JPH10244280A

JPH10244280A - 水中の有機物除去装置

Info

Publication number: JPH10244280A
Application number: JP9047617A
Authority: JP
Inventors: Masanari Hidaka; 真生日高; Madoka Tanabe; 円田辺
Original assignee: Organo Corp; Japan Organo Co Ltd
Current assignee: Organo Corp
Priority date: 1997-03-03
Filing date: 1997-03-03
Publication date: 1998-09-14

Abstract

(57)【要約】【課題】半導体製造工場で排出される高濃度有機系廃
液（例えばフォトリソグラフィー工程で排出される現像
廃液）のような高濃度の有機物を含む水から有機物を効
率的にかつ安定して除去することができ、しかも処理コ
ストを低減できる有機物除去装置を提供する。【解決手段】被処理水にアルカリ性条件下でオゾンを
添加することにより被処理水中に含まれる有機物を酸化
分解する有機物酸化装置２と、ＯＨ形の強塩基性陰イオ
ン交換樹脂を用いた陰イオン交換装置６と、逆浸透膜装
置８とを、被処理水をこの順序で通水するように設置す
る。さらに、逆浸透膜装置８の濃縮水を濃縮水返送管１
２を通して有機物酸化装置２の被処理水中に導入する。
また、上記構成に代え、逆浸透膜装置８の濃縮水を上記
と同じ陰イオン交換装置６に通水してから有機物酸化装
置２の被処理水中に導入してもよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、有機物を含む水、
特に比較的高濃度の有機物を含む水から有機物を除去す
るための装置に関し、例えば、半導体製造工場から排出
される有機物を数十から数百ｐｐｍの高濃度で含む廃液
から有機物を除去する場合などに好適に使用される水中
の有機物除去装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工場では、有機物を高濃度で
含む廃液や排水（高濃度有機系廃液）が排出される。例
えば、半導体製造工程の１つであるフォトリソグラフィ
ー工程や剥離工程で排出される廃液は、テトラメチルア
ンモニウムハイドライド（ＴＭＡＨ）、コリン、ジメチ
ルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、モノエタノールアミン
（ＭＥＡ）といった有機薬品や、レジスト、界面活性剤
などの有機物を数十から数百ｐｐｍの高濃度で含む高濃
度有機系廃液である。

【０００３】上記のような高濃度有機系廃液を放流ある
いは再利用するためには、廃液中から有機物を除去する
必要がある。この場合、高濃度有機系廃液中から有機物
を除去する方法としては、（ａ）生物処理によって有機
物を分解する方法、（ｂ）逆浸透膜装置を用いて有機物
を分離する方法、又は、（ｃ）紫外線照射装置を用いて
有機物を酸化分解する方法が考えられる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前述した３つ
の有機物除去方法は、それぞれ問題を有している。すな
わち、（ａ）の生物処理による有機物分解方法は、分解
可能な有機物の種類が限られており、生物分解性が悪い
有機物が被処理水中に含まれていると、その有機物を除
去することが難しく、有機物を安定して除去することが
困難である。例えば、ＴＭＡＨ、コリン、ＤＭＳＯ、Ｍ
ＥＡ等は物質自体のｐＨが非常に高く、これらを含む水
は生物が棲息するには不適であるため、生物分解性が悪
く、したがってＴＭＡＨ、コリン、ＤＭＳＯ、ＭＥＡ等
を除去することが難しい。また、生物処理による有機物
分解方法は、有機物の分解効率が生物処理の条件（例え
ば水のｐＨや温度等）の影響を大きく受けるため、処理
の制御が難しく、この点でも有機物を安定して除去する
ことが困難である。

【０００５】（ｂ）の逆浸透膜装置を用いた有機物分離
方法では、高い有機物除去率を得るためには、水の回収
率を低下させなければならない。すなわち、逆浸透膜装
置を用いた有機物分離方法では、有機物が分離された清
浄な透過水と、有機物を被処理水より高濃度で含む濃縮
水とが生成されるが、高い有機物除去率を得るためには
濃縮水の量を増やす必要があり、そのためには透過水の
量を減らして水の回収率を低下させる必要がある。その
結果、有機物濃度が極めて高い廃液である濃縮水が大量
に工場外に排出されるとともに、工場全体の水の使用量
が増大し、コスト高となる。

