＰｂＯを変化させたもの
と同様に、Ａｌ₂Ｏ₃の含有率が高くなるのにともない、
ガラスが結晶化しやすくなり、抵抗値の安定性が悪くな
った。したがって、Ａｌ₂Ｏ₃の含有率は０．９〜３．６
重量％であることが好ましい。

【００２６】表３から、抵抗体中のＢ₂Ｏ₃の含有率が高
くなるに従い、抵抗値の安定性は向上することがわか
る。これは、Ｂ₂Ｏ₃が少ない場合は酸化ルテニウムがガ
ラス成分と反応してルテニウム酸鉛が析出しやすいため
と考えられる。しかしながら、Ｂ₂Ｏ₃の含有率が５．５
重量％以上では、耐酸性が低下した。これは、Ｂ₂Ｏ₃の
含有率の上昇にともないガラスネットワークの結合が弱
くなったためと考えられる。したがって、Ｂ₂Ｏ₃の含有
率は２．５〜４．９重量％であることが好ましい。

【００２７】《比較例１》表４に示すガラスを用いて、
実施例１と同様の検討を行った。組成番号２２および２
３のガラスは、組成番号６のガラスのＰｂＯ成分をＢｉ
Ｏ_1.5成分で置き換えたものである。組成番号２４およ
び２５のガラスは、ＳｉＯ₂成分を含まないＢ₂Ｏ₃−Ｐ
ｂＯ−Ｆｅ₂Ｏ₃（表中、ＦｅＯ_1.5で表す）系ガラスで
あり、組成番号２６、２７および２８のガラスも、Ｓｉ
Ｏ₂成分を含まないテルライト系ガラスである。

【００２８】

【表４】

【００２９】組成番号２２および２３のガラスは、Ｐｂ
Ｏ成分の減少にともないＧＦ特性が低下した。組成番号
２４および２５のガラスは、ＳｉＯ₂成分を含まないた
めに、抵抗値の安定性や耐酸性が低いと考えられる。組
成番号２６、２７および２８のガラスは、ＴｅＯ₂成分
がＳｉＯ₂成分の役割を果たすことから抵抗値は安定す
るものの、一方で耐酸性は低い。

【００３０】《実施例２》実施例１の組成番号６と組成
が等しく、粒径が３μｍのガラスフリットおよび粒径が
１．２μｍの酸化ルテニウムを、酸化ルテニウムとガラ
スフリットの和の１０〜３５重量％となるように混合し
て感歪み抵抗体ペーストを調製し、これを用いて実施例
１と同様の力学量センサを作製した。

【００３１】得られたセンサの諸特性を実施例１と同様
に評価した。ペーストの焼成温度と得られた感歪み抵抗
体の抵抗値の関係を図２に示す。図２より、いずれの組
成比においても、焼成温度が高くなるにつれて、抵抗値
が低下することがわかる。また、同じ温度で焼成した場
合には、感歪み抵抗体中の酸化ルテニウムの含有率が高
くなるにつれて、抵抗値が低下することがわかる。

【００３２】実用時の消費電流や自己発熱などを考慮す
ると、抵抗値は約１０ｋΩが望ましい。そこで、酸化ル
テニウムの含有率を変化させてそれぞれ抵抗値が約１０
ｋΩの力学量センサを実施例１と同様に作製し、その特
性を評価した。

【００３３】抵抗値が１０ｋΩのときの酸化ルテニウム
の含有率とＧＦ特性の関係を図３に示す。これより、Ｇ
Ｆ特性は、酸化ルテニウムの含有率が高くなるにつれて
向上することがわかる。これは、感歪み抵抗体中の抵抗
体中の酸化ルテニウムの含有率が低い場合、所定の抵抗
値に合わせるには含有率が高い場合と比較してより高温
で焼成しなければならないためと考えられる。すなわ
ち、焼成の際に基板と抵抗体の界面反応がより促進さ
れ、ＧＦ特性が低下するものと考えられる。酸化ルテニ
ウムの含有率が１０重量％以下の場合、ノイズが６ｄＢ
以上になり、バラツキも１０％以上になることから、抵
抗値の安定性に問題がある。一方、酸化ルテニウムの含
有率が２５重量％以上になると、ＲｕＯ₂粒子同士の接
触が増加することにより、ＧＦは逆に低下する傾向を示
す。これらの結果より、目標とする特性値を満たすため
には、酸化ルテニウムの配合比は、酸化ルテニウムとガ
ラスの和に対して１０〜３０重量％であることが好まし
い。

【００３４】《実施例３》粒径が０．１〜５．０μｍの
酸化ルテニウムと、実施例１の組成番号６と同組成で平
均粒径が３μｍのガラスフリットを、重量比で１：４と
なるように混合してペーストを調製し、実施例１と同様
の力学量センサを作製した。得られたセンサの性能を実
施例１と同様に評価した。酸化ルテニウムの粒径に対す
るＧＦおよびノイズ特性を図４に示す。図４より、ＧＦ
特性は、酸化ルテニウムの粒径が大きくなるにつれて向
上し、粒径が０．５μｍ以上になると目標である１５以
上になるが、粒径が１．５μｍより大きくなると、ＧＦ
はかえって低下する。一方、ノイズ特性は、粒径が大き
くなるにつれ悪化する。粒径が３．０μｍを超えるとノ
イズは目標とする５ｄＢよりも大きくなる。これより、
酸化ルテニウムの粒径は０．５〜３．０μｍであること
が好ましい。

【００３５】《実施例４》粒径が１．２μｍの酸化ルテ
ニウムと、実施例１の組成番号６のガラスと同組成で粒
径が１〜２０μｍのガラスフリットを、重量比で１：４
となるように混合してペーストを調製した。得られたペ
ーストを用いて実施例１と同様の力学量センサを作製し
た。

【００３６】得られた力学量センサの静電気（ＥＳＤ）
特性を調べた。本試験は、感歪み抵抗体の電気容量を１
５０ｐＦとして、感歪み抵抗体を電位１．５ｋＶに帯電
させたのち、帯電した電荷を３３０Ωの抵抗体を介して
放電させる試験を１０回繰り返し、この試験の前後にお
ける感歪み抵抗体の抵抗値の変化率を調べたものであ
る。この条件における抵抗値変化率は、−１０％以下が
望まれる。図５に、静電気特性とガラスの粒径の関係を
示す。ガラスの粒径が小さくなるにつれて、抵抗値変化
率の絶対値は小さくなり、５μｍ以下では抵抗値変化率
の絶対値は１０％以下になった。したがって、ガラスの
粒径は、５μｍ以下が好ましい。なお、ガラスの粒径を
かえてもＧＦは約２０で一定であり、ガラス粒径がＧＦ
特性におよぼす影響は、ほとんどみられなかった。

【００３７】

【発明の効果】本発明によると、高感度で高出力の力学
量センサを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の力学量センサの一部を切り
欠いた斜視図である。

【図２】抵抗体ペーストの酸化ルテニウム／ガラスの各
配合比における感歪み抵抗体形成時の焼成温度と得られ
た抵抗体の抵抗値の関係を示す特性図である。

【図３】抵抗値を一定にした力学量センサの感歪み抵抗
体中の酸化ルテニウムの含有率とセンサのＧＦの関係を
示す特性図である。

【図４】感歪み抵抗体中の酸化ルテニウムの粒径とセン
サのＧＦおよびノイズの関係を示す特性図である。

【図５】感歪み抵抗体ペーストに用いたガラスフリット
の粒径と、得られたセンサの静電気特性の関係を示す特
性図である。

【図６】感歪み抵抗体の厚さとセンサのＧＦの関係を示
す特性図である。

【符号の説明】

１金属基材２絶縁層３絶縁基板４電極

フロントページの続き (72)発明者池田正樹大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】酸化ルテニウム、ガラスフリットおよび
有機バインダを含み、前記ガラスフリットが、ＰｂＯを
７３．１〜８６．７重量％、ＳｉＯ₂を９．７〜２２．
２重量％、Ｂ₂Ｏ₃を２．５〜５．０重量％、およびＡｌ
₂Ｏ₃を０．９〜３．６重量％含むＰｂＯ−ＳｉＯ₂−Ｂ₂
Ｏ₃−Ａｌ₂Ｏ₃系ガラスからなる感歪み抵抗体ペース
ト。
【請求項２】前記酸化ルテニウムの配合量が、前記酸
化ルテニウムおよび前記ガラスフリットの和の１０〜３
０重量％である請求項１記載の感歪み抵抗体ペースト。
【請求項３】前記酸化ルテニウムの粒径が、０．５〜
３．０μｍである請求項１記載の感歪み抵抗体ペース
ト。
【請求項４】前記ガラスフリットの粒径が、５μｍ以
下である請求項１記載の感歪み抵抗体ペースト。
【請求項５】表面に結晶化ガラス層を備えた金属基材
からなる絶縁基板、前記絶縁基板の表面に形成された一
対の電極、前記電極間を接続して形成された感歪み抵抗
体を具備し、前記感歪み抵抗体が、ＰｂＯを７３．１〜
８６．７重量％、ＳｉＯ₂を９．７〜２２．２重量％、
Ｂ₂Ｏ₃を２．５〜５．０重量％、およびＡｌ₂Ｏ₃を０．
９〜３．６重量％含むＰｂＯ−ＳｉＯ₂−Ｂ₂Ｏ₃−Ａｌ₂
Ｏ₃系ガラスからなるガラスフリット、酸化ルテニウム
および有機バインダを含む感歪み抵抗体ペーストを焼成
して得られたものである力学量センサ。