【０００６】（ｃ）の紫外線照射装置を用いた有機物分
解方法は、紫外線ランプの交換費用や電気代等のランニ
ングコストが増大し、経済的に不利である。また、被処
理水の色が付いていると、被処理水が光を透過せず、有
機物の分解が効率的に行われない。

【０００７】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、半導体製造工場で排出される高濃度有機系廃液のよ
うな高濃度の有機物を含む水から有機物を効率的にかつ
安定して除去することができ、しかも処理コストを低減
できる水中の有機物除去装置を提供することを目的とす
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、被処理水
にアルカリ性条件下でオゾンを添加することにより被処
理水中に含まれる有機物を分解する有機物酸化装置を用
いて有機物含有排水の処理を行った場合、紫外線照射を
行うことなく有機物含有排水中に含まれる有機物を効率
的に除去できることを知見した。この装置においては、
有機物と、オゾンとアルカリとの反応によって生じるヒ
ドロキシラジカルとの反応によって、有機物が酸化分解
されるものである。

【０００９】本発明者らは、上述した有機物酸化装置を
利用して高濃度の有機物を含む水から有機物を除去する
ことについて検討を行い、その結果、上記有機物酸化装
置の処理水を逆浸透膜装置に通水し、この逆浸透膜装置
の濃縮水を有機物酸化装置の被処理水中に戻すととも
に、このとき有機物酸化装置の処理水を逆浸透膜装置の
上流側でＯＨ形の強塩基性陰イオン交換樹脂を用いた陰
イオン交換装置に通水するか、逆浸透膜装置の濃縮水を
上記陰イオン交換装置に通水してから有機物酸化装置の
被処理水に戻すようにした場合、高濃度の有機物を含む
水から有機物を効率的かつ安定にしかも低コストで除去
することが可能となり、前記目的を効果的に達成できる
ことを知見し、本発明をなすに至った。

【００１０】したがって、本発明は、第１発明として、
被処理水にアルカリ性条件下でオゾンを添加することに
より該被処理水中に含まれる有機物を酸化分解する有機
物酸化装置と、ＯＨ形の強塩基性陰イオン交換樹脂を用
いた陰イオン交換装置と、逆浸透膜装置とを、被処理水
をこの順序で通水するように設置するとともに、逆浸透
膜装置の濃縮水を有機物酸化装置の被処理水中に導入す
ることを特徴とする水中の有機物除去装置を提供する。

【００１１】また、本発明は、第２発明として、被処理
水にアルカリ性条件下でオゾンを添加することにより該
被処理水中に含まれる有機物を酸化分解する有機物酸化
装置と、逆浸透膜装置とを、被処理水をこの順序で通水
するように設置するとともに、逆浸透膜装置の濃縮水を
ＯＨ形の強塩基性陰イオン交換樹脂を用いた陰イオン交
換装置に通水してから有機物酸化装置の被処理水に導入
することを特徴とする水中の有機物除去装置を提供す
る。

【００１２】本発明の有機物除去装置は、前述した有機
物酸化装置、逆浸透膜装置及び陰イオン交換装置を組み
合わせることにより、高濃度の有機物を含む水から有機
物を効率的かつ安定にしかも低コストで除去できるよう
にしたものである。すなわち、被処理水にアルカリ性条
件下でオゾンを添加する有機物酸化装置では、処理対象
である有機物の種類による酸化分解の難易がほとんどな
いので、被処理水中にＴＭＡＨ、コリン、ＤＭＳＯ、Ｍ
ＥＡのような生物処理では分解困難な有機物が含まれて
いても、これらを分解することができる。この場合、有
機物酸化装置では、有機物の全部が二酸化炭素まで分解
されるわけではないが、有機酸、炭酸、硝酸、硫酸等ま
でには分解される。

【００１３】本発明では、有機物酸化装置の処理水を逆
浸透膜装置に通水し、その透過水を処理水とする。逆浸
透膜装置では、有機物酸化装置の処理水中に含まれる有
機酸、硝酸、硫酸等が阻止され、また遊離の炭酸分子は
逆浸透膜を通過して透過水中に漏出するが、イオン状に
解離した炭酸は阻止される。したがって、本発明におけ
る逆浸透膜装置は、ＴＯＣとして測定される有機酸を除
去し、ＴＯＣ濃度が十分に低い良好な水質の処理水を得
る役割、及び、有機酸等が後段のイオン交換装置等を汚
染してその処理性能を低下させるのを防止し、後段のイ
オン交換装置等を保護する役割を果たす。

【００１４】一方、本発明では、逆浸透膜装置の濃縮水
を有機物酸化装置の被処理水中に戻す。このようにする
のは、有機物濃度が高い逆浸透膜装置の濃縮水を系外に
排出すると、その処理に費用がかかり、高濃度有機系廃
液の処理を低コストで行うことができなくなるからであ
る。この場合、有機物酸化装置では、被処理水中にイオ
ン性不純物、特にＣｌ^-、Ｆ^-、ＳＯ₄ ^2-等の陰イオン性
不純物が含まれていると有機物の酸化分解反応が阻害さ
れ、有機物の除去効率が低下する。また、この有機物酸
化装置ではＮＨ₄ ⁺の酸化によってＮＯ₃ ^-、ＮＯ₂ ^-が生成
するが、これらも有機物の酸化分解反応を阻害する。し
たがって、逆浸透膜装置の濃縮水を有機物酸化装置の被
処理水中に戻す際には、この濃縮水中にＣｌ^-、Ｆ^-、Ｓ
Ｏ₄ ^2-等の陰イオン性不純物や有機物酸化装置で生じた
ＮＯ₃ ^-、ＮＯ₂ ^-が含まれることは好ましくない。

【００１５】そこで、本発明では、有機物酸化装置の処
理水を逆浸透膜装置の上流側でＯＨ形の強塩基性陰イオ
ン交換樹脂を用いた陰イオン交換装置に通水するか、逆
浸透膜装置の濃縮水を上記陰イオン交換装置に通水して
から有機物酸化装置の被処理水中に戻すようにしてい
る。これにより、陰イオン交換装置でＣｌ^-、Ｆ^-、ＳＯ
₄ ^2-、ＮＯ₃ ^-、ＮＯ₂ ^-等の大部分が除去され、これらが
有機物酸化装置の被処理水中に移行することが抑制さ
れ、有機物酸化装置における有機物の酸化分解効率が向
上する。また、陰イオン交換装置の陰イオン交換樹脂が
再生直後でイオン交換基がほとんどＯＨ形であるときは
陰イオン交換装置で有機酸が除去されるため、逆浸透膜
装置の透過水としてよりＴＯＣ濃度が低減した水を得る
ことができる。さらに、逆浸透膜装置の濃縮水中には有
機酸等が比較的高濃度で含まれており、そのためこの濃
縮水を有機物酸化装置の被処理水に戻すことにより、有
機物酸化装置における有機物濃度の高濃度化が図れ、そ
のためオゾンの利用効率が向上し、この点でも有機物分
解反応の効率が向上するという利点が得られる。

【００１６】以下、本発明につきさらに詳しく説明す
る。本発明に用いる有機物酸化装置の構成に限定はない
が、下記、の条件を備えたものであることが好まし
い。気液撹拌混合手段によって被処理水にオゾンを添
加すること。被処理水のｐＨが９．７以上のアルカリ
性条件下で被処理水にオゾンを添加すること。

【００１７】すなわち、被処理水にオゾンを添加する場
合、オゾンは水に対する溶解性が低いため、散気板を用
いるバブリングでは水に十分に溶解せず、有機物の酸化
分解反応が効率良く行われにくいが、気液撹拌混合手段
を用いれば被処理水にオゾンを十分に溶解させることが
でき、有機物の酸化分解反応が効率的に行われる。した
がって、有機物酸化装置としてはの条件を備えること
が好ましい。

【００１８】ここで、気液撹拌混合手段とは、気体と液
体とを撹拌しながら混同して、液体中に気体を溶解させ
る手段をいう。このような手段を用いたオゾン溶解方法
としては、例えば、回転翼を備えたポンプの吸引側に被
処理水及びオゾンを導入し、回転翼の回転により被処理
水とオゾンを撹拌混合し、この撹拌混合により被処理水
中にオゾンを溶解せしめ、このオゾンを溶解した被処理
水をポンプの吐出側に連結された配管を通して処理系に
送液するという方法（オゾン溶解ポンプ）や、上記ポン
プに代えてエゼクター等で加圧水流を供給し、この水流
の動きで被処理水とオゾンとを撹拌混合し、被処理水中
にオゾンを溶解させる方法等がある。また、配管の途中
に密閉容器を形成し、この密閉容器の内部に回転翼を備
えた攪拌機構を有したラインミキサー等も用いることが
できる。

【００１９】また、図４は有機物を含む水（ＴＯＣ濃度
２０００ｐｐｂ）を複数用意し、それぞれにアルカリを
加えて種々の異なったｐＨに調整するとともに、オゾン
を９．６ｐｐｍ添加して、有機物の酸化分解の程度が初
期ｐＨ値によってどのように変わるかを見たものであ
る。グラフの縦軸におけるＴＯＣはオゾン反応１０分後
の残留ＴＯＣを示す。同図によれば、ｐＨ９．７以上、
特にｐＨ９．７〜１１．０、中でもｐＨ１０．０〜１
０．５の範囲で有機物の分解速度が大きいことがわか
る。したがって、有機物酸化装置としてはの条件を備
えることが好ましい。

【００２０】本発明に用いる有機物酸化装置では、被処
理水のｐＨ調整を行った後に被処理水へのオゾン溶解を
行ってもよく、被処理水へのオゾン溶解を行った後に被
処理水のｐＨ調整を行ってもよく、被処理水のｐＨ調整
と被処理水へのオゾン溶解とを同時に行ってもよい。ま
た、被処理水のｐＨが元々適当な値であるときには、被
処理水のｐＨ調整を行うことなく被処理水へのオゾン溶
解を行ってもよい。なお、ここでいう被処理水は、逆浸
透膜装置の濃縮水を導入した後の被処理水である。被処
理水にアルカリ性条件下でオゾンを添加すると、被処理
水中の有機物の酸化分解反応は直ちに開始するが、被処
理水を加熱することにより、有機物の酸化分解速度を速
めることができる。

【００２１】本発明に用いる逆浸透膜装置の種類に制限
はなく、各種の逆浸透膜装置が使用可能であり、例えば
ポリアミド系、アラミド系等の合成複合膜を用いた逆浸
透膜装置、酢酸セルローズ膜等のセルローズ系膜を用い
た逆浸透膜装置などを使用することができるが、不純物
の阻止性能に優れている点でポリアミド系複合膜を用い
た逆浸透膜装置が特に好ましい。また、逆浸透膜装置と
しては、スパイラル型、中空糸型、管状型等のいかなる
タイプのものでもよい。

【００２２】本発明において、陰イオン交換装置として
は、ＯＨ形の強塩基性陰イオン交換樹脂を使用したもの
を用いる。これは、被処理水中に含まれるＣｌ^-、Ｆ^-、
ＳＯ ₄ ^2-、ＮＯ₃ ^-、ＮＯ₂ ^-等をアルカリ性条件下で良好
に除去できるからである。この場合、上記陰イオン交換
樹脂としては、例えば、アンバーライト（登録商標、以
下同様）ＩＲＡ−４０２、ＩＲＡ−４０２ＢＬ、ＩＲＡ
−４００等を用いることができる。

【００２３】第１発明では、有機物酸化装置の処理水を
逆浸透膜装置の上流側でＯＨ形の強塩基性陰イオン交換
樹脂を用いた陰イオン交換装置に通水する。この場合、
陰イオン交換装置では、陰イオン交換樹脂が再生直後で
イオン交換基がほとんどＯＨ形であるときには、有機物
酸化装置で生成した無機陰イオン、炭酸、有機物の分解
によって生じた有機酸等が除去される。そのまま通水を
続けると、炭酸や有機酸よりも陰イオン交換樹脂に対す
る吸着力の高いＣｌ^-、Ｆ^-、ＳＯ₄ ^2-、ＮＯ₃ ^-等の無機
陰イオンが樹脂層に蓄積し、炭酸や有機酸はこれらの無
機陰イオンによって脱離されて樹脂層から漏出してく
る。漏出した炭酸の内、遊離の炭酸分子は逆浸透膜装置
を通過する。一方、有機酸及び陰イオンとして解離して
いる炭酸は逆浸透膜装置で阻止され、逆浸透膜装置の濃
縮水を有機物酸化装置の被処理水中に導入することによ
って有機物酸化装置の被処理水中に入る。この有機酸
は、有機物酸化装置でさらに酸化される。したがって、
第１発明では、陰イオン交換装置によって、有機物酸化
装置における有機物の酸化分解効率を低下させる無機陰
イオンを選択的に除去することができる。この場合、適
当なときに陰イオン交換樹脂をアルカリによりＯＨ形に
再生することにより、上記効果を継続して得ることがで
きる。

【００２４】第２発明では、逆浸透膜装置の濃縮水を前
記陰イオン交換装置に通水してから有機物酸化装置の被
処理水に戻す。このようにしても、第１発明で述べた陰
イオン交換装置の効果、すなわち有機物酸化装置におけ
る有機物の酸化分解効率を低下させる無機陰イオンを選
択的に除去することができるという効果を得ることがで
きる。しかも、第２発明では、陰イオン交換装置の被処
理水は逆浸透膜装置の濃縮水なので、負荷されるイオン
量はあまり変わらないが、陰イオン交換装置の被処理水
の流量が第１発明に比べて１／１０〜１／２程度の小流
量となるので、陰イオン交換装置を小型化でき、製作コ
ストを低減できるという利点が得られる。ただし、第２
発明では、逆浸透膜装置の透過水中に無機陰イオンが僅
かながらリークするので、逆浸透膜装置の透過水をその
まま何らかの用途に使用する場合のように透過水の処理
水質を重要視する場合には、第２発明よりも第１発明の
方が有利である。

【００２５】本発明の有機物除去装置では、有機物酸化
装置の下流側に、被処理水中のオゾンを分解するオゾン
分解手段を設けることができる。これにより、有機物酸
化装置の処理水中に残存するオゾンが後段の逆浸透膜装
置、イオン交換装置等に悪影響を及ぼすことを防止でき
る。オゾン分解手段としては、例えば、被処理水を活性
炭に通水してオゾンを還元分解する手段、被処理水に還
元剤を注入してオゾンを還元分解する手段等が挙げられ
る。なお、オゾン分解手段は、有機物酸化装置の直後に
設置することが、オゾンが後段の装置に悪影響を及ぼす
ことを防止する点で好ましい。

【００２６】本発明の有機物除去装置は、例えば、超純
水製造装置の排水回収系の内の、適当な処理を施してか
ら一次純水系に戻す経路（純水用排水回収系）、適当な
処理を施してから雑用水として使用する経路（雑用水用
排水回収系）、適当な処理を施してから放流する経路
（廃水処理系）などに使用することができ、これにより
被処理水中から有機物を高度に除去することができるも
のである。

【００２７】

【発明の実施の形態】図１は第１発明に係る有機物除去
装置の一実施形態例を示すフロー図である。図１の装置
において、２は被処理水にアルカリ性条件下でオゾンを
添加することにより該被処理水中に含まれる有機物を酸
化分解する有機物酸化装置、４は有機物酸化装置に被処
理水を導入する被処理水導入管、６はＯＨ形の強塩基性
陰イオン交換樹脂を用いた陰イオン交換装置（Ａ）、８
は逆浸透膜装置（ＲＯ）、１０は逆浸透膜装置８の透過
水を排出する透過水排出管、１２は逆浸透膜装置８の濃
縮水を被処理水導入管４を流れる有機物酸化装置２の被
処理水中に導入する濃縮水返送管を示す。本例の装置で
は、被処理水を有機物酸化装置２、陰イオン交換装置４
及び逆浸透膜装置６に順次通水するとともに、逆浸透膜
装置８の濃縮水を濃縮水返送管１２を通して有機物酸化
装置２の被処理水中に導入し、逆浸透膜装置８の透過水
を処理水として透過水排出管１０から排出する。

【００２８】なお、図１の装置においては循環系内にＮ
ａ⁺等の陽イオン成分を除去する手段が存在しないの
で、処理を継続するにしたがって系内の陽イオン成分濃
度が高くなる。したがって、系内の陽イオン成分濃度が
あまりに高くなりすぎた場合は、濃縮水の一部を適宜系
外に排出することが望ましい。このことは、後述の図２
の装置においても同様である。

【００２９】図２は第２発明に係る有機物除去装置の一
実施形態例を示すフロー図である。図２において図１の
装置と同一構成の部分には、同一参照符号を付してその
説明を省略する。図２の装置では、図１の装置のように
有機物酸化装置２と逆浸透膜装置８との間に陰イオン交
換装置６は設置されておらず、その代わりに、濃縮水返
送管１２にＯＨ形の強塩基性陰イオン交換樹脂を用いた
陰イオン交換装置６が介装されている。本例の装置で
は、被処理水を有機物酸化装置２及び逆浸透膜装置６に
順次通水するとともに、逆浸透膜装置８の濃縮水を陰イ
オン交換装置６に通水してから有機物酸化装置２の被処
理水中に導入し、逆浸透膜装置８の透過水を処理水とし
て排出する。

【００３０】図１及び図２の装置に用いた有機物酸化装
置２は、具体的には図３に示す構造を有している。すな
わち、図３において２０は被処理水が流れるラインであ
り、このライン２０にはアルカリ注入装置２２及びオゾ
ン供給装置２４が連結されている。アルカリ注入装置２
２の注入管２６とライン２０との連結部２８のやや後方
にはｐＨ測定部（図示せず）が設置されており、このｐ
Ｈ測定部によって被処理水のｐＨを測定し、その測定結
果を電気信号としてアルカリ注入装置２２に出力し、そ
れに基づき被処理水へのアルカリ注入量を自動的に制御
するようになっている。

【００３１】オゾン供給装置２４としては、オゾン発生
機構を備えたオゾン発生装置や、オゾン発生装置で製造
されたオゾン含有ガスを充填したオゾンタンクが使用さ
れる。オゾン供給装置２４の供給管３０には気液撹拌混
合装置３２（例えばラインミキサーやオゾン溶解ポン
プ）が連結されているとともに、この気液撹拌混合装置
３２はライン２０に連結されている。また、気液撹拌混
合装置３２の出口側におけるライン２０の所定長さ部分
が、有機物の酸化分解反応が行われる反応管部３６とし
て構成されている。

【００３２】本例の有機物酸化装置２では、まず、ライ
ン２０を流れる被処理水にアルカリ注入装置２２よりア
ルカリが注入されて被処理水のｐＨが９．７以上、好ま
しくは９．７〜１１．０に調整される。次いで、被処理
水にオゾン供給装置２４よりオゾンが供給され、気液撹
拌混合装置３２によってオゾンと被処理水とが撹拌混合
され、オゾンの大部分が被処理水中に溶解する。ここ
で、被処理水中へのオゾン添加量は３〜４０ｐｐｍ、好
ましくは７〜３０ｐｐｍに調整される。被処理水中で
は、反応管部３６において速やかに有機物の酸化分解反
応が進行する。

【００３３】

【実施例】図１に示した有機物除去装置を用いて有機物
を含む排水の処理を行った。この場合、有機物酸化装置
２の気液撹拌混合装置３２としてはオゾン溶解ポンプを
用いた。また、陰イオン交換装置６のＯＨ形強塩基性陰
イオン交換樹脂としてはアンバーライトＩＲＡ−４０２
ＢＬ、逆浸透膜装置８の逆浸透膜としては日東電工社製
ポリアミド系複合膜ＥＳ−１０を用いた。

【００３４】排水（原水）としては、ジメチルスルホキ
シド（ＤＭＳＯ）及びＮＯ₃ ^-を表１に示す濃度で含む模
擬排水を使用した。また、有機物酸化装置２において
は、アルカリ注入装置２２から被処理水に水酸化ナトリ
ウムを添加して被処理水のｐＨを１０．３に調整した
後、気液撹拌混合装置２２によって被処理水中の溶存オ
ゾン濃度が２０ｐｐｍとなるように被処理水にオゾンを
添加した。その他の処理条件は下記の通りとした。有機物酸化装置における被処理水流量：１ｍ³／ｈ逆浸透膜装置濃縮水流量：０．１５ｍ³／ｈ逆浸透膜装置透過水流量：０．８５ｍ³／ｈ

【００３５】実施例における有機物酸化装置出口水、陰
イオン交換装置出口水、逆浸透膜装置透過水、逆浸透膜
装置濃縮水の各成分濃度の測定結果を表１に示す。ま
た、比較のために、図１に示した装置から陰イオン交換
装置を除去した有機物除去装置を用い、同じ排水の処理
を同様の条件で行ったが、この場合は逆浸透膜装置の濃
縮水を系外に排出させながら処理を行わないと、系内に
陰イオン性不純物が蓄積して有機物酸化装置における分
解効率が悪くなるために、上記実施例とほぼ同等の処理
を行うことができなかった。

【００３６】

【表１】

【００３７】

【発明の効果】本発明の有機物除去装置は、半導体製造
工場で排出される高濃度有機系廃液のような高濃度の有
機物を含む水から有機物を効率的にかつ安定して除去す
ることができ、しかも処理コストを低減できるものであ
る。また、逆浸透膜装置の濃縮水をほとんど系外に廃棄
しなくてすむので、処理水を再利用する場合には水の有
効利用を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１発明に係る有機物除去装置の一実施形態例
を示すフロー図である。

【図２】第２発明に係る有機物除去装置の一実施形態例
を示すフロー図である。

【図３】図１及び図２の有機物除去装置に用いた有機物
酸化装置を示すフロー図である。

【図４】被処理水のｐＨと有機物の酸化分解速度との関
係を示すグラフである。

【符号の説明】

２有機物酸化装置６陰イオン交換装置８逆浸透膜装置１２濃縮水返送管

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号ＦＩＣ０２Ｆ 1/42 Ｃ０２Ｆ 1/42 Ｄ 1/44 1/44 Ｆ 9/00 ５０２ 9/00 ５０２Ｆ５０２Ｋ５０２Ｒ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被処理水にアルカリ性条件下でオゾンを
添加することにより該被処理水中に含まれる有機物を酸
化分解する有機物酸化装置と、ＯＨ形の強塩基性陰イオ
ン交換樹脂を用いた陰イオン交換装置と、逆浸透膜装置
とを、被処理水をこの順序で通水するように設置すると
ともに、逆浸透膜装置の濃縮水を有機物酸化装置の被処
理水中に導入することを特徴とする水中の有機物除去装
置。
【請求項２】被処理水にアルカリ性条件下でオゾンを
添加することにより該被処理水中に含まれる有機物を酸
化分解する有機物酸化装置と、逆浸透膜装置とを、被処
理水をこの順序で通水するように設置するとともに、逆
浸透膜装置の濃縮水をＯＨ形の強塩基性陰イオン交換樹
脂を用いた陰イオン交換装置に通水してから有機物酸化
装置の被処理水に導入することを特徴とする水中の有機
物除去装置。
【請求項３】有機物酸化装置が、気液撹拌混合手段に
よって被処理水にオゾンを添加するものである請求項１
又は２に記載の有機物除去装置。
【請求項４】有機物酸化装置が、被処理水のｐＨが
９．７以上のアルカリ性条件下で被処理水にオゾンを添
加するものである請求項１、２又は３に記載の有機物除
去装置